TW417168B - Projection optical system, exposure device provided therewith and method of using such system for manufacturing devices - Google Patents

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TW417168B
TW417168B TW086107075A TW86107075A TW417168B TW 417168 B TW417168 B TW 417168B TW 086107075 A TW086107075 A TW 086107075A TW 86107075 A TW86107075 A TW 86107075A TW 417168 B TW417168 B TW 417168B
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TW086107075A
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Yutaka Suenaga
Kotaro Yamaguchi
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Nippon Kogaku Kk
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G02B13/14—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation
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Description

經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 __B7_____五、發明説明（/ ) 〔發明之詳细說明] [產業上之利用領域] 本發明係關於將第1物體之線路圖投影於第2物通之基 板等之投影光學系统•特別涉及將第丨物體之線網 (reticule)(面）上所形成之半導體用或疲晶用之媒路圖投 影曝光於第2物體之基板（晶圓、金靨板等）上的適合之投 影光學系統。 〔習知技術] 伴隨積體回路之線路圖之微細化，澍使用在晶圓洗相 之投影光學系統所要求之性能亦愈嚴格。在此狀況下，就 投影光學系統解像力之提高*可考慮將曝光波長更縮短， 或將投影光學糸统開口數（N-A)加大之方法。 近年來，為對應轉印線路圖之微细化，曝光用光源* 從發出g線（4 3 6 mm )之曝光波長之光*使用到Μ發i線（3 6 5 ®a)之暘光波長之光為主，而苜試使用發出更短波長之光的 光源，洌如使用激元雷射（KrF :243mm,ArF:133ara)。 而，被提案使用K上各種暍光波長之光將媒網上之線 圖投影曝光在晶圓上所用之投影光學系统。 對投影光學糸統，與解像力之提高同時被求者*乃減 少歪像。在此，所謂歪像則除起因於投影光學条统之失真 (歪曲收差）之外，尚有起因於被洗相於投影光擧糸統之 像側的晶圓彎曲等*及起因於在投影光學糸统之物體側描 印回路線圖等的線網彎曲等。 J------------------^----------- .訂-------ii---------------- (請先Μ讀背而之注念事項寫本頁) { 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（2)0X297公釐） ί- 417 16 8 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( 1 ) Ί 1 近 年 來 轉 印 線 路 圖 之微 细化愈進步 對 減 低 歪 像之 要 ] 求 亦 愈 嚴 格 0 1 1 因 此 為 減 少 由 晶 圓膂 齒引起之歪 像 的 影 響 $ 從來 使 請 先 1 f 閱 1 用 將 投 影 光 學 系 統 像 側 之射 出眼位置放 在 遠 處 之 所 謂像 側 讀 背 1 1 ώ I 遠 心 光 學 系 统 0 1 注 1 另 方 面 就 m 網 彎 曲引 起之歪像的 減 輕 可 考 慮將 投 意 審 1 1 影 光 學 % 統 亦 被 提 案 如 此將 投影光學糸 统 人 射 眼 位 置放 在 再/ 1 寫 裝 1 離 物 體 面 比 較 遠 之 位 置 。其 事例有特開 昭 63 -1 1811 5號 特 本 頁 開 平 4-1574 1 2 特 開 平5- 1 73G65號等 0 1 1 [ 發 明 之 解 決 課 題 ] 1 I 在 Μ 上 各 專 利 公 報 所提 案之投影光 學 A 統 中 有公 示 1 i 訂 物 體 側 與 像 側 均 為 遠 心 之所 謂兩惻遠心 投 影 光 學 条 統。 1 但 在 以 上 各 專 利 公報 所提案之兩 側 遠 心 投 影 光學 系 1 1 統 其 幫 助 解 像 力 之 開 口數 (Μ , A )不充分大 且各收差， 尤 1 ! 其 失 真 之 補 正 不 充 分 0 / 1 ( 線 本 發 明 係 針 對 Μ 上 問題 點而為，確 保 大 開 口 數 與廣 曝 j 1 光 領 域 Μ 兩 側 遠 心 提供 可良好補正 諸 收 差 特 別是 失 1 1 真 之 高 性 能 投 影 光 學 % 統為 目的。 1 i [ 解 決 m 題 之 手 段 ] 1 ! 為 達 成 上 述 i 的 本發 明之投影光 學 糸 統 1% 將 第1物體 1 I 之 像 形 成 在 第 2物髓上 由第1物體側順 序 具 備 1 具 有 正 折 射 力 含 3片正透鏡之第1 透 鏡 群 f ί 1 具 有 正 祈 射 力 含 3片負透鏡與1片 -5- 正 透 鏡 之 苐 2透鏡 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公漦） 經濟部中央標準局負工消资合作社印製 4 Λ7 _B7_五、發明説明（3 ) 群， 具有正折射力，含3片正透鏡與1H負透鏡之第3透鏡 群， 具有正折射力，含3片正透鏡之第4透鏡群* 具有正折射力，含6片正透鏡與1片負透鏡之第5透鏡 群。 第1透鏡群具有至少含2片正透鏡之部分群Glp， 第2透鏡群具有至少含3片負透鏡之部分群G2n* 第3透鏡群具有至少含3片正透鏡之部分群G3p， 第4透鏡群具有至少含3片負透鏡之部分群G4n， 第5透鏡群具有至少含5片正透鏡之部分群G5p*與配置 於最靠第2物體側且將凹面面向第2物體側之正透鏡 而滿足Μ下條件： {請先閱讀背面之注意事項f寫本頁) .裝- -V9 .08 < f 1/L < 0.25 ⑴ • 03 < -f Z/L < 0.1 ⑵ • 08 < f 3/L < 0.3 ⑶ • 0 3 5 < -f4/i < 0.11 ⑷ .1 < f 5p/L < 0.25 ⑸ .07 < f5g/L < 0.21 ⑹ .25 < R5g/L < 0.83 ⑺ 但， L :前述第1物體至前述第2物體之距離， :前述第1透鏡群中之部分群G1P焦點距雛， -6 - 本纸張尺度適用申國國家樣準（CNS ) Λ4规.格（2丨0X297公釐） B7 五 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 發明説明（w) :前述第2透鏡群中之部分群G2n焦點距離， :前述第3透鏡群中之部分群G3p焦點距離， :前述第4透鏡詳中之部分群G4n焦點距離， f5p:前述第5透鏡群中之部分群G5p焦點距離， f5g:前述第5透鏡群中之正透鏡焦點距離， R5g:前述第5透鏡群中之正透鏡G5g之第2物體側凹面的曲 率半徑。 又，在本發明，第5透鏡群Μ具有面向第1物體側之第1 凹面Ν 1為佳， 設此Ν1之曲率半徑為Rnl時，以滿足Μ下條件為佳。 G.125 < -Rnl/L < 0.33 ⑻ 又·本發明較佳狀態係第5透鏡群含有足以下條件之至 少4 Η正透鏡。 -10 < (rl + r2)"M-r2)<-0.1 ⑼ 但’ rl:至少4片之正透鏡之第1物體側之面的曲率半徑， r2:至少4片之正透鏡之第2物體側之面的曲率半徑。 又，依本發明較佳狀態’第5透鏡群’具有面向第2物 體側之第2凹面N2，與位於®該第2凹面N2凹面N2靠近第2物 體側而面间第2物體側之第3凹面N3，此時W滿足Μ下條件 為佳0 Q . 1 Β < Rn2/L < 0·38 (10) 0.05a < Rn3/L < 〇 · 1 1 (⑴ 本纸張尺度通财酬家料（CNS ) Λ视格（21(1X297公發） 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（今） 但，
