TW407204B - Contact-makig apparatus for test points of electrical object - Google Patents
Contact-makig apparatus for test points of electrical object Download PDFInfo
- Publication number
- TW407204B TW407204B TW087118204A TW87118204A TW407204B TW 407204 B TW407204 B TW 407204B TW 087118204 A TW087118204 A TW 087118204A TW 87118204 A TW87118204 A TW 87118204A TW 407204 B TW407204 B TW 407204B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- contact
- patent application
- scope
- item
- contact member
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Sink And Installation For Waste Water (AREA)
- Tumbler Switches (AREA)
Description
經"1部中次標绺局只工消费合竹社印奴 — -----49^204— 五、發明説明1( ) '~ 發明背景 本發明是有關一接點製成裝置,用以製成一電子測試 物件之測試點的接點’測試點彼此相鄰。此一裝置有數個 彈性接合接點。 ϋ —型的裝置眾所周知如:EP〇〇6827〇Al °它們製成具有數個非常接近之電子測試物件之測試點而 同時存在的接點’如半導體元件的測試點。已知的接點製 成裝置包含若干針型接點,每一接點包含一彈性金屬。接 點和測試點彼此接近以檢測,電子測試物件測試點的連續 性’絕緣性和功能。當接點位於測試點之上或測試點位於 接點之上時’撓曲的接觸力使得接點的形變垂直於其縱向 延伸。其顯示要更換有缺陷的接點或者以一種想要的方法 更換不再發生作用的接點是很困難而且比較花時間。此外 ’其缺點乃是僅有少數材料可用於接點之用,因爲並不是 每一接點材料都是好的彈性材料。 發明簡述 因此’本發明的目的在提供一接點製成裝置,其接點 的更換簡單迅速,而且可容許更多的材料供接點之用。 爲了達到此一目的,一包括接點構件的接點製成裝置 其接點構件在開口內被引導以軸向移動的方式並延伸跨越 一第一元件。爲了產生彈性的接合,他們彼此以位於開口 內的彈性配對接點互相作用並延伸跨越一第二元件。第一 元件以一可分開的方式固定於第二元件。 本紙张尺度適用中國國家彳:;:卑(CNS ) ( 210χ?β:ΜΜ ---------衆------、1Τ------0 (¾先間讀背而之"&事項乃切打本石;) -4 - 經濟部中央標準局貝工消贽合竹杜印袈 407204 A7 I----- H7 五、發明説明2() 安裝於電子測試物件之測試點上的接點構件也可以由 與配對接點之材料不同的材料組成。使得接點構件以一限 定力量推向測試點,如此一來,接點製成裝置可理想地與 測試牧Μ牛接合。例如具有接觸力的接點構件推向測試點, 藉由更換第二元件以供不同的接點構件即可輕易了解,其 具有所要求之材料特性的配對接點。由於第一元件可與第 一元件分開’所以個別的接點構件如有損壞者可簡單迅速 地予以更換。 在一優良之接點製成裝置的具體實施例中,配對接點 是由具有至少一平行斜線的電線組成。這些電線也作爲撓 曲電線’根據另一具體實施例的類型,其電線爲彈性預彎 或是塑性_曲’即意味著所謂用以撓曲電線的撓曲力可完 全排除。在接點製成期間,也就是說當接點構件置於測試 點上時’接觸力是藉由已變形之配對接和/或接點構件的 儲存力所產生。換句話說,接點構件的材料也會有彈簧彈 性的特性。 在另一接點製成裝置的具體實施例中,配對接點是由 在一靭性印刷電路板之接點尖頭組成。如此可能提供一具 有低結構性闻度的接點製成裝置。既然一限定電阻抗可設 定於靭性印刷電路板上,就有高可塑性的接點製成裝置, 例如用於不同的測試物件和測試參數。 尤其在一較佳具體實施例中,配對接點分配到的分離 彈性構件增加接點構件與測試點之間的接觸力。其中一型 之每一配對接點爲一彈性構件,在一測試過程當中之接點 _____________________ 本紙張尺度適用中國囤家枕準(CNS )八糾:.你(21()χ ....... .... r I _^不 I I It 經漭部中央標準局負工消费合竹社印製 A" __ }\Ί ——I a -----— —· · -—>··— *_____ —— ~ .... . .. ____ 五、發明説明3() 構件隨著一電子測試物件之個別測試點上不同的接觸力而 受壓。第二種較佳類型則提供一彈性構件作用於所有接點 製成裝置的接點構件上。所以可簡化接點製成裝置的構造 〇 本發明其他的目的和特色參考下列附圖的說明。 