TW315579B - - Google Patents

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.¾.. 經濟部中央揉準局貞工消費合作社印製 315579 at Β7 五、發明说明（1 ) [産業上之利用領域] 本發明係»於貼在印刷配線基板等之薄旗之剝雄方法及 裝置者。 [先前技術] 在如霉朦等之霄子器具上使用之印刷配婊基板係在絕緣 性底板之兩面或單面上形成有鋦等之指定_型之配線。 此種印刷配線基板係藉下述製程所製成。 首先，將一由感性樹脂（光刻膠）層與其保護用之透光性 樹脂薄膜（保護膜）所構成之曆合體鞴滾子予以熱歷固著而 層合於設在絕緣性基板上之導m層上。遒之，靥合以配媒 鼸型薄膜，透過此項配線画型薄膜及上述透光性樹脂薄篇 按指定時間使上述光刻膠曆露光。 其次，將透光性樹脂薄棋剝雄後，使露光之光刻應顯像 ，μ形成蝕刻遮蔽圈型，然後藉蝕刻除去上逑専電曆之不 箱要部份，糖此形成一具有指定配線圃型之印刷配镍基板。 在上述印刷配媒基板之製程中，有使上述覆蓋薄膜自動 剝離之薄膜剝離裝置或方法或倡議且在實腌中。 其中有一種例如日本專利特公平6-3 550號公報所示配置 之薄膜剝離裝置，其具有薄膜浮動櫬構藉振動器動桿之振 動給予由貼在基板上之感光性樹脂靥與透光性樹脂薄鹂所 構成之層合體薄膜之编部Μ施加敲打作用，導致透光性樹 脂薄膜有一部份從感光性樹胞層浮起來。 在如上述利用振動器動桿之振動Κ敲打層合體薄瞑之皤 部而使之浮起之剝離装置中，在基板之表面及背面之兩面 ·'^ 裝 訂 線 - - - .* (請先閲请背面之注意事項再填寫本瓦) · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 4 經济部中央搮準局員工消費合作社印製 015579 A7 B7 五、發明説明（2 ) 均貼有層合體薄膜之壜合•振動櫬之動稈係各別相對設在 $面儸及背面俩。 如此相對設置之目的為，將基板透過其表褢兩面（表面 及背面）之層合鰱薄膜藉動桿先鐲予以同步敲打，俾基扳 可受到表褢相等之力而防止非相對位置時發生之歪曲。 [本發明所欲解決之問題] 如上所述，在基板之表褢兩面貼有層合體薄膜之場合， 在此等表裹雙方之層合體薄膜之貼著位置上發生變動。在 此場合，層合體薄膜之基板前進方向靖部之位置在其與剝 離裝置之闞係上發生問題。 尤其是基板之表面與背面有時彼此在層合體薄膜之蝙部 位置上發生很大的差異，為了吸收tt種在基板表褢之層合 體薄膜端部位置上之偏差•可考盧的是，使動桿先皭以較 大行程自餳貼之餍合體薄膜之竭部位置至基板前進方向嬝 部位置移動，同時藉動桿先端確實敲打曆合賸薄膜之端部 Μ使浮起來。 在此埸合利用澍感器檢澜出層合體薄膜之«部位置•藉 Κ決定振動器動桿施加振動位置之起點，而此起點若非常 接近基板前進方向之先端，振動器動桿之先靖即使不在接 «基板之範圍内亦會執行按一定距離敲打基板之醣作，致 使動桿先竭互相空打•造成其損傷之問題。 再者，如上述使一對振動器動桿相對位於基板之表褢雙 方之場合雙方方之位置不一致時較薄之基板則會發生歪曲 *因此有必需Μ相當之精度設定上下之動桿位置之問S。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 5 (請先聞讀背面之注意事項再續寫本頁) -裝. 訂 經濟部中央揉隼局負工消費合作社印袈 Α7 Β7 五、發明説明（3 ) 本發明乃鑑於上述先前技術之問題所創案者，其目的在 於提供•即使在所採取之振動器動捍對基板加振之範画較 大時亦不會發生表褢之動桿互相空打Μ致受損之情事又可 容許振動器動桿先端之初期設定時之儀差，如此設計之薄 膜剝離方法及装置。 [解決問題之手段] 本發明為，相對於在表面及背面貼有由感光性樹脂層與 透光性樹脂薄膜所構成之層合體薄膜之基板，使振動器之 複数動稈先端以自上述表面側及背面俩夾持該基板之方式 互相相對，以將該等動桿之振動給予上述表面及背面之層 合體薄膜之端部，俾透光性樹脂薄膜一部份從感光性樹脂 層脫雄、浮動，而自該浮動部份起剝離薄膜之薄膜剝離方 法中，使上述基板有圔之表面傅及背面側之動桿先鑷之位 置循著基板面偏移，並且在各別與表面供動桿先皤、背面 供動桿先媒隔著基板及層合》薄膜相對之位置配置背面儼 支承檐件、表面衡支承構件，使此等表面供及背面《支承 構件各別所與相對之表面脚動桿先端及背面傷動桿先端同 步睫著基板及曆合®薄膜浮動*如此設法Μ達成上述目的。 