Rn2:前述第2凹面N2之曲率半徑，
Rn3:前述第3凹面N3之曲率半徑， 又，依本發明較佳狀態，第2透鏡群至少含1片正透鏡 ，設面向該正透鏡之第2物體之面的曲率半徑為RP1時，以 滿足以下條件為佳。 0.23 < -Rpl/L < 0.5 (12) 〔發明乏實施形態] 如上述構成本發明之投影光學系統至少具有下列構成 :由第1物《顒序其有正折射力之第1透鏡群61，具有負折 射力之第2透鏡群G2，具有有正折射力之第3透鏡群G3，具 有負折射力之第4透鏡群G4·與具有正折射力之第5透鏡群 G5 〇 在此，具有正折射力之第1透鏡群G1，將射出自第1物 體之逭心光束導至第2透鏡Μ後之透鏡群，同時預先發生正 失真，以補正較第1透鏡群G1配置更靠第2物通側之透鏡群 ，尤其第2、第4及第5透鏡群所發生之負失真。 又，具有正折射力之第3透鏡群亦發生正失真，擔任補 正第2、第4及第5透鏡群64、G5所發生之負失真的角色。而 ，此第3透鏡群G3與第2透鏡群G2，由第2物體側看，構成正 •負折射力配置之望逭系统由此•具有防止投影透鏡全系 統長大化之懺能。 具有負折射力之第2及第4透鏡群G2、G4，主要貢獻於 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } Α4規格（2丨0X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 線 B7 五、 經濟部中央標隼局負工消资合作社印製 發明説明（ 伐 和 之 補正* 具 有 達成 平 坦像 面之 機能。 而 1 具 有正折 射 力 之第 5透鏡群G5 •具有Μ儘量避免 差 之 發 生的狀 態 將 光束 導 至第 2物體上* K结像之角 其 於 說 明條件 式 0 如前 述 *本 發明 之投影光學系统； 足 以 下 條件⑴ ⑺ 溝成 0 0 . 08 < f 1/L· < 0 .25 (1) 0 . 0 3 < -f2/L < 0 .1 ⑵ 0 · 08 < f 3/L < 0 .3 ⑶ 0 . 0 3 5 < -f4/L < 0 .11 ⑷ 0 . 1 < f 5p/L < 0 .25 ⑸ 0 . 07 < fSg/L < 0 .21 ⑹ 0 . 25 < E 5g/L < 0 .83 (7) 但， L Π f2 f 3 f 4 f 5 p f5g 前述第1物體至前述第2物體之距離， 前述第1透鏡群中之部分群Glp焦點距離 前述第2透鏡群中之部分群G2 η焦點距離 前述第3透鏡群中之部分群G3P焦點距離 前述第4透鏡群中之部分群G 4 η焦點距離 前述第5透鏡群中之部分群G5p焦點距雛 前述第5透鏡群中之正透鏡G5g焦點距離 R5g :前述第5透鏡群中之正透鏡G5g之第2物體側凹面的曲 率半徑。 本紙張尺度適用中國國家橾华（CNS ) Λ4規格（21〇Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消资合作社印製 Μ Β7 —一- --- . ___ - — ' ..... . 一 — 五、發明説明（7 ) 條泮⑴係規定在第1透鏡群G1中擔任主折射力之部分群 G 1 P之適正祈射力。超過條件⑴之上限，則因無法補正完在 第1透鏡群所發生之第2、第4及在第5透鏡群所發生之負失 真而不佳。又，超過條件⑴之下限，則因成為發生高次之 正失真的原因而不佳。 條件⑵偽規定在第2透鏡群G2中擔任主負折射力之部分 群G2n之適正負折射力。超過條件⑵之上限，則珀茲代和之 補正不充分·招來像平坦性之惡化。又，超過條件⑵之下 限，則正失真之發生變大，僅靠第1及第3透鏡群做此大之 正失真之良好補正甚為困難。 條件⑶係規定在第3透鏡群G 3中擔任主折射力之部分 群G 3 p之適正折射力。超過條件⑶之上限，則與第2透鏡群 所形成之望遠系統遠心比要大而招來系统之長大化，第3透 鏡群G3之正失真發生量變小，未能良好補正在第2、第4及 第5透鏡群所發生之負失真而不佳。又，超過條件⑶之下限 ，發生高次之球面收差，未能獲得良好结像性能而不佳。 條件（4)係規定在第彳透鏡群G4中擔任主負折射力之部分 群（Ϊ 4 η之適正折射力。超過條件⑷之上限，則珀茲代和之補 正不充分，招來像平坦性之惡化而不佳。又*超過條件⑷ 之下限，則成為高次之球面收差的發生原因*招來像之對 比惡化。 條件⑸偽規定在第5透鏡群G 5中擔任主折射力之部分 群G 5 ρ之適正折射力。在此，超過條件⑸之上限，則第5 "10- 張尺度適用中國國家櫺準（CNS ) Λ4規格( 210ΧΜ7公發) " ----------裝----Γί訂----丨j線 (請先間讀背面之注意事項寫本頁) < 417160 Λ 7 Η 7___ 五、發明説明（公） 透鏡群G5全體正祈射力爱過弱’结果招來投影透鏡全系統 之畏大ib而不佳。又，超過條件⑸之下限f則負失真及負 球面收差之發生要大，招來像之惡化而不佳。 條件⑹係規定在第5透鏡群G5中較部分群G5p配置於靠 第2物體側之正透鏡G5g之適正折射力。超過條件⑹之上限 時，正透鏡G5g之折射力要過弱，較第5透鏡群G5中之正透 鏡G 5配置於靠第1物體_之透鏡則增加負擔’其结果’招來 球面收差之惡化或投影透鏡系统之長大化而不佳。又’超 過條件⑹之下限時，負失真及負球面收差之發生變大將惡 化像而不佳。 條件（7)係規定在第5透鏡群G 5中配置於最靠近第2物體 側之正透鏡G5g，對面向第2物體側之凹面之曲率半徑之物 像間距離的適切範圍。因此正透鏡G5g之第2物體側透鏡面， 將凹面面向第2物體側，K對高開口數之光束儘量抑制負球 面收差之發生。在此，超過鲦件⑺之上限時’在此凹面發 生高次之負球面收差未能圈謀投影透鏡系統之高開口數化 而不佳。又，超過條件⑺之下限時’因在此凹面光束過於 發散未能有效折射光，招來投影透獍全系統之長大化而不 佳。更，此時，因给第5透鏡群G 5中之其他正透鏡加負擔， 亦會招來球面收差之惡化而不佳。 在本發明，第5透鏡群G5，具有面向第I物體側之第1E3 面N 1為佳，而此凹面S 1之曲率半徑R π 1滿足Μ下條件⑻為佳
C -1 1 - 本紙張尺度通用中园_家標华（CNS ) Λ4规格（210Χ 297公筱） ----------裝----.1—訂------線 (請先間讀背而之注意事項寫本頁) ί 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 Λ 7 ________ Β7 五、發明説明（/ ) 0.125 < -Rnl/L <0.33 ⑻ 面向第5透鏡G5中之第1物體側之第1凹面Hi，主要擔任 補正第5透鏡群G5中所發生之負球面收差之機能。上述條件 ⑻規定對物像間距離之第1凹面N1之適切曲率半徑比。在此 *超過條件⑻之上限，則不夠補正正透鏡所發生之負球面 收差而不佳。又，超過條件⑻之限，則變為球面收差補正 過刺·會發生高次之正球面收差而不佳。 又，在本發明，第5透鏡群G5，K含滿足K下條件之至 少4片正透鏡為佳。 -10 < (ra + r2) / (rl-r2) <-0.1 ⑼ 但* rl:至少4片之正透鏡之第1物體側之面的曲率半徑* r2:至少4片之正透鏡之第2物體側之面的曲率半徑。 上述條件⑼係規定含在第5透鏡群G5之正透鏡形狀。在 此，超過條件⑼之上限的透鏡形狀時，發生大負球面收差 圼補正困難，超過條件⑼之下限的透鏡形狀時’發生大負 失真而失真之良好補正為困難。第5透鏡群G5因較其他透鏡 群配置於靠第2物體側，通過高開口數之光束。因此*在第 5透鏡群G 5，若滿足上述條件⑼之正透鏡不足4片吋’未能 使高開口數之球面收差之良好補正’與廣曝光領域全體之 失真之良好補正兩立而不佳° 又，在本發明，第5透鏡群G5’ Κ具有面向第2物體側 之第2凹面Ν2，與較此第2凹面Ν 2位於靠第2物體側而面向第 -12- 本紙張尺度適用中國®家標举（CNS ) Λ4规格（2丨0X297公釐） ---------裝------訂.------線 (請先Μ請背而之注意事項I寫本頁) ί A7 41716 B7___ 五、發明説明（π ) 2物體側之第3凹面N3為佳，此等第2及第3之凹面H2、N3此 時足K下條件為佳。 0.16 < Rn2/L < 0.38 (10) 0.055 < Rn3/L < 0.11 (11) 但*
Rn2:第2凹面N2之曲率半徑，
