TW380207B - Voltage applied current measuring circuit for IC tester - Google Patents
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Description
A7 ___B7 五、發明説明(1 ) (發明之領域〕 本發明係關於一種用以測試半導體積體電路元件(以 下,稱爲1C)的IC測試裝置(一般稱爲IC測試器) 詳言之,利用於例如 C Μ 0 S ( Complementary Metal Oxide Semiconductor )所構成的邏輯I C (以下,稱爲 CMOS· IC)之輸入端子梢是否流動洩漏電流的電壓 施加電流測定電路(在被測定I C旆加電壓並測定流在該 1C之電流的電路)。 (關連技術之說明) 在I C測試器中,在被測試I c (一般稱爲DUT) 施加變化之電壓,測定該輸出如何地變化的功能測試,係 成爲可高速地實行被測試IC之每一各輸入端子梢。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I C 之一種的 C Μ 0 S . I C ( Complementary Metal Oxide Semiconductor Integrated Circuit )之特徵,係輸入 電流爲小乃至零,惟在該測試需要微小電流測定電路之處 。然而,由於一般此種微小電流測定電路係響應慢,通常 測定流在C Μ 0 S . I C的電流係與功能測試另外地實行 。將具備用以測定流在被測-試I C之微小電流的電壓施加 電流測定電路之以往的I C測試器關連之電路部分的一例 子表示於第3圖。 在被測試IC(DUT)11之每一梢,設有輸入輸 出塊部 12 — 1、12 — 2、.......12_η (.η 係與被 測試I C 1 1之梢數相同1或1以上之整數),各塊部係 包含:在被測試I C 1 1所對應之梢施加所定電壓的驅動 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4祝格(210Χ297公釐) ^4~- A7 __B7__ 丨 五、發明説明(2 ) 器1 3,及比較來自被測試I c 1 1之輸出電壓與基準電 壓的比較器1 6,及電壓施加電流測定電路1 7。 驅動器13之輸出端子係經由第1開關14連接於該 塊部之輸入輸出端子1 5,而驅動器1 3之輸出端子與第 1開關1 4之連接點連接於比較器1 6之輸入端子。 另一方面,電壓施加電流測定電路1 7係包含:數位 一類比轉換器(DA轉換器)1 8,及該D A轉換電路 1 9之輸出端子連接於非反相輸入端子的緩衝電路1 9, 及該緩衝電路1 9之輸出端子連接於反相輸入端子,而 DA轉換器18之輸出端連接於非反相輸入端子的差動放 大器2 3,及DA轉換器1 8之輸出端子連接於輸入側, 而輸出側連接於DA轉換器18之反相輸入端子與第2開 關2 2的電流檢測電阻元件2 1。因此,緩衝電路1 9之 輸出端子係串聯地經由電流檢測電阻元件2 1及第2開關 22而連接於該塊部之輸入輸出端子15。 各塊部1 2 — i ( i = 1,2 ........η )的差動放 經濟、邱中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 大器2 3之輸出端子,係經由設於每一各塊部之開關2 4 一 i ( i = l,2 ’……,η)連接於類比—數位轉換器 (AD轉換器)2 5。又,在被測試I C 1 1之電源端子 梢連接有動作電源2 6。’ 電壓施加電流測定時,塊部1 2 - 1〜1 2 — η之各 輸入輸出端子1 5係分別連接於被測試I C 1 1所對應之 梢,將各塊部之第1開關1 4成爲斷開狀態,而將第2開 關2 2成爲導通狀態,在DA轉換器1 8輸入對應於測試 電壓所設定的數位値,並將從該DA轉換器1 8所輸出之 測試電壓施加於被測試I C 1 1之各梢。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4祝格(210X297公釐) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明() 3 由此,由於對應於流在被測試I C 11之各梢之電流 所發生之電流檢測電阻元件2 1之兩端間的電壓,係藉由 如下述所構成的差動放大器2 3可以檢測,因此介經將開 關2 9 - 1〜2 4_ η依次成爲導通狀態,而成爲導通狀 態之塊部,亦即,對應於連接在該塊部之被測試I C 1 1 . 之梢的輸入電流之電壓由A D轉換器2 5得到作爲數位資 料。 實際上如第4圖所示,差動放大器2 3係該反相輸入 端子2 7連接於緩衝器2 8之非反相輸入端子,該緩衝器 2 8之輸出端子連接於其反相輸入端子,同時經由第1電 阻元件2 9 (R 1 )連接於差動放大器3 1之反相輸入端 子,在該差觀]放大器3 1之反相輸入端子與輸出端子之間 連接有第2電阻元件35(R2),又,差動放大器23 之非反相輸入端子係經第3電阻元件3 3 ( R 3 )連接於 差動放大器3 1之非反相輸入端子,該差動放大器3 1之 非反相輸入端子係具有經第4電阻元件34(R4)被接 地,而該輸出端子連接於差動放大器2 3之輸出端子3 6 的電路構成。