TW459166B - Photoresist remover and a removing method therewith - Google Patents

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Description

45 916 6 at _B7五、發明說明（1 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之 示體入目往所卩 ^ ti 境剝溫，或，水溶生 求 液 顯阻注其以類 ί ί 環有高且劑時以不産 企 0 板光子供。酸tfc液ΙΙΙΓ®之另在而溶洗接有理 所 剝 平，離提液磺 離 等，須。機沖直會處 液 該 等中如於離基¾剝 理題必題有水而時， 離 用 置圍例常剝芳),性55處問或問之以劑洗能 剝 使 裝範 < 通用之報酸 Ρ35液有，種等再溶沖性 體 按 9 及 示術理，使等公之§|«4 廢言強各類後機於器 阻 液 顯技處時多酸號物 U2-就而用等醇洗有惟儀 光 離 晶種化用大磺77.合86，全作液由冲之 ，響 知 剝 液各造使時苯35化 fIH液安蝕離藉劑等題影 習 --aJ^^* 之 、等構料體的 1条 離之腐剝後溶醇問， 述 J 體 造造之材阻知 4 酚} 。剝體以的理機用的上 上 阻 製製物罩光已?5苯報 等之人言份處有使雜板 足 召 曰 光 之的人為該有 P 或公 體對而充離以不煩基 滿 種 路件植做去偽 U 劑號液 i 阻或料具剝須於程於 全 持 7 公 一 。回零如體除液 溶 5 離 光，材液須必且工著 完 關法體示或阻。離 機53剝 3 的題線離必惟.，有附 可 有方積顯罩光去剝(H有-3鹼04知問配剝中 1雜没再。供 偽離體之刻 。除之液糸62的08己有對使理洗煩雖而題提 明剝導}蝕用以體離氯昭份-2往言 、法處冲為，，問明 發體半PD為使予阻剝合開成63以而弱無離以極時出的發 本阻於(F做罩後光的配待須昭該全力仍剝予程洗析佳本 光 器偽用的，成中本必開 安離下於水I冲物不 本紙張尺度適用中國画家標準（CNS)A.4規格（210 X 297公釐） 裝·-------訂·-------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 45 916 6 A7 B7
五、發明說明（） 的各種待性之剝離液，卽剝離液本身之溫度為常溫，且 在短時間内可使光阻體完全剝離，對配線材料等之腐蝕 作用少，於剝離工程後即使藉由水沖洗仍不會有不溶物 析出，兼具有做為再附著防止劑的功能，另對環境及人 體而言安全性高的光阻體剝離液，以及使用該剝離液之 光阻體的剝離方法。 本發明人等經過再三深入研究的結果，發現藉由在钊 離液中含有下述一般式（I )所示之嘧啶酮化合物，可解 決上述問題，遂而完成本發明。 (I) (其中，1^及1^各為氫原子或碳數1〜4之烷基） 換言之，本發明係有關含有上述一般式（I )所示之嘧 啶酮化合物的光阻體剝離液。 而且，本發明亦有閼使用含有上逑一般式（I )所示之 嘧啶酮化合物的光阻體剝離液，以使光阻體剝離的方法。 本發明所使用的上述一般式（I )所示之嘧啶酮化合物 ，例如有1,3-二甲基-3,4,5, S-四氫嘧啶酬（二 甲基丙烯尿素）、1,3 -二乙基-3t4,5,6~四氫- 2(1H) -嘧 啶麵、1,3-二-正-丙基- 3,4,5,6-四氫- 2(1H)_嘧啶酮、 1,3-二-異-丙基-3, 4, 5,6-四氫- 嘧啶國等。此等 嘧啶酮化合物可單獨或二種以上組合使用為剝離液。本 發明可直接使用嘧啶酮化合物做為光阻體剝離液，即可 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） .------^-------:—訂---------線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 45 91 6 6 Al _B7五、發明說明（3 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 他如醯 _ ，用。 光浸更。接 物離箸影地 可脂 其例甲*.類使佳 行鐘，法密。離剝附良效 仍樹 與 ，基 1 酮合較。進分波方高離剝至再不有 時醛 物劑甲㊣之混上小來數音之提剝被直會到可 體酣 合溶二$°等上以果液中超需為地去，不受故 阻漆 化的 以 X 效離液用所，易除且後能， 光清 酮合類 C 乙種量之剝離併其理容地而離性生 何卩 啶混胺 基二重物體剝 、視處可易。剝品産 任於 嘧物之貞甲或10合咀之溫用離亦容液於物題。之用 Ο 用合等?i、獨以化光溫加採剝體可離且之問等知使體 使化胺if酮單量酮之室液可行阻洗剝 ，等有器習為阻 可酮丙ZI丙可含啶物在離亦進光沖體出板會儀於傜光 且啶異 f ，劑之嘧合物剝中來之水阻析基不 D 用果型 ，嘧基 f 類溶物用化離使明液烤以光物體液ΓΡ使結正 液述甲 U 酯之合使酮剝可發離烘由的溶導離 、使的条 物上Ν-β 酸等化 ，啶被 ，本剝後藉物不半剝路即佳 J 合與 、^乙此_時嘧使時於之行 ，合有使之回液特物 化可胺 τ 其。啶％含可此，明進後化會會明體離，合 酮。醇-2及等嘧量明，。