TW423038B - Tape stripping apparatus and tape stripping method - Google Patents
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Description
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ ^ 'is〇3 a t N·^ ,f . A7 534Spif.doc/008 B7 五、發明說明(丨) 發』月冓橐 1.發阻^凰 本發明是有關於一種貼帶剝除裝置及一種貼帶剝除方 法。 相關技p說明 在習知的平板狀物件,例如半導體晶圓的硏磨製程 中,會先將一片保護性貼帶黏著於平板狀物件上有圖樣的 一面,例如晶圓上具有積體電路的一面,以避免已形成之 圖樣或電路遭受破壞與污染。待硏磨過程結束後,平板狀 物件須由硏磨裝置移至另一個貼帶剝除裝置,以剝除此平 板狀物件上之保護性貼帶。 然而,應用前述之習知技術時,尙須附加另外兩個裝 置,其一爲特別設計用來剝除貼帶的貼帶剝除裝置,以及 在貼帶剝除後,另一個專門用來淸洗有圖樣的一面的淸洗 裝置。既然貼帶剝除裝置與淸洗裝置必須分別附加於硏磨 裝置旁邊,這種設計需要額外的廠房設備投資,同時造成 空間的浪費,是其缺點。 發明之槪述 本發明之目的即在於克服上述之缺點,也就是說,在 於提供一種貼帶剝除方法與一種具簡單運作機制的貼帶剝 除裝置,此裝置可以倂入現有之硏磨裝置或類似裝置之 中。 爲達成此目的,本發明提供一種剝除保護性貼帶之貼 帶剝除裝置,此保護性貼帶爲一種熱縮性貼帶,且爲保護 4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ' " ^1 H. ^1 VI U ^1 1 i n .^1 一DJI I If an n I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5348pif.doc/008 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 五、發明說明(τ〉 平板狀物件之用。此貼帶剝除裝置包括下列部分:固持裝 置,用來固持平板狀物件;以及加溫用介質提供裝置,用 來提供加溫用介質’此加溫用介質係作用在黏著於平板狀 物件其中之一個表面的保護性貼帶之上,而此時平板狀物 件之另一表面則以固持裝置固持。 如果要得到比較好的效果’此貼帶剝除裝置尙須包括 一個丟棄裝置’用來丟棄平板物件上收縮扭曲的保護性貼 帶,這種貼帶係因加溫用介質提供裝置所提供之加溫介質 而變形。 如上所述’依照本發明’這種貼帶移除裝置包括用來 固持平板狀物件的固持裝置’以及一個用來供應加溫用介 質的加溫用介質供應裝置,此加溫用介質係作用在黏著於 平板狀物件的保護性貼帶之上,而此平板狀物件由上述之 固持裝置所固持,所以此貼帶移除裝置運作機制簡單,且 製造成本低廉。 因爲此貼帶移除裝置運作機制簡單,所以能夠倂入另 一種機械裝置之中,例如硏磨裝置,以除去經過某種程序 後不再需要的保護性貼帶。這種設計不僅不需要購置另一 個分離的貼帶剝除裝置,而且能夠增進生產力。 本發明同時提供一種由平板狀物件上剝除保護性貼帶 的方法,此貼帶黏著於平板狀物件上,且爲一熱縮性貼帶, 而此方法係藉由內含上述貼帶剝除裝置的硏磨裝置之使用 而達成。此硏磨裝置包括下列組件:載擡,此元件以抽吸 方式固持平板狀物件;硏磨裝置,用來硏磨由前述載檯固 5 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS>A4規格(210 x 297公楚) — ----------I (請先閱讀背面之it意事項再填寫本頁) i -1--6 丁 '423〇38 5348pif.doc/(X)8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(3 ) 持之平板狀物件;傳送裝置,用來移去載檯上經硏磨裝置 硏磨過的平板狀物件,以及傳送此平板狀物件;以及淸洗 裝置’包括一個旋轉檯,用來固持以及淸洗由傳送裝置傳 來之平板狀物件。