因此,在差動放大器2 3之輸出端子3 6, 反相輸入端子2 7之電壓VA與非反相輸入端子3 2之電壓 VB間之差的電壓Vc被輸出,而對應於被測試I C 1 1之 各梢的輸入電流之電壓由A D轉換器2 5分別得到作爲數 位資料。 差動放大器2 3係必須考量同相信號除去比,亦即必 須考量除去,以同相成分輸入在兩個輸入端子2 7及3 2 之信號之比率的特性,若該同相信號除去比不好,則無法 正確地測定輸入電流。該同信號除去比係受電阻元件2 9 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >Tr t 線· -6- A7 B7 五、發明説明(,) 4 、33、 34、 35之電阻値誤差的影響。 將電阻元件2 9、3 3、3 4、3 5之電阻値分別作 爲Rl,R2,R3,R4,而在各電阻元件之電阻値假 定有誤差α時,則反相輸入端子2 7之電壓V a,非反相輸 入端子3 2之電壓Vb,輸出端3 6之電壓Vc之關係係以 下式表示。 V - v _ V ._R4 . Rlj. R2 c A Rl B R3 + R4 Rl 因此,R1=R(1 士 a) ,R2 = R(1 土 a) ,R3 = R(1 土 a),尺4 = 11(1±«),若¥八=¥8時, 則成爲Vc与4a。例如Vb=5V a = 〇.l 時,誤 差係最大成爲5〇x〇 . l%x4 = 20mV。 如此,由於產生大誤差,因此,在微小電流之測定, 作爲電阻元件2 9、3 3、3 4、3 5,成爲分別須要顯 著高精度者,結果,成爲高價位者。除此以外,也分別須 要修正演算放大器(緩衝器)或AD轉換器之誤差。 (發明之槪要) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之主要目的係在於提供一種不需要須使用高精 度之電阻元件的差動放大器,可正確地測定流在I C之微 小電流的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路。 本發明之其他目的係在提供一種不必修正演算放大器 或A D轉換器之誤差的I C測試裝置之電壓施加電流測定 電路。 爲了達成上述目的,在本發明提供一種I C測試裝置 之電壓施加電流測定電路,其特徵爲具備··串聯地插入在 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明() 5 將測試圖案施加於被測試IC元件之端子的驅動器之輸出 側的電流檢測電阻元件,及連接於該電流檢測電阻元件之 兩端間的第1開關手段,及將輸入電力値轉換成數位資料 的類比-數位轉換手段,及分別連接於上述電流檢測電阻 元件之各端與上述類比-數位轉換手段之輸入端之間的第 2及第3開關手段,及將上述第1開關手段成爲斷開狀態 且從上述驅動器經上述電流檢測電阻元件將電壓施加於上 述被測試I C元件,並將上述第2開關手段成爲導通狀態 ,將第3開關手段成爲斷開狀態,求出上述類比一數位轉 換手段的輸出資料,將上述第2開關手段成爲斷開狀態, 並將上述第3開關手段成爲導通狀態,求出上述類比-數 位轉換手段的輸出資料,並求出此等兩輸出資料之相差得 到流在上述電流檢測電阻元件之電流的控制手段❶ 上述驅動器,電流檢測電阻元件,第1至第3開關手 段係設在被測試I C元件之每一各端子,上述類比-數位 轉換手段係共通地連接於所有每一各端子之第2及第3開 關手段者。 較理想之一實施例中,上述驅動器,電流檢測電阻元 件,第1至第3開關手段係作爲輸入輸出塊部設於被測試 I C元件之每一各端子,上述類比-數位轉換手段係對於 所有輸入輸出塊部共通地設置一個者。又,在各輸入輸出 塊部之上述第2及第3開關手段與上述類比-數位轉換手 換之間分別連接有塊部選擇開關手段者。 上述控制手段係依據從圖案發生器所給予之控制信號 發生導通/斷開控制上述第1至第3開關手段之控制信號 ,及導通/斷開控制上述塊部選擇開關手段之控制信號者 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ----------裝、-- ..,-- . (請先閲讀背面之洼意事項再填寫本I頁}
