TW423044B - Plasma processing apparatus - Google Patents

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TW423044B
TW423044B TW086117015A TW86117015A TW423044B TW 423044 B TW423044 B TW 423044B TW 086117015 A TW086117015 A TW 086117015A TW 86117015 A TW86117015 A TW 86117015A TW 423044 B TW423044 B TW 423044B
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processing chamber
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TW086117015A
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Yukio Soejima
Toshimi Katsura
Hideaki Miyazawa
Original Assignee
Plasma System Corp
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Description

^Λ23〇 ^ 4 Α7 Β7 五、發明說明（1 ) 發明背景 發明技術領域 本發明係關於電漿處理設備，藉由施加電漿放電來實 施不同的表面處理，例如半導體基體、顯示基體、多晶片 模組（MCM)、印刷電路板、等等的蝕刻、去灰、沈積 、表面重建及表面淸潔。 背景技藝 關於根據傳統LSI製程之半導體基體等的蝕刻、去 灰、沈積、表面重建、及表面淸潔，已廣泛使用各種型式 的電漿處理設備，其在減壓的環境下藉由產生電漿來處理 基體。 在這些型式的電漿處理設備中，裝載-鎖室係設置成 相鄰於實施電漿處理的處理室，且基體會經由此裝載-鎖 室而被輸送。在此情形中，會在處理室與裝載-鎖室之間 設有開口以輸送基體。在處理期間，此開口係藉由稱作閘 閥之閘元件氣密地密封，且在輸送期間，基體會被移進及 移出此開口。 但是，對於傳統的電漿處理設備，一裝載-鎖室通常 被提供給每一處理室。結果’會產生每單位時間所處理之 基體的數目（亦即產能）爲小的問題。因此，迫切需要具 有高產能的電漿處理設備。 發明槪述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------ 訂------！·#1 經濟部智慧財產局員工消费合作杜印製 -4- 及致使 1230 4 4 A7 ___ B7___ 五、發明說明（2 ) 在慮及上述觀點下，本發明的目的在於提供一種電漿 處理設備，其中可獲得產能的增加。 根據本發明，電漿處理設備被提供來藉由電漿放電以 實施基體的表面處理，該電漿處理設備包括： 第一處理室及第二處理室，用以實施表面處理； 裝載一鎖室，位於該第一處理室與第二處理室之間， 藉由第一連接組件及第二連接組件分別與該第一處理室與 第二處理室連接； 多個開口，分別設置在該第一連接組件與第二連接組 件中，分別致使該第一處理室與該裝載-鎖室之間連通， 處理室與該裝載-鎖室之間連通；及 輸送機構，能夠藉由在第一處理室、該裝載-鎖室、 及該第二處理室被鄰接配置之方向上，以往復方式自由地 移經該等開口，以便在該裝載一鎖室與該第一處理室之間 實施基體輸送，及在該裝載一鎖室與該第二處理室之間實 施基體輸送； 其中，多個該輸送機構係以彼此垂直的方式設置。 根據本發明的一個觀點，該第一處理室、該裝載-鎖 室、及該第二處理室被鄰接地配置以形成圓弧，且該多個 輸送機構係藉由被轉動，而能夠在該鄰接的配置方向上以 往復方式自由地移動。 根據本發明的另一觀點，提供有電漿處理設備，其中 在每一個該第一連接組件及第二連接組件中、上開口及下 開口被分別設置作爲該等開口 ’該上及下開口係以彼此垂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀. 背 面 之- 注
