TW463203B - High intensity light irradiation apparatus - Google Patents

Description

A7 B7 463203 i、發明說明（1 ) 本發明係關於，使用可放射高輸出紫外線之電介体 障壁放電燈之高強度光照射裝置，特別是關於，將支持 構件予以簡化及輕量化’使裝配' 更換較容易之高強度 光照射裝置》 電介体障壁放電燈已普遍被當作半導體製造裝置， 或液晶製造裝置之紫外線硬化性樹脂之硬化、排氣之淨 化、化合物之合成等之紫外線光源，在各種領域被廣泛 利用。 傳統之高強度光照射裝置，係如第3圖表示其_方 端部之截面圖所示，由：備有同心狀配置之石英玻璃或 藍寶石製成之紫外線穿透性電介体外管11及電介体内管 12’及由兩端之端壁13所圍繞，並填充有稀有氣体（氬氣 、氪氣、）之放電空間14之電介体障壁放電燈1 ;設在電 介体外管11表面之網狀電極或透明導電膜等之光穿透性 外侧電極21 ’及設在電介体内管12表面之螺旋狀之内側 電極22 ;以及，在外側電極21及内側電極22間施加交流 電壓之交流電源（未圖示）所構成，經由電介体管11、12 層在放電空間14進行電漿放電，以發出高強度之紫外線 〇 在使用這種傳統之電介体障壁放電燈1之高強度光 照射裝置，為了冷卻放電燈1，使冷卻水在電介体内管J 2 内循環。 而在放電燈1配設冷卻構件之同時’為了支持具有 光穿透性電介体外管11及電介体内管12之放電燈1，具 本紙張尺度適用1國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） -------------裝-------訂--------|線· - 1 · I <靖^閱讀览面之注意事項再填寫本買) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_______ 五、發明說明（2 ) 備有支持構件9。 此支持構件9係由：較所支持之放電燈1為長之棒構 件91 ;從此棒構件91之兩端豎立，設有與棒構件91平行 之螺栓孔93之兩個凸部92 ;扭進此等兩個凸部92之螺栓 孔93之按壓構件94 ;以及，插通於按壓構件94，備有使 冷卻水通過之貫穿孔96及突緣97之滑動構件95 ;所構成 藉如此之支持構件9支持放電燈1時，可從兩側之凸 部92之外側將按壓構件94扭進一半，從内側將滑動構件 95插入按壓構件94之貫穿孔，再以滑動構件95，介由設 在滑動構件95之突緣97之封閉用襯墊5,夾住放電燈1之 兩端部。 然後’再進一步扭進按壓構件94，介由突緣97將滑 動構件95推向内側，縮小兩滑動構件95之間隔，調整挾 持放電燈1之強度。為了使冷卻水經由此等兩個滑動構 件95之貫穿孔96循環，將軟管結合在供•排水耦合器98 ’將放電燈1之外側電極2 1及内側電極22連接在交流電 源，而完成裝配。 支持長放電燈1之支持構件9，不可以在動作中發生 變形，因此其機械結構很牢固。因此，支持構件9有變 大、變重之傾向。 而將由如此又大又重之支持構件9支持之放電燈1安 裝在應用裝置時’設計之自由度受到很大限制，同時有 ’在放電燈1之壽命到需要更換時’手續很麻煩之問題 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐 --— — — — — — —— — — — - — — — —III ·11111111 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 63 20 3 A7 B7 五、發明說明（3 ) 〇 因此，本發明之高強度光照射裝置，係為了簡化及 輕量化，使安裝或更換較容易而創製者-本發明之高強度光照射裝置係在，由： 備有同心狀配置之光穿透性電介体外管11及電介体 内管12，以及由兩端之端壁13所圍繞，並填充有稀有氣 体之放電空間14之電介体障壁放電燈1 ; 設在上述光穿透性電介体外管11表面之光穿透性外 側電極21，及設在電介体内管12之内側電極22 ;以及， 對上述外側電極21及内侧電極22施加交流電壓之交 流電源；所構成之高亮度光照射裝置，具備有： 插通於上述電介体障壁放電燈1之電介体内管12， 外徑較電介体内管12之内徑細之金屬棒3;以及， 封閉上述電介体障壁放電燈1之兩端部，同時備有 供插通上述金屬棒3之孔之挾持構件4 ; 而以上述挾持構件4挾持上述電介体障壁放電燈1之 兩端部，藉上述金屬棒3保持上述挾持構件4。 