、1T -8- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明() 6 〇 設有記憶上述類比-數位轉換手段之輸出資料的記憶 器’上述兩輸出資料之相差係從該記憶器所讀出之資料求 出者。 依照本發明,電流檢測電阻元件串聯地插入在將功能 測試時之測試圖案供應於被測試I C元件的驅動器之輸出 側,而第1開關手段連接於該電流檢測電阻元件之兩端間 ,在一般之功能測試時,介經該第1開關手段使電流檢測 電阻元件成爲短路狀態,另一方面,欲測定流進被測試 I c元件之微小電流時,例如欲測定在C Μ 0 S元件是否 有輸入洩漏或其大小時,第1開關手段成爲斷開狀態,電 流檢測電阻元件之兩端的各電壓經第2,第3開關手段依 次供應於A D轉換手段,測定各該電壓値,從此等兩電壓 値差求出流進電流檢測電阻元件之電流,亦即,求出被測 試I C元件的輸入微小電流。 (較佳實施例之詳細說明) 以下,參照第1圖及第2圖詳述本發明之實施例。 第1圖係表示具備依本發明的電壓施加電流測定電路 之I C測試器所關連之電^部分的方塊圖。又,在第1圖 中,與第3圖對應之部分元件係附與相同記號表示,除了 必須以外省略此等之說明。 在該實施例中,在設於被測試IC (DUT) 11之 每一梢的各該輸入輸出塊部1 2 — 1,1 2 — 2,…… 1 2 — η ( η係與被測試I C 1 1之梢數相同之1或1以 上之整數),係包含:經由第1開關14及輸入輸出端子 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) I-------裝;— I -. i . (請先閲讀背面之注意事項再填寫t頁) -、π :線 -9 - A7 ____B7_ 五、發明説明f ) 15將所定電壓施加於被測試IC11所對應之梢的驅動 器1 3,及比較來自被試驗I C之輸出電壓與基準電壓的 比較器1 6,及串聯比連接於驅動器1 3之輸出端子與第 1開關1 4之間的電流檢測電阻元件2 1。 又’在電流檢測電砠元件2 1之兩端間連接有第3開 關4 1,在設於每一各塊部的塊部選擇用開關2 4 — i ( 1 = 1 ’ 2 .......,η )之一端與電流檢測電阻元件2 1 之輸入端之間連接有第4開關42,而在塊部選擇用開關 2 4 — i之一端與電流檢測電阻元件2 1之輸出端之間連 接有第5開關43。 因此,在本實施例中,各輸入輸出塊部的驅動器1 3 之輸出端子係串聯地經由第3開關4 1或電流檢測電阻元 件2 1,及第1開關1 4連接於該塊部之輸入輸出端子 1 5,而驅動器1 3之輸出端子與第3開關4 1之連接點 被連接於比較器16之輸入端子。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填奪本頁) 塊部選擇用之開關2 4 — 1〜2 4 — n之各另一端係 經緩衝電路4 4連接於AD轉換器4 5之輸入端子,該 AD轉換器4 5之輸出端子係連接於資料記憶器4 6 ,從 A D轉換器4 5所輸出之數位資料係被記憶在資料記憶器 4 6。在緩衝電路4 4之非反相輸入端子連接有塊部選擇 用開關2 4_ 1〜2 4 — η之各另一端,反相輸入端子係 連接於輸出端子。 又,設有分別發生導通/斷開控制各輸入輸出塊部 12 — i之第3,第4及第5開關41,42,及43之 控制信號C,E及F,導通/斷開控制各塊部選擇用之開 關24-i之控制信號D的開關控制電路51 ,該開關控 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐)-10- A7 _B7_ 五、發明説明$ ) 制電路5 1係隨著從圖案發生器(PTN) 49所給與之 控制信號50如第2C圖,第2D圖,第2E圖及第2F 圖所示地發生此等控制信號C,D,E及F。 以下,說明上述構成的I C測試器之動作。 隨著圖案發生器49所給與之所定測試圖案從驅動器 1 3所輸出之輸出電壓V。,係在所需測試之範圍內可變更 任意大小之電壓,又可將該設定之電壓的測試圖案施加至 被測試I C 1 1。 首先,欲實行被測試I C 1 1之功能測試時,驅動器 1 3之輸出電壓VD設成所需値,在該狀態下如第2 A圖所 示,將第1開關1 4成爲導通狀態,如第2 C圖所示,將 第3開關成爲導通狀態,如第2 E圖及第2 F圖所示,將 第4及第5開關4 2及4 3成爲斷開狀態,如第2 B圖所 示,從驅動器1 3輸出測試圖案4 8而供應至被測試 I C 1 1。由此,實行被測試I C 1 1之功能測試。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填緣本頁) 然後,欲測定流在被測試I C 1 1之梢的微小電流時 ,例如欲測試C Μ 0 S元件所構成的被測試I C 1 1之微 小輸入電流或輸入漏電時,如第2 C圖所示,將第3開關 4 1成爲斷開狀態,又,圖案發生器4 9係作爲休止狀態 或環路狀態成爲設定電壓V〇從驅動器13繼續地輸出之狀 態。 在該狀態下,首先,如第2 D圖所示,將塊部選擇開 關2 4 - 1成爲導通,而只在該導通狀態之前半部分,如 第2 E圖所示,將第4開關4 2成爲導通狀態,又只在後 半部分,如第2 F圖所示,將第5開關4 3成爲導通狀態 。亦即,將塊部1 2 — 1之電流檢測電阻元件2 1兩端之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公漦)-11 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(9 ) 電壓,在導通狀態之前半部分將其輸入端側之電壓施加於 A D轉換器4 5,而在導通狀態之後半部分將其輸出端側 之電壓施加於AD轉換器4 5,如第2 G圖所示,轉換成 數位資料V la及VI b。