Rn3 :第3凹面N3之曲率半徑， 第5透鏡中面向第2物體側之第2凹面N 2及第3凹面N3主 要擔任補正從第5透鏡群G5中之正透鏡所發生之負球面收差 及負失真之機能。上述條件（1Q)及（11)各規定對物像間距 離之第2及第3凹面N2、N3之適切曲率半徑比。在此’超過 條件（1 0 )及（Π )之上限，則殘存負球面收差及負失真而不 佳•超過條件（1 〇)及（η)之下限，則特別使球面收差呈補 正過剩變為高次球面收差之發生原因而不佳。 又，在本發明，設第2透鏡群G2中之正透鏡面向第2物 體側之面之曲率半徑為Rpl>滿足以下之條件為佳。 0.23 < Rpl/L < 0.5 (12) 條件{ 1 2 )係規定對全系統之第2透鏡群G 2中之正透鏡面 向第2物體側之凸面之曲率半徑。此凸®擔任補正在第2、 第4及第5透鏡群G2、G4、G5所發生之負失真的角色。在此 ，超過條件（1 2 )之上限，則失真之補正不充分 > 殘存負失 真而不佳。又，超過條件（1 2 )之下限•則失真補正過剩發 生正高次失真而不佳。 -1 3- 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21ϋ_χ297公趁） ---------裝-------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項^^寫本頁) ί 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 ___ B7__五、發明説明（h ) 其次參照圈面表示將本發明實陁形態之投影光學糸统 適用於投影曝光裝置之事例。圖1 係表示將本發明實施形 態之投影光學系統適用於將逐次曝光型之投影暍光装置的 事例之斜視圖•圖2係表示將本發明實施形態之投影光學系 統適用於掃瞄型曝光装置的事网之斜視圖。 此等圖1及圖2之投曝光裝置，均使用於形成積體回路 元件或液晶板等裝置之回路猓路圖之曝光工程。 其初，在圖1事例，將描印所定之回路線路圖之投影原 板線網R(第1物體）配置於投影光學系統PL之物體面，而將 基板晶圓W(第2物體）配置於投影光學系統PL之像面。在此 ，線網R被保持於線網台*面晶圓W被保持於至少圈中X Y方 向可動之晶圓台。又，線網R之上方（Z方向側）配置K紫 外域之曝光光均一照明面罩Μ之照明領域1 A的照明光學装置 。在此實施形態，照明光學装置1L供給i線（人= 365 mm)之 紫外域之光。 由以上構成，照明光學裝置IL所供應之紫外域之曝光 光學均一照明線網R上之照明領域IA。通遇此線網R之暘光 光在投影光學系統P L之開口縮小A S之位置形成光源像。卽 媒網RM照明光學装置IL Koehler照明。而*在晶圓上之曝 光領域EA形成線網R之照明領域IA内之®，由此，將線網《 之回路線路圖轉印在晶圓。 其次，在圖2之事例，與圖1之事例相異之處在於保持 線網R之線網台RS與保持晶圓之晶圓台WS*瞜光中互相逆方 -1 4 - (請先閱讀背面之注意事項填寫本頁) ----參-----訂1 -n d —n^ — ^-------... 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 經濟部中央標率局負工消費合作杜印製 ^ 417ie： B7____五、發明説明（θ) 向掃描。由此，將線網R上之回路線路圖之像掃瞄曝光於晶 圓W。 拟上圖1及圖Z之實施形態，投影光學糸^PL在第1物體 側（面罩Μ側）及第2物體側（金屬板P厠）貿質上成為遠心而具 有縮小倍率。 〔實施例〕 其次，參照圖3〜圖14説明本發明投影光學糸统之實施 例。在此，圖3、圖6、圖9及圖12各為第1〜4實施例之投影 光學糸統之透鏡斷面圖，圖4、圖7、圖10及圖13各為第1〜 第4實施例之投影光學系统之縱收差圖*而’圖5、圖8、圖 il及圈14各為第1〜第4實施倒之投影先學系,统之橫牧差圖 Ο 〔第1實豳例] 在圖3，第I實施例之投影光學糸統由第！物體（線網R) 側順序，K正折射力之第1透鏡群61、負折射力之第2透鏡 群G2、正折射力之第3透鏡群G3、負折射力之第4透鏡群G4 、與正折射力之第5透鏡群G5所構成。 第i透鏡群G1，由第1物體側順序，以兩凸肜狀之正透 鏡L11、兩凹形狀之負透鏡L12、兩凸形狀之2片正透鏡[13 、L14、面向第i物體側凸面之平凸形狀正透鏡L15及面尚第 2物體側凹面之平凹形狀負透鏡L1 6構成。在此第1透鏡群 兩凸形狀之2片正透鏡3, L14構成正折射力之部分群 G 1 P ° -15- Λ7 "裝-- (請先閲讀背面之注意事項4(¼寫本I ) -^1— ，va 線 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐）
經濟部中央標準局員工消費合作社印$L A7 B7 ^、發明説明（G ) 第2透鏡群62，由第1物體側顒序，K兩凸形狀正透鏡 L21、面向第2物體側凹面之平凹形狀負透鏡[22、兩凹形狀 負透鏡L23及面向第1物體刺凹面之平凹形狀負透鏡L24構成 。在第2透鏡群’ 3片負透鏡L22〜L24構成負折射力之部分 群 G2n。 第3透鏡群G3，由第1物體側順序，从瓸向第1物體測凹 面之形狀之正透鏡L31、面_第1物體面向第1物體側凹面之 鸾月形肤正透鏡L33、兩凸形狀之2片正方透鏡L34、L35、 面向第1物體側凸面之鼙月彤狀正透鏡L 3 6構成。在此第3透 鏡群G3* 3片正透鏡L33〜L35構成正折射力之部分群G3p。 第4透鏡群G4*虫第1锪體測順序· K茴向第1饬體側凸 面之彎月形狀透鏡L41、面向第1物體側凸面之彎月形狀負 透鏡L42、兩凹形狀負透鏡L43、面向第1物體側凹面之鬻月 形狀負透鏡L44及面向第2物體側凸面之彎月形狀之正透鏡 L4 5構成。在第4透鏡群G4，3片負透鏡L42〜U4溝成負折射 力之部分群G4n。 第5透鏡群G5，由第1物體側順序，面向第1物體側凹面 之彎月形狀正透鏡L51、兩凸形狀正透鏡L52、瓸向第1物體 側凹面N1之鹫月形狀負透鏡L53、面向第2物體劂凹面N2之 彎月形吠負透鏡L54、兩凸形狀正透鏡L55、面向第1物體側 凸面之脊月形狀之3H正透鏡L56〜L58、面向第2物體側凹 面N 3之彎月彤狀負透鏡L5 9及面向第2物體側凹面之彎月形 狀之正透鏡G5g構成。在此第5透鏡群G5，正透鏡L51、L52 ' -16- 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210X 297公楚） L---------批衣------!訂------^ (請先閲讀背面之注意事項'^填寫本頁) f Α7 Β7 417 16 五、發明説明（) 負透鏡L53、L54及正透鏡L55〜L57構成正折射力之部分群 G 5 p 〇 又，在第1實施例之投影光學系統，開口縮少AS配置在 第4透鏡群G4與第5透鏡群G5之間。 〔第2寊施例〕 在圖6*第2實施例之投影光學糸統由第1物體（線網R) 側順序，Μ正折力之第1透鏡群G1、負折射力之第2透鏡群 G2、正折射力之第3透鏡群S3、負折射力之第4透鏡群G4、 與正折射力之第5透鏡群G5構成。 第1透鏡群（Π·由第I物體側順序，κ兩凸形狀正透鏡 L 1 1、兩凹彩狀負透鏡L 1 2、雨凸髟狀之2 Η正透鏡U 3、L 1 4 及面向第2物體側凹面之彎月形狀負透鏡U 5構成。在第1透 鏡群61，2片透正鏡L13，L14構成正折射力之部分群Glp。 第2透鏡群G2，由第1物逋側順序，以兩凸形狀正透鏡 L21，面向第2物體側凹®之平凹形狀負透鏡L22、兩凹形負 透鏡L2 3及面向第1物藶側凹面之平凹形狀負透鏡L2 4構成。 在此，第2透鏡群G2K3片之負透鏡L22〜L2 4構成負折射力 之部分群G 2 η。 第3透鏡群G3*由第1物體側順序，以面向第1物體側凹 面之鬻月形狀正透獍L31、面向第1物體脷凹面之彎月形負 透鏡L32、面向第1物體側凹面之膂月形狀正方透鏡L33、兩 凸形狀正透鏡L34及面向第1物體側凸面之鸾月彫狀正透鏡 L35構成。在第3透鏡群，3片正透鏡L33〜U5構成正折射力 -17- 本紙浪尺度適用中國國家標芈（CNS ) Λ4規格（210X297公發） ----------裝---------:訂-------線 (請先閱讀背面之注意事項^½:寫本頁) 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 6 a Λ 7 Β7 經濟部中夬標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（ίχ ) 之部分群（5 3 P。 第4透鏡群G4，由第1物體側順序，Μ面向第1物骽側凸 面之弩月形狀正透鏡L41、面向第1物體側凸固之彎月形狀 負透鏡L42、兩凹形狀負透鏡L43、面向第1物體側凹面之彎 月形狀負透鏡U4及面向第2物體側凸面之鸳月形狀正透鏡 L45構成。在第4透鏡群G4* 3Μ之負透鏡[42〜L4 4檐成負折 射力之部分群G4n。 第5透鏡群G5，由第1物體側順序，面向第1物物體側凹 面之鸯月形狀正透鏡L51、兩凸形狀正透鏡L52、面向第1物 體側凹面Ml之鹫月形狀負透鏡L53、面向第2物體側凹面N2 之彎月彤狀負透鏡L 5 4 '甬凸彤狀正透鏡L 5 5、面商第？物體 側凸面之鸾月形狀之3片正透鏡L56〜L58、面向第2物體側 凹面N3之彎月形狀負透鏡L59及面向第2物體側凹面之形狀 之膂月形狀面透鏡G5g構成。