TW396378B - Method for controlling preventive maintenance cycles of semiconductor fabricating equipments arranged in a controlling system - Google Patents

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五 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 發明説明（i) 發明背景 發明領域 本發明係關於用以控制配置於控制系統之半導體製造 設備之預防性維護循環的方法，並言之，係關於一種半導 艘製造設備經由P定預防性維護（PM)控制模組自動控制 預防性維護循環的方法。 相關拮術的描沭 通常’半導體裝置經由高精密程序製造。對於高精密 程序而言，高功能性設備係設置於半導體處理線上。 設備的操作係藉由操作員經由控制系統精細地監控以 增進設備的操作效率。 如第1圖所示，半導體製造設備係置於製造轉上。批 物（未示出）係倒入設備以處理。 設備係經由各別設備伺服器線上連接到主機。主機係 線上連接到操作員界面PC(0/I PC)。 一但操作員輸入基本製造數據，即欲在設備3裡處理 之批物的ID及處理批物之設備3的ID，主機1根據輸入 的基本製造數據尋找其預用在處理批物之程序條件數據的 資料庫。 其後，操作員檢查程序條件數據並輸入程序開始指令 或程序終止指令《然後批物迅速地溯回及溯出設備3。 同時，各種操作參數，例如操作裝置3之時間，設備 3裡處理的晶圓數係由操作員連續地監控。 就各種操作參數為上述預定的程度而且設備3可能被 本紙張尺度適用中國國家標準（C、NS > A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面.·<.-注項再填寫本頁) Γ

I 4 經濟部中央標準局負工消费合作社印繁 A7 B7 五、發明説明（2) 破壞的情況而言，操作員對設備3進行週期的預防性維 護’使得設備3可以避免受到進一步的破壞。 然而，此等傳統的控制系統遇到許多問題。 首先’因為由操作員主觀的測定，所以設備的預防性 維護周期可能隨操作員而改變，造成缺乏進行預防性維護 的一致性。 其次，就錯誤發生在決定預防性維護周期的情況而 言’設備可受到破壞。 再者’為了測定預防性維護周期，操作員需要 生產線上以連續地監控各別的設備，造成效率降低。 發明摘要 因此本發明之目的在於保護設備免於因為在決定預防 14維護周期時操作員針對各別設備下決定預防性維護周期 所致錯誤發生而受到破壞。 本發明之另一目的在於縮短操作員監控設備所話的時 間及藉由經由預防性維護（P M)控制模組自動控制預防性 維護周期來提高操作效率。 為了達到上述目的及其它優點，用以控制配置於控制 系統之半導體製造設備之預防性維護循環的方法包括下列 步驟.從各別設備得到操作參數；尋找PM周期規格表， 其中列出關於預防性維護（PM)之規格數據。決定操作參 數是否超過PM周期規格表裡所列的規格數據值；如果設 備的某操作參數值未超過對應某設備之規格參數值，則改 變某設備之因變ID質的關鍵值；並將已變更之關鍵值的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -----L 严、 訂 線 - 1— - I ·

A7 B7 五、發明説明（3) 因變數ID栽於設備控制訊息並下載關鍵值已變更之因變 ID值的设備控制訊息進入某設備，以藉此改變某設備的 操作狀態 較佳地’設備控制訊習為物流控制訊息。 較佳地，設備控制訊息為S2F15或S2F41。 較佳地’因變ID值為ECID或SVID。 較佳地，在下載設備控制訊息進入某設備後，用以控 制配置於控制系統之半導體製造設備之預防性維護循環的 方法進一步地包括下列步驟：下載警告訊息進入某設備； 及下載改變訊息的設備操作狀態進入〇/I PC。 較佳地，警告訊息為物流功能訊息。 較佳地’警告訊息為S10F3或S10F。 因此，本發明提供各別設備之預防性維護的自動控 制。 圖式的簡箪說明 本發明之上述目的及其它優點可從以下有關本發明之 詳細說明、實施例暨圖式清楚了解，其中： 第1圖為傳統半導體製造設備控制系統的概略方塊 圖； 第2圖為具體說明本發明所用的半導體製造設備控制 系統； 第3圖為本發明用以控制配置於控制系統之半導體製 造設備之預防性維護循環的方法的流程圖；

