經濟部中央標準局員工消費合作社印製
^52565 A7 __B7_五、發明説明C ) 1 〔發明之背景〕 本發明係有關搬運收容有半導體昌片等之被處理體之 卡匣於安置卡匣之等候位置和從卡匣要取出被處理體之被 處理體搬出位置之間用的卡匣搬運機構。 一般，對於半導體晶圓進行各種處理，例如，成膜（ 形成膜）處理或蝕刻處理或熱氣化處理等之時，首先，將 會收容有多數片，例如2 5片之晶圓之卡匣於卡匣室內。 而被收容於卡匣室內之卡匣內之晶圓，而後會在真空環境 下，由搬運臂藉轉移（Transfer)室被送到處理室。 當要安置卡匣於卡匣室內之時，卡匣係以其晶圓搬出 (搬）入口成朝上之狀態下來設置於卡匣室之載物台（ sUge )上。而後，卡匣就由裝配於卡匣內之吊橋式之驅動 機構來旋轉略爲9 0度之同時，被取進於卡匣室內，而使 該晶圓搬出入口會從朝上定向成朝水平方向。 一般，對於具備一個搬運臂之一個轉移室，連接有複 數之例如二個之卡匣室。因此，各卡匣，將被定向成水平 方向之晶圓搬出入口，會定向成朝向搬運臂之進退方向， 以令一個搬運臂可對於二個之卡匣室內之各卡匣進行存取 〇 第12圖係顯示由前述之一連串之動作來使半導體晶 圓W送至處理室加以處理之叢集式工具裝置。該叢取式工 具裝置，主要由：二個之處理室2、4 ;被連接於處理室 2、 4之-個轉移室6:及被連接於轉移室6之二個卡匣 室8、 1 0所構成。各室彼此係藉可關閉成氣密之閘閥G (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用t國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 4§256 5 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2 ) ，形成可互相連通。如第1 3圖所示，在轉移室6內，配 設有要進行搬入•搬出被收容於各卡匣室8、 10內之卡 匣C之半導體晶圓W用之可屈伸及可旋轉之例如多關節式 之搬運臂1 2。 一般，可由系統整體之結構或其他條件，而使卡匣C 必得以形成其本身可朝向圖中之X軸方向且其晶圓搬出入 口14朝向上方（朝Z軸方向）之狀態下來載置於各卡匣 室8、 1 0之閘門G 1外側之載物台。因此，若要使卡匣 C取進於卡匣室8、 10之同時，以一個搬運臂12來從 二個之卡匣室8、 10內之各卡匣C、 C予以取出半導體 晶圓，必得朝垂直方向扶起卡匣C之同時，朝水平方向旋 轉卡匣C，以令晶圓搬出入口 1 4可朝向搬運臂1 2之中 心方向（進退方向A )。 可實施如此之動作的裝置，乃揭示於美國專利第 5 1 86 594號或美國專利第55076 1 4號。在美 國專利第5 1 8 6 5 9 4號，將以晶圓搬出入口 1 4朝上 之狀態下被載置於卡匣室8外側之載物台之卡匣C，由吊 橋式之驅動機構朝圖中Y軸周圍旋轉9 0度，以被取進於 卡匣室8內之同時，將朝上方（Z軸方向）之晶圓搬出入 U14使之成爲朝水平方向（X朝方向）。接著，卡匣C ，將由樞軸機構朝圖中Z軸周圍被旋轉所定之角度Θ ，而 使其晶圓搬出入口 1 4形成朝向臂1 2之中心側（參照第 14圖）。又美國專利第5507614號’係以旋轉對 於重力方向具有所定角度被定向之傾斜軸’以令卡匣 <:可 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
'1T 本紙依尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2)0X 297公釐） -5- 4 5 256 5 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（3 ) 一 口氣地被定位於所定之位置，而使晶圓搬出入口 1 4朝 向於臂1 2之中心側= 惟在美國專利第5 1 8 6 5 9 4號之裝置，因除了吊 橋式之驅動機構之外，另外需要樞軸機構，亦即，個別地 需要使卡匣C朝Y軸周圍旋轉9 0度用之驅動機構及使卡 匣C朝Z軸周圍旋轉之驅動機構，因而，其結果，在真空 室內之驅動機構會成爲複雜且多而製造成本會增高之同時 ，具有所謂增大所產生之粒子之問題。