在此第5透鏡群G5*正透鏡L51 ，L52，負透鏡L53，L54及正透鏡L55〜L57構成正折射力之 部分群G 5 P。 又，在第2實施例之投影光學系統，開口縮小AS配置於 第4透鏡群（H與第5透鏡群G5之間。 〔第3實施洌] 在圖9，第3實施例之投影光學糸統，由第1物體（線網 R)側順序.K正折射力之第1透鏡群G 1、負折射力之第2透 鏡群G2、正折射力之第3透鏡群G3、負折射力之第4透鏡群 G4、正折射力之第5透鏡群G5構成。 -18- I--------裝--- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁〕 訂 .線 本紙張尺度適用中园國家標準（CNS ) Λ4規格（2!OX297公綮） 417168 Λ7 Β7 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 五、發明説明（a ) 苐1透鏡群G1·由第1物體側順序，K面向第1物腊剧β 面之彆月形狀負透鏡L11、兩凸形狀之3片正透鏡L12〜L14 及面向第2物體脚凹面之平凹形狀負透鏡L15構成。在第1透 鏡群G1，2片之正透鏡L12，U3構成正折射力之部分群Glp 0 第2透鏡群由第1物體測順序，Μ兩凸彤狀正透鏡 L21、面向第2物體側凹面之平凹形狀負透鏡L22、兩凹形狀 負透鏡L23及面向第1物側凹面之鹭月肜狀負透鏡L24構成。 在第2透鏡群G2，3片負透鏡L22〜L24構成負折射力之部分 群G2 ° 第3透鏡群G3* S第1惚體側順序，Μ靣阎第1物體測凹 面之鸾月形狀2片正透鏡L31，L3 2及兩凸形狀之3Η正透鏡 L33〜L35溝成。在此第3透鏡群G3，3Η正透鏡L33〜L35構 成正祈射力之部分群G3p。 第4透鏡群G4，由第1物體側順序，以面向第1物體側凸 面之哿月形狀正透鏡L4 1、面向第1物體側凸面之彎月肜狀 負透鏡L42、兩凹形狀負透鏡L43、面向第1物體側凹面之平 凹形狀負透鏡L4 4及面向第2物體測凸面之彎月形狀正透鏡 L45構成。在第4透鏡群G4，3片負透鏡L42〜U4構成負折射 力之部分群G4n ° 第5透鏡群G5 ·由第1物體厠順序，以面向第1物體側凹 面之臂月形狀正透鏡L51、兩凸形狀之2片正透獍L52，L53 ，持有面向第1體側凹面！Π與面向第2物體側凹面N2之兩凹 ™ 1 9 - t---------^—— (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（2丨0X297公釐） A7 417160 B7 _ 五、發明説明（) 形狀負透鏡L54、兩凸彤狀正透鏡L55、面向第1物髖側凸面 之鸾月形狀之3片正透鏡L56〜L58、茴向第2物體側凹面N3 之鼙月形狀之負透鏡L59及面向第2物體剧凹面之形狀之彎 月彤狀正透鏡G5g構成。在此第5透鏡群G5，正透鏡L51〜 U3、負透鏡L54及正透鏡L55〜L57構成正折射力之部分群 G 5 ρ ο 又，在第3置施例之投影光學系統，開口縮小配置於第 4透鏡群G4與第5透鏡群G5之間。 〔第4實施例〕 在圖12，第4實施例之投影光學系統，由第1物髓（線網 R)廁顒序，以正折射力之第1透鏡群負折射力之第2透 鏡群G2、正折射力之第3透鏡群G3、負折射力之第4透鏡群 <34、與正折射力之第5透鏡群構成。 第I透鏡群（Ϊ1，由第1物體側順序’以兩凸形狀正透鏡 L11、兩凹形狀負透鏡L12、兩凸形狀之2片正透鏡U3，L14 ，面向第1物體脚凸面之平凸形狀正透鏡L15及面向第2物體 側凹面之平凹形狀負透鏡搆成。在此第1透鏡群G1，兩 凸形狀之2片正透鏡L13，L14構成正折射力之部分群Glp。 第2透鏡群G2，由第2物體側順序，Μ兩凸形狀正透鏡 L2〗、面向第2物體側凹面之平凹形狀負透鏡L22、兩凹面形 狀負透鏡L23及面向第1物體側凹面之平凹形狀負透鏡L2 4構 成。在第2透鏡群G2，3片負透鏡122〜L24構成負折射力之 部分群G 2 η。 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS Μ4規格（210Χ 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印梵 A7 B7 第3透鏡群G13由苐ί物體側順序，K面向第2物體_凸 面之形狀之正透鏡L13、面向第1物體側凹面之辑月形狀負 透鏡L32、面向第1物體側凹面之彎月形狀正透鏡L33、兩凸 形狀之2片正透鏡L34，L35、面向第1體側凸面之膂月形狀 正透鏡L36構成。在此第3透鏡群G3，3片正透鏡L33〜L35構 成正折射力之部分群G3p。 第4透鏡群G4 *由第1物體側順序，面向第1物體側凸面 之膂月形狀正透鏡141、面向第1物體側凸面之彎月形狀負 透鏡U2、兩凹彤狀負透鏡L43、面向第1物鬅側凹面之膂月 形狀負透鏡L4 4及面向第2體側凸面之彎月形狀正透鏡L4 5構 成。在第4透鏡群GO 3片負透鏡U2〜U 4搆成負折射力之 部分群G4n。 第5透鏡群G5 <由第1物賭側順序，K面向第1物體側凹 面之蜜月形狀正透鏡[51、兩凸形狀正透鏡L52、面向第i物 體測凹面N1之彎月形狀負透鏡153、面向第2物髖惻凹面ιι2 之彆月形狀負透鏡154、兩凸形狀正透鏡155、面向第1物側 凸面之轡月形狀之3片正透鏡156〜158、面向第2物體脚凹 面N3之彎月彤狀負透鏡L59及面向第2物體側凹面之形狀之 彎月形狀正透鏡G5g構成。在此第5透鏡群G5’正透鏡L51， L52、負透鏡L53，L54及正透鏡L55〜L57構成正折射之部分 群 G5p 〇 又，在第4茛施例之投影光學系統開口縮小As配置於第 4透鏡群G4與第5透鏡群G5之間。 -21- 本紙張尺度適用t國囤家標準（CNS ) Λ4現格（210X297公釐） (諳先閱讀背而之注意事項'^填寫本頁) —17 4 8 6
7 B 五、 發明説明（1?) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 K下將數值實胞例之緒元之值且條阼對懕數值表示於 表1〜表8。 但，在各表，左端數字表示由第1物體側（線網S側）之 順序* 7係透鏡面之曲率半徑、d係透鏡面間隔、η除 365ηιη之折射率、do係從第1物體（線網R)至第1透鏡群G1之 最第1物體側（線網R側）之透鏡面（第1透鏡面）的距離、WD係 從第5透鏡群G5之最靠第2物制側（晶圓W脚）之透鏡面至第2 物體面（晶圓W面）的距難、/3係投影光學系統之投影倍率、 N A係投影光學糸統之第2物體側之開口數、0ΕΧ係第2物體 面（金靥板P面）之瞜光領域之半、L係物像間距離（第1物體 ,,[線網R]至第2體[晶圓]之距離）、fl像第1透鏡群S1中之部 f i 分群Glp之焦點距皤、f2係第2透鏡群G2中之部分群 G2n之 焦點距離、係第3透鏡群G3中之部分群G3P之焦點距離、 f4係第4透鏡群G4中之部分群G4n之焦點距離、f5p係第5透 鏡群G5中之部分群G5P之焦點距離。又，在各表’ i5g係第5 透鏡群中之正透鏡G 5 g肷焦點距離、R5g係第5透鏡群中之正 透鏡G5g之第2物體側（晶圓W側）之凹面曲率半徑、ϋηΐ偽第 5透鏡群G5中之面向第1物體側（線網R側）之第1凹面之曲 率半徑、Εη2係第5透鏡群G5中之面面第2物體側（晶圓W側） 之第凹面Ν2之曲率半徑、Rn3係第5透鏡群G5中之面向第 1 物體側較第凹面Ν 2位置於靠第2物體側之第3凹面Ν 3之曲率 半徑、RpH系第2透鏡群G2中之正透鏡之面向第2物體側（晶 圓W側）之面之曲率半徑。 -22- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Λ4规格（210X297公慶） ---------¢— C請先閱讀背面之注意事項寫本页) 訂 線 417168 [表1】 [第丨実施例] dO= 85.84542 0= 1/5 ΝΑ= 0. 615 WD= 19.00000 ΦΕΪ =15.6 L: =1200 Γ d n 1 +688. 21752 28. 00000 .1. 615481 2 -304.80855 3.00000 1. 000000 3 -260.00000 16.00000 1. 612652 4 +368. 80413 3. 35615 1.000000 5 +461.11900 29. 70000 1. 488581 6 -307.69507 0. 50000 1. 000000 7 +239.65577 29. 50000 1. 615481 8 -1376.88881 0.50000 1.000000 9 +228.88522 27.50000 1.615481 10 CO 1. 00000 1. 000000 11 CO 16.78114 1.612652 12 +111.01247 15,18344 1. 