KR20140147928A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20140147928A
KR20140147928A KR20130070425A KR20130070425A KR20140147928A KR 20140147928 A KR20140147928 A KR 20140147928A KR 20130070425 A KR20130070425 A KR 20130070425A KR 20130070425 A KR20130070425 A KR 20130070425A KR 20140147928 A KR20140147928 A KR 20140147928A
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basket
unit
robot arm
conveyor
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강남익
오주동
최정호
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판이 안착되어 상기 기판이 이송되도록 하는 컨베이어를 구비하는 이송부; 상기 기판을 들어올리도록 상기 이송부에 인접하게 배치되는 로봇암; 및 다수의 프레임을 구비하고, 다수의 상기 프레임 사이에 상기 기판이 수납되도록 상기 로봇암에 인접하게 배치되는 바스켓;을 포함하며, 상기 바스켓에는 수납된 상기 기판을 고정시키도록 고정부가 구비될 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근에는 IT산업의 발전이 급속도로 진행됨에 따라 전자부품의 소형화 및 고기능화 요구가 증가되고 있으며, 인쇄회로기판은 회로부품을 접속하는 전기배선을 회로설계에 기초하여 배선도형으로 표현하고, 이것을 패턴인쇄 및 식각하여 얇은 박판으로 형성되어진다.
이러한 인쇄회로기판은 작업효율성과 대량생산을 위하여 바스켓(basket)에 수납되어진다.
이때, 작업자의 수작업보다는 별도의 자동화 장비를 통하여 바스켓에 인쇄회로기판을 수납하고 있으나, 수납 과정에서 인쇄회로기판에 충격이 가해져 스크래치나 크랙 등이 발생함으로써 손상되는 문제가 발생한다.
또한, 인쇄회로기판을 들어올리고 내리는 과정에서 각각 별도의 장비를 사용하게 되어 비용이 증가하고, 불필요한 공정이 늘어나는 문제가 있었다.
본 발명의 일 실시예에 따른 목적은 기판의 이송 및 수납 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지하며, 하나의 장비로 기판을 들어올리고 내리는 공정을 수행할 수 있도록 하여 공정을 간소화할 수 있고 제조비용을 줄일 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판이 안착되어 상기 기판이 이송되도록 하는 컨베이어를 구비하는 이송부; 상기 기판을 들어올리도록 상기 이송부에 인접하게 배치되는 로봇암; 및 다수의 프레임을 구비하고, 다수의 상기 프레임 사이에 상기 기판이 수납되도록 상기 로봇암에 인접하게 배치되는 바스켓;을 포함하며, 상기 바스켓에는 수납된 상기 기판을 고정시키도록 고정부가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 컨베이어에는 상기 기판을 이송시키도록 다수의 롤러가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 이송부에는 이송된 상기 기판을 상기 컨베이어로부터 일정 간격 들어올리는 정렬부가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 정렬부는 정렬판 및 상기 정렬판의 외측에 배치되는 정렬핀을 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 정렬판에는 볼 베어링이 부착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 볼 베어링은 다수의 상기 롤러 사이에 위치하도록 상기 정렬판에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 로봇암은 적어도 2축이 회동 가능하도록 구비되는 다관절 로봇일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 로봇암에는 흡착부가 구비되며, 상기 흡착부에는 외부와 연통되는 흡인홀이 형성되어 상기 흡인홀을 통해 공기를 흡인함으로써 상기 기판을 흡착할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 바스켓은 사각틀 형상으로 제공되며, 다수의 상기 프레임은 상기 기판의 가장자리를 지지할 수 있도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 고정부는 상기 기판의 일면 및 타면을 접촉 지지하여 상기 기판을 고정시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 상기 고정부는 적어도 하나의 회전바가 구비되는 지지판, 상기 회전바에 장착되는 탄성부재, 상기 지지판과 결합하고 상기 탄성부재를 매개로 하여 상기 회전바를 기준으로 회동 가능하도록 구비되는 회동부 및 상기 회전바에 연결되는 돌출바를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 의하면, 기판의 이송 및 수납 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 하나의 장비로 기판을 들어올리고 내리는 공정을 수행할 수 있도록 하여 공정을 간소화할 수 있고 제조비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 측면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비되는 이송부의 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 이송부에 구비되는 정렬부의 확대 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비되는 로봇암의 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비되는 바스켓의 사시도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 제공되는 고정부의 측면도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 제공되는 고정부의 내부 구조를 도시한 사시도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경 또는 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 측면도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비되는 이송부의 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판(400)을 이송시키는 컨베이어(110)와 정렬부(130)를 포함하는 이송부(100), 상기 기판(400)을 들어올리는 로봇암(200) 및 상기 기판(400)이 수납되는 바스켓(300)을 포함할 수 있다.