附圖簡述 圖1顯示一接點製成裝置之第一具體實施例的縱向斷 面簡圖: 圖2至圖5各圖顯示一接點製成裝置之第一構件的個 別具體實施例的縱向斷面圖; 圖6顯示另一接點製成裝置之具體實施例的縱向斷面 圖, 圖7顯示一印刷電路板之具體實施例的平面圖; 圖8顯示如圖6之接點製成裝置,部分放大比例的縱 向斷面圖。 元件對照表 I 接點製成裝置 3 測試點 5 測試物件 7 第一元件 9 第二元件 II 固定構件 本紙张尺度適用中國國家枕準(CNS ) Λ#:'仏(2丨〇 x MU; :) ---------t------IT------,^ ("尤閱讀背而之注意事項再从寫本頁) 經漪部中央標準局另H_消费合竹杜印繁 407204 五、發明説明4() 12 接點構件 12a 接點構件 12b 接點構件 12c 接點構件 13 導栓 15 第一導板 17 第二導板 1 9,1 9 / 握板 2 1 直通開口 2 3 第三導板 2 5 第四導板 2 7 連接部 29 配對接點 3 0 雙箭頭 3 1 偏向板 3 3 空隙 3 5 彈性構件 37 支撐平板 3 9 測試單元 4 1 印刷電路板 4 3 導體軌跡 4 5 接點尖頭,彈性舌板 3 4 側表面。 本纸張尺度適用中國國家彳:1:準(CNS ) Λ( 2丨0 X ?y -------------裝------、1τ------0 (邻1閱讀背而之注"氺項wiA寫本頁) 五、發明説明g() 較佳具體實施例的詳細說明 下述的接點製成裝置也可以作爲測試尖頭配置。其以 微小且/或彼此相鄰的測試點測試電子構件,接點製成裝 置通吊用於而且特別用於半導體技術領域以供半導體封裝 上之半導體構件的電流測試。一般而言,接點製成裝置可 用於檢查其連續性,絕緣性和功能用之電子測試物件的測 ,試點。 圖1圖示一用於製成一電子測試物件5之測試點3之 接點用的接點製成裝置的第一個詳細具體實施例’測試點 彼此相鄰。接點製成裝置1包含—第一元件7和一第二元 件9,他們彼此分開而以固定構件i〗如螺紋予以連接。 爲了準確地放置元件7和9,使用一些導栓,在圖1僅能 看到導栓1 3。 經濟部中央標準馬另工消贽合作社印5Ϊ 針型接點構件1 2在第一元件7內被導引作軸向移動 ,每一接點構件分別與測試物件5的測試點接合,如下討 論。第一兀件7包含一第一導板15,一第二導板〗7和 介於二者之間的一握板丨9。握板由一電子材料組成。直 通開口 2 1位於導板丄5,1 7內容納接點構件X 2,而 接點構件1 2被導引在開口內。每—個在導板丄5 ,丄7 內的直通開口 2 1分配一接點構件i 2且排成一列。導板 1 9內作一穿孔以容納每—接點構件1 2。每一穿孔的淨 寬度小於或等於個別接點構件1 2的外徑,每一構件1 2 以一摩擦方式固定於握板1 9內的個別穿孔。如此即可避 免接點1 2從第一兀件7落下。 本紙张尺度適用中國國_CNs) Λ^ι:.^ΓΓΤι〇77ν -8- H7 ,1 7最好具有可塑性。如果接點製成裝置 ,導板可用水泥,玻璃或砂元素。握板1 9 材質製成’也就是一彈性合成材質。 經满部中央標準局K工消费合竹、社印裝 五、發明説明$ 導板1 5 1用於高溫時 最好用一彈性 第二元件 此分開,重疊 彈性配對接點 直通孔內。每 1 2之一反應 。位置對應於 孔與第一導板 列。配對接點 (-先間讀背而之:λϊ-#事項'#"'衿本s ) 9包含第三和第四導板2 3和2 5,他們彼 平行,並藉由一連接部分2 7連接在一起。 2 9以電線形成安排於導板2 3和2 5內的 一接點2 9與第一元件7內所導引接點構件 。配對接點2 9由導電材質如彈性金屬組成 每一接點構件1 2和第三,第四導板的直通 和第二導板內的直通開口 2 1是成一直線排 2 9與一測試設備連接,如一測試電源等等 ,在從第三導板2 3內直通孔擠出之配對接點的自由端連 接。測試設備遠離接點構件1 2。圖1所示,在接點製成 裝置1的預備位置上。從第四導板15內之直通孔擠出之 配對接點2 9的自由端’遠離第一元件7內引導之接點構 件1 2。另一具體實施例(未圖示出來)中,配對接點的 自由端靠近接點製成裝置之預備位置內指派的接點構件 12° 偏自板3 1位於第二元件9的二個導板2 3和2 5之 間’在雙箭頭的方向移動,包括直通孔,以引導配對接點 2 9。偏向板3 1與第三導板和第四導板分離,以明確的 方式從其配對接點2 9的從軸延伸方向將其偏向,結果, 施壓於針型配對接點2 9縱向的壓力將其固定在撓曲方向 。此外,由偏向板3 1產生在接點構件2 9內的彎曲效果 -9 - 本紙张尺度適用中國國td- ( CNS ) Adi:你(210x?W>: 經濟部中央標準局B-T消费合竹社印取 A7 _____ Η 7 五、發明説明X ) ~~~ ’使得接點構件彼此不會接觸。如此可能適當地除去配對 接點2 9彼此相對間的電絕緣性。 接點製成裝置1的功能,參考下列的測試程序予以討 論。如圖1所示,接點製成裝置1的預備位置,配對接點 2 9和接點構件1 2間有一段距離。接點製成裝置1與測 試物件5之間的相對移動,將接點構件1 2靠向測試點3 。本件的接點構件12在第一元件7的直通開口21內軸 向移動而施壓於配對接點2 9彈性支撐接點構件1 2。本 件的接點構件1 2被一限定力施壓於測試點3之上,達成 一低接觸電阻。測試點3現在可被檢查相對於彼此間的連 續性和絕緣性,而測試物件5則可被檢查其功能。在測試 程序結束後,接點製成裝置1和測試物件5因相對移動而 彼此分開。