此項薄膜剝離方法亦可Μ如申請專利範圍第2項所述， Μ基板表面及背面供之靥合«薄膜中自鄰接之基板嬝緣離 開得較違之層合體薄膜之端部作為上述動稈先蟠對靥合II 薄膜給予振動之起點，自此按一定距酿使表面側及背面« 動稈罝背面側及表面側支承構件在上述振動給予曆合級薄 膜之下移動。 本紙張又度適用中國國家橾準（CNS ) Α4洗格（2丨0Χ297公釐） 6 I----:------ρ^.-- (请先«讀背面之注意Ϋ項再填窝本X) 訂 線 315579 A7 B7 經矜部中央揉準局員工消资合作杜印袈 五、發明说明 4 ) 1 1 f 再 者 如 請 專 利 範 圃 第 3項所述，上述背面锂及表面 1 i 1 m 支 承 構 件 亦 可 >λ 為 可 沿 著 動 桿移動方向接觸滾轉（即在 1 1 1 與 層 合 體 薄 膜 接 觸 之 下 滾 轉 )之滾子。 請 先 I 再 者 本 發 明 為 具 有 相 對於在表面及背面貼有由感光 閎 讀 背 I 1 1 性 樹 脂 層 與 透 光 性 樹 脂 薄 膜 所 構成之層合髖薄鼸之基板使 之 注 1 1 表 面 两 及 背 面 俩 之 振 動 器 先 蟠 Μ自上述表面供及背面«夾 意 事 1 項 1 持 該 基 板 之 方 式 互 相 相 對 Μ 將該等動稈之振動給予上述 再 填 表 面 及 背 面 之 層 合 體 薄 膜 之 编 部使透光性樹脂薄膜一部份 寫 本 頁 装 從 感 光 性 樹 脂 層 脫 雄 而 浮 動 之 薄膜浮動懺構及使該浮動部 1 1 份 之 薄 膜 剝 閭 之 薄 膜 剝 雄 播 溝 而構成之薄臢剝離装置中* 1 I 使 上 逑 基 板 為 基 準 之 表 面 傅 及背面儸之動桿先靖之位置 1 1 訂 循 著 基 板 面 偏 移 並 且 在 各 別 與 表面儺動桿先端、背面衡勖 1 稈 先 端 隔 著 基 板 及 層 合 體 薄 膜 相對之位置設置各別與所相 1 1 對 之 表 面 側 動 桿 先 端 、 背 面 供 動桿先端同步皤著基板及層 ! I 合 體 薄 膜 接 觸 移 動 之 背 面 傷 支 承構件及表面傷支承嫌件， 線 如 此 設 計 Μ 達 成 上 逑 百 的 者 0 1 其 亦 可 >λ 如 請 專 利 範 醑 第 5項所述，將上述背面铒支 承 構 件 及 表 面 傅 支 承 構 件 各 別 支持於背面儸振動器之支持 1 | 構 件 及 表 面 俩 振 動 器 之 支 持 構 件° I 再 者 亦 可 如 申 請 專 利 範 圃第6項所述，由硬質橡膘 1 櫛 成 上 述 背 面 側 及 表 面 供 支 承 構件。 1 1 亦 可 如 申 請 專 利 範 圍 第 7項所述，以滾子為上逑背面 1 j 俩 支 承 構 件 及 表 面 儸 支 承 構 件 〇 1 亦 可 Μ 如 Φ 請 專 利 範 園 第 8項所述，使上述薄膜浮動機 言 1 1 本紙浪尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4说格（210X297公釐） 經濟部中央橾隼局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 構之嫌成包括使上述表面側動桿先鏽及背面供動桿沿著上 逑基板之前進方向相對移動之動桿移動櫬構在内。 亦可以如申請專利範園第9項所述，使上述薄膜浮動櫬 構具備有：上述表面側層合體薄棋及背面俩曆合體薄膜之 基板前進方向先端檢測用之薄膜先蟠澍感器；轚根據此項 薄瞑先端测感器之输出信號以檢知自基板之前進方向先靖 雄得較遠之一方之曆合S薄膜之先婕而控制上述動稈移動 機構Μ使上述表面倒及背面傅動桿先端和支承滚位於上述 先皤部（即上述較遠之一方之層合通薄胰之先薄部）並且自 此按一定距離沿著上述基板之前進方向移動之控制装置° 亦可Μ如申請專利範圍第10項所逑，使上迷層合趙薄膜 測感器具備有可輿基板之表面及貼在該基板上之層合賊薄 臢接觸之一對沿基板寬度方向分開配置之導電性接觸子’ 該一對導電性接觭子在其與基板表面之導電靥接觸時被専 通，而於搭在層合«薄膜上使等通轚縴時轆出薄膜檢出信 號。 [作用及玫果] 依照申請專利範圃第1項之發明，在各別與表面供及背 面倒動稈先媾隔著層合體薄膜及基板相對之位置各別面置 有背面供支承構件及表面供支承構件以作為動捍先嫌敲打 層合體薄膜時之承受台，因此在表面儸及背面側動桿先皤 循著基板面僑移配置之下，即使在表裡不同之位置敲打基 板亦不會發生基板之歪曲，從而在表面傅及背面側先竭之 位置設定時可容許餳差°再者，即使在動桿先竭脱®基板 本纸張尺度逍用中國國家揉準（CNS)A4規格（ 210X297公釐） _ δ ~ I---.