TW388848B - Driving Circuit for Driving Thin Film Actuated Mirrors - Google Patents

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TW388848B TW084111923A TW84111923A TW388848B TW 388848 B TW388848 B TW 388848B TW 084111923 A TW084111923 A TW 084111923A TW 84111923 A TW84111923 A TW 84111923A TW 388848 B TW388848 B TW 388848B
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Taiwan
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thin film
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pulse
film actuated
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TW084111923A
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Geun-Woo Lee
Sang-Kyoung Woo
Original Assignee
Daewoo Electronics Co Ltd
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Description

經濟部中夬揉準局貞工消费合作杜印«. 五、發明説明（6 ) 構成之驅動霄路之各種由一控制倍號産生器180所産生之 時常及控制信號。 如本技S所習知者，依HTSC標準，一水平同步脈衝 ” H*yn”具有约63.5ws之迥期，如第7A匾所示，此配合於 掃描一水平視頻線所花費之時間；且有效視頻資訊僅以 51.6us之期間代表。現假設ΑΜΑ 50内之一列上之薄膜致 動鏡面40之數置為640,則轚動同列中之薄禊致動鏡面所_ 裔之水平點時鏡頻率”F，，：”受為约12.4 MHz (=640/51.6 w s),如第7B圖所示。 為由水平掃描時間導出有效視頻資訊之區間，遂採用 兩组短脈衝”HCNT74”及”HCNT714",如第7C圖及7D圖所示 。每一脈衝HCHT 74及脈衝HCNT74换在分别由掃描之毎一 起始黏T1計數之水平黏時鐘脈衝串之74th及714th時達脈 衝時産生。接著，一於脈衝HCNT74與脈衝HCNT714間具有 640组點時鐘脈*之主動高區間"A”（其後追随一達11.88 us之主動低區間”B”）受成一資料控制倍》”/LDAC”，如 第7E圖所示。在區間A期間，封装1C 110至140中可得充作 有效視頬資訊之640组資料倍號；同時在區間B期間，閂鎖 之640组資料信號俱一次由封装1C输出以同時驅動一列中 之薄禊致鼢鏡面。 水平黏時鐘頻率F, μ除以因數2以形成如第8A圖所示 之位址信號Α0 ;位址倍號Α0除以因数2以形成第3Β圖所示 之位址倍號Α1 ;位址信號Α1除以因數2以形成第8C圖所示 之位址倍號Α2 ;地址信ΚΑ2除以因歎2以形成如第8D匾所 本纸法尺度逋用t國國家橾準（CNS ) Α4规格（210Χ 297公釐） ---------/------訂------像 ' {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '彎
經濟部中央搮率局貝工消费合作社印«. A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明供η於一種光學投射条统用之驅動霣路；且尤 指一種致動嫌面陣列驅動《路其内併有一數位-類比轉換 器（DAC)。 本技《内可得之許多顯示糸统中，一光學投射条统蠔 知可提供大規模之离s質彩像。此種光學投射条统之兩實 例為一採用掖晶元矩陣之掖晶顧示（LCD)条统以及一採用 致動鏡面陣列之致動鏡面陣列（ΑΜΑ)条统。鹤別条統中之 每一液晶元及毎一致動鏡面均充作一畫面元素（像素）， 其中儋素代表即将顯示之一彩像光黏，且藉一切換裝置例 如TFT (薄膜霣晶髏）加以引動。TFT僳藉一由一彩像倍轚 導出之霣壓倍號加以驅動使得光點具有多數鏹正比於霣E 倍》大小之解析值或渐變值中之任一者。 本技»中可得若干TFT匾動方法。其中一為多工技術 ,其中多數值預定參考霣壓位準之一被^£以依雄電繼 · _ · 緩之位嗅_故予解析。然而，齐牝甲fff方蜱由-值數貴之參考霣壓位準