力發下理酮不不發積剝果化 啶者乙基，碼中重發時可離本溫處啶時，本體之結氮1 嘧合單甲類亞掖10本離即剝用高離嘧洗上於導明的偶J] 0¾混 'Ν-pg基離於用剝理高使在剝含冲板由半發好二_ 10劑水 、醇甲剝小使體處提由，於之於基，理本良酲 使溶有胺之二 。若 阻漬可藉性 上液於響處 得 \ t ------------'裝--------訂---------線 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 4 5 916 6 _B7_ 五、發明說明（4 ) 於下逑中，Μ由實施例更具體地説明本發明，惟本發 明不受此等所限制。 (剝離試驗） 實施例1〜1 3、比較例1〜4 使用二甲基丙烯尿素（DMPU)、單乙醇胺（ΜΕΡ)、 Ν -甲 基異丙胺（ΜΙΡΑ)、 Ν -甲基-2-吡咯烷酮（ΝΜΟ)、二甲基亞 碼（D M S 0 ),作成表1所示具實施例1〜1 3及比較例1〜4 之組成的1 7種剝離液。然後，如下述作成剝離試驗所使 用的光阻體樣式，且使用1 7種剝離液來進行剝離處理。 換言之，首先在4吋矽晶圓上回轉塗覆芜拉瑞曰本 股份有限公司 製光阻體A Z T F Ρ - 6 5 Q，且在1 Q 0 °C下熱 壓製3 Q秒間，予以烘烤，製得1 . 5 # m厚之阻體膜。使該 阻體膜以G C A公司製g線分光曝光器（D S W 6 3 Ο 0、Ο = 0 . 3 0 ) 進行曝光後，藉由2 · 3 8重量ίϊ氫氧化四甲銨水溶液U Ζ 3 0(^1?:克拉瑞日本股份有限公司製），在23°(：下顯像60秒， 進行阻體樣式之形成。然後，在1 2 (TC或1 4 (TC下進行 1 2 0秒之後烘烤（加熱處理），使用表1之具實施例1〜1 3 及比較例1〜4之組成的剝離液，在2 3 °C及5 (TC之2種剝 離液溫度下各浸漬1分鐘，進行各阻體樣式之剝離。 觀察結果如表1所示。 而且，表中剝離之評估係以下逑之評估基準予以評估。 〇 光阻體完全剝離。 △ 光阻體稍有殘留。 X 光阻體明顯地殘留。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A.l規格（210 X 297公釐） ^---------訂---------線— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 45 916 6 五、發明說明（） 表1 A7 B7 剝離液組成 剝離液溫度23°C 剝離液溫度50°C 後烘烤溫度 後烘烤溫度 120¾ 140eC 120¾ 140¾ 實施例1 DMPU 100% 〇 ο 〇 〇 實施例2 MEA :DMPU = 9:1 0 Δ 〇 〇 實施例3 MEA :DMPU = 7:3 0 ο 〇 〇 實施例4 MEA :DMPU = 5:5 Ο 〇 〇 〇 實施例5 MIPA :DMPU = 9:1 Ο Δ 〇 〇 實施例6 MIPA :DMPU = 7:3 ο 〇 〇 〇 實施例7 MIPU :DMPU = 5:5 ο 〇 〇 〇 實施例8 NMP : DMPU = 9:1 ο 〇 〇 〇 實施例9 NMP :DMPU = 7:3 0 0 〇 〇 實施例10 NMP :DMPU = 5:5 0 ο 〇 〇 實施例il DMSO:DMPU = 9:1 ο ο 〇 〇 實施例12 DMSO:DMPU = 7:3 0 ο 〇 〇 實施例13 DMSO:DMPU = 5:6 ο ο 〇 〇 比較例1 MEA 100% X X △ Δ 比較例2 MIPA 100* X X △ △ 比較例3 NMP 100X ο ο 〇 〇 比較例4 DMSO 100% ο ο 〇 〇 -I n H-. n n. 1^1 I n m I 一°'， - <1 I {請先閒讀背面之泫意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (再附著性試驗） 假設於剝離後以水沖洗，且進行純粹沖洗時之耐附著 性試驗。下逑之實施例Μ〜2 6及比較例5〜8之試驗，在 一定水中添加溶解含有光阻體之剝離液時，藉由測定該 添加水溶液之透明度予以進行者，如下述該試驗與實際 之冲洗結果有相關關偽。 實施例1 4〜2 6、比較例5〜8 __ α _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格U10 X 297公_楚） 45 916 6 A7 _B7_ 五、發明說明（6 ) 使芫拉瑞曰本股份有限公司製剝離液A Z 了 F P - 6 3 G所成的溶 去 i 除例 發施 蒸實 劑與 的 燥 乾 備 準 以 燥 乾 其 使 且 例 較 尿 烯 丙 基 甲 二 用 使 地 同 相 素基 胺 乙 單 胺 丙 異