000000 13 +255. 68330 25.31033 1.612852 14 -454. 57241 0. 50000 1. 000000 (R p 1) -23 — 0.00000 14. 00000 1.615481 +118. 40199 22.46541 1. 000000 -226. 66098 12.50000 1. 483581 +194. 30010 41. 51491 1.000000 -156.23447 25. 10411 1. 615481 0. 00000 13.02696 1.000000 +34928.96053 32.95326 1. 615481 -178.06192 10.06888 1.000000 -131. 67222 37.89036 1.615431 -191.14704 0. 33328 1. 000000 ,-469.70082 24. 50000 1. 615481 -283.99212 0.50000 1.000000 f600.00000 27.20000 1. 615481 -765. 79841 1.00000 1. 000000 +355.41259 26. 70000 1.615481 -3341.54309 0.50000 1. 000000 +282.87225 27.76907 1.615481 +446. 45715 0.50000 1. 000000 +202. 70054 32.51731 1.615481 +200.68509 8.59820 1.000000 +343.84296 16.00000 1. 612652 +122. 88028 32.68047 1. 000000 -238. 49136 12. 00000 1.615481 +327. 42830 28.94742 1. 000000 -128. 99436 25, 18701 1,612652 -4297.59062 0. 74569 1. 000000 -3796. 93992 35. 83378 1. 488581 -182.01599 7. 50000 1.000000 〇〇 10. 00000 1. 000000 < 417 1 6 b 44 -1584. 12678 24.00000 1. 488581 45 -259.53358 0. 52257 1. 000000 46 +496. S6960 41.53348 1. 615481 47 -312. 30796 5.38895 1.000000 48 -259. 40216 22.50000 1. 612652 (Rn 1) 49 -546. 90264 0.50000 1.000000 50 +419.50404 22.80000 1, 612652 51 +260.51140 4 25113 1. 000000 (Rn 2) 52 +290. 00312 37.01218 1. 488581 53 -1172. 29742 0. 50000 1. 000000 54 +224.50188 28. 30000 1. 488581 55. +772. 01014 0. 50000 1. 000000 56 +160.97601 28. 20000 1. 488581 57 +316. 67288 0.50000 1. 000000 58 fl42.73331 42.24908 1. 488581 59 +1374. 88582 0. 80000 1.000000 60 +1400. 00000 21.59241 1. 612652 61 +80.50236 23. 59041 1.000000 (Rn 3) 62 +86.82687 65.03716 1.612652 63 +723. 24389 ⑽） 1. 000000 (R 5 g) [0 l ΰ 5 7] 【表2】 [第丨実施例之条件対応値] (1) f 1/L = 0.151 (2) -f 2/L = 0. 049 (3) f 3/L = 0.181 (4) -f 4/L -i 0.058 (5) f 5 p/L : =0. 125 (6) f 5 g/L : =0.129 -25- (7) R 5 g/L = 0.603 (8) -Rn 1/L = 0.216 (9) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -0.603 (L55) (r i+r 2)· / (r 1-r 2) = -L 820(L56) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -3. 067 (L57) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1. 232(L58) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1.273(G5g) (10) Rn 2/L = 0.217 (11) Rn 3/L - 0.067 ' (12) -Rp i/L = 0.379 【0 0 5 8 】 [表3】 [第2実施例] d0 = 89. 999999 β= 1/5 ΝΑ= 0. 615 WD= 18.500000 0 ΕΧ= 15. 6 L= 1206 r d η 1 +750.16279 31. 500000 1.615481 2 -220.00000 1. 000000 1. 000000 3 -218.06788 15.000000 1.612652 4 +325.97570 5.500000 1.000000 5 +491.19195 29. 000000 1. 488581 6 -347. 17405 0. 500000 1.000000 7 +209.56408 29.000000 1. 615481 8 -2963.85079 0.100000 1. 000000 9 +240. 78134 32, 643740 1. 612652 -26- 4171S8 10 +117. 46219 14.500000 1.000000 11 +244. 32765 34. 452790 1.615481 12 -460.28921 0. 500000 1.000000 (Rp 1) 13 〇〇 14. 000000 1.488581 14 +111.22015 22.500000 i. 000000 15 -345.82103 11.000000 1. 488581 16 +166.18604 40.292246 1. 000000 17 -139. 60880 19. 485492 1.615481 18 OQ 11.087291 1. 000000 19 -637. 60891 50. 004491 1.615481 20 -179. 90164 13. 955924 1. 000000 21 -133.90676 30. 456495 1.615481 11 -169.00248 0.211350 1.000000 23 -768.89404 24.230173 i. 615481 24 -367. 90453 0. 697066 1.000000 25 +589. 13165 28. 000000 1.615481 26 -665.24739 1.000000 1.000000 27 +294. 16305 27. 500000 1.615481 28 -8769. 55173 5.000000 1.000000 29 +253.91512 62.624436 1. 615481 30 +263. 05747 5. 500000 1.000000 31 +376. 43451 16.000000 1. 612652 32 +127.23648 31.365482 1.000000 33 -239. 44157 18.177545 1.615481 34 +377.83226 25.803559 1.000000 35 -128. 22564 24. 700973 1.612652 36 -4833. 52939 1. 375434 1. 000000 37 -4745.08654 38.000000 1. 488581 38 -185. 32072 4.501154 1.000000 -2 J~ 39 CO 10.000000 1.000000 (AS) 40 -1309.89752 22.500000 1. 438581 41 -258.91713 0.500000 1.000000 42 +494. 92084 36. 200000 1. 615481 43 -358.82852 7. 000000 1. 