기판(400)은 패턴(pattern)인쇄 및 식각(etching)된 인쇄회로기판일 수 있으며, 바스켓(300)에 수납되기 위하여 컨베이어(110)에 의하여 이송될 수 있다.
상기 컨베이어(110)에는 일정 간격으로 다수의 롤러(120)가 구비될 수 있으며, 상기 기판(400)은 상기 컨베이어(110)에 안착되어 상기 롤러(120)의 구동에 의해 이송될 수 있다.
상기 기판(400)은 상기 롤러(120)에 의해 상기 컨베이어(110)의 소정 위치로 이송된 후에, 후술하는 정렬부(130)에 의하여 상기 컨베이어(110)로부터 일정 간격 들어올려질 수 있다.
또한, 상기 정렬부(130)는 상기 기판(400)을 밀어 정렬시킬 수 있으며, 정렬된 상기 기판(400)은 상기 로봇암(200)에 의하여 들어올려질 수 있다.
한편, 상기 컨베이어(110)의 상측에는 카메라(140)가 배치될 수 있다. 상기 카메라(140)는 상기 기판(400)의 제품정보태그를 통하여 상기 기판(400)의 위치 등의 정보를 감지할 수 있다.
상기 로봇암(200)은 상기 기판(400)을 들어올릴 수 있으며, 상기 컨베이어(110)를 포함하는 이송부(100)에 인접하게 배치될 수 있다. 또한, 상기 로봇암(200)은 적어도 2축이 회동 가능하도록 구비되는 다관절 로봇일 수 있다.
상기 로봇암(200)에는 흡착부(210)가 구비될 수 있고, 상기 흡착부(210)를 통해 공기를 흡인할 수 있다.
따라서, 상기 로봇암(200)은 상기 기판(400)을 흡착하여 들어올릴 수 있다. 상기 로봇암(200)은 상기 기판(400)을 바스켓(300)에 수납시키기 위하여 상기 바스켓(300)이 위치한 곳으로 회동할 수 있다.
즉, 상기 로봇암(200)은 상기 기판(400)을 흡착한 상태로 Z축을 기준으로 회동할 수 있으며, 회동이 완료된 후에는 상기 흡착부(210)가 X축을 기준으로 회동하여 상기 기판(400)이 수직하게 위치하도록 할 수 있다.
상기 바스켓(300)은 사각틀 형상으로 제공되며, 상기 로봇암(200)에 인접하게 배치될 수 있다.
상기 바스켓(300)에는 다수의 프레임(310)이 구비될 수 있으며, 다수의 상기 프레임(310) 사이에 상기 기판(400)이 수납될 수 있다. 또한, 상기 바스켓(300)에는 상기 바스켓(300)에 수납된 상기 기판(400)을 고정시키도록 고정부(320)가 구비될 수 있다. 상기 고정부(320)에 대하여는 도 8을 참조로 자세히 후술하기로 한다.
상기 바스켓(300)은 Y축 방향으로 이동하여 상기 로봇암에 근접한 위치로 이동할 수 있다. 상기 바스켓은 상기 기판의 수납이 완료된 뒤에는 상기 로봇암으로부터 멀어지도록 이동할 수 있으며, 비어있는 다른 바스켓이 상기 로봇암에 근접하게 이동할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 이송부에 구비되는 정렬부의 확대 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 이송부(100)는 기판(400)이 안착되어 상기 기판(400)이 이송되도록 하는 컨베이어(110)와 상기 기판(400)을 일정 간격 들어올려 정렬시키는 정렬부(130)를 포함할 수 있다.