此方法包括下列步驟:固持步驟,將平 板狀物件固持於載檯上,此平板狀物件黏有貼帶的一面朝 向載檯’並以抽吸方式固定,·硏磨步驟,以硏磨裝置硏磨 固持於載檯上之平板狀物件;傳送步驟,在硏磨步驟完成 之後’將平板狀物件由載檯上移下,並傳送至淸洗裝置的 旋轉檯上;淸洗步驟,將平板狀物件以抽吸方式固持於旋 轉檯上,並提供淸洗用水以淸洗平板狀物件之被硏磨部 分,此時平板狀物件上黏有貼帶的一面朝向旋轉檯,而經 過硏磨的另一面則暴露在外;平板狀物件翻轉步驟,在淸 洗步驟完成之後,將平板狀物件翻轉並重置回旋轉檯上, 使得黏有貼帶的一面暴露在外;加溫介質提供步驟,以此 貼帶剝除裝置中之加溫介質供應裝置對貼帶供應所需溫度 之加溫介質;以及剝除步驟,以剝除裝置剝除平板物件上 收縮扭曲之貼帶。 依照本發明,此貼帶剝除裝置係作爲剝除平板狀物 件,例如半導體晶圓上的保護性貼帶之用,此裝置可以倂 入硏磨裝置中的淸洗裝置之中,所以可以直接剝除貼帶, 而且在剝除步驟完成後,直接淸洗平板狀物件。與傳統的 設計相比,這種設計不需要另外購置單一用途的貼帶剝除 器興淸洗器,因此可以降低廠房設備之投資與空間的浪 費,大幅增加經濟效益與生產效率。 6 — — — — — — — — — — I — I --------訂-------—I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Γ42303 3 Α7 5348pif.doc/008 ηγ 五、發明說明) 在此貼帶剝除裝置與貼帶剝除方法中,加溫用介質爲 溫水或加溫的空氣。 進一步來說,依照本發明所提出之貼帶剝除裝置與貼 帶剝除方法之中,平板狀物件可以是一個半導體晶圓。 爲讓本發明之上述和其他目的、特微、和優點能更明 顯易懂,下文特舉較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細 說明如下: 之胃¥綱弓 第1圖所繪示爲硏磨裝置的剖面圖,其內含有依本發 明所造出之貼帶剝除裝置。 第2圖爲平板狀物件外觀的剖面圖。 第3圖爲依本發明所造出之貼帶剝除裝置的略圖。 第4(A)與4(B)圖顯示浸泡式的加溫用介質供應裝置, 此裝置係依本發明所造出。 第5(A)與5(B)圖顯示依本發明所造出之溫水槽。 第6(A)與6(B)圖顯示依本發明所得之溫水由溫水供應 管中噴灑出的情形。 圖.式之標說明 w :平板狀物件 T:保護性貼帶、熱縮性貼帶 τ’ :收縮扭曲之保護性貼帶、熱縮性貼帶 1 :硏磨裝置 2、2’ :儲存卡匣 3 :傳送-翻轉元件 7 本紙張尺度適用中國國家標準(CNSM4規格(210x297公釐) !!,!Γ·裝-------訂--------線 ί請先閲讀背面之注意事項再填寫未頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 lU U ο υ ^ ο - ^ U . A7 534Spif.doc/008 37 五、發明說明(γ) 3a :可升降基座 3b :旋軸 3c :旋臂 3d :雙叉式抽吸構件(two-pronged sucking member) 4:待處理區 4a :定位片 5:第一傳送元件 6 :轉換檯(turn table) 7 :載檀(chuck table) 8:第一硏磨元件 8a :粗磨砂輪 9:第二硏磨元件 9a :磨光砂輪 10 :第二傳送元件 l〇a :可旋轉抽吸構件 11 :淸洗元件 11 a :旋轉檯 12 :淸洗用水供應元件 13 :溫水供應元件 14 :貼帶廢棄桶 20 :貼帶剝除裝置 21 :可升降旋轉檯 22 :加溫介質供應元件 22a :加熱器 8 — — — — — — — — — — —----------訂·-------- (請先閱讀背面之泫意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) \ 423038 A7 5348pif.doc/008 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(6) 23 :貼帶丟棄元件 23a :抽吸移除組件 24 :導軌 25 :貼帶廢棄桶 31 :旋轉檯 32 :圓柱筒 33 :溫水供應管線 S ·溫水 41 :溫水槽 42 _·加熱器 43 =溫水供應管線 43a :噴嘴 較佳露施.例之說明· 請參照第1-6(B)圖,其繪示依照本發明一較佳實施例 的一種貼帶剝除裝置及貼帶剝除方法之流程圖。 