TW441174B - Piezoelectric vibration device - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 * - 441 174 A7 __B7五、發明説明（1 ) 技術領域 本發明爲關於利用在通信機器等使用之厚度滑動系統 振動之壓電振動元件，更詳細者爲：例如關於抑制一般非 諧和諧波模式等之不需要的振動之寄生振動之影響，使保 證衰減量特性良好之壓電振動元件。 背景技術 —邊參考圚3 1以及圖3 2，一邊以下述說明先前技 術。 圖31表示由裡面看先前之壓電振動元件之電極構成 以及（3，1，3 )模式與一般稱爲非諧和諧波模式之寄 生振動之振動能置分佈圇，圖3 2爲圇3 1之S — S剖面 圖以及主振動模式（實線）與（3，1 » 3)槙式之寄生 模式之模式能量分佈圖。此< 3 * 1，3 )之各記號分別 表示水晶板之Y ^軸（厚度）方向之諧波之次數，X軸方 向之諧波之次數，Z /軸方向之諧波之次數，如圖3 1所 示之（3，1，3 )模式爲平行於Ζ *軸方向而排列具有 3個之振動之山（谷）之寄生振動之模式。 水晶板9 0使用AT截割水晶板。在此水晶板9 0之 一方之主面設置输入電極1 9 1，輸出電極1 9 2與將道 些電極引到水晶板9 0之外周之引出髦極1 9 1 a， 1 9 2 a，在另一方之主面上設置共通電極1 9 3與將此 電極引到水晶板9 0之外周之引出電極1 9 3 a。這些之 各電極介經眞空蒸鍍法等之薄膜形成手段而形成。又，雖 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐> -4 - Δ4 1 1 7 Δ Α7 __Β7___ 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 沒圖示出，输入輸出電極1 9 1，1 9 2分別連接於輸入 输出電極，共通電極1 9 3連接於接地端子之狀態被氣密 密封著。如此構成之壓竈振動元件將夾住水晶板9 0而相 向形成之輸出输入電極1 9 1，1 9 2與共通電極1 9 3 部份作爲共振領域，對稱模式（f s )與斜對稱模式振動 (f a >被關於道些電極部份，這些介經音響的結合，形 成多重模式之主振動，介經如此，構成具有作爲規定之濾 波器之通過頻帶特性之壓電振動元件。 又，於先前技術中，作爲高周波形式，三次諧波形式 之電極材料，一般使用鋁。 經濟部中央揉準局負工消費合作社印裝 上述之壓電振動元件如上所述在主振動之外，高次之 非諧和諧波模式例如（3，1，3 )模式之寄生振動亦被 關於此電極部份，被同時激振。又，在此種模式以外，被 稱爲具有平行X軸方向而排列之3個之振動之山（谷）之 (3 ，3，1 )模式之寄生振動，或分別於軸方向具有3 個之振動之山（谷）之振動模式等數目很多之寄生振動存 在著。如此之寄生振動在激振電極下能量被關閉之故，成 爲定波而比較强地被激振，成爲寄生振動對主振動給於壞 的影響，弄亂作爲濾波器之通過頻帶持性，通過頻帶外之 保證衰減量特性，有無法充分取得之問題。又，使用如先 前之鋁作爲電極材料之場合，.鋁易氧化，有良率以及生產 性不好之問題。再者，被氧化而生氧化鋁時，與導電性接 著劑之導電電阻變大，保證衰減最特性不好。 本發明爲解決這些之問題點者，目的在提供：抑制發 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-5 - 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印製 A7 __B7_五、發明説明（3 ) 生在主振動（公稱週波數）附近之寄生振動棋式，使通過 頻帶特性良好而且廣頻帶之同時，使通過頻帶外之保證衰 減置特性良好之E«振動元件。 發明之公開揭霣 爲了達成上述之目的，本發明之壓電振動元件爲在水 晶板之一方住面上，输入m極與輸出電極以規定之間隔接 近而形成，而且，在此水晶板之他方之主面上，設置對應 該輸入電極與输出電極之共通電極，使用介經這些之髦極 形成共振領域之厚度系統振動之壓電振動元件，其特徴爲 :在上述输入電極以及输出電極或共通電極之外周附近之 至少一部分，設β重置減輕部或重量加重部。 又，此重置減輕部或重量加重部可以適用於3極型之 壓電振動元件，即，使用在水晶板之一方之主面上，输入 電極與輸出《極以及介於這些之電極間之接地電極以規定 之間隔接近而形成，而且，在此水晶板之他方之主面上設 置對應道些m極之共通髦極，介經這些之電極形成共振領 域之厚度滑動系統振動之壓電振動元件，又，也可以逋用 於4極型之壓《振動元件，即，使用在水晶板之一方之主 面上》輸入電極與輸出竄極以規定之間隔接近而形成輸入 输出電極對，2組並聯而形成*而且，在此水晶板之他方 之主面上，分別設置對應於各输入輸出《極之共通電極， 介經道些2組之输入輸出電極對以及共通電極以形成共振 領域之厚度系統振動之壓m振動元件。 fn ^^^1"-_ —4^—· n^i 1 - jl- - <^^^1 ^^^1 ^^^1 s·^^^11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐> -6 - 44t174 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印11 五、發明説明（4 ) 又，此重量減輕部或重置加重部最好設置在該壓髦振 動元件之激振時展現之寄生振動之振動能量較主振動相對 高之部份° 再者，於使用在水晶板之一方之主面上，矩形狀之输 入《極與輸出電極以規定之間隔接近而形成，而且，在此 水晶板之他方之主面上，設置對應於該输入電極以及输出 電極之矩形狀之共通電極，介經這些之m極以形成共振領 域之同時，將這些之電極導出上述水晶板之外周端部之引 出電極被形成之滑動厚度系統振動之壓m振動元件中，上 述重置減輕部或重置加重部最好設置於上述输入電極與输 出電極互相相對之較逮邊之中央部之至少1個地方，或共 通電極之相向較逮邊之中央部之至少1個地方，或上述電 極或輸出電極之上述較逮邊之中央部之其中之一與上述共 通電極之上述較逮邊之中央部之至少1個地方。 此重置減輕部爲切口部形成之構造亦可，亦可介經將 上述電極之規定地方之該當電極全部或一部分去除而形成 凹部而構成。 又，此重量加重部可以爲上述電極之一部分或全體厚 肉的形成之構造，或樹脂材料加重於上述電極之一部份或 全髏而構成。 再者，對於上述輸入電極與輸出電極之總面稹，上述 共通電極之面積大大地形成之同時，在其之共通電極之外 周附近之至少一部分設置重量減輕部或重置加重部，該重 置減輕部或重置加重部可以及於和上述输入電極與输出電 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS M4规格（2丨OX297公釐）-7 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 Α7 Β7五、發明説明（5 ) 極相向之該共通電極部份之構成。