由於其具有彈性,故配對接點因接點構件施壓 而產生的偏向會自動回到如圖1所示之原始的位置,而由 彈性握板1 9握住的接點構件1 2也會自動移位。 圖2顯示圖1的第一元件7,其一具體實施例的詳圖 。接點構件1 2被導引在導板1 5,1 7內的直通開口 2 1內移動並以摩擦固定的方式在握板1 9內個別的穿孔 被握住。每一穿孔的直徑小於或等於位於其內之接點構件 1 2的外徑。導板1 5,1 7和握板1 9彼此分開或者如 另一個未圖示出的具體實施例,彼此疊在一起。 圖3顯示另一種第一元件7的具體實施例。導板1 5 和1 7二者間有一距離而形成一空隙3 3 ,插入另一具體 實施例的握板1 9 —。握板1 9 >的高度2於空隙3 3並 本纸張尺度適用中國國家榡孪(CNS )以丨匕私(2]0x m ίί ) m _ ----,--„---t------IT----^110 ("先閱讀背而之注^事項再#衿本頁) 經滴部中央標準局负工消贽合竹社印製 407204 _______ Η 7 五、發明説明$ ) ~" - 與導板1 5 ’ 1 7分開。接點構件1 2 a插入握板丄9 / 的每一穿孔’具有環形凹槽與握板1 9 -接合以形成—確 實機械固定接合點。握板1 9 >與每一導板1 5,1 7間 的溝使得握板1 9 —當與測試點之接點構件1 2 a的接點 製成期間變形變向穿孔區內的握板,也就是說,接點構件 在軸向移動且在載重解除後彈回原來的位置。 另一圖示於圖4之第一元件7的具體實施例與上述的 具體實施例不同’其握板並非用以固定接點構件1 2丄, 防止其鬆開。第一導板15內的直通開口21 ,其直徑大 於第二導板1 7內的直通開口 1 2,2 1 ,當導板1 5, 1 7彼此以平面方式疊在一起時,即在第一元件的組合狀 態產生階梯式穿孔。接點構件1 2 b在直通開口 2 1內被 導引作軸向移動,其外形配合直通開口的形狀,因此接點 構件有直徑不同的兩個區域因爲形成環狀階梯,故接點構 件1 2 b靠在第二導板1 7的側面上,結果接點構件 1 2 b即固定而不會從第一元件7落下。 圖5仍顯示另一種具有圓錐形接點構件1 2 c之第一 兀件7的具體實施例。圓錐的最大直徑大於第二導板1 7 內直通開口 2 1的直徑。本具體實施例的接點構件1 2 c ,如圖4之具體實施例’是藉由一確實機械式固定接合防 止從第一元件7落下。第一導板內之直通開口的直徑大於 接點構件1 2 c的最大直徑。如圖5所示的例子,因接點 構件1 2 c的高度選定’所以接點構件1 2 c的底部區之 上在接點製成期間支撐一配對接點,與第—導板1 5的側 本紙張尺度適用中國囤家掠4·- ( CNS ) Λ州I ( 2)0x?W::>C ~ ....... ----:---,---fi------IT----^———^—ί (-^間讀^而之辻-事項^^寫本万) 經消部中央標準局一只工消费合作社印製 407204 A7 — B7 五、發明説明9() 表面3 4在接點製成裝置1的預備位置終止其流瀉。圖5 所示另一種在導板1 5,1 7內的階梯孔,直通開口也許 爲圓錐形,以摩擦固定方式在第一元件7內握住接點構件 12c。 圖6顯示另外一種接點製成裝置1的具體實施例。相 同部分使用相同參數,故可參考上述圖示的詳細說明。第 二元件9包含一彈性構件3 5,彈性構件由一較佳彈性材 質組成而固定在一支撐平板3 7上。彈性構件3 5與接點 構件1 2彈性地結合。有一側試單元3 9,如:測試板, 或是稱爲 '' 探測卡板〃。接點構件1 2以軸向移動方式在 第一元件7內被導引,其與測試單元的電流連接是藉由一 靭性印刷電路板4 1,印刷電路板4 1載有供接點構件 1 2用之配對接點。印刷電路板4 1的高度,與第一元件 7和第二元件9相比短得多。如此使得要明瞭一具有短結 構高度的壓緊接點製成裝置成爲可能。 圖7顯示圖6之印刷電路板4 1的平面圖。配對接點 2 9在此具體實施例中設計成接點尖頭4 5以導入靭性印 刷電路板4 1。參考圖8,接點尖頭4 5藉由印刷電路板 4 1上的導體軌跡4 3與測試單元3 9相連接。電流路徑 很短,因爲配對接點2 9和電流連接體(即導體軌跡)二 者均安排位於印刷電路板4 1之上。此外,有可能在靭性 印刷電路板4 1上設定一明確的電阻,改進接點製成裝置 1與不同測試物件和/或測試變數的相容性,如:接觸力 的強度。印刷電路板4 1上之配對接點的數量和位置相對 本紙張尺度適用中國园家楞準(CNS ) ,\4圯怡(2丨0, ?97'::\)厂] 719 _ '—... ------------裝------訂------線! (計九閱讀背而之注&事項'^^寫本石0 117 117 經^部中央標^-局只工消费合竹社印^ 五 '發明説明1(〇 ) 應於測試物件5的測試點3。一印刷電路板4 1尤其提供 適合每一種測試物5的具體實施例。因爲第一和第二元件 分開地彼此相連接,而印刷電·路板介於其間,電路板可在 短時間內更換,因此接點製成裝置1可適合不同的測試物 件。 圖8顯示一放大的配對接點2 9,其具有彈性舌板 4 5導入印刷電路板4 1。測試物件5和接點製成裝置1 的相對移動’接點構件1 2靠近測試點3而在第二元件9 的方向作軸向移動。本例的接點構件1 2被壓向印刷電路 板內的接點尖頭4 5而使其變形,接點尖頭4 5依次被支 撐在彈性構件3 5上而施接觸力於接點構件1 2與測試點 3之間。