又美國專利第 5 5 0 7 6 1 4號之裝置’因形成所謂旋轉驅動朝傾斜方 向展延之轉軸之構造’因而，較與水平方向之旋轉驅動會 在旋轉機構部增多偏移碰撞之部分，使之該所增加之部分 會增多粒子之產生量。又因以傾斜方向來旋轉卡匣C，使 之旋轉所需要之空間變爲大，將會使（卡匣）室成爲大型 化。 〔發明之槪要〕 本發明之目的’係擬提供一種用以搬運收容有半導體 晶圓等之被處理體的卡匣於安置卡匣之等候位置和從卡匣 要取出被處理體之被處理體搬出位置之間用的卡匣搬運機 構，尤其，擬提供一種可抑制在卡匣室內產生粒子，且可 企圖卡匣室之小型化之同時，可在卡匣室內使晶圓搬出入 口朝向被處理體搬出方向，亦即朝向臂之存取方向的卡匣 搬運機構者。 本發明之目的，乃由以下之卡匣搬運機而可達成，亦 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -6- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 45 256 5 A7 _ __B7 五、發明説明（4 ) 即，卡匣搬運機構係具備有：用以收容保持有複數被處理 體之卡匣的卡匣室；被形成於卡匣室，容許對於卡匣室進 行卡匣之搬出搬入用之搬出入口；被形成於卡匣室，並對 於卡匣搬出入口之開口方向成所定之角度開口，而容許對 於卡匣室進行被處理體之搬出搬入用之被處理體搬出入口 :被設成可升降於卡匣室內之升降台；被安裝成可在升降 台旋轉，且朝對於被處理體搬出入口之開口方向略成正交 (垂直相交）之方向展延之軸；被固定於軸，具備有支撐 卡匣底面之底面支撐部及支撐卡匣背面之背面支撐部，並 將由該等支撐部所支撐之卡匣，使之朝向被處理體搬出入 口之開口方向用之卡匣支撐台；及響應於升降台之升降動 作來旋轉上述軸，以令卡匣支撐台旋轉於卡匣室內之第1 位置和卡匣室外之第2位置間用之旋轉機構。 〔發明之較佳之實施形態〕 以下，將參照圖式之下來說明有關本發明之一實施例 第1圖係顯示由一連串之動作來輸送半導體晶圓W至 處理室，以進行處理的叢集式工具裝置1 。該叢集式工具 裝置1 ，主要乃由二個之處理室2、4 ’和被連接於處理 室2、4之一個轉移室6 ，及被連接於轉移室6之二個卡 匣室1 8、2 0所構成。各室彼此係藉可封閉成氣密之閘 閥G形成可互相連通。在轉移室6內，則配設有要進行搬 出.搬入被收容於各卡匣室18、20內之卡匣C之半導 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0><297公釐） ~ ~ (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 4-5 256 5 A7 B7 五、發明説明（^ ) 0 體晶圓w用之可屈伸及可旋轉之例如多關節式之搬運臂 12。而面臨於卡匣室18、 20之閘門G1之裝置1之 外側’則配設用以對卡匣室1 8、2 0搬出搬入卡匣C用 之卡匣搬入搬出機構1 9。 如第1圖及第2圖所示，卡匣室18、 20係具有例 如鋁製之矩形狀之盒容器2 1。而在盒容器2 1 —方側之 側面，配設有可通過卡匣C之卡匣搬入口 2 2。該卡匣搬 入口 2 2係由閘門G 1來進行開閉。而在盒容器2 1之另 一方側之側面上部，則配設有藉可開閉之閘閥G來被連接 於轉移室6之晶圓搬出口 2 4。如第1圖所示，卡匣搬入 口 2 2係朝圖中X方向開口著*而晶圓搬出口 2 4則朝向 對於X方向形成所定角度0 (例如2 2 . 5度）之方向， 亦即朝向配設在轉移室6內之搬運臂12之對於卡匣室 18、 20的存取方向A開口著。 再者，卡匣C係在其內部可收容例如2 5片之半導體 晶圓W。又卡匣C係如第11圖所示，具有搬入·搬出半 導體晶圓W用之晶圓搬出入口 1 4，並將晶圓搬出入口 1 4之相反側之側面形成做爲背面2 6。又卡匣C具有配 設Γ手柄（把手）28之上面30和底面32。 