本發明之高強度光照射裝置係如在第1圖表示其一 方端部之載面圖所示，由：備有同心狀配置之石英玻璃 等之紫外線穿透性電介体外管11及電介体内管12，以及 ’由兩端之端壁13所圍繞，並填充有稀有氣体（氩氣、氣 氣、）之放電空間14之電介体障壁放電燈1 ;設在電介体 外管11表面之網狀電極或透明導電膜等之光穿透性外侧 電極21，及設在電介体内管12表面之螺旋狀之内側電極 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------- . i 1 I — I 訂--------1 厂 . ί ί請先閱讀'1面之注*事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作杜印製 五、發明說明（4 ) 22 ;以及’在外側電極21及内侧電極22間施加交流電壓 之交流電源（未圊示）；所構成。 (第1實施形態） 支持放電燈1之支持構件，係如在第1圖表示其一方 端部之截面圖所示，由插通於放電燈1之電介体内管12 内，外徑較電介体内管12之内徑細之兼用作内側電極之 金屬棒3，以及’夾住放電燈1之兩端部，同時備有插通 金屬棒3之貫穿孔之挾持構件4所構成。 金屬棒3在兩端部有扭裝螺帽6用之螺紋，具備有： 沿轴心從端部貫穿至途中之貫穿孔31 :為使冷卻水經此 貫穿孔3 1循環，而分開間隔放射方向穿設之可連通貫穿 孔31之孔32、32 ;以及，封閉貫穿孔31端部之螺栓34。 挾持構件4備有，可插通金屬棒3之貫穿孔41，及插 入供·排水用核合器42之放射方向開口之一個孔43。再 者，絕緣蓋8係用以保護端部。 其次，說明使用金屬棒3及挾持構件4裝配放電燈1 之支持構件之程序。 將金屬棒3插通於放電燈1之電介体内管丨2内，在放 電燈1之兩端介由封閉用襯墊5將挾持構件4嵌入金屬棒3 ，再介由墊圈61將螺帽6扭進金屬棒3，將挾持構件4固 定在放電燈1之兩端。 在兩耦合器42結合供冷卻水循環之軟管，將放電燈 1之外側電極21及金屬棒3連接到交流電源，而完成裝配 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格⑽x 297公爱） --------- ----!11 丨訂------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 A7 ---------- B7 五、發明說明（5 ) 從一方之耦合器42流入之冷卻水，從金屬棒3之孔32 流入貫穿孔3 1内，從孔33流出流過金屬棒3與電介体内 管12間之空隙7，冷卻電介体内管12。而冷卻水則從相 反側之孔33進入金屬棒3之貫穿孔31内，再由孔32流出 ，經另一側之耦合器42排出。 因電介体内管12内有金屬棒3，空陈7變窄，冷卻水 之流速變快’可以提高冷卻效率。再者，不在放電燈1 之電介体内管12表面設内側電極時*藉冷卻水之導電性 向金屬棒3通電即可。 (第2實施形態） 第2實施形態之支持放電燈1之支持構件，係如在第 2圖表示其一方端部之截面圖所示，由插通於放電燈1之 電介体内管12内，外徑較電介体内管12之内徑細之兼用 作内侧電極之金屬棒3，以及，夾住放電燈1之兩端部之 挾持構件4所構成。 金屬棒3在兩端部有扭裝螺帽6用之螺紋，挾持構件 4備有，可插通金屬棒3之貫穿孔41，插入供•排水用耗 合器42之放射方向開口之一個孔43，及與金屬棒3同心 狀内徑較金屬棒3之外徑大之開口 44。 裝配時，將金屬棒3插通於放電燈1内，在放電燈i 之兩端介由封閉用槻墊5將挾持構件4嵌入金屬棒3,再 介由墊圈61將螺帽6扭進金屬棒3，將挾持構件4固定在 放電燈1之兩端。 在兩_合器42结合供冷卻水循環之軟管，將放電燈 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） ---I----------i ------I------_漆， i ' ^ (锖先閲讀t面之注意事項再填鸾本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 B7 —------------- 五、發明說明（6 ) 1之外側電極21及金屬棒3連接到交流電源，而完成裝配 〇 從耦合器42流入之冷卻水，經金屬棒3與挾持構件4 之開口 44流過空隙7，冷卻電介体内管12。而經另—側 之金屬棒3與挾持構件4之開口 44及耦合器42排出。 因電介体内管12内有金屬棒3，電介体内管12與金 屬棒3間之空隙7變窄，冷卻水之流速變快，可以提高冷 卻效率。 從參照以上之實施形態所作之說明可以瞭解，依據 本發明之兩強度光照射裝置時，因為冷卻並支持電介体 障壁放電燈之支持構件之零件數很少，可以將支持構件 簡化及輕量化，裝配或更換極容易。 圖式之簡單說明 第1圖係表示本發明之高強度光照射裝置之第1實施 形態之端部之載面圖。 第2圖係表示本發明之高強度光照射裝置之第2實施 形態之端部之截面圖。 第3圖係表示以支持構件支持傳統之電介体障壁放 電燈之狀態之一個例子之端部之截面圖。 ---- -------- -裝 ---II 訂-------— ·線 ί請先閲讀脅面之注意事項再填寫本頁)