本發明之壓電振動元件 可以爲形成在上述水晶板之哪一個之主面上之電極係厚肉 的形成之構成。本發明之壓電振動元件其形成在上述水晶 板之一方之主面上之共通電極之厚度，期望爲形成在他方 之主面之輸入電極以及输出《極之厚度之2倍至10倍之 範圍。 再者，本發明之壓電振動元件期望形成在上述水晶板 之嗎一個之主面上之電極》爲以金或銀爲主成分之金靨， 或由金或銀形成。 非諧和諧波模式之寄生振動，如圖1 0所示者，其振 動能量之分佈較以對稱模式振動（f S )，斜對稱棋式振 動（f a >之音響的結合而構成之主振動模式稍偏外側， 在輸入電極及輸出電極或共通《極相向之領域之端部附近 ，寄生振動之振動能量較主振動能量高爲所知悉。此處依 據本發明時，在此部份設置重量減輕部或重量加重部之故 ，由圖1所示之振動能量分佈也可明白地，此寄生振動之 平衡大爲被破壞，全體上寄生振動之振動能量被減弱。 又，即使於3極型或4極型之壓電振動元件，可以錯 開寄生振動，同樣地減弱振動能量。 又*介經此重量減輕部或重量加重部之構成，主振動 模式集中於激振氆極之中央部份，其結果，對稱模式（ f s )與斜對稱棋式振動（f a )之音響的結合被强化， 壓電振動元件之通過頻帶宽度變大。 又，介經將共通電極之面積做成較其之相向之输入m ----.--...----^------ΐτ------^ (請先閱讀背面之注項再填薄本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 8 _ 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 極與输出電極之總面積大*例如非1Ϊ和諧波模式，成爲較 其之振動能1:分佈偏於外側之狀態。於如此之狀態中，在 此共通電極之外周之至少一部分形成重童減輕部或重量加 重部，次重置減輕部或重置加重部爲做成及於相向之該共 通電部份之構成之故，此非諧和諧波模式本身之平衡破壤 ，可以將此振動能量極有效綠地衰減。又，一般使《極面 稹大，雖然可降低驅動阻抗，但是各種之寄生振動之同時 明顯化。但是，介經設置本發明之重童減輕部或重量加重 部之構成，寄生振動可以減弱至能供實用之水準。再者， 將形成於水晶板之其中之一之主面上之電極做成爲厚肉之 構成時，介經激振電極之外周端面而形成之界面更被强調 ，介經設置上述之重置減輕部或重量加重部之效果，可以 更有效導出，寄生抑制效果更爲提昇。 再者，形成在水晶板之一方之主面上之共通電極之厚 度，形成爲形成於他方之主面上之输入《極以及输出電極 之厚度之2〜10倍之範圍時，於將寄生振動能*導出於 外部時最爲理想，介經激振電極外周端面而形成之界面條 件更被强調，介經設置上述之重量減輕部或重量加重部之 效果，可以更有效導出，提昇保證衰減量特性。 又，以銀或金形成之金屬構成此電極時，如此之寄生 振動爲厚度滑動系統非諧和振動之場合，重置很重，介經 由這些之金屬形成之電極構成，非諧和振動較主振動之週 波數降低量小，外觀上此寄生振動較主振動成爲更高之週 波數。即，可以使寄生振動由主振動遠離。 本紙張尺度適用中國國家揉準{ CNS > Α4規格（210X297公釐）-9 - --„--L.--^---—裝------訂------球 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) ;4411^' 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ___B7五、發明説明（7 ) 再者，銀比鋁不易氧化，不會使與導電性接著劑之導 通電阻變大，衰減*特性變好。 圚面之簡單說明 圖1爲關於本發明之逋合的壓電振動元件之單片的（ monolithic)水晶濾波器之第1之實施型態之共通氰極側 之主面之平面圇，圖2爲圖1隻A — A剖面面，圔_1爲圖 1之B—B剖面圖。 圖4爲本發明之第2之實施型態之共通電極側之主面 之平面圖。 圚5爲本發明之第3之實施型態之共通電極側之主面 之平面圖，圇6爲圈5之C_C剖面圔。 圚7表示本發明之第4之實施型態之剖面圖。 圖8爲本發明之第5之實施型態之共通髦極側之主面 之平面圖。 圖9爲圖8之D—D剖面圖，圖10爲圚8之E—E 剖面圖。 圖11表示適用於各實施型態之電極之厚度之圖。 圖12爲表示圖1所示之第1之實施型態之週波數特 性圖，圖13表示圖5所示之第5之賁施型態之週波數特 性圇。 ffl 1 4爲表示第5之實施型態之變形例之共通電極側 之主面之平面圖，圖15爲表示圖14所示之第5之實施 型態之變形例之週波數特性圖。 (讀先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙朵尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）-1〇 - 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 t 合 作 社 印 製 附件1: 中文說明書修正- __請案 Μ Α7 Β7 民國89年12月呈 年产1 h 修正 補充 五、發明說明 ( 8 ) 圖 1 6 爲 本 發 明 之 第 6 之 實 施 型 態 之 共 通 電 極 側 之 主 面 之 平 面 圖 ΓΒ1 圖 1 7 表 示 圖 1 6 所 示 之 第 6 之 實 施 型 態 之 週 波 數 特性 1 fcj.l 圖 〇 (SI 圓 1 8 爲 表 示 第 6 之 實 施 型 態 之 變 形 例 之 共 逋 電 極 側 之 主 面 之 平 面 圖 9 圓 1 9 爲 表 示 圖 1 8 所 示 之 第 6 之 實 施 型 態 之 變 形 例 之 週 波 數 特 性 圖 〇 圖 2 0 爲 表 示 第 6 之 實 施 型 態 之 另 一 個 腦 変 形 例 之 共 通 電 極 側 之 主 面 之 平 靣 ΓΒ1 圖 〇 圖 2 1 爲 表 示 在 獲 得 介 經 電 極 材料 之 週 波 數 特 性 之 際 使 用 之 壓 電 振 動 元 件 之 電 極 構 成 之 共 通 電 極 側 之 主 面 之 平 面 圖 圖 2 2 表 示 圖 2 1 之 電 極 構 成 以 鋁 爲 電 極 材 料 之 場 合 之 週 波 數 特 性 圖 圖 2 3 表 示 圖 2 1 之 電 極 構 成 以 銀 爲 電 極 材 料 之 場 合 之 週 波 數 特 性 圖 〇 圖 2 4 表 示 對 於 電 極 材 料 以 鉻 — 銀 一 絡 之 多 層 構 造 爲 之 分 割 電 極 之 厚 度 爲 5 0 0 A 主 振 動 週 波 數 爲 1 3 0 Μ Η Ζ 之 場 合 之 共 通 電 極 之 厚 度 之 保 證 衰 減 量 之 特 性 圖 tjSZ 圖 2 5 表 示 對 於 電 極 材 料 以 鉻 — 銀 — 鉻 之 多 層 稱 造 爲 之 * 分 割 電 極 之 厚 度 爲 5 0 0 A 主 振 動 週 波 數 爲 1 3 0 Μ Η Ζ 之 場 合 共 通 電 