如第2圖所示，盒容器2 1內設有升降底座3 4。在 該升降底座下面則配設有升降桿3 5。升降桿3 5係藉例 如0型環封3 6來使盒容器2 1之底部2 1 A成氣密地貫 穿，並由升降機構3 8來進行升降動作。 如第2〜第4圖所示，在位於卡匣搬入口 2 2附近之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210χ2；»7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T -8- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 452565 a7 B7 五'發明説明（β ) 6 升降底座3 4之一側部，乃使主軸4 0藉二個之軸承4 6 (參照第3圖）來被支撐成可轉動=該主軸4 0係對於晶 圓搬出口 2 4成平行展延著。亦即，主軸4 0係對於搬運 臂12對卡匣室18、 20進行存取方向A成正交（垂直 相交）之方向展延，並對圖中之Y方向形成所定之角度0 (例如2 2 . 5度）之狀態。声軸4 0兩端係成固定配設 有將後述之要構成旋轉機構5 8之一部分的小齒輪4 8。 爲了抑制粒子之產生，該小齒輪4 8最好以硬度較高之樹 脂來形成爲其理想。又在主軸4 0 ，以螺栓5 0來固定著 輔助底座42 (參照第3圖）。因此，輔助底座42能與 主軸4 0成一體來旋轉。 如第2圖及第4圖所示，在輔助底座4 2，安裝有L 字狀之卡匣支撐台4 4。該卡匣支撐台4 4係由支撐卡匣 C底面3 2來加以保持之底面支撐部52 ，及支撐卡匣C 背面2 6來加以保持之背面支撐部5 4所形成。該場合時 ，底面支撐部5 2係藉例如三個高度調整（用）螺栓〔在 第2圖’僅顯示二個之調整（用）螺栓5 7〕被安裝於輔 助底座4 2。背面支撐部5 4係對於底面支撐部5 2接合 成垂直狀，並具有可插拔將後述之卡匣搬運（用）臂部6 4之卡匣承受（支撐）部76 (參照第1圖）之凹狀之插 拔孔6 1 (參照第4圖）。又卡匣支撐台44係被安裝於 輔助底座4 2成輔助底座4 2在定位成水平之第2圖（第 4圖）之狀態下，可令背面支撐部5 4朝向搬運臂1 2之 存取方向A。再者，以調整高度調整（用）螺栓57，就 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2】0X297公釐} (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -9- A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 _____B7 五、發明説明（7 ) 可進行卡匣支撐台4 4之高度調整及水平位準之調整。 如在第2圖及第4圖予以明確地顯示，在盒容器2 1 底部2 1 A，豎立設置二支之固定齒條6 0成垂直於與小 齒輪4 8可嚙合之位置。爲了抑制粒子之產生，該等之固 定齒條最好以硬度較高之樹脂來形成爲其理想。 固定齒條6 0係與小齒輪4 8 —齊，構成爲旋轉卡匣 支撐台4 4用之旋轉機構5 8。亦即，固定齒條6 0會與 伴隨著升降桿3 5之升降動作而升降之小齒輪4 8相嚙合 ，並由於旋轉小齒輪4 8而使主軸4 0旋轉，且予以旋轉 藉輔助底座4 2被固定於主軸4 0之卡匣支撐台4 4。更 具體地說時’固定齿條6 0乃設定其齒形狀和高度尺寸形 成爲，可令小齒輪4 8旋轉9 0度，又將下降之小齒輪 4 8使之在圖中旋轉成反時鐘之旋轉，且將上升之小齒輪 4 8使之在圖中旋轉成順時鐘之旋轉。亦即，旋轉機構 5 8係在升降底座3 4下降時，就令卡匣支撐台4 4朝反 時鐘方向旋轉9 0度，使之從卡匣搬入口 2 2突出於卡匣 室18、 20之外面側之同時，當上升升降底座34之時 ’就可令卡匣支撐台4 4朝順時鐘方向旋轉9 0度，使之 位於卡匣室1 8、2 0之內側位置。 再者，爲了對於升降底座3 4定位卡匣支撐台4 4， 而在升降底座34上面配設了凸部69 ，並在支撐卡匣支 撐台4 4用之輔助底座4 2下面，則配設有能與凸部6 9 卡合之凹部7 1 (參照第2圖）。 如第1圖所示，對於卡匣室18、20搬入搬出卡匣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）