另一具體實施例中(未顯示),印刷電路板材質 的靭性足以提供所需要的接觸力,所以彈性構件3 5可以 省略不用。 總而言之,接點製成裝置1可使不同的材質適用於接 點構件和配對接點。因此增進接點製成裝置的功能。此外 ’具體實施例的配對接點可導入一薄片具彈性的印刷電路 板4 1,而使得接點裝置小型化。 雖然本發明已經以上述的具體實施例詳細說明,許多 其他變化和修正及其他用途爲熟知此技術者所明白。因此 ’本發明不限定於特定的發明而是申請的專利範圍。 本紙張尺度適用中國國象壮準(CNS ) Λ4¾ ( 210X i:; Τ -13- ----^---^---t------ΐτ------0 ("先閱^背而之注"事項^^寫本_只)
Claims (1)
- 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 1 · 一種接點製成裝置,用於製成一電子測試物件之 測試點的接點,此裝置包含: ~第~接點支撐元件,數個彈性接合接點,其包括在 $一元件內被支撐而沿接點的軸向移動而跨越第—元件的 接點構件; 一第二元件,排列於第一元件之上,位於第二元件內 @彈性配對接點提供個別彈性配對接點予第一元件內的每 一接點構件; 第一和第二元件內彈性接合接點和彈性配對接點的排 列方式’使得作用於第一元件一側之彈性接合接點的作用 力將彈性接合接點與配對接點予以接合。 ' Ά .如申請專利範圍第1項所置,其中第一元 件可分開地固定於第二元件上。脅:麵 3 .如申請專利範圍第1項所述之接點鉍成裝置,還 包括一彈性構件用以當配對接點和接點構件接合在一起時 ’作用於每一配對接點上,使其朝向接點構件。 4 .如申請專利範圍第3項所述之接點製成裝置,其 中彈性構件包含一合成彈性材質以促使接點尖頭朝向接點 構件。 5 ·如申請專利範圍第1項所述之接點製成裝置,其 中每一配對接點包含一第二元件內的支撐電線,此電線的 末端從第二元件露出而朝向第一元件內的彈性接合接點。 6 .如申請專利範圍第5項所述之接點製成裝置,其 中每一配對接點電線中至少有一彎點,而第二元件配合包 ---L---„----^------订----;---^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -14 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 407204 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 含至少一彎點而成型。 7 .如申請專利範圍第1項所述之接點製成裝置,還 包含一靭性印刷電路板,而配對接點包含一在電路板上形 成的接點尖頭。 8 ·如申請專利範圍第7項所述之接點製成裝置,還 包括一彈性構件,用以當配對接點和接點構件集合在一起 時,作用於每一配對接點上並促使配對接點朝向接點構件 0 9 ·如申請專利範圍第1項所述之接點製成裝置,其 中第一元件包含至少2個導板,一個導板在另一導板之上 與其平行,導板包括個別排成一直線的直通開口組,而每 一接點構件容納於一個別成一直線的一組開口內。 1 ◦•如申請專利範圍第9項所述之接點製成裝置, 其中導板彼此疊在上面。 1 1 ·如申請專利範圍第9項所述之接點製成裝置, 其中導板彼此之間分開且互相平行。 1 2 ·如申請專利範圍第9項所述之接點製成裝置, 還包含一在至少一導板之一的頂端上的握板,握板包括個 別的直通開口直通握板而使得每一接點構件能穿過握板內 個別的開口,且握板和開口配合以固定接點構件免於從第 一元件落下。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項所述之接點製成裝置 ,其中握板位於2導板之間。 1 4 ·如申請專利範圍第1 2項所述之接點製成裝置 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X:297公釐) _ 15 - ' --- ---=-------t------、玎------'^ (請先閱讀背面之注意事項再-填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A8 Βδ C8 _____ D8 々、申請專利範圍 ’其中握板開□以摩擦固定方式配合握住個別的接點構件 〇 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所述之接點製成裝置 ,其中握板由一彈性材質組合而成。 1 6 ‘如申請專利範圍第9項所述之接點製成裝置, 其中握板開口的形狀是爲了以一確實鎖定的方式握住每一 個別的接點構件。 1 7 .如申請專利範圍第9項所述之接點製成裝置, 其中直通開口配合接點構件,其形狀做成有一大一小直徑 部分的梯式孔’而用以安裝在直通開口內的接點構件相對 應地也是階梯形沿著其軸長以握住第一元件內的接點構件 〇 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項所述之接點製成裝置 ’其中每一接點構件有一較大直徑部分和一較小直徑部分 » 胃^直通開口有一較大直徑部分以容納接點構件的較 大直徑PJ卩分且較大直徑部分位於第二元件內;另外較小直 徑部分容納接點構件之較小直徑部分,而較小直徑部分位 於第一元件內。 