第1圖顯示硏磨裝置,其內含有依本發明所造出之貼 帶剝除裝置。在硏磨裝置1之中,待硏磨之平板狀物件 置於儲存卡匣2之中。在本例中,平板狀物件W爲一 個半導體晶圓,其中有積體電路圖樣的一面黏有保護性貼 帶T,如第2圖所示。在本發明中,保護性貼帶T爲一種 熱縮性貼帶(此後皆稱其爲熱縮性貼帶T),其材料一般爲 可伸縮之乙烯-乙酸乙烯脂共聚合物,厚度約100微米, 以及其上一層厚度約10到50微米,丙烯酸材質的黏著層。 此平板狀物件W先置於儲存卡匣2之中,此時黏有 9 --------1·--— ' 裝--------1τ_------- 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張足度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 經濟郤智慧財產局員工消費合作社印製 J 42303 8 e A7 5348pif.doc/00S_β7 五、發明說明(〇 ) 熱縮性貼帶τ的一面朝下。首先,藉由傳送—翻轉裝置, 即傳送—翻轉元件3,平板狀物件w由卡匣2中移出,並 傳送至待處理區4。 此傳送-翻轉元件3中包含一個可升降的基座3a,連 於基座3a的旋軸3b,數個附加於旋軸3b之上的旋臂3c , 以及位於旋臂3c前端的雙叉式抽吸構件3d,此抽吸構件 3d可以其基部爲軸,作180度翻轉。 傳送至待處理區4之平板狀物件W的中心位置由 數個定位片4a定位’這些定位片4a可朝向待處理區4 的中心移動;接著以傳送裝置,即可旋轉與上下移動的第 一傳送元件5將其抽吸傳送至位於轉換檯6上的載檯7 , 並以抽吸方式固持於載檯7之上。 藉由轉換檯6的旋轉動作,抽吸固持於載檯7上的平 板狀物件W被置於硏磨裝置,即第一硏磨元件8之下, 並以第一硏磨元件8底部所附之砂輪進行粗磨。此時載檯 7也進行旋轉,同時會有硏磨用水提供給被硏磨的表面。 在粗磨步驟完成後,再藉由轉換檯6的旋轉動作,平 板狀物件W被置放於另一硏磨裝置,即第二硏磨元件9 之下’並以此第二硏磨裝置9底部所附之砂輪進行磨光步 驟。此時載檯7也進行旋轉,同時會有硏磨用水提供給被 硏磨表面。 磨光步驟完成後,平板狀物件被移至抓取位置,並藉 由傳送裝置’即第二傳送元件10之抽吸作用,由載檯7 上傳送至淸洗裝置,即淸洗元件11。淸洗元件n具有— _____ 10 本紙張尺度適用中國國豕標準(〇STS)A4規格(210 X 297公釐) ---------— I— --------訂-------- (諝先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 廣42303 8 5348pif.doc/008 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 五、發明說明(3 ) 旋轉檯(固持裝置)以固持平板狀物件w,還包括淸洗用水 供應元件12與加溫介質供應置,即溫水供應元件13。 傳送至淸洗元件11的平板狀物件W的被硏磨表面以 淸洗用水淸洗,此時黏有熱縮性貼帶T的一面以抽吸方式 固定於旋轉檯11a之上。在淸洗過程中,以旋轉淸洗方式 淸洗被硏磨表面,此時淸洗用水供應元件12負責供應淸 洗用水。 淸洗過程完成後,平板狀物件以傳送-翻轉元件3翻 面。在翻面過程中,平板狀物件由傳送-翻轉元件3中的 抽吸構件3d從下方抬起,也就是說,平板狀物件w由旋 轉檯Ha上被抬起,因此被抽吸住的一面換爲黏有熱縮性 貼帶T的一面。接著在此抽吸情況下,抽吸組件3d行180 度翻轉,而後平板狀物件W重由固持裝置,即旋轉檯iia 以抽吸方式固持,於是此時被硏磨面朝向下方。 然後’在加溫介質應供步驟中,溫水供應元件Π供 應所需溫度的溫水,例如60°C的溫水,給黏在平板狀物件 W上的熱縮性貼帶Τ’此時溫水可以剝離熱縮性貼帶τ; 接著在丟棄過程中,藉丟棄裝置,即丟棄元件之助,收縮 扭曲的熱縮性貼帶Τ’被丟進貼帶廢棄桶14中。以此情形 而言,第二傳送元件10同時可成爲一個丟棄裝置。然後, 以淸洗用水淸洗平板狀物件w上熱縮性貼帶τ’被移除的 一面。 在熱縮性貼帶τ’被丟棄後,平板狀物件W開始進行 旋轉乾燥步驟。