JPH07221159A - カセットステージ - Google Patents
カセットステージInfo
- Publication number
- JPH07221159A JPH07221159A JP1054894A JP1054894A JPH07221159A JP H07221159 A JPH07221159 A JP H07221159A JP 1054894 A JP1054894 A JP 1054894A JP 1054894 A JP1054894 A JP 1054894A JP H07221159 A JPH07221159 A JP H07221159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- stage
- cassettes
- rotation
- loader
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセット回転に要する領域を小さくし、カセ
ットローダ等の他ユニットを同時に稼働し、ウェーハ搬
送時間を短縮する。 【構成】 カセット９を成膜処理する半導体製造装置と
の間でカセット９の受渡しを行うためのカセットステー
ジ４を構成するカセット載せ台１，１の回転中心７をカ
セット９の中心になるようにする。
ットローダ等の他ユニットを同時に稼働し、ウェーハ搬
送時間を短縮する。 【構成】 カセット９を成膜処理する半導体製造装置と
の間でカセット９の受渡しを行うためのカセットステー
ジ４を構成するカセット載せ台１，１の回転中心７をカ
セット９の中心になるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハを成膜処理す
る半導体製造装置のカセットステージに関する。
る半導体製造装置のカセットステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の半導体製造装置の１例の全
体構成の概要を示す斜視図、図３（Ａ），（Ｂ）はそれ
ぞれ従来のカセットステージの構成及び作用説明図であ
る。図２及び図３において、１カセット載せ台、３はカ
セット載せ台１のカセット回転機構、５はカセットロー
ダ、６はカセット棚、９はカセットである。カセットス
テージ４を構成するカセット載せ台１の回転中心７は、
カセット載せ台１にセットされるカセット９の中心の下
方に位置している。
体構成の概要を示す斜視図、図３（Ａ），（Ｂ）はそれ
ぞれ従来のカセットステージの構成及び作用説明図であ
る。図２及び図３において、１カセット載せ台、３はカ
セット載せ台１のカセット回転機構、５はカセットロー
ダ、６はカセット棚、９はカセットである。カセットス
テージ４を構成するカセット載せ台１の回転中心７は、
カセット載せ台１にセットされるカセット９の中心の下
方に位置している。
【０００３】図２及び図３に示すように人又はカセット
自動搬送機（ロボット）でカセット９を１個又は２個、
カセット載せ台１，１上に載せ、装置をスタートする
と、カセット載せ台１，１上にカセット９，９を固定
し、該カセット載せ台１，１全体をカセット回転機構３
により回転してカセット９，９の向きを９０°変える。
次にカセットローダ５によりカセット載せ台１，１を上
下動し、カセット棚６の指定したポジションへ移動す
る。カセット棚６を棚移動部（図示せず）により所定位
置へ動かし、カセット載せ台１，１をカセット水平移動
作（図示せず）によりカセット棚６側へ移動し、所定位
置でカセットローダ５を下降し、カセット９をカセット
棚６に移す。しかる後、カセット載せ台１，１をカセッ
ト水平移動部により元の位置に戻し、カセットローダ５
を元の高さへ移動してからカセット回転機構３を回転し
て元の向きにする。
自動搬送機（ロボット）でカセット９を１個又は２個、
カセット載せ台１，１上に載せ、装置をスタートする
と、カセット載せ台１，１上にカセット９，９を固定
し、該カセット載せ台１，１全体をカセット回転機構３
により回転してカセット９，９の向きを９０°変える。
次にカセットローダ５によりカセット載せ台１，１を上
下動し、カセット棚６の指定したポジションへ移動す
る。カセット棚６を棚移動部（図示せず）により所定位
置へ動かし、カセット載せ台１，１をカセット水平移動
作（図示せず）によりカセット棚６側へ移動し、所定位
置でカセットローダ５を下降し、カセット９をカセット
棚６に移す。しかる後、カセット載せ台１，１をカセッ
ト水平移動部により元の位置に戻し、カセットローダ５
を元の高さへ移動してからカセット回転機構３を回転し
て元の向きにする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のカセットス
テージにあっては、カセット載せ台１，１にセットされ
るカセット９の中心の下方位置に回転中心７があるた
め、カセット回転に大きな領域を要するばかりでなく、
専有領域が大きいため装置外形寸法によってはカセット
ローダ５等の他ユニットと同時に稼働できないという課
題がある。
テージにあっては、カセット載せ台１，１にセットされ
るカセット９の中心の下方位置に回転中心７があるた
め、カセット回転に大きな領域を要するばかりでなく、
専有領域が大きいため装置外形寸法によってはカセット
ローダ５等の他ユニットと同時に稼働できないという課
題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明カセットステージ
は、上記の課題を解決するため、カセット９を成膜処理
する半導体製造装置２との間でカセット９の受渡しを行
うためのカセットステージ４において、該カセットステ
ージ４を構成するカセット載せ台１，１の回転中心７を
カセット９の中心になるようにする。
は、上記の課題を解決するため、カセット９を成膜処理
する半導体製造装置２との間でカセット９の受渡しを行
うためのカセットステージ４において、該カセットステ
ージ４を構成するカセット載せ台１，１の回転中心７を
カセット９の中心になるようにする。
