TW482905B - Holder for testing device of electronic device - Google Patents

Description

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〔發明之詳細說明〕 〔發明所屬之技術範疇〕 =發明係關於一種使用於試驗半導體積體電路元件 電子元件（以下單稱為IC)之試驗用電子元件試驗裝 壯ΐ:固持裝置，尤有關-種在固持被試驗電子元件之 悲可將朝向試驗頭之接觸部推壓時之推壓力均一化 之電子元亦試驗裝置用固持裝置者。 〔習知之技術〕 蔣為處理器（handler)的電子元件試驗裝置者，係 # :則木之禝數個被試驗1〇搬送至處理器内，使各 ί以&電接觸於試驗頭上而令電子元件試驗裝置本體 (以下稱為試驗器）實行試驗者。 將盆：恭2 ί ΐ終了後將各試驗1 C自試驗頭排出，藉由 應於試驗結果之托架，進行良品與不良品 之分類。 之ΤΓ Π'之處理态上除設有收容試驗前之IC與試驗完 二=架（以下稱為專用托架(customer tray))外，亦 於ί架2而實行搬送之托架的機型，此種機 祜嚐：τ王Γ °° 2试驗别後係在專用托架與試驗托架間實行 被试驗IC之換載。 又’亦有確認I c之耐熱 或高溫之溫度壓力狀態的實 此種情形下，係使用將搭載 溫或降溫至既定溫度之具有 性用之對被試驗IC施加低溫 行IC功能試驗用的機型。於 於試驗托架上之被試驗ί c昇 恆溫槽的處理器。 482905

〔發明欲解決之課題〕 惟，於將被試驗I c推壓於接觸部上時，除水平面 (X-Υ平面）内之對置對合外，亦希望垂直方向（z軸方向） 之推壓力能均一化。當一被試驗I c之Z軸方向之推壓力不 均一時’因推壓力不足故會發生接觸不良現象，當推芦 力過度時則有損傷端子之慮。 @ ^ 於習知的處理器上，被吸附頭所吸附固持而被同昉 推壓於接觸部上之被試驗I c係一個或兩個，故z軸方向守 推壓力之參差度可藉由管理推壓被試驗1(:之面之機械°加^ 工之加工精度予以作某程度之吸收。 ϋ 惟’例如欲同時測試四個以上的被試驗I c而以吸 頭一次吸附固持前述複數個被試驗丨c時，則僅以瑞保機 械性加工精度之方式欲吸收z軸方向之參差度乃复〃機 難。 /、固 特別是在具有恒溫槽之處理器上，除試驗頭之 部外’吸附被試驗IC並朝接觸部推壓之接觸臂亦係二 於恆溫槽内，故因溫度所導致之接觸臂之變形，尤=予 其扭曲係無法不重視，故前述課題甚為緊要。 /、是 奉發明係鏗於前述習知技術之問題點所完 目的在於提供一種電子元件試驗裝置用固持裝置，、’其 固持被試驗電子元件之狀態下可將推壓於 為在 部時之推壓力均一化者。 、之接觸 〔解決課題之方式〕

482905 五、發明說明（3) 用ϊϊί置，係將被試驗電子元件之端子推虔於試驗頭 之接觸部而實行試驗者， 坪 =徵在於包括：推進器座，相對於前述接觸部設 ίΐίϊ·分離ί動；可動座，設於前述推進器座上而 為y動狀，且具有固持前述電子元件用之固持墊·以及 推壓裝置，設於耵述推進器座側而可將前 前述接觸部推壓。 勒晨朝向 、^又，第2發明之電子元件試驗裝置用固持裝置，係 被忒1¾電子元件之鳊子推壓於試驗頭之接觸 ^、 驗者， 〃戸、玎成 义其特徵在於包括·· 一個推進器座，設成相對於複數 j別述接觸部為可接近•分離；複數個可動座，相對於 前述一個的推進器座分別設成可動狀並分別具有固前 述電子元件用之固持墊；以及複數個推壓裝置，設於前 ^推進器座側而可將前述各可動座朝向前述各部 相互獨立地推壓。 π ’ Η 於前述第1及第2發明之電子元件試驗裝置用固持裝 ^，於以固持頭固持被試驗1(：而在該狀態下將前述被 部ϋ推壓至接觸部時係以推壓裝置將可動座朝向接觸 盥换可動座為相對於推進器座設成可動，且使用 推進裔座之下降動作為不同之設於前述推進器座上 推壓裝置作可動座之推壓，故即使推進器座之下降動作 方向於Ζ軸方向上包含有誤差時，此誤差可被作用於推壓

482905 五、發明說明（4) j置之推壓面與可動座之被推壓面間之推壓力所吸收。 藉此，可使被试驗電子元件之各端子上之推壓力變得均 — 〇 、特別是關於第2發明，因推進器座共通化時必然會形 成大型70件而容易產生扭曲等機械性加工誤差，而將可 動座刀別β又於推進器座上成可獨立作動時，且推壓裝置 分獨立狀時，則不論推進器座之下降動作方向 各推芦/晉νϋ含之誤差有多少，此誤差皆可被作用於 ϋ 與各可動座之被推壓面之間之各個 士 I斤及收。精此，即使於同時測量複數之電早元件 4 ’亦可使被試驗電子元件 ’ 化。 电卞兀仟之各埏子上之推壓力均一 (2)雖在上述第i及第2發明 請專利範圍第3項之電子元件兮給壯ς特別之限疋，但申 於：前述推壓裝置传*於支拷二+衣 持墊其特徵在 者。 衣罝係6又於支持别述推進器座之基座上 又申明專利範圍第4項之電子元侔# g # ^ ^# ^ ^ ^ ^ ^ ^ # it b //Λ Λ -τ ^# 種之元件者。 了動座為可更換機 如此，藉由將推壓裝置設於支持推 ’則可用機種更換元件(亦謂 之基體