------&------1Τ----- . i J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . A7 B7 經濟部中央樣準局負工消资合作社印裝 五、 發明説明 (6 ) 1 1 之 埸 合 9 亦 由 於 表 面 僳 與背面餺之 動桿先箱彼此不相對， 1 1 I 不 會 發 生 此 等 動 桿 互 相 空打而受損 之情事。 1 1 I 依 照 串 請 專 利 範 園 第 2項之發明 即使在其基板表面及 請 先 1 背 面 之 層 合 « 薄 膜 繡 部 位置有很大 之僑差之壜合，亦可確 W 请 背 I 面 I 實 達 成 剝 雕 〇 之 注 I 1 依 照 甲 請 專 利 範 圈 3項之發明，由於支承_件為沿著動 意 事 1 I 桿 移 動 方 向 滾 接 之 滾 子 ，在移動時 不致擦傷薄膜*又由於 再 填 1 對 動 桿 先 端 滾 轉 輿 該 動捍先端直 接接觸之際，不致有同 寫 本 % 装 1 一 部 位 被 敲 打 因 此 其 損傷少。 1 1 依 照 甲 請 專 利 範 圍 第 4項之發明 具有下述效果♦•即使 1 | 使 表 面 倒 及 背 面 餺 之 動 桿先端之位 置僑移，亦不致造成基 1 訂 板 之 歪 曲 5 又 於 表 面 稱 及背面俚動 桿先端之位置設定之際 1 可 容 許 偏 移 再 者 即 使在不接觸 基板之位置使動桿振動 1 1 9 亦 不 會 發 生 表 面 傳 及 背面《之動 捍先嫌互相空打所致之 1 1 損 傷 0 」 線 依 照 申 請 專 利 範 醺 第 5項之發明 使表面侧動桿輿背面 1 1 側 動 桿 同 步 移 動 時 背 面傷支承檐 件及表面傅支承構件則 1 醣 之 移 動 而 始 终 Μ 面 對方式被Ε 置於各別所相爵之表面 1 側 動 桿 先 端 背 面 俩 動 稈先端。 I 依 照 請 專 利 範 圃 第 6項之發明 由於支承櫛件係由硬 1 1 I 質 橡 膠 所 m 成 可 吸 收 其相對之動 桿先端之打擊所引起之 - 1 1 衝 擊 同 時 由 於 Μ 面 接 觴於基板及 雇合强薄膜*亦可容許 1 1 其 與 所 相 對 之 動 桿 先 竭 之若干位置 餳差。 1 I 依 照 串 請 專 利 範 園 第 7項之發明 由於表面俩及背面供 1 1 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局負工消費合作社印装 315579 at _B7___ 五、發明说明（7) 支承構件為滾子，在動桿移動時不致擦傷薄縝表面’並且 在空打時動桿先蟠不致敲打同一部位*因此，支承溝件之 損傷很少。 依照申請專利範園第8項之發明，利用動稈移動橢構時 可將動桿先编及與此相對之支承滾設定於基板上之曆合18 薄膜之任遘之位置上，且即使在表面友背面之雇合膻薄膜 貼著位置有僱差之場合*亦可確實使動桿先嬙起作用而使 薄膜脫雛、浮動。 依照申請專利範園第9項之發明，利用薄P先嬙《感器 時可檢出表面俩及背面側之層合«薄膜之先嬙位置*而以 其中自基板先嬙離得較遠之先嬌部為基準，設定表面側及 背面倒動桿先端，自此在控制装置控制之同時按一定距離 範圍敲打曆合體薄膜之下移動即可確實使薄膜說離、浮動。 依照申請專利範酾第10項之發明，當層合B薄_之一對 導電性接觸子搭在層合膜薄膜時可確實檢出其先嬙。 [實施例] 以下參照附國說明本發明之實施例。 本實施例有闞之@膜jil jg裝置10為，具有：相對於Μ感 光性樹脂層11Α輿透光性樹脂薄膜11Β層合成之層合贖薄縝 <--- ---------· --—_ 12Α、12Β貼在表面及背面而構成之可於通行媒14 Α上前進 之基板14使一钍表面側振動器16A及背面俩振動器16B之表 _ . — 面俩動桿18 A、背面側動桿_1 8B之先端以自表面僳及背面雋 夾持基板14之方式彼此栢對·以將此等動桿之振動給予上 述表面、背面之靥合體薄膜12A、12B之竭部而使透光性樹 本紙張尺度適用t國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 10 ^----；------—β------ΐτ------i . . < i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本X ) 8· 經濟部中夬棣準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 脂薄膜11B—部份從感光性樹胞層11纟脫雛而浮動之薄膜浮 動襯櫞20 e使該浮動部份之薄膜剝開之薄膜剝離糖構22* - 1 -- - - 其中安排Μ該基板14為基準之表面側及背面側之動稈18A 、18Β先端之位置使之循著基板14之表面沿該基板前進方 _正交之方向（基板寬度方向）僑移，並且在各別與表面儸 動桿先端18Α、背面儸動桿18Β隔著基板14及層合艟薄嫫 12Α、12Β相對之位置設置各別與所相對之表面側動稈18Α 先端、背面側動桿18Β先蟠同步醣著基板14及靥合髗薄賸 12Α、12Β滾接移動之背面俚支_承滾2 4Β及表面俩支承滾24Α。 