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，1T 線 -10- 45256 5 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印聚 五 、發明説明 ( B ) 1 I C 用 之 卡 匣 搬 入 搬 出機構 19 係 由 可 載 置 複 數之 卡 匣 C 之 1 i 卡 匣 埠 ( Port, )台 3 2，和在卡@ [埠台6 2 與 卡匣 室 1 8 、 t I 2 0 之 間 ·> 進 行 卡 匣C之 接受 之 卡 匣 搬 運 ( 用） 臂 部 6 4 請 1 1 所 構 成 U 而 卡 匣 搬 運（用 )臂 部 6 4 之 基 部 係位 於 一 個 卡 先 閱 讀 Ί 1 匣 室 1 8 、 2 0 之 中間線 6 6 上 之 位 置 y 以 令可 由 — 個 臂 背 之 Ί 部 6 4 來 對 於 二 個 之卡匣 室1 8 - 2 0 進 行 卡匣 C 之 授 受 注 意 事 項 I 1 1 如在 第 7 圖 亦有所示 ，臂 B 4係具有筒狀之臂本體 丹 填 寫 本 頁 1 τ 6 8 〇 而 臂 本 體 6 8之基 部係 對 於 位在 中 間 線6 6 上 位 置 1 I 之 可 旋 轉 之 旋 轉 軸 7 0所 固定 著 〇 旋 轉 軸 7 0係 由 升 降 機 I 1 I 構 7 2 朝 上 下 方 向 僅升降 所定 之 行 程 而 已 〇 臂本 體 6 8 之 1 1 訂 1 .1 /·-刖 端 乃 藉 軸 承 7 5 來支撐 卡匣 承 受 軸 7 4 成 旋轉 白 如 〇 而 在 卡 匣 承 受 軸 7 4 上端， 安裝 有 可 直 接 與 卡 匣C 背 面 2 6 I 接 觸 並 加 以 支 撐 之 矩形狀 之卡 匣 承 受 部 7 6 。在 卡 匣 承 受 1 I 軸 7 4 之 基 部 固 定有大□徑之帶輪7 8， 而在旋轉 i軸 \ 1 啖 7 0 上 端 則 固 定有 小口徑帶輪！ 3 0 並在兩帶輪7 8 、 1 8 0 之 間 架 設 有 皮 帶8 1 。因 此 爲 了 旋 轉 臂本 體 6 8 而 1 1 旋 轉 旋 轉 軸 7 0 時 ，皮帶 8 1 會 轉 動 而 卡 匣承 受 軸 7 4 1 1 亦 會 旋 轉 所 定 之 角 度。在 本實 施 例 尤 其 如 在第 8 圖 所 示 1 I > 爲 使 卡 匣 承 受 部 7 6移 動於 對 於 卡 匣捧 台 6 2 移 交 卡 匣 1 1 C 之 第 1 位 置 ( 以 實線所示） 及 對 於 卡 匣 室 18 ( 2 0 ) 1 移 交 卡 匣 C 之 第 2 位置（ 以虛 線 所 示 ) 之 間 ，而 將 使 臂 本 ί 1 體 6 8 予 以 旋 轉 角 度Θ 2 。又 將 兩 帶 輪 7 8 、8 0 之 直 徑 1 I 予 以 設 定 成 可 令 在於前 述第 1 位 置 會 朝 向 X方 向 之 卡 匣 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS) A4規格（210X29?公釐） -11 - 經濟部中央標隼局員工消費合作衽印製 4 5 256 5 A7 B7 _— 五、發明説明（9 ) 承受部7 6，當在前述第2位置時，就可朝向搬運臂1 2 之存取方向A。亦即’兩帶輪78、 80之直徑被設定成 ，當臂本體6 8被旋轉Θ 2之時，卡匣承受軸7 4可伴隨 著皮帶8 1之轉動而被旋轉與臂本體6 8之旋轉方向爲同 方向有角度0 (22.5度）之大小。在兩帶輪78、 8 0之直徑只要被設定成如上述之狀態時，臂本體6 8和 卡匣承受軸7 4之旋轉動作之關係’甚至臂本體6 8從第 8圖之狀態旋轉有1 8 0度之狀態下，亦可成立。