상기 컨베이어(110)는 사각형의 틀 형상일 수 있으며, 상기 컨베이어(110)에는 상기 기판(400)을 이송시키도록 다수의 롤러(120)가 구비될 수 있고, 상기 기판(400)은 다수의 상기 롤러(120)의 구동에 따라 이송될 수 있다.
상기 정렬부(130)는 상기 컨베이어(110) 상에 배치될 수 있으며, 정렬판(131) 및 정렬핀(133)을 포함할 수 있다.
즉, 상기 정렬부(130)는 상기 기판(400)을 상기 컨베이어(110)로부터 일정 간격 들어올릴 수 있는 정렬판(131) 및 상기 정렬판(131)의 외측에 배치되는 정렬핀(133)을 구비할 수 있다.
상기 정렬판(131)은 평평한 판 형상일 수 있으며, 상기 컨베이어(110) 상에 배치될 수 있다.
이때, 정렬판(131)에는 다수의 관통홈(131a)이 형성될 수 있고, 다수의 상기 관통홈(131a)을 통하여 상기 컨베이어(110)에 구비되는 다수의 상기 롤러(120)가 상기 정렬판(131) 위로 돌출될 수 있다.
따라서, 상기 기판(400)은 다수의 상기 롤러(120)의 구동에 따라 상기 정렬판(131) 상으로 이송되어질 수 있다.
상기 정렬판(131)에는 다수의 볼 베어링(131b)이 부착될 수 있고, 다수의 상기 볼 베어링(131b)은 다수의 상기 롤러(120) 사이에 위치하도록 상기 정렬판(131) 상에 배치될 수 있다.
상기 기판(400)이 상기 롤러(120)의 구동에 따라 이송되어 상기 정렬판(131) 상에 위치하게 되면, 상기 정렬판(131)은 소정 간격 상승하여 상기 기판(400)을 들어올릴 수 있다.
이때, 상기 정렬판(131)에는 상기 볼 베어링(131b)이 부착되므로, 상기 기판(400)이 들어올려질 때, 상기 기판(400)에 스크래치나 크랙등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 정렬판(131)은 별도의 이송수단(미도시)에 의하여 하강 또는 상승할 수 있도록 형성되고, 상기 이송수단(미도시)으로는 로드 타입의 캠 또는 실린더등이 사용될 수 있다.
상기 정렬판(131)에 의하여 상기 기판(400)이 들어올려진 후에는, 미리 정해진 위치에서 상기 로봇암(200)이 상기 기판(400)을 들어올릴 수 있도록 상기 정렬핀(133)이 상기 기판(400)을 밀어 정렬시킬 수 있다.
구체적으로, 상기 정렬판(131)의 외측에 배치되는 상기 정렬핀(133)은 상기 기판(400)의 각 측면을 밀어 미리 정해진 위치에 상기 기판(400)이 위치하도록 상기 기판(400)을 정렬시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비되는 로봇암의 사시도이다.
도 6을 참조하여, 상기 로봇암(200)의 구동에 대하여 설명한다.
상기 로봇암(200)의 단부에는 흡착부(210)가 구비될 수 있고, 상기 흡착부(210)를 통해 공기를 흡인할 수 있다.
상기 흡착부(210)는 평평한 판 형상일 수 있으며, 상기 흡착부(210)에는 외부와 연통되는 흡인홀(211)이 형성되어 상기 흡인홀(211)을 통해 공기를 흡인함으로써 상기 기판(400)을 흡착할 수 있다.
따라서, 상기 로봇암(200)은 상기 기판(400)을 흡착하여 들어올릴 수 있다.
여기서, 상기 로봇암(200)은 적어도 2축이 회동 가능하도록 구비되는 다관절 로봇일 수 있다.
즉, 상기 로봇암(200)은 상기 기판(400)을 들어올려 상기 기판(400)이 수납되는 바스켓(300)으로 이동시키기 위하여 Z축을 기준으로 회동 가능할 수 있으며, 상기 기판(400)을 자유롭게 들어올리고 수납시키기 위해 X축을 기준으로 회동 가능할 수 있다.