ChanM Kit)構成推進器 月的更換疋件組， 可達成機種更換元件之小型化月」成本之目的，同時 五、發明說明（5) 時，：申；；=之限定’但將推塵裝置設於基座上 般，於前= = = f5項之電子元件試驗裝置用固持塾 為介以前述推，推M塊，而前述推麼裝置構成 (3)於上“述可動座相較佳。 申請專利範圍第UV月及第2發明中雖無特別之限定，在 在於：分電子元件試驗裳置用固持裝置，i特ΐ ^ 刀別於前述接鰥卹而丨ΤΖ兑 /、符徵 被固持於^固持塾之i 5 7述可動座側上設置實行 部之，置對合用之導試驗電子元件與前述接觸 藉由此種導引裝置主要 觸部之XY平面上之掉A y 扣回被试驗電子元件與接 件試驗裝置用固；立置。特別是在本發明之電子元 可動狀，故即使推進器側愈=係設於推進器座上呈 不良時於可動座側亦可將之位置精度多少有所 本發明之導引_吳 例如於接觸部及可^之具體#構造並無特別之限定， 另-者上設置可與复：：：·.方上設置導引套筒’而於 (3)於上述發明中，口之¥▲引梢而加以構成者即可。 時之推進器座之下 、被減驗電子元件推壓於接觸部 之動作控制者並及推塵裝置所實行之推麼動作 再使另-者作動：；；：=，於使任-者先行作動後 於本發明中。k Μ貝上使兩者同時作動者皆包含 例如於申請專利笳 置用固持裝置上，其特 J、·所記載之電子元件試驗裝 ' 於·别述推壓裝置於前述推 五、發明說明（6) 進裔座移動而將被固二 推壓於前述接觸部上時係：前：=之被試驗電子元件 推壓者。 ，、將別述可動座朝向前述接觸部 (4)上述發明之固 1立 内之物品與配置於恆溫、〃思〇義為包含配置於恆溫右 電子元件施加、、”=及7動座係設置於對前述被試驗 丨卞她加/皿度壓力之恆溫槽内者。

因推ΐ!f推進器座及可動座設於恆溫槽内之類型者， 明之作=係容易因熱收縮而變形，但藉由前述之本發 之作用效果可有效地充份吸收前述變形。 〔發明之實施型態〕 以下根據圖式說明本發明之實施型態。

第1圖為適用本發明之固持裝置之電子元件試驗裝置 之心態之部份斷面立體圖，第2圖為同一電子元件試驗 裝置上之被試驗電子元件（以下稱被試驗IC)之分類方法 之概念圖’第3圖為設於同一電子元件試驗裝置上所設之 各種移送裝置之模式俯視圖，第4圖為同一電子元件試驗 裝置之1C儲放器構造之立體圖，第5圖為同一電子元件試 驗裝置所使用之專用托架之立體圖，第13圖為試驗室中 之被試驗IC之分類方法之說明用斷面圖（第3圖之沿於 XIII-XIII線之斷面圖），第14圖為載出部之被試驗ic之 分類方法之說明用斷面圖（第3圖之XIV-XIV線斷面圖）。 又，第2圖及第3圖為本實施型態之電子元件試驗裝

第9頁 482905 五、發明說明（7) --— 置之被試驗ic之分類方法及搬送裝置之動作範圍之解釋 用示意圖，其實際上為將排列配置於上下方向上之元件 作俯視之部份之示意圖。接著參照第丨圖說明其機械性 (三次元性）構造。 本貫施型怨之電子元件試驗裝置丨係在對被試驗丨c賦 與例如1 2 5 C左右之高溫或例如-3 〇 °c左右之低溫之溫产 壓力之狀態下的試驗（檢查）1C是否能適當地動作且依^ 試驗結果將IC分類之裝置，此種在賦與溫度壓力之狀態 下之動作试驗係將试驗對象之被試驗I c自搭載有其複數 個的托架（以下亦稱為專用托架KT，參照第1圖）換載至被 搬送於前述電子元件試驗裝置1内之IC載置器⑶^^參照第7 圖）上之狀態。 如此，本實施型態之電子元件試驗裝置1如第i圖及 第2圖所示，係包括有：收容欲實行試驗用之被試驗ic， 且分類收容試驗完畢之IC的I c收容部1 〇 〇 ;與將自此收容 部100所送出之被試驗ic送入至槽部300之承載部2〇〇 ;具 有試驗頭之槽部（相當於本發明之恆溫槽）3〇〇 ;將在槽部 3 0 0試驗過之試驗終了 I c予以分類及取出之載出部4 〇 〇。 I C收容部1 〇 〇 於I C收容部1 〇 〇中設有收容試驗前之被試驗I c之試驗 前1C儲放器101，與收容依試驗結果作分類之被試驗IC用 之試驗終了 I C儲放器1 〇 2。 此等試驗前1C儲放器101及試驗終了 1C儲放器1〇2如 第4圖所示係具備有框狀之托架支持框i 〇 3與自此托架支

五、發明說明（8) ' f框103下部侵入而可朝上部昇降之昇降器1〇4。於托架 持lj 3中重豐支持有複數個如第$圖之放大圖所示之 用托^KT ’僅此等重疊之專用托架KT可被昇降器104作 上下之移動。 ’於試驗前I C儲放器丨〇1中係積層支持有收容著欲 進=试驗之被試驗1C的專用托架KT，而於試驗終了 1C儲 放為1 〇 2中則積層支持有將試驗終了之被試驗I C作適當之 分類之專用牦架KT。 ^又’因此等試驗前I C儲放器1 〇 1與試驗終了 IC儲放器 10 2係相同之構造，故可將試驗前I C儲放器1 0 1與試驗終 了 I C儲放裔1 〇 2分別依所須之數量設定成適當數量。 在第1圖及第2圖所示之例中，於試驗前ic儲放器1〇1 中配°又有一個儲放器L D，而於其鄰側則配設有一個被送 ^載出部400之空儲放器EMp，同時作為試驗終了 1(：儲放 器102係配設有五個儲放器㈤、讥2 · · .UL5，而成為 對應試驗結果最多可區分成五分類而將其收容之構成。 =P除良π 口與不良品外，亦可區分動作速度為高速之物 品^為中等速度之物品及低速之物品，或者區分出雖為 不良但仍可再度試驗之物品等。 承載部2 0 0 r上述之專用托架〇係以設於K收容部100與裝置基板 201間之托架移送臂（省略圖示）自裝置基板2〇ι之下側搬 ίΓ/Λ'Τ9!^^ρ202 °χ 5 弟1移运装置204將積入專用托架KT之被試驗IC移送至間 482905 五、發明說明（9) 距變更載台203 ’在此於修正被試驗IC之相互位置並變更 其間距後’復將移送至此間距變更載台2 〇 3之被試驗丨c使 用第2移送裝置205積換至停止於槽部3〇〇内之位置CRl (參 照第6圖）上之IC載置器CR上。 設於窗部2 0 2與槽部3 0 0間之裝置基板2 〇 1上之間距變 更載台2 0 3係具有較深之凹部，此凹部之周緣係形成為以 傾斜面包圍之形狀之1(：之修正位置及變更間距用之裝 置，於此凹部中置入被第1移送裝置2 〇 4所吸附之被試驗 I C後，即可用傾斜面修正被試驗I ◦之落下位置。藉此， 可將例如四個的被試驗1(:之相互位置正確地設定，9同時 即使專用托架KT與1C載置器CR之搭載間距為不同，藉由 將修正過位置及變更過間距之被試驗丨c以第2移送裝置 205吸附而積換至IC載置器CR，即可於1(：載置器⑶上所形 成之IC收容部14中以高精度積換被試驗1C。 將被試驗ic自專用托架κτ積換至間距變更載台2〇3之 第1移送裝置204如第3圖所示係包括有架設於裝置基板 ^上Λ之Λ道204a，與以此執道2 04a往返於專用二㈣ 與間距fe更載台203間（此方向係定為γ方向）之可動臂 皮前述可動臂難所支持，可沿可動臂襲移 動於X方向之可動頭2〇4c。 於此第1移送裝置204之可動頭2〇4c上朝下安穿著吸 附頭204d，此吸附頭204d係一邊吸引空氣而—邊移 而自專用托架KT吸附被試驗1C，而將被試驗1(：放落至間 距變更載台203。前述吸附頭204d係可裝設例如四根於^ 482905