000000 44 -257.60152 22. 500000 1.612652 (Rn 1) 45 -419.07467 0.500000 1. 000000 46 +505.02516 22.500000 1.612652 47 +272.40529 4.500000 1.000000 (Rn 2) 48 +317.61979 35.000000 1. 488581 49 .-792. 89840 0.500000 L 000000 50 +218.71786 28. 962888 1. 488581 51 +662.60545 0. 500000 1. 000000 52 +161.06828 28. 860652 1. 488581 53 +349. 22176 0. 500000 1. 000000 54 +140. 52530 40. 500000 1. 488581 55 +1115. 07674 1.200000 1. 000000 56 +1121.39823 27. 157998 1. 612652 57 +78.14303 25. 119961 LOOOQOO (Rn 3) 58 +83. 95729 61. 8T11G5 1.615481. 59 +610.60171 (WD) 1.000000 (R 5 g) [0 0 5 9 ] [表4】 [第2実施例之条件対応値] (1) f 1/L - 0.153 (2) -f 2/L = 0.052 (3) f 3/L - 0.167 (4) -f 4/L = 0.059 (5) f 5 p/L = 0.123 —Z8~ 4Π168 (6) f 5 g/L = 0.126 (7) R 5 g/L = 0.506 (8) -Rn i/L = 0.214 (9) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -0. 428 (L55) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1. 985 (L56) (r 1+r 2) / (r 1-r 2) = -2.712(157) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1.288 (L58) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2) = -1.319(G5g) (10) Rn 2/L = 0.226 (11) Rn 3/L = 0.065 . (12) -Rp 1/L = 0.382 [ 0 0 6 0 ] [表5】 [第3実施例] d0= 89.000005 1/5 NA= 0.615 WD= 24.111595 0ΒΧ -15.6 L =1196.9 r d n 1 +1939.55307 20. 000000 1.612652 2 +281. 11390 10. 000000 1.000000 3 '+449.55943 35.270323 1.488581 4 -297. 94975 0. 750000 1.000000 5 +218. 50353 33. 087008 1.615481 6 - 14376.50699 0, 750000 1.000000 7 +244. 41294 29. 787159 1.615481 8 -1864. 37795 2.687228 1.000000 -2f- 9 〇〇 18. 000000 1.612652 10 +118. 07733 18.830325 1.000000 11 +279.00240 27. 626374 1.488581 12 -286. 15373 0.750000 1.000000 (Rp 1) 13 〇〇 15.000000 1. 615481 14 .+121.77422 29. 691393 1.000000 15 -167.29133 15. 000000 1.488581 16 +221.37517 28. 176548 1. 000000 17 -138.14211 22. 698390 1.615481 18 -694.99352 17.324597 1. 000000 19 -185. 35363 22. 000000 L 615481 20 -163. 34223 0.750000 l.OOOOGO 21 -345. 59298 23. 000000 1.615481 22 -212.88125 0. 750000 1.000000 23 +837.47091 26.807371 1.615481 24 -592. 54078 0.750000 1. 000000 25 +459.67736 31.017354 1.615481 26 -907.11817 .0.750000 1. 000000 27 +350. 77664 29. 961953 1.615481 28 -2426. 68761 34.608122 1. 000000 29 +306.42564 31. 336383 1.615481 30 +852.58779 9.336240 1.000000 31 +1574.58744 15.000000 1.612652 32 +153. 47868 32.327949 1.000000 33 -218.70659 15. 000000 1. 474577 34 +223. 84681 32.858042 1. 000000 35 -130.06518 34. 891416 1.612652 36 οσ 11.977743 1.000000 37 -875.00063 29.234902 1. 488581 417168 38 -197.32427 5.753854 L 000000 39 CO 5. 750000 1. 000000 (AS) 40 + 10711.4496 24. 726209 1. 438581 41 -362. 20G77 0.750000 1. 000000 42 +1119.16124 29.083421 1.615431 43 -446.03300 0. 750000 1. 000000 44 +406. 10622 36.912931 1.615481 45 -582.51787 10.094086 1. 000000 46 -343. 68000 25. 000000 1.612652 (Rn 1) 47 +405.99622 3.000000 1.000000 (Rn 2) 48. +419.51179 30.258707 1. 488581 49 -821.25172 0, 750000 1. 000000 50 +290. 40653 31. 872997 1.488581 51 +5465.29011 0.750000 1. 000000 52 +193.15728 31.609321 1. 488581 53 +704.11950 0. 750000 1.000000 54 +123.03501 37. 520745 1. 488581 5.5 +456.16128 6. 394985 1. 000000 56 +615.85448 24.530116 1.612652 57 +75. 77168 19. 182042 1.000000 (Rn 3) 58 481.95198 50.514912 1.615481 59 +798.82187 ⑽） 1.000000 (R 5 g) CO 0 :6 1] 【表6】 [第3実施例之条件対応値] (1) f 1/L = 0. 153 (2) -f 2/L = 0.051 (3) f 3/L = 0. 157 (4) -f 4/L = 0.054 -31- (5) f 5 p/L = 0.151 (6) f 5 g/L = 0. 121 (7) R 5 g/L = 0.667 (8) -Rb 1/L = 0.287 (9) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -0.323 (L55) (r 1 + r 2 ) / ( r 1 - r 2 ) = -1. 112 (L56) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1.756 (157) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) : -1.739 (L58) (r Hr 2) / (r 1-r 2) - -1. 