在此，上述表面俩支承滾24 Α係被支持於表面«振動器 16 A之支持構件26A，而背面側支承滾24B係被支持於背面 ^ -- 〆 倒振動器16B之支持櫞件26B。 再者，此等表面傷及背面俩支承滾24 A、24B係藉與基板 14之前進方向正交之轉轴可自由旋轉支持之硬質橡膠輪所 溝成。 上述薄臢刹離檄構22係與上述表面脚及背面側振動器 16A、16B相對應地各別被設在圖1中之上、下方，且具備 有先端扁平且圼扇形擴展狀之_空氣噴嘴22A、22B，薄此所 構成。 此等空氣噴嘴22A、22B各別固著於上述支持溝件26A、 26 B*而K其中心袖線各別可外接於上述表面侧支承滾24A 及背面側支承滾24B之基板（14)通行線14俚之圊弧之方式 被配置者。圔1中之符號25A、25B表示對空氣噴嘴22A、 22B供給朦力空氣用之空氣軟管。 本紙張又度通用中國國家棵準（CNS ) A4规格（210 x 297公釐） -11- II I 裝 訂 線 - . . < 二 (請先«讀背面之注意事項再填寫本貰) A7 B7 經濟部中央標準局貞工消費合作社印褽 五、發明説明（9 ) 在此，上述表面側支承滾24 A及背面傅支承滾24B各別透 通支持框架28A、28B被支持於上述支承構件2δΑ、26B°支 持框架28A、28B具有與動桿轴線平行之長孔29’而在該長 孔29中明接於動桿支持構件26A、26B®之嫘栓27’藉此設 成可自由調節動稈中心釉線方向之位置。 上述動桿支持構件26 A、26 B均藉由垂直方向之長條形通 路30A、30B支持至可自由調節上下方向之位置。長條形通 路30A、30B中，有固定側構件31被固定於水平杆3 2A、32B ，另有上下移動構件33藉强簧34A、34B各別在往上方被加 势之狀態下可自由滑動支持於固定儸嫌件31° 上述水平杆32A、32B呈水平且舆基板14之先嬙平行被配 置於通行埭14A之上、下方，其長度方向兩嬙自装置之左 右俩壁35突出，而在突出之兩襯如圖2、圈3所示，各別逮 接至上儸齒條36A及下俩齒條36B之上端及下嬙。 此等上髑齒條36A及下儸齒條^被安排Μ與配置於通行 線14Α高度位置之小齒輪38嚙合，藉此可朗著接近通行媒 14Α之方向及艨賭通行線14Α之方向同步地往上、下移動。 更詳细而言，在前述上側齒條36Α連接有氣缸40’而設 計至藉此一氣缸40透過上《水平杆32Α來軀動上«齒條36Α 時可透通小齒輪38同步驅動下側齒條36Β。 上述上供齒條36Α、下傭齒條36Β、小齒輪38、氣缸40各 ---------------------- ----------—-- _別被配置於上下之水平杆32A、32B之兩嬙，而被設計至可 左右同步在保持水平杆32A、32B之水平狀態下往上下移動。 再者，上述表面側及背面側振動器16A、16B，表面«及 ---------<------，訂-----丨# . ( < (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度逋用中國國家揉準（CMS ) A4规格（210X297公釐） -12 - 經ia-部中央揉準局負工消費合作杜咿装 315579 ' A7 B7 五 '發明説明（1 o ) 背面俩支承滾24A、2 4B，及上述水平杆32A、32B各別按左 右各一對之方式設置之，此外，上述空氣嗔嘴22A、22B按 每餚振動器裝設2支之方式配置之。從而，以每偁振動器 而言，有1届支承滾及2個空氣唄嘴構成至可一體移動。 圈2、國3之符號40 A、40 B表示可自由滑動插通上述水平 杆32A、32AM供該項水平杆引導用之垂直方向導桿。此等 専桿40A、40B藉固定塊體41A、41B被支持於移動塊髏42。 上述移動塊體42支持有前述上側及下側齒條36 A、36B* 小齒輪38M及等桿40A，同時被支持至可循著設在供壁35 外铕之導軌46 A及形成於側壁35—部份之軌部46B與上述通 行線14A平行移動。 再者，在上儺之専軌46 A有第二移動塊»48被K置至可 輿移動塊體42同樣與通行嬝14A平行移動。 