亦即， 前述旋轉動作之關係，不僅僅在於卡匣埠台6 2和卡匣室 1 8之間而已，甚至在於卡匣埠台6 2和卡匣室2 0之間 ，亦會成立（參照第1圖）。 將卡匣埠台6 2之詳細構造顯示於第1 0圖。如圖所 示，卡匣埠台6 2具長尺寸之移動台8 4。而在移動台 8 4上，以所定之節距配設有卡匣載置台8 6。如在第8 圖詳細地加以顯示，卡匣載置台8 6係由矩形狀之板材所 形成，並具有可令卡匣搬運（用）臂部6 4之卡匣承受部 7 6成可插入脫離之凹狀之插脫孔8 8。而移動台8 4下 面形成有要與旋轉齒輪9 0嚙合之齒8 2。旋轉齒輪9 0 嚙合著被安裝於驅動馬達9 4之旋轉驅動軸之螺齒桿輪 9 2。因此，由於驅動馬達9 4之驅動而使螺齒桿輪9 2 被旋轉時，就使旋轉齒輪9 0旋轉而使移動台8 4被朝水 平方向移動。再者，移動台8 4亦可由例如驅動皮帶或直 線導引等來加以移動。 接著，將對於上述結構之卡匣室18、 20及卡匣搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公t ) (讀先閱讀背面之注意事項再填{馬水頁) 訂 -12- ,345 25 6 5 A7 ______B7 五、發明説明（彳。） 入搬出機構1 9之動作加以說明。 第2圖及第4圖係顯示保持半導體晶圚w用之匣C 被定位於盒容器2 1上方之晶圓移交位置之狀態。在該狀 態下，卡匣支撐台4 4係朝向於搬運（用）臂1 2之存取 方向（進退方向）A(以對於X軸方向形成所定之角度θ 被定向著）。因此，被載置於卡匣支擋台4 4之卡匣C， 亦將其晶圓搬出入口 1 4形成相對向於盒容器2 1之晶圓 搬出口 2 4之同時，朝向著轉移室6內之搬運臂1 2之存 取方向A。又該時，卡匣C之載荷係由卡匣支撐台4 4之 底面支撐台5 2所支撐著。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲使從第2圖及第4圖之狀態來朝盒容器21之外面 側排出（卸下）卡匣C，首先，乃由升降機構3 8來使升 降桿3 5朝下方移動，以令升降底座3 4下降。當升降底 座3 4下降至所定之高度時，就會使被固定於主軸4 0兩 側之小齒輪4 8嚙合於從盒容器2 1之底部2 1 A豎立之 固定齒條6 0之齒。而以小齒輪4 8和固定齒條6 0形成 嚙合之狀態下，更使升降底座3 4下降時，小齒輪4 8就 會在圖中朝反時鐘方向旋轉之同時，會沿著固定齒條6 0 下降，而與小齒輪4 8成一體之主軸40，亦會朝反時鐘 方向旋轉之同時予以下降（參照第5圖）。因此，被固定 於主軸4 0之輔助底座4 2及卡匣支撐台4 4亦形成朝反 時鐘方向旋轉之同時被下降，並使朝著水平方向之卡匣C 之晶圓C之晶圓搬出入口 1 4，逐漸會朝向上方。 以如上述來使卡匣支撐台4 4成反時鐘方向旋轉之下 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2]〇X 297公釐） -13- 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 45 256 5 A7 __B7 _______五、發明説明（n ) ，予以下降至所定之高度時，會使卡匣c與卡匣支撐台 44一齊從卡匣搬入口22突出於盒容器21之外面側。 而在卡匣支撐台4 4朝反時鐘方向轉9 0度之時刻，就會 使升降底座3 4之下降停止，以令卡匣支撐台4 4停止更 上一層之旋轉（即該時刻亦停止旋轉）。該時之狀態係顯 示於第6圖及第9圖。而背面支撐部5 4係如圖所示1以 被維持於水平方向之狀態下，乃從卡匣搬入口 2 2突出於 盒容器2 1之外側。因此，卡匣C亦突出於盒容器2 1之 外面側之同時，該載重亦由背面支撐部5 4所支撐著，並 使晶圓搬出入口 14朝向上方（Z軸方向）。當然，甚至 在該狀態下，背面支撐部5 4及卡匣C係對於X軸方向形 成所定之角度0來被定向著，而形成維持朝向著搬運臂 12之存取（進退方向）A之狀況。 