一次可將四個被試驗丨C放落至間距變更載 動頭204c上， 台2 0 3上。 一方面，將被試驗1C自間距變更載台203積換至槽部 3〇〇内之1C載置器CR1之第2移送裝置205亦為同樣之構 成二如第1圖及第3圖所示，係包括有架設於裝置基板2〇1 及忒驗槽301之上部之執道2〇5a，與以前述軌道2〇5a往返 於間距變更載台203與1C載置器CR1間之可動臂2〇5b，盥 支持於可動臂20 5b上可沿可動臂2 0 5b移動於χ方向之可動 頭 2 0 5 r 〇 於此第2移送裝置205之可動頭2〇5c上朝下安裝著吸 附頭205d，此吸附頭205(1係一邊吸引空氣而一邊移動而 自間距變更載台2〇3吸附被試驗IC，而介以開設於試驗槽 1頂部之入口 303，將該被試驗1C積換至1C載置哭CR1 上。此種吸附頭205d係可安裝例如四根於可動頭^5c 上，一次可將四個被試驗ic積換至ic載置器cR1上。 槽部300 °° 本實施型態有關之槽部300係具有對積載於1〇載置器 CR之被試驗1C施予目的之高溫或低溫之溫度壓力之恆溫 f ^，藉由將被施予熱壓力之狀態之被試驗10以恆溫狀 恕接觸於試驗頭302之接觸部302a，可用圖外之試驗器實 行試驗。 、 ，在本實施型態之電子元件試驗裝置1上，對被 = 施以低溫之溫度壓力時，藉由以後述之熱板4〇1作 除…乃可防止被試驗IC產生結露現象，而於對被試驗1(: 482905 五、發明說明（11) 施加高溫之溫度壓力時則可用自然散熱之方式加以除 熱。惟’藉由設置另外的除熱槽或除熱區，於被加高溫 時以送風之方式將被試驗IC冷卻至室溫，或於施加低溫 時藉由溫風或加熱器等將被試驗丨c加熱而使其回到不產 生結露之溫度之構成者亦可使用。 具有接觸部302a之試驗頭302係設於試驗槽301之中 央下側，於此試驗頭3 〇 2之兩側設有I c載置器CR之靜止位 置CR5。又，被搬送至此位置CR5之載置於1(：載置器⑶上 之被試，1C係被第3移送裝置3〇4直接搬送至試驗頭3〇2 上，而藉由將被試驗ic電接觸於接觸部302a進行試驗。 減私、、’ς 了之被试驗I c並不被返送至I [載置器 二’^係被換載至出沒移動於試驗頭102之兩側之位置 之、、^νΛΉΕΧΤ，而被搬出槽部300外。於施加高溫 之酿t昼力時，於被搬出槽部300後係自然除執。 苐6圖為使用本實施型態之電子元件 載置器時之搬送路徑之說明用立體 一 1C載置器之實施型態之 3第7圖為揭不同- VIII- VITT妗々献工面’ 第8圖為第7圖之沿於 III線之斷面圖（快門關閉）’ IX- IX線之斷面圖（快門打開） 於弟7圖之 驗裝置之試驗槽中之被試驗Ic^:驗為：―電子元件試 圖。 义忒馭順序之說明用俯視 首先，本實施型態之1(:載置哭 部3 0 0内。此換載 係被搬送循環於槽 係刀別於槽部300之近端與遠端 本貫施型態者 战積载自承載部200送

482905 五、發明說明（12) 來之被試驗1C用之1C載置器之位置CR1，此位置CR1上之 I C載置器CR係被圖外的水平搬送裝置搬送至水平方向之 位置CR2。 又’自第2移送裝置205受取被試驗1C之位置嚴格而 論係位於同圖所示之位置Cfn之稍上部（此位置在第6圖中 係以兩點虛線表示）。此者係使丨c載置器CR自下方面對試 驗槽301之頂部所開設之入口3〇3，而以ic載置器CR遮蔽 丽述入口 303，以防止槽部3〇〇内之熱量散出，為此目 的’ 1C載置器CR於受取被試驗ic時係自位置CR1微略上 昇。 的被搬送至位置CR2之1C載置器CR係被第6圖所示之昇 降器3 11朝向垂直下方以重疊多段之狀態被搬送，於等待 到位置CR5之1C載置器為空了後，自最下段之位置以 圖外之水平搬送裝置搬送至與試驗頭3〇2略相同高度之位 置CR4。於此搬送中主要係對被試驗IC賦與高溫或低溫之 溫度壓力。 又，以圖外之水平搬送裝置自位置CR4朝向試驗頭 30^側搬送至水平方向之位置CR5，在此僅被試驗“被送 至忒驗頭302之接觸部3〇2a。被試驗ic被送至接觸部3〇2a 後之IC載置器CR係被圖外之水平搬送裝置自其位置CR5被 搬送至水平方向之位置CR6後，被以昇降器314朝垂直方 向之上方搬送，而回到原位置CR1。 如此I ◦載置态C R因僅被循環搬送於槽部3 〇 〇内，故 於昇溫或降溫時，IC載置器本身可維持其溫度，其結果 Η 第15頁 482905 五、發明說明（13) 可提南槽部300之熱效率。 第7圖為揭示本實施型態之ic載置器CR之構造之立體 圖’於短柵狀之板體Π之上表面上形成8個凹部1 2，於此 凹部1 2之各個中分別形成有兩個載置被試驗丨c用之丨c收 容部1 4。 本貫施型態之I C收容部1 4係藉由於凹部1 2安裝塊體 13而沿板體11之長度方向形成16個，板體丨丨之長度方向 上之被試驗I C之搭載間距Pi (參照第1 〇圖）係設定成等間 隔。 同時，於本實施型態之1C收容部14夾持著於板體11 之凹部12與塊體13、13間形成有導引孔（參照第8圖）1 71 之導引用板體17。於被試驗1C如晶片規格封裝物之BGa型 IC般無法以封裝模具之外周部破保其定位精度等時，係 以導引用板體1 7之導引孔1 7 1之周緣定位被試驗IC之焊球 端子H.B，藉此以提高對接觸梢之接觸精度。 如第7圖所示，於1C載置器CR上設有快門15，其為防 止收容於該IC載置器CR之I C收容部1 4之被試驗I c產生位 移或跳出係可開閉其上表面之開口面。 此快門1 5係被彈簧1 6設成相對於板體11成開閉自如 狀，於將被試驗I C收容於IC收容部1 4時，或者自IC收容 部1 4將其取出時，係使用快門開閉機構丨8 2如第9圖般打 開該快門1 5，而實行被試驗I C之收容或取出。一方面， 解除快門開閉機構1 82時，該快門1 5係藉由彈簧1 6之彈性 力回復至原來狀態，如第8圖所示，板體11之ic收容部工4

