KR100696393B1 - 레이저 전극 절단장치의 유리기판 카세트 회전장치 - Google Patents
레이저 전극 절단장치의 유리기판 카세트 회전장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (5)
- 유리기판이 적재된 카세트가 착탈되는 하우징;상기 하우징의 바닥 위에서 상기 카세트가 장착되는 위치를 가이드하는 가이드 홈이 그 상면에 형성되며, 상기 하우징에 대해서 회전가능하게 설치된 가이드부; 및상기 가이드부를 90도 회전시키는 회전구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 유리기판 카세트 회전장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가이드부의 마주보는 양측에서 각각 수직 상방으로 설치된 측면플레이트;를 더 구비하며,상기 측면플레이트의 바깥쪽 및 하우징에 회전축이 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 유리기판 카세트 회전장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 회전구동부는:상기 측면플레이트에 경사지게 형성된 장홈;상기 장홈에 끼워진 바;상기 바의 일단에 고정되게 연결된 연결부;상기 연결부를 수직으로 이송시키는 이송부;상기 이송부를 구동하는 구동모터;를 구비하는 것을 특징으로 하는 유리기판 카세트 회전장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 이송부는 볼 스크류인 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 유리기판 카세트 회전장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가이드부에는 서로 마주보는 양측에 대응되는 가이드홈이 2쌍이상 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 유리기판 카세트 회전장치.
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Citations (4)
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JPH10139159A (ja) | 1996-11-13 | 1998-05-26 | Tokyo Electron Ltd | カセットチャンバ及びカセット搬入搬出機構 |
KR20020037850A (ko) * | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 윤종용 | 로드락 챔버의 웨이퍼 로딩 시스템 |
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KR20030080355A (ko) * | 2002-04-08 | 2003-10-17 | 한국디엔에스 주식회사 | 기판 정렬 시스템 및 그 정렬 방법 |
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2005
- 2005-01-13 KR KR1020050003197A patent/KR100696393B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
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