KR19990063014A - Ic시험장치의 전압인가 전류측정회로 - Google Patents

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Abstract

IC 테스터에 있어서 전압인가전류 측정회로를 생략할 수 있게 한다. 펑션 시험시에 사용하는 드라이버(13)의 출력측에 전류검출 저항소자(21)를 직렬로 삽입하여, 이 저항소자(21)와 병렬로 스위치(41)를 접속한다. 펑션 시험시에는 스위치(41)를 온으로 하고, 또, CMOS·IC(11)의 입력누설 유무를 측정할 때는 스위치(41)를 오프로하고, 스위치(42,43)를 순차로 온시켜 저항소자(21)의 양단간의 각 전압을 AD변환기(45)로 검출하고, 이것을 각 핀 대응 블록(12-1∼12-n)에 대하여 행한 후, 각 블록의 저항소자(21)의 양단간의 전압차를 취하여 입력누설 유무, 크기를 구한다.

Description

ＩＣ시험장치의 전압인가 전류측정회로
본 발명은 반도체집적회로소자(이하 IC라함)를 시험하기 위한 IC시험장치(일반적으로 IC테스터라 함)에 관한 것으로, 상세하게는, 가령 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)로 되는 로직IC(이하, CMOS·IC라 함)의 입력단자핀에 누설전류가 흐르는지 여부의 시험에 이용되는 전압인가 전류측정회로(피측정 IC에 전압을 인가하여 이 IC에 흐르는 전류를 측정하는 회로)에 관한 것이다.
IC테스터에 있어서, 피시험 IC(일반적으로 DUT라 함)로 변화하는 전압을 인가하고, 그 출력이 어떻게 변화하는지를 측정하는 펑션(기능)시험은, 피시험 IC의 각 입력단자핀마다 고속으로 행할 수 있게 되어 있다.
IC의 하나인 CMOS·IC(Complementary Metal Oxide Semiconductor Integrated Circuit)의 특징은, 입력전류가 작거나 제로이지만, 그 시험에는 미소전류측정회로가 필요하다는 점에 있다. 그러나, 이 종류의 미소전류 측정회로는 일반적으로 응답이 늦기 때문에 통상은 CMOS·IC에 흐르는 전류 측정은 펑션 시험과는 별도로 행하고 있었다. 피시험 IC에 흐르는 미소전류를 측정하기 위한 전압인가 전류측정회로를 구비한 종래의 IC테스터의 관련 회로부분의 일예를 도 3에 도시한다.
피시험 IC(DUT; 11)의 핀마다 입출력블록(12-1, 12-2, … 12-n; n은 피시험 IC(11)의 핀수와 같은 1 또는 그 이상의 정수)이 설치되고, 각 블록은 피시험 IC(11)의 대응하는 핀에 소정전압을 인가하는 드라이버(13)와, 피시험 IC(11)로부터의 출력전압과 기준전압을 비교하는 비교기(16)와, 전압인가 전류측정회로(17)를 포함한다.
드라이버(13)의 출력단자 제1 스위치(14)를 통하여 그 블록의 입출력단자(15)에 접속되고, 드라이버(13)의 출력단자와 제1 스위치(14)와의 접속점이 비교기(16) 입력단자에 접속된다.
한편, 전압인가 전류측정회로(17)는 디지탈-아날로그 변환기(DA변환기; 18)와, 이 DA변환기(18)의 출력단자가 비반전입력단자에 접속되는 버퍼회로(19)와, 이 버퍼회로(19)의 출력단자가 반전입력단자에 접속되고, DA변환기(18)의 출력단자가 비반전입력단자에 접속되는 차동증폭기(23)와, DA변환기(18)의 출력단자가 입력측에 접속되고, 출력측이 DA변환기(18)의 반전입력단자 및 제2 스위치(22)에 접속된 전류검출저항소자(21)를 포함한다. 따라서, 버퍼회로(19)의 출력단자는 전류검출 저항소자(21) 및 제2 스위치(22)를 직렬로 통하여 그 블록의 입출력단자(15)에 접속된다.