상기 로봇암(200)은 Z축을 기준으로 회동하여 상기 바스켓(300)이 배치된 곳으로 상기 기판(400)을 이동시킬 수 있으며, 회동이 완료된 후에는 상기 흡착부(210)가 X축을 기준으로 회동하여 상기 바스켓(300)으로의 수납이 용이하도록 상기 기판(400)을 수직하게 배치시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 의하면, 상기 기판(400)을 들어올리고 내리는 공정을 수행하기 위하여 별도의 장비를 필요로 하지 않으며, 상기 로봇암(200)에 의하여 상기 기판(400)을 들어올리고 내리는 공정을 모두 수행할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비되는 바스켓의 사시도이다.
도 7을 참조하여, 상기 바스켓(300)에 상기 기판(400)이 수납되는 과정을 설명한다.
상기 로봇암(200)에 의하여 상기 기판(400)이 상기 바스켓(300) 위에 수직하도록 위치하게 되면, 상기 로봇암(200)이 X축으로 회동하여 상기 기판(400)을 상기 바스켓(300)에 수납시킬 수 있다.
상기 바스켓(300)은 사각틀 형상으로 제공될 수 있고, 다수의 상기 프레임(310)은 상기 기판(400)이 수납될 경우 상기 기판(400)의 가장자리를 지지하여 상기 기판(400)을 고정시킬 수 있다.
여기서, 다수의 상기 프레임(310) 사이의 간격은 상기 기판(400)의 두께에 따라 결정되어질 수 있으며, 다수의 상기 프레임(310)은 상기 기판(400)의 가장자리를 지지할 수 있도록 상기 바스켓(300)에 구비될 수 있다.
또한, 상기 바스켓(300)에는 상기 바스켓(300)에 수납된 상기 기판(400)을 고정시키도록 고정부(320)가 구비될 수 있다.
상기 바스켓(300)의 상부에는 상기 고정부(320)를 내부에 수용하도록 고정프레임(330)이 구비될 수 있다.
상기 고정부(320)는 상기 고정프레임(330)의 내부에 수용되되, 상기 고정부(320)에 구비되는 돌출바(329)의 일단은 상기 고정프레임(330)의 외부로 돌출될 수 있다.
상기 고정부(320)는 상기 기판(400)의 일면 및 타면을 접촉 지지함으로써 상기 기판(400)을 견고하게 고정시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 제공되는 고정부의 측면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 제공되는 고정부의 내부 구조를 도시한 사시도이다.
도 8 및 도 9를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 제공되는 고정부(320)에 대하여 설명한다.
상기 바스켓(300)에는 수납된 상기 기판(400)을 고정시키도록 고정부(320)가 구비될 수 있다. 상기 바스켓(300)의 상기 프레임(310) 사이에 상기 기판(400)이 수납되면, 상기 고정부(320)는 수납된 상기 기판(400)의 일면 및 타면을 접촉 지지함으로써 상기 기판(400)을 고정시킬 수 있다.
상기 고정부(320)는 지지판(321), 탄성부재(327), 회동부(325) 및 돌출바(329)를 포함할 수 있다.
상기 지지판(321)에는 적어도 하나의 회전바(323a, 323b)가 구비될 수 있고, 바람직하게는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 2개의 회전바로서 제1 회전바(323a) 및 제2 회전바(323b)가 구비될 수 있다.
상기 제2 회전바(323b)에는 상기 제2 회전바(323b)를 감싸는 형태로 탄성부재(327)가 장착될 수 있다.
상기 회동부(325)는 상기 제2 회전바(323b)를 매개로 상기 지지판(321)과 결합할 수 있고, 상기 제2 회전바(323b)를 기준으로 회동 가능하도록 구비될 수 있다.
상기 탄성부재(327)의 일측은 상기 지지판(321)에 접촉할 수 있고, 상기 탄성부재(327)의 타측은 상기 회동부(325)에 접촉할 수 있다.
상기 제1 회전바(323a)에는 상기 제1 회전바(323a)에 대하여 수직한 방향으로 상기 돌출바(329)가 연결될 수 있다.