項 再Γ I裝 本 _ 頁I I 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 -5- 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 ：A23〇 ^ 4 A7 B7 五、發明說明（3 ) 直的方式而被間隔分開；上輸送機構及下輸送機構設置作 爲在具有該上開口及下開口之個別層級的該輸送機構：且 該上輸送機構及下輸送機構均在該裝載-鎖室內包括閘閥 ，其藉由在該鄰接的配置方向上以往復方式被驅動而從該 裝載一鎖室交替地開啓及關閉該第一連接組件的該開口及 該第二連接組件的該開口：用於基體支撐的第一載持器， 其相對於該閘條而被固定在該第一處理室側上，且當該閘 條關閉該第一連接組件的該開口時被定位在該第一處理室 側之內；及用於基體支撐的第二載持器，其相對於該閘條 而被固定在該第二處理室側上，且當該閘條關閉該第二連 接組件的該開口時被定位在該第二處理室側之內。 在此情形中，最好在每一個該第一連接組件及該第二 連接組件中，在該上開口及該下開口之間，中間閘閥分別 被設置在該裝載-鎖室側上，以轉動方式交替地開啓及關 閉該上開口及該下開口；及該等開口的每一個係藉由該輸 送機構的該中間閘閥及該閘條的其中之一而被關閉。 此外，根據本發明之電漿處理設備，最好更包括： 基體輸入機器人，用以將基體從基體供應站輸送至該 裝載一鎖室：及 基體輸出機器人，與該基體輸入機器人分開設置，用 以從該裝載-鎖室輸送基體。 圖式簡述 圖1係平面圖，包含部分剖面圖，顯示根據本發明的 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公蜚） -6 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---— I ---訂·ί!ί*.^ F A7 _ B7 五、發明說明（4 ) 較佳實施例之電漿處理設備的結構外形。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖2係平面圖，顯示圖1中所示的電漿處理設備中的 基體輸送系統之放大圖。 圖3係側剖面圖，顯示圖2的基體輸送系統之I I I —I I I剖面圖。 圖4係從圖1的I V方向観視的側剖面圖。 圖5係側剖面圖，顯示延著圖2之V_V線之圖1中 所示的電漿處理設備中的中間閘閥。 圖6係側剖面圖，顯示圖1中所示之電漿處理設備中 的大氣閘閥（處於關閉狀態）。 圖7係顯示處於開啓狀態之圖6的同一個大氣閘閥。 圖8至1 1係解釋說明圖，顯示使用圖1中所示的電 漿處理設備之方法。 主要元件對照表 1 電漿處理設備 1 0 R 第一處理室 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 I 0 L 第二處理室 II 裝載一鎖室 11a 加熱器 lib 進出埠 1 1 C 大氣閘閥 lid 驅動機構 lie 汽缸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 臛42304 4 A7 _B7 五、發明說明（5 ) 1 1 f 淸 除 墙 1 3 R 閘 板 1 4 R U 上 開 □ 1 4 R L 下 開 P 1 5 密 封 組 件 2 0 U 上 翼 2 0 L 下 翼 2 1 閘 條 2 1 a 中 心 軸 2 1 b 馬 達 2 2 R 接 觸 組 件 2 2 L 接 觸 組件 2 3 R 基 體 載 持 器 2 3 L 基 體 載 持 器 2 4 分 支 組 件 2 4 a 中 空 空 間 2 4 b 進 出 開 P 2 5 止 動 齒 2 6 閘 條 2 6 a 外 部 軸 2 6 b 輸 送 組 件 2 6 c 馬 達 2 7 L 接 觸 組 件 2 7 R 接 觸 組件 <請先閱讀背δ之注意事項再填寫本頁) 裝·---- - 訂·！----I < 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） r4 2 3 Ο 4 4 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五 、發明說明（6 ) 2 8 L 基 體 2 8 R 基 體 3 0 中 間 3 0 a 密 封 3 1 水 平 3 2 馬 達 4 0 基 體 4 1 匣站 4 2 匣 5 0 移除 5 1 冷卻 發 明 之 較 佳 實 施 例 在 下 列 敘 述 中 例 0 但 是 > 本 發 明 圖 1 係 平 面 圖 處 理 設 備 的 結 構 外 理 室 1 0 R ( 第 一 ) > 裝 載 — A/t> 鎖 室 1 閥 3 0 、 基 體 輸 送 除 臂 5 0 ( 基 Μ 體 輸 處 理 室 1 0 R 高 真 空 排 氣 組件 等 內 > 諸 如 半 導 體 基 臂 台 載持器 載持器 鬧閥 組件 軸 輸送機器人 並不侷限於這些較佳 ，顯示根據本發明的 形。在圖示中，電漿 處理室）、處理室1 1、上翼2 0 U、下 機器人4 0 (基體輸 出機器人）。 及1 0 L係分別配備 之室。