•V 第4圖為本發明用以控制配置於控制系統之半導體製 本紙張尺度递用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經滴部中决標準局貝工消费合作社印製 6

經濟部中夹標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（4) 造設備之預防性維護循環方法的第一具體實施例的流程 圖； * 第5圖為本發明PM周期規格表的概略視圖；及 第6圖為本發明具改變顯示狀態之0/1 PC偵測器的 概視圖。 較佳具體實施例的詳細說明 為了進一步瞭解本發明之特徵及技術内容，請詳細參 閱以下有關本發明之詳細說明、實施例暨附圖，然而下列 實施例僅供參考與說明用’而非用來對本發明做任何限 制。 如第2圖所示’預防性維護（pM)控制模組1〇係線上 連接到設備伺服器4及主機1。當pm控制模組1〇安裝 時，ex備伺服器4也設有適當的記錄功能，以致於各別設 備3的操作參數可以記錄到pM控制模組1〇成為實際的 時間》 設備3係藉由使用通訊協定_SEMIEquipment Communications Standard (SECS)_各別線上連接到設備伺 服器4。設備伺服器4係藉由使用通訊協定Tcp/ip_線上 連接到PM控制模組1 〇 β pM控制模組丨〇接到從設備3 輸入實際時間的操作參數。根據所收到的操作參數，PM 控制參數針對各別的設備3自動地控制預防性維護(pM) 周期。因此，各別設備的PM周期可以正確地控制而沒有 操作員的干擾因素，造成效率相當大的提升。 就錯誤發生在設備3之某設備，例如第一設 的 本紙張尺度制巾U蘇標卑（（、叫八4娜（210>< 297公釐） -- -7 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丁 操作參數的情況而言，PM控制模組10收到發生錯誤的 操作參數並改變第—設備3a的操作狀態成為預防性維護 狀態’以使得任何的批物皆無法置人第—設備&。其後 操作員立即針對第—設備3a進行預肪性維護。於是，可 '避免可發生在任何批物置入第—設備3時的操作問題。 另方面，如第3圖所示，pM控制模組1〇從各別 叹備3經由s備伺服器4收到實際時間的操作參數⑽）。 因此操作參數’例如操作各別設備3之時間，各別設備3 裡處理的晶圓數等立即由PM控制模組1〇確認。 PM控制模組10然後尋找儲存於主機丨之資料庫裡 的PM周期規格表以得規格數冑，並&定收到的操作參數 值是否超過PM周期規格表裡所列的規格數據值（S2〇及 S30)。 如果所有的操作參數值超過規格數據值且設備3的設 備不需要進行預防性維護，則1>]^控制模組1〇回到控制 程序流程至接收操作參數的第一步驟sl〇e 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 否則，如果設備3之某設備的操作參數值未超過對應 某没備之規格數據值而且某設備3需要進行預防性維護， 則PM控制模組1〇將決定值送到主機、。然後，主機1 改變某設備3之因變ID的關鍵值成預防性維護狀態 (S40卜例如，就與操作第—設備3a所用乏時間有關之規 格數據值為35,000小時’如第5圖所示，及其相關之接 收操作參數值為35,001小時的情況而言，pm控制模組1 〇 決定第一設備3 a需要進行預防性維護，即清潔步驟及將 本紙張尺度適用中國國家標4M CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局貝.ΐ消费合作社印裝 A7 _________B7 _ 五、發明説明（6) 決定值送到主機1。然後，主機i改變第一設備3a之因 變ID的關鍵值成為預防性維護狀態，以使得第一設備3a 立即進行預防性維護》 較佳地，由主機1改變之因變ID辱設備常數ID (ECID) 或狀態變數ID(SVID)，其能改變第一設備3a的狀態。 