極 之 厚 度 之 插 入 損 失 之 特 性 圖 〇 [SI 圖 2 6 表 示 對 於 電 極 材 料 同 樣 以 鉻 — 銀 — 鉻 之 多 層 構 造 爲 之 分 割 電 極 之 厚 度 爲 5 0 0 A 主 振 動 心田 週 波 數 爲 4 5 Μ Η Ζ 之 場 合 之 相 對 於 共 通 電 極 厚 度 之 保 證 衰 減 量 之 特 性 圖 0 圖 2 7 表 示 對 於 電 極 材 料 以 鉻 — 銀 — 鉻 之 多 層 構 造 爲 之 t 分 割 電 極 之 厚 度 爲 5 0 0 A 主 振 動 週 波 數 爲 4 5 Μ Η Ζ 之 場 合 之 共 通 電 極 之 厚 度 之 插 入 損 失 之 特 性 圖 〇 圖 2 8 爲 第 7 之 實 施 型 態 之 共 通 電 極 側 之 主 面 之 平 面 圖 问 圖 2 9 爲 第 8 之 實 施 型 態 之 共 通 電 極 側 之 主 面 之 平 面 I 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填… ί裝

頁I 174 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（9 )圖。 圖3 0爲使用於壓電振動元件之週波數特性之測定之 組件之分解斜視圖。 圖3 1爲先前之壓電振動元件之共通電極側之主面之 平面圖，圖3 2爲圖3 1之S — S剖面圇。 實施發明之最好之型態 以下，邊參考所附之圖面，就本發明之合逋之實施型 態說明之。 圖1 ，圚2以及圇3爲以逋用本發明之單片的水晶潇 波器爲例之第1實施型態之說明圖，圖1爲共通電極側之 主面之平面圖，圖2爲圖1之A — A剖面圖，圖3爲圖1 之B — B剖面圖，在圖1與圇3亦合併模型地表示主振動 模式與其之寄生振動之一之（3，1，3 )模式之振動能 量之分佈狀態。 在水晶板1使用AT截割水晶板，被加工爲矩形狀。 在此水晶板1之一方之主面（裡面）於Z ^軸方向空出規 定之間隔，分別矩形狀之輸入電極2 1與输出電極2 2之 對接近而形成。输入電極2 1與输出電極2 2介經個別之 引出電極2 1 a，2 2 a，被導至位於水晶板1之對角線 狀之各角落剖。又，在他方之主面（表面）與输入電極 2 1，输出電極2 2相向地形成矩形狀之共通《極2 3 * 此共通髦極2 3介經引出電極2 3 a，被導至水晶板1之 其他角落部，連接於接地端子（未ffl示出）。在此共通電 ^ϋ Jit 11 4 1 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁)

.1T 本紙張尺度通用中國困家標準（CNSU4規格（ 210X297公釐）-12 - 441174 A7 __B7_____ 五、發明説明（10) 極2 3之短邊之中央部份形成缺口部2 3 1，2 3 2。由 圖2以及圚3之剖面形狀可以明白地，输入電極2 1，輸 出電極2 2與共通電極2 3之外周端部之位ff於兩主面（ 表裡面）幾乎設於相同位置，共通電極2 3之缺口部 2 3 1 ，2 3 2成爲入於內側之狀態。 激振以上之構成之單片的水晶濾波器之場合，顯示如 圖1 2之週波數特性，與顯示先前技術之單片的水晶Μ波 器之週波數特性之圖2 2比較時，在本實施之型態，具有 先前比較大之振動能量之非諧和諧波模式等之寄生振動被 衰減。此被認爲係依據本實施型態之特徵的竄極構成者， 在缺口部2 3 1 ，2 3 2不施加電場之故，不進行依據逆 電壓效果之激振。即，振勖能置之分佈如圖1所示者，沿 著缺口部2 3 1，2 3 2，變成於振動產生不平衡之狀態 ，如圖3所示之非諧和諧波模式之振動能量被抑制，被認 爲變弱。又，由圖12雖不易理解，但是通過頻帶宽與先 前品相比變宽。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 又，在本發明之實施型態使用之單片的水晶濾波器， 使用5mmX 2。5mm之AT截割矩形水晶板，使用中 心週波數設定爲1 3 0MHz者，個別之電極之尺寸爲將 長邊0。7 8mm，短邊0。5 6mm之矩形電極之對， 互相隔以0。1mm間隔形成於裡面，在表面與這些之輸 入输出電極相向地，形成幾乎對應之大小共通電極。於先 前例，此共通電極之形狀不同於上述者。作爲爲了減輕重 置之電極形狀*在本實施型態中，顯示在共通電極有缺口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 13 - 4 4 1 I 7 4 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印笨 A7 ___B7五、發明説明（η) 部之例，此缺口部之形狀並不限定於本實施型態所示之形 狀，只要爲不對主振動模式之變形分佈產生影響之形狀、 尺寸時即可，爲彎曲之形狀亦可。 又，單片的水晶《波器雖未園示出，但是例如準備具 有各連接於支持髖之導線端子之底板，將上述電極構成之 水晶板1以和導線端子接合之支持《支持，介經罩子氣密 密封亦可，又，搭載於具有外部導出電極墊之組件中，氣 密密封亦可。 接著，作爲爲了減輕重置之電極形狀*將形成去除電 極之規定地方之電極部份之貫通孔之構成作爲第2之實施 型態，以下說明之。圖4表示此第2之實施型態之構成， 共通甯極形成之裡面之平面圖。關於與第1之實施型態之 例相同之構造部份，賦予相同號碼，同號碼之部份之說明 省略。 在此實施型態中，共通電極2 4介經引出《極2 4 a ，2 4 b被導至位於水晶板1之對角線狀之各角落部。 在形成於水晶板1之裡面之共通電極2 4，形成複數 之坑241，242，243，244， 245，246 ，這些之坑形成之部位爲（3，3，1 )模式之寄生振動 比較强的被激振之領域。各坑可以使用激振竈極形成後， 照射雷射光束去除規定之地方之憲極材料等之眾知之手段 。介經此種之構成，被認爲（3，3，1 )模式之寄生振 動之平衡崩溃，振動能置衰減。 又，於此第2之實施型態中，爲在共通電極形成貫通 I —-* 11 HI *^i —I— I -ml ^^1 In —i^i-----1^1 ^^1 I {請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格U10X297公釐> -14 - 五、發明説明（12) 孔之構成*並不限定於此貫通孔，m可以使電極之一部份 薄肉化，形成坑（凹洞）之構成。再者，也可以爲這些貫 通孔及坑與上述之缺α部混合存在之構造。 再者，作爲減輕重置之電極形狀，將形成如圖5以及 圖6之電極之構成作爲第3之實施型態，以下說明之。 Μ5表示此第3之實施型態之構成，爲共通《極形成 之裡面之平面圖*圖6爲圖5之C — C剖面圖。關於與第 1之實施型態之例相同之構造部份，賦予相同號碼，相同 號碼之部份之說明省略。 在一方之主面上，輸入電極3 1、输出m極3 2於 Z-軸方向排列隔以規定之間隔以接近之形態而形成。