1 9 .如申請專利範圍第1 7項所述之接點製成裝置 ’其中接點構件的外圍配合直通開口外圍的形狀。 2 〇,如申請專利範圍第1 9項所述之接點製成裝置 ’還包含—在至少一導板之一上面的握板,包括個別直通 開口通過握板以使得每一接點構件通過握板內個別的開口 本紙張尺度適用巾@@家標準(CNS ) (21 Οχ297公釐) -16 - II I I I I I 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項ί寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 407204 μ C8 _ D8 六、申請專利範圍 ’而握板和開口適合用以固定接點構件以免從第一元件落 下; 接點構件在開口處成階梯式的變窄以通過握板,而握 板具有狹窄直徑的開口形狀以容納接點構件變窄的階梯式 部分。 本紙張尺度適用中國n家標準(CNS )从桃(UQX297公釐) ----=---r---裝------訂------—線------r ! (請先閲讀背面之注意事項蚕*/寫本頁}
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19748823A DE19748823B4 (de) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | Servicefreundliche Kontaktiervorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW407204B true TW407204B (en) | 2000-10-01 |
Family
ID=7847664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW087118204A TW407204B (en) | 1997-11-05 | 1998-11-02 | Contact-makig apparatus for test points of electrical object |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0915343B1 (zh) |
JP (1) | JPH11258295A (zh) |
CN (1) | CN1146730C (zh) |
AT (1) | ATE262681T1 (zh) |
DE (2) | DE19748823B4 (zh) |
TW (1) | TW407204B (zh) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100516887C (zh) * | 1999-11-16 | 2009-07-22 | 东丽工程株式会社 | 探测装置的制造方法 |
JP3505495B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2004-03-08 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査用検査治具、該検査治具を備えた基板検査装置および基板検査用検査治具の組立方法 |
DE10057457A1 (de) * | 2000-11-20 | 2002-05-23 | Test Plus Electronic Gmbh | Testadapter zum Testen einer Leiterplatine |
DE102006005522A1 (de) * | 2006-02-07 | 2007-08-16 | Feinmetall Gmbh | Elektrische Kontaktiervorrichtung sowie elektrisches Kontaktierverfahren |
JP2007232558A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Hioki Ee Corp | 電子部品検査プローブ |
JP5027522B2 (ja) * | 2007-02-09 | 2012-09-19 | 東京特殊電線株式会社 | プローブユニット及びそのプローブユニットを用いたコンタクトプローブの使用方法 |
JP5370323B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2013-12-18 | 富士電機株式会社 | プローブユニット |
JP6706076B2 (ja) * | 2016-01-14 | 2020-06-03 | 新光電気工業株式会社 | プローブガイド板及びその製造方法とプローブ装置 |
JP6790477B2 (ja) * | 2016-06-14 | 2020-11-25 | 富士電機株式会社 | 半導体素子試験装置および半導体素子試験方法 |