在這些處理室 體（例如矽晶圓）、 本發明之較佳實施 實施例。 較佳實施例之電漿 處理設備1包括處 0 L (第二處理室 翼2 0 L、中間閘 入機器人）、及移 有電漿產生組件、 1 0 R及1 0 L之 顯示基體、多晶片 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 裳！訂-----I I I I ^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9- 423044 A7 _B7______ 五、發明說明（7 ) <請先閲讀背面之>i意事項再填寫本頁) 模組（M C Μ )、印刷電路板等的蝕刻、去灰、沈積、表 面重建及表面淸潔係藉由施加從電漿產生組件（未顯示於 圖中）所產生的電漿來實施。 裝載一鎖室11係設於處理室1 OR、l〇L及(1站 4 1 〔基體供應站）之間，且有助於基體W的輸入/輸出 。在上述圖形中所示的實施例中，此裝載一鎖室1 1係位 於處理室1 0R及1 0 L之間。根據此圖中所示之示例， 處理室10R、裝載_鎖室1 1、及處理室10L係按上 述次序鄰接配置而形成圓弧= 裝載一鎖室1 1經由閘板1 3 R而與處理室1 0R相 連通（圖4所示）。在此閘板13R中，上開口 14RU 及下開□ 1 4 R L分別被形成爲互相平行而延伸於水平面 上，而致使處理室10R與裝載-鎖室11相連通。裝載 _鎖室1 1也會經由類似閘板而與處理室1 0 L相通，在 該相似的閘板中，上開口及下開口分別被形成爲互相平行 而延伸於水平面上（未顯示於圖中）。 經濟部智慧財產局員Η消费合作社印製 如圖2及3所示，上翼2 0 U與下翼2 0 L彼此間隔 分開且垂直對齊。上翼2 0 U係由閛條2 1，接觸組件 22R及22L、基體載持器23R (第一載持器）及基 體載持器2 3 L (第二載持器）所形成。藉由馬達2 1 b 經由中心軸2 1 a而以轉動方式支撐閘條2 1。以此方式 ，閘條2 1會繞著裝載-鎖室1 1內的垂直軸在配置有處 理室1 0R、裝載—鎖室1 1及處理室1 〇 L的鄰接方向 上振盪（被來回驅動）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗〇χ297公釐） .1〇 . Γ4 2 3 Ο 4 4 Α7 Β7 五、發明說明（8 ) {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接觸組件2 2R被安裝在閘條2 1的處理室1 OR側 上且被設計而使得閘板13R的上開口 14RU (圖4) 可以在當閘條2 1朝向處理室1 0 R側轉動的時候從裝載 —鎖室1 1側被氣密密封地關閉。爲了確保上述的氣密密 封，在開口 1 4RU的周圍配置密封組件1 5 (例如，〇 形環）。 接觸件2 2 L被安裝於閘條2 1的處理室1 0 L側上 ，且被類似地設計成當閘條2 1朝向處理室1 0 L側轉動 時氣密密封地關閉處理室1 0 L上的閘板開口（未顯示於 圖中）。 基體載持器2 3 R被固定在接觸組件2 2 R的處理室 1 0 R側，使得當閘條2 1轉動至處理室1 0 R側且接觸 件組2 2R使上開口 1 4RU密封時，基體載持器2 3R 被定位在處理室1 OR之內。 以相同的方式，基體載持器2 3 L被固定在接觸組件 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 2 2 L的處理室1 0 L側，使得當閘條2 1轉動至處理室 1 0 L側且接觸組件2 2 L使處理室1 〇 L側閘板（未顯 示於圖中）的上開口密封時，基體載持器2 3 L被定位在 處理室1 0 L之內。 這些基體載持器'2 3 R及2 3 L被固定而使得他們維 持水平狀態，且被組以符合上開口 1 4 R U的高度位置。
如圖2所示，基體載持器2 3R及2 3 L分別包括分 支組件2 4，此分支組件2 4會延伸而形成符合諸如作爲 基體W之矽晶圓的形狀之圓弧。此外，基體載持器2 3 R -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） A7 423044¾ B7_ 五、發明說明（9 ) 及2 3 L也分別具有多個止動齒2 5。 以此方式，產生藉由分支組件2 4所圍繞之中空空間 24a。此外，藉由提供此中空空間2 4a ，可於電漿處 理時，將基體載持器2 3 R及2 3 L之存在的影響抑制至 最小。 除此之外，分支組件2 5被形成而使得其尖梢端僅以 預定的距離分開而形成進出開口 2 4 b。因此能夠藉由上 述的這些中空空間2 4 a及進出開口 2 4b，來輕易地實 施裝載一鎖室11內之基體W的輸入/輸出。 