這 些之輸入電極3 1、输出電極3 2分別介經引出電極 3 1 a，3 2 a而被引導至位於水晶板1之對角線狀之各 角落部。在另一方之主面上，分別與输入電極31、輸出 電極3 2相向地形成共通電極3 3、3 4。這些之共通電 極33，34分別介經引出電極33a，34a而被引導 至位於水晶板1之對角線狀之各角落部。又*各電極之形 狀爲：形成爲對之輸入髦極3 1與输出電極3 2 ，又共通 壤極3 3與共通電極3 4 ，分別於X軸方向互相相向之遠 邊成爲園弧狀之構成°介經此構成，一部分成爲近似椭園 狀之振動能置分佈，可以採用之。又，此實施型態之例雖 採用電極於X軸方向並聯之構成，此於擴大通過頻帶有其 必要等，依據所希望之電氣的特性而選擇者。 再者，在此第3之實施型態中，爲了減輕重*，成爲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中围國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐> -15 - 441174 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印装 A7 __B7五、發明説明（13) 在共通電極3 3之形成園弧之電極端部之中央部份形成缺 口部3 3 1之同時，输出電極3 2之形成圔弧之《極端部 之中央部份形成缺口部3 2 1之構成。於形成此種缺口部 之構成中，與上述第1以及第2之實施型態相同地，可以 衰減非諧和諧波棋式等之寄生振動之振動能置。 又，作爲第4圖之實施型態，將具有加重重量之電極 形狀之單片的水晶濾波器之例於圚7顯示其之剖面圖，以 下說明之。 在與圚3 1所示之先前例相同構成電極構成中，再於 共通電極3 7之一方之端部設置以和電極3 7相同材料形 成之加重電極3 7 1。此加重電極3 7 1之形成部份爲非 諧和諧波模式被比較强的激振之部份，介經如此*可以使 非諧和諧波模式等之寄生振動衰減。 接著，邊參考圖8至圖1 0，在以下說明第5之資施 型態。圖8爲共通電極之主面之平面圖，圖9爲圖8之D —D剖面圖，圖1 0爲圚8之E — E剖面圖。 在此賁施型態之例中，對於形成在一方之主面之矩形 狀之输入電極4 1、输出電極4 2，形成在另一方之主面 之矩形狀之共通電極4 3，其4邊皆較大的形成，成爲包 覆输入電極4 1、输出《極4 2之兩方之大小。再者，在 此共通幫極4 3之相向之短邊之中央部份形成缺口部 4 3 1、4 3 2，該缺口形成在及於與形成在相反之面之 输入输出《極4 1、4 2相向之共通電極4 3部份之範圍 -----L---，.裝------訂------^ {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）-16 - 441174 A7 B7 經濟部中央樣準局員工消费合作杜印製 五、發明説明（14) 又，共通電極4 3介經引出氰極4 3 a被導至水晶板 1之其他之角落部，連接於接地端子（爲圚示出）。又， 翰入《極4 1與輸出電極4 2成爲介經個別之引出電極 4 1 a，4 2 a，被導至位於水晶板1之對角線狀之各角 落部之構成。 介經採用以上之構成*特別是非諧和諧波模式成爲更 偏外側之狀態之振動能量分佈，此非諧和諧波模式本身之 平衡破壞，可以將此振動能置極爲有效的衰減。一般，使 電極面稹大可以使驅動阻抗降低，但另一方面，產生各種 之寄生振動也同時明顯化之問題，採用減輕重量用之電極 形狀或重置加重用之電極形狀之構成時，此寄生振動可以 減弱至可供實用化之水準。 又，圖8所示之構成表示缺口部形成於Z >方向互相 相向之位置之構成，並不限定於此Z >方向，如圖2 0所 示者，於共通電極9 3在X方向形成缺口部9 3 1、 9 3 2、9 3 3、9 3 4之構成亦可。於此圖2 0所示之 構成中，共通電極之短邊L〇爲1。3 Omm，输入输出 電極之X方向之寬L2爲0。7 8mm之場合，配設於X 方向之相向之缺口部間之X方向之距離與寄生衰減量 之關係示於表1。 (請先閲讀背面之注項再填寫表頁) 本紙張尺度遗用中國國家揉準（CNS)A4規格（210：X297公釐）-17 - 44 1 1 7 4 a? __B7 五、發明説明（15) 表 1 L 1 ( mm ) 寄生裒滅里（d B ) 1.30 3 0.59 1 2 0.54 13 0.49 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 由此表1可以明白地，L愈小時，即，缺口深愈大時 ，寄生振動之衮減量愈大，最爲理想。 在依據此第5之實施型態之單片的水晶濾波器中，使 用5mmX2. 5mni之AT截割矩形水晶板，使用中心 週波數設定爲1 3 ΟΜΗζ者，個別之電極之尺寸爲將長 邊0. 78mm、短邊0. 56mm之矩肜電極之對相互 之間隔爲隔開〇.1mm形成於裡面，在表面形成將道些 之输入输出《極包覆地，電極之尺寸長邊1. 8 4mm、 短邊1.1mm之矩形之共通氰極43而構成。此種構成 之單片的水晶濾波器週波數特性顯示如圚1 3所示之週波 數特性，與表示先前技術之單片的水晶濾波器之週波數特 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS>A4規格（ 210X297公釐）-18 · 441 1 74 at _B7_____ 五、發明説明（16 ) 性之圖2 2比較時，可以明白具有先前比較大之振動能置 之非諧和諧波模式等之寄生振動被衰減。此場合亦與圚 12所示之第1之實施型態之元件相同，由圔13雖不易 理解，但是通過頻帶宽與先前品比較，則變寬。 此第5之實施型態之變形例有示於圖1 4之構成。在 此變形例中，關於對於形成在一方之主面之矩形狀之輸入 電極5 1、输出電極5 2，形成於另一方之主面之矩形狀 之共通電極5 3，其4邊皆比較大的形成，成爲包覆输入 電極5 1 、輸出電極5 2之兩方之大小之點，以及缺口部 5 3 1、5 3 2之缺口深形成爲及於與形成在相反之面之 輸入輸出電極5 1、5 2相向之共通電極5 3之部份之深 度之點，雖與圖8所示之構成相同，但形成於共通《極 5 3之缺口 5 3 1、5 3 2之形狀不同。又，共通《極5 3介經引出電極5 3 a、6 4 a被導至位於水晶板1之對 角線狀之各角落部，連接於接地端子（未圖示出）。又， 输入竜極5 1與輸出電極5 2介經個別之引出電極5 1 a 、5 2 a，成爲被導至位於水晶板1之對角線狀之各角落 部之構成。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 (請先閩讀背面之注$項再填寫本頁) 此種構成之單片的水晶濾波器之週波數特性顯示如圖 15所示週波數特性，與表示先前技術之單片的水晶濾波 器之週波數特性之圇2 2比較時，與先前所示之圓8之構 成相同地，可以明白具有先前比較大之振動能量之非諧和 諧波模式等之寄生振動被衰減》fi、f 2之寄生振動由主 振動遠離，可以知道f 2之寄生振動衰減。