4 3 ^ 8 δ 7 - 五、發明說明（ί) Α7 Β7_ 〔發明之詳細說明〕 〔發明所屬之技術領域〕 本發明係有關將被照明之圖案轉印於轉印領域之光罩 及該光罩之圖案轉印於基扳上之轉印領域之曝光方法及曝 光裝置’特別是在基板上之轉印領域連結曝光時所使用之 曝光方法及曝光裝置以及光罩。 〔習知技術〕 —般而言，作爲製造液晶顯示元件等之曝光裝置，在 將形成於光罩上之圖案曝光於感光基板之所定曝光領域後 ’重複進行將感光基板僅移動一定距離且再度將光罩之圖 案曝光，即所謂的分段重複(step and repeat)方式者。 習知’例如在以投影曝光裝置形成大面積之液晶顯示 元件用LCD圖案時，通常使用畫面合成法。 此畫面合成法，其係使用分別對應於各被分割之LCD 圖案之複數之光罩，在對應一枚光罩之坡璃基板的曝光領 域曝光該光罩之圖案後，移動玻璃基板，同時將光罩與別 的交換，藉由在對應於此光罩之曝光領域曝光該光罩之圖 案，形成在玻璃基板以複數之圖案所合成之LCD圖案。 圖38係在製造15吋之液晶顯示器時，所使用之玻璃 基板P之電路圖案丨被分割爲複數(圖6爲6個）之圖案。 此電路圖案1具有略長方形，由顯示部2與周邊部3 所構成。顯示部2係以對應於複數畫素之複數電極爲有規 則地配列的圖案所構成。周邊部3係包圍顯示部2，並具 有使顯示部2之各電極的圖案及驅動各電極之驅動電路(未 • Γ 衣·Τ---.---訂---------線 < {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印*'1取 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4368874 A7 -------- _ B7 五、發明說明（ 圖示)分別加以導通之導通部。又，電路圖案1係由包含顯 示部2及周邊部3之分割圖案A〜F所合成之構成。 另一方面’圖39係分別對應於這些分割圖案A〜F之 圖案所形成之光罩RA〜RF之平面圖。又，在使用這些光 罩RA〜RF之步進器中，例如，首先安裝光罩RA，將玻璃 基板P移動至對應於分割圖案A之所定位置爲止後加以曝 光’並將分割圖案A轉印於玻璃基板p。 其次’將光罩RA與光罩RB交換，將玻璃基板P移動 至對應於分割圖案B之所定位置爲止後加以曝光，並將分 割圖案B轉印於玻璃基板P。其次，藉由依序重疊此動作 ，使分割圖案A〜F轉印於玻璃基板p。 又，圖40係在製造21吋液晶顯示裝置時，所使用之 玻璃基板P的電路圖案4被複數(在圖中爲15)分割之圖案 圖。又，與上述同樣地，電路圖案4係由包含顯示部2及 周邊部3之分割圖案A〜F2所合成之構成。於此例中，由 於顯示部2之1部形成分割圖案A、B、C之重疊圖案，因 此在相同之光罩(例如，具有A圖案之光罩)曝光複數之鏡 頭。又，圖41表示對應於這些分割圖案A〜F2之圖案所 形成之光罩RA〜RF。於此場合亦與上述同樣地，依序交 換光罩，同時藉由將玻璃基扳P移動至所定位置而加以曝 光，使電路圖案4被畫面合成。 但，在進行上述畫面合成法時，由於光罩之圖案描畫 誤差及投影光學系統之透鏡收差及使玻璃基板作分步移動 之台的定位誤差，因而造成在圖案之接縫部產生段差，裝 4 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) « n n —I» » H 1 n I t— 1 n I I J _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 436887^_；_ 五、發明說明（、） 置之特性受損，進而，在將被畫面合成後之分割圖案作多 層重疊時，各層之曝光領域的重疊誤差及圖案之線寬差於 圖案之接縫部份產生不連續變化’爲防止裝置降低品質’ 因而進行所謂之連結曝光。 此連結曝光係於鄰接之曝光領域將接縫部份加以連結 曝光，並且在各曝光領域’例如’變化曝光時間’藉由使 該接縫部份的曝光量（曝光能量）朝向境界而比例的減少’ 在進行重疊曝光之後，使此部份的曝光量與他部份的曝光 量略一致者，如日本專利特開平6-244077 5虎公報及特開平 7-235466號公報所揭示者。 〔發明所欲解決之課題〕 但，上述習知之曝光方法及曝光裝置以及光罩，存在 以下之問題。 在各光罩RA〜FR所形成之圖案內’顯示部2之圖案 係由對應於晝素之複數的電極有規則地配列者。因此，即 使在被分割爲複數之場合，於各分割圖案A〜F，存在部份 共通的電列圖案。 然而，分割圖案A〜F對應於被分割之顯示部2的位 置，而與周邊部3之有無或周邊部3所連接之位置相異。 因此，即使具有部份共通案，仍必須準備對應於分割圖案 A〜F之光罩RA〜RF，因而增加成本上之極大負擔。又’ 若光罩之枚數增加，光罩更換所需時間亦隨之增加，因而 導致對生產性提升上的障礙之問題。 本發明有鑑於上述諸問題，於是提供可實現在裝置製 _ 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） ltlj----- I I I I I » ---! I i I ^ — — — — — — — I— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4368874? 五、發明說明（牛） 造上’進行伴隨畫面合成之曝光處理時，藉由以最少枚數 光罩曝光而降低成本及提升生產性之光罩，及使用該光罩 之曝光方法以及曝光裝置爲目的。 〔解決課題之手段〕 爲達成上述目的，本發明係採用對應於表示施形態之 圖1〜37之以下構成。 本發明之曝光方法，使用具有圖案（la)之光罩(R、A、 B、C)，將第1圖案(A；L、Cl)與第2圖案(A2、C2)連結而曝 光於基板(P)上，其特徵係：光罩(A)之圖案具有：第1圖案 (A1)與第2圖案(A2)之共通圖案(KP);及與共通圖案(KP)連 接，並且與共通圖案(KP)相異之非共通圖案(HP1、HP2)， 選擇共通圖案(KP)與非共通圖案(HPI、HP2)之至少一部份 連結曝光。 因此，在本發明之曝光方法中，將第1圖案(A1)曝光 於基板(P)後’而連接第2圖案(A2)進行曝光時’可選擇與 第1圖案(A1)共通之共通圖案(KP)及與該共通圖案(KP)相異 之非共通圖案(HP)至少一部份來使用。因此，在曝光第2 圖案(A2)時，不必另外準備具有第2圖案(A2)之光罩(A)。 又，在對應於照明領域(SA1、SA2)之基板(P)上的曝光 領域，分別使二邊重疊而作矩形配列時，在照明領域(SA1 、SA2)的一邊形透過率爲漸次變化之減光領域’並可使對 應於各曝光領域之照明領域(SAi、SA2) ’在曝光中沿前述 —邊(X方向）分別移動。依此’對應於減光領域之基板(P) 上的曝光領域，可以漸次變化後之曝光能量之量而曝光。 6 ΐ紙張尺度_中關家標準（CNS)A4規格⑵〇 X观公爱） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -":-------訂---------線- 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（5 ) 其次’在與此曝光領域鄰接之曝光領域，可藉由在減光領 域重疊，而使重疊部份之曝光能量之量與其它部份相同。 又，如上述在將曝光領域作矩形配列時，在邊重疊之 各曝光領域間構成對，在各對使對應於曝光領域之照明領 域(SA1、SA2)，可在曝光中沿同一方向（對角方向）分別移 動。依此，在被矩形配列後之曝光領域的交叉部(K1)，可 藉由另一半之能量而曝光。其次，在剩餘之對亦可使照明 .領域（SB1、SB2)在曝光中以同一方向移動，而以另一半之 能量曝光交叉部（K1)，將這此結合起來之曝光量與其它相 同。 又，本發明之光罩，具有圖案之光罩(A)，其特徵係： 在光罩(A)，對應於複數之圖案，該複數之圖案的共通圖案 (KP)，及與該共通圖案(KP)相異之非共通圖案(HP1、HP2) 相連接所形成。 因此，在本發明之光罩，藉由將共通圖案(KP)及與該 共通圖案相異之非共通圖案(HP1、HP2)組合，而可以一枚 之光罩(A)對應於複數之圖案。 其次，本發明之曝光裝置，包含：將具有圖案之光罩 (R、A)加以保持之光罩台；及照明光罩(R、A)之照明光學 系統(7)，並將光罩(R、A)之圖案曝光於基板(P)上，其特徵 係具備：在光罩台（10)保持申請專利範圍第8項之光罩(A) ’將光罩(A)之照明領域至少設定第1照明領域(SA1)與第2 照明領域(SA2)之照明領域設定領域（n);及將被第1照明 領域(SA1)曝光於基板(P)上之第1圖案(A1)與第2照明領域 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ297公髮） -------j--ft--* 衣- I-------訂------- - ·線 I <請先閱讀背面之ii意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3^887 ^ 五、發明說明（b) 曝光於基板(P)上之第2圖案(A2)連結之控制裝置（11) ° 因此，本發明之曝光裝置，可藉由將被保持於光罩台 (10)之光簞(A)的照明領域’使用照明領域設定裝置（17)而 設定爲第1照明領域(SAI)，而能使至少具有共通圖案(KP) 之第1圖案(A1)曝光於基板(P)上。其次，藉由將光罩(A)之 照明領域，使用照明領域設定裝置（Π)而設定爲第2照明 領域(SA2)，而能使至少具有共通圖案(KP)之第2圖案(A2) 曝光於基板(P)上。此時，被曝光於基板(P)上之第1、第2 圖案(Al、A2)以控制裝置（11)之控制而加以連結。 〔發明之實施形態〕 以下，參照圖丨〜23，說明本發明之曝光方法及曝光 裝置以及光置之第1實施形態。此處，與上述同樣地，以 使用用來製造15吋之液晶顯示裝置之玻璃基板爲例而說明 〇 在這些圖中，與表示習知例之圖38〜41同一的構成要 素附有同一符號，該說明予以簡化。 圖3係曝光裝置5之槪略構成圖。 曝光裝置5，其係將形成於光柵(光罩)R之圖案(例如 ’液晶顯示元件圖案)投影轉印於角形之玻璃基板p上者， 由水銀燈6、照明光學系統7、投影光學系統8、基板台9 、光柵台（光罩台）10、曝光資料設定部及驅動控制裝置11 所槪略構成。 水銀燈6係產生作爲照明光之光束B。此水銀燈6附 設有橢圓鏡6a。橢圓鏡6a係將水銀燈6所產生之照明光加 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ^ ^1 ϋ 1 I at I I— I n n i I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 4368^74, 五、發明說明（1) 以聚光。 照明光學系統7，係由快門12 '反射鏡13、14、波長 選擇濾波器15、複眼積分儀16(fly eye integrator)光柵擋板 Π(照明領域設定裝置)及聚光鏡18所槪略構成。快門12係 將光束Β之光路以所定時間開關。反射鏡13，係將被橢圓 鏡6a聚光且順應快門12之開動作而射入之光束Β朝向波 長選擇濾波器15而反射。反射鏡14，係將通過光柵擋板 17之光束B朝向聚光鏡18而反射。 波長選擇濾波器15，在光束B中僅使曝光所需之波長 (g線及i線)通過。 複眼積分儀16,使通過波長選擇濾波器15之光束B 的照明度分布均一。 聚光鏡18，係將以光柵擋板Π之開口 S所設定之照 明領域之像，在光柵R成像。 光柵擋板17，其係設定將通過複眼積分儀16及半反 射鏡13之光束B照明光柵R之照明領域者，如圖4A所示 ，由在與光束B垂直交叉之平面內互相垂直交叉之方向移 動，以挾著光柵R之共同運作面而配置爲矩形之玻璃材質 所形成之擋板17a、17b所構成。