상기 돌출바(329)의 일단은 상기 고정부(320)의 외측으로 돌출되어 있으며, 상기 돌출바(329)의 타단은 상기 고정부(320)의 내측에서 상기 탄성부재(327)와 인접하게 위치할 수 있다.
여기서, 상기 고정부(320)의 구동에 대하여 간략히 설명한다.
상기 돌출바(329)의 일단은 상기 고정프레임(330)의 외측으로 노출될 수 있다. 상기 로봇암(200)의 상기 흡착부(210)의 단부에는 상기 돌출바(329)의 일단과 대면하도록 탄성핀(213)이 구비될 수 있다.
상기 탄성핀(213)이 상기 고정프레임(330)의 외측으로 노출된 상기 돌출바(329)의 일단을 가압하여, 상기 돌출바(329)를 상기 고정부(320)의 내측을 향해 밀게 되면, 상기 돌출바(329)의 타단이 상기 탄성부재(327)를 밀게되며, 이로 인하여 상기 탄성부재(327)의 일측과 타측은 각각 상기 지지판(321)과 상기 회동부(325)를 밀게된다.
따라서, 상기 회동부(325)는 상기 탄성부재(327)가 장착된 상기 제2 회전바(323b)를 기준으로 회동할 수 있으므로, 상기 회동부(325)와 상기 지지판(321) 사이에서 상기 기판(400)이 밀착 고정될 수 있다.
이상의 실시예를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판의 이송 및 수납 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 하나의 장비로 기판을 들어올리고 내리는 공정을 수행할 수 있도록 하여 공정을 간소화할 수 있고 제조비용을 줄일 수 있다.
상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.
100: 이송부 110: 컨베이어
120: 롤러 130: 정렬부
131: 정렬판 133: 정렬핀
140: 카메라 200: 로봇암
210: 흡착부 211: 흡인홀
213: 탄성핀 300: 바스켓
310: 프레임 320: 고정부
330: 고정프레임

Claims (11)

  1. 기판이 안착되어 상기 기판이 이송되도록 하는 컨베이어를 구비하는 이송부;
    상기 기판을 들어올리도록 상기 이송부에 인접하게 배치되는 로봇암; 및
    다수의 프레임을 구비하고, 다수의 상기 프레임 사이에 상기 기판이 수납되도록 상기 로봇암에 인접하게 배치되는 바스켓;을 포함하며,
    상기 바스켓에는 수납된 상기 기판을 고정시키도록 고정부가 구비되는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컨베이어에는 상기 기판을 이송시키도록 다수의 롤러가 구비되는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이송부에는 이송된 상기 기판을 상기 컨베이어로부터 일정 간격 들어올리는 정렬부가 더 구비되는 기판 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 정렬부는 정렬판 및 상기 정렬판의 외측에 배치되는 정렬핀을 구비하는 기판 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 정렬판에는 볼 베어링이 부착되는 기판 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 볼 베어링은 다수의 상기 롤러 사이에 위치하도록 상기 정렬판에 배치되는 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 로봇암은 적어도 2축이 회동 가능하도록 구비되는 다관절 로봇인 기판 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 로봇암에는 흡착부가 구비되며, 상기 흡착부에는 외부와 연통되는 흡인홀이 형성되어 상기 흡인홀을 통해 공기를 흡인함으로써 상기 기판을 흡착하는 기판 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 바스켓은 사각틀 형상으로 제공되며, 다수의 상기 프레임은 상기 기판의 가장자리를 지지할 수 있도록 구비되는 기판 이송 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 기판의 일면 및 타면을 접촉 지지하여 상기 기판을 고정시키는 기판 이송 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 고정부는 적어도 하나의 회전바가 구비되는 지지판, 상기 회전바에 장착되는 탄성부재, 상기 지지판과 결합하고 상기 탄성부재를 매개로 하여 상기 회전바를 기준으로 회동 가능하도록 구비되는 회동부 및 상기 회전바에 연결되는 돌출바를 포함하는 기판 이송 장치.


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CN110947631A (zh) * 2019-12-18 2020-04-03 宁玢菲 一种智能高效用于自动分区分拣存取板件的装置及方法
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