當卡匣支撐台4 4及卡匣C被安置成第6圖之狀態時 ，其次，就使卡匣搬入搬出機構1 9之旋轉軸7 0予以僅 旋轉角度β 2。由而，初固定於旋轉軸7 0之臂本體6 8 ，將從第8圖及第9圖以實線所示之第1位置會朝以虛線 所示之第2位置僅予以旋轉角度0 2。因此，被配設於臂 本體6 8前端之卡匣承受部7 6 ，將可由皮帶8 1之驅動 而朝向搬運臂1 2之存取方向A，並被定位於背面支撐部 5 4之下方位置（參照第7 A圖）。 當卡匣承受部7 6被定位於第7 A圖所示之位置時， 升降機構7 2就被驅動’而使旋轉軸7 0上升所定之行程 。亦即，臂本體6 8僅上升所定之距離，而使卡匣承受部 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（" -14- ----------------IT1^-----^ II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 45 ΚΊ B7 經濟部中央標隼局員工消費合作祍印製 五、發明説明（12 ) 7 6經由背面支撐部5 4之插脫孔6 1 (參照第4圖）來 上升。因此’卡匣C，將由接觸於其背面26之卡匣承受 部76所提高，而從卡匣支撐台44分開（參照第7B圖 )° 接著，以第7 B之狀態下，旋轉軸7 0會被朝與前一 次之旋轉方向爲反方向旋轉，而使臂本體6 8朝向第1位 置（第8圖之實線位置）旋轉。亦即1令卡匣C移動至卡 匣埠台6 2。而此時，支撐卡匣承受部7 6用之卡匣承受 軸7 4會經由插脫孔6 1之開放端，從背面支撐部5 4脫 離。 當臂本體6 8從第2位置旋轉角度Θ 2而定位於第1 位置時，卡匣承受部7 6會由皮帶8 1之驅動而朝X方向 定向。因此，卡匣承受部7 6上之卡匣C亦會被定向於X 方向。又以如此地令臂本體6 8位於第1位置時，卡匣承 受軸7 4可由移動台8 4之移動而經由預先等候於卡匣移 交位置之所定卡匣載置台8 6之插拔（插脫）孔8 8之開 放端來侵入於插拔孔8 8內。因此’卡匣C可由安裝於卡 匣承受軸7 4前端之卡匣承受部7 6來被保持於卡匣載置 台8 6上側。接著，以該狀態下’旋轉軸7 0當下降所定 之距離時，卡匣承受部7 6會經由卡匣載置台8 6之插拔 孔8 8移動至下方，而使由卡匣承受部7 6所保持之卡匣 C移交至載置台8 6上。該時’卡匣C係以其搬出入口 1 4朝向上方（Z方向）之狀態下來被載置於卡匣載置台 8 6上。 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本萸) *-° 气 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐.) -15- 45256 5 Α7 Β7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五'發明説明（） I 〇 再者’要選擇卡匣C應被載置之卡匣載置台8 6 ，亦 即’要移動至所期盼之卡匣載置台8 6之卡匣移交位置， 乃由藉驅動馬達9 4之旋轉齒輪9 〇之旋轉驅動，而使移 動台8 4朝水方向予以適當地移動來加以進行。 另一方面’要使卡匣埠台6 2上之卡匣C搬入於卡匣 室18、 20內之時，只要進行與前述操作完全相反之操 作就可達成。亦即，首先，由操作者來載置收容有未處理 之半導體晶圓W之卡匣於卡匣埠台6 2之卡匣載置台8 6 上。該時’卡匣C係定向於X方向且使其搬出入口 1 4朝 向上方之狀態來載置於卡匝載置台8 6上。接著，使移動 台8 4朝水平方向移動’以令被載置有卡匣c之卡匣載置 台8 6，形成位於卡匣承受部7 6所等候之卡匣移交位置 〇 當卡匣C與卡匣載置台8 6 —齊，形成位於卡匣移交 位置時1卡匣承受部7 6可由旋轉軸7 0之上升，而經由 卡匣載置台8 6之插拔孔8 8來朝上方移動，致使卡匣c 可由卡匣承受部7 6所保持並從卡匣載置台8 6離開。