TW493075B - Multi-probe unit and the measuring device using the same - Google Patents

Description

493075 A7 ___B7 _ 五、發明說明0 ) 【背景技術】 本發明，有關在密集地配置之多數導電圖案，接觸形 成於分別導線一端部之探針先端，將導線之各他端部以電 氣方式連接之多探針單元及使用其之測定裝置。 當欲將半導體元件或TFT ( Thin Film Transited )液 晶顯示元件配置成陣列狀之基板以電氣方式檢查時，將這 些元件與外部電源及測定器以電氣方式連接，一般爲採用 將使用金屬製造之多數微細之針接觸於形成於元件上電極 之方法。 最近，隨著半導體元件或液晶顯示元件之高速化，高 性能化，爲了抑制在探針所發生之電性雜訊之侵入或在探 針間之磁性轉印之發生，遮蔽針就成爲常識。 第2圖（a )係表示形成探針之遮蔽導線1構成之斜 視圖，第2圖（b )係表示固定多數遮蔽導線之多探針單 元10之槪略構成之斜視圖。於該圖（a)，遮蔽導線1 係由中心導體2，絕緣物3及金屬軟管4所構成。其中， 中心導體2通常係由鎢或其他硬質金屬所形成，一端部 2 a爲從絕緣物3及金屬軟管4只突出既定長度，並且， 其先端爲被折彎成鉤狀，並且，形成有被硏磨成針狀銳利 之探針5。另一方面，中心導體2之他端部2 b係只可電 氣方式連接之長度較絕緣物3及金屬軟管4突出。絕緣物 3係將聚乙烯等之絕緣性材料成爲軟管狀來包圍中心導體 2者，在其外側被覆有作爲遮蔽構件之金屬軟管4，藉接 地此金屬軟管4，來抑制電氣性雜訊之侵入或在探針間發 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4 - 請 先 閱 讀 背 面 意

I I I I I 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印？衣 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 493075 A7 _B7___ 五、發明說明（2 ) 生磁性轉印。 第2圖（b )所示，多探·針單元1 0係將多數之遮蔽 導線1固定於印刷電路基板（P C B ) 1 1之背面部所形 成。此時爲了圖面之簡化，只表示一部分之遮蔽導線1之 各探針5爲對於液晶顯示基板2 0之電極2 1，排列成節 距約略變成相等，並且，從形成探針5之一端部遮蔽導線 1能夠擴展成放射狀，例如，由射出成型所形成之導線固 定構件1 2固定於印刷電路基板1 1。此情形時，導線固 定構件1 2係設於印刷電路基板1 1之先端部，在此印刷 電路基板11後端部裝著有與遮蔽導線1同數之連接插座 (connectorjack )部1 3在其端子連接有中心導體2之他 端部2 b。 構成上述遮蔽導線1之中心導體2之直徑係約0 · 2 mm，遮蔽導線1之直徑係具有約略超過0 · 5mm之粗 細。另一方面，將T F T液晶顯示元件配設成陣列狀之基 板上之電極，最近尤其節距變狹，而是排列成5 0 //m程 度。爲了對於這些電極分別接觸探針5先端爲目的，不僅 將遮蔽導線1配置成放射狀，並且即使向上下方向疊層狀 重疊使其密貼，可接觸探針5先端電極之節距爲止於 2 0 0 // m 〇 又，即使節距以約2 0 0 排列之電極，若電極數 超過2 0時，就某程度犧牲雜訊或磁性轉印，沒有金屬軟 管4，亦即使用只由中心導體2與絕緣物3所成之被覆導 線來形成多探針單元1 0。因此，即使對於由5 0 排 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I «1_§ ϋ -ϋ ϋ ϋ 一 a an ϋ I ϋ I ϋ a— I » -5· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 493075 A7 __ B7_____ 五、發明說明（3 ) 列之電極，不得不使用只由中心導體2與絕緣物3所成之 被覆導線來對應。 