最後’平板狀物件W藉傳送—翻轉元件3之 --------ill, --------訂·-------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 χ 297公釐) *4?3〇38 α7 5348pif.doc/008 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(碍) 抽吸作用,由旋轉檯Ha上移除並存放於儲存卡匣2’之中, 此儲存卡匣2’位於儲存卡匣2之對面。 雖然加溫空氣也可以作爲使熱縮性貼帶T收縮扭曲 的加溫介質,可是爲使剝除過程平順,溫水是比較好的選 擇。 第3圖顯示依照本發明之另一個貼帶剝除裝置20的 實施例,由下列部分組成:旋轉檯21,用來固持平板狀物 件W ;加溫介質供應元件22,用來提供加溫介質給黏在 平板狀物件W上的熱縮性貼帶T,此時平板狀物件W由 旋轉檯21固持;以及丟棄元件23 ’用來丟棄因加溫介質 之加溫而收縮扭曲的熱縮性貼帶Τ’。 當加溫介質是溫水時,加溫介質提供元件22同時可 作爲淸洗用水提供裝置。詳細地說,加溫介質提供元件22 中有一個加熱器22a連於其主要部分,並以此加熱器22a 將淸洗用水加熱至適當溫度(如60°C)以提供溫水,而當需 要供應淸洗用水時則不加熱。因此,在平板狀物件W的 .被硏磨表面的淸洗步驟中,即熱縮性貼帶T朝向旋轉檯 21時,可以藉旋轉檯21抽吸固持平板狀物件W,並以上 述方式供應之淸洗用水淸洗平板狀物W件被硏磨的一面。 丟棄元件23具有一個可上下移動且基部可旋轉的抽吸移 除構件23a,並可在導軌24上移動。藉抽吸移除構件23a 之助,丟棄元件23抽吸收縮扭曲的熱縮性貼帶Τ’,將其 由平板狀物件W上提起,並在抽吸的情形下沿著導軌24 移動,在廢棄桶25上方放下使之落入廢棄桶25中。接著, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂---------線. 本紙張尺度適用中國圉家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) Λ7 B7 5348pif.doc/008 五、發明說明(卬) 平板狀物件W上熱縮性貼帶τ遭移除的一面再接受上 述之淸洗與乾燥過程。 這種貼帶剝除裝置20可以倂入硏磨裝置〖中的淸洗 元件11之中。 在提供加溢介質給熱縮性貼帶τ時,由於平板狀物件 W必須旋轉,加溫介質最好由平板狀物件外部供應。 在另一種依本發明造出的貼帶剝除裝置中,加溫介質 提供裝置可以是浸泡式的。例如,一個可上下移動的普通 圓柱筒32 ’置於旋轉檯31(固持裝置)之下,如第4(A)與 4(B)圖所示’在剝除熱縮性貼帶τ時,圓柱筒32會升高, 而溫水供應管線33供應溫水S於圓柱筒32之中,以致熱 縮性貼帶T可以浸泡在溫水S中。在本例中,圓柱筒32 與溫水供應管線33構成了依本發明所造出的加溫介質供 應裝置。在從平板狀物件W上剝除下來時,浸泡在溫水 中的保護性貼帶是處於收縮扭曲的狀態。 另一種方式是,儲存特定溫度之溫水S於溫水槽41 中,如第5(A)與5(B)圖所示,並藉第二傳送元件10上的 抽吸固持構件l〇a固持平板狀物件W,如第1圖所示,此 時熱縮性貼帶T朝向下方。其運作方式爲沈浸平板狀物件 W於溫水槽41中,並藉固持構件10a轉動之,此時溫水 槽41與溫水槽底部的加熱器42組成了加溫介質提供裝 眞。收縮扭曲之保護性貼帶Τ’由平板狀物件W上剝離後’ 漂浮於溫水槽41中。具加熱器42之溫水槽41可以取代 廢棄桶14而位於現行廢棄桶14的位置,或是位於靠近廢 13 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210x297公釐) I I------I I 11. 1 ---------------I J {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 _42加38、 Α7 5348pif.doc/008 β7 五、發明說明(u ) 棄桶14 ’固持裝置10a旋轉時可及之處。 如果不使用溫水槽41’也可以藉由溫水供應管線43上 的前端噴嘴43a,噴灑溫水S於熱縮性保護貼帶τ上,如 第6(A)與6(B)圖所示。在本例中,如果有需要,可使溫水 提供管線43擺動,以使溫水S均勻散佈於保護性貼帶τ 上所有部分。 在上述二例中,加溫介質提供裝置與固持裝置不限於 特定的結構,並可以在不偏離本發明精神的前提之下,適 當地建構出來。