接 著，以該狀態下，使臂本體6 8從第1位置僅旋轉角度 β 2而使之位於第2位置，並經由與前述之操作爲相反之 操作，以移交卡匣C給予以第6圖狀態來等候之卡匣支撐 台4 4之背面支撐部5 4上。該時，在與卡匣c 一齊來旋 轉臂本體6 8至第2位置之前，可由旋轉機構5 8來使卡 匣支撐台4 4朝向反時鐘方向旋轉9 0度，而被突出於盒 容器2 1之外面側。而後，升降底座3 4被加以上升時， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用争國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -16- A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ______ B7 _五、發明説明（14 ) 卡匣支撐台4 4亦進行上升之同時被朝順時鐘方向旋轉 9 0度，而使底面支撐部5 2被安置成水平狀態u以該狀 態下之時，卡匣支撐台4 4和卡匣C之晶圓搬出入口 1 4 ，將會形成朝向於搬運臂1 2之存取方向（進退方向）A 。而從該狀態來更使升降底座3 4上升至所定之高度時， 就會形成如第2圖所示，卡匣C之晶圓搬出入口 1 4會形 成相對向於朝向搬運臂12之存取方向A開口之盒容器 2 1之晶圓搬出口 2 4。 如以上所說明，依據本實施例，將被定向於X方向且 使晶圓搬出入口14以形成朝向上方之狀態下被載置於卡 匣埠台6 2上之卡匣C ，可由卡匣搬入搬出機構1 9來使 之朝向搬運臂1 2之存取方向Α之同時，移交給予卡匣室 18、 20。又依據本實施例，僅將升降桿35朝上方移 動，就可令躺成水平以令晶圓搬出入口 1 4成朝向上方之 卡匣C，予以扶成垂直之同時，予以搬入於卡匣室1 8、 2 0內而移動至晶圓移交之位匱。該時，由於以對於搬運 臂1 2之存取方向A形成正交之主軸4 0爲中心來旋轉卡 匣C*因此，移交給予卡匣室18、 20之卡匣C，可由 以主軸4 0爲中心之9 0度旋轉而使其晶圓搬出入口 1 4 形成朝向搬運臂1 2之存取方向A。 以如上述，在本實施例，卡匣C可由配置於卡匣室 f 18、 20外側之卡匣搬入搬出機構19，預先定向於搬 運臂1 2之存取方向A之同時，移交給予朝向搬運臂1 2 之存取方向A所配置之卡匣支撐台4 4。並且僅由以主軸 (請先閱讀背面之：;x意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公1 ) -17- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（15 ) 4 0爲中心之卡匣支撐台4 4之旋轉，就可令卡匣C將其 晶圓搬出入口 1 4朝向於搬運臂1 2之存取方向A。因此 ，並不需要配設用以要使卡.匣C朝向搬運臂1 2之存取方 向A用之驅動機構於卡匣室18、 20內。其結果，會減 少在卡匣室（真空室）18、 20內之驅動機構，使之可 抑制粒子之產生。對於如上述之本發明，有關美國專利第 5 1 8 6 5 9 4號，因需要另外個別配設使卡匣C繞著Y 軸旋轉9 0度之驅動機構及使卡匣C繞著Z軸旋轉所定角 度之驅動機構於卡匣室內，致使在卡匣室內之驅動機構會 成爲複雜且成爲多，以致製造成本會增加之同時，所產生 之粒子亦會增大。依據不需要配設要使卡匣C繞著Z軸旋 轉之驅動機構的本實施例之卡匣室18、 20，會較美國 專利第5 1 8 6 9 5 4號之裝置減少驅動機構之部分，可 加以抑制粒子之產生，且構造亦簡單，因而亦可圖謀減低 成本之情事。 又本實施例之卡匣室1 8，2 0，由於不具有朝傾斜 方向展延之旋轉軸，因而，不會像美國專利第 5 5 0 7 6 1 4號之傾斜軸具有在旋轉機構產生偏移碰衝 之情事，使之粒子之產生量會變爲少。