第16頁 482905 五、發明說明（14) 之開口面係被快門1 5所遮蓋’藉此，被收容於該I〔收交 部14之被試驗1C即使於高速搬送中亦可保持不位移及跳 出。 本貫施型悲之快門1 5如第7圖所示係被設於板體丨丨之 上表面上之二個滑輪11 2所支持，中央的滑輪丨丨2係卡合 於形成於快門1 5上之長孔1 5 2 ’設於兩端之兩個滑輪 11 2、11 2係分別固持著快門1 5之兩端緣。 惟，中央的滑輪112與快門15之長孔152之卡合於板 體11之長度方向上係形成為幾乎不搖動之程度，相對於 此，兩端之滑輪11 2與快門1 5之兩端緣之間係設有小間 隙。藉由此種方式，於槽部3 〇 〇内即使於I c載置器c r上作 用有熱壓力’其所產生之膨脹或收縮係以中央滑輪丨丨2為 中心朝兩端均分而被設於兩端之間隙所適當地吸收。因 此’快門1 5之長度方向全體之膨脹或收縮量即使在最膨 脹或隶收^之兩端亦只有一半之量，藉此可將板體11之 膨脹或收縮量之量差予以減小。 本實施型態之快門之開閉機構其構成係如下述。 首先，於第6圖所示之I C載置器CR之換載路徑上，須 要打開快門15之位置係包括有自第2移送裝置2 0 5受取被 試驗I C之位置CR 1 (嚴格言之僅為上部之窗部3 〇 3 )與將此 被試驗1C以第3移送裝置304移送至試驗頭302之接觸部 302a的位置CR5兩處。 本實施型態者，於位置(^1上如第6圖、第8圖及第9 圖所示作為快門之開閉機構係採用拉拔開閉設於快門1 5

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之頂面上之開閉用塊體181之流體壓缸182。此流體壓缸 1 8 2係安裝於試驗槽3 〇 1側。又，如第8圖及第9圖所示， 藉由相對於停止狀態之1C載置器CR使流體壓缸182之桿體 後退’即可牵拉設於快門i 5上之開閉用塊體丨8 1而將前述 快門1 5打開。又，被試驗1(：搭載終了後藉由使流體壓缸 1 8 2之桿體前進即可將前述快門丨5關閉。 相對於此，於試驗頭3〇2之附近位置CR5上，1C載置 器CR本身係被圖外的水平搬送裝置所移動，利用此作動 即可開閉快門1 5。例如，IC載置器CR自位置CR4朝位置 CR5被水平搬送，於其中途設置開閉快門丨5用之擋止器， 而於試驗槽301側於1C載置器CR自位置CR4移動至位置CR5 時’其係設於抵接快門1 5之開閉用塊體丨8 !之位置。又， 設置此擋止器之位置，於IC載置器CR停止於位置CR5時， 係剛好使快門1 5全開之位置。在本例中，於快門丨5上係 設置兩個開閉用塊體181，故擋止器亦設置兩個。藉此' 隨著I C載置器CR之水平搬送，快門1 5係被全開。 當1C載置器CR被從此位置CR5搬送至CR6時，則必須 關閉快門1 5。因此，例如預先於上述擋止器上形成凸輪 面’而於1C載置器CR被從位置CR5搬送至位置CR6時，萨 由使快門15之開閉用塊體181之後端部持續抵接該凸輪曰 面，即可將快严11 5徐徐地閉塞。 网 同時，於第2移送裝置205及第3移送裝置304之可動 頭2 05c、3 04b上設有於換載被試驗ic時實行與1(：載置器 C R之對位用之定位梢。其代表例係揭示於第8圖之第2 ^ 482905 五、發明說明（16) ""--- 运裝置205之可動頭205c，而第3移送装置3〇4之可動頭 3〇4b上亦作成相同之構成。 如同圖所示’於可動頭20 5c上跨越一個被試驗1(：係 設置兩根定位用梢205e、20 5e。因此，於IC載置器CR ’、 板體11側形成有此等定位用梢2〇5e、2〇5e分別可;人 定位用孔11 3、11 3。雖無特別之限定，在本例中，係使 一方之定位用孔113(第8圖中右側）為真圓孔，而使另方 之定位用孔（同圖中左側）為於寬度方向上為長形之長圓 孔，藉此，主要以一方之定位孔U 3實行對置對合而、同時 以另方之定位孔11 3吸收與定位用梢205e之位置誤差。」

又，於各個定位用孔113之上表面上形成有導引定 20 5e用之錐形面。 W 又，第9圖中符號「153」者係於打開快門15時定位 用梢2 0 5 e卡合於定位用孔1丨3用之開口部。 又，、本實施型態之電子元件試驗裝置1者係於試驗頭 302之附近位置CR5以第3移送裝置3〇4將所有的被試驗1(： 移送至試驗頭302，此時1C載置器CR係自其位置CR5回到 位置CR6，此時為確認其IC載置器⑶之收容部“未殘留任 何的被試驗IC乃設有殘留檢知裝置。

此殘留檢知裝置如第6圖所示於位置CR5至^6之途中 設有光電感應器，係沿第8所示之丨c載置器CR之中心線以 對Z轴方向照射檢知光而接受其檢知光。為使此檢知光通 過，於板體11之1C收容部14之底面分別設有貫通孔111， 而丨夬鬥1 5上於刀別對應I c收容部1 4之位置分別設有貫通

第19頁 482905 、發明說明（17) 孔1 54。藉此，ic載置器CR於換載被試驗ic終了後於自位 置CR5移動至CR6時係自水平搬送裝置之編碼器受取移動 脈衝訊號，藉此確認I C載置器CR之I C收容部1 4之位置時 序（timing)，同時確認該時序下之光電感應器之受光狀 況。在此，若I C收容部1 4殘留有被試驗I c，則無法用光 電感應器確認受光，故例如會發出警報而提醒有異常發 生。 ，、又 於本實施型態之測試頭3 0 2上係以一定的間距匕設置 八個接觸部302a ’如第10圖所示，接觸臂之吸附頭 亦以同一間距P2設置。又，於1C載置器CR上以間距匕收容 16個被試驗1C，此時係形成P2 = 2 X Pi之關係。 -度接續试驗頭3 0 2之被試驗I c如同圖所示係相對於 配設成1行X 1 6列之被試驗I c同時試驗間隔一列之被試驗 1C(如斜線所示之部份）。 亦即，在第1次之試驗中，係使配置於1、3、5、7、 9、11、13、15列之8個被試驗ic接續於試驗頭3〇2之接觸 部3 0 2 a而作試驗，而在第2次之試驗中，係將I c載置器cr 移動一列間距份？丨’而將配置於2、4、6、8、1 0、1 2、 1 4、1 β列之被試驗I C作同樣的試驗。為此，被搬送至試 驗頭302之兩側之位置CR5上之IC載置器CR係被圖外的水 平搬送裝置於其長度方向上移動間距Pi。 同時此實驗結果係被記憶於I C載置器CR所附之例如 識別編號與該I C載置器CR内部所分配之被試驗丨c之編號 所決定之位址中。