以此方式，根據如上所述包括上翼2 0 U、中心軸 2 1 a及馬達2 1 b之結構，上翼2 0U可以在裝載—鎖 室11與處理室10R之間及裝載一鎖室11與處理室 10L之間輸送基體W。 這些上翼20U、中心軸21a及馬達21b構成了 上輸送機構。 藉由閘條26、接觸組件27R及27L、基體載持 器28R (第一載持器）及基體載持器28L (第二載持 器）而以類似的方式構成下翼2 0 L。這些結構，亦即， 閘條2 6、接觸組件2 7R和2 7L、及基體載持器 2 8 R和2 8 L，係相同於上述的結構，亦即分別爲鬧條 2. 1、接觸組件22R和22L、及基體載持器23R和 23L，而因此省略其說明。 下翼2 0 L相關於上翼2 0U的不同處在於與下開口 14RL (非上開口 14RU)的對齊高度，及其中所渉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗〇χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝.—111---訂·！ ---户 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 4 230 4 4 *' A7 __B7__ 五、發明說明（10 ) 及的驅動方法。 如圖3所示，藉由馬達2 6 c經由外部軸2 6 a及輸 送組件2 6 b來驅動下翼2 0L。下翼2 0 L相以同於上 翼2 0 U的方式，在鄰接方向上繞著垂直軸自由地振盪（ 以往復方式自由移動）。 在此情形中，中心軸2 1 a及外部軸2 6 a被設計成 彼此獨立地轉動，使得上翼2 0 U及下翼2 0 L能夠彼此 獨立地地轉動而且不會互相干擾。 有可能根據包括如上所述之下翼2 0 L、外部軸 26a、輸送組件26b及馬達26c之結構，藉由將下 翼2 0 L放置在載運一鎖室1 1與處理室1 0R之間及裝 載-鎖室11與處理室1〇L之間來輸送基體W。這些下 翼20L、外部軸26a、輸送組件26b及馬達26c 構成了下輸送機構。 在此假設，在上翼20 U被定位在處理室1 0 R側上 而下翼2 0 L被定位在處理室1 0 L側上的條件下，如果 上翼20U及下翼20L相關於處理室10R側上的閘板 1 3R而以彼此相反的方向被驅動時，則上開口 1 4RU 可以藉由上翼2 0 U的接觸組件2 2 R而被密封關閉，但 是，無法藉由下翼2 0 L的接觸組件2 7R來密封關閉下 開口 1 4 R L。 因此，在此情形中，爲了密封關閉下開口 14RL， 設置有中間閘閥3 0。如圖4及5所示，此中間閘閥3 0 會在水平方向上無限地延伸作爲接觸組件，並被提供在閘 本紙張尺度適用尹國圉家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） _ 13_ I !^------- - 訂---I-----^ (請先閱讀背面之it意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財i局貝工消费合作社印製 4230“ ‘ A7 ____J7__ 五、發明說明（11 ) 板14的裝載—鎖室11側上。 中間閘閥3 0被支撐而使得藉由馬達3 2經由水平軸 3 1之轉動成爲可能。在此圖中，下開口 1 4RL藉由中 間閘閥3 0經由諸如〇形環或類似物之密封組件3 0 a而 被氣密地密封。 因此，能夠選擇性地將中間閘閥3 0驅動至下述任何 位置：（1)下開口 14RL被密封關閉之位置；（2) 上開口 1 4RU及下開口 1 4RL之間的中間位置，及（ 3)上開口14RU被密封關閉之位置。 此外，如圖3所示，在裝載-鎖室1 1之內，在裝載 -鎖室1 1的上及下部分中提供有二加熱器1 1 a來預熱 基體，連同讓基體輸入/輸出的進出埠1 1 b。 爲了氣密地密封進出埠1 1 b，會如圖6及7所示， 提供有大氣閘閥1 1 c ，此大氣閘閥1 1 c會經由驅動機 構1 1 d而連接至汽缸1 1 e。藉由汽缸1 1 e，大氣閘 閥1 1 c可以在進出埠1 1 b被氣密封地關閉之狀態（圖 6 )與進出埠1 1 b保持在開啓的狀態（圖7 )間被驅動 〇 舉例而言，基體輸送機器人4 0係雙臂型基體輸送機 器人，其被用來將從配置在匣站4 1中的匣4 2輸入之基 體W輸送至裝載—鎖室11= 移除臂5 0被用來將基體（亦即處理過的基體）按照 從上述裝載-鎖室1 1輸出至冷卻台5 1，當將處理過的 基體從冷卻台51送回匣42時使用基體輸送機器人40 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 * 297公爱） -14- I iiitr.!