此等經A D轉換之數位資料 VI a,VI b係被傳送並被記憶在資料記憶器46。 然後,將塊部選擇開關2 4 — 2成爲導通狀態,並將 塊部1 2 - 2之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓分別成 爲數位資料V 2 a及V. 2 b而存取在資料記憶器4 6。以 下同樣地,將塊部選擇開關2 4_ 1成爲導通狀態,並將 塊部1 2 - i之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓作爲數 位資料V i a及V i b而存取在資料記憶器4 6,最後, 將塊部選擇開關2 4 — η成爲導通狀態,並將塊部12 — η之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓作爲數位資料 Vna及Vnb並存取在資料記憶器46。 如此,將所有塊部1 2 — 1〜1 2 — η之電流檢測電 阻元件2 1兩端的電壓分別轉換成數位資料,記憶在資料 記憶器4 6後終了後,如第2 C圖所示,將第3開關4 1 成爲導通,之後,如第2Α圖所示,將第1開關1 4成爲 斷開之狀態,從資料記憶器4 6讀取被記憶在該記憶器之 數位資料(第2 Η圖),然後如第2 1圖所示,分別求出 在各塊部12—1至12_η之各電流檢測電阻元件21 兩端的電壓差Via— Vlb.......,Vna-Vnb。 由此,得到流在各電流檢測電阻元件2 1之電流値,亦即 ,得到對應於被測試I C 1 1之每一各梢之流入電流値( 輸入漏電値)的電流値。之後,輸出此等値V 1 a — V 1 b > ...... Vn a _Vn b本體,或是此等値是否分別 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4祝格(ΖΙΟΧ297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7_, 五、發明説明(10 ) 在所定値以下,亦即,將有無輸入洩漏輸出作爲測試結果 〇 以上之各開關之導通/斷開控制,係藉由來自控制信 號5 0來控制開關控制電路51,構成發生如第2 C圖, 第2D圖,第2 E圖及第2 F圖所示之控制信號,惟當然 也可以藉由其他之控制手段來控制電路5 1。 又,在電流檢測電阻元件2 1之壓降大,且被測試 I C 1 1有未正常動作之虞時,如第1圖所示,與電流檢 測電阻元件2 1並聯地互相連接逆極性二極體51,52 ,抑制一定之壓降即可以。但是,在此時,被測試 I C 1 1之輸入電流値係未能測定,惟可實行是否有輸入 漏電之判定。 如上所述,依照本發明,在施加電壓發生系統,不需 要如以往技術成爲誤差要固之演算放大器(緩衝器)1 9 (第3圖)。又,由於在檢測電流檢測電阻元件之兩端間 的電壓不使用差動放大器23(第4圖,因此不會發生同 相信號除去比誤差之虞。 除此之外,由於AD轉換器4 5係只將電流檢測電阻 元件之各端的電壓轉換成數位資料(由於兩端間之電壓差 係在從記憶器讀出之後才算出),因此,具有充分轉換特 性之直線性即可以,不需要誤差補正。因此,即使包含固 定誤差也沒有問題。 又,在被測試I C之功能測試中,由於在將該功能測 試所設定之輸出電壓Vd仍然一直使在微小電流之測定,因 此不需要用於微小電流測定之特別之設定。 如上所述,由於不使用差動放大器2 3,又每一梢( (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) _ - —— _ —^1 I *?τ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -13- A7 一____ B7_ . 五、發明説明(1彳) 塊部)不需要高精度,高價零件之各梢(埤部),因此, 整體上可製作儘量低價格且小型者。 (圖式之簡單說明〕 第1«係表示具備依本發明的電壓施加電流測定電路 之IC測試器有關之電路部分的方塊圖。 第2圖係表示用於說明圖示於第1圖的電壓施加電流 測定電路之動作的時序圖。 第3圖係表示具備以往的電壓施加電流測定電路之 IC測試器有關之電路部分之一例子的方塊圖。 第4圖係表示圖示於第3圖之差動放大器2 3之一具 體例子的電路圖。 〔記號之說明〕
11 被測試IC 12 — 1〜12 - η 輸入輸出塊部 1 3 驅 動 器 1 4 第 1 開 關 1 5 輸 入 輸 出 X|ij m 子 1 6 比 較 器 2 1 電 流 檢 測 電 阻元件 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 24—1〜24—η 塊部選擇用開關 4 1 第3開關 4 2 第4開關 4 3 第5開關 4 4 緩衝電路 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4祝格(210Χ297公釐) -14 五、發明説明(12 ) A7 B7 4 5 A D 變 換 器 4 6 資 料 記 憶 器 4 8 測 試 圖 案 4 9 圖 案 發 生 器(Ρ τ N ) 5 0 控 制 信 號 5 1 開 關 控 制 電路 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4現格(210X297公釐) -15-