此項第二移動瑰賸48之下靖與小齒輪50A(此小齒輪係與 基板14進給用之進給滾50連斷者）嚙合K達接至該小齒輪 所蹯動之水平方向之齒條52，藉此使第二移動塊髖48可與 被該滾50所送邊來之基板14同步移動。 另在第二移動塊體48配置有氣缸54，其桿54A速接至上 述移動塊體48在一定範圍内循著通行媒14A移動，且藉圈 示之控制裝置56控制氣缸54以腌行移動塊» 52與第二移動 塊臞48之相對位置之控制。 再者，在上述第二移動塊《48連接有安裝在側壁44俩之 第二氣缸58之桿58A，箱Μ利用第二氣缸58可使該塊朦48 連同齒條52循著通行埭14Α往復移動。 本纸法尺度逋用t國國家揲準（CNS ) Α4洗格（210X297公釐） I---—-----矣------tr------^ - 一 -(請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) ΚΙ Β7 經濟部中央樣準局貞工消費合作社印袈 五、 發明説明 (u) 1 1 I 從 而， 基 板 14可 拜第 二 氣 缸58透邊齒條52及小 齒 輪 50A 1 1 | > 輿 第一 移 動 塊 ϋ 48同 步 被 驅動。 /«—V 1 I 再 者， 在 完 成 薄 膜剝 離 作 業之基板被送出後， 齒 條 52及 請 先 Μ 1 I 第 二 移動 塊 η 48則 藉第 二 氣 缸58之作用歸回至迎 接 下 一基 讀 背 Ί 板 之 位置 即 形 成 等候 備 用 之位置。此際，在小 齒 輪 50A 面 之 注 1 1 嵌 合 有單 向 袖 承 (省略其圈示），因此進給滾50不 會 逆 轉0 $ 項 1 | 在 上述 移 動 塊 體 42 一 體 支 持有上下之第二水平 杆 60A ' 再 填 60Β >此等第二水平杆60 A > 60 B在與前述上下之水平杆32A 本 頁 1 32Β平行且等距離之位置沿通行埭14Α方向被固 定 〇 1 1 在 上述 移 動 塊 體 42如 圖 2 >圖4所示，藉由氣缸 61A ' 61B 1 1 各 別 支持 有 薄 膜 先 端潮 感 器 62A、62B及基板先嬝 澜 感 器64。 1 訂 此 等測 感 器 連 同 剝離 薄 膜 測感器66A、66B被配 置 於 上述 1 左 右 各一 對 之 表 面 價及 背 面 側動桿18A與18B間之 位 置 〇 1 1 '二 再 者， 此 等 澜 感 器係 如 醒 4所示沿通行嬢14A方 向 顒 著基 1 1 板 移 行方 向 配 置 薄 膜先 靖 澜 感器62A、62B，基板 先 皤 潇感 _ 1 線 器 64Μ及 剝 離 薄 膜 澜感 器 6 6 A > 6 6 B ° 1 I 上 述薄 膜 先 端 m 感器 62A 62B乃如画5所示具備有- -對 1 1 沿 基 板寬 度 方 向 分 離之 導 電 性接觴子68A、68B · 其 與 貼在 基 板 14之 表 面 及 背 面上 之 導 電曆接觸時被専通者 9 已 設計 1 至 當 其搭 在 曆 合 髖 薄購 之 先 蟠上而斷絕導通時可 將 先 蟠檢 1 I 出 信 號输 出 至 上 述 控制 裝 置 56 ° 1 | 再 者， 上 逑 基 板 %像 测 感 器64為光澜感華，當 兩 者 間之 1 1 光 被 基板 14之 先 m 遮醑 時 * 檢拥出該先通而將檢 出 信 號轤 1 1 出 至 上述 控 制 装 置 56 〇 1 1 -14 - 本纸張尺度適用中國國家棣準（CNS ) Α4規格（210X297公釐.〉 14 經濟部中夬橾準局員工消资合作·杜印裝 A7 __B7___ 五、發明説明（1 2 ) 此外·上述剝鐵薄謨灌想器66A、66B係一種光》慼器用 Μ檢测藉上述薄膜浮動檐構20及薄縝剝離機構22剝雛之薄 膜者。 又按，當薄膜先雜澜感器62Α、62Β進入檢拥姿態時被氣 缸61Α、61Β移近通行線14Α，而於檢出薄膜先潘後立即被 氣缸61Α、618«轉以退回至原來之維開通行嬢14Α之位置1 其次，說明上述實施例裝置之作用。 首先Μ第二移動塊體48已被第二氣缸58定位固定於候用 位置者為基準，藉氣缸54使移動塊»42沿圈4所示之通行 媒方向移動而定位。再者，藉氣缸將薄膜先纗澜感器62Α δ2Β沿通行線方向推出Μ形成圈6(A)至國6(B)所示之狀 態，而進入其檢測基板14之導霣層之準備姿慇。 在此狀態下，藉進給滾將基板14其表面及背面配置有層 合體薄膜12Α、12Β者循著通行媒14Α朝上述澜感器及薄鹛 浮動機構20、薄膜剝離櫬構22之方向送過來。 