【０００６】
【作 用】このような構成とすることにより載せ台１，
１上でのカセット回転が可能になり、カセット回転に要
する領域を小さくできることになり、専有領域が小さい
ため装置外形寸法によってはカセットローダ等の他のユ
ニットと同時に稼働できることになる。
１上でのカセット回転が可能になり、カセット回転に要
する領域を小さくできることになり、専有領域が小さい
ため装置外形寸法によってはカセットローダ等の他のユ
ニットと同時に稼働できることになる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明カセットステージの１実施例の
概要を示す斜視図である。本実施例は、カセットステー
ジ４を構成するカセット載せ台１，１の回転中心７をカ
セット９の中心になるようにする。このような構成とす
ることにより載せ台１，１上でのカセット回転が可能に
なり、カセット回転に要する領域を小さくできることに
なり、専有領域が小さいため装置外形寸法によってはカ
セットローダ等の他のユニットと同時に稼働できること
になると共に、他ユニットと同時に稼働できるため、ウ
ェーハ搬送時間を短縮できることになる。
概要を示す斜視図である。本実施例は、カセットステー
ジ４を構成するカセット載せ台１，１の回転中心７をカ
セット９の中心になるようにする。このような構成とす
ることにより載せ台１，１上でのカセット回転が可能に
なり、カセット回転に要する領域を小さくできることに
なり、専有領域が小さいため装置外形寸法によってはカ
セットローダ等の他のユニットと同時に稼働できること
になると共に、他ユニットと同時に稼働できるため、ウ
ェーハ搬送時間を短縮できることになる。
【０００８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、カセット
９を成膜処理する半導体製造装置２との間でカセット９
の受渡しを行うためのカセットステージ４を構成するカ
セット載せ台１，１の回転中心７をカセット９の中心に
なるようにすることによりカセット回転に要する領域を
小さくできる。又、専有領域が小さいため、カセットロ
ーダ等の他ユニットと同時に稼働できると共にウェーハ
搬送時間を短縮することができる。
９を成膜処理する半導体製造装置２との間でカセット９
の受渡しを行うためのカセットステージ４を構成するカ
セット載せ台１，１の回転中心７をカセット９の中心に
なるようにすることによりカセット回転に要する領域を
小さくできる。又、専有領域が小さいため、カセットロ
ーダ等の他ユニットと同時に稼働できると共にウェーハ
搬送時間を短縮することができる。
【図１】本発明カセットステージの１実施例の概要を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】従来の半導体製造装置の１例の全体構成の概要
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来のカセットステ
ージの構成及び作用説明図である。
ージの構成及び作用説明図である。
１ カセット載せ台 ２ 半導体製造装置 ３ カセット回転機構 ４ カセットステージ ５ カセットローダ ７ 回転中心 ９ カセット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/31
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハを成膜処理する半導体製造装置
との間でカセットの受渡しを行うためのカセットステー
ジにおいて、該カセットステージの回転中心をカセット
の中心になるようにすることを特徴とするカセットステ
ージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1054894A JPH07221159A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | カセットステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1054894A JPH07221159A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | カセットステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07221159A true JPH07221159A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11753320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1054894A Pending JPH07221159A (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | カセットステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07221159A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5947675A (en) * | 1996-11-13 | 1999-09-07 | Tokyo Electron Limited | Cassette transfer mechanism |
-
1994
- 1994-02-01 JP JP1054894A patent/JPH07221159A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5947675A (en) * | 1996-11-13 | 1999-09-07 | Tokyo Electron Limited | Cassette transfer mechanism |
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