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）-19 - 441 1 74 at __ B7___ 五、發明説明（17) 接著，邊參考圖16邊以以下說明第6之實施型態。 圖16爲共通電極側之主面之平面圖。 在此實施型態中，與圖1 4所示之變形例及形成在输 入電極6 1、输出電極6 2以及共通電極6 3之在Z #方 向互相相向形成之缺口部6 3 1、6 3 2之構成雖相等， 但在此共通電極6 3之在X方向形成缺口部6 3 3、 6 3 4、6 3 5、6 3 6之構成爲其特徴。缺口部6 3 3 與6 3 4、缺口部6 3 5與6 3 6成爲分別形成於互相相 向之位置。 此種構成之單片的水晶濾波器之週波數特性顯示如圖 17所示之週波數特性，與表示依據先前圊8所示之構成 之週波數特性之圚1 5相同地，f 3、f 4之寄生振動由主 振動逮離，再者可以知道在此第6之實施型態中，不單示 f 4之寄生振動f 3之寄生振動也衰減。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，此第6之實施型態之變形例，可以舉圖18以及 圚1 9所示之構成。於圖1 8之構成中，共通電極7 3之 形成於X方向之缺口部731 、732、733、734 之形狀以及形成部份，與圚1 6之構成相同，又，形成在 Z <方向之缺口部7 4 1 、7 4 2之形狀不同，但其之形 成部份相同。又，共通電極7 3之相向短邊在外側形成爲 弧狀。此構成亦有與圖16之構成相同之作用效果。 再者，於圖1 9所示之構成中，形成於共通電極8 3 之缺口部83 1、832、833、834由矩形之電極 之各角落部沿著對角線上及於與輸入輸出電極8 1、8 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐）_ 2〇 - 44 1 1 7 4 A7 B7 五、發明説明（18) 相向之共通《極8 3之部份，形成以口。此構成亦有與圖 16之構成相同之作用效果。 又，於以上說明之第5以及第6之實施型態中*共通 m極亦可爲只使相向之二邊大之構成，即使形成於水晶板 全面亦無坊，將該水晶板例如於組件之電極墊介經導竃性 接合材等連接之際，此電極墊與形成於相反主面之输入輸 出電極之引出電極之短路事故有發生之可能之故，在採用 此構成之際，有必要形成不產生此種問題之無電極領域。 於以上說明之各實施型態中，使输入電極、輸出電極 或共通電極之哪一個之一方之主面之電極形成爲厚肉亦可 ，例如，如圓1 1所示者，對於輸入窜極3 5、输出電極 3 6之厚度G2，使共通電極3 7之厚度G1大。此厚度 G 1之厚度對於G 2約爲4倍時，爲了使寄生振動之能1： 排於外部，最爲理想。但是，因厚度之增加*頻帶增加， 此場合應考慮設計增至某種程度時成爲相同者。介經此種 構成，依據重量減輕或重量加重之邊界條件之變化更被强 調，可以抑制寄生振動。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '於以上說明之各實施型態中，共通電極之厚度，由形 成於另一方之主面之输入電極以及输出電極之厚度之2倍 至1 0倍之範圍者，爲了將寄生振動之能置排於外部爲所 盼望者，例如，如圖I 1所示者*對於输入電極3 5、輸 出電極3 6之厚度G2，共通電極3 7 2之厚度G1約爲 2倍。此由2倍至10倍之範園之限定係依循厚度增加時 ，頻帶增加》考慮設計增至某種程度時成爲相同者，在以 本紙張尺度適用中國固家標半（CNS)A4规格（ 210X297公釐）-21 - 卜 441 1 74 A7 ______B7 五、發明説明（i9) 下，參考圓2 4以及圓2 5所示之實驗資料，詳細說明之 Ο

圖2 4爲電極材料爲鉻一銀-鉻之多曆電極，輸入电 極以及輸出電極之爲5 Ο 0A，主振動週波數爲1 3 0 MHz之場合，將共通電極之厚度爲5 Ο 〇A、1 0 0 0 A、2000A、3000A、4000A、5000A 、6 0 0 0A、7 0 0 0A變化之場合之保證衰減置分別 評價者。又*圖2 5表示對於此場合之各共通電極之厚度 之插入損失之圖。再者，圓2 6爲電極材料爲鉻一銀—路 之多層電極，输入《極以及输出電極之厚度爲5 0 0 A， 主振動週波數爲4 5MH2之場合，將共通電極之厚度爲 5〇〇A、1〇〇〇A、2〇〇〇A、3〇〇〇A、 4000A、5000A、6000A、7000A 變化 之場合之2 0保證衰減置分別評價者。又，圖2 7表示對 於此場合之各共通電極之厚度之插入損失之圖。 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 在主振動週波數爲1 3 ΟΜΗζ之場合，囫2 5所示 之插入損失有高之傾向之故，插入損失約3 d Β以下設爲 可以使用之範園，在4 5MHz之基本波中，插入損失有 低之傾向之故，插入損失約2 d B以下設爲可以使用範圍 。又，考慮保證衰減S特性之最適合値時，在哪一個之場 合都是共通電極之厚度由1 0 0 〇A至5 0 0 0A之範圍 最爲合逋。以上之資料表示實驗的將共通電極之厚度設爲 由輸入電極以及输出電極之厚度之2倍至10倍之範豳之 根據。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠）-22 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 卜 441 174 at _B7五、發明説明（2Q) 介經以上之構成，可以獲得良好之保衰減量特性，依 據重量減輕或重量加重之邊界條件之變化更被强調之結果 ，可以有效果的抑制寄生振動。 又，寄生抑制效果因重量減輕部或重量加重部之大小 而異，有時會使主振動模式衰減，再者，考慮m極形成時 之製造誤差等，有必要進行缺口部等之設計。 又，於上格實施型態中，使用鉻一銀_鉻之多層構造 作爲《極材料》此構成與先前使用鋁作爲電極材料之場合 相比*在可以使寄生振動由主振動逮離發生之點上較優異 。圇2 2以及圖2 3皆適用於圖2 1所示之電極構成，表 示該電極材料分別以鋁、銀爲之場合週波數特性。又，此 處於使用之單片的水晶濾波器之共通電極1 3、輸入電極 11、輸出電極12中，雖皆未採取本申請專利之特徵之 構成之重量減輕或加重之構成，此處只敘述電極材料之不 同之作用效果之不同。如圔2 2所示者，在使用鋁電極之 場合，寄生振動f5、f 6在主振動之附近之爲發生，但在 使用銀電極之場合，寄生振動f 7、fs逮離主振動而發生 。此係寄生振動爲厚度滑動非諧和振動，介經以重量之重 的振動形成之場合，相較於主振動，非諧和振動之週波數 之降低量小，外觀上此寄生振動相較於主振動，乃成爲較 高之週波數。又，鋁易氧化，起因於與銀比較爲不安定之 材料。由以上*以銀爲電極材料由抑制寄生振動之影響之 觀點，可以脫爲有效之手段。又，電極材料不單是銀，也 可以使用金。