Jto 因此，本發明之一主要鸯之致動 鏡面陣列驅》霣路以有效完成一4«UByB示。 > 依據本發明.係提供一驅動《路俥匾動一Μ X N薄膜 致動嫌面》列内一列中之薄麗致動擘面•其中Μ及Ν為整數 且分別指示瞌明丨中:..毎一薄膜致動鏡面用以反射 一入射其上之光束，毎一薄膜致動鏡面均相團連一切換元 件，當同列中之毎一 «I換元薄膜致動鏡面邸 本纸張尺度適用肀國國家揉丰（〇阳）八4规格（210><297公釐） ----Γ--,------裝------订------iij — f (請先閱讀背面之注$項再填寫本1) -4 - A7 B7 翅濟部中夬樣率局員工消费合作.社印製 五、發明説明（2) 經由切換元件而響應施加至該處之_一倍3«^^^而變形以藉 來自該慮之瓦凍·之傷-移.·孩驅動霣路 包含： 風龙裝釁IT弟存一形jaAiLf&Jb佑》,之-視奸信~Slt,視 賴倍JI具有多_rΜ雄《?丨箱iite囀,sat»gfefttfe^ 雄'播班jy〇L£UWi·毎一篇路視親_^LaLfe分成N组n-位元*料倍號，Hgtn-位元資料偯鐾中之毎一伖驗後由HP, 值裝置顧序産生； 暮自埋镇M·導出^JSL鐘臞衡以饜Μι固一列中 之Ν组薄膜致動鏡面电之毎一鏡·» ; —裝置其自掃描脈衝導出1資料控制倍號而胲倍轚具 有—第一臁衝且一第二脈《追箱其每一第一及第二脈 銜均具有一相匾JBJBI ,其中STHffin-位元i料偯驗ST於，笛 衡B間之期間得到； 一裝置侔産生一致能信》;及 多數组具實霣相同结構之腰動裝置，毎一驅動裝置傈 致能信》而被順序致能以便値別地駆動同一列中之一 頊定數•之S動故盤JT得荚A別他施加一 ffl明數量乏ΤΓ-位 元資料信»至預定數置之JtlLfit面處•其中每一驅動裝置 包括： 侔見_描臟~«及致能佶K之—順 序倍轚•转覇序侑《-WhMAJBUYirr-ffiw數位兀資料 倍號被觏序接收； —裝*其耨有一柑期Jt置之復人S_JI器•毎一輸入閂 (請先閏讀背面之注$項再填寫本霣) 訂 線·
經濟部中央揉準局具工消费合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（3 ) 錤器均依據順序信-號俾暫時麓穸担呈敷Jt.An-位亙襄_科信 號中之一者； 一裝置其具有一相蘭數量.之篋JSJ3·,毎一傅输閛以同 步於第一脈衝至第二脈衝之轉換期的方式同時自每一输入 閂鋇器输出η-位元資料信號； 〆/* 一#置募嚷有一相闋數量之轉_換裝JL,毎一轉換裝置 可將由每一傳输閘傳送之η-位元資料信號《換成一類比電 壓置其正比於η-位元資料信號之值；以及 十裝置某具有一相鼷數量之辱大装_置，每一放大裝置 均放大比電壓置以便産生邸将施加至每一預定數量之致 動鏡面之信號電壓〇 本發明之以上及其他目的與待點将由下列較佳實施例 之説明並關連随附疆式而變得明顯，其中： 第1圔顯現一使用於光學投射条統中之薄膜致動鏡面 陣列之示意圖； 第2圏顯示依據本發明供ΑΧΑ用之驅動電路； 第3圔掲示第2爾所示之任一驅動封裝之詳细佈局； 第4圈代表第3圔所示之任一驅動模組之詳細構造； 第5圔提供第4匾所示之任一閂親部之霣路圖； 第6圃描述第4腫所示之任一DAC舆OP-AMP之電路圖 ;以及 第7A-E , 8A-F及9A-R顯示在列駆動電路中之不同時黏 處所産生之信號波形團。
參看第1圖，其顥示一用於光學投射条统中之Μ X H 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） IL---r-----$------IT------# > - - , (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣率局員工消費合作杜印*. __B7___ 五、發明説明（4 ) 薄膜致動鏡面iP之陣列（AMA)50之部分示意圃，其中Μ及K 為整數（例和640声48P) 分別指示陣列50中之行舆列。 陣列50 (其一範圍由0V至15V之典型操作電壓操作） 铒余一 ΐ動矩陣1.0及一Μ X N薄膜致動鏡面40之陣列50。 _- . 主動矩陣10包括一基質12, —Μ X Ν切換元件（例如TFT, 未願示）陣列以及一Μ X N連接端子14陣列。 毎一薄膜致動鏡面40包括一支持構件42其設有一導管 46, —彈性構件48, —第一薄膜電極62, 一薄膜電位移構 件64,以及一第二由導電材料製成之第一薄 择霉極盧専管如及連接端子14而電氣連接至切換元 件，藉此可充作薄膜致動鏡面40中之一信號電極。薄膜電 位移構件64傷由電位移材料，例如壓電或電致伸缩材料（ 其響應施加其上之罨場而變形）所製成。由導電且光反射 材料製成之第二薄膜電極66傜充作薄膜致動鏡面40中之一 鏡面及一軀壓霣極使用。 有此種ΑΜΑ糸统中，來自燈具之光線侮_均._包_||照射在 __薄_膜SL®鏡面40之ϋ列』.0上。來自毎一致動鏡面-50中之第 .二J3L膜霉揮妓之反射光束名入射至一擋板之孔洞上。藉著 旅加一霣氣信號至毎一致動鏡面50之方式，使得毎一致動 鏡面40中之第二薄膜電極66相對於入射光束之位置産生受 動，藉此造成來自每一致動鏡面40中之第二薄膜電極66之 反射光束之光學路徑之禳移。箪毎一5射光1之光學路徑 變動時，通過孔洞，而由每一致動鏡面40'中之_第二蓳J良電 極66反射之光線量邸受化，藉此諝制光束之強度。經由孔 本纸張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） !-*---Γ-----袭------、1Τ------ - . -(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 洞之諝制光束你經由一適當光學裝置(例如一投射透鏡) 而僂送至一ϋ!產胃幕上以藉此於其上舅示一彩像。ΑΜΑ条 统之一傜掲ϋ於其Β申請中之共有美國申請案第08/331,399 號（名稱為”THIN FILJ ACTUATED MIRROR ARRAY AHD METHOD THE MANUFACTURE THEREOF”）中而詼粟J5於本中JtL以説 明£L供參考。 參看12圖，其顙示一 ΑΜΑ 50用之驅動霄路之方塊圈 ，其中ΑΜΑ 50據顯示具有多數個TFT 52其配置於資料線路 54舆選擇線路56之交叉點處。當毎一蓰擇猱路』6被順序g 取時，.資料信„號即充作電壓信號而施加至一信號線路54上 ，而該信號線JS乃_锢別地相臞每行薄膜致動鏡面40以藉 此在顯(示器上皇生： 之水Ψ視頻嫌^ 驅動霣路包含一楨記槙醱170及5偁模组封裝1C 100 ,110, 120. 130, 140其具有實質相同結構之128個頻道 。一形式為數位化資料信號之視頻信號偽經由一输入端子 172而饋入幀記億體170俥儲存其内。如本技藉所習知者， 視頻信號包含多數個水平線視頻倍號其依據一掃描脈衝進 行掃描。每一線視頻信號分成N値（即640館）數位信號而 毎一數位信號具有8位元資料。鍺存之數位資料信號偽順 序提供給封裝1C 110-140及幀記億饈170。 5痼128頻道封装1C 110-140中之每一1C均用以值別 地引動一列中之預定數置（例如128)之薄膜致動鏡面40 ,此將於下文中參看第2圖加以進一步掲示。 下文中參看第7、 8及9圖界定出用以控制第2圖所 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） IL---r-----λ------ir------vt l J 丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -8 -
經濟部中夬揉準局貞工消费合作杜印«. 五、發明説明（6 ) 構成之驅動霄路之各種由一控制倍號産生器180所産生之 時常及控制信號。 如本技S所習知者，依HTSC標準，一水平同步脈衝 ” H*yn”具有约63.5ws之迥期，如第7A匾所示，此配合於 掃描一水平視頻線所花費之時間；且有效視頻資訊僅以 51.6us之期間代表。現假設ΑΜΑ 50内之一列上之薄膜致 動鏡面40之數置為640,則轚動同列中之薄禊致動鏡面所_ 裔之水平點時鏡頻率”F，，：”受為约12.4 MHz (=640/51.6 w s),如第7B圖所示。 為由水平掃描時間導出有效視頻資訊之區間，遂採用 兩组短脈衝”HCNT74”及”HCNT714",如第7C圖及7D圖所示 。每一脈衝HCHT 74及脈衝HCNT74换在分别由掃描之毎一 起始黏T1計數之水平黏時鐘脈衝串之74th及714th時達脈 衝時産生。