JP2018179721A (ja) * | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL6907704A (zh) * | 1968-05-30 | 1969-12-02 | ||
DE2127915A1 (de) * | 1971-06-04 | 1972-12-14 | Siemens Ag | Steckverbindung zum lösbaren Verbinden von elektrischen Anschlüssen |
DE2707900C3 (de) * | 1977-02-24 | 1980-09-04 | Ante 6980 Wertheim Milkovic | Universal-Adaptiervorrichtung für Geräte zur elektrischen Prüfung unterschiedlicher gedruckter Schaltungen |
DE3123627A1 (de) * | 1981-06-15 | 1982-12-30 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zum gleichzeitigen kontaktieren mehrerer eng beisammenliegender pruefpunkte, insbesondere von rasterfeldern |
CH661129A5 (de) * | 1982-10-21 | 1987-06-30 | Feinmetall Gmbh | Kontaktiervorrichtung. |
FR2570830B1 (fr) * | 1984-09-27 | 1988-11-25 | Feinmetall Gmbh | Tige de contact a ressort notamment pour appareil de controle de circuit electrique ou electronique |
DE3630548A1 (de) * | 1986-09-08 | 1988-03-10 | Mania Gmbh | Vorrichtung zum elektronischen pruefen von leiterplatten mit kontaktpunkten im 1/20 zoll-raster |
US4931726A (en) * | 1987-06-22 | 1990-06-05 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for testing semiconductor device |
WO1990006518A1 (en) * | 1988-11-28 | 1990-06-14 | Cimm, Inc. | Wireless test fixture |
DE4012839B4 (de) * | 1989-04-26 | 2004-02-26 | Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg | Verfahren und Prüfvorrichtung zum Prüfen von elektrischen oder elektronischen Prüflingen |
US5415559A (en) * | 1992-05-18 | 1995-05-16 | Japan Aviation Electronics Industry, Ltd. | Electrical connector having a plurality of contact pin springs |
US5493230A (en) * | 1994-02-25 | 1996-02-20 | Everett Charles Technologies, Inc. | Retention of test probes in translator fixtures |
DE4439758C2 (de) * | 1994-11-07 | 1999-04-22 | Luther & Maelzer Gmbh | Prüfstift für einen Prüfadapter für Leiterplatten und Verfahren zur Herstellung eines Prüfstiftes |
-
1997
- 1997-11-05 DE DE19748823A patent/DE19748823B4/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-10-28 EP EP98120165A patent/EP0915343B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-28 AT AT98120165T patent/ATE262681T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-10-28 DE DE59811044T patent/DE59811044D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-11-02 TW TW087118204A patent/TW407204B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-11-04 CN CNB981239692A patent/CN1146730C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-11-05 JP JP10314518A patent/JPH11258295A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1146730C (zh) | 2004-04-21 |