在步驟S40-改變某設備之因變ID的關鍵值_之後，pm 控制模組10從主機1接收到關鍵值已更改的ID值。然 後’ PM控制模組1〇負載關鍵值已更改的因變id值於設 備控制訊息上’並經由第一設備伺服器4a下載具已變更 關鍵值之因變ID值設備控制訊息進入設備3a(S50)。結 果’第一設備3a的操作狀態立即改變成預防性維護狀態。 同時，根據本發明的特徵，從PM控制模組1〇下載 的設備控制訊息為能平順地溝通的物流功能訊息。 較佳地，設備控制訊息的物流功能形狀為適合標準型 的S2F15或S2F41。例如，如果確認任何錯誤發生於第一 設備3a，則PM控制模組1〇依下列所述地改變第一設備 3a的狀態成為預防性維護狀態》首先，pm控制模組1〇 接收到關鍵值變更成育預防性維護狀態的EDIC。然後， PM控制模組10負載EDIC於物流功能訊息，即S2F15或 S2F41上，並下載具EDIC的S2F15或S2F41進入第一設 備3a。結果’第一設備3a的狀態根據EDIC的變更關鍵 值改變成PM狀態。 在傳統的控制系統裡，因為設備的預防性維護周期係 由監控設備之操作員的主觀決定而決定，所以PM周期隨 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------ -9 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 A7 B7 五、發明説明（7 ) 著操作員而改變·。結果，彳艮難達成設備之預防性維護的一 致性。就任何錯誤發生在預防性維護周期的情況而言，設 備可能受到破壞。 然而’在本發明的控制系統裡，各別設備3的預防性 維護周期係一致地由主機丨經由PM控制模組1〇所控制， 其中控制模組10接收各別設備的操作參數。因此，設備 周期地進行預防性維護，預防設備受到進一步地破壞。 另一方面，如第4圖所示，在下載設備控制訊息進入 叹備3的步驟S50之後，p]y[控制模組1 〇可以以測試經 由第一設備伺服器4a下載警告訊息進入第一設備3a，以 致於操作員可以目視地確認經由第一設備3a的偵測器3b 在第一設備3a裡發生錯誤的事實（S61)。例如pM控制模 組10以測試”第一設備需要清潔，，下載警告訊息進入第一 設備3a，使得操作員可以確認第一設備3a立即進行預防 性維護。 • 其後，根據測試内容，操作員針對第一設備進行預防 性維護。 較佳地，類似設備控制訊息，警告訊息為能平順溝通 的物流功能訊息。 較佳地’警告訊息的物流功能形狀為適合標準型的 S10F3或SlOFhSlOF5能傳輸較SIOF3更多的測試内容。 然後，PM控制模組1〇下載改變設備操作狀態的訊 息，其能改變0/1 PC 2上所顯示的操作狀態成為經由上 述步驟所變更的最新資訊（S62)。因此，改變〇/I pc 2上 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ______-I , _ I---- I _ I > I _ UTt- (請先閲讀背面之注-^項真填寫本寅) tr 線 經濟部中央標準局貝Η消费合作社印製 10 經濟部中央標準局貝Η消费合作社印聚 A7 _________ B7 五、發明説明（8) 一 所顯示的操作狀態根據最新資訊作適當的改變。 典型地，0/1 PC 2從主機i接受到各別設備3的操作 狀態’使操作狀態為圖形，例如，，RUN，IDLE，，_表示設備 可以操作-，或，，DOWN，PM，，_表示設備無法操作以將其顯 示出來。根據顯示的資訊，操作員更有效地進行程序。 同時’ PM控制模組1〇下載改變設備操作狀態的訊 息進入0/1 PC 2，使得設備操作狀態可以改變成經由上述 步驟所變更的最新資訊。結果可以避免由於操作員錯誤決 定所致的操作問題。例如，當第—設備的狀態從

，，RUN STATE”改成”PM(預防性維護）STATE，，時，pM控制模組1〇 立即下載改變設備操作狀態的訊息進入〇/I pc 2，以變更 顯示的資訊内容成為”PMSTATE，，，如第6圖所示。藉由 所顯示的資訊，” PM STATE，，，批物係免於溯入第一設備 3a ° 同時，改變設備操作狀態的訊息的形狀可以隨PC 2而變》 其後’主機1經由PM控制模組1〇重覆地進行上述 步驟，造成設備之控制預防性維護周期的效率提高。 如上所述，根據本發明，各別設備的預防性維護周期 可以經由PM控制模組自動地控制。結果，每隔一段時間 進行預防性維護。 本發明可以應用在各種設置在生產線上並需要預定控 制的半導體製造設備而沒有降低效率。 上述的具體實施例係用來詳細說明本發明之目的、特 本紙張尺度这用中國國家標绛（CNS ) A4规格（210X 297公嫠) ' ~~-- -11 - UT...: J I : - n，1τI I I I - n (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印5木 A7 B7 五、發明説明（9) 徵及功效，對於熟悉該項技藝人士而言，可能根據上述說 明而對該具體實施例作部分變更或修改，卻不脫離出本發 明之精神範疇，因此，本發明之專利範圍僅由附錄之申請 專利範圍加以說明之。 如前所述，在用以控制配置於控制系統-包括主機及 設備之間的預定PM控制模組-之半導體製造設備之預防 性維護循環的方法裡，從設備下載的各種操作參數值係經 由PM控制模組連續地及自動地偵測。藉此，各別設備的 預防性維護可以一致地控制而沒有由於操作員錯誤決定所 致的操作問題。設備可以被保護而免於受到操作員錯誤決 定預防性維護周期所致的破壞。而且全體的製造效率大大 地提升。 元件標號對照 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 1_··主機 2.. .D/I PC 3,3a…設備 4,4a..·設備伺服器 S10.·.步驟 520.. .步驟 S30···步驟 S40·.·步驟 S50...步驟 S60···步驟 S61 ··.步驟 S62·..步驟 10···ΡΜ控制模組 本紙張尺度通用中國囤家標绛（CNS ) Α4说格（U〇X297公釐） 12

Claims (1)

1. A8 B8 C8 ______________D8 六、申請專利範圍 ι· 一種用以控制配置於控制系統之半導體製造設備之預 防性維護循環的方法，其包括下列步驟： 從該各別設備得到操作參數； 尋找PM周期規格表； 決定操作參數是否超過該PM周期規格表裡所列 的該規格數據值； 如果該設備之某設備的該操作參數值未超過對應 該某設備之規格參數值，則改變該某設備之該因變m 質的關鍵值；及 將該已變更之關鍵值的該因變數ID載於設備控 制訊息並下載該關鍵值已變更之該因變ID值的設備 控制訊息進入該某設備，以藉此改變該某設備的操作 狀態。 2. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該設備控制訊 息為物流控制訊息。 3. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該設備控制訊 息為 S2F15 或 S2F41 » 4_根據申請專利範圍第1項之方法，其中該因變id值 為 ECID 或 SVID。 5.根據申請專利範圍第1項之方法，其中在下載該設備 控制訊息進入該某設備的該步驟之後，該方法進一步 地包括下列步驟： 下載警告訊息進入該某設備；及 下載改變訊息的設備操作狀態進入〇/1 PC。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210x597公釐） 13 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該警告訊息為 物流功能訊息。 7.根據申請專利範圍第1項之方法，其中該警告訊息為 S10F3 或 S10F » - - - - - —II - ^^1 I '水 ^^1 II - 11-— _ (請先閲讀背•面之ii·意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） 14