在各擋板17a、17b，設置 以鉻蒸著遮光之遮光部24，及光束B所透過之矩彤的透過 部25。又，光柵擋板17，藉由擋板17a、17b之移動及各 透過部25的組合’以透過部25所重疊之範圍而形成開口 S，同時，在每一曝光使開口 S之大小可分別切換，並且— 邊維持各方面開口範圍之一定，一邊在彼此垂直交叉方向 9 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公# > (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4,3 ^ 8 8 7 ^ 五、發明說明（f ) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印？^ 分別形成移動自如方式。 又，光柵擋板Π，藉由在曝光中以一定的速度移動， 依開口 S的位置變化而變化曝光量，在對應於開口 S的位 置變化部份之玻璃基板P上的曝光領域之曝光量，即曝光 能量之量，使其以一定之比率減少所構成。又，在光柵擋 板17 ’附設有藉由以伺服馬達及球形螺絲所組合而成之搬 送機構(未圖示)等，分別驅動光柵擋板17之擋板17a、17b 之驅動機構20(移動裝置）。 投影光學系統8，係將存在於光柵R之照明領域之圖 案之後，成像於玻璃基板P上。 光柵台10係用以保持光柵R。又，在光柵台10，附設 用以交換光柵R之光柵交換裝置(未圖示）。 基板台9係用以保持玻璃基板P，使能於彼此垂直交 叉之方向移動自如。在此基板台9上設置移動鏡9a。在移 動鏡9a，由作爲位置計測裝置之未圖示的雷射干涉計射出 雷射光19,依該反射光與射入光之千涉而測出移動鏡9a 與雷射干涉計間之距離，即基板台9(詳言之，即玻璃基板 P)之位置而構成。又，在基板台9附設線性馬達等，驅動 基板台9之驅動機構22。 曝光資料設定部21，係將作爲曝光資料，關於將一個 曝光領域分割後之分割領域之各座標位置、大小等之曝光 領域資料，及關於將鄰接之分割領域的一部份重疊且曝光 之連結曝光資料加以輸入。 驅動控制裝置11，係依以曝光資料設定部21所設定 10 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） | Γιιιϋ —------訂- --------線 — J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 688 74, A7 _____B7 __ 五、發明說明（9 ) 之曝光資料，使鄰接之分割領域連結曝光’以驅動機構20 驅動光柵擋板17 ’並且，以驅動機構22驅動基板台9所 構成。 另一方面，如圖2所示，被轉印於玻璃基板p上之電 路圖案1係由顯示部2及周邊部3所構成。顯示部2，係 以順應複數像素之複數電極有規則地配列之圖案所構成。 周邊部3，係包圍顯示部2而形成，具有將顯示部2之各 電極之圖案及驅動這些電極之驅動電路，分別加以導通之 導通部。此導通部，係由在顯不部2之X方向兩端分別一 個接一個配置之台形之引板XI、X2，及在顯示部2之Y 方向兩端分別以等間隔’每8個分別配置之台形之引板Y1 〜Y8、Y9〜Y16所構成。 又，電路圖案1，係由包含被於X方向張開所定間隔 而往Y方向延伸之分割線VI〜V3及往X方向延伸之分割 線H1所分割之顯示部2與周邊部3的分割圖案A1〜A4、 B1〜B4所合成而構成。此處，分別設定使分割線VI通過 引板3之中心，而使分割線V3通過引板6之中心。又’分 割線V2設定使其通過引板4與引板5之間。 又，用以轉印此電路圖案1之光柵R，係使用圖1A 所示之光柵(光罩)A與圖1B所示之光柵(光罩)B所構成。 光柵A係在轉印分割圖案A1〜A4時所使用，在其表面係 具有由顯示部2a、周邊部3a所形成之電路圖案la及由鉻 所蒸鍍之遮光帶23，與玻璃基板P之間之所定投影倍率所 形成。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4现格（210 X 297公t ) , U-------:衣------^---訂---------線 (請先閱讀背面之注意ί項再填寫本頁) A7 436887 五、發明說明（θ ) 周邊部3a，係由設於顯示部2a的X方向兩端之引板 XII、X12，及設於顯示部2a之+Y方向端部之3個引板 Y21〜Y23‘所構成。引板Xil、X12 ’具有玻璃基板P之引 板X卜X2所被轉印之圖案之中，毕分割線更包含若干 -Y方向之+Y方向的一半程度。同樣地，引板γ21〜Y23 ’ 分別具有轉印於玻璃基板Ρ的引板Υ1〜Υ8之圖案。 顯示部2a，具有部份的轉印於玻璃基板ρ之顯示部2 的圖案。顯示部2a之範圍設爲X方向爲引板ΧΗ、Χ12同 樣地，具有顯示部2a所被轉印之圖案之中，相當於比分割 線H1更包含若干-Y方向之+Y方向的一半程度之長度。 遮光帶23，係於連結曝光時用以將光束B遮光，由除 了電路圖案la之-Y方向的邊以外的三方之周邊所形成。 又，作爲本實施形態之連結曝光，其係使用將鄰接並加以 曝光之圖案(曝光領域)的一部份重疊並予以曝光之方式。 又，在光柵A，如圖1A所示，使通過位於左端之引 板21的中心之分割線VII，及通過位於右端之引板23的 中心之分割線V14，分別往Y方向延伸而假想設定。又， 使通過左端之引板21與中央之引板Y22間之分割線V12， 及通過右端之引板Y23與中央之引板Y22間之分割線V13 ，分別往Y方向延伸而假想設定。同樣地，在相當於分割 線H1之位置，使分割線H11往X方向延伸而假想設定。 其次，光柵A之電路圖案la，在鄰接之2個分割圖案 曝光時’區分爲共通圖案KP，及與該共通圖案KP相異之 非共通圖案HP1、HP2。共通圖案KP設定爲與這些兩分割 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格mo X 297公釐） ---^---Li-----*-. —------訂··--------I ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4368874 A7 _____B7____ 五、發明說明（Μ ) 圖案共通並轉印。非共通圖案HP1、HP2設定爲與共通圖 案KP連續，並挾著共通圖案KP。又，在將各分割圖案曝 光時，設定共通圖案KP及選擇非共通圖案HP1、HP2之至 少一部份。 光柵B係於轉印分割圖案B1〜B4時所使用，因與光 柵A係同樣之構成，簡言之，在周邊部3a將顯示部2a之 X方向兩端定位並設置引板XII、X12，在顯示部2a之-Y 方向端部定位並設置3個引板Y24〜Y26。引板XII、X12 具有在玻璃基板P之引板XI、X2所被轉印之圖案之中， 比分割線H1更包含若干+Y方向之-Y方向的一半程度。同 樣地，引板Y24〜Y26分別具有轉印於玻璃基板P的引板 Y9〜Y16之圖案。 顯示部2a之範圍設爲X方向爲引板Y24〜Y26之3個 份量的長，與Y方向爲上述引板XII、X12同樣地，具有 在顯示部2a所被轉印之圖案之中，相當於比分割線H1更 包含若干+Y方向之-Y方向的一半程度之長度。遮光帶23 除了電路圖案la之+Y方向的邊之外的三方的周邊所形成 〇 又，在光柵B，如圖1B所示，使通過位於左端之引 板Y24的中心之分割線V15，及通過位於右端之引板Y26 的中心之分割線V18，分別往Y方向延伸而假想設定。又 ，使通過左端之引板Y24與中央之引板25間之分割線V16 ，及通過右端之引板26與中央之引板Y25間之分割線V17 ，分別往Y方向延伸而假想設定。同樣地，在相當於分割 13 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐) ~ n n n ·1 ϋ ϋ —Γ I n n n I I ^ - n n —1 n n ϋ ϋ 一5JI n I ϋ ϋ n I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) X A7 6¾ X A7 6¾ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明說明（e) 線HI之位置’使分割線H12往X方向延伸而假想設定。 其次，光柵B之電路圖案U，在鄰接之2個分割圖案 曝光時，區分爲共通圖案KP，及與該共通圖案KP相異之 非共通圖案HP1、HP2。共通圖案KP設定爲與這些兩分割 圖案共通並轉印。非共通圖案HP1、HP2設定爲與共通圖 案KP連續，並挾著共通圖案KP。又，在將各分割圖案曝 光時，設定共通圖案KP及選擇非共通圖案HP1、HP2之至 少一部份。 以下說明使用上述構成之曝光裝置及光罩，將電路圖 案1轉印於玻璃基板P之順序。此處，將分割圖案A1〜A4 、B1〜B4依序轉印加以說明。 又’在曝光資料設定部21，事先分別將分割圖案A1 〜A4、B1〜B4加以分割並曝光之分割領域的基準座標位置 、大小等之曝光領域資料，及在各分割領域進行連結曝光 之被指定之邊的資料加以輸入。 首先，光柵A係藉由未圖示之光柵交換裝置於光柵台 10調準設定’驅動控制裝置11讀入曝光資料設定部21之 資料，並透過驅動機構20而驅動光柵擋板17之擋板17a、 17b。依此，在光柵A，對應於光柵擋板Π之開口 s，如圖 5A所示，設定對應於非爲第1圖案之分割圖案Ai之矩形 狀的照明領域(第丨照明領域)SA1。此分割圖案A1由共通 圖案KP、非共通圖案HPI及非共通圖案HP2之一部份所 構成。 此處，光柵A之分割線V14，係假想設定爲在玻璃基 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） „---I-----------------------線—‘ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7
修正I ^^SS)43 6887 ί' 板P之分割線VI。同時，分割線HU假想設定爲在玻璃基 板P之分割線H1。 此時，照明領域SA1之右邊(+X側之邊），設定爲對應 於在連結曝光時之重疊範圍，對被假想設定之分割線V14 而偏置於-X側。同樣地，照明領域SA1之下邊(-Y側之邊) ’設定爲對應於重疊曝光之範圍，對被假想設定之分割線 H11而偏側於+Y側。又，照明領域SA1之左邊(-X側之邊) 及上邊(+Y側之邊），設定爲露出具有遮光帶23所重疊曝光 之範圍以上之範圍。 另一方面，驅動控制裝置11，在驅動光柵擋板17， 同時透過驅動機構而驅動基板台9。依此，基板台9，在對 應設定於光柵擋板17之照明領域SA1的位置，使玻璃基 板P定位而移動。在此基板台9移動時，未圖示之干涉計 係向基板台9上之移動鏡9a射出雷射光19，根據該反射光 與射入光之干涉以測定距離，並正確地檢測出基板台9(即 玻璃基板P)之位置。 若將光柵檔板Π及基板台9置於所定位置，則如圖3 所示，在曝光裝置5，來自水銀燈6之作爲照明光之光束b 被橢圓鏡6a聚光’依快門12之開動作，由反射鏡13射入 波長選擇濾波器15。在波長選擇濾波器15僅曝光所需之 波長通過之光束B，被複眼積分儀16以均一照明度分布調 整後，到達光柵擋板Π。 通.過光珊擋板17之開口 S之光束B，被反射鏡14反 射並射入聚光鏡18。藉由此聚光鏡18，光柵擋板π之開 15 I------------I --------訂·-------I ^7 ,(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印則衣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]〇 X 297公釐〉 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 4 3 〇 B 8 7 f A7 __^_B7__ 五、發明說明（), 口 S之像成像於光柵A，對應於開口 S之光柵A之照明領 域SA1則被照明。存在於光柵A之照明領域SA1之圖案之 像，藉由投影光學系統8而成像於玻璃基板P上之曝光領 域。依此，使分割圖案A1轉印於對應照明領域SA1之玻 璃基板P上的曝光領域。 在此曝光中，依驅動控制裝置11之指示，透過光柵 擋板17之擋板17a、17b之移動，如圖5B所示，照明領域 SA1係使右邊超過分割線V14而往+X方向側，並且使下邊 超過分割線H11而往-Y方向側(即，如圖5B中之由左上往 右下)分別以所定速度重疊曝光之範圍部份移動。藉由此右 邊及下邊之移動，在玻璃基板P上之曝光領域，係以被曝 光之曝光能量之量爲一定的比率逐漸減少之狀態而曝光。 其次’將作爲第2圖案之分割圖案A2曝光。分割圖 案A2係由共通圖案KP，及非共通圖案HP1的一部份所構 成。 與上述同樣地，藉由驅動控制11之控制，使光柵擋 板Π之擋板Ha、17b及基板台9移動。依此，在光柵A ’對應於光柵擋板17之開口 S，如圖6A所示，設定對應 於作爲第2圖案之分割圖案A2之矩形狀的照明領域(第2 照明領域)SA2。又’基板台9係使玻璃基板p設於對應在 光柵擋板17所設定之照明領域SA2的位置而移動。 此處，光柵A之分割線V13，係假想設定爲在玻璃基 板P之分割線V2。又，光柵A之分割線VI i，係假想設定 爲在玻璃基板P上之分割線VI。同時，分割線H11假想 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格7210x297公釐} n n ! n n I I I n 一SJ I E I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印制^ A7 B7 五、發明說明（/Γ) 設定爲在玻璃基板Ρ上之分割線 此時，照明領域SA2之右邊，設定對應於重疊曝光之 範圍，對被假想設定之分割線V13而偏置於-X側。同樣地 ，照明領域SA2之下邊，設定對應重疊曝光之範圍，對被 假想設定之分割線Η而偏置於+Y側，又，照明領域SA2 之左邊係設定與圖5Α所示之在曝光前之照明領域SA1所 設定之右邊的位置一致而越過分割線VII。又，照明領域 SA2之上邊，爲與上述同樣地，設定露出具有遮光帶23所 重疊曝光之範圍以上之範圍。 依此照明領域SA2之設定，如圖1Α所示，在光柵A 之電路圖案la內，設定在分割線Vli、VI3間之圖案爲第 1、第2圖案而作爲分割圖案Al、A2之共通圖案。又，比 分割線VII更-X側之圖案及分割線V13、V14之圖案，設 定使挾著共通圖案KP而選擇作爲非共通圖案HP。 其次，若按上述同樣進行曝光處理，則對應於光柵擋 板17的開口 S之光柵A的照明領域SA2被照明。存在於 光柵A的照明領域SA之圖案像，藉由投影光學系統8而 成像於坡璃基板P上。依此，分割圖案A2則被轉印於與 照明領域SA2對應之玻璃基板P上的曝光域。此處，在曝 光處理時，藉由根據驅動控制裝置11之指示，光柵擋板 17之擋板17a、17b移動，如圖6B所示，照明領域SA2其 右邊係往+X方向側，並且下邊係往-Y方向側(即，在圖6 中，由左上往右下)分別以所定之速度重疊曝光之範圍移動 °結果，鄰接之分割圖案Al、A2被連結曝光。 17 本ί氏張尺度適用ΐ國國家標準TCNS)A4規格（210 X 297公釐) - ^ L-------"--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 _____B7__ 五、發明說明（4 ) 其後，以上述同樣之順序，如圖7A、B所設定之分割 圖案A3及如圖8A、B所設定之分割圖案A4，藉由使對應 於各分割圖案A3、A4之照明領域SA3 ' SA4由+Y、-X側( 即，圖7、8中，由左上往右下)移動τ俾鄰接之分割圖案 間連結曝光而依序轉印於與各照明領域SA3、SA4對應之 玻璃基板Ρ上的曝光領域。
其次，當分割圖案Α1〜Α4轉印結束時，藉由光柵交 換裝置，使在光柵台10上之光柵Α與圖1Β所示之光柵Β 交換。光柵B係與光柵A在Y方向對稱而形成。對光栅B ，其亦藉由與光柵A同樣之步驟，使分割圖案B1〜B4邊 連結曝光邊依序轉印，而將電路圖案1轉印於玻璃基板P α 具體而言，在光柵Β，對應於光柵擋板17之擋板17a 、17b之開口 S，如圖9A所示，設定與分割圖案B1對應 之矩形狀的照明領域SB1。分割圖案B1，係由共通圖案 KP、非共通圖案HP1、非共通圖案HP2的一部份所構成。 此處，光柵B之分割線V18係假想設定爲在玻璃基板P之 分割線VI。同時，分割線H12係假想設定爲在玻璃基板 P之分割線H1。 此時，照明領域SBi之右邊(+X側之邊），係設定爲對 應於連結曝光時所重疊之範圍，對被假想設定之分割線 V18，而偏置於-X側。同樣地，照明領域SB1之上邊(+Y 側之邊），係設定爲對應於所重疊曝光之範圍，對被假想設 定之分割線H12，而偏置於+Y側。又，照明領域SB1之左 18 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]〇χ 297公釐） t [ I LI . { I * l I-----^ -----I--I ! J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印袈 688 7Ί. A7 〜_____B7_ 五、發明說明（/7 ) 邊(-X側之邊)及下邊(-Y側之邊），係設定露出遮光帶23所 重疊曝光之範圍以上之範圍。 其次，在玻璃基板P所對應之照明領域SB1的位置’ 使基板台9移動後，當進行與上述同樣之曝光處理時，則 照明領域SB1被照明。存在於光柵B之照明領域SB1的圖 案像，藉由投影光學系統8而成像於玻璃基板P上。依此 ，分割圖案B1被轉印於與照明領域SB1對應之玻璃基板P 上的曝光領域。此處，藉由在曝光處理時，根據驅動控制 裝置11之指示，光柵擋板Π之擋板17a、17b移動，如圖 9B所示，照明領域SB1，係右邊往+X方向側，且下邊往-Y方向側(即，圖9中，由左上往右下)分別以所定之速度重 疊曝光之範圍移動。結果，鄰接之分割圖案Al、B1間被 連結曝光。 其後，以上述同樣之步驟，使圖10A、B所示而設定 之分割圖案B2、及如圖UA、B所示而設定之分割圖案B3 、及如圖12A、B所示而設定之分割圖案B4，藉由將對應 各分割圖案B2〜B4之照明領域SB2〜SB4由+Y、-X側往-Y、+X側(即，在圖10〜12中，由左上往右下)移動，而在 對應於各照明領域SB2〜SB2之玻璃基板P上的曝光，例 如’像分割圖案Al、A2、Bl、B2般，分別以二邊以上重 疊而配列爲矩形之場合，如圖2所示，這4個曝光領域的 交叉部K1，係以上述曝光方法，透過照明領域之移動方向 ’藉由3個以上之曝光領域而被重疊曝光。 如上述在使照明領域由+Y、_χ側往-γ、+χ側(即，圖 19 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ------------I - £衣--- ---訂·--------I ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 修正j A7 修正j A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說羽（π ) 2中，由左上往右下)移動之場合的交叉部K1所曝光之能 量，以圖13〜18說明之。 如圖13所示，各照明領域SA1〜SA2 ' SB1〜SB2在 直線L1與L2之間，及在直線L3與L4間移動之場合，交 叉部K1則形成被直線L1〜L4所包圍之矩形領域。又，當 設定直線L1與L3交點爲P1，直線L2與L4之交點爲P2 ，直線L2與L3之交點爲P3，直線L1與L4之交點爲P4 ，則在將分割圖案A1曝光時，照明領域SA1之端點係由 交點P1往交點P2,往被矩形配列之曝光領域的對角方向 移動。此時，若在一次曝光未重疊之領域所照射的曝光量 設爲100%，則如圖14所示，交部K1形成交點P1爲100 %之曝光量X而交點P2〜4爲0%之曝光量的四角錐狀之 曝光量分布。 又，在曝光分割圖案A2時，照明領域SA2之端點雖 由交點P1往交點P2作對角方向移動，但’被交點PI、P2 、P4所包圍之三角形領域則未被曝光。因此’交叉部K1 如圖15所示，形成交點P3爲100%之曝光量而交點P1 ' P2爲0%之曝光量的三角錐狀之曝光量分布。同樣地，在 曝光分割圖案B1時，照明領域SB1之端點雖由交點Pi往 交點P2作對角方向移動，但，被交點PI、P2、P3所包圍 的三角形領域則未被曝光。因此，交叉部K1係如圖16所 示，形成交點P4爲100%之曝光量而交點PI、P2爲〇%之 曝光量的三角錐狀之曝光量分布。進而’在曝光分割圖案 B2時，照明領域SB2之端點亦由交點P1往交點P2作對角 20 -------------裝--------訂---^----- —'" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ ^88 7 4 # A7 -------B7______ 五、發明說明（j) 方向移動，如圖17所示，交叉部K1形成交點P2爲100% 之曝光量而交點PI、P3、P4爲〇%之曝光量的四角錐狀之 曝光量分布。 其次，藉由上述四次之曝光，照射在交叉部K1之曝 光量係如圖18所示，形成全領域爲丨〇〇%而與其它曝光領 域相同。其它之交叉部亦與交叉部K1同樣地，由於使照 明領域移動，在各交叉部亦以丨〇〇%之曝光量而被曝光。 又’由於在交叉部之曝光量設爲100%，因此，未必 要使照明領域之端點由交點P1往交點P2移動，亦可使交 叉部K1爲2個四角錐狀之曝光量分布及2個三角錐狀之曝 光量分布而四次曝光。換言之，使兩邊重疊而矩形配列之 4個曝光領域之中，以一邊所重疊之曝光領域間(鄰間之曝 光領域間構成複數(本形態爲二對）之對，在各對中與各曝 光領域對應之照明領域，若使其分別沿同一方向移動，在 各對中，由於交叉部K1係以四角錐狀及三角錐狀之曝光 量分布而被曝光，二對組成之曝光量分布形成2個四角錐 狀及2個三角錐狀，並且以1〇〇%之曝光量被曝光。 因此，若以上述對角方向每對其照明領域之移動方向 相異亦可，例如，在以對應於分割圖案Al、A2之曝光領 域構成對，對應於分割圖案Bl、B2之曝光領域構成對之 場合，亦可使對應於分割圖案A卜A2之照明領域SA1、 SA2之端點分別由交點P1往交點P2移動，而對應於分割 圖案Bl、B2之照明領域SB1、SB2之端點分別由交點P3 往交點P4之對角方向移動。 21 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297) ---^---- I----------f I ------- — I J _ - ' (請先閱讀背面之注意事項再填窵本頁) 4368874. A7 _ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（π) 在此場合，於各對中，若沿各對角方向，則不必完全 以同一方向移動，例如，亦可使照明領域SA1之端點由交 點P1往交點P2移動，照明領域SA2之端點由交點P2往 交點P1移動。同樣地，亦可使照明領域SB1之端點由交 點P3往交點P4移動，照明領域SB2之端點由交點P4往交 P3移動。又，對之構成亦未限於上述，若在一邊爲重疊之 曝光領域，亦可使對應於分割圖案Al、B1之曝光領域構 成對，對應於分割圖案A2、B2之曝光領域構成對。 上述之連結曝光，雖以具有遮光部24、透過部25之 擋板17a、17b使照明領域移動之構成，但，以下說明使用 圖4B所示之光柵擋板17進行連結曝光之方法。如此圖所 示，光柵擋板Π，係由挾著光柵R之共同作用面配置爲矩 形之玻璃材形成之擋板17c、17d所構成。在各擋板17c、 17d，於其遮光部24與透過部25之間設置減光部26。 在減光部26，鉻係以曝光裝置5之解像界限以下大小 之點狀被蒸著其次，此點狀之鉻膜密度，係藉由設定使 沿著透過部25往遮光部24逐漸變大，而使光束B的透過 率逐漸變低而構成。又，減光部26之範圍，設定爲在Y 方向鄰接之曝光領域之重疊長度，即與直線L3與L4間之 距離相同。此減光部26，在擋板17c係設於透過部25之上 邊，在擋板17d係設於透過部25之下邊。其次，光柵擋板 17，藉由移動擋板17c、17d，組合各透過部25，而使透過 部25重疊之範圍形成開口 S，同時在開口 S所設定之照明 領域之中，在對應於減光部26之邊形成減光領域。 22 張尺度適用中國國家標準（CNS)A4現格（210:297公釐) ----„----- I — I — II ^ -1(1 --------- ----- ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本I) 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 436887 " A7 B7 五、發明說明（>/) 在使用此擋板17c，17d曝光時，在光柵A，對應於光 柵擋板17之開口 S，如圖20A所示，設定對應於分割圖案 A1之矩形狀之照明領域(第1照明領域)SA1。此分割圖案 A1，係由共通圖案KP、非共通圖案HP1、非共通圖案HP2 的一部份所構成。此處，光柵A之分割線V14係假想設定 爲在玻璃基板P之分割線VI。同時，分割線H11係假想設 定在玻璃基板P之分割線H1。 此時，照明領域SA1之右邊(+X側之邊），在對應連結 曝光時之重疊範圍，對假想設定之分割線V14往-X側偏置 ，設定與在玻璃基板P之直線L1 一致。同樣地，照明領域 SA1之下邊(-Y側之邊），在對應於重疊曝光之範圍，對假 想設定之分割線H11往-Y側偏置，設定與直線L4 —致。 此時，擋板17d之減光部26，在照明領域SA1之下邊側之 中，在玻璃基板P，對應於被直線L3 1 LI、L4包圍之曝光 領域之照明領域，設爲減光領域。又，照明領域SA1之左 邊(-X側之邊），設定露出遮光帶23所重疊曝光之範圍以上 之範圍。 其次，在玻璃基板P與照明領域SA1對應之位置移動 基板台9之後，若進行與上述同樣之曝光處理，則照明領 域SA1被照明。存在於光柵A之照明領域SA1之圖案像， 藉由投影光學系統8而成像於玻璃基板p上。依此，分割 圖案AI被轉印與照明領域SA1對應之玻璃基板p上之曝 光領域。在此曝光處理時，藉由根據驅動控制裝置11之指 示，光柵檔板17之擋板17c、17d移動，如圖20B，照明 23 ------·------ 衣---------訂------1·線-* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 4368874 ______B7_ 五、發明說明（》) 領域SA1 ’使右邊與在玻璃基板p之直線L2 —致，沿減光 部26之長方向，往+X方向側(即，圖20中，由左往右)以 所定之速度移動。 其次’曝光分割圖案A2作爲第2圖案。分割圖案A2 ，由共通圖案KP、非共通圖案HP1的一部份所構成。
與上述同樣，藉由驅動控制裝置丨1之控制，移動光 柵擋板17之擋板17c、17d。依此，在光柵A，對應於光栅 擋板17之開口 S，如圖21A所示，設定與作爲第2圖案 之分割圖案A2對應之矩形狀的照明領域（第2照明領域 )SA2。又，基板台9，在與光柵擋板17所設定之照明領域 SA2對應之位置，偏置玻璃基板p而移動。此處，光柵A 之分割線V13假想設定爲在玻璃板P之分割線V2。又，光 柵A之分割線VII假想設定爲在玻璃基板P之分割線VI 。同時，分割線H11假想設定爲在玻璃基板P之分割線H1 〇 此時，照明領域SA2之右邊，對應於重疊曝光之範圍 ，對被假想設定之分割線V13，往-X側偏置而設定。同樣 地，照明領域SA2之下邊，對應於重疊曝光之範圍，對被 假想設定之分割線H11，往-Y側偏置，而設定與在玻璃基 板P之直L4 一致。又，左邊係在與如圖20A所示之.曝光 前之照明領域SA1所設定之右邊之位置（即，在玻璃基板 P之直線U) —致，設定超過分割線VII °此時，擋板17d 之減光部26，在照明領域SA2下邊側之中在玻璃基板P， 與被直線L3、LI、L4包圍之曝光領域對應之照明領域，設 24 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ --------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 6 8 8 K a? Β7 五、發明說明（y) 爲減光領域。又，照明領域SA2之上邊，與上述同樣，設 定露出遮光帶23 = 其次，若進行與上述同樣之曝光處理，則照明領域 SA2被照明，存在於光柵A之照明領域SA2之圖案像，藉 由投影光學系統8而成像於玻璃基板> 上。依此，分割圖 案A2被轉印於與照明領域SA2對應之玻璃基板P上之曝 光領域。在此曝光處理時，藉由根據驅動控制裝置11之指 示，光柵擋板17之擋板17c、17d移動，如圖21B，使照明 領域SA2，左邊與在玻璃基板P之直線L2 —致，沿減光部 26之長方向，往+X方向側（即，圖21中，由左往右）以 所定之速度移動。此後，與分割圖案Al、A2同樣之步驟 ，邊使各照明領域往+X方向側移動而依序將分割圖案A3 、A4轉印於玻璃基板p上。 其次，將光柵A交換爲光柵B，在光柵B ’對應於光 柵擋板17之開口 S，如圖22A所示，設定與分割圖案B1 對應之矩形狀的照明領域SB1。此分割圖案B1 ’係由共通 圖案KP、非共通圖案HP1、非共通圖案HP2之一部份所構 成。此處，光柵B之分割線V18假想設定爲在玻璃基板P 之分割線VI。同時，分割線H12假想設定爲在玻璃基板P 之分割線ΡΠ。此時，照明領域SB1之右邊（+X側之邊） ，對應於連結曝光時所重疊之範圍，對被假想設定之分割 V18 ’往一 X側偏置，設定與在玻璃基板Ρ之直線L1 —致 。同樣地，照明領域SB1之上邊（+ Υ側之邊），對應於 重疊曝光之範圍，對被假想設定之分割線Η12，往+Υ側偏 25 本纸張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210* 297公釐） (請先閱讀背面之ii意事項再填寫本頁) 訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 3 6 8 S 7 . A7 _B7_ 五、發明說明（4) 置，設定與直線L3 —致。此時，擋板17c之減光部26， 在照明領域SB1之上邊側之中，於玻璃基板P，對應於被 直線L3、LI、L4所包圍之曝光領域的照明領域，設爲減 光領域。又，照明領域SB1之左邊（一 X側之邊），設定 露出遮光帶23所重疊曝光之範圍以上之範圍。 其次，在玻璃基板P對應於照明領域SB1之位置，移 動基板台9之後，若進行與上述同樣之曝光處理，則照明 領域SB1被照明。存在於光柵B之照明領域SB1之圖案像 ，藉由投影光學系統8而成像於玻璃基板P上。依此，分 割圖案B1被轉印於與照明領SB1應之玻璃基板P上之曝 光領域。在曝光處理時，藉由根據驅動控制裝置11之指示 ，移動光柵擋板17之擋板17c、17d，如圖22B所示，照明 領域SB1，使右邊與在玻璃基板P之直線L2 —致，沿減光 部26之長方向，往+X方向側（即，圖22中，由左往右） 以所定之速度移動。 其次，與上述同樣地，以驅動控制裝置11之控制，移 動光柵擋板17之擋板17c、17d及基板台9。依此，在光柵 B，對應於光柵擋17之開口 S，如圖23A所示，設定與分 割圖案B2對應之矩形狀的照明領域SB2。又，基板台9， 在與光柵擋板17所設定之照明領域SB2對應之位置，使玻 璃基板P定位，而加以移動。此處，光柵B之分割線V17 假想設定爲在玻璃基板P之分割線V2。又，光柵B之分割 線V15假想設定爲在玻璃基板P之分割線VI。同時，分割 線H12假想設定爲在玻璃基板P之分割線H1。 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線< ' _ 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 4S6B9 7 5 a? B7 五、發明說明（>0 此時，照明領域SB2之右邊，對應於重疊曝光之範陶 ，對被假想設定之分割線VI7，往-X側偏置而設定。向 樣地，照明領域SB2之上邊，對應於重疊曝光之範圍，對 被假想假定之分割線ΗΠ，往+ Υ側偏置，設定與在玻璃 基板Ρ之直線L3 —致。又，左邊係與如圖22Α所示之曝 光前的照明領域SB1所設定之右邊的位置一致（即，在破 璃基板Ρ之直線L1)，設定超過分割線V15 ^此時，擋板 17c之減光部26，在照明領域SB2之上邊側之中，在玻瑪 基板P，與被直線L3 ' LI、L4包圍之曝光領域對應之照明 領域，設爲減光領域。又，照明領域SB2之下邊，與上述 同樣，設定露出遮光帶23。 其次，當進行與上述同樣之曝光處理，則分割圖案β2 被轉印於與照明領域SB2對應之玻璃基板P上之曝光領:¾ 。在此曝光處理時，藉由根據驅動控制裝置U之指示，移 動光柵擋板17之擋板17c、17d，如圖23B所示，照明領域 SB2，使左邊與在玻璃基板P之直線L2 —致，沿減光部％ 之長方向，往+X方向側（即，圖23中，由左往右）以所 定之速度移動。此後，與分割圖案Bl、B2同樣之步驟， 邊使各照明領域往+X方向側移動，而將分割圖案B3、B4 依序轉印至玻璃基板P上。 此處，在玻璃基板P之曝光領域之中，當著眼於分割 圖案A1〜A2、B丨〜B2被矩形配列之曝光領域，藉由在轉 印分割圖案Al、A2時，由直線L3在+ Y側之曝光領域， 在轉印分割圖案A1時，由直線L1往直線L2，以曝光量由 27 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ‘仅--------訂---------線-- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明說明（4 ) 100%至0%逐漸減少方式曝光，在轉印分割圖案A2時， 由直線L1往直線L2，以曝光量由0%至100%逐漸增加方 式曝光。因此，這些在重疊之曝光領域，藉由被重疊曝光 ，與未重疊之曝光領域同樣地，以100%之曝光量而被曝 光。此係與在轉印分割圖案B卜B2時，比重疊之直線L4 更一 Y側亦相同。 又，在轉印分割圖案Al、B1時，比重疊之直線L1更 -X側之曝光領域，在轉印分割圖案A1時，由直線L3往 直線L4，以曝光量由100%至0%逐漸減少方式曝光，在 轉印分割圖案B1時，由直線L3往L4，以曝光量由0%至 100%逐漸增加方式曝光。因此，藉由這些在重疊之曝光領 域重疊曝光，使與未重疊之曝光領域同樣地，以100%之 曝光量而被曝光。此係與在轉印分割圖案A2、B2時，比 重疊之直線L2更+X側亦相同。 另一方面，如圖19所不，這些分割圖案A1〜A2、B1 〜B2被轉印之曝光領域之交叉部K1，即被直線L1〜L4包 圍之矩形領域，與上述同樣地，當直線L1與L3之交點設 爲P1，直線L2與L4之交點設爲P2，直線L2與L3之交 點設爲P3，直線L1與L4之交點設爲P4，直線L1與L2 之距離設爲S，直線L3與L4之距離設爲T，而以交點P4 作爲原點之xy座標系，則分割圖案A1轉印時之曝光量D1 (%)依以下之數學式求之： D1 ( % ) = ( 100xy/T) X ( 1 —x/S) .........(1) 又，分割圖案A2轉印時之曝光量D2 ( % )依以下之 28 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣--------訂---------線， 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 4 3 68B 7 a? B7 五、發明說明（>r)) 數學式求之： D2 ( % ) = ( 100xy/T) X ( X/S) ..........(2) 又，分割圖案B1轉印時之曝光量D3 ( % )依以下之 數學式求之： D3 ( % ) = 100X U-Y/T) X ( l-x/S) .........(3) 又，分割圖案B2轉印時之曝光量D4 ( % )依以下之 數字式求之： D4 ( % ) = l〇〇X(l-Y/T)X (x/S) .........(4) 其次，在交叉部之曝光量D係由上述數學式（1)〜 (4)所求得之曝光量D1〜D4之總和： D (%) =D1 + D2+D3 + D4=100 依此，在交叉部K1之曝光量亦爲100% ’依同樣步驟 曝光玻璃基板P，可將玻璃基板P之曝光領域全面設定爲 一樣之曝光量。 又，在使用具有減光部26之光柵擋板17之場合’減 光部26可不必設於開口 S之上邊及下邊，而係設於左邊及 右邊，在圖2所示之玻璃基板P，藉由減光部26所形成之 減光領域設定往Y方向延伸之重疊曝光領域，使照明領域 往Y方向移動。 在本實形態之曝光方法及曝光裝置以及光罩’於光柵 A所形成之電路圖案la，在曝光時，由於區分爲在複數之 分割圖案Al、A2之共通且被使用之共通圖案KP ’及與此 共通圖案KP相異之非共通圖案HP，因此’藉由在每次曝 光調節照明領域，複數之分割圖案，使非共通圖案HP之 29 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -衣---------訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 436887 t A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印和衣 五、發明說明（ΛΠ 選擇相異，可任意選擇設定第1、第2圖案，以〜枚之光 柵A，作複數之分割領域Α1〜Α4之轉印。習知，在將進 行連結曝光之圖案置於一枚之光柵時，必須設置遮光帶（ 例如，1.5mm)，並將各圖案獨立分離。對此，如本實施 形態’在重叠鄰接圖案之一部份而曝光之場合，不必設遮 光帶而可將在一枚之光柵內之圖案分割，即，可將在一枚 之光柵內之共通部份、非共通部份，配合目的之圖案而返 復使用。因此，特別係如液晶顯示裝置或半導體記憶體般 ’返復相同圖案轉印之場合’以此返復圖案作爲共通圖案 ，可使上述效果更顯著。 爲獲得15吋之液晶顯不裝置用玻璃基板p，相較於圖 38所示之習知分割圖案A〜F及圖39所示之習知光罩RA 〜RF ’在本實施形態，雖分割數由6增爲8及增加曝光時 間，但，由於所使用之光柵由6枚減爲2枚，因此可縮短 光柵交換所需之時間，結果，可縮短處理時間，並可提高 生產性。又，由於亦可減少昂貴之光柵的使用枚數，故可 降低生產成本。 又，在本實施形態’由於非共通圖案HP係挾著共通 圖案KP所形成’因此’在移動光柵擋板Π，設定所定之 照明領域時，可縮短移動光柵擋板17之距離，減少照明領 域設定所需之時間，而更進一步提高生產性。 又，在本實施形態，於將上述複數之分割圖案曝光於 玻璃基板P時’由於驅動控制裝置11，係使鄰接之分割圖 案間連結曝光而驅動光柵擋板17及基板台9，因此，即 30 I - ---— — — — — —------ί I I I 訂 *11-1-1--- I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） B7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 五、發明說明（β) 使在電路圖案1被分割之場合，亦可防止因圖案之連結處 產生段差而損壞裝置之特性，連結處不連續地變化，降低 裝置之品質。 另一方面，在本實施形態，於光柵擋板17由具有遮光 部24、透過部25之擋板17a、17b所構成時，藉由矩形配 列之曝光領域之邊係重疊之曝光領域彼此之間構成對，並 在各對，使對應於曝光領域之照明領域，沿對角方向之同 一方向移動，即使在曝光領域相交叉之領域，亦不會過度 曝光，而可以與其它曝光領域相同之曝光量曝光。 又，在光柵擋板係由具有遮光部24、透過部25 '減光 部26之擋板17c、17d所構成時，藉由使對應於矩形配列 之曝光領域相交叉之領域，亦不會過度曝光，而可以與其 它曝光領域相同之曝光量曝光。又，在此場合，由於擋板 17c、17d之移動係同一方向，因此可使驅動擋板17c ' 17d 之驅動機構20簡化。 圖24〜37係表示本發明之曝光方法及曝光裝置以及光 罩之第2實施彤態。 在這些圖中，與圖1〜23所示之第1實施形態之構成 要素相同之要素具有同一符號者，省略其說明。 第2實施形態與上述第1實施形態之相異點，係被轉 印於玻璃基板P上電路圖案。 即，圖24所示之玻璃基板P，係用以製造上述21吋 之液晶顯示裝置。在被印於玻璃基板P之電路圖案4內， 周邊部3係由在顯示部2之X方向兩端以一個接一個配置 31 — — — — —丨1 — ||丨| -衣 *1— -----訂--------. * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（2K) X 297公釐） A7 ^368874 B7_ 五、發明說明（Μ ) 之台形引板XI、X2，及在顯示部2之Y方向兩端分別以 等間隔在十處配置之台形引板Y1〜ΥΙΟ、Y11〜Y20所構成 〇 其次，電路圖案4，係被在X方向以所定間隔分開而 往Y方向延伸之分割線VI〜V3，及在Y方向以所定間隔 分開而往X方向延伸之分割線HI、H2所分割，而形成之 分割圖案A1〜A2、B1〜B2、C1〜C8合成而構成。此處， 設定分割線VI通過引板Y3之右端附近，分割線V3通過 引板Y8之左端附近。又，設定分割線V2之通過引板5與 引板6之間。 其次，用以轉印此電路圖案4之光柵R，係使用圖 25A〜C所示之光柵A、B及光柵（光罩）C所構成。光柵 A於轉印分割圖案Al、A2時使用，其表面係由顯示部2a 、周邊部3a所成之電路圖案4a、遮光帶23，與玻璃基板P 間之具有所定之投影倍率所形成。 周邊部3a，係由設於顯示部2a之X方向兩端之引板 XII、X12，及設於顯示部2a之+ Y方向端部之3個引板 Y21〜Y23所構成。引板XII、X12，具有在玻璃基板P之 引板XI、X2所轉印之圖案中，比分割線H1更包含若干-Y 方向之範圍。同樣地，引板Y21〜Y23 ’各具有在玻璃基板 P之引板Y1〜Y10所轉印之圖案。 顯示部2a，係具有一部份轉印於玻璃基板P之顯示部 2之圖案。顯示部2a之範圍，係X方向引板Y21〜Y23之長 度，Y方向係與上述引板XII、X12同樣地，在顯示部2a 32 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS〉A4規格mo x 297公釐） ------------ ^ --------訂---------線·. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 B7 「_ _ JL-- Ί、發1¾說明(w ) 所轉印之圖案中，具有相當於分割線HI更包含若干_Y方 向程度之長度。 又’在光柵A，如圖25Α所示，通過引板Υ21左端附 近之分割線VII，及通過引板Y23右端附近之分割線V12 ’分別假想設定爲往Y方向延伸。同樣地，在相當於分割 線H1之位置，分割線H11假想設定爲往X方向延伸。 光柵B係用於在轉印分割圖案Bl、B2時所使用，由 於係與光柵A同樣之構成，簡單說明之，在其表面，係由 具有由顯示部2a、周邊部3a所成之電路圖案4a及遮光帶 23 ’與玻璃基板p之間之所定投影倍率所形成。 周邊部3a，係由設於顯示部2a之X方向兩端之引板 XII、X12 ’及設於顯示部2a之-Y方向端部之引板Y24〜 Y26所構成。引板XII ' X12，具有在玻璃基板P之引板 XI、X2所轉印之圖案中，比分割線H2更包含若干-Y方向 之分割線H2更-Y方向之範圍。同樣地，引板Y24〜Y26， 各具有在玻璃基板P之引板Y11〜Y20轉印之圖案。 顯示部2a，具有一部份之轉印於玻璃基板p之顯示部 2之圖案。顯示部2a之範圍，設爲X方向引板Y24〜Y26 之長度，Y方向係與上述引板XII、X12同樣地，具有在 轉印於顯示部2a之圖案中，比分割線H2更包含若干+ Y 方向之分割線H2更-Y方向之長度。 又，在光柵B，如圖25B所示，通過引板Y24左端附 近之分割線V13，及通過引板Y26右端附近之分割線V14 ’分別假想設定爲往Y方向延伸。同樣地，在相當於分割 33 --— — — — — — — — — — — ' —---1 — — ^ · — I ------.#. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐）
8 β 6 3 五、發明說明（）>) 7 線H2之位置，分割線H12假想設定爲往X方向延伸。 另一方面’光柵C，如圖25C所示，係用於轉印分割 圖案C1〜C8時所使用，在其表面，係由顯示部2a、周邊 部3a所成之電路圖案4a及遮光帶23，與玻璃基板p之間 之所定投影倍率所形成。 光柵C之周邊部3a，係由設於顯示部2a之X方向兩 端之引板XII、X12，及設於顯示部2a之Y方向兩端之引 板Y31〜Y34 ' Y35〜Y38所構成。引板XII、X12，具有在 轉印於玻璃基板P之引板XI、X2之圖案中，比分割線H1 更包含若干-Y方向之範圍。同樣地，引板Y31〜Y38，各 具有轉印於玻璃基板P之引板Y1〜Y20之圖案。 在此之中’引板Y33，僅具有與光柵A之引板Y23之 間可進行重疊曝光之長度。又，引板Y34，僅具有與光柵 A之引板Y21之間可進行連結曝光之長度。引板Y37、Y38 亦相同。 顯示部2a之範圍，X方向係與光柵A之顯示部2a相 同，Y方向則對分割圖案C5〜C8之Y方向的範圍具有可 進行重疊曝光之充份長度。 又，在光柵C，使光栅A之引板Y23與分割線V12之 位置關係一致，通過引板Y33之分割線V21假想設定爲往 Y方向延伸。同樣地，使光柵A之引板Y21與分割線VII 之位置關係一致，通過引板Y34之分割線V22假想設定爲 往Y方向延伸。又，通過引板Y31、Y33間之分割線V23 假想設定爲往Y方向延伸。又，在引板Y32、Y34間，分 34 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 14 297公嫠） --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ϋ 8 ^ ^ Α7 _ Β7 五、發明說明（33 ) 割線V24假想設定爲往γ方向延伸。 進而，在光柵C，對顯示部2a上邊，在往-Y方向微小 尺寸偏移之位置，分割線H21假想設定爲往X方向延伸 又’對顯示部2a下邊，在往+ Υ方向微小尺寸偏移之位置 ，分割線H22假想設定爲往X方向延伸。 其它之構成則與上述第1實施形態相同。 說明有關使用上述之光柵A、B、C，而將電路圖案4 轉印於玻璃基板P之步驟。此處，藉由以如圖4(A)所示之 擋板17a、17b所形成之光柵擋板17，設定照明領域。 首先，當光柵A設置於光柵台10時，驅動控制裝置 11讀取曝光資料設定部21之資料，透過驅動機構20以驅 動光柵擋板Π之擋板17a、17b。