比方說’如果被剝除的保護性貼帶漂浮於 溫水槽41之中,溫水槽41本身即可視爲一種丟棄裝置, 而且可以在不偏離本發明精神的前提之下,適當地建構出 來。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之精神 和範圍內,當可作各種之更動與潤飾,因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者爲準。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ί •\-° Τ 象 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇x297公釐)
Claims (1)
- ί kp 8 βοο vyio / f· A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印®ί 六、申請專利範圍 1. -觀帶繼麵’用鞠除—保離貼帶,_帶爲—熱縮 性貼帶’用途爲保護一平板狀物件,該裝置包括: 一種固持裝置,藉以固持該平板狀物件;以及 一種加溫介質供應裝置,藉以供應一種加溫介質給黏 著於該平板狀物件其中之一表面上的該熱縮性貼帶,同時 該平板狀物件上的另一表面由該固持裝置固持。 2. 如申請專利範圍第1項所述之貼帶剝除裝置,更包 括一丟棄裝置,藉以丟棄該平板狀物件上,因該加溫介質 而收縮扭曲之該保護性貼帶,其中該加溫介質係由該加溫 介質供應裝置供應。 3. 如申請專利範圍第1或第2項所述之貼帶剝除裝置, 該加溫介質爲溫水或加溫空氣。 4_如申請專利範圍第1項或第2項所述之貼帶剝除裝 置,該平板狀物件包括一半導體晶圓。 5.—種貼帶剝除方法,其目的爲從一平板狀物件上剝 除黏著於該平板狀物件上之一保護性貼帶,該保護性貼帶 爲一熱縮性貼帶,該方法係藉由一硏磨裝置之使用而達 成,該硏磨裝置內含如申請專利範圍第2項所述之一貼帶 剝除裝置,該硏磨裝置包括:一載檯,用來以抽吸方式固 持該平板狀物件;一種硏磨裝置,藉以硏磨固持於該載檯 上的該平板狀物件:一種傳送裝置,藉以從該載檯上移除 硏磨後的該平板狀物件,並傳送該平板狀物件;以及〜種 淸洗裝置,包括一旋轉檯,藉以固持並淸洗由該傳送裝置 傳送來之該平板狀物件,該方法包括下列步驟: 15 _________ -I — I - - - - - I l· I - I . I I I I I I I . I — — — — — — — {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用令國國家標準(CNShVl規格(210 X 297公爱) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 一固持步驟,將該平板狀物件置放於該載檯上’並以 抽吸方式固持該平板狀物件,該平板狀物件上黏有該保護 性貼帶的一面朝向該載檯; —硏磨步驟,以該硏磨裝置硏磨固持於該載檯上的該 平板狀物件; 一傳送步驟,在該硏磨步驟完成之後,將該平板狀物 件由該載檯上移除,並傳送該平板狀物件至該淸洗裝置中 的該旋轉檯上; —淸洗步驟,在黏著於該平板狀物件上的該保護性貼 帶朝向該旋轉檯的情形之下,以抽吸方式固持該平板狀物 件,並供應淸洗用水給該平板狀物件,以淸洗該平板狀物 件上暴露出的被硏磨表面; 一平板狀物件翻轉步驟,在該淸洗步驟完成後,翻轉 該平板狀物件,再度將該平板狀物件置於該旋轉檯上,此 時該保護性貼帶暴露在外; 一加溫用介質供應步驟,由該加溫用介質供應裝置供 應所需溫度之加溫用介質給該保護性貼帶; 一丟棄步驟,藉一丟棄裝置丟棄該平板狀物件上收縮 扭曲的該保護性貼帶。 6. 如申請專利範圍第5項所述之貼帶剝除方法,該加 溫介質爲溫水或加温空氣。 7. 如申請專利範圍第5項所述之貼帶剝除方法,該平 板狀物件包括一半導體晶圓。 ίιιι—lllll· — —·— — — — — — — I— — — — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準(CNS)A4蜆格(210»<297公楚)
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