—I—^ (請先閱讀背面L注ί項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局S工消费合作社印製 4 2 3 0 4 4 ^ A7 ______B7___ 五、發明說明（12 ) 〇 在下面的敘述中，將參考圖8 — 1 1來說明包括上述 結構之電漿處理設備1。 首先，初始狀態係如同s 1中所示，其中上翼2 ◦ U 係位於處理室1 0 R側上，而下翼2 0 L則位於處理室 1 0L側上。在此狀態中’處理室1 0R及1 〇 L係維持 高真空狀態，而裝載一鎖室1 1則曝露於（連通至）大氣 〇 在此情形中，爲了將處理室1 0R維持在高真空狀態 ，藉由上翼2 0 U的接觸組件2 2 R來關閉處理室1 〇R 側上之閘板1 3 R的上開口 1 4 R U。除此之外’藉由中 間閘閥3 0來關閉下開口 1 4 R L。 關於處理室1 0 L的氣密保持，藉由類似組構之中間 閘閥（未顯示於圖中）及下翼2 0 L的接觸組件2 7 L來 關閉開口（未顯示於圖中）。 在此狀態中，如同S 2所示，使用基體輸送機器人 4 0，基體編號1及基體編號2被輸送（輸入）至裝載-鎖室1 1的內部。此時，舉例來說，藉由基體載持器 2 3 L支撐基體編號1，而藉由基體載持器2 8 R支撐基 體編號2。 在完成基體輸入之時，藉由大氣閘閥1 1 c關閉進出 埠1 1 b，且裝載一鎖室1 1藉由高真空排氣組件（未顯 示於圖中）而被抽真空。 如同S 3所示，當裝載-鎖室1 1的真空程度到達預 <請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝！ —訂------·" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210*297公釐） .15 - 42304 4 A7 B7 五、發明說明（13 ) <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 定等級時，上翼2 0 U被轉動地驅動向處理室1 〇 L ’且 由基體載持器2 3 L所支撐的基體編號1被輸送入處理室 1 0 L之內。同時，下翼2 0 L被轉動地驅動向處理室 1 0 R，且由基體載持器2 8 R所支撐的基體編號2則被 輸送入處理室1 OR之內。 當如上述般轉動上翼2 0 U及下翼2 0 L時’中間閘 閥3 0被配置在中間位置以避免干擾任一翼是很重要的。 然後在上述處理室1 OR及1 0L內實施基體編號1 及編號2各自的電漿處理。在此狀態下，自不待言，每一 開口當然藉由個別的接觸組件及中間閘閥而被氣密地密封 關閉。 基體輸入裝載-鎖室11內與基體編號1及編號2的 電漿處理平行實施。 換言之，舉例而言，不活潑氣體從淸除捧：Lli (未 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 顯示於圖1及2 )而被導入裝載一鎖室1 1 ，藉以產生一 種裝載-鎖室1 1可連通至大氣的狀態，在此之後，大氣 閘閥1 1 c會被開啓。接著，如同S4 — S 5所示，使用 上述基體輸送機器人4 0來輸入基體編號3及4。在此情 形中，藉由基體載持器2 8 L支撐基體編號3，而藉由基 體載持器2 3 R支撐基體編號4。當完成基體輸入時，裝 載-鎖室1 1會被抽真空。 如S 6所示，在完成基體編號1及2的電獎處理及裝 載一鎖室1 1之抽真空至預定真空等級後，上翼2 〇11被 轉動向（被轉動地驅動）處理室1 OR，而同時下翼 16 本紙張尺度適用中圉圉家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消t合作社印製 423044 A7 ___B7_ 五、發明說明（彳4 ) 2 0 L被轉動向處理室1 〇 L。結果，處理基體編號1及 2會被輸出至裝載一鎖室1 1，且即將被處理的基體編號 3及4分別被輸送至處理室1 0 L及處理室1 0 R之內。 接著，基體編號3及4在它們個別的處理室中進行電 漿處理。基體編號1及2的移除與上述的處理平行實施。 換言之，如S7及S8所示1在裝載一鎖室11連通於大 氣之後，使用移除臂5 0將基體編號1及2輸出至冷卻台 5 1° 根據本發明，藉由移除臂5 0移除處理過的基體（ S 7〜S 8 )及藉由基體輸送機器人4 0導入基體（S 9 )等二者之平行實施包括本發明的特點觀點之一（注意， 藉由基體輸送機器人4 0及移除臂5 0被獨立設置之結構 來取得上述操作）。以此方式，基體輸送機器人40能夠 處於即將被輸入之後續基體（例如，圖中的基體5及6 ) 藉由其臂支撐的待命狀態|亦即，在可快速地實施輸入之 狀態。 