依此，在光栅A，對應於 光柵擋板Π之開口 S，如圖26A所示，設定與分割圖案 A1對應之矩形狀之照明領域SA1。分割圖案A：!，係由共 通圖案KP及非共通圖案HP1所構成。 此處，圖25A所示之光柵A之分割線V12，假想設定 爲圖24所示之在玻璃基板P之分割線VI。同時，光柵a 之分割線H11，假想設定爲在玻璃基板之分割線HI。 此時，照明領域SA1之右邊，對應於重疊曝光之範圍 ，對被假想設定之分割線V12，設定往-X側偏置。同樣 地，照明領域SA1之下邊，對被假想設定之分割線H11， 設定往+ Y側偏置。又，照明領域SA1之左邊及右邊，設 定露出遮光帶23重疊曝光之範圍以上之範圍。 當照明領域SA1之設定完成時，此外，藉由驅動控制 35 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 、諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ Κ---—---訂----I--線- 绶濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 436837 ^ a7 ____B7____ 五、發明說明（料） 裝置11之控制’基板台9係往對應於被設定之照明領域 SA1之位置移動°其次’當以此狀態進行曝光處理時，存 在於光柵A之照明領域SA1之圖案，即分割圖案A1被轉 印於玻璃基板P上。在此曝光處理時，光柵擋板π亦藉由 往+X方向側及-Y方向側移動，如圖26B所示，照明領域 SA1移動被重疊曝光之範圍量，此部份之曝光能量以一定 之比率逐漸減少。 其次，與上述同樣地，驅動光柵擋板17，如圖27A所 示’設定與分割圖案A2對應之矩形狀之照明領域SA2。分 割圖案A2 ’係由共通圖案KP及非共通圖案HP2所構成。 此處，光柵A之分割線VII，假想設定爲在玻璃基板p之 分割線V3。同時，光柵A之分割線H11，假想設定爲在玻 璃基板P之分割線H1。其次，在移動基板台9之後，藉由 邊移動光柵擋板17邊進行曝光處理，如圖27B所示，照明 領域SA2移動，具有重疊曝光部份之分割圖案A2被轉印 於玻璃基板P上。 此後，藉由光柵交換裝置，將光柵A與光柵B交換， 與光柵A同樣之步驟，依序將分割圖案Bl、B2轉印於玻 璃基板P上。具體而言，在光柵B，對應於光柵擋板17之 擋板17a、17b之開口 S，如圖28A所示，設定與分割圖案 B1對應之矩形狀之照明領域SBi。此分割圖案B1，係由共 通圖案KP及非共通圖案HP1所構成。此處，光柵B之分 割線V14，假想設定爲在玻璃基板P之分割線VI。同時， 分割線H12，假想設定爲在玻璃基板P之分割線H2。 36 * I I . ' I —II ^ I I — ITIII I -------*5^ " ί ,ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐> 4368874* A7 ____ B7 五、發明說明（β) 此時，照明領域SB1之右邊（+X側之邊），對應連 結曝光時之重疊範圍，對被假想設定之分割線V14，設定 往—X側偏置。同樣地，照明領域SB1之上邊（+ Y側之 邊），對應重疊曝光之範圍，對被假想設定之分割線H12 ，設定往+ Y側偏置。又，照明領域SB1之左邊，設定露 出遮光帶23重疊曝光之範圍以上之範圍，而下邊（-Y側 之邊）則露出遮光帶23。 其次，在與玻璃基板P對應之照明領域SB1之位置， 移動基板台9之後，當進行與上述同樣之曝光處理時，存 在於照明領域SB1之光柵B之圖案像，被轉印於與照明領 域SB1對應之玻璃基板P上之曝光領域。此處，在曝光處 理時，藉由根據驅動控制裝置11之指示，移動光柵擋17 之擋板17a、17b，如圖28B所示，照明領域SB1，其右邊 係往+X方向側，並且下邊係往-Y方向側（即，圖28中， 由左上往右下）各以所定之速度重疊曝光之範圍量移動。 此後，依上述同樣步驟，如圖29A、B所示，藉由將 分割圖案B2，使與分割圖案B2對應之照明領域SB2往+Y 、由-X側往-Y、+X側(即，圖29中，由左上往右下)移動 ，而在與照明領域SB2對應之玻璃基板P上之曝光領域， 使鄰接之分割圖案間連結曝光，而依序轉印。當使用光柵 B之曝光處理完成時，將光栅B與光柵C交換。 當光柵C被設置時，驅動光柵擋板π，在光柵C ,對 應於光柵擋板Π之擋板17a、17b之開口 S，如圖30A所 示’設定與作爲第1圖案分割圖案C1對應之矩形狀之照明 37 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ,(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ --------訂--------. 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 « A7 B7 五、發明說明（4 ) 領域SCI(第1照明領域）。此分割圖案C1，係由共通圖案 KP及非共通圖案所構成。此處’光柵C之分割線V21 ，假想設定爲在玻璃基板P之分割線VI。又光柵C之分割 線V24，假想設定爲在玻璃基板P之分割線V2。同時，分 割線H22，假想設定爲在玻璃基板P之分割線H1。 其次，在移動基板台9之後，藉由邊移動光柵擋板17 邊進行曝光處理，如圖30B所示，照明領域SCI移動，具 有重疊曝光部份之分割圖案C1被轉印於玻璃基板P上。 依此，上述之分割圖案Μ與分割圖案C1被連結曝光。 其次，驅動光柵擋板17，如圖31Α所示，設定與作爲 第2圖案之分割圖案C2對應之矩形狀之照明領域SC2(第3 照明領域）。此照明領域SC2，係由共通圖案KP及非共同 圖案HP2所構成。此處，光柵C之分割線V22，假想設定 爲在玻璃基板P之分割線V3。又，光柵C之分割線V23， 假想設定爲在玻璃基板P之分割線V2。同時，分割線H22 ，假想設定爲在玻璃基板P之分割線H1。 其次，在移動基板台9之後，藉由邊移動光柵擋板17 邊進行曝光處理，如圖31B所示，照明領域SC2移動，具 有重疊曝光部份之分割圖案C2被轉於玻璃基板P上。依 -此，上述分割圖案C1與C2，及上述分割圖案A2與C2 ’ 被連結曝光。 其後，驅動擋板17，如圖32A〜圖37A所示，對分割 圖案C5〜C8、C3〜C4之分割線，比該分割線更+Y、-X側 (各圖中，左上側），依序設定照明領域SC5〜SC8、SC3〜 38 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210«297公釐) /請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .衣 —--—訂-------I I . 經濟部智慧財產局員Η消費合作杜印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 6 8 8 T ^. A7 B7 五、發明說明（Μ) SC4，同時·在移動基板台9之後，移動光柵擋板17，如 圖32Β〜37Β所示，藉由邊使照明領域SC5〜SC8、SC3〜 SC4往-Υ ' +Χ側(各圖中’右下側)移動邊進行曝光處理， 各分割圖案使用光柵C之共通圖案及非共通圖案，可將分 割圖案C5〜C8、C3〜C4依序轉印於坡璃基板ρ。依此， 可將被連結曝光之電路圖案4轉印於坡璃基板ρ上。 在此曝光，與上述第1實施形態同樣地，對矩形配置 之曝光領域，一邊係重覆之曝光領域彼此間（鄰接之各曝 光領域），構成複數之對，在各對中，若將與各曝光領域 對應之照明領域分別沿同一方向移動，在各對中由於交叉 部係以四角錐狀及三角角錐狀之曝光量分布而被曝，因此 結合二對之曝光量分佈形成2個四角錐狀及2個三角錐狀 ，而可以100%之曝光量曝光。 又，作爲光柵檔板17，在使用圖4Β所示之檔板17c、 17d之場合，。如圖24所示，在將於下邊側設定重疊曝光領 域之分割圖案A1〜A2、C1〜C2C分別轉印時，將擋板17d 之減光部26定位於開口 S下邊，並將由減光部26所形成 之減光領域定位於直線LI、L2間之重疊曝光領域，設定各 照明領域SA1〜SA2、SCI〜SC2，在曝光中使各照明領域 SA1〜SA2、SCI〜SC2往減光部26之長方向(X方向)移動 。又，在將於上邊側設定重疊曝光領域之分割圖案B1〜B2 、C3〜C4分別轉印時，使擋板17c之減光部26定位於開 口 S上邊，並且將由減光部26所形成之減光領域定位於直 線L3、L4間之重疊曝光領域，設定各照明領域SB1〜SB2 39 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公》) <請先閲讀背面之ii意事項再填寫本頁) ^--------訂*--------線 公3 6残87鴣: A7 B7 五、發明說明（衫） 、SC3〜SC4 ’在曝光中使各照明領域SB1〜SB2、SC3〜 SC4往減光部26之長方向(X方向)移動=> 其次，當將上邊 側、下邊側兩處設定重疊曝光領域之分割圖案C5〜C8分 別轉印時，除擋板17c、Hd之減光部26定位於開口 S之 上邊及下邊，並且將由減光部26所形成之減光領域定位於 直線LI、L2間及直線L3、L4間兩處之重疊曝光領域，設 定各照明領域SC5〜SC8，在曝光中使各照明領域往減光部 2b之長方向（X方向）移動。依此，即使在僅邊重疊之重疊 曝光領域及被矩形配列之曝光領域所交叉之重疊曝光領域 ，亦可與上述第1實施態同樣地，以與未重疊曝光領域相 同之100%曝光量曝光。 又，在使用具有減光部26之光柵擋板Π之場合，減 光部26未設於開口 S之上邊及下邊，而係設於左邊及右邊 ，亦可使在圖24所示之玻璃基板P往Y方向延伸之重疊 曝光領域，設定爲由，減光部26所形成之減光領域，並使 照明領域往Y方向移動。 在本實施形態之曝光方法及曝光裝置以及光罩，除可 獲得與上述第1實施形態相同之效果之外，由於電路圖案 越大則共通圖案越多，因此，可增加因光柵之使用枚數減 少所得之效果。即，相較於圖40所示之習知分割圖案A〜 F2，及圖41所示之習知光罩RA〜RF之場合’在本實施形 態，分割數可由15減爲12，並可縮短曝光時間。又’由 於所使用之光柵由6枚減爲3枚，因此可縮短因光柵交換 所須之時間，大幅縮短處理時間而提高生產性。 40 木紙張尺度適用中國囷家標4"^CNS)A4規格（210 X 297公釐) " (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) T"_J-------II 訂-------!線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇887,^\ 43 688 7 ： 五、發明說明（”） 又，在上述實施形態之光柵枚數、玻璃基板P之分割 圖案數、大小等，僅說明其中之一例，其並未限於此，亦 可適用於各種枚數、大小等。 又，在上述實施形態，雖光柵擋板17係由擋板17a、 17b或擋板17c、17d所構成，一方之擋板之透過部25垂直 交叉之二邊與他方之擋板之透過部25垂直交叉之二邊之組 合而形成開口 S而構成，但亦可不使用擋板而構成透過部 25之複數之邊，分別以獨立之邊構成體而構成(在矩形之透 過部之場合，以4個邊構成體而構成），設置使各邊構成體 分別獨立而移動之移動裝置之構成。 於此場合，藉由使邊構成體與擋板17a、17b般同樣移 動，亦可獲得與使用擋板17a、17b之場合相同之作用與效 果。又，藉由至少在一邊構成體形成減光部，亦可獲得與 使用擋板17c、17d之場合相同之作用與效果。進而，在一 邊構成體之一部份形成減光部，而在對應其它之邊構成體 之位置，若使該減光部露出、隱蔽，則可適當選擇使用上 述減光部之曝光處理，或未使用減光部之曝光處理，而可 實施汎用性大之連結曝光。 