當基板14之先墙如画6(C)所示*進入上下之寒電性接觸 子之間並擴開其間而到達圄4之符號65所示之基板先灌檐 測線時，該先端則被基板先蟠澜感器64檢出。此時’上下 之薄膜先端測感器62Α、62Β之導霣性接觸子>8Α、68Β舆基 板14之等電餍（鎘箔）69接《而被導通，其次在曆合睡薄膜 12Α、12Β與薄膜先端澜感器62Α、62Β之雙方或一方之導霣 性接觴子68Α、68Β接觸時，該項導通則被遮新。 在控制裝置56中，Μ薄膜先端測感器62Α、628檢出表面 及背面之層合體薄膜12Α、12Β燮方之前端時為基準，進入 本紙張尺度適用中國國家揉隼（€奶）人4規格（210父297公釐）~~— ~ 1 5 _ ----------裝------訂-----—線 ' 一 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . ,·ϊ.:^ί 經濟部中央樣率局員工消资合作社印袈 A7 B7五、發明説明（13) 下述步》。 其次•氣缸58拉動第二移動塊體48，以透通齒條52箱小 齒輪50A使基板14與第二移動塊理48同步前進。 其次，藉氣缸40透遇齒條36A、36B鼷動上俩及下儸水平 杆32A、32B而設定表面供及背面側振動器16A、16B，表面 儸及背面倒動桿13A、18B，表面側及背面併支承滾24A、 24B，空氣嗔嘴22A、22B之上下方向之位置，為此項設定 之位置，動稈之先靖被安排至可接觸薄膜表面上之自薄膜 先皤向内之部位。 當基板14前進至造成前述上下之薄g先端拥@器62 A、 62B均新電之瞬間起_，有壓力空氣進給第二氣缸58、氣缸 40 Μ及振動器16A、16B，而在片刻後亦掰氣缸54進給壓力 空氣。同時壓力空氣自空氣唄嘴22Α、22Β嗔出。此時，供 . -- 薄膜先端澜感器62Α、62ΒΚ抵該基板14用之氣缸61Α、61Β 之空氣被抽出，使此等溽想器位於離開基板之位置。 在該移動塊«42及第二移動塊膻48開始水平移動之同時 *振動器16Α、16Β亦開始振動，且發生表面俩動稈18Α、 背面側動稈18Β與基板14之接觚•此項接觸後立刻引趄移 動塊髖42被驅動Μ嫌短其與第二移動塊«48之距離。 在上述過程中•氣缸54按設定距離拉動該移酚塊»42。 從而，表面側及背面供動桿18Α、18Β之先端醐於層合體 薄膜12Α、12Β及基板14之作用係在與該基板14同步移動之 下且按預先設定之距離敲打層合髓薄膜12Α、12Β之同時移 往基板14先端方向。 ； 裝 — 訂 線 . ( ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS > Α4规格（210X297公釐） 16 〇15579 A7 B7 經濟部中央椟準局負工消费合作社印製 五、發明説明（14) 若將此項移動時之行程採取得較大*則可吸收基板14之 表面及背面之曆合»薄臢12A、12B之貼著位置之變動即其 先蟠與基板14先嫌之距離之變動而確實敲打層合《先嬙部。 被表面《及背面《動桿18A、1 12A、12B $之透光性樹脂薄嫫11B則從感光性樹脂暦11A浮 起來·對此自薄膜剝離機構22之空氣唄嘴22 A、22B噴射壓 力空氣時，該浮起部份則剝開。剝開後•蕹薄旗进給裝置 …〜 ~ 、 (省I其圖示）自剝雄部份起顚次從基板拉開逋光性樹脂薄 膜11B，而予Μ排出通行埭外。 I 在此，上述表面俚動‘稈18Α及背面傷動桿18Β各沿基板14 之寬度方茼鴒移，由於各別透遇基板14在相反侧S置有支 • · -— - · 承滾24Β、24Α，即使從表面側及背面側同時用動桿蕺打基 板14·孩基板亦不會發生歪曲。 再者，薄氣缸54适邊移動塊» 42使表面儺及背面供動桿 18Α、18Β對基板14柜對移動時，即使在上述表面傳動桿 18Α及背面傅動桿 1不在接觴基板14先皤之範_之壜合亦不 發生互相敲打之情事，從而不會因空打而損傷》稈。 再者，由於與表面供及背面側動桿18Α、18Β相對之背面 俩支承滾14^表面《支i滾24A係由«質，膠所製成，對 基板14及層合埋薄»12Α、12B形成面接觸，因此即使在支 承滾之位置對所相對之動桿有若干鴒差之情況，亦可於動 桿打擊時確實保持基板。 在透光性樹脂薄膜11B被剝艨後，基板14通邊第二移動 塊體48之位置而被挑出裝置外，另一方面，移動塊《42、 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂 線 本紙張尺度適用t國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） Γ7 五、發明説明（1 5 A7 B7 經濟部中夬樣準局貞工消*·合作社印袈 第二塊體48及齒條52皆鞴氣缸58移回至待櫬位置。 以後反覆與上述相同之步嫌而進行薄臢之剝離。 又按在上述實施例中•支承滾係由硬質橡驂輪所構成， 但此物主要能從相反«支承動桿先端對基板之打擊即可， 因此其亦可以為软質橡隳滾、金羼滾、或橡膠板櫛件等。 另在上述實施例中，支承滾係被支持於振動器支持構件 ，但本發明並未被限定於tt，其亦可以設法獮立支持之， 主要能與相對之動桿先铕同步移動。 [蹯式之簡單說明] 圔1為本發明有鼷之薄膜剝雛装置實施例之要部予Μ放 大繪示之側視圖。 圖2為該實腌钶之薄膜剝雛装置從後方所視之後視_。 圓3為相當於圃2之I - I媒部份之儸視鼯。 鼷4^||j示該實撫例装置之激感器部份近旁之側視國。 _大顯示該實施例之薄膜先埔澍感器之斜視麵 示薄膜測感器之作用之概略剖視圈 明] … 薄膜剝離装置，12A、12B . . .1 髖薄膜，14...

# · ♦

基板，14A...通行線，16A...表面器，16B ...背面 俩振動器，1 8 A ...表面儼動桿* 18 面儸《Τ捍’ 2 0 .. 薄膜浮動檐構，22·..薄膜剝雛懺構，22A、22B...空氣嘖 嘴，24A...表面儺支承滾，24B...背面俩支承滾，26A、 26B...動桿支持構件，32、32A、32B...水平杆，36A... 上俩齒條，36B...下側齒條’ 38 ' 50A· ·.小齒輪’ 40A. · · 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 18 - £r 之 注 意 I ί-' 寫贫 本本 頁 订 ^15579 A7 B7 五、發明説明（1 6 ) 導桿，42...移動塊體，48...第二移動塊瀝，56...控制 装置，60A、60B...第二水平杆，62A、62B...薄膜先端測 感器，64...基板先皤澜感器，68A、68B...導電性接«子 《音]鑛I轉t儀 (請先閱請背面之注意^項再填寫本頁) 装 訂 線 經濟部中央搮準局負工消費合作社印製 19 本紙張尺度適用中國國家搮率（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 8888 ABCD 經濟部中央標準局貝工消*合作社印裝 六、申請專利範 圍 1 1 | 1 . 一 種 薄 隳 剝 離 方 法 % 係 相 對 於 在 表 面 及 背 面 貼 有 由 感 1 1 1 光 性 樹 脂 曆 與 适 光 性 樹 脂 薄 m 所 構 成 之 層 合 « 薄 膜 之 基 板 1 1 f 使 振 動 器 之 複 数 動 桿 先 嫌 以 白 上 述 表 面 傅 及 背 面 m 夾 持 S 請 先 1 該 基 板 之 方 式 互 相 相 對 Μ 將 該 等 動 桿 之 振 動 給 予 上 述 表 面 閲 讀 背 .|-1 及 背 面 之 曆 合 體 薄 膜 之 皤 部 俾 透 光 性 樹 脂 薄 膜 一 部 份 從 面 之 1 1 感 光 性 樹 脂 靥 脫 雛 、 浮 動 而 自 該 浮 動 部 份 起 剝 離 薄 膜 之 薄 意 事 1 1 項 1 膜 剝 離 方 法 其 特 戡 為 使 上 述 基 板 為 基 準 之 表 面 钿 及 觜 再 填 面 側 之 m 桿 先 端 之 位 置 循 著 基 板 面 播 移 » 並 且 在 各 别 與 表 寫 本 頁 装 1 面 倒 動 桿 先 端 > 背 面 側 動 桿 先 端 隔 著 基 板 及 雇 合 理 薄 膜 相 1 I 對 之 位 置 配 置 背 面 側 支 承 構 件 表 面 側 支 承 m 件 使 此 等 1 * I 背 面 側 及 表 面 側 支 承 構 件 各 別 與 所 相 對 之 表 面 m 動 桿 先 播 1 1 訂 及 背 面 側 動 桿 先 皤 m 步 m 罾 基 板 及 靥 合 « 移 動 者 〇 1 2. 如 請 專 利 範 園 第 1項之薄膜剝離方法 其中Μ基板 1 1 表 面 及 背 面 之 靥 合 通 薄 臢 中 m 接 基 板 灌 緣 離 §8 得 較 适 之 1 I 靥 合 體 薄 m 之 m 部 作 為 上 述 動 桿 先 m 對 曆 合 艚 薄 膜 給 予 振 -4 Μ 動 之 起 黏 自 it 按 一 定 距 離 使 表 面 供 及 背 面 傷 動 桿 先 類 暨 1 I 背 面 供 及 表 面 傭 支 承 構 件 在 對 靥 合 β 薄 膜 給 予 振 動 之 下 移 1 動 者 0 1 3 . 