然而，將爲了驅動最近所發達由聚矽（poly silicon ) 所成之T F T作爲構成元件之液晶顯示元件所用之掃描線 驅動電路或影像訊號驅動電路，一體地形成於與液晶顯示 兀件同一基板上者，或，使用T A B ( Tape Automatic Bonding )方式對於掃描線施加掃描脈衝，對於影像訊號線 施加影像訊號之L S I等以電氣方式檢查時，在使用上述 被覆導線之多探針單元係容易受到雜訊或磁性轉印之影響 ，檢查項目受到限制具有必須解決檢查性能減低之問題。_ 【發明槪要】 本發明係爲了解決上述問題所開發者，其目的係提供 一種即使只使用只由導線與被覆導線，可以達到實用上不 成問題程度可防止從外部之侵入雜訊或磁性轉印，藉此就 可提升電氣性檢查性能之多探針單元及使用其之測定裝置 〇 本發明係具備；在對於密集配置之多數導電圖案，接 觸於分別形成於導線一端部之探針先端，將上述導線之各 他端部對於測定機器以電氣方式連接之多探針單元，具有 從外部可固持之基板，與在除了端部之中間部位只施加絕 緣被覆之中心導體，此中心導體之一端部爲被折彎成鉤狀 ，將形成探針之多數被覆導線，與上述被覆導線之探針先 端，由與上述導電圖案約略相等節距排列’並且，對於上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱^ Γ" " ' ! I I I I —tr4 ·11111 — I - (請先閱讀背面之注意事項*|填寫本頁) 493075 A7 B7 五、發明說明（4 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 述被覆導線之一端部將中間部擴展成放射狀，並且，鄰接 之上述被覆導線中間部與上述基板之距離爲能夠互相相異 將上述鄰接被覆導線之各個中間部固定於上述基板之導線 固定構件，與插入於上述導線層間，將上述導線層互相從 他方以電磁性地遮蔽之遮蔽板所構成。 並且，本發明係電氣性地檢查所使用之多探針單元， 具有接觸於作爲被檢查對象之相鄰排列之複數導電圖案之 複數探針，這些探針之中，抵接於上述導電圖案之第偶數 與第奇數之相鄰各2個之各2個之上述探針係向厚度方向 離開配置於上下，這些2個上下之探針間，配設給與電性 作用之導電體製之遮蔽板所構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，本發明係具備；至少具備內藏測定機器之外部 裝置，與對於此外部裝置以電性連接之多探針單元，上述 多探針單元，係對於密集配置之多數導電圖案，接觸形成 於各個導線一端部之探針先端，將上述導線之各他端部以 電性地連接於測定機器，具有從外部可固持之基板，與除 了端部之中間部位只有施加絕緣被覆之中心導體，此中心 導體一端部爲被折彎成鉤狀，形成探針之多數被覆導線， 與將上述被覆導線之探針先端排列成約略與上述導電圖案 約略相等之節距，並且，對於上述被覆導線一端部將中間 部擴展成放射狀，並且，爲了相鄰之上述被覆導線之中間 部與上述基板間之距離爲互相相異將上述鄰接之被覆導線 之各中間部，固定於上述基板之導線固定構件，與插入於 上述導線層間將上述導線層互相從其他電磁性地遮蔽之遮 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " 493075 A7 _____B7 _I_ 五、發明說明（5 ) 蔽板所構成。 並且，本發明；係在至少爲內藏測定機器之外部裝置 ’與對於此外部裝置以電性連接之多探針單元，具備；具 有接觸於作爲被檢查對象之相鄰排列之複數導電圖案之複 數探針，這些探針之中，抵接於上述導電圖案之第偶數與 第奇數相鄰之各2個之各2個之上述探針係向厚度方向離 開配置成上下，在這些2個之上下之探針間，配設了給與 電性遮蔽之導電體製之遮蔽板之多探針單元所構成。 【較佳實施例之說明】 茲將本發明依據較佳實施形態詳細說明如下。 第1圖（a)，第1圖（b)，第1圖（c)係有關 本發明之多探針單元之一實施形態之構成與主要構成一倂 表示之縱剖面圖及底面圖。於此，被覆導線6係在中心導 體7施加絕緣被覆8者，中心導體7之一端部7 a與他端 部7 b係被去除絕緣被覆8而露出。