結果，當藉由移除臂5 0完成移除處理過的基體（基 體編號1及2 )時，能夠立即輸入下一基體（基體編號5 及6 )以便輸送至裝載一鎖室1 1之內（S 1 〇〜S 1 1 )° 之後，如同S12所示，使用基體輸送機器人40來 將處理過的基體從冷卻台5 1送回至匣4 2 = 如上所述，實施上翼2 0 U及下翼2 0 L以彼此相反 的方向轉動、處理過之基體的移除等操作。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公;g ) -17- — II--------- I I I I I I I 訂--------1 ^ . U (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁》 423044 * A7 ___B7___ 五、發明說明（15 ) 如上所述，因此能夠實施基體W的處理而同時維持大 的產能= (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明之電漿處理設備，可獲得下面的功效。 根據本發明之電漿處理設備，多個輸送機構能夠實施 從裝載-鎖室至第一處理室及第二處理室之基體輸送。結 果，能夠將大量的基體輸送至這些第一及第二處理室，因 而顯著地增加其產能。 根據本發明的實施例，第一處理室、裝載-鎖室及第 二處理室係以鄰接的方式配置而形成圓弧’其中藉由轉動 多個輸送機構，將能夠以往復方式移動上述室於鄰接方向 上。因此，藉由簡單的機構，可以完成輸送機構的輸送。 根據本發明的另一實施例，各輸送機構配備有閘條、 及第一和第二載持器，因此，除了基體輸送之外’各輸送 機構也能夠關閉開口。結果，能夠簡化設備結構及獲得諸 如藉此所佔據的空間最小、縮短製造時間、減少製造成本 、減少維修人力等結果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述情形中，爲了關閉適當的開口，可藉由設置中 間閘閥可使設備結構更進一步簡化’此中間閘閥被轉動以 交替開啓/關閉上開口及下開口。 此外，當設置基體輸出機器人作爲與基體輸入機器人 分離的結構時’能夠使用實施基體輸出之週期時間來獲得 準備後續基體輸入的時間。換言之，能夠平行實施基體輸 出及基體輸入，因而減少基體輸入所需之時間。於是’可 增加更多的產能。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） _ ^ - 423044 A7 ___B7 五、發明說明（16 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 除此之外，本發明的電漿處理設備並不限於上述實施 例，而且可選擇性地改變及/或修改，只要這些改變及/ 或修改在本發明的範圍及申請專利範圍之內即可。舉例而 言，下述實施例的修改亦爲可能。 (a )處理室1 0R、裝載—鎖室1 1及處理室 1 0 L可以鄰接的方式配置而形成直線來取代以鄰接的方 式形成圓弧。在此情形中，上翼20U及下翼20L係以 直線方式被往復地驅動，而不是被轉動。 (b )基體載持器的形狀，特別是分支組件的形狀， 被設計成符合基體的形狀。 (c )分別設置特別設計來實施基體送回之機器人以 取代將基體W從冷卻台5 1送回至匣4 2之基體輸送機器 人40 (基體輸入機器人）。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 (d )爲了取代作爲分離組件之裝載一鎖室1 1經由 閘板1 3R (第一連接組件）連接至處理室1 0R (第一 處理室）的結構，能夠提供任何一種下述結構：（1 )閘 板1 3R被整合入處理室1 0R內之結構；（2 )閘板 1 3R整合於裝載_鎖室1 1內的結構；或（3)閘板 1 3、處理室1 0R及裝載_鎖室1 1整合成爲單一單元 之結構。 也可取得相關於第二連接組件、第二處理室及裝載- 鎖室之關係。 本申請案係根據在曰本所申請之專利申請案號H e i 9 — 19488 *其內容於此一倂作爲參考。 本紙張尺度適用中a S家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19-

Claims (1)