接著，一於脈衝HCNT74與脈衝HCNT714間具有 640组點時鐘脈*之主動高區間"A”（其後追随一達11.88 us之主動低區間”B”）受成一資料控制倍》”/LDAC”，如 第7E圖所示。在區間A期間，封装1C 110至140中可得充作 有效視頬資訊之640组資料倍號；同時在區間B期間，閂鎖 之640组資料信號俱一次由封装1C输出以同時驅動一列中 之薄禊致鼢鏡面。 水平黏時鐘頻率F, μ除以因數2以形成如第8A圖所示 之位址信號Α0 ;位址倍號Α0除以因数2以形成第3Β圖所示 之位址倍號Α1 ;位址信號Α1除以因數2以形成第8C圖所示 之位址倍號Α2 ;地址信ΚΑ2除以因歎2以形成如第8D匾所 本纸法尺度逋用t國國家橾準（CNS ) Α4规格（210Χ 297公釐） ---------/------訂------像 ' {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部t央樣準局貝工消费合作杜印ft A7 _B7_ _ 五、發明説明（7 ) 示之位址信Κ A3;以及位址倍號A3除以因數2以形成如第 8E園所示之位址倍號A4。 如第9A至9E圃所示之主動低封装選擇信號/PKGS1, /PKGS2, /PKGS3, /PKGS4, /PICGS5,僳用以分別順序致能 封裝1C。 第3園代表第2圖所示封裝1C之詳细構造，其中僅潁 示一封装1C,例如100。封装1C 100包括實質相同结構之. 4组32-頻道之薄膜致動鏡面轚動模组200, 202. 204, 206 ;以及，依序，毎一驅動模組200, 202, 204, 206分別包 括三部分亦卽一解碼器210, 212, 214, 216,-閂鎖部220 ,222, 224, 226 及一DAC 與 0Ρ-ΑΜΡ 部 230, 232, 234 及 236
Q
依據本發明，4组模组200, 202, 204, 206中之毎一 棋組内之解瑪器，R鋇部及DAC與0Ρ-ΑΜΡ部可一臛裂成一 混合1C晶片；以及，依序，4组混合1C晶片可經由MCM ( 多晶片模组）技術之使用而一匾裂成一封装1C,如第2BI 所示。 此外，參看第4鼴其掲示第3圖所示驅動模组之一. 例如200之詳细構造。 閂鎮部220包括8组閂鎖霣路300至370以及DAC舆OP-AMP 部 230分別包括 8 组 DAC 舆 0Ρ-ΑΜΡ電路 400 至470。 解«器210至216僳藉著如第9F至91·所示之一组主動 低晶片遘擇信號/CHIPS1. /CHIPS2. /CHIPS3, /CHIPS4及 封装遘擇倍》加以顒序致能。建至解瑪器210之位址倍號 本纸張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2.10X297公廑） 10 (請先：s讀背面之注意事項再填寫本肓) 訂 涑 經濟部中夬標準局及工消费合作社印装 A7 B7 五、發明説明（8 ) A2A3A4係用以決定何者閂鎮電路將被S擇以接收一資料匯 流排” DATA"上之8-位元資料输入。解碼器210,響應位址 信號A2A3A4,顒序産生8組閂鎮致能倍號，/WR0至/VR7, 如第9J至9Q圔所示。閂鎖致能信號/WR0至/WR7係分別饋送 至閂鎖電路300至370。 ,8組閂鎖霣路300至370中之每一組依»來自解碼器210 之閂鎖致能信號/VR0至/WR7而暫時地順序儲存4组8位元 資料信號且分別將儲存資料信號同時输出至8組DAC電路 以及依序8组0Ρ-ΑΜΡ電路400至470。 8組DAC與0Ρ-ΑΜΡ電路400至470中之毎一组電路均分 別由8-位元資料信號導出相蘭於即將施加至薄膜致動鏡面 40之資料信號之信號電壓。 第50顯現第4圓所示閂鎖電路中之一霣路（例如300 )之詳細霣路圖。 閂鎖霣路300包括一順序電路30, —資料输入部80及 一資料输出部90。資料輸入部80具有一组4值資料输入閂 鎖器82, 84, 86, 88。每一資料輸入閂鎖器82, 84, 86, 88 (其為一傳統D-FF正反器），在順序電路30之控制下依 序暫時健存資料匯流排DATA上之8-位元資料倍號。顒序電 路30具有3組反相器22, 24, 26及4組及閘32, 34, 36, 38。一第一反相器22反相來自解碼器210之输出（/WR0); 及一第二及第三反相器24及26分別反相位址倍號A0及A1。 