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吸附墊304c2係以真空吸附將1(：吸附固持。 介設於推進器座3〇4ci與可動座304c3間之 具广…構成。首先，卡合於後述之二動方機之構導 衣置之‘引套筒3〇2a2之導引梢3 04c5係以其中 =於可動座304C3上，其基端係被固定於推進器座 、=小從之梢304c7所插通。藉此，可動座3〇4c3係於 進态座304cl上為可於χγ平面上移動導引梢3〇釭5盥小 梢3 04c7之空隙份。 /、 ^ 又，可動座304c3係於推進器座3〇4cl上為可移動於z 軸方向之上方向上，而藉由介設於前述推進器座⑽抚工與 可動座304c3間之彈簧304c8可動座3〇4c3係被彈壓於離開 推進器座304cl之方向。因此，無外力作用時，可维持第 11圖所示之狀態，但當導引梢304c5與導引套筒302&2相 卡合時若於X方向上或γ方向上有外力作用時，可動座 304c3係相對於推進器座304cl移動於χγ平面内。又，當 後述之流體壓缸304c4介以推壓塊3〇4c9推壓可動座3〇4c3 時若可動座304c3之XY平面傾斜時，則抵抗著彈簧3〇4c8 之彈性力’可動座3〇4c3相對於推進器座3〇4c1乃改變其 姿勢。 本實施型態之吸附頭304c者係於安裝有推進器座 304cl之基座30 4bl上固定有流體壓缸3〇4c4(相當於本發 明之推壓裝置），又，可動座3〇4c3上安裝著推壓塊 304c9，前述流體壓缸304c4之桿體前端係抵接於推壓塊 30 4c9之上表面而將其推壓，介以此構造乃可推壓可動座

類更換 中係自 更元件 接泛用 達到降 而可提 如 係於一 成與試 等。又 珠導螺 被獨立 482905 五、發明說明（20) 304c3 。 如第12圖所示，本實施型態之吸附頭304c係相對於 一片之共通之推進器座304cl，將八個可動座304c3設成 相互獨立浮動，而上述流體壓缸30 4c4亦相對於各可動座 304c3分別設於獨立之位置（基座30 4bl)。 又，於可動座304c3上固定著前端具有錐狀面之導引 梢304c5，而於接觸部302a上固定者導引套筒3〇2a2。此 等導引梢304c5與導引套筒302a2係構成本發明之導引裝 置，而於吸附頭304c5朝向接觸部3 02a下降時藉由使導引 梢304c5自錐狀面卡合於導引套筒3〇2a2中，即可使可動 座304c3對位於接觸部302a上。 ’於改變被試驗I C之種類而實行接觸部3 〇 2 a之種 時，吸附頭304c亦跟著更換種類，在本實施型態 第11圖所示之推進器座3〇4cl將下方之元件當作考 而進行更換，而基座3〇4bl與流體壓缸3〇4c4則直 。藉此，變更元件之構成元件乃成為最小狀而可 低成本之目的，同時變更元件之重量亦變成最小 昇變更作業性。 第13圖所示，本實施型態之第3移送裝置3〇4者， =遏304a上設置兩個可動頭3〇4b，其間隔係設定 驗頭302與10載置器CR之靜止位置CR5之間隔相 浐Ϊ ί兩個可動頭3〇4b係以一個驅動源（例如導 I = &同時移動於y方向，且各吸附頭3〇4c分別 的驅動裝置移動於上下方向上。

第23頁 482905 五、發明說明（21) 如已述者般’各個吸附頭3 〇 4 c —次係可吸附固持八 個被試驗Ic ’其間隔係被設定成與接觸部3〇2a之間隔相 等。 載出部400 於載出部400上設有將上述試驗終了之IC自槽部3〇〇 排出用之排出載置器EXT。此排出載置器Εχτ如第3圖及第 1 3圖所不係構成為可往復移動於試驗頭3 〇 2兩側之各個位 置ΕΧΤ1與載出部400之位置Εχτ2間之χ方向上。於試驗頭 302之兩側之位置EXT 1上如第13圖所示為避開與1(：載置器 CR之干擾，係出沒於Ic載置器之靜止位置CR5之略上側， 亚重合於第3移送裝置3〇4之吸附頭3〇4c之略下側。 排出載置器EXT之具體性構造並無特別之限定，而如 弟:圖所示之1(；載置器CR般可構成為形成有可收容被試驗 之複數個凹部之板體。 钟罢ϊί出載置器Εχτ係於試驗頭3 02之兩側分別依情形 二 ' 、，其一方者朝向試驗槽301之位置ΕΧΤ1移動時另 作者係朝載出部400之位置ΕΧΤ2移動，而實行略對稱之動 於接=1®，本實施型態之電子元件試驗裝置1者， !此敎,^器阳之位置奶2之位置係設有熱板 可加：至Λ 皮試驗IC施加低溫之溫度壓力時係 溫声^露之程度之溫度，因此於施加高溫之 X 1力之場合則不須使用該熱板4 〇 1。 本實施型態之熱板401對應於後述之第4移送裝置4〇4

482905 五、發明卿⑽ "^- 之吸附頭4 0 4 d之一次可固持八個被試驗I C之狀態係可收 容兩列X 1 6行之3 2個被試驗I C。又，對應於第$移送壯 404之吸附頭4〇4d，係將熱板401區分成四個領域，^將^自置 排出載置器EXT2所吸附固持之八個被試驗IC順序配置於 前述領域，而將加熱最久之八個被試驗丨c以其吸附頭、 404d直接吸附而移送至緩衝部4〇2。 、 於熱板401附近，設有分別具有昇降台4〇5之兩個 衝部402。第14圖為沿於第3圖之XIV —XIV線之斷面圖，、、各 緩衝部402之昇降台405係於排出載置器EXT2及熱板4〇1 同之位準位置（z方向）與其上側之位準位置，具體t之為 其，裝置基板2〇 1之位準位置之間移動於2方向上。此緩、、' 衝裔402之具體性構造並無特別之限定例如為盥ic載置哭 CR及排出載置器Εχτ相同為形成有可收容被試驗丨c之二 個凹部（在此為八個）之板體之構成者亦可。 時另等一對之昇降台4〇5其於一方靜止於上昇位置 宁另方係靜止於下降位置而實行略對稱之動作。 夕截乂上"兒明之自排出載置态ΕΧΤ2至緩衝部402之範圍 部i〇〇上’係設有第4移動裝置404。此第4移動裝 上部之^圖及第14圖所示係包括有架設於裝置基板201 _ ^4〇4a，與以此執道4〇4&移動於排出載置器 動〇2間之¥方向上之可動臂4〇4b，與被此可 丄支持而相對於可動臂4〇财上下移動於Z方向 ，此吸附頭4G4C係—邊吸引空氣而一邊朝Z ° 向移動，藉此自排出載置器EXT吸附被試驗