其中，一端部7 a係 被折彎成鉤形，並且，被硏磨成針狀形成探針9。 多探針單元4 0係由省略圖示之固持裝置所固持，而 具有接地配線等。多數之被覆導線6係由固著於印刷電路 基板4 1先端部之導線固定構件4 2所固定。此情形時， 被覆導線6之各探針9係被排列成密集配置之電極等導電 圖案約略相等之節距，並且，被覆導線6之中間部爲從探 針9所視被固定成放射狀擴展。又，多數之被覆導線6係 相鄰者互相能夠分成上導線層與下導線層，亦即，從印刷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項Θ填寫本頁) I· ------11 訂·！ IIII ! 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 493075 A7 __ B7 五、發明說明（6 ) 電路基板4 1底面之距離能夠變成相異，被覆導線6之中 間部成疊層2段之狀態下由導線固定構件4 2所固定。亦 即’將探針疊層，但是探針之上下爲分別對應於第偶數與 第奇數。 並且，在中間部被擴展成放射狀之導線層之間，平面 形狀大約成爲梯形，插入上導線層與下導線層以電磁方式 遮斷之遮蔽板4 3，由設在其兩側之固持部4 3 a固定於 印刷電路基板4 1。又，在印刷電路基板4 1基端部底面 裝著有可撓性印刷電路板5 0。此可撓性印刷電路板5 0 係配線層5 1，遮蔽層5 3及配線層5 2爲經由絕緣層 5 4.依序疊層者所形成，其中，配線層5 1及配線層5 2 係具有配置成平行之配線5 1 a及配線5 2 a，遮蔽層 5 3係將配線層5 1及配線層5 2互相能夠從其他以電磁 方式遮斷形成爲板狀。並且，在配線f5 1 —端部之各配 線5 1 a ，連接上段之導線層之各被覆導線6之他端，在 配線層5 2 —端部之各配線5 2 a ，連接下段導線層之各 被覆導線6之他端。又，插入於上下之導線層間之遮蔽板 4 3，與可撓性印刷電路板5 0爲由連接線4 4連接。 按，可撓性印刷電路板5 0爲了容易了解記載，成爲 增厚了各層表示，但是，實際上爲0·1mm以下，全體 厚度也形成爲約0 . 3mm。 接著，在印刷電路基板4 1基端部裝著有連接插座（ connector jack )部6 0。此連接插座部6 0係具有配置成 2列之多數端子6 1，在一方列之端子6 1連接有配線層 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------裝--------訂---------族 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9- 493075 A7 ____ Β7 _____ 五、發明說明（7 ) 5 1之各配線端部，在另方列之端子6 1連接有配線層 5 2之各配線端部。又，雖然省略圖示，但是遮蔽層5 3 也連接於連接插座部6 0之接地端子。 於此，作爲被覆導線6可使用對於中心導體7之直徑 爲0 · 2mm者施加約0 · 0 2〜0 · 0 5mm之絕緣被 覆8，能夠分離成上段導線層與下段導線層藉成疊層，節 距爲1 5 0 β m，排列有約1 〇 〇個電極，可得到所謂狹 小節距，對於多極電極可接觸探針9先端之多探針.單元 4 0。又，將被覆導線6分爲上段導線層與下段導電層， 在其間插入遮蔽板4 3，並且，於可撓性印刷電路板5 0 ，在上配線層5 1與下配線層5 2之間設遮蔽層5 3，藉 接地遮蔽板4 3及遮蔽層5 3，就可減低在鄰接之被覆導 線6間容易發生之磁性轉印，又，也可減低從外部侵入之 雜訊。 按，於上述實施形態作爲探針，雖然將具有導體端部 硏磨成針狀之探針之被覆導線疊層爲2層做了說明，但是 ，即使於先端成爲彈簧之彈簧接觸形之探針，對於被覆導 線一端部將中間部擴展成放射狀，並且，相鄰接之被覆導 線中間部爲固定成複數之導線層，在這些導線層間藉插入 遮蔽板可獲得同樣之效果。又，在將導線層裝設連接於連 接器之可撓性印刷電路板之配線層間所接地之遮蔽層就可 更加提升從外部所侵入之雜訊或磁性轉印之效果。 又，於上述實施形態係曾就被覆導線疊層2層之情形 做了說明，但是疊層3層以上，即使在各導線層間插入遮 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------^ (請先閲讀背面之注意事項 寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 493075 A7 B7 五、發明說明（8 ) 蔽板之構成，也可得到與上述相同之效果。 並且又，於上述實施形態、曾就探針先端接觸於電極 之情形做了說明，但是，接觸對象並非限於電極幾乎可適 用於包括導線之導電圖案。 第3圖係使用第1圖所示多探針單元1 0將液晶顯示 基板2 0以電氣方式檢查之整個裝置之構成例，標示與第 2圖同一符號者係分別表示同一元件。於此，液晶顯示基 板2 0係固定於夾具2 2上面，對於此液晶顯示基板2 0 之多數電極2 1可分別抵接探針9先端，夾具2 2係由圖 示省略之定位裝置所驅動。又，連接於從內藏電源電路或 測定機器之外部裝置3 0所導出之纜線3 1先端之連接插 頭14爲結合於裝設在印刷電路基板41之連接插座部 6 0。藉此，來執行液晶顯示基板2 〇之電氣性檢查。 由以上之說明就可淸楚，若依據本發明，即使使用只 由導線與絕緣物所構成之被覆導線，可減低到實用上不會 成問題程度從外部侵入之雜訊或磁性轉印，藉此，就可得 到可提升電氣性檢查性能之多探針單元及測定裝置。 圖式之簡單說明 第1圖（a)，第2圖（b)，第3圖（c)係將有 關本發明之多探針單元一實施形態之構成，與主要構成元 件一倂表示之縱剖面圖及底面圖。 第2圖（a)，第2圖（b)係將有關習知之多探針 單元之構成，與主要構成元件一倂表示之斜視圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） <請先閱讀背面之注意事項㈣填寫本頁) 裝 — II 訂·！-· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 493075 A7 __B7__ 五、發明說明（9 ) 第3圖係使用本發明之多探針單元將液晶顯示基板以 電氣性檢查之測定裝置。 【符號之說明】 1 :遮蔽導線，2 :中心導體，2 a : —端部（中心 導體），2b:他端部（中心導體），3:絕緣物，4: 金屬軟管，5 :探針，6 :被覆導線，7 ··中心導體， 7 a : —端部（中心導體），7 b :他端部（中心導體） ，8 :絕緣被覆，9 :探針，1 1 :印刷電路基板（ PCB) 12 :導線固定構件，13 :連接插座部，20 :液晶顯示基板，2 1 :電極，2 2 :夾具，3 0 ··外部 裝置，3 1 :纜線，4 0 :多探針單元，4 1 :印刷電路 基板，42 :導線固定構件，43 :遮蔽板，43a ··固 持部，4 4 :連接線’ 5 0 ··可撓性印刷電路板，5 1 a :配線，52 :配線層，52a :配線，53 :遮蔽層， 54 :絕緣層，60 :連接插座部，61 :端子。 請 先 閱 讀 背 面 意 事 項 再 填 寫 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 493075 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 · 一種多探針單元，其係在密集配置之多數導電圖 案，接觸分別形成於各導線一端部之探針先端，將上述導 線之各他端部以電氣性地連接於測定機器者，其特徵爲備 有； 可從外部固持之基板，與在除了端部之中間部位具有 只施加被覆導線之中心導體，此中心導體一端部爲被折彎 成鉤狀，形成探針之多數被覆導線，與 將上述被覆導線之探針先端，與上述導電圖案約略相 等之節距排列，並且，對於上述被覆導線一端部將中間部 擴展成放射狀，並且，使鄰接之上述被覆導線中間部，與 上述基板之距離可互相相異，將上述鄰接之被覆導線之各 個中間部固定於上述基板之導線固定構件，與插入於上述 導線層間，將上述導電層互相從其他以電磁性地遮蔽之遮 蔽板。 