KR970077464A - 반도체 제조 설비의 이력 관리방법 - Google Patents

반도체 제조 설비의 이력 관리방법 Download PDF

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KR970077464A
KR970077464A KR1019960017949A KR19960017949A KR970077464A KR 970077464 A KR970077464 A KR 970077464A KR 1019960017949 A KR1019960017949 A KR 1019960017949A KR 19960017949 A KR19960017949 A KR 19960017949A KR 970077464 A KR970077464 A KR 970077464A
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semiconductor manufacturing
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manufacturing facility
semiconductor
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KR1019960017949A
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박찬우
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체를 제조하기 위한 설비의 가동 상태와 연관된 자료를 각 영역별로 세분화하여 관리함으로써 설비상에 발생하는 문제점을 빠른 시간내에 해결하도록 한 반도체 제조 설비 관리 방법에 관한 것이다.
본 발명은 서로 다른 회사에서 제작된 반도체 제조 설비내에 각 부분별 명칭을 프로그래밍하여 입력함으로써 설비의 고장 부위를 작업자가 빠른 시간내에 인식하여 원인을 해결할 수 있을 뿐만 아니라 설비의 가동 상태와 연관된 자료를 쉽게 정리할 수 있도록 하는 설비 관리 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 의하여 반도체 제조 설비의 고장에 따른 설비 관리를 보다 체계적으로 할 수 있을 뿐만아니라 별도의 작업없이 설비의 가동 상태에 따른 각종 데이터를 간단히 얻을 수 있다.

Description

반도체 제조 설비의 이력 관리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 이력 관리 방법을 도시한 개념도.

Claims (2)

  1. 반도체 제조 설비의 이력 관리에 있어서 각 설비를 네트워크를 이용하여 상호 접속한 후 호스트에 의해 각 설비의 가동 상태 및 이력 관련 데이터를 관리하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비 이력 관리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 호스트에는 반도체 제조에 사용되는 각각의 설비의 대규모 어셈블리 단위부터 소규모 부품단위까지 세분화된 각 단위별, 부품별 명칭이 입력되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비 이력 관리 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960017949A 1996-05-27 1996-05-27 반도체 제조 설비의 이력 관리방법 KR970077464A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100278600B1 (ko) * 1998-01-14 2001-01-15 윤종용 반도체 제조설비 관리시스템의 설비유닛의 상태 관리방법
KR100319208B1 (ko) * 1998-01-14 2002-03-21 윤종용 반도체제조설비관리시스템의설비사전예방유지의주기관리방법

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100278600B1 (ko) * 1998-01-14 2001-01-15 윤종용 반도체 제조설비 관리시스템의 설비유닛의 상태 관리방법
KR100319208B1 (ko) * 1998-01-14 2002-03-21 윤종용 반도체제조설비관리시스템의설비사전예방유지의주기관리방법

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