각 블록(12-i;i=1,2, …, n)의 차동증폭기(23)의 출력단자는 각 블록마다 설치된 스위치(23-i;i=1, 2, …, n)를 통하여 아날로그-디지탈 변환기(AD변환기; 25)에 접속된다. 또, 피시험 IC(11)의 전원단자핀에는 동작전원(26)이 접속된다.
전압인가 전류측정시에는 블록(12-1∼12-n)의 각 입출력단자(15)는 각각 피시험 IC(11)의 대응하는 핀에 접속되고, 각 블록의 제1스위치(14)를 오프, 제2스위치(22)를 온하여, DA변환기(18)에 시험전압에 대응하여 설정된 디지탈값을 입력하고, 이 DA변환기(18)에서 출력되는 시험전압을 피시험 IC(11)의 각핀에 인가한다.
이에 따라 피시험 IC(11)의 각핀에 흐르는 전류에 대응하여 발생하는 전류검출 저항소자(21)의 양단간의 전압은, 다음에 설명하는 바와 같이 구성된 차동증폭기(23)에 의해 검출할 수 있으므로 스위치(24-1∼24-n)를 순차로 온시킴으로써 그 온된 블록, 즉, 그 블록에 접속된 피시험 IC(11)의 핀의 압력전류에 대응한 전압이 AD변환기(25)에서 디지탈데이터로서 얻어지게 한다.
차동증폭기(23)는, 실제로는 가령 도 4와 같이, 그 반전 입력단자(27)가 버퍼(28)의 비반전 입력단자에 접속되고, 이 버퍼(28)의 출력단자가 그 반전입력단자에 접속됨과 동시에, 제1의 저항소자(29(R1))를 통하여 차동증폭기(31)의 반전입력단자에 접속되고, 이 차동증폭기(31)의 반전입력단자와 출력단자와의 사이에 제2 저항소자(35(R2))가 접속되고, 또, 차동증폭기(23)의 비반전입력단자는 제3의 저항소자(33(R3))를 통하여 차동증폭기(31)의 비반전 입력단자에 접속되고, 이 차동증폭기(31)의 비반전 입력단자는 제4의 저항소자(34(R4))를 통하여 접지되고, 그 출력단자가 차동증폭기(23)의 출력단자(36)에 접속된 회로구성을 갖는다. 따라서, 차동증폭기(23)의 출력단자(36)에는 반전입력단자(27)의 전압(VA)과 비반전입력단자(32)의 전압(VB) 사이의 차의 전압(VC)이 출력되고, 피시험 IC(11)의 각핀의 입력전류에 대응한 전압이 AD변환기(25)에서 디지탈데이터로서 각각 얻어진다.
차동증폭기(23)는, 동상(同相)신호제거비, 즉 2개의 입력단자(27,32)에 동상성분으로 입력된 신호를 제거하는 비율의 특성을 고려할 필요가 있고, 이 동상신호 제거비가 좋지 않으면 바르게 입력전류를 측정할 수 없다. 이 동상신호제거비는 저항소자(29,33,34,35)의 저항치의 오차에 의해 영향을 받는다.
저항소자(29,33,34,35)의 저항치를 각각 R1, R2, R3, R4로 하고, 각 저항소자의 저항치에 오차(α)가 있다고 가정하면 반전입력단(27)의 전압(VA), 비반전입력단자(32)의 전압(VB), 출력단(36)의 전압(VC)의 관계는 다음 수학식 1로 표시된다.
따라서, R1=R(1±α), R2=R(1α), R3=R(1α), R4=R(1±α), VA=VB로 하면, VC≒4α가 된다. 가령 VB=5V로 α=0.1%로 하면, 오차는 최대로 50×0.1%×4=20mV가 된다.
이같이 큰 오차가 생기기 때문에, 미소전류 측정에는 저항소자(29,33,34,35)로 하여 각각 현저히 고정밀도의 것이 필요하고, 그 결과, 고가의 것이 된다. 그 위에 연산증폭기(버퍼)나 AD변환기 오차도 각각 보정할 필요가 있다.
본 발명의 일 목적은, 고정밀도의 저항소자를 사용할 필요가 있는 차동증폭기를 필요로 하지 않고, IC에 흐르는 미소전류를 정확하게 측정할 수 있는 IC시험장치의 전압인가전류측정회로를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 연산증폭기나 AD변환기의 오차를 보정할 필요가 없는 IC시험장치의 전압인가 전류측정회로를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 있어서는 피시험 IC소자의 단자에 테스트 패턴을 인가하는 드라이버 출력측에 이와 직렬로 삽입된 전류검출저항소자와, 이 전류저항소자의 양단간에 접속된 제1스위칭수단과, 입력전압치를 디지탈데이터로 변환하는 아날로그-디지탈 변환수단과, 상기 전류검출저항소자의 각 단과 상기 아날로그-디지탈 변환수단의 입력단과의 사이에 각각 접속된 제2 및 제3 스위칭 수단과, 상기 제1의 스위칭 수단을 오프시키며 상기 드라이버에서 상기 전류검출저항소자를 통하여 상기 피시험 IC소자에 전압을 인가하고, 상기 제2 스위칭수단을 온, 제3스위칭 수단을 오프로하여 상기 아날로그-디지탈 변환수단의 출력데이터를 구하고, 상기 제2스위칭수단을 오프, 상기 제3 스위칭수단을 온으로 하여 상기 아날로그-디지탈 변환수단의 출력데이터를 구하고, 이들 양출력 데이터의 차를 구하여 상기 전류검출저항소자에 흐르는 전류를 얻는 제어수단을 구비한 IC테스터의 전압인가 전류측정회로가 제공된다.
상기 드라이버, 전류검출저항소자, 제1∼제3의 스위칭수단은, 피시험 IC소자의 각 단자마다 설치되어 있고, 상기 아날로그-디지탈 변환수단은 각 단자마다의 제2 및 제3 스위칭수단 모두에 공통으로 접속되어 있다.
바람직한 일실시예에 있어서는, 상기 드라이버, 전류검출저항소자, 제1∼제3의 스위칭수단은 피시험 IC소자의 각단자마다 입출력 블록으로서 설치되어 있고, 상기 아날로그-디지탈 변환수단은 모든 입출력 블록에 대하여 공통으로 1개 설치되어 있다. 또, 각 입출력 블록의 상기 제2 및 제3의 스위칭 수단과 상기 아날로그-디지탈 변환수단 사이에 블록선택스위칭수단이 각각 접속되어 있다.
상기 제어수단은 패턴발생기에서 부여되는 제어신호에 의거하여 상기 제1∼제3의 스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호, 및 상기 블록선택스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호를 발생한다.
상기 아날로그-디지탈 변환수단의 출력데이터를 기억하는 메모리가 설치되고, 상기 양 출력데이터의 차는 이 메모리에서 판독한 데이터에서 구해진다.
본 발명에 따르면, 펑션 시험시의 테스트패턴을 피시험 IC소자에 공급하는 드라이버의 출력측에 전류검출 저항소자가 직렬로 삽입되고, 이 전류검출 저항소자의 양단간에 제1스위칭수단이 접속되고, 통상의 펑션 시험시에는 이 제1스위칭수단에 의해 전류검출저항소자가 단락상태로 되고, 한편, 피시험 IC소자에 유입되는 미소전류를 측정할 경우에는, 가령 CMOS 디바이스에 입력누설이 있는지 여부, 또는 그 크기를 측정할 경우에는, 제1 스위칭 수단이 오프되고, 전류검출저항소자의 양단의 각 전압이 제2, 제3 스위칭 수단을 통하여 순차로 AD변환수단에 공급되어 각 전압치가 측정되고, 이들 양 전압치의 차에서 전류검출저항소자를 흐른 전류, 즉, 피시험 IC소자의 입력미소전류가 구해진다.
도 1은 본 발명에 따른 전압인가 전류측정회로를 구비한 IC테스터의 관련되는 회로부분을 나타내는 블록도,
도 2는 도 1에 도시된 전압인가 전류측정회로의 동작을 설명하기 위한 타임차트,
도 3은 종래의 전압인가 전류측정부를 구비한 IC테스터의 관련되는 회로부분의 1예를 나타내는 블록도,
도 4는 도 3에 도시된 차동증폭기(23)의 일구체예를 나타내는 회로도.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도 1 및 도 2를 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 전압인가 전류측정회로를 구비한 IC테스터의 관련되는 회로부분을 나타내는 블록도이다. 또한, 도 1에 있어서, 도 3과 대응되는 부분, 소자는 동일부호를 부기하여 나타내고, 필요없는 경우에는 그 설명은 생략한다.
이 실시예에 있어서는, 피시험 IC(DUT;11)의 핀마다 설치된 입출력블록(12-1, 12-2, …, 12-n; n은 피시험 IC(11)의 핀수와 같은 1 또는 그이상의 정수) 각각은, 피시험 IC(11)의 대응되는 핀에 제1스위치(14) 및 입출력단자(15)를 통하여 소정전압을 인가하는 드라이버(13)와, 피시험 IC(11)로 부터의 출력전압과 기준전압을 비교하는 비교기(16)와, 드라이버(13)의 출력단자와 제1스위치(14)와의 사이에 직렬로 접속된 전류검출저항소자(21)를 포함한다.
또한, 전류검출저항소자(21)의 양단간에는 제3의 스위치(41)가 접속되고, 또, 각 블록마다 설치된 블록선택용 스위치(24-i; i=1,2, …, n) 일단과 전류검출저항소자(21) 입력단과의 사이에 제4스위치(42)가, 블록선택용 스위치(24-i) 일단과 전류검출저항소자(21)의 출력단 사이에 제5 스위치(43)가 각각 접속되어 있다.
따라서, 이 실시예에서는, 각 입출력블록의 드라이버(13) 출력단자는 제3 스위치(41) 또는 전류검출저항소자(21) 및 제1스위치(14)를 직렬로 개재하여 그 블록입출력단자(15)에 접속되고, 드라이버(13) 출력단자와 제3 스위치(41)와의 접속점이 비교기(16)의 입력단자에 접속된다.
블록선택용 스위치(24-1∼24-n)의 각 타단은 버퍼회로(44)를 통하여 AD변환기(45) 입력단자에 접속되고, 이 AD변환기(45)의 출력단자는 데이터메모리(46)에 접속되고, AD변환기(45)에서 출력된 디지털데이터는 데이터메모리(46)에 기억된다. 버퍼회로(44)는 그 비반전입력단자에 블록선택용 스위치(24-1∼24-n)의 각 타단이 접속되고, 반전입력단자는 출력단자에 접속되어 있다.
또, 각 입출력블록(12-i)의 제3, 제4 및 제5의 스위치(41,42 및 43)를 온/오프 제어하는 제어신호(C,E 및 F), 각 블록선택용 스위치(24-i)를 온/오프 제어하는 제어신호(D)를 각각 발생하는 스위치제어회로(51)가 설치되고, 이 스위치 제어회로(51)는 패턴발생기(PTN; 49)에서 부여되는 제어신호(50)에 응하여 이들 제어신호(C,D,E,F)를 도 2C, 2D, 2E 및 2F에 도시된 것과 같이 발생한다.
다음에, 상기 구성의 IC테스터 동작에 대하여 설명한다.
패턴발생기(49)에서 부여되는 소정 테스트패턴에 응하여 드라이버(13)에서 출력되는 출력전압(VO)은 소요 시험 범위내에서 임의 크기의 전압으로 변경할 수 있고, 또, 그 설정된 전압의 테스트패턴을 피시험 IC(11)에 인가할 수 있다.
우선, 피시험 IC(11)의 펑션 시험을 실행할 경우에는, 드라이버(13)의 출력전압(VO)이 소요값이 되도록 설정하고, 이 상태로 도 2A와 같이 제1 스위치(14)를 온시키고, 도 2C와 같이 제3의 스위치(41)를 온시키고, 도 2E 및 도 2F와 같이 제4 및 제5 스위치(42 및 43)을 오프시키고, 도 2B와 같이 드라이버(13)에서 테스트 패턴(48)을 출력하여 피시험 IC(11)에 공급한다. 이에 따라 피시험 IC(11)의 펑션 시험이 행해진다.
다음에, 피시험 IC(11)의 핀에 흐르는 미소전류를 측정할 경우는, 가령, CMOS디바이스로 되어 있는 피시험 IC(11)의 미소입력전류나 입력누설전류를 측정할 경우에는, 도 2C와 같이, 제3스위치(41)를 오프시키고, 또, 패턴발생기(49)는 휴지상태 또는 루프상태로 하여 드라이버(13)에서 설정전압(VO)이 계속적으로 출력되는 상태로 한다.
이 상태로, 우선, 도 2D와 같이, 블록선택스위치(24-1)를 온시키고, 이 온상태의 전반부분만으로 도 2E와 같이, 제4스위치(42)를 온시키고, 후반부분만으로 도 2F와 같이 제5의 스위치(43)를 온시킨다. 즉, 블록(12-1)의 전류검출 저항소자(21) 양단의 전압을 온상태의 전반부분에서는 그 입력단측 전압을, 온 상태의 후반부분에서는 그 출력단측 전압을 각각 AD변환기(45)에 인가하고, 도 2G와 같은 디지탈 데이터(V1a, V1b)로 변환한다. 이들 AD변환된 디지탈데이터(V1a, V1b)는 데이터메모리(46)에 보내져 기억된다.
다음에, 블록선택스위치(24-2)를 온시키고 블록(12-2)의 전류검출저항소자(21) 양단의 전압을 각각 디지탈데이터(V2a, V2b)로서 데이터메모리(46)에 수용한다. 이하 동일하게 하여, 블록선택스위치(24-i)를 온하여, 블록(12-i)의 전류검출저항소자(21)의 양단의 전압을 디지탈데이터(Via, Vib)로서 데이터 메모리(46)에 수용하고, 최후로 블록선택스위치(24-n)를 온하여 블록(12-n)의 전류검출저항소자(21)의 양단의 전압을 디지탈데이터(Vna, Vnb)로서 데이터메모리(46)에 수용한다. 이하 같은 방식으로, 블록선택 스위치(24-i)를 온시켜, 블록(12-i)의 전류검출저항소자(21) 양단의 전압을 디지털데이터(Via 및 Vib)로서 데이터메모리(46)에 수용하고, 마지막으로 블록선택스위치(24-n)를 온시켜, 블록(12-n)의 전류검출저항소자(21)의 양단전압을 디지털데이터(Vna 및 Vnb)로서 데이터메모리(46)에 수용한다.
이와같이하여 모든 블록(12-1∼12-n)의 전류검출저항소자(21)의 양단의 전압을 각각 디지탈데이터로 변환하고, 데이터메모리(46)에 기억시키는 것이 끝나면 도 2C와 같이 제3스위치(41)를 온시키고, 그후, 도 2A와 같이 제1스위치(14)를 오프하고, 데이터메모리(46)에서 거기에 기억된 디지탈데이터를 판독하고(도 2H), 이어서 도 2I와 같이 각 블록(12-1∼12-n)에 있어서의 각 전류검출저항소자(21)의 양단의 전압차(V1a-V1b, …, Vna-Vnb)를 각각 구한다. 이에 따라 각 전류검출저항소자(21)를 흐른 전류치, 즉, 피시험 IC(11)의 각 핀마다의 유입전류값(입력누설전류값)에 대응한 전류값을 얻는다. 이들 값(V1a-V1b, …, Vna-Vnb) 그 자체 또는 이들 값이 각각 소점 이하인지 여부, 즉, 입력누설 유무를 시험결과로서 출력한다.
이상의 각 스위치의 온/오프 제어는, 패턴발생기(49)로부터의 제어신호(50)에 의해 스위치제어회로(51)를 제어하고, 도 2C, 2D, 2E 및 2F와 같은 제어신호를 발생하도록 구성하였으나, 기타 제어수단에 의해 스위치 제어회로(51)를 제어하여도 되는 것은 물론이다.
또한, 전류검출 저항소자(21)에 있어서의 전압강하가 크고, 피시험 IC(11)가 정상 동작하지 않을 우려가 있을 경우에는, 도 1과 같이, 전류검출저항소자(21)와 병렬로 서로 역극성의 다이오드(51,52)를 접속하여 일정 전압강하로 억제하면 된다. 단, 이 경우는 피시험 IC(11)의 입력전류치는 측정되지 않으나 입력누설전류가 있는지 여부의 판정은 행할 수 있다.
이상 설명한 바와같이, 이 발명에 따르면, 인가전압발생계에 종래기술과 같이 오차요인이 되는 연산증폭기(버퍼; 19)(도 3)를 필요로 하지 않는다. 또, 전류검출저항소자의 양단간의 전압을 검출하는데 차동증폭기(23; 도 4)를 사용하지 않기 때문에 동상신호제거비 오차가 발생할 염려가 없다.
그 밖에, AD변환기(45)는 전류검출저항소자의 각단의 전압을 디지탈데이터로 변환할 뿐이므로(양단간의 전압차는 메모리에서 판독한 후에 산출하기 때문에), 변환특성의 직선성이 충분하면 되고, 오차보정의 필요는 없다. 따라서, 고정오차가 포함되어 있어도 문제는 없다.
또한, 피시험 IC의 펑션 시험중에, 그 펑션시험에 있어서 설정한 출력전압(VO)을 미소전류 측정에 있어서도 그대로 사용하기 때문에 미소전류 측정을 위한 특별한 셋업은 필요하지 않다.
상기 설명한 바와 같이, 차동증폭기(23)를 사용하지 않기 때문에, 고정밀도, 고가의 부품을 각 핀(블록)마다 필요로 하지 않기 때문에 전체로서 상당히 염가로, 또 소형으로 만들 수 있다.

Claims (9)

  1. 피시험 IC소자의 단자에 테스트패턴을 인가하는 드라이버 출력측에 이와 직렬로 삽입된 전류검출저항소자와,
    이 전류저항소자의 양단간에 접속된 제1스위칭수단과,
    입력전압치를 디지탈데이터로 변환하는 아날로그-디지탈 변환수단과,
    상기 전류검출저항소자의 각단과 상기 아날로그-디지탈변환수단의 입력단 사이에 각각 접속된 제2 및 제3 스위칭 수단과,
    상기 제1 스위칭수단을 오프로하여 상기 드라이버에서 상기 전류 검출저항소자를 통하여 상기 피시험 IC소자에 전압을 인가하고, 상기 제2스위칭수단을 온, 제3스위칭수단을 오프로 하여 상기 아날로그-디지탈 변환수단의 출력데이터를 구하고, 상기 제2스위칭수단을 오프, 상기 제3 스위칭 수단을 온으로 하여 상기 아날로그-디지탈 변환수단의 출력데이터를 구하고, 이들 양 출력데이터의 차를 구하여 상기 전류검출저항소자에 흐르는 전류를 얻는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 드라이버, 전류검출저항소자, 제1∼제3의 스위칭수단은 피시험 IC소자의 각 단자마다 설치되어 있고, 상기 아날로그-디지탈 변환수단은 각 단자마다의 제2 및 제3 스위칭 수단 모두에 공통으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 드라이버, 전류검출저항소자, 제1∼제3의 스위칭수단은 피시험 IC소자의 각 단자마다 입출력 블록으로서 설치되어 있고, 상기 아날로그-디지탈 변환수단은 모든 입출력 블록에 대하여 공통으로 한개가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  4. 제 2 항에 있어서, 각 단자마다의 상기 제2 및 제3 스위칭수단과 상기 아날로그-디지탈 변환수단사이에 단자선택스위칭 수단이 각각 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  5. 제 3 항에 있어서, 각 입출력 블록의 상기 제2 및 제3 스위칭수단과 상기 아날로그-디지탈변환수단 사이에 블록선택 스위칭수단이 각각 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은, 패턴발생기에서 부여되는 제어신호에 의거하여 상기 제1∼제3 스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 제어수단은, 패턴발생기에서 부여되는 제어신호에 의거하여 상기 제1∼제3 스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호, 및 상기 단자선택 스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 제어수단은, 패턴발생기에서 부여되는 제어신호에 의거하여 상기 제1∼제3 스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호, 및 상기 블록선택스위칭수단을 온/오프 제어하는 제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 아날로그-디지탈 변환수단의 출력데이터를 기억하는 메모리를 포함하고, 상기 양 출력데이터의 차는 이 메모리에서 판독한 데이터에서 구해지는 것을 특징으로 하는 IC테스터의 전압인가전류측정회로.
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