又，不限定於使用這些金、銀之電極，也可 (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（ 210X297公釐）-23 ‘ 經濟部中央標準局貝工消賢合作社印製 A7 B7 五、發明説明（21) 以爲以金或銀爲主成份之金雇多層構造。例如，鉻-銀一 金、鉻一金一鉻、鎳一銀一鎳、鉻一銀一鎳或鎳一銀—鉻 等之三層構造、鉻一銀、鉻一金、鎳一銀、鎳一金等之二 層構造之電極構成。使用這些之電極之場合也可以獏得上 述單獨用銀之場合相同之效果。 又，上述之圖12、圖1 3、圖15、圖17、圃 2 2以及圖2 3所示之週波數特性爲使用圇3 0之分解斜 視圖所示之組件3 2 0而測定。此時被測定之壓電振動元 件3 0 0爲上述本申請專利之其中之一之元件也可以，例 如，如圖3 0所示者，在壓電性基板3 1 0之一面形成互 相隔以規定之間隔G之輸入輸出電極對3 1 1、3 1 2， 在其相反側之面*與這些相向地形成共通電極3 1 3，此 壓憊振動元件3 ‘0 0被收藏於表面構裝型之組件3 2 0內 〇 此組件3 2 0例如介經由陶瓷等之絕緣材料形成之組 件本體3 2 1，以及覆羞在其組件本體3 2 1上面開口部 之金屬製之蓋3 2 2而構成，在組件本體形成2個之坑 3 4 1、3 4 2，這些之坑3 4 1與3 4 2，於組裝之狀 態中分別與壓電性基板310之輸入《極311以及输出 電極312相向，又坑34 1、342間之隔壁343成 爲沿著输入输出《極對3 1 1、3 1 2間之間隔G之狀態 。壓髦振動元件3 0 0在將其之输入输出振動電極對 3 1 1以及輸出振動電極3 1 2分別向著坑3 4 1、 3 4 2之底面側之狀態，在性基板3 1 0之3個角落 本紙張尺渡適用申國國家榇準（CNS M4規格（2丨OX29?公釐）-24 - 丨_Γ--Γ---—裝------訂------辣 f請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁3 4s 4 t 1 7 4 A7 _B7 五、發明説明（22) 部份，於坑3 4 1、3 4 2之周緣部附近被支持於組件本 體3 2 1。壓電性基板3 1 0之输入輸出振動髦極3 1 1 、3 1 2以及共通電極3 1 3介經個別對應之引出電極， 被導至壓電性基板310之3個地方之角落部份之同時， 在組件本髏3 2 1之坑3 4 1、3 4 2之周緣部附近與上 述角落部對應位置形成3個之遑接墊P »而且*壓墊性基 板310於該3個地方之角落部份，介經導電性接著劑於 不妨礙振動之狀態，機械地固定於各連接墊P之同時，输 入输出電極對3 I 1 、3 1 2以及共通電極3 1 3與個別 之連接墊個別的電氣地連接著。在此種狀態下而測定者。 以上說明之第1至第6之實施型態電極構成以2極型 而說明之，3極型或4極型之壓锾振動元件也同樣可以逋 用。在以下，將其實施型態邊參考圖2 8以及圖2 9而說 明之。 圖2 8爲本發明之第7之實施型態之共通電極側之主 面之平面圖，表示3極型之壓電振動元件。 經濟部中央標準局—工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在水晶板1使用被加工爲矩形狀之AT截割水晶板， 在一方之主面，矩形狀之输入電極2 6 1 、接地端子 2 6 3、输出電極2 6 2隔以規定之間隔，接地端子2 6 3介於输入電極2 6 1與输出電極2 6 2之間之狀態下而 形成。输入電極2 6 1、輸出電極2 6 2分別介經引出電 極2 6 1 a、2 6 2 a，被導至位於水晶板1之對角線狀 之各角落部，接地端子2 6 3介經引出電極（未圖示出） 被導至位於水晶板1之另一個之對角線狀之各角落部。另 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS>A4规格（2!0X297公釐） 25 - 經濟部中央標隼局I工消費合作社印裂 A7 B7五、發明説明（23 ) —方面，在另一方之主面，與輸入電極2 6 1、接地端子 2 6 3、輸出電極2 6 2相向地形成共通電極2 6 4，此 共通《極2 6 4介經引出電極2 6 4 a、2 6 4 b，被導 至位於水晶板1之對角線狀之各角落部，與接電端子 2 6 3共通連接。在此共通電極2 6 4之外周缺口2 6 5 形成爲及於與其相向之輸入電極2 6 1、輸出電極2 6 2 之深度。此3極型之壓電振動元件也在共通電極2 6 4設 置重量減輕部之故，寄生振動之平衡破壞，整髗之寄生振 動之振動能量變弱。 圖2 9爲本發明之第8之實施型態之共通電極側之主 面之平面圊，表示4極型之壓電振動元件。 在水晶板1使用被加工爲矩形狀之AT截割水晶板， 在一方之主面，2組之输入输出電極，即，矩形狀之輸入 電極2 7 1與輸出電極2 7 2、输入電極2 8 1與输出電 極2 8 2分別隔以規定之間隔而形成。輸入電極2 7 1、 輸出電極2 7 2分別介經引出電極2 7 1 a，2 7 2 a， 輸入電極2 8 1 、輸出電極2 8 2分別介經引出髦極 2 8 1 a，2 8 2 a，被導至水晶板1之角落部，另一方 面，在另一方之主面，與輸入電極2 7 1 、輸出電極 2 7 2以及輸入電極2 8 1 、输出電極2 8 2分別相向地 形成共通《極2 7 3、2 8 3，此共通電極2 7 3、 2 8 3介經引出電極2 7 3 a，2 8 3 a，被導至位於水 晶板1之對角線狀之各角落部。在此·共通電極2 7 3、 2 8 3之外周個別缺口 2 7 4、2 8 4形成爲及於與其相 本紙張尺度通用中國國家標準{CNS)A4規格（ 210X297公釐> -26 - IL-------„---- 裝------訂------^ (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 441174 五、發明説明（24) 向之输入m極2 7 1、輸出電極2 7 2以及输入電極 2 8 1、输出電極2 8 2之深度。此4極型之壓電振動元 件也在共通電極2 7 4、2 8 4設置重置減輕部之故，寄 生振動之平衡破壞，整體之寄生振動之振動能置變弱。 產業上之利用可能性 如以上者，關於本發明之壓電振動元件作爲使用於通 信機器等之使用厚度滑動系統振動之壓電振動元件，寄生 振動之影響被抑制，作爲保證衰減置特性之良好的信賴性 高之元件有效。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝· 訂 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-27 -

Claims (1)

1. 441174 Α8 BS C8 D8