  1. A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 、申請專利範圍 1·—種電漿處理設備，藉由電漿放電來實施基體的 表面處理•該電漿處理設備包括·· 第一處理室及第二處理室，用以實施表面處理； 裝載-鎖室，位於該第一處理室與第二處理室之間， 藉由第一連接組件及第二連接組件分別與該第一處理室及 第二處理室連接； 多個開口，分別設置在該第一連接組件與第二連接組 件中，分別致使該第一處理室與該裝載-鎖室之間連通* 及致使該第二處理室與該裝載一鎖室之間連通；及 輸送機構，能夠藉由在該第一處理室、該裝載-鎖室 .及該第二處理室被鄰接配置之方向上，以往復方式自由 地移經該等開口，以便在該裝載-鎖室與該第一處理室之 間實施基體輸送，及在該裝載_鎖室與該第二處理室之間 實施基體輸送； 其中，多個該輸送機構係以彼此垂直的方式設置。 2 +如申請專利範圍第1項之電漿處理設備，其中該 第一處理室、該裝載-鎖室、及該第二處理室被係鄰接地 配置以形成圓弧，且該多個輸送機構係藉由被轉動，而能 夠在於該鄰接的配置方向上以往復方式自由地移動。 3 如申請專利範圍第1項之電漿處理設備，其中在 .該第一連接組件及第二連接組件的每一個中，上開口及下 開口被分別設置作爲該等開口，該上及下開口係以彼此垂 直的方式而被間隔分開； 上輸送機構及下輸送機構，設置作爲在具有該上開α -----------1 -----I I I ^ 11111--I I -· ' <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> 本紙張尺度適用令國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20- d23〇4 4 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 之個別層級的 輸送機構及下 及下開口 該上 閘閥，其藉由在該鄰接 而從該裝載-鎖室側交 該開口及 載持器 該第二連接組 其相對於該閘 且當該閘條關閉該第一 一處理室側之內：及用 於該閘條而被固定在該 該第二連接組件的該開 該輸送機構；及 輸送機構均在該裝 的配置方向上以往 替地開啓及關閉該 件的該開口；用於 條而被固定在該第 連接組件的該開口 於基體支撐的第二 第二處理室側上， 口時被定位在該第 載一鎖室內包括 復的方式被驅動 第一連接組件的 基體支撐的第一 —處理室側上， 時被定位在該第 載持器，其相對 且當該閘條關閉 二處理室側之內 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ·如申請專利範圍第2項之電漿處理設備，其中在 該第一連接組件及該第二連接組件的每一個中，上開口及 下開口被分別設置作爲該等開口，該上開口及下開口係以 彼此垂直的方式而被間隔分開； 上輸送機構及下輸送機構，設置作爲在具有該上開口 及下開口之個別層級的該輸送機構：及 該上輸送機構及下輸送機構均在該裝載-鎖室內包括 閘閥，其藉由在該鄰接配置的方向上以往復的方式被驅動 而從該裝載-鎖室側交替地開啓及關閉該第一連接組件的 .該開口及該第二連接組件的該開口；用於基體支撐第一載 持器，相對於該閘條而被固定在該第一處理室側上，且當 該閘條關閉該第一連接組件的該開口時被定位在該第一處 理室側之內；及用於基體支撐的第二載持器，其相對於該 I I--— II---------I I I 訂-11111111 線 I * * <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - 0^8008 ^BaD 六、申請專利範圍 閘條而被固定在該第二處理室側上，且當該閘條關閉該第 二連接組件的該開口時被位在該第二處理室側之內。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> 5 ·如申請專利範圍第3項之電漿處理設備，其中在 每一個該第一連接組件與該第二連接組件中，在該上開口 與該下開口之間，中間閘閥分別被設置在該裝載一鎖室側 上’以轉動方式交替地開啓及關閉該上開口及該下開口； 及 該等開口的每一個係藉由該輸送機構的該中間閘閥或 該閘條而被關閉。 6 *如申請專利範圍第4項之電漿處理設備，其中在 每一個該第一連接組件與該第二連接組件中，在該上開口 與該下開口之間，中間閘閥分別被設置在該裝載-鎖室側 上，以轉動方式交替地開啓及關閉該上開口及該下開口； 及 該等開口的每一個係藉由該輸送機構的該中間閘閥或 該閘條而被關閉。 7 ·如申請專利範圍第1項之電漿處理設備，更包括 經濟部智慧财產局員工消費合作社印製 基體輸入機器人，用以將基體從基體供應站輸送至該 裝載-鎖室；及 基體輸出機器人1與該基體輸入機器人分開設置’用 以從該裝載-鎖室輸送基體。 -22- 本紙張尺度適用中0國家標準（CNS)A4規格mo X 297公轚）
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