EP0915343B1 (de) | 2004-03-24 |
DE19748823A1 (de) | 1999-05-27 |
ATE262681T1 (de) | 2004-04-15 |
DE59811044D1 (de) | 2004-04-29 |
EP0915343A3 (de) | 2001-01-31 |
EP0915343A2 (de) | 1999-05-12 |
DE19748823B4 (de) | 2005-09-08 |
JPH11258295A (ja) | 1999-09-24 |
CN1224846A (zh) | 1999-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW407204B (en) | Contact-makig apparatus for test points of electrical object | |
KR101422566B1 (ko) | 프로브 및 프로브 카드 | |
US7795892B2 (en) | Probe card | |
US6515496B2 (en) | Microstructure testing head | |
KR101208308B1 (ko) | 미실장 인쇄 회로 기판을 검사하기 위한 병렬 테스터용 풀 래스터 카트리지, 그러한 풀 래스터 카트리지용 스프링 접촉핀, 및 미실장 인쇄 회로 기판을 검사하기 위한 병렬 테스터용 어댑터 | |
US20020070743A1 (en) | Testing head having vertical probes | |
AU593474B2 (en) | Integrated circuit packaged with terminals having receptacles with elastic contacts | |
TW420888B (en) | Connector for electronic parts | |
JP5944755B2 (ja) | 垂直動作式プローブカード | |
JP2005195523A (ja) | プローブカード | |
JPH11248745A (ja) | インターフェースを有するミクロ構造用の試験ヘッド | |
KR20070005520A (ko) | 검사 장치용 소켓 | |
US3562643A (en) | Spring loaded test probe assembly | |
KR20120007025A (ko) | 인쇄 회로 기판을 테스트하기 위한 테스트 장치용 접촉 연결 유닛 | |
KR102119862B1 (ko) | 테스트 소켓 | |
US6198297B1 (en) | Microcircuit testing device | |
JPS61120072A (ja) | プリント配線板検査装置 | |
JP2001041978A (ja) | プローブ及びこれを用いたプローブカード | |
KR20050083184A (ko) | 반도체 검사용 프로브 카드 | |
KR0182084B1 (ko) | 검사용 프로우브 | |
JP2001099863A (ja) | プローブ及びそれを用いたプローブカード | |
US6377061B1 (en) | Expanded lead pitch for semiconductor package and method of electrical testing | |
TWI232301B (en) | Contactor probe with movable guide plate | |
TW392314B (en) | Integrated circuit socket for clipping integrated circuit having multiple parallel pins | |
KR950014949B1 (ko) | 칩 운반용 소켙 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GD4A | Issue of patent certificate for granted invention patent | ||
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |