TW380207B

TW380207B - Voltage applied current measuring circuit for IC tester

Info

Publication number: TW380207B
Application number: TW087120373A
Authority: TW
Inventors: Yoshihiro Hashimoto
Original assignee: Advantest Corp
Priority date: 1997-12-12
Filing date: 1998-12-08
Publication date: 2000-01-21
Also published as: JP3392029B2; DE19857689B4; DE19857689A1; KR19990063014A; JPH11174113A; US6255839B1; KR100339835B1

Description

A7 ___B7 五、發明説明（1 ) (發明之領域〕本發明係關於一種用以測試半導體積體電路元件（以下，稱爲1C)的IC測試裝置（一般稱爲IC測試器）詳言之，利用於例如 C Μ 0 S ( Complementary Metal Oxide Semiconductor )所構成的邏輯I C (以下，稱爲 CMOS· IC)之輸入端子梢是否流動洩漏電流的電壓施加電流測定電路（在被測定I C旆加電壓並測定流在該 1C之電流的電路）。 (關連技術之說明）在I C測試器中，在被測試I c (一般稱爲DUT) 施加變化之電壓，測定該輸出如何地變化的功能測試，係成爲可高速地實行被測試IC之每一各輸入端子梢。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I C 之一種的 C Μ 0 S . I C ( Complementary Metal Oxide Semiconductor Integrated Circuit )之特徵，係輸入電流爲小乃至零，惟在該測試需要微小電流測定電路之處。然而，由於一般此種微小電流測定電路係響應慢，通常測定流在C Μ 0 S . I C的電流係與功能測試另外地實行。將具備用以測定流在被測-試I C之微小電流的電壓施加電流測定電路之以往的I C測試器關連之電路部分的一例子表示於第3圖。在被測試IC(DUT)11之每一梢，設有輸入輸出塊部 12 — 1、12 — 2、.......12_η (.η 係與被測試I C 1 1之梢數相同1或1以上之整數），各塊部係包含：在被測試I C 1 1所對應之梢施加所定電壓的驅動本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4祝格（210Χ297公釐） ^4~- A7 __B7__ 丨五、發明説明（2 ) 器1 3，及比較來自被測試I c 1 1之輸出電壓與基準電壓的比較器1 6，及電壓施加電流測定電路1 7。驅動器13之輸出端子係經由第1開關14連接於該塊部之輸入輸出端子1 5，而驅動器1 3之輸出端子與第 1開關1 4之連接點連接於比較器1 6之輸入端子。另一方面，電壓施加電流測定電路1 7係包含：數位一類比轉換器（DA轉換器）1 8，及該D A轉換電路 1 9之輸出端子連接於非反相輸入端子的緩衝電路1 9，及該緩衝電路1 9之輸出端子連接於反相輸入端子，而 DA轉換器18之輸出端連接於非反相輸入端子的差動放大器2 3，及DA轉換器1 8之輸出端子連接於輸入側，而輸出側連接於DA轉換器18之反相輸入端子與第2開關2 2的電流檢測電阻元件2 1。因此，緩衝電路1 9之輸出端子係串聯地經由電流檢測電阻元件2 1及第2開關 22而連接於該塊部之輸入輸出端子15。各塊部1 2 — i ( i = 1，2 ........η )的差動放經濟、邱中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 大器2 3之輸出端子，係經由設於每一各塊部之開關2 4 一 i ( i = l，2 ’……，η)連接於類比—數位轉換器 (AD轉換器）2 5。又，在被測試I C 1 1之電源端子梢連接有動作電源2 6。’ 電壓施加電流測定時，塊部1 2 - 1〜1 2 — η之各輸入輸出端子1 5係分別連接於被測試I C 1 1所對應之梢，將各塊部之第1開關1 4成爲斷開狀態，而將第2開關2 2成爲導通狀態，在DA轉換器1 8輸入對應於測試電壓所設定的數位値，並將從該DA轉換器1 8所輸出之測試電壓施加於被測試I C 1 1之各梢。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祝格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（） 3 由此，由於對應於流在被測試I C 11之各梢之電流所發生之電流檢測電阻元件2 1之兩端間的電壓，係藉由如下述所構成的差動放大器2 3可以檢測，因此介經將開關2 9 - 1〜2 4_ η依次成爲導通狀態，而成爲導通狀態之塊部，亦即，對應於連接在該塊部之被測試I C 1 1 . 之梢的輸入電流之電壓由A D轉換器2 5得到作爲數位資料。實際上如第4圖所示，差動放大器2 3係該反相輸入端子2 7連接於緩衝器2 8之非反相輸入端子，該緩衝器 2 8之輸出端子連接於其反相輸入端子，同時經由第1電阻元件2 9 (R 1 )連接於差動放大器3 1之反相輸入端子，在該差觀]放大器3 1之反相輸入端子與輸出端子之間連接有第2電阻元件35(R2)，又，差動放大器23 之非反相輸入端子係經第3電阻元件3 3 ( R 3 )連接於差動放大器3 1之非反相輸入端子，該差動放大器3 1之非反相輸入端子係具有經第4電阻元件34(R4)被接地，而該輸出端子連接於差動放大器2 3之輸出端子3 6 的電路構成。因此，在差動放大器2 3之輸出端子3 6，反相輸入端子2 7之電壓VA與非反相輸入端子3 2之電壓 VB間之差的電壓Vc被輸出，而對應於被測試I C 1 1之各梢的輸入電流之電壓由A D轉換器2 5分別得到作爲數位資料。差動放大器2 3係必須考量同相信號除去比，亦即必須考量除去，以同相成分輸入在兩個輸入端子2 7及3 2 之信號之比率的特性，若該同相信號除去比不好，則無法正確地測定輸入電流。該同信號除去比係受電阻元件2 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >Tr t 線· -6- A7 B7 五、發明説明（，) 4 、33、 34、 35之電阻値誤差的影響。將電阻元件2 9、3 3、3 4、3 5之電阻値分別作爲Rl，R2，R3，R4，而在各電阻元件之電阻値假定有誤差α時，則反相輸入端子2 7之電壓V a，非反相輸入端子3 2之電壓Vb，輸出端3 6之電壓Vc之關係係以下式表示。 V - v _ V ._R4 . Rlj. R2 c A Rl B R3 + R4 Rl 因此，R1=R(1 士 a) ，R2 = R(1 土 a) ，R3 = R(1 土 a)，尺4 = 11(1±«)，若¥八=¥8時，則成爲Vc与4a。例如Vb=5V a = 〇.l 時，誤差係最大成爲5〇x〇 . l%x4 = 20mV。如此，由於產生大誤差，因此，在微小電流之測定，作爲電阻元件2 9、3 3、3 4、3 5，成爲分別須要顯著高精度者，結果，成爲高價位者。除此以外，也分別須要修正演算放大器（緩衝器）或AD轉換器之誤差。 (發明之槪要）經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之主要目的係在於提供一種不需要須使用高精度之電阻元件的差動放大器，可正確地測定流在I C之微小電流的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路。本發明之其他目的係在提供一種不必修正演算放大器或A D轉換器之誤差的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路。爲了達成上述目的，在本發明提供一種I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其特徵爲具備··串聯地插入在本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) 5 將測試圖案施加於被測試IC元件之端子的驅動器之輸出側的電流檢測電阻元件，及連接於該電流檢測電阻元件之兩端間的第1開關手段，及將輸入電力値轉換成數位資料的類比-數位轉換手段，及分別連接於上述電流檢測電阻元件之各端與上述類比-數位轉換手段之輸入端之間的第 2及第3開關手段，及將上述第1開關手段成爲斷開狀態且從上述驅動器經上述電流檢測電阻元件將電壓施加於上述被測試I C元件，並將上述第2開關手段成爲導通狀態，將第3開關手段成爲斷開狀態，求出上述類比一數位轉換手段的輸出資料，將上述第2開關手段成爲斷開狀態，並將上述第3開關手段成爲導通狀態，求出上述類比-數位轉換手段的輸出資料，並求出此等兩輸出資料之相差得到流在上述電流檢測電阻元件之電流的控制手段❶ 上述驅動器，電流檢測電阻元件，第1至第3開關手段係設在被測試I C元件之每一各端子，上述類比-數位轉換手段係共通地連接於所有每一各端子之第2及第3開關手段者。較理想之一實施例中，上述驅動器，電流檢測電阻元件，第1至第3開關手段係作爲輸入輸出塊部設於被測試 I C元件之每一各端子，上述類比-數位轉換手段係對於所有輸入輸出塊部共通地設置一個者。又，在各輸入輸出塊部之上述第2及第3開關手段與上述類比-數位轉換手換之間分別連接有塊部選擇開關手段者。上述控制手段係依據從圖案發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制上述第1至第3開關手段之控制信號，及導通/斷開控制上述塊部選擇開關手段之控制信號者本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------裝、-- ..,-- . (請先閲讀背面之洼意事項再填寫本I頁}

、1T -8- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（） 6 〇設有記憶上述類比-數位轉換手段之輸出資料的記憶器’上述兩輸出資料之相差係從該記憶器所讀出之資料求出者。依照本發明，電流檢測電阻元件串聯地插入在將功能測試時之測試圖案供應於被測試I C元件的驅動器之輸出側，而第1開關手段連接於該電流檢測電阻元件之兩端間，在一般之功能測試時，介經該第1開關手段使電流檢測電阻元件成爲短路狀態，另一方面，欲測定流進被測試 I c元件之微小電流時，例如欲測定在C Μ 0 S元件是否有輸入洩漏或其大小時，第1開關手段成爲斷開狀態，電流檢測電阻元件之兩端的各電壓經第2，第3開關手段依次供應於A D轉換手段，測定各該電壓値，從此等兩電壓値差求出流進電流檢測電阻元件之電流，亦即，求出被測試I C元件的輸入微小電流。 (較佳實施例之詳細說明）以下，參照第1圖及第2圖詳述本發明之實施例。第1圖係表示具備依本發明的電壓施加電流測定電路之I C測試器所關連之電^部分的方塊圖。又，在第1圖中，與第3圖對應之部分元件係附與相同記號表示，除了必須以外省略此等之說明。在該實施例中，在設於被測試IC (DUT) 11之每一梢的各該輸入輸出塊部1 2 — 1，1 2 — 2，…… 1 2 — η ( η係與被測試I C 1 1之梢數相同之1或1以上之整數），係包含：經由第1開關14及輸入輸出端子本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） I-------裝；— I -. i . (請先閲讀背面之注意事項再填寫t頁) -、π :線 -9 - A7 ____B7_ 五、發明説明f ) 15將所定電壓施加於被測試IC11所對應之梢的驅動器1 3，及比較來自被試驗I C之輸出電壓與基準電壓的比較器1 6，及串聯比連接於驅動器1 3之輸出端子與第 1開關1 4之間的電流檢測電阻元件2 1。又’在電流檢測電砠元件2 1之兩端間連接有第3開關4 1，在設於每一各塊部的塊部選擇用開關2 4 — i ( 1 = 1 ’ 2 .......，η )之一端與電流檢測電阻元件2 1 之輸入端之間連接有第4開關42，而在塊部選擇用開關 2 4 — i之一端與電流檢測電阻元件2 1之輸出端之間連接有第5開關43。因此，在本實施例中，各輸入輸出塊部的驅動器1 3 之輸出端子係串聯地經由第3開關4 1或電流檢測電阻元件2 1，及第1開關1 4連接於該塊部之輸入輸出端子 1 5，而驅動器1 3之輸出端子與第3開關4 1之連接點被連接於比較器16之輸入端子。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填奪本頁) 塊部選擇用之開關2 4 — 1〜2 4 — n之各另一端係經緩衝電路4 4連接於AD轉換器4 5之輸入端子，該 AD轉換器4 5之輸出端子係連接於資料記憶器4 6 ,從 A D轉換器4 5所輸出之數位資料係被記憶在資料記憶器 4 6。在緩衝電路4 4之非反相輸入端子連接有塊部選擇用開關2 4_ 1〜2 4 — η之各另一端，反相輸入端子係連接於輸出端子。又，設有分別發生導通/斷開控制各輸入輸出塊部 12 — i之第3，第4及第5開關41，42，及43之控制信號C，E及F，導通/斷開控制各塊部選擇用之開關24-i之控制信號D的開關控制電路51 ，該開關控本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）-10- A7 _B7_ 五、發明説明$ ) 制電路5 1係隨著從圖案發生器（PTN) 49所給與之控制信號50如第2C圖，第2D圖，第2E圖及第2F 圖所示地發生此等控制信號C，D，E及F。以下，說明上述構成的I C測試器之動作。隨著圖案發生器49所給與之所定測試圖案從驅動器 1 3所輸出之輸出電壓V。，係在所需測試之範圍內可變更任意大小之電壓，又可將該設定之電壓的測試圖案施加至被測試I C 1 1。首先，欲實行被測試I C 1 1之功能測試時，驅動器 1 3之輸出電壓VD設成所需値，在該狀態下如第2 A圖所示，將第1開關1 4成爲導通狀態，如第2 C圖所示，將第3開關成爲導通狀態，如第2 E圖及第2 F圖所示，將第4及第5開關4 2及4 3成爲斷開狀態，如第2 B圖所示，從驅動器1 3輸出測試圖案4 8而供應至被測試 I C 1 1。由此，實行被測試I C 1 1之功能測試。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填緣本頁) 然後，欲測定流在被測試I C 1 1之梢的微小電流時，例如欲測試C Μ 0 S元件所構成的被測試I C 1 1之微小輸入電流或輸入漏電時，如第2 C圖所示，將第3開關 4 1成爲斷開狀態，又，圖案發生器4 9係作爲休止狀態或環路狀態成爲設定電壓V〇從驅動器13繼續地輸出之狀態。在該狀態下，首先，如第2 D圖所示，將塊部選擇開關2 4 - 1成爲導通，而只在該導通狀態之前半部分，如第2 E圖所示，將第4開關4 2成爲導通狀態，又只在後半部分，如第2 F圖所示，將第5開關4 3成爲導通狀態。亦即，將塊部1 2 — 1之電流檢測電阻元件2 1兩端之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公漦）-11 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 電壓，在導通狀態之前半部分將其輸入端側之電壓施加於 A D轉換器4 5，而在導通狀態之後半部分將其輸出端側之電壓施加於AD轉換器4 5，如第2 G圖所示，轉換成數位資料V la及VI b。此等經A D轉換之數位資料 VI a，VI b係被傳送並被記憶在資料記憶器46。然後，將塊部選擇開關2 4 — 2成爲導通狀態，並將塊部1 2 - 2之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓分別成爲數位資料V 2 a及V. 2 b而存取在資料記憶器4 6。以下同樣地，將塊部選擇開關2 4_ 1成爲導通狀態，並將塊部1 2 - i之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓作爲數位資料V i a及V i b而存取在資料記憶器4 6，最後，將塊部選擇開關2 4 — η成爲導通狀態，並將塊部12 — η之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓作爲數位資料 Vna及Vnb並存取在資料記憶器46。如此，將所有塊部1 2 — 1〜1 2 — η之電流檢測電阻元件2 1兩端的電壓分別轉換成數位資料，記憶在資料記憶器4 6後終了後，如第2 C圖所示，將第3開關4 1 成爲導通，之後，如第2Α圖所示，將第1開關1 4成爲斷開之狀態，從資料記憶器4 6讀取被記憶在該記憶器之數位資料（第2 Η圖），然後如第2 1圖所示，分別求出在各塊部12—1至12_η之各電流檢測電阻元件21 兩端的電壓差Via— Vlb.......，Vna-Vnb。由此，得到流在各電流檢測電阻元件2 1之電流値，亦即，得到對應於被測試I C 1 1之每一各梢之流入電流値（輸入漏電値）的電流値。之後，輸出此等値V 1 a — V 1 b > ...... Vn a _Vn b本體，或是此等値是否分別本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祝格（ΖΙΟΧ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7_, 五、發明説明（10 ) 在所定値以下，亦即，將有無輸入洩漏輸出作爲測試結果〇以上之各開關之導通/斷開控制，係藉由來自控制信號5 0來控制開關控制電路51，構成發生如第2 C圖，第2D圖，第2 E圖及第2 F圖所示之控制信號，惟當然也可以藉由其他之控制手段來控制電路5 1。又，在電流檢測電阻元件2 1之壓降大，且被測試 I C 1 1有未正常動作之虞時，如第1圖所示，與電流檢測電阻元件2 1並聯地互相連接逆極性二極體51，52 ，抑制一定之壓降即可以。但是，在此時，被測試 I C 1 1之輸入電流値係未能測定，惟可實行是否有輸入漏電之判定。如上所述，依照本發明，在施加電壓發生系統，不需要如以往技術成爲誤差要固之演算放大器（緩衝器）1 9 (第3圖）。又，由於在檢測電流檢測電阻元件之兩端間的電壓不使用差動放大器23(第4圖，因此不會發生同相信號除去比誤差之虞。除此之外，由於AD轉換器4 5係只將電流檢測電阻元件之各端的電壓轉換成數位資料（由於兩端間之電壓差係在從記憶器讀出之後才算出），因此，具有充分轉換特性之直線性即可以，不需要誤差補正。因此，即使包含固定誤差也沒有問題。又，在被測試I C之功能測試中，由於在將該功能測試所設定之輸出電壓Vd仍然一直使在微小電流之測定，因此不需要用於微小電流測定之特別之設定。如上所述，由於不使用差動放大器2 3，又每一梢（ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) _ - —— _ —^1 I *?τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- A7 一____ B7_ . 五、發明説明（1彳）塊部）不需要高精度，高價零件之各梢（埤部），因此，整體上可製作儘量低價格且小型者。 (圖式之簡單說明〕第1«係表示具備依本發明的電壓施加電流測定電路之IC測試器有關之電路部分的方塊圖。第2圖係表示用於說明圖示於第1圖的電壓施加電流測定電路之動作的時序圖。第3圖係表示具備以往的電壓施加電流測定電路之 IC測試器有關之電路部分之一例子的方塊圖。第4圖係表示圖示於第3圖之差動放大器2 3之一具體例子的電路圖。〔記號之說明〕

11 被測試IC 12 — 1〜12 - η 輸入輸出塊部 1 3 驅動器 1 4 第 1 開關 1 5 輸入輸出 X|ij m 子 1 6 比較器 2 1 電流檢測電阻元件經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 24—1〜24—η 塊部選擇用開關 4 1 第3開關 4 2 第4開關 4 3 第5開關 4 4 緩衝電路本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4祝格（210Χ297公釐） -14 五、發明説明（12 ) A7 B7 4 5 A D 變換器 4 6 資料記憶器 4 8 測試圖案 4 9 圖案發生器（Ρ τ N ) 5 0 控制信號 5 1 開關控制電路經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） -15-

Claims

六、申請專利範圍 1 . 一種I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其特徵爲具備：串聯地插入在將測試圖案施加於被測試I C元件之端子的驅動器之輸出側的電流檢測電阻元件，及連接於該電流檢測電阻元件之兩端間的第1開關手段，及將輸入電力値轉換成數位資料的類比一數位轉換手段，及分別連接於上述電流檢測電阻元件之各端與上述類比 -數位轉換手段之輸入端之間的第2及第3開關手段，及將上述第1開關手段成爲斷開狀態且從上述驅動器經上述電流檢測電阻元件將電壓施加於上述被測試I C元件 ’並將上述第2開關手段成爲導通狀態，將第3開關手段成爲斷開狀態，求出上述類比-數位轉換手段的輸出資料 ’將上述第2開關手段成爲斷開狀態，並將上述第3開關手段成爲導通狀態，求出上述類比-數位轉換手段的輸出資料’並求出此等兩輸出資料之相差得到流在上述電流檢測電阻元件之電流的控制手段。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 .如申請專利範圍第1項所述的I c測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中'，上述驅動器，電流檢測電阻元件，第1至第3開關手段係設在被測試I C元件之每一各端子，上述類比-數位轉換手段係共通地連接於所有每 —各端子之第2及第3開關手段者。 3 .如申請專利範圍第1項所述的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中，上述驅動器，電流檢測電阻元件，第1至第3開關手段係作爲輸入輸出塊部設於被測本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A8 δ8ύ207 cs __ _D8_, 六、申請專利範圍試I C元件之每一各端子’上述類比-數位轉換手段係對於所有輸入輸出塊部共通地設置一個者。 4 .如申請專利範圍第2項所述的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中’在每一各端子之上述第2及第3開關手段與上述類比-數位轉換手段之間分別連接有端子選擇交換手段者。 5 .如申請專利範圍第3項所述的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中，在各輸入輸出塊部之上述第 2及第3開關手段與上述類比-數位轉換手段之間分別連接有塊部選擇開關手段者。 6.如申請專利範圍第1項所述的IC測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中，上述控制手段係依據從圖案發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制第1至第3 開關手段之控制信號者。 7 .如申請專利範圍第4項所述的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中，上述控制手段係依據從圖案發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制上述第1至第3開關手段之控制信號，及導通/斷開控制上述端子選擇開關手段之控制信號者。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 .如申請專利範圍系5項所述的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中，上述控制手段係依據從圖案發生器所給予之控制信號發生導通/斷開控制上述第1至第3開關手段之控制信號，及導通/斷開控制上述塊部選擇開關手段之控制信號者。 9 ·如申請專利範圍第1項所述的I C測試裝置之電壓施加電流測定電路，其中，包含記億上述類比-數位轉本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 17 _ 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ^8y^y7 g88 六、申請專利範圍換手段之輸出資料的記憶器，上述兩輸出資料之相差係從該記憶器所讀出之資料求出者。本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 1 g I n I I I m I n HI .. ——I »^i n n n I n I 1 n n < ,,: >T i ,t (#先閱^背面之注意事項再填寫本頁)