第25頁 482905 五、發明說明（23)

1C，而將被試驗1C置入熱板401，同時自熱板401吸附被 試驗IC而將該被試驗I C置入緩衝部4 0 2。本實施型態之吸 附頭404c於可動臂404b上係安裝八根，而一次移送八個 被試驗IC。 同時，如第14圖所示，可動臂404b與吸附頭404c係 設定於可通過緩衝部402之昇降台405之上昇位置與下降 位置之間之高度位置的位置上，藉此，即使一方的昇降 台4 0 5位於上昇位置，亦可不產生干擾地將被試驗丨c移送 至另方之昇降台405。 又，於載出部400上係設有第5移送裝置406及第6移 送裝置4 07，藉由此等第5及第6移送裝置4〇6及4 07，被搬 出至缓衝部4 0 2之試驗終了之被試驗I c係被積載於專用托 架KT上。 因此’於裝置基板2 〇 1上開設有四個窗部4 〇 3以使自 1C收容部100之空儲放器EMP所搬來之空的專用托架以臨 設於裝置基板201之上表面。 第5移送裝置406如第1圖、第3圖及第14圖所示，係 具備有架設於裝置基板2〇1上部之執道40 6a ’與以此軌立 406a在緩衝部402與窗部4〇3之間移動於γ方向之可動臂 4〇6b，與支持於前述可動臂4〇6b上相對於可動臂仙讣可 :方向之可動頭406c，與朝下安裝於可動頭—」 下：動，向上之吸附頭侧。又，此吸附頭 406d係一邊吸引办备& 、皇土 軋而一邊朝χ、γ及z方向移動，自缓名 部402吸附被試驗Ic，而銘、篆石斗丄t ㈣目緩 而移运至该被試驗I c所對應之種类 482905 五、發明說明（24) 之專用托架KT。本實施型態之吸附頭406d於可動頭406c 上係裝設兩根，一次可移送兩個被試驗I C。 又，本實施型態之第5移送裝置406其可動臂40 6b係 形成較短以僅將被試驗IC移送至右端之兩個窗部4 〇 3上所 設置之專用托架KT，於此等右端之兩個窗部4〇3上若設定 產生頻率較高之種類之專用托架κτ則甚為有效。 相對於此，第6移送裝置406如第1圖、第3圖及第14 圖所示，係包括有架設於裝置基板2〇1上部之兩根軌道 407a、407a，與以此等軌道4〇7a、407a在緩充部402與窗 部403間移動於Y方向之可動臂4〇7b，與支持於前述可動 臂407b上相對於可動臂4〇7b為可移動於X方向之可動頭 407c，於朝下安裝於前述可動頭4〇7c上而可上下移動於z 方向之吸附頭407d。又，此吸附頭4〇7d係一邊吸引空氣 而邊移動於X、Y及2方向，藉此自緩衝部4 〇 2吸附被試 驗I c，將該被試驗Ic移送至對應之種類之專用托架κτ。 本實施型態之吸附頭407d於可動頭4〇7c上係安裝兩根， 一次可移送兩個被試驗IC。

上述第5移送裝置406係僅對右端的兩個窗部4〇3所設 置之專用托架K T移送被试驗I c，相對於此，第6移送裝置 4〇7係對所有的窗部403上所設置之專用托架^移送被試 驗I c因此，產生頻率較尚之種類之被試驗I C係使用第5 移送裝置406及第6移送裝置407作分類，同時發生頻率較 低之種類之被試驗I c係僅被以第6移送裝置4 〇 7作分類。 如此，兩個移送裝置406、407之吸附頭4〇6d、4〇7d

第27頁 482905 五、發明說明（25) 如第1圖及第14圖所示為避免相互干擾其執道4〇6a、4〇7a 係設於不同高度，而構成為即使兩個吸附頭4〇6d、4〇7d 同時作動亦幾乎不會相干擾之構成。於本實施型態中係 將第5移送裝置406設於較第6移送裝置4〇7更低之位置。 同時，雖省略圖示，於各窗部4〇3之裝置基板2〇1之 下側設有使專用托架KT昇降用之昇降台，其係承載積換 充滿有試驗終了之被試驗IC之專用托架κτ而下降，將此 充滿的托架移載至托架移送臂，而以托架移送臂搬送至 1C收容部100之適當之儲放1UI^〜UL5。又，於專用托架 K T被排出而形成為空體狀之窗部4 〇 3上以托架移送臂自空 儲放器EMP搬送空的專用托架κτ，並換載至昇降台而設置 人於本實施型態之一個緩衝部40 2上乃可收容16個被試 驗ic，又，設有記憶體，乃可記憶緩衝部4〇2之各ic收容 位置上所收容之被試驗IC之各個種類。 又’將儲放於緩衝部4 〇 2之被試驗I c之種類及位置以 ，被試驗ic為單位預先記憶，而將儲放於缓衝部4〇2之被 试驗I C所屬之種類之專用托架κτ自丨c收容部 1〇〇(UU〜UL5)叫出，而以上述第5及第6移送裝置406、 407將試驗終了之Ic收容於對應之專用托架^中。 接著說明其動作。 於IC收容部100之儲放器LD上收容有搭載著試驗前1(： ，專用托架KT，而將此專用托架KT設置於承載部20 0之窗 部202。自面臨於裝置基板2〇1之上表面之此專用托架以

482905 ΓΤ'------ 五、發明說明（26) 以第1移送裝置2 0 4 —次吸附例如四個被試驗I c，而將該 等暫時置於間距變更載台2 0 3而實行被試驗IC之位置修正 及間距變更。 接著使用第2移送裝置2 0 5將置入間距變更載台2 03之 被試驗I C 一次吸附例如四個，而自入口 3 0 3搬入試驗槽 3〇1内，而載置於靜止於位置CR1上之1C載置器CR。於試 驗槽301内，位置CR1因設有兩處，故第2移送裝置205係 對前述兩處之1C載置器CR交互搬運被試驗1C。此時，ic 载置器CR之快門15係被流體壓缸15 3(參照第6圖）所開 於各個位置CR1被試驗1C被搭載16個時，1C載置器CR 係以第6圖所示之順序CR1 — CR2 — · · 。—CR4搬送於試 驗槽301内，於其間，對被試驗IC施與高溫或低溫之溫度 壓力。 搭載著試驗前1C之1C載置器CR被搬送至試驗頭302之 兩側之位置C R 5時，係以圖外的擔止器打開I c載置器c r之 快門15，如第13圖（A)所示般第3移送裝置304之一方之吸 附頭（在此為左側）3〇4c下降而以間隔一個的方式吸附被 試驗I C (參照第1 〇圖），而再度上昇於此待機。於其同 日可’另方之吸附頭（在此為右側）3 〇 4 c係將吸附的八個被 試驗1C推壓於試驗頭302之接觸部3 〇2a而實行試驗。 抑此時，於左側的1C載置器CR5之上側不存在有排出載 置裔EXT (以兩點虛線揭示），故移動至試驗槽3 〇 }外之位 置EXT2。又，右側的Ic載置器CR5之上側中於Εχτι上存在

482905 五、發明說明（27) ~ — ' 有排出載置器EXT，係等待右側的吸附頭3〇4c上所吸附之 被試驗I C之試驗之終了。 如第11圖及第12圖所示，於吸附墊3 〇4c2上吸附八個 被試驗1C之吸附頭304c係以圖外的z軸驅動裝置將其全體 下降，此日守藉由使導引梢3〇4c5卡合於導引套筒3〇2a2， 可動座304c3相對於接觸部302a浮動於適當之位置。 於被試驗1C之焊球端子HB接觸於接觸部3〇2a之接觸 梢302al之前後，藉由作動流體壓缸3〇4c4使桿前端前進 乃介以推壓塊體304c9推壓可動座30杬3之上表面。藉此 推壓作用，即使吸附頭304c之推進器座3〇4cl之全體因熱 壓力或加工不良而變形，亦可將其吸收，使被試驗ic之 各個焊球端子HB推壓於各接觸梢3〇2al之力量約略均等。 >、如此，於右侧之吸附頭3 〇 4 c所吸附之八個被試驗^ c 之忒驗終了後，如第13圖（B)所示，將此等可動頭、 〇 4 b朝右側移動，將左側之吸附頭3 〇 & c所吸附之八個被 試驗=推壓於試驗頭302之接觸部3 02a而實行試驗。 方面，右侧的吸附頭3 0 4 c所吸附之八個試驗終了 欲被载置於待機中之排出載置器Εχτ，接著，此載置試驗 二了 1C之排出載置器ΕΧΤ係自試驗槽3〇1内之位置〇71被 移動至試驗槽301外之位置EXT2。 如此’於排出載置器Εχτ被移動至試驗槽3〇 1外後， 側的吸附頭304c係朝向位於右側位置CR5之1C載置器CR 降，而吸附剩餘的八個被試驗丨c再度上昇，而等待左 貝1的吸附頭3 〇 4c所吸附之被試驗丨c之試驗之終了。於此

第30頁 482905 五、發明說明（28) 吸附頭3 0 4c實行吸附之前’丨c載置器CR係移動間距Ρι以便 利用吸附頭3 0 4 c吸附剩餘的被試驗〗c (參照第丨〇圖）。 於其前後’左側的排出載置器Εχτ係移動至試驗槽 301内而在此位置ΕΧΤ1等待左側的吸附頭3〇4c所吸附之被 試驗I C之試驗終了。 如此’於左側之吸附頭3〇4c所吸附之被試驗1(：之試 驗終了後，將該等可動頭304b、3〇4b移動至左側，而將 右側的吸附頭304c所吸附之剩餘之八個被試驗IC推壓於 試驗頭302之接觸部3〇2a而實行試驗。 一方面，左側之吸附頭3〇4c所吸附之八個試驗終了 ic被載置至待機中之排出載置器ΕΧΤ，接著載置此試驗終 了 1C之排出載置器EXT係自試驗槽3〇1内之位置Εχτι矛夕動 至試驗槽301外之位置ext2。 夕 以下則重複此動作，相對於一個接觸部3〇2a係使兩 個吸附頭304c交互揍近，其一方係等待另一方試驗終 了，其一方之吸附頭3〇4c之吸附被試驗1(：之時間係 方之試驗時間所吸收，故可減少相等份量之變址時間 (index time)。 a 一方面，以上述試驗頭302試驗終了之被試驗 八個地被兩個排出載置器EXT交互排出試驗槽3〇之你 置EXT2。 丨心位 如第1 4圖所示，被排出載置器Εχτ排出 EXT2之八個試驗終了 iC係被第4移送裝置4〇4之吸附立置 404c—齊吸附，而被載至熱板4〇1之四個領域中之一個領 482905 五、發明說明（29) 域上。又，在以下的本實施型態中，係假設施加低溫壓 力之場合作說明，而於施加高溫熱壓力之場合則自:= 載置器EXT直接搬運至緩衝部4〇2。 搬送試驗終了 1C至熱板4〇1之一領域之第4移送狀置 404之吸附頭404c並不回到原位置，而係從熱板4〇ι = 載置之試驗終了 I C中於該位置吸附時間經過最久的八個 1C，而將被加熱過之試驗終了 1(:換載至位於下降位置之 緩衝部402之昇降台405 (在此為右側）。 如第14圖所示，藉由第4移送裝置之前一動作，載置 著八個試驗終了 1C之左側之昇降台4〇5係移動至上昇位 置，同時，右側的昇降台405移動至下降位置。於移動至 上昇位置之左側之昇降台405上係搭載著八個試驗終了 =，此等試驗終了 IC係被第5及第6移送裝置4〇6、4〇7依 試驗結果之記憶内容被移送至所屬之種類之專用托架 KT。第14圖為以第5移送裝置406將試驗終了 Ic拖韵= 用托架KT之例。 、戟置寻 以下則重複前述動作將試驗終了 IC換载至所屬種類 之專用托架KT，而於载出部400處，藉由將第4移送裝置 4〇4★與第5或第6移送裝置4〇6、407配置於不同高度位^ 使第4移送裝置4 〇4與第5及第6移送裝置4 〇6 動作，藉此乃可提高生產力。 了门^ ^ 又，以上所說明之實施型態係記載成可容易理解本 :::’而並非限定本發明用之記載。因此，上述實施 i恶中所開示之各要素應包含有屬於本發明之技術範圍 五、發明說明（30) 之全部之設計變更及均等物。 壓力之試驗槽301之〜二二中子係元:舉對，試驗ic施加熱 亦適用於前述槽型以外的電子元件試驗V置置，但本發明 又，本發明之推壓裝置並、^ ^ ^ 缸304c4，只要是^ γ & 阪疋於上述之流體壓 、要疋可推壓可動座3〇4c3之物品 〔發明之效果〕 曰^不川 使二所向述有所依Λ發明， 與可動座之被推壓面Η， 差因可被推壓裝置之推壓面 被試驗Ϊ 所作用之推壓力所吸收，故可使 觸+p 知子上之推壓力均一化，可防止接 增+良或端子破損。 特別是於大型的抽& $ 械性加因容易產生扭曲等之機 揮適用。、 本發明之誤差吸收效果乃可有效地發 〔圖式之簡單說明〕 梦置=^圖為揭不適用本發明之吸附裝置之電子元件試驗 仅置，貫施型態之立體圖。 載方=2圖為第1圖之電子元件試驗裝置之被試驗ic之換 執万决之概念圖。 第3圖為第1圖之雷； 送裝置之模式示意圖 件成驗裝置上所設之各種移 之構Ϊ4圖為揭示第1圖之電子元件試驗裝置之1C儲放器 <稱造之立體圖。