A 6' ί A7 B7 五、發明說明（7 元件標號對照 1.. .電介体障壁放電燈 3.. .金屬棒 4…挾持構件 5.. .封閉用襯墊 6…螺帽 7…空隙 11.. .紫外線穿透性電介体外管 12.. .電介体内管 13.. .端璧 14.. .放電空間 21.. .光穿透性外側電極 22.. .内側電極 請 先 閱 讀 .背· 之 意 事 項 再~ !裝 頁 訂 線7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 10

Claims (1)

1. 4632 A8 B8 C8 D8

   經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 六、申請專利範圍 第89101630號專利申請案申請專利範圍修正本 修正曰期：90年9月 1 _ 一種高強度光照射裝置*其係由：備有同心狀配置之光 穿透性電介体外管及電介体内管，以及由兩端壁所圍繞 ，並填充有稀有氣体之放電空間之電介体障壁放電燈； 設在上述光穿透性電介体外管表面之光穿透性外 側電極，及設在電介体内管之内側電極：以及， 對上述外側電極及内侧電極施加交流電壓之交流 電源所構成，其特徵在於，具備有： 插通於上述電介体障壁放電燈之電介体内管，外 徑較電介体内管之内徑細之金屬棒；以及， 封閉上述電介体障壁放電燈之兩端部，同時備有 插通上述金属棒之孔之挾持構件； 藉上述挾持構件挾持上述電介体障壁放電燈之兩 端部，以上述金屬棒保持上述挾持構件。 2. 如申請專利範圍第i項之高強度光照射裝置，其特徵在 於’將電介体障壁放電燈之電介体内管與金屬棒間之空 隙’當作冷卻水之流路。 3. 如申請專利範圍第2項之高強度光照射裝置’其特徵在 於’在挾持構件設供水及排水用之開口。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 lllEll!ll]Ii^ — — — — — — — )-3J- i I 1 —· — I — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11