228 (G5g) (10) Rn 2/L = 0.339 (11) Rn 3/L = 0.063 (12) -Rp 1/L = 0.239 【0 0 6 2 】 【表7】 [第4実施例] d0= 81.01932 β = 1/5 ΝΑ= 0.63 WD= 19.94252 0ΕΧ= 15.6 L= 1200 Γ d η 1 +572.19707 26. 40000 1. 488581 2 -517.13581 1.00000 1.000000 3 -576.11938 16.00000 1.612652 4 +319.72892 4. 82984 UOOOOO 5 +427.45496 30. 50000 1.488581 6 -348.64320 0.50000 1.000000 7 +211.54187 29. 80000 1.615481 -31- 4Π168 8 -1941. 96326 0.50G00 1.000000 9 +232. 39566 27.50000 1.615481 10 〇〇 1. 00000 1. 000000 11 oo 19.61130 1.612652 12 +108. 28670 16. 93605 1. 000000 13 +310. 86505 24.48600 1.612652 14 -413.92152 0.50000 1.000000 (Rp 1) 15 OO 14. 00000 1.612652 16 +115.98913 22.76912 1. 000000 17 -242.83640 12.50000 1.612652 18 +203.84520 42.27431 1. 000000 19 -158. 64281 25.55571 1. 488581 20 CO 13.26131 1. 000000 21 +5263. 42400 33. 62118 1.615481 22 -182. 40419 13.08969 1.000000 23 -132.22030 37.99541 1.615481 24 -198.71889 3.01709 1. 000000 25 -504.28103 24.50000 1.615481 26 -271.06241 0.50000 1.000000 27 +600. 00000 27.70000 1.615481 28 -728. 23893 0. 50000 1.000000 29 +419.04064 26.70000 1. 615481 30 -1643.86644 0.50000 1.000000 31 +295.50686 28.41946 1.615481 32 +520. 71040 0.50000 1. 000000 33 +214.07728 32.77156 1.615481 34 +255.89539 9.25471 1. 000000 35 +637. 66197 16.00000 1.612652 36 +132.66792 30.54047 1.000000 37 -26L 10317 12. 00000 1.615481 38 +278. 54372 30. 19397 1. 000000 39 -129.90565 25. 13618 1.612652 40 -6068. 89035 0.78038 1.000000 41 -4001.34463 35.75687 1.488581 42 -182. 47255 11.61871 1. 000000 43 〇〇 5.00000 1.000000 (AS) 44 -1901. 93658 24. 00000 1. 488581 45 -268.92809 0. 52?57 1.000000 46 +471. 20841 40.17914 1. 615481 47 -328.64737 5. 49342 1. 000000 48 -264. 96403 22.50000 1. 612652 (Rn 1) 49 -559.53762 0. 50000 1. 000000 50 +431.81643 22.80000 1.612652 51 +272. 80518 4.29657 1.000000 (Rn 2) 52 +318.81215 35.65154 1. 488581 53 -904. 77148 0. 50000 1.000000 54 +231.59428 28. 30000 1. 488581 55 +851.03579 0.50000 1.000000 56 +163.97092 28.20000 1.488581 57 +322.06954 0. 50000 1. 000000 58 +140. 43124 42.06842 1. 488581 59 +1885.70600 0. 80000 1. 000000 60 +1890. 45700 21.50825 1. 612652 61 +83.55412 23.58350 1.000000 (Rn 3) 62 +91. 71370 62. 13512 1.615481 63 +748.85306 (⑽ 1.000000 (R 5 g) [0 0 6 3 ] 〔表8】 -对- Γ 417166 [第4実施例之备件対応値] (1) f 1/L = 0.148 (2) -f 2/L = 0.050 (3) f 3/L = 0. 176 (4) -f 4/L = 0.055 (5) f 5 p/L = 0.125 (6) f 5 g/L = 0. 136 (7) R 5 g/L = 0.624 (8) -Rn 1/L = 0.221 ' (9) (r 1+r 2) / (r 1-r 2 ) = -0.479 (L55) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1.748 (L56) (r Ur 2) / (r i-r 2 ) = -3.074(L57) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2) = -1.169(L58) (r 1 + r 2) / (r 1-r 2 ) = -1.279(G5g) (10) Rn 2/L = 0.227 (11) Rn 3/L = 0.069 (12) -Rp 1/L = 0.345 A7 A7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 B7 ___ 五、發明説明（η ) 由K上之各實施洌之諸元之值，可瞭解第1〜第4啻施 例之投影光學系統一方面確保廣嘎光領域，另方面達成高開 口數。 又，圖4、圖7、圖1G及圖13各表示第1〜第4賁施例之 投影光學系統縱收差圖。而，圖5、圖8、圖11及圖Η各表 示第1〜第4實施例之投影光學系統子午方向（正切方向） 及球久方尚（徑向方间）之横收差圖。 在此各收差画，N A表示投影光學糸统之開口數、Y表示 像高，又*在非點收差圈中，虛線表示子午像面（正切像 面）•實線表示球久像面（徑向像面）。 比較各孜差圔，甩瞭解各實施例其諸收差補正均衝， 尤其在廣曝光領域全面其諸收差良好補正。 又，在姒上各實施例*提供K供给i線紫外光為光源 之事，但不必限制於此，可使用供給1 9 3 mm、2 4 8 · 8 mm光之 激光雷射等極紫外光*源或使用供給g線（435.8ιβιβ)或b媒（ 404.7mni)光之水銀燈，更此以外之紫外領域之光的光源* 亦能應用。 〔發明效果〕 如以上，本發明可實現確保大開口數與廣曝光領域而 K兩側遠心，極良好補正諸收差，特別為失真之高性能投 影光學糸統。 而，如將本發明投影光學系统適用於投影暍光装置， 則可獲得將極微细之回路编路圖形成在晶圓上之廣曝光領 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Λ4規格（2】〇χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項^%寫本買)