一第一及閛32在反相器22, 24, 26之输出上實施一埋 輯及浬算。來自及閘32之所得输出僳提供給一第一閂鋇器 本纸張尺度適用中國國家揉率（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） IJ---„------i------------^ , · . - " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 經濟部中央橾準局貝工消费合作杜印裝 A7 B7 五、發明説明（9 ) 82而充作一控制信號以容許閂鎖器52接收資料匯流排DATA 上之一第一 8-位元資料信號。 一第二及閛34在反相器22, 26之翰出及位址倍號A0上 實施一纽輯及蓮算。來自及閑34之所得输出傜提供給一第 二閂親器84而充作一控制信號以容許閂鑕器84接收資料匯 流排DATA上之一第二8-位元資料信號。 一第三及閛36在反相器22, 24之输出及位址信號All 實施一邏輯及蓮算，來自及閛36之所得输出你提供給一第 三閂鎖器86而充作一控制信號以容許閂鎖器86閂鎖資料匯 -流排DATA上之一第三8-位元資料信號。 一第四及閛38在反相器22之输出及位址信號AO, A1上 實施一邏輯及蓮算。來自及閘38之所得输出偽提供至一第 四閂鎮器88而充作一控制倍»以容許閂鎖器88閂鎮資料匯 流排DATA上之一第四8-位元資料信號。 資料輸出部90包括一反相器28俾為資料控制信號/LDAC 實施一反相蓮算以及一组4但傳輸閘92, 94, 96, 98。每 一閘92, 94, 96, 98 (其為一傳統D-FF)用以在反相器28 之输出之正向轉換時输出由输入閂鋇器82, 84, 86, 88傳 送之資料信號。 本發明致動鏡面陣列驅動電路之運作將於下文中討論 〇 當選擇倍號/PKGS1及/CHIPS1均為作用低狀態且位址 信號（A4A3A2)碼為（000)時，解碼器210EP被致能且接著産 生如第9K圏所示之作用低/WR0信號。作用低/WR0信號藉第 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -----„-----------—1T------1 、 - - · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 12 A7 B7 五、發明説明（10) 一反相器22加以反相且接着饋入毎一及蹯32-38。此時， 假設位址信號（A1A0)碼為（00),則第一 8-位元資料倍號在 來自第一及閘32之输出之正向轉換時係閂鋇於第一D-FF82 中；假設位址碼（A1A0)成為（01)時，則第二8-位元資料信 號在來自第二及閜34之输出之正向轉換時係閂鎖於第二D-FP84中；假設位址地碼（A1A0)成為（10)時，則第三8-位元 資料信號在來自第三及閘36之输出之正向轉換時俱閂费於 第三D-FF86中；假設位址碼（A1A0)成為（11)時，則第四8-位元資料信號在來自第四及閘38之輪出之正向轉換時偽閂 鎖於第四D-FF88中。 另一方面，當第一至第四8-位元資料信號在D-FF82至 88上時，於位址碼（A4A3A2)成為（100)時，解碼器210即産 生閂鎖致能信號/WR1。為酱應閂鎖致能信號/WR1,第4圖 所示之閂鎖電路310即被致能使得第五至第八8-位元資料 信號即分別順序閂鎖至其相蘭D-FF中。 以上運作傜相關於一最後之閂鎖霣路370重複進行之 直到第1至第32資料信號被閂鎖至第3匯所示之閂鎖部上 為止。 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印*. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 類似地，當其餘模組202, 204, 206藉S擇信號/PKGS1 及/CHPSI至/CHIPS4順序致能時，一32組資料信號單元即 分別順序鍺存至模組204, 204, 206中之输入資料閂鎖器 中。接著，當5組封装1C 100至140,如第2_所示，藉 封裝選擇倍號順序致能時，一組128個資料信號即分別儲 存至封裝1C内之输入資料閂鎖器中以藉此於i有如第7E圖 本纸張尺度逋用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 經濟部中央樣準局負工消费合作社印装 A7 B7 五、發明説明（11 ) 所示之資料控制信號/LDAC之640组點時鐘臘衝之匾間"A” 期間完成及〇 接著，閂鎖於输入閂親器中之640組資料倍號開始以 同步於由反相器28所反相之資料控制信號之正向轉換的方 式經由傳输閛同時傳送至諸DAC與0Ρ-ΑΜΡ。傳送作業於第 7E圖所示之區間"B"期間完成。 參看第6圖，其顯示第4圔所示之[AC與Π匕-MP電路 之一（0如400)之電路圖。來.且J)二FF1 .94, 96, 98之 4組δ-位元資料信號中之毎一组信號分別施加至毎一 DAC 之输入端D0至D7。為簡單起見，第6圖僅顯示-DAC (例如 302)之電路圖。DAC 302中之每一DAC將8-位元資料信號 轉換成一正比於施加至該處之數位值之類比電壓量。類比 霣壓董可在一施加至DAC 302中之每一 DAC之既定操作電壓 範圍Vrei内承擔許多不同漸變值（邸256 ( = 2β)不同值）中 之任一值。DAC 302中之每一DAC提供轉換類比電壓至其湘 闋 0Ρ-ΑΜΡ電路 400中之 0Ρ-ΑΜΡ處。0Ρ-ΑΜΡ電路 400中之 0Ρ-ΑΜΡ ..... 用以將類比電壓量放大成範圍由0V至15V而適於驅動AMA50 之霣壓信號。放大電壓信號饋入TFT52之源搔而該TFT乃藉 選擇線路56加以開放。據此，相關於TFT52之致動鏡面40 邸充電至一放大電壓信號之位準。 雖然本發明僅對待宙奮施俐油Μ鹿示好說明.惟對於 熟於本技g人士可諝明顯者為許多變化及改善均可進行而 不致偏離如附附申請專利範圍中所界定之本發明之精神與 範困。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） — -!--^--»-------裝------訂------涞 - * . - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 14 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（ 12 ) 元件樣號對照 10 ____ 主動矩陣 .100,110,120.130,140____ 12 .… 基質 楔組封裝1C 14____ 連接端子 170 ....幀記億體 22,24,26,28 ----反相器 172 ----输入端子 30 .... 順序電路 180 ....控制信號産生器 32,34.36,38 ____ 及閘 200,202,204,206____ 40 · · ·. 薄膜致動鏡面 驅動模組 42 ____ 支持構件 210,212,214,216 ____ 46 .... 導管 解碼器 48 ____ 彈性構件 220,222,224,226 ____ 50 · · · · 陣列（ΑΜΑ) 閂鎖部 52 .... 薄膜電晶體（TFT) 230.232,234,236 ____ 54 .... 資料線路 DAC與0Ρ-ΑΜΡ部 56 ____ 選擇線路 300,310,320,330,340,350 62,·*. 第一薄膜電極 360,370 ____閂鎖電路 64 .... 薄膜電位移構件 302 ....數位/類比轉換器 66 .... 第二薄膜電極 (DAC) 80 ____ 資料输入部 400,410,420,430,440,450 82,84,86,88 ____ 資料输 460,470 ____ DAC與0Ρ-ΑΜΡ 入閂錤器（D-FF) 電路 90 ____ 資料輸出部 92,94,96,98 ----傳输閘 (D-FF) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局具工消费合作社印製 六、申請專利範圍 第841 1 1 923號申請案申請專利範圍修正本88. 12. 14 1. 一種用以驅動薄膜致動鏡面之驅動電路，其係用 以驅動一組Μ χ N薄膜致動鏡面陣列内一列中之薄 膜致動鏡面，其中肘及N為整數且分別指示陣列中 之列及行，每一薄膜致動鏡面用以反射一入射其 上之光束’每一薄膜致動鏡面均相關連一切換元 件，當同列中之每一切換元件開啟時每一薄膜致 動鏡面即經由切換元件而響應施加至該處之一信 號電壓而變形以藉此造成來自該處之反射光束之 光路徑之偏移，該堪動電路包含： 記憶裝置俾儲存一形式為數位化信號之視頻信 號’視頻信號具有多數個線路視頻信號，每一線 路視頻信號均依據一掃描脈衝加以掃描，每一線 路視頻信號係分成N組η-位元資料信號’ N組η-位 元資料信號中之每一信號係由記憶裝置順序產 生； 一裝置其自掃描脈衝導出一時鐘脈衝以驅動同 一列中之Ν組薄膜致動鏡面中之每一鏡面； 一裝置其自掃描脈衝導出一資料控制信號而該 信號具有一第一脈衝且一第二脈衝追隨其後，每 一第一及第一脈衝均具有—相關區間，其中該Ν組 η-位元資料信號可於第一脈衝區間之期間得到； 一裝置俾產生一致能信號；及 多數組具實質相同結構之驅動裝置，每一驅動 裝置係依據致能信號而被順序致能以便個別地驅 -16- 本紙張尺度遇用*Ρ國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ^ Λ,'-------訂·1·;-------線.I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
    經濟部智慧財產局具工消费合作社印製 六、申請專利範圍 第841 1 1 923號申請案申請專利範圍修正本88. 12. 14 1. 一種用以驅動薄膜致動鏡面之驅動電路，其係用 以驅動一組Μ χ N薄膜致動鏡面陣列内一列中之薄 膜致動鏡面，其中肘及N為整數且分別指示陣列中 之列及行，每一薄膜致動鏡面用以反射一入射其 上之光束’每一薄膜致動鏡面均相關連一切換元 件，當同列中之每一切換元件開啟時每一薄膜致 動鏡面即經由切換元件而響應施加至該處之一信 號電壓而變形以藉此造成來自該處之反射光束之 光路徑之偏移，該堪動電路包含： 記憶裝置俾儲存一形式為數位化信號之視頻信 號’視頻信號具有多數個線路視頻信號，每一線 路視頻信號均依據一掃描脈衝加以掃描，每一線 路視頻信號係分成N組η-位元資料信號’ N組η-位 元資料信號中之每一信號係由記憶裝置順序產 生； 一裝置其自掃描脈衝導出一時鐘脈衝以驅動同 一列中之Ν組薄膜致動鏡面中之每一鏡面； 一裝置其自掃描脈衝導出一資料控制信號而該 信號具有一第一脈衝且一第二脈衝追隨其後，每 一第一及第一脈衝均具有—相關區間，其中該Ν組 η-位元資料信號可於第一脈衝區間之期間得到； 一裝置俾產生一致能信號；及 多數組具實質相同結構之驅動裝置，每一驅動 裝置係依據致能信號而被順序致能以便個別地驅 -16- 本紙張尺度遇用*Ρ國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ^ Λ,'-------訂·1·;-------線.I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A8B8C8D8 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 六、申請專利範圍 動同一列中之一預定數量之致動鏡面使得其個別 地施加一相關數量之n_位元資料信號至預定數量 之致動鏡面處，其中每一驅動裝置包括： 一裝置俾經由掃描脈衝及致能信號之利用而產 生一順序信號，該順序信號被使用以容許相關數 量之η -位元資料信號被順序接收； 一裝置其具有一相關數量之輸入閂鎖器，每一 輸入閂鎖器均依據順序信號俾暫時儲存相關數量 之η-位元資料信號中之一者； 一裝置其具有一相關數量之傳輸閘，每一傳輸 開以同步於第一脈衝至第二脈衝之轉換期的方式 同時自每一輸入閂鎖器輸出η_位元資料信號； 一裝置其具有一相關數量之轉換裝置，每—轉 換裝置可將由每一傳輸閘傳送之η_位元資料信號 轉換成一類比電壓量其正比於η_位元資料信號之 值；以及 一裝置其具有一相關數量之玫大裝置，每一放 大裝置均放大類比電壓量以便產生即將施加至每 一預定數量之致動鏡面之信號電壓。 2. 如申請專利範圍第1項之堪動電路，其中轉換裝 置包括一數位/類比轉換器。 3. 如申請專利範圍第2項之驅動電路，其中類比電 壓量為施加至數位/類比轉換器之既定操作電壓 範圍内之2Ν組不同漸變值中之一者。 -17- 本紙張尺度用中@國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -----:---------Λ<--------訂---------線，· • * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
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