Claims (1)
- 六、申請專利範圍 1 . 一種I C測試裝置之電壓施加電流測定電路,其 特徵爲具備: 串聯地插入在將測試圖案施加於被測試I C元件之端 子的驅動器之輸出側的電流檢測電阻元件,及 連接於該電流檢測電阻元件之兩端間的第1開關手段 ,及 將輸入電力値轉換成數位資料的類比一數位轉換手段 ,及 分別連接於上述電流檢測電阻元件之各端與上述類比 -數位轉換手段之輸入端之間的第2及第3開關手段,及 將上述第1開關手段成爲斷開狀態且從上述驅動器經 上述電流檢測電阻元件將電壓施加於上述被測試I C元件 ’並將上述第2開關手段成爲導通狀態,將第3開關手段 成爲斷開狀態,求出上述類比-數位轉換手段的輸出資料 ’將上述第2開關手段成爲斷開狀態,並將上述第3開關 手段成爲導通狀態,求出上述類比-數位轉換手段的輸出 資料’並求出此等兩輸出資料之相差得到流在上述電流檢 測電阻元件之電流的控制手段。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 .如申請專利範圍第1項所述的I c測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中',上述驅動器,電流檢測電阻 元件,第1至第3開關手段係設在被測試I C元件之每一 各端子,上述類比-數位轉換手段係共通地連接於所有每 —各端子之第2及第3開關手段者。 3 .如申請專利範圍第1項所述的I C測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中,上述驅動器,電流檢測電阻 元件,第1至第3開關手段係作爲輸入輸出塊部設於被測 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A8 δ8ύ207 cs __ _D8_, 六、申請專利範圍 試I C元件之每一各端子’上述類比-數位轉換手段係對 於所有輸入輸出塊部共通地設置一個者。 4 .如申請專利範圍第2項所述的I C測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中’在每一各端子之上述第2及 第3開關手段與上述類比-數位轉換手段之間分別連接有 端子選擇交換手段者。 5 .如申請專利範圍第3項所述的I C測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中,在各輸入輸出塊部之上述第 2及第3開關手段與上述類比-數位轉換手段之間分別連 接有塊部選擇開關手段者。 6.如申請專利範圍第1項所述的IC測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中,上述控制手段係依據從圖案 發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制第1至第3 開關手段之控制信號者。 7 .如申請專利範圍第4項所述的I C測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中,上述控制手段係依據從圖案 發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制上述第1至 第3開關手段之控制信號,及導通/斷開控制上述端子選 擇開關手段之控制信號者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 .如申請專利範圍系5項所述的I C測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中,上述控制手段係依據從圖案 發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制上述第1至 第3開關手段之控制信號,及導通/斷開控制上述塊部選 擇開關手段之控制信號者。 9 ·如申請專利範圍第1項所述的I C測試裝置之電 壓施加電流測定電路,其中,包含記億上述類比-數位轉 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) _ 17 _ 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ^8y^y7 g88 六、申請專利範圍 換手段之輸出資料的記憶器,上述兩輸出資料之相差係從 該記憶器所讀出之資料求出者。 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) _ 1 g I n I I I m I n HI .. ——I »^i n n n I n I 1 n n < ,,: >T i ,t (#先閱^背面之注意事項再填寫本頁)
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