如 申 講 專 利 箱 画 第 1或2項 之 薄 膜 剝 離 方 法 » 其 中 該 項 I 背 面 俩 及 表 面 俩 支 承 m 件 為 可 沿 著 動 桿 移 動 方 向 接 觸 滾 轉 1 之 滾 子 者 〇 1 4 . — 種 薄 膜 剝 離 裝 置 » 其 具 有 • 相 對 於 在 表 面 及 背 面 貼 1 1 有 由 感 光 性 樹 脂 層 與 透 光 性 樹 脂 薄 膜 所 嫌 成 之 歷 合 膻 薄 膜 1 1 之 基 板 使 表 面 側 及 背 面 側 之 振 動 器 動 桿 先 媾 Μ 白 上 述 表 面 1 1 本纸張尺度遑用中國國家揉率（CNS ) A4規格（210X297公釐） AS B8 C8 D8 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印裝 六、申請專利範 圍 1 1 供 及 背 面 側 夾 持 該 基 板 之方式 互 相 相 對 1 Η 將 該 等 «Τ 桿 之 1 1 振 動 給 予 上 述 表 面 及 背 面之曆 合 II 薄 膜 之 端 部 使 适 光 性 樹 1 1 脂 薄 膜 - 部 份 從 感 光 性 樹腊曆 脫 離 而 浮 動 之 薄 膜 浮 m 糖 構 請 ί 1 先 1 及 使 該 浮 m 部 份 之 薄 膜 剝開之 薄 m 剌 離 櫬 構 而 m 成 之 薄 m 閲 讀 I 剝 雄 裝 置 9 其 特 戡 為 f 使上述 基 板 為 基 準 之 表 面 « 及 背 面 η it 之 1 1 注 | 供 之 動 桿 先 钃 之 位 置 循 著基板 面 餳 移 > 並 且 在 各 別 與 表 面 1 項 I m 動 桿 先 靖 背 面 供 動 桿先蟠 隔 著 基 板 及 靥 合 « 薄 膜相 對 再 填 1 -1—k 之 位 置 設 置 各 別 與 所 相 對之表 面 價 動 桿 先 蟠 背 面 俩 m 桿 % 本' 頁 裝 I 先 端 同 步 隨 著 基 板 及 層 合艚薄 臢 接 觴 移 動 之 背 面 供 支 承 構 1 1 I 件 及 表 面 側 支 承 m 件 者 0 1 1 5 . 如 申 請 專 利 範 圃 第 4項之薄膜剝離裝置 其中背面侧 1 | 支 承 構 件 及 表 面 支 承 構件各 別 被 支 持 於 背 面 儼 振 動 器 之 -訂 1 支 持 構 件 及 表 面 酱 振 動 器之支 持 m 件 者 0 1 1 6 . 如 申 讅 專 利 箱 圃 第 4或5項 之 薄 m 剝 離 装 置 其 中 該 項 1 1 | 背 面 傅 及 表 面 傅 支 承 嫌 件為由 硬 質 橡 m 所 構 成 者 〇 I 7 · 如 甲 講 專 利 範 圃 第 4或5項 之 薄 m 剝 離 裝 董 其 中 該 項 1 背 面 俩 及 表 面 供 支 承 構 件為滾 子 者 〇 8 . 如 甲 讅 專 利 範 画 第 4或5項 之 薄 膜 剝 離 装 置 $ 其 中 該 項 1 薄 膜 浮 動 櫬 m 為 包 括 使 該等表 面 侧 動 桿 先 m 及 背 面 俩 動 桿 1 1 I 先 蠼 沿 著 該 基 板 之 前 進 方向相 對 移 動 之 勘 桿 移 m 櫬 嫌 而 m Ί 成 者 〇 * * 1 9 . 如 申 講 專 利 範 圃 第 8項之薄膜剝雛装置 其中該項薄 1 I 膜 浮 動 櫬 構 具 備 有 * 上 述表面 儒 靥 合 通 薄 臢 及 背 面 供 層 合 1 1 薄 膜 之 基 板 前 進 方 向 元彌饿 測 用 之 薄 膜 先 蟠 拥 感 器 ; 暨 1 1 本紙張尺度逍用中固國家標率（CNS > A4洗格（210X297公釐） 六、申請專利範圍 根據該薄膜先嬝澜感器之鎗出信號以檢知自基板之前進方 向先嬙離得較遠之一方之曆合《薄膜之先蠼而控制該項動 桿移動櫬樽以使上述表面側及背面側動桿先蟠和支承滾位 於上述較遠之薄膜先端部且自此按一定距離沿該基板前進 方向移酏之控制装置者。 10.如申請專利範園第9項之薄膜剝雛裝置•其中該曆合 體薄膜測感器係具傅有可與基板表面及貼在該基板上之靥 合體薄膜接觸之一對沿基板寬度方向分開e置之導電性接 觭子，該一對導電性接觸子在其與基板表面之導霄層接觸 時被専通，而於搭在曆合髏薄膜上使導通蹐涵時鎗出薄鬃 檢出信號者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂 經濟部中央標準局—工消費合作社印製 3 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）