又不必要使卡匣C 以形成傾斜方向來旋轉就可達成目的，使得所需要於旋轉 之空間變爲小，因而，可製造卡匣室18、 20成爲小型 0 再者，在本實施例’做爲被處理體雖使用了半導體晶 圓’惟並不限定於此，亦可使用玻璃基板或L C D基板等 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公趨) -18- 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 _B7五、發明説明（16 ) 等。又本實施例之卡匣室1 8、2 0 ，雖予以適用於叢集 式工具裝置，惟亦可適用於其他之裝置。又在本實施例， 對於二個之卡匣室1 8、2 0 ，以一個卡匣搬入搬出機構 19來加以兼用，惟亦可對應於各卡匣室18、 20來個 別配設卡匣搬入搬出機構1 9。 〔圖式之簡單說明〕 第1圖係槪略地加以顯示具備了有關本發明之一實施 例之卡匣搬運機的叢集式工具裝置的剖面圖； 第2圖係槪略地加以顯示第1圖之卡匣搬運機構之卡 匣室之內部構造的側面圖； 第3圖係沿著第2圖之3 — 3線之剖面圖； 第4圖係顯示在第2圖所示之卡匣室內，予以安置卡 匣支撐台於移交位置之狀態的斜視圖； 第5圖係顯示由第2圖所示之卡>匣室之旋轉機構來使 卡匣旋轉之狀態的斜視圖； 第6圖係顯示由第2圖所示之卡匣室之旋轉機構來使 卡匣旋轉9 0度之狀態的斜視圖； 第7 A圖係顯示構成卡匣搬運機構之臂部動作之第1 形態的側面圖； 第7 B圖係顯示構成卡匣搬運機構之臂部動作之第2 形態的側面圖； 第8圖係顯示在卡匣室內，使卡匣之晶圓搬出入口形 成朝向搬運臂之存取方向之狀態圖； (請先閱讀背而之注意事項再填寫本買)
:1T 嗖！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） -19- 452566 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明（17 ) 第9圖係顯示使卡匣與卡匣支撐台一齊被旋轉而形成 位於卡匣室外面側之狀態圖； 第10圖係要構成卡E搬運機之卡厘埤台之側面圖； 第1 1圖係卡匣之斜視圖； 第12圓係具備卡匣室之典型的叢集式工具裝置之斜 視圖， 第1 3圖係從上方觀看第1 2圖之叢集式工具裝置的 剖面圖； 第1 4圖係用以說明安置卡匣至晶圓移交位置之習知 方法用之平面圖。 〔符號之說明〕 1 :叢集式工具裝置，2、4 :處理室，6 :轉移室 ，8、 10 :卡匣室，C :卡匣，12 :搬運（用）臂， 14 ··晶圓搬出（搬）入口，18、20 :卡匣室，21 :盒容器，21A:(盒容器）底部，22:卡匣搬入口 ，24:卡匣搬出口，G:閘閥，G1:閘門，26:( 卡匣C)背面，28:把手（手柄），30:(卡匣C) 上面，32:(卡匣C)底面，34:升降底座，35: 升降桿，36 : 0型環封，38 :升降機構，40 :主軸 ，42 :輔助底座，44 :卡匣支撐台，46 :軸承， 48 :小齒輪，50 :螺栓，52 :底面支撐部，54 : 背面支撐部，57 :調整（用）螺栓’ 58 :旋轉機構， 60 :固定齒條，61 :插拔（插脫）孔，62 :卡匣埠 C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 唆丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐） -20- A7五、發明説明（18 ) 臂：匣 ： 4 : 2 卡 1 9 8 Υ : 8 ， 6 ， 6 ， 台輪 ， 部 7 輪ie桿 線凹，帶:«齒 間：承徑'f 螺 中 1軸0· : 7 : 小 2 6 6 t 5 : 9 8 6@7 ο ， ’轉，8 台輪 部旋軸，a齒 臂：受輪#轉 } ο 承帶：旋 運 7 匣徑 4 : 搬 '卡口 8 ο 匣部：大，9 卡凸 4 : 齒’ C : 7 8 ·.孔。 :9 ’ 7 2 拔達 4 6 構，8 插馬 6 ， 機部，..動 ， 體降受帶 8 驅 台本升承皮 8 .. ----,--；----------ίτ------^ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2川X297公釐） -21 -