又，作爲基板，不僅可適用液晶顯示裝置用之基板P ，亦可適用在半導裝置用之半導體晶圓、薄膜磁頭用之陶 瓷晶圓或曝光裝置所用之光罩或光柵之原版（合成石英、 矽晶圓）等。 作爲曝光裝置5，亦可適用在以使光柵R及玻璃基板 P靜止之狀態而曝光光柵R之圖案，並將玻璃基板p依序 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) r---I---訂·-------* 線· ( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公芨） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 36887 i A7 ___B7___ 五、發明說明（令0 ) 分段移動之分段重複(Step and repeat)方式投影曝光裝置， 及使光柵R及感光基板P同步移動而曝光光柵R之圖案之 分段掃描（Step and scan)方式之掃描型投影曝光裝置 (scanning stepper) 0 作爲曝光裝置5之種類，不僅可適用在上述液晶顯示 裝置製造用，亦可廣泛地適用在用以製造半導體製造用之 曝光裝置、薄膜磁頭、攝影元件(CCD)或光柵R等之曝光 裝置。 又，作爲照明光學系統7之光源，可使用由水銀燈所 產生之光線(g線(436nm)、1線(365nm))、KrF準分子雷射 (248nm)、ArF 準分子雷射（193nm) ' F:雷射（157nm)、X 線等 。又，亦可使用YAG雷射或半導體雷射等之高頻等。 投影光學系統8之倍率，不僅可使用縮小系統，亦可 使用等倍或擴大系統。 又，作爲投影光學系統8，在使用準分子雷射等遠紫 外線之場合，其係使用透過作爲玻璃材之石英或螢石等遠 紫外線之材料，而在使用F2雷射之場合，則使用反射折射 系統或折射系統之光學系統。 在基板台9及光柵台10使用線性馬達之場合，可使用 空氣軸承之空氣浮上型，或使用洛倫茲(Lorentz)力或電抗 力之磁氣浮上型任何一種。 又，各台9、10可使用沿導向器移動型，或未設置導 向器之無導向器型亦可。 因基板台9及光柵台10之移動所產生之反作用力，可 42 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------ ----------訂---------. I (請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 683 7 4 A7 ' B7 五、發明說明) 使用框體部件機械性地釋出於床(大地）° 藉由將複數之光學元件所構成之照明光學系統7及投 影光學系統8分別組裝於曝光裝置本體，進行其光學調整 ，同時，將多數之機械部件所形成之光柵台10及基板台9 安裝於曝光裝置本體，連接配線、配管，進而進行整體調 整（電氣調整、動作確認等），而可製造本實施形態之曝光 裝置5。又，曝光裝置5之製造，較佳係在溫度及潔淨度 等被管理之無塵室進行。 液晶顯示元件及半導體裝置等之裝置，係透過進行各 裝置之機能、性能設計之工程、製造依此設計工程之光柵 R之工程、製造玻璃基板P及晶圓之工程、藉由前述實施 彤態之曝光裝置5將光柵R之圖案曝光於玻璃基板及晶圓 之工程、組合各裝置之工程、檢查工程等而製造。 [發明之效果] 如以上所述，申請專利範圍第1項之曝光方法，係形 成光罩具有共通圖案及非共通圖案，選擇由此連接所形成 之共通圖案及非共通圖案之至少一部份，將第1圖案與第 2圖案連結曝光於基板之構成。 依此，該曝光方法，以一枚之光罩，在複數之曝光領 域將光罩之圖案使其圖案相異而複數轉印，因此，可縮短 光罩交換所需之時間，而獲得提高生產性之效果，又，亦 可減少昂貴的光罩之使用枚數，故可降生產成本，這些效 果特別如液晶顯示裝置或半導體記憶體，在將圖案重疊影 印之場合會更明顯地表現出來。 43 本紙張尺度適用中國國家標準（C>iS)A4規格（210x297公釐) " _(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 ----— III . —-----— I . < · α 3 6 8 Β 7 -4, Α7 Β7 五、發明說明（α) 申請專利範圍第2項之曝光方法，係由非共通圖案挾 著共通圖案所形成之構成。 依此，該曝光方法，由於可縮短在選擇第1、第2圖 案時所花之時間，因此，可進一步獲得提高生產性之效果 〇 申請專利範圍第3項之曝光方法，非共通圖案之選擇 ，在曝光第1圖案時與曝光第2圖案時係相異之構成。 依此，該曝光方法，由於可將圖案相異之第1、第2 圖案轉印於一枚之光罩，因此，可縮短此光罩交換所需之 時間而獲得提高生產性之效果，又，亦可減少昂貴的光罩 之使用枚數，故可獲得降低成本之效果。 申請專利範圍第4項之曝光方法，其係將圖案之選擇 由光罩之照明領域而設定，使對應該照明領域之基板上的 曝光領域鄰接之曝光領域重疊之構成。 依此，該曝光方法，藉由設定照明領域，以一枚之光 罩在複數之曝光領域’可獲得複數轉印相異圖案之效果。 申請專利範圍第5項之曝光方法，係將曝光領域分別 使二邊重疊，在複數矩形配列時，使對應於各曝光領域之 減光領域，沿減光領域所形成之一邊而移動之構成。 依此，該曝光方法，即使在曝光領域交叉之領域亦不 會過度曝光，而可獲得以與其它曝光領域相同之曝光量而 曝光之效果。又’在此場合，由於照明領域設定裝置之移 動爲同一方向’因此’可獲得使驅動照明領域設定裝置之 驅動機構簡化之效果° 44 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -^- ^L t u n 訂---------線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標舉（CNS)Α4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 6 A7 B7 五、發明說明) 申請專利範圍第6項之曝光方法，係將曝光領域分別 使二邊重疊，在複數矩形配列時，使邊係重疊之各曝光領 域構成複數之對，在各對中使與曝光領域對應之照明領域 沿同一方向而分別移動之構成。 依此，該曝光方法，即使在曝光領域交叉之領域亦不 會過度曝光，而可獲得以與其它曝光領域相同之曝光量而 曝光之效果。 申請專利範圍第7項之曝光方法，係將移動照明領域 之同一方向作爲矩形配列之對角方向之構成。 依此，該曝光方法，即使在將與垂直交叉之兩邊鄰接 之曝光領域一次重疊曝光時，在曝光領域所交叉之領域亦 不會過度曝光，而可獲得以與其它曝光領域相同曝光量而 曝光之效果。 申請專利範圍第8項之光罩，係連接複數之圖案之共 通圖案，及與此共通圖案相異之非共通圖案所形成之構成 〇 依此，該光罩，由於可以一枚之光罩設定複數之圖案 ，因此，可減少使用光罩枚數而獲得降低成本之效果。 申請專利範圍第9項之光罩，係由非共通圖案挾著共 通圖案所形成之構成。 依此，該光罩，即使在設定包含共通圖案之圖案時’ 亦可獲得縮短設定所花時間之效果。 申請專利範圍第10項之曝光裝置，係將申請專利範園 第8或9項之光罩保持於光罩台，照明領域設定裝置將光 45 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------- —-----! — 11 I — I 訂 ί I I ! I IJ X請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（4) 罩之照明領域設定爲第丨、第2照明領域，控制裝置將第1 、第2照明領域之第1、第2圖案連結於基板之構成。 依此，該曝光裝置’由於以照明領域設定裝置而設定 照明領域，可以一枚之光罩設定複數之圖案，因此，可縮 短光罩交換所需之時間而可獲得提高生產性之效果，又’ 由於可減少昂貴的光罩使用枚數’故可獲得降低成本之效 果。 申請專利範圍第1丨項之曝光裝置，係由照明領域設定 裝置將光罩之照明領域係複數之邊所形成之透過部之位置 而設定第1、第2照明領域，控制裝置將第1、第2照明領 域之第1、第2圖案連結於基板’並且’照明領域設定裝 置具有複數之邊構成體，及將邊構成體分別獨立並移動之 移動裝置之構成。 依此，該曝光裝置，可依狀況而設定各種大小、位置 相異之照明領域，又，可獲得容易進行減光部之露出、隱 蔽，並可實施汎用性大的連結曝光之效果。 申請專利範圍第12項之曝光裝置，係在透過部之至少 一邊，設置透過率逐漸減少之減光部之構成。 依此，該曝光裝置，可藉由在曝光中使照明領域沿設 置減光部之一邊而移動，因此，即使在曝光領域交叉之領 域亦不會過度曝光，而可獲得以與其它曝光領域相同之曝 光量而曝光之效果。又，在此場合，由於照明領域設定裝 置之移動係一方向，因此，可獲得驅動照明領域設定裝置 之驅動機構簡化之效果。 -------- ----f ——^---------. (請先33讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張&度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公爱） a〆 修正 436887 A7 B7 經濟部智慧財產局負工消费合作社印製 申請專利範圍第13項之曝光裝置，設置使曝光領域二 邊重疊，在複數矩形配列時，使邊重疊且與形成對之曝光 領域對應之照明領域沿同一方向移動之移動裝置之構成。 依此，該曝光裝置，即使在曝光領域交叉之領域亦不 會過度曝光，而可獲得以與其它曝光領域相同之曝光量而 曝光之效果。 申請專利範圍第14項之曝光裝置，係使移動照明頜域 之同一方向設爲矩形配列之對角方向之構成。 依此，該曝光裝置，使垂直交叉之二邊鄰接之曝光領 域在一次重疊曝光時，即使在曝光領域交叉之領域亦不會 過度曝光，而可獲得以與其它曝光領域相同之曝光量而曝 光之效果。 申請專利範圍第15項之曝光裝置，係由控制裝置依照 明領域設定裝置之設定而驅動基板台之構成。 依此，該曝光裝置，由於基板台依照明領域設定裝置 之設定而驅動，而可以一枚之光罩將複數之圖案轉印於基 板，因此，可縮短光罩交換所需時間而獲得提高生產性之 效果，又，亦可減少昂貴的光罩之使用枚數，故可獲得降 低成本之效果。 〔圖面之簡單說明〕 [圖1A及圖1B]表示本發明之第1實施形態，圖1A係 分割圖案A1〜A4之轉印所使用之光柵A之平面圖；圖1B 係分割圖案B1〜B4之轉印所使用之光柵B之平面圖。 [圖2]係以相同光柵轉印之電路圖案被分割爲複數之玻 47 —：-------------------訂·--------- (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格mo X 297公釐） A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制农 -·」------- 五、發明說明（鉍） 璃基板之圖案。 [圖3]表示本發明之第1實施形態，在光柵擋板、基板 台連接驅動控制裝置之曝光裝置之槪略構成圖。 [圖4]係構成本發明之曝光裝置之光柵擋板之A係由 遮光部、透過部所構成之擋板之平面圖；B係由遮光部、 透過部及減光部所構成之擋板之平面圖。 [圖5A及圖5B]表示本發明之第1實施形態，在第1 照明領域之光柵之圖案之平面圖，圖5A表示在曝光前， 藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA1之圖；圖5B表示 在曝光中，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA1之圖 [圖6A及圖6B]表示本發明之第2實施形態，在第2 照明領域之光柵之圖案之平面圖，圖6A表示在曝光前， 藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA2之圖；圖6B表示 在曝光中，藉由光柵擋板Π所設定之照明領域SA2之圖 〇 [圖7A及圖7B]表示在其它照明領域之光柵之圖案之 平面圖，圖7A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定之 照明領域SA3之圖；圖7B表示在曝光中，藉由光柵擋板 17所設定之照明領域SA3之圖。 [圖8A及圖8B]表示在其它照明領域之光柵之圖案之 平面圖，圖8A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定之 照明領域SA4之圖；圖8B表示在曝光中，藉由光柵擋板 17所設定之照明領域SA4之圖。 48 ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210x297公釐) 一 „------------裝--------訂---------韓 人請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 --#^|-Ξ」- 明說明（分） [圖9A及圖9B]表示本發明之第1實施形態，在另一 光柵之照明領域之圖案之平面圖，圖9A表示在曝光前， 藉由光柵擋板17所設定之照明領域SB1之圖；圖9B表示 在曝光中，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SB1之圖。 [圖10A及圖10B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖10A表示在曝光前，藉由光柵撞板Π所設定 之照明領域SB2之圖：圖10B表示在曝光中，藉由光柵擋 板Π所設定之照明領域SB2之圖。 [圖11A及圖11B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖11A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SB3之圖；圖11B表示在曝光中，藉由光柵擋 板17所設定之照明領域SB3之圖。 [圖12A及圖12B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖12A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SB4之圖；圖12B表示在曝光中，藉由光柵擋 板17所設定之照明領域SB4之圖。 [圖13]係用以說明曝光領域所交叉之交叉部之圖。 [圖14]表示在交叉部之曝光量分布圖。 [圖15]表示在交叉部之曝光量分布圖。 [圖16]表示在交叉部之曝光量分布圖。 [圖17]表示在交叉部之曝光量分布圖。 [圖18]表示在交叉部之曝光量分布圖。 [圖19]係用以說明曝光領域所交叉之交叉部之圖。 [圖20A及圖20B]表示在以具有減光部之擋板所設定 49 ^--------^, I-------^ 乂請先閱讀背面之注意"項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
A7R7 之照明領域，光栅之圖案之平面圖，圖20A表示在曝光前 ，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA1之圖;圖20B表 示在曝光中’藉由光柵擋板Π所設定之照明領域SA1 ° [圖21A及圖21B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖21A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SA2之圖：圖21B表示在曝光中，藉由光柵擋 板Π所設定之照明領域SA2之圖。 [圖22A及圖22B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖22A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SB1之圖；圖22B表示在曝光中，藉由光柵擋 板17所設定之照明領域SB1之圖。 [圖23A及圖23B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖23A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SB2之圖；圖23B表示在曝光中，藉由光柵擋 板Π所設定之照明領域SB2之圖。 [圖24]表示本發明之第2實施形態，21吋之液晶顯示 裝置用玻璃基板之圖案。 [圖25A〜圖25C]係在曝光玻璃基板時所使用之三枚之 光柵之平面圖，圖25A係轉印分割圖案Al、A2所使用之 光柵A ;圖25B係轉印分割圖案Bl、B2所使用之光柵B ; 圖25C係轉印分割C1〜C8所使用之光柵C。 [圖26A及圖26B]表示本發明之第2實施形態，在第1 照明領域之光柵之圖案之平面圖，圖26A表示在曝光前， 藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA1之圖；圖26B表 50 本紙張尺度適用Ψ國國家標準（CNS〉A4規格（210x 297公釐） --------------裝— '(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) . -錄 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 修正^ 五、發 436887 A7 B7 ¢1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 示在曝光中，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA1之 圖。 [圖27A及圖27B]表示本發明之第2實施形態，在其 它照明領域之光柵之圖案之平面圖，圖27A表示在曝光前 ，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA2之圖；圖27B 表示在曝光中，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SA2 之圖。 [圖28A及圖28B]表示本發明之第2實施形態，在另 一光柵之照明領域之圖案之平面圖，圖28A表示在曝光前 ’藉由光柵擋板17所設定照明領域SB1之圖；圖28B表 示在曝光中，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SB1之圖 〇 [圖29A及圖29B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖29A表示在曝光前，藉由光栅擋板17所設定 之照明領域SB2之圖；圖29B表示在曝光中，藉由光柵擋 板Π所設定之照明領域SB2之圖。 [圖30A及圖30B]表示本發明之第2實施形態，在第2 照明領域之光柵之圖案之平面圖，圖30A表示在曝光前， 藉由光柵擋板17所設定之照明領域SCI之圖；圖30B表 示在曝光光柵擋板17所設定之照明領域SCI之圖。 [圖31A及圖31B]表示本發明之第2實施形態，在其 它照明領域之光柵之圖案之平面圖’圖31A表示在曝光前 ’藉由光柵擋板17所設定之照明領域SC2之圖；圖31B 表示在曝光中，藉由光柵擋板17所設定之照明領域SC2之 51 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 裝--------訂-------！轉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 修正 五、¥明—溫 BB7 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作祛印製 圖 [圖32A及圖32B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖32A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SC5之圖；圖32B表示在曝先中，藉由光柵檔 牛反17所設定之照明領域SC5之圖。 [圖33A及圖33B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖’圖33A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SC6之圖；圖33B表示在曝光中，藉由光柵撞 板17所設定之照明領域SC6之圖。 [® 34A及圖34B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖34A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SC7之圖；圖34B表示在曝光中，藉由光柵擋 板17所設定之照明領域SC7之圖。 [® 35A及圖35B]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖35A表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SC8之圖；圖35B表示在_光中，藉由光柵擋 板17所設定之照明領域SC8之圖。 [圖36Α及圖36Β]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖，圖36Α表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SC3之圖；圖36Β表示在曝光中，藉由光柵擋 板17所設定之照明領域sC4之圖。 [圖37Α及圖37Β]表示在其它照明領域之光柵之圖案 之平面圖’圖37Α表示在曝光前，藉由光柵擋板17所設定 之照明領域SC4之圖；圖37Β表示在曝光中，藉由光柵擋 52 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 裝---------訂---------絲 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 -4368B7 ^ A7 卜' ' ._B7_ ' -五、發明說明（口） 板17所設定之照明領域SC4之圖。 [圖38]係具有被分割之電路圖案之玻璃基板之圖案。 [圖39]表示習知技術之光柵之一例之平面圖。 [圖40]係具有被分割之電路圖案之玻璃基板之圖案。 [圖41]表示習知技術之光柵之一例之平面圖。 裝--------訂·-------t·^ .(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) [符號說明] KP 共通圖案 K1 交叉部 HP1 ' HP2 非共通圖案 P 玻璃基板(基板） R、A、B ' C 光柵(光罩） Al ' Cl 第1圖案 A2、C2 第2圖案 SA1 ' SC2 照明領域(第1照明領域） SA2、SC2 照明領域(第2照明領域） la、4a 電路圖案(圖案） 5 曝光裝置 7 照明光學系統 9 基板台 10 光柵台(光罩台） 11 驅動控制裝置(控制裝置） 17 光柵擋板(照明領域設定裝置) 20 驅動機構(移動裝置） 25 透過部 26 減光部 53 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS>A4規格（210 x 297公釐）