   六、申請專利範圍 附件2: 第861104 09號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (锖先閱讀背面之注意項再瘓寫本頁) 民國89年12月修正 1 .—種壓電振動元件，係使用在水晶板之一方之主 面上’輸入電極與輸出電極以規定之間隔接近而形成，而· 且’在此水晶板之他方之主面上，設置對應該輸入電極與 輸出電極之共通電極，使用介經這些之電極形成共振領域 之厚度系統振動之壓電振動元件，其特徴爲：在上述輸入 電極以及輸出電極或共通電極之外周附近之至少一部分， 設置重量減輕部或重量加重部》 2 ·如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中上述重量減輕部或重量加重部設置在該壓電振動元件之 激振時展現之寄生振動之振動能量較主振動相對高之部份 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 ·如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中上述各電極矩形狀地形成之同時，上述重量減輕部或重 量加重部設置於上述输入電極與输出電極互相相對之較遠 邊之中央部之至少1個地方，或共通電極之相向較遠邊之 中央部之至少1個地方，或上述電極或輸出電極之上述較 遠邊之中央部之其中之一與上述共通電極之上述較遠邊之 中央部之至少1個地方。 4 .如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中上述重量減輕部爲形成切α部之構造。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 -1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 4；4Π174 禺 D8 六、申請專利範圍 5 .如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中上述重量減輕部可以介經將上述電極之規定地方之該當 電極全部或一部分去除而形成之凹部而構成。 6 ,如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中上述重量加重部可以爲上述電極之一部分或全體厚肉的 形成之構造，或樹脂材料加重於上述電極之一部份或全體 而構成。 7·如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，_其 中對於上述輸入電極與输出電極之總面積，上述共通電極 之面積大大地形成之同時，在其之共通電極之外周附近之 至少一部分設置重量減輕部或重量加重部，該重量減輕部 或重量加重部可以及於和上述输入電極與输出電極相向之 該共通電極部份之構成。 8 .如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中形成在晶板之哪一個之主面上之電極係厚肉的形成之構 成。 9 .如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件，其 中形成在上述水晶板之一方之主面上之共通電極之厚度* 爲形成在他方之主面之输入電極以及輸出電極之厚度之2 倍至1 0倍之範圍。 10·如申請專利範圍第1項所述之壓電振動元件， 其中形成在上述水晶板之哪一個之主面之電極’爲以金或 銀爲主成分之金屬，或由金或銀形成。 1 1 · 一種壓電振動元件，係使用在水晶板之一方之 本紙張尺度適用中國囤家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公茇） n a^i n« n n I r « n n - n n 一s,， ·1> n n I (請先閲讀背面之法意事項再填寫本頁) A8 B8 C8 D8 441174 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 主面上，輸入電極與輸出電極以及介於這些之電極間之接 地電極以規定之間隔接近而形成，而且，在此水晶板之他 方之主面上設置對應這些電極之共通電極’介經這些之電 極形成共振領域之厚度滑動系統振動之壓電振動元件’其 特徵爲：在上述輸入電極以及輸出電極或共通電極之外周 附近之至少一部分’設置重量減輕部或重量加重部。 1 2 .如申請專利範圍第1 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量減輕部或重量加重部設置在該壓電振動元 件之激振時展現之寄生振動之振動能量較主振動相對高之 部份》 1 3 .如申請專利範圍第1 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述各電極矩形狀地形成之同時，上述重量減輕部 或重量加重部設置於上述輸入電極與輸出電極互相相對之 較遠邊之中央部之至少1個地方，或共通電極之相向較遠 邊之中央部之至少1個地方，或上述電極或輸出電極之上 述較遠邊之中央部之其中之一與上述共通電極之上述較遠 邊之中央部之至少1個地方* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 4 .如申請專利範圍第1 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量減輕部爲形成切口部之構造。 15.如申請專利範圍第11項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量減輕部可以介經將上述電極之規定地方之 該當電極全部或一部分去除而形成之凹部而構成。 1 6 .如申請專利範圍第1 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量加重部可以爲上述電極之—部分或全體厚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -3 - A8 B8 C8 D8 4411T4 六、申請專利範圍 肉的形成之構造，或樹脂材料加重於上述電極之一部份或 全體而構成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 17. 如申請專利範圍第11項所述之壓電振動元件 *其中對於上述輸入電極與輸出電極之總面積，上述共通 電極之面積大大地形成之同時，在其之共通電極之外周附 近之至少一部分設置重量減輕部或重量加重部，該重量減 輕部或重量加重部可以及於和上述輸入電極與輸出電極相 向之該共通電極部份之構成。 18. 如申請專利範圍第11項所述之壓電振動元件 ，其中形成在上述水晶板之哪一個之主面上之電極係厚肉 的形成之構成。 19. 如申請專利範圍第11項所述之壓電振動元件 ，其中形成在上述水晶板之一方之主面上之共通電極之厚 度，爲形成在他方之主面之輸入電極以及輸出電極之厚度 之2倍至10倍之範圍。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 2 0 .如申請專利範圍第1 1項所述之壓電振動元件 ，其中形成在上述水晶板之哪一個之主面上之電極，爲以 金或銀爲主成分之金屬，或由金或銀形成。 