2·如申請專利範圍第1項之多探針單元，其中將從 一方側端算起第奇數之上述被覆導線作爲第1導線層，將 從一方側端算起第偶數之上述被覆導線作爲第2導線層， 在上述第1及第2導線層間配置上.述遮蔽板。 3 ·如申請專利範圍第2項之多探針單元，其中上述 第1導電層與上述第2導電層，係互相位於上下，上述遮 蔽板係配置於被配置成上下之上述第1及第2導電層間。 4 ·如申請專利範圍第1項之多探針單元，其中具備 :具有裝著於上述基板之連接器，被支持於上述基板之可 撓性印刷電路板，與對應於上述導線層之複數配線層，形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 13- -------------衣--------訂---------線一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 493075 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍 成於這些配線層間之遮蔽層，將上述配線層之一方配線端 連接於所對應之上述導線層之各導線之他端部，將上述配 (請元閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線層之他方配線端連接於上述連接器之端子，將上述遮蔽 層連接於上述導線層間之遮蔽板所成之可撓性印刷電路板 〇 5 ·如申請專利範圍第1項之多探針單元，、其中將上 述遮蔽板接地。 6 ·如申請專利範圍第1項之多探針單元，其中作爲 被測定對象之上述導電圖案，係於液晶顯示基板之掃描線 驅動電路及影像訊號驅動電路之電極。 7· · —種多探針單元，其係使用於電氣性地檢查者， 其特徵爲·，具有接觸於作爲被檢查對象之相鄰所排列之複 數導電圖案之複數探針，這些探針之中，抵接於上述導電 圖案之第偶數與第奇數之相鄰之各2個之各2個上述探針 係向厚度方向離開配置成上下，在這些2個上下探針間， 配設給與電氣性遮蔽作用之導電體製之遮蔽板。 8 · —種測定裝置，其特徵爲由具備； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 具有；至少內藏測定機器之外部裝置，與 對此外部裝置以電氣性地連接之多探針單元， 上述多探針單元，係對於被密集配置之多數導電圖案 ，接觸形成於各個導線一端部之探針先端，將上述導線之 各他端部以電氣性地連接於測定機器者， 可從外部固持之基板，與 具有在除了端部之中間部位只施加絕緣被覆之中心導 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " 493075 A8 B8 C8 D8 · 六、申請專利範圍 體，此中心導體一端部爲被折彎成鉤狀，形成探針之多數 被覆導線，與 將上述被覆導線之探針先端，與上述導電圖案約略相 等之節距排列，並且，對於上述被覆導線一端部將中間部 擴展成放射狀，並且，鄰接之上述被覆導線中間部與上述 基板之距離爲能夠互相相異將上述鄰接之被覆導線之各中 間部固定於上述基板之導線固定構件，與 插入於上述導電層間，將上述導電層互相從其他以電 磁性地遮蔽板。 9 ·如申請專利範圍第8項之測定裝置，其中於上述 多探針單元，將從一方側端算起第奇數之上述被覆導線作 爲第1導線層，將從一方側端算起第偶數之上述被覆導線 作爲第2導線層，在上述第1及第2導線層間配置上述遮 蔽板。 10 · —種測定裝置，其特徵爲具備； 至少內藏有測定機器之外部裝置，與 在此外部裝置以電氣性地連接之多探針單元，具有接 觸於作爲被檢查對象相鄰所排列之複數導電圖案之複數之 探針，這些探針之中，抵接於上述導電圖案之第偶數與第 奇數之相鄰之各2個之各2個之上述探針，係向厚度方向 離開配置成上下，在這些2個上下之探針間，配設給與電 氣性遮蔽作用之導電體製之遮蔽板之多探針單元。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝--------訂---------線I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） .15-