經濟部中央標準局舅工消費合作社印策 _ί· 417 166 Α7 ____Β7 五、發明説明（W ) 域的效果。 [圖面之簡簞說明] 〔圖1]係將本發明之投影光學糸統適用於一括曝光型投 影暘光裝置之事例概略表示的斜視圖。 〔圖2〕係將本發明之投影光學系統適用於掃瞄瞜光型投 影暍光裝置之事例概略表示的斜視圖。 〔圖3]係第1晋施例投影光學系統之透鏡構成圖。 〔圖4]偽第1實施例投影光學系统之縱收差画。 〔圖5]係第1實胞例投影光學系統之横收差圃。 〔圖6〕係第2實胞例投影光學系統之透鏡構成圖。 〔圖7 ]係第2簧筢例投影充學糸統之鑌牧差圖。 [圖8]係第2實施例投影光學系统之横收差圈。 〔圖9〕係第3寅施例投影光學系統之透鏡構成圖。 〔圖10〕係第3實腌洌投影光學系統之縱收差圖。 〔圖1 1〕係第3實施例投影光學系统之横收差圖。 〔圈1 2]係第4實施例投影光學系統之透鏡構成圖。 [圖13〕係第4實胞例投影光學系统之縱收差圖。 〔圖14〕係第4實腌例投影光學系统之横收差圃。 C符號說明] 61 :第i透鏡群 G2 :第2透鏡群 G 3 :第3透鏡群 64 :第4透鏡群 -37- 本纸浪尺度適用中國國家標準（CNS)Λ4规格（210x 297公楚） J----------^----r--:玎------^ (請先閱讀背面之：;i意事項寫本頁) { A7 B7 五、發明説明（ij) G5 :第5透鏡群 Glp :第1透鏡群中之部分群 G2n :第2透鏡群中之部分群 G3p :第3透鏡群中之部分群 (Πη :第4透鏡群中之部分群 G5p :第5透鏡群中之部分群 G5g :第5透鏡群中之正透鏡 ----------裝丨.----卜|-訂------線 (請先閱讀背面之：ίχ意事項^%寫本頁) ί 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨Ο X 297公釐）

Claims (1)

  1. "417 16 8 A8 B8 (：8 D8 ^|年％八修正 -Λ- :iH允 六、申請專利範圍 1 · 一種投影光學系统，其特激在於： (清先閱讀背"之注"事項再^寫本頁) 在將第1物體之像彤成於第2物體上之投影光學臬統I 由前逑第1物體側順序|具備 具有正折射力，含3片正透鏡之第i透鏡群， 具有負折射力，含3H負逋鏡與1片正透鏡之第2透鏡群 t 具有正折射力，含3片正透鏡與i片負透鏡之第3透鏡群 具有負折射力，含3n負透鏡之第4透鏡群， 具有正折射力，含正透鏡與丨Η負透鏡之第3透鑌群 j 萠述第1透鏡群具有至少含2片正透鏡之部分群Gip< 前述第2透鏡群具有至少含3片正透鏡之部分群G2n， 前述第3透鏡群具有至少含3H正透鏡之部分群G3p> 前述第4透鏡群具有至少含3片正透鏡之部分群（HP， 前述第5透鏡群具有至少含正透鏡之部分詳G5p， 與配置於最靠第2物體剧面岗第2锪體厠凹面之正透鏡G5gi 具滿足K下條件： 0.08 < mi < 0 . .25 (D 0.03 < -tin < 0 . .i (2) 0.08 < f 3/L < Q . .3 (3) 0 . 0 3 ί ί< -f 4 / L < 0 , 11 ⑷ ΰ . 1 〈 f 5p/L < 0 . .25 ⑸ —i - 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS .丨Λ4蜆格（公蠔） 六 铨濟部智总时4兑只工;(1費合作社印製 AS B8 C8 D8 、申請專利範圍 0.07 < ；f5g/L < 0.21 ⑹ 0.25 < C R5g/L < 0.83 (7) 但. L :前述第1物體至前述第2锪題之距雛* f 1 :前述第i透鏡群中之部分群G 1 p焦點距離， :前述第2透鏡群中之部分群G2n焦點鉅離， f3 :前述第3透鏡群中之部分群G3p焦點距離* f4 :前逑第4透鏡群中之部分群G·! η焦點距離， f 5ρ :前述第5透鏡群中之部分群G5p焦點距離， f5g:前述第5透鏡群中之正透鏡G5g焦點距雛， R5g:前述第5透鏡群中之正透鏡G 5 g之第2樹體側凹面的曲 率半徑。 2，如串_專利範圍第1項之投影光學系統，其 中，前逑第5透鏡群具有面向第l·物體側之第1凹面ΪΪ1， 設該凹面；Π之齒率半徑為R n i時，滿足Μ下之條件： 0.125 < - R η 1 / L <0.33 (8) 。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之投影光學系統 ，其中，前述第5透鏡群含滿足Κ下條件之至少4片之 正透鏡： -10 < (r a + r 2} / ( r 1 - r 2) < -0.1 ⑼ 但， r 1 :至少4 H之正透鏡之第1物體側之面的曲革半徑· r 2 :至少4片之£透鏡之第2物體側之面的曲革半徑。 本紙張尺度適用t國國家檫隼（CNS ) A4現格（illOX 2W公等） (請先Γ4讀背沿二注忿事項再填荇本頁) .丨 今 訂 417 16 3 b8 (_ ο D8 六、申請專利範圍 4 ·如申請專利範園第1項或第2項之投影光學系统， 其中，前述第5透鏡群具有面向第2物體側之第2凹面Ν2，與 較Μ 2凹面S 2位置於靠第2物體副面囱第2物體側之第3凹面 ^，滿足Κ下條件： ϋ . 1 6 < g η 2/L < 0.38 ί 10) 0.0 δ 5 < R η 3/L < Ο .i 1 ill) 钽， R η 2 :第2 M面N 2之曲率半徑， Rn3 :第3B面N3之曲革半徑。 5 >如电請專利範園第1項或第2項之投影光學系統< 其中，前述第2透鏡群至少含1汽正透鏡，設該正透鑌之面 商第2物體之_面的曲革半徑為S p 1時，滿足>乂下條伴： 0.23 < Rpl/L , 0.5 (12)。 6 ·如申請專利範圍第1項或第2項之投影光學糸統， 其中，前述第2透鏡群中之正透鏡，較前述苐2透鏡群中之 部分群G 2 η配置於靠第1物體厠。 咤、-""^財4-":u (工"贷合作社印製 7 ，韶串請專利範圍第1項或第2項之投影允學系統， 其中，前述第3透鏡群中之負透鏡，較前述第3透鏡群中之 部分群G3p配置於靠第1物體側。 3 ·如申讀專利範圍第1項或第2項之投影光學条統， 其中，前述第4透鏡群中之最靠第1物賵側配置面向第1物側 凹面之透鏡。 9 ·如申請專利範圍第[項或第2項之投影光學系統， 木紙張K度遢用中國國家標窣（CNS ) Μ現格（210x2V7公螓） 經濟部智.^財4^:^工^骨合作社印製 - —> -, Λ 8 、： Γ3 Β8 C8 D8六、申請專利範圍其中I前述Μ 2透鏡群之最靠第丨體側*配置正透鏡，於前 述第2透鏡群之最靠第2體側，配置部分群G2n 〇 1 0 ·如申請專利範圍第1項或第2項之投影光學条，统 ，其中*前述第5透鏡群中之第1及第2之凹面ΪΠ，Ϊ； 2位置 於前述第5透鏡群中之部分群G 5 p中。1 1 *如申請專利範園第1項或第2項之投影先學系跃，其中，前述第i透鏡群中之部分群Glp ，僅以正透鏡構成 第 或 項 1i 第 圍 範 利 專 0 串 ο 5 2 群 分 部 之 中 群 鏡 透 2 第 述 前 中 其 第 圍 範 利 專 請 申第 如述 , 前 3 ， 其 第 CTJ 或群 [31分 ί部 之 中 群 鏡 透 第 圍 範 利 專 讅 申第 如述 , 前 4 . .~^ 中 其 統 系 统成 系構 學鏡 光透 影負 投以 之僅 項’ 统 系 學 光 影 投 之 項 成 構 鏡 透 正 M 僅 統成 ¾構 學鏡 光透 影負 投以 之 僅 項 * 2 Ω 第G4 或群 Lis分 t部 之 中 群 鏡 透 置 装 光 曝 影 投 種第 1 述 . 前 5 明 1 照 商 具 於 在 徵 特 其 统 系 學 光 明 照 之 體 物 前 專 第 述 第 圍 is 利 學 光 影 投 之 述 所 項 1 件^ β中 §項 持4¾ 1-M1 第 至 之 項 體ί 物 件 ： 部有 持含 支-法 方 造 製 置 第装 述種 前 一 持 -支 第 之 體 物 6 (讀先閱请背«之;ΐ:δ事項再填..¾本頁)
    本紙伕及度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公缝> 8 8 8 8 ABCD 417168 六、申請專利範圍 將描印所定之回路圖樣之面罩用紫外域之暘光光照明 之工程； 使用如申請專利範圍第1項至14項中任一項所述之投影 光學系統，將前述被照明之面罩之像形成於基板上之工程 Λ 1 7 ·如申請專利範圍第5項之投影光學系統*其中 ，前述第2透鑲群中之正透鏡，較前述第2透鏡群中之部分 群G2n配置於靠第1物體側。 1 8 *如Φ請專利範園第5項之投影光學系統，其中 ，前述第2透鏡群之最靠第1體側，配置正透鏡，於前述第2 透鏡群之最靠第2體側，配置部分群G2n 。 1 9 ·如申諸專利範圔第4項之投影光學糸統，其中 ，前述第5透鏡群中之第1及第2之凹面Nl，N2位置於前述 第5透鏡群中之部分群G 5 p中。 2 0 ·如电諝專利範圍第5項之投影光學系統，其中 ，前述M2透鏡群中之部分群G2n ，僅以負透鏡楢成。 2 i ·如申請專利範圍第7項之投影光學杗统，其中 ，前逑第3透鏡群中之部分群G3p*僅K正透鏡構成。 22 ·如串請專利範圃第8項之投影光學系統•其中 前述第4透鏡群中之部分群“η ，僅以負透親構成。 本紙乐疋度適用中國國家櫺準（CNS ) A4規格（210Χ2<^公釐） _1. Η1 1 i 丨-—I. I ^ H I /1«.' (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂
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