2 1 . —種壓電振動元件，係使用在水晶板之一方之 主面上，輸入電極與输出電極以規定之間隔接近而形成输 入輸出電極對，2組並聯而形成，而且，在此水晶板之他 方之主面上，分別設置對應於各輸入輸出電極之共通電極 ，介經這些2組之輸入輸出電極對以及共通電極以形成共 振領域之厚度系統振動之壓電振動元件’其特徵爲：在上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4 - 4 4 4 ABCO 六、申請專利範圍 述輸入電極以及輸出電極或共通電極之外周附近之至少一 部分’設置重量減輕部或重量加重部。 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 2 2 .如申請專利範圍第2 1項所述之壓電振動元件 ’其中上述重量減輕部或重量加重部設置在該壓電振動元 件之激振時展現之寄生振動之振動能量較主振動相對高之 部份。 2 3 .如申請專利範圍第2 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述各電極矩形狀地形成之同時，上述重量減輕部 或重量加重部設置於上述输入電極與輸出電極互相相對之 較遠邊之中央部之至少1個地方，或共通電極之相向較遠 邊之中央部之至少1個地方，或上述電極或輸出電極之上 述較遠邊之中央部之其中之一與上述共通電極之上述較遠 邊之中央部之至少1個地方。 2 4 .如申請專利範圍第2 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量減輕部爲形成切口部之構造。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 2 5 .如申請專利範圍第2 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量減輕部可以介經將上述電極之規定地方之 該當電極全部或一部分去除而形成之凹部而構成。 2 6 .如申請專利範圍第2 1項所述之壓電振動元件 ，其中上述重量加重部可以爲上述電極之一部分或全體厚 肉的形成之構造，或樹脂材料加重於上述電極之一部分或 全體而構成· 2 7 ·如申請專利範圍第2 1項所述之壓電振動元件 *其中對於上述输入電極與输出電極之總面積’上述共通 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） 441174申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印*取 電極之面 近之至少 輕部或重 向之該共 2 8 ，其中形 的形成之 2 9 ，其中形 度，爲形 之2倍至 3 0 ，其中形 金或銀爲 3 1 所述之壓 時，上述 輸出電極 共通電極 電極或輸 共通電極 3 2 第1 3項 中上述重 積大大地形成 一部分設置重 量加重部可以 通電極部份之 .如申請專利 成在上述水晶 構成。 .如申請專利 成在上述水晶 成在他方之主 1 0倍之範圍 .如申請專利 成在上述水晶 主成分之金屬 .如申請專利 電振動元件， 重量減輕部或 互相相對之較 之相向較遠邊 出電極之上述 之上述較遠邊 .如申請專利 ，第2 2項或 量減輕部爲形 之同時，在其之共通電極之外周附 量減輕部或重量加重部，該重量減 及於和上述輸入電極與輸出電極相 構成。 範圍第21項所述之壓電振動元件 板之哪一個之主面上之電極係厚肉 範圍第21項所述之壓電振動元件 板之一方之主面上之共通電極之厚 面之輸入電極以及輸出電極之厚度 範圍第 板之哪 ，或由 範圍第 其中上 重量加 遠邊之 之中央 較遠邊 之中央 範圍第 第2 3 成切口 21項所述之壓電振動元件 一個之主面上之電極，爲以 金或銀形成 2項、第1 述各電極矩 重部設置於 中央部之至 部之至少1 之中央部之 部之至少1 2項、第3 項所述之壓 部之構造。 2項或第2 2項 形狀地形成之同 上述輸入電極與 少1個地方，或 個地方，或上述 其中之一與上述 個地方。 項，第1 2項、 電振動元件，其 ——l·.——K------- ^--------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 6 Is 441174 、申請專利範圍 33 .如申請專利範圍第2項、第3項、第12項、 第1 3項、第2 2項或第2 3項所述之壓電振動元件’其 中上述重量減輕部可以介經將上述電極之規定地方之該當 電極全部或一部分去除而形成之凹部而構成。 34.如申請專利範圍第2項、第3項、第12項、 第1 3項、第22項或第23項所述之壓電振動元件’其 中上述重量加重部可以爲上述電極之一部分或全體厚肉的 形成之構造，或樹脂材料加重於上述電極之一部份或全體 而構成。 35 .如申請專利範圍第2項、第3項、第5項、第 6項、第12項、第13項、第15項、第16項、第 2 2項、第2 3項、第2 5項或第2 6項所述之壓電振動 元件，其中對於上述輸入電極與輸出電極之總面積，上述 共通電極之面積大大地形成之同時，在其之共通電極之外 周附近之至少一部分設置重量減輕部或重量加重部，該重 量減輕部或重量加重部可以及於和上述输入電極與輸出電 極相向之該共通電極部份之構成。 36 ·如申請專利範圍第2項、第3項、第4項、第 5項、第6項、第7項、第12項、第13項、第14項 、第1 5項、第1 6項、第17項、第22項、第23項 、第2 4項、第2 5項、第2 6項或第2 7項所述之壓電 振動元件，其中形成在水晶板之哪一個之主面上之電極係 厚肉的形成之構成。 37 如申請專利範圍第2項、第3項 '第4項、第 張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ' -7 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8— 六、申請專利範圍 5項、第6項、第7項、第8項、第12項，第13項、 第14項、第15項、第16項、第17項、第18項， 第22項、第23項、第24項、第25項、第26項、 第2 7項或第2 8項所述之壓電振動元件，其中形成在上 述水晶板之一方之主面上之共通電極之厚度，爲形成在他 方之主面之輸入電極以及輸出電極之厚度之2倍至1〇倍 之範圍。 38 如申請專利範圍第2項、第3項、第4項、·第 5項、第6項、第7項、第8項、第9項、第12項、第 13項、第14項、第15項、第16項，第17項、第 18項、第19項、第22項、第23項，第24項、第 25項、第26項、第27項、第28項或第29項所述 之壓電振動元件，其中形成在上述水晶板之哪一個之主面 上之電極，爲以金或銀爲主成分之金屬，或由金或銀形成 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂-------線 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼） 8