酮 垸 略 IX 例 施 實 之 表各 且 i ^ls g 而 10液 對離 ， 条 0)的 Ms成 (D組 碼之 基558 甲 - ^ I 基 5 K __ 甲例 -—.二 較 EA、比 Μ ) . ί Ρ 及 甲 '入 Γ 48滴以 g各液 α水溶 4'純該 厂 1 使 oom且 解30, 容對液 離之 彔 —1 解法 溶方 50驗 -6試 FP水 Τ排 ΑΖ場 燥 Η 乾02 該 ο 視 做 透 度 )c深 度的 視察 透觀 程無Η至濁— , 直 混 之 a 〇 水 2 示 察0.所 ΙΙΒ; f yt ，移表 法各如 方板果 定識結 測標 。 的使度 度以視 視偽透 透度為 --------：------4·-- {諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 45 916 6 B7 五、發明說明（7 ) 表2 添加量(g) 透視度(cm) 0,174 0.378 0,522 0.696 0.870 1Ό44 實施例14 DMPU 100X >30.0 >30.0 >30.0 29.6 27.4 26.0 實施例15 MEA :DMPU = 9:t >30.0 >30.0 >30.0 >30.0 >30.0 29-2 實施例16 MEA :DMPU = 7:3 >30.0 >30.0 >30.0 >30.0 >30.0 29.2 實細17 MEA : DMPU = 5:5 >30.0 >30.0 >30.0 >30.0 >30.0 29.2 宵施例18 MIPA :DMPU = 9:1 >30.0 >30.0 >30.0 )30.0 29,4 29.0 實施例19 MIPA :DMPU = 7:3 >30.0 )30.0 >30.0 >30.0 29.6 28.6 宵施例20 MfPU :OMPU = S:S )30.0 >30.0 >30.0 >30.0 )30.0 29.4 實施例21 NMP :DMPU = 9:1 >30.0 >30.0 >30.0 29.6 26.8 24,6 實施例22 NMP :DMPU = 7:3 )30.0 >30.0 >30.0 29.6 26.8 24,8 實施例23 NMP : DMPU = 5:5 >30.0 >30.0 >30.0 29.4 27.0 25.0 實施例24 DMSO:DMPU = 9:1 >30.0 >30.0 >30.0 26.8 26.2 2A2 實施例25 DMSO:DMPU = 7:3 >30.0 >30.0 >30.0 29.0 26.2 24Ό 實施例26 DMSO：DMPU = 5:5 )30.0 >30.0 >30.0 29,0 26.4 24,2 比較例5 MEA 100X >30.0 >30.0 >30.0 28.Θ 112 21.4 比較例6 MIPA 100% >30.0 >30.0 >30.0 2β.Ο 26,6 21.2 比較例7 NMP 100% )30.0 >30.0 26.8 20.0 9.2 4.6 比較例8 DMSO 100X )30.0 >30.0 26.2 19.2 8.4 3.2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而且，與實施例1〜13相同地形成阻體樣式，在140°C 下進行後烘烤（加熱處理）1 2 0秒後，以實施例1 5、 1 9、 2 3及比較例7之剝離液處方，且在2 3 °C之剝離液溫度下 浸漬1分鐘以進行阻體樣式之剝離，再以純水沖洗，使 用實施例15、 13及23之剝離液時不會有不溶物析出，而 使用比較例7之剝離液時會有不溶物析出。由該結果可 知，籍由上述透視度可確認剝離試驗的結果與實用上再 附著防止作用有相關關偽。 一 9 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 45916 6 A7 B7 到間 ，蝕優予 得時出 腐且地 法短析之速全 無 、質等迅安 内溫雜料可可 間低有材故且 時在會線 ，， 短僅不配異等 旦不時對® 器 溫液洗 ，為儀 高離冲等極 D 在剝 之板性 F ，之後基全 、 液明離之安路 離發剝物之回 剝本且理體體 之而 ，處人積 ) 體 ，離被及體 ，阻性剝於境導 (1]光離地著環半 明 的剝易附對理 。 說 Μ 往 s 容再，gljg ^ P 以 s 可會少地製 發 [ 充内不性異以 ' 五 -------------^------,!--訂，---------線- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐）

Claims (1)

  1. 公告本z，5 91 6 6六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 體啶 阻嘧 光之 種示 一 所 式 般 1 述 下 以 有 含 為 徽 特 其 V
    :CM 及 } 啶 基嘧 烷 ， 之中 4 -~ 其 1* ， 數液 0 離 或剝 子體 原阻 氫光 為之10 各項 ~ 傜 110 2 第為 ΐ圍量 範含 1 R 利之 ，專物 中請合 其申化 ( D 同 如 0 2 量 S 中 其 液 隹 HU 彔 獲6 PJ3 I 阻,5 4 光 ， 之-3 項基 〔.」 2 或二 I 1 3 第 1 圍為 範物 利合 專化 請酮 0 申啶酮 如嘧啶 氫 四 範者 ί 離 專剝 請體 申阻 如光 用使 使以 為液 徽離 待剝 其體 ，阻 法光 方之 離項 剝 3 之或 體 2 阻 、 光 1 種第 一 圍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 味
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