第33頁 482905 五、發明說明（31) 第5圖為揭示第1圖之電子元件 用托架之立體圖。 衣置所使用之專 第6圖為第1圖之電子元件試驗裝 器之搬送路徑及緩衝器載台之說明用用之1C載置 第7圖為第1圖之電子元件試驗裝置、σ ^體圖。、 器之實施型態之立體圖。 、用之1C載置 第8圖為第7圖之沿於ν π I - V Τ τ τ a 閉）。 VIU線之斷面圖（快門關 第9圖為第7圖之沿於丨乂― Ιχ線之 第1 0圖為第丨圖之電子元件試驗 2 $門打開）。 試驗1C之試驗順序之說明用俯視圖。、置之攻驗槽中之被 第11圖為揭示本發明之固持裝 圖（第3圖之XI箭視圖）。 罝之具^型態之正視 第12圖為揭示本發明之固持 — 圖（第3圖之XIJ箭視圖）。 、罝之貫施型態之側視 第13圖為第1圖之電子元件壯 試驗IC之換載方法之說明用之斷面1 試驗槽中之被 XIII- XI II線）。 圖（相昌於第3圖之 第Η圖為第1圖之電子元件試 驗1C之換載方法之說明 出部之被試 XIV- XIV線）。 口、相S於弟3圖之 〔付5虎之說明〕 I 電子元件試驗裝置 II 板體

第34頁 482905 五、發明說明（32) 12 凹部 13 塊體 14 I C收容部 15 快門 16 彈簧 17 導引用板體 100 收容部 101 試驗前I C儲放器 102 試驗終了 I C儲放|§ 103 托架支持框 104 昇降器 112 滑輪 113 定位用孔 153 開口部 154 貫通孔 171 導引孔 181 開閉用塊體 182 快門開閉機構（流體壓缸） 200 承載部 201 裝置基板 202 窗部 203 間距變更載台 204 第1移送裝置 205 第2移送裝置

第35頁 482905 五、發明說明（33) 204a 、 205a 204b、 204c、 204d ^ 20 5e 300 310 302 302a 30 2al 30 2a2 303 304 304bl 304c 304cl 304c2 304c3 304c4 304c5 304c6 304c7 304c8 311 、 304a、404a、40 6a 404b、40 6b、40 7b 304b 、 406c 、 407c 304c 、 404c 、 406d 定位用梢 槽部 試驗槽 試驗頭 接觸部 接觸梢 導引套筒（導引裝置） 入口 第3移送裝置 基座 吸附頭（固持裝置） 推進器座 吸附墊（固持墊） 可動座 流體壓缸（推壓裝置） 導引梢（導引裝置） 浮動機構 梢 彈簧 314 昇降器 407a 20 5b 205c 20 5d 407d 軌道 可動臂 可動頭 吸附頭

第36頁 482905 五、發明說明（34) 400 載出部 401 熱板 402 緩衝部 404 第4移送裝置 405 昇降台 406 第5移送裝置 407 第6移送裝置 404a 、406a 、 407a 執道 404b 、406b 、 407b 可動 404c 、404d 、 406d 、 407d 406c 、407c 可動頭 CR I C載置器 CR卜 CR6 、 EXT1 、 EXT2 位 EMP 空儲放器 EXT 排出載置器 HB 焊球（端子） KT 專用托架 LD 儲放器 吸附頭 _ UL1〜UL5 儲放器 > P2 間距

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Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1 · 一種電子元件試驗裝置用 子元件之端子推壓於試驗頭之接= 被試驗電 其特徵在於包括： 觸部而Λ仃試驗者， 動;推進器座，相對於前述接觸部設成可接近·分離移 固持前述ί子;：座士：為可動狀’且具有 朝向部;;前述推進器座側而可將前述可動座 2·種電子元件試驗裴置用固持梦晋，脸、^ 子元件之端子推壓於試口持衣置將破試驗電 其特徵在於頭之接觸部而實行試驗者， 一個推進器座，設成相對於乂 接近·分離； 、複數之刖述接觸部為可 複數個可動座，相對於前述一個 成可動狀，並分別呈右^ 推進的座分別設 以及 刀別具有固持财述電子元件用之固持塾； 複數個推遷奘| ^ 各可動座朝向前述各個；推進器座側而可將前述 3如申喑真^ 觸部相互獨立地推壓。 置用固持裝；i;，1/厂或第2項之電子元件試驗裝 器座之基座上者。 糸。又於支持W述推進 置用4固；Π專第2項之電… 中至少則述推進器座及可動座為可更 第38頁 、申請專利範圍 換機種之元件者。 蓄田5·如申明專利範圍第]項或第2項之電子元件試驗壯 固巧？置：其尹於前述可動座側設置推壓塊俨，： U推壓裝置係介以前述推壓塊體推壓前；： ，如申請專利範圍第】項或第2項之電子 :固持裝置，其中於前述接觸部側及前述可動 ： =置將固持於前述固持墊上之二 别述接觸部作位置對合用之導引裝置者。電子几件與 7·如中請專利範圍第j項或第2項之電 =固持裝置，其中前述推壓裝置於將前述固持; 器座移動時’係將可動座朝向前述接觸部推^述推進 置用固；Γί專第1項或第2項之電子元件試驗裝 於可對前二式驗：； 推進器座及可動座係被設 者。这被5式驅電子元件施加溫度壓力之恆溫槽内 或第2·項之種固\子裝70置件者試驗裝置，具有申請專利範圍第1項 端子^壓·^Μ 71 將被試驗電子元件之 知子推壓於試驗頭之接觸部上而卞兀仵之 其特徵在於： 只仃4者， =前述被試驗電子元件； 前述接觸部；以及 ^兩個U上的固持墊同時接近 482905 六、申請專利範圍 接著使前述固持墊相互獨立作動而將前述被試驗電 子元件之端子分別獨立地推壓至前述接觸部者。