KR100226378B1 - 박막박리방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 회로기판의 전후면에 코팅된 적층박막을 진동기의 봉으로 두드려 박막을 박리할 때 전후방 적층박막의 코팅위치에서 진동을 흡수할 수 있어 아이들 진동시에 진동기의 봉에 송상이 가지 않도록 하는 박막박리방법 및 장치를 제공하고 있다.
그 구성은 전후면에 적층박막이 코팅된 회로기판(14)의 양쪽면에 진동기(16A, 16B)를 배치하고, 진동기(16A, 16B)의 전방봉(18A)및 후방봉(18B)과 각각 대향하는 위치에 후방백업롤러(24B) 및 전방백업롤러(24A)를 배치하고, 이 후방백업롤러(24B) 및 전방백업롤러(24A)를 전방봉(18A)및 후방봉(18B)과 동기하여 이동시키는 것을 특징으로 한다.

Description

박막박리방법 및 장치
제1도는 본 발명에 따른 박막박리장치의 일실시예의 요부확대측면도.
제2도는 본 발명에 따른 박막박리장치의 배면도.
제3도는 제2도의 Ⅲ-Ⅲ 선에 대응하는 부분의 측면도.
제4도는 센서 부근에서 박막박리장치의 측면도.
제5도는 전술한 실시예에서 이용되는 박막선단 감지센서의 확대사시도.
제6도는 박막선단 감지센서의 동작을 도시하는 전체적인 단면도.
본 발명은 인쇄배선기판 등에 적층된 박막을 박리하기 위한 박막박리방법 및 장치에 관한 것이다.
전자장비에 이용되는 인쇄회로기판은 절연패널 및 배선을 포함한다. 여기서 배선은 구리와 같은 재질로 제조되어 절연패널의 일측면 또는 양측면에 소정의 패턴으로이루어지며, 이러한 타입의 인쇄배선기판은 다음과 같은 공정으로 제조된다.
감광성수지(포토레지스트)층 및 투광성수지박막(보호막)으로 구성된 적층부재가 절연패널상에 배치된 도체층에 롤러를 이용하여 열 압력으로 적층되고, 다음에 배선패턴막을 적층부재에 두고, 포토레지스트층을 배선패턴막 및 투광성수지를 통해 일정기간 빛에 노출시키며, 투광성수지박막이 박리된 후 노출된 포토레지스트층이 현상되어 에칭 마스크 패턴이 형성된다. 도체층 중에서 불필요한 부분은 에칭으로 제거되므로 소정의 배선패턴을 갖는 인쇄배선기판이 형성된다.
종래, 인쇄배선기판의 제조공정에 있어서 전술한 보호박막을 자동적으로 박리하는 방법 및 장치가 있다. 예를 들면 일본특허공보 1994-3550호에 있어서 그 박막막리장치의 박막부상수단은 적층박막(이것은 회로기판 상에 배치된 포토레지스트층 및 투광성수지박막으로 구성됨)의 단부를 진동기의 봉으로 진도시켜 포토레지스트층으로부터 투광성박막의 일부를 부상킨다.
2개의 적층박막이 회로기판의 전후면 양측에 각각 배치될 경우 2개의 진도기봉은 각각 상호 대향하여 회로기판의 전후측에 각각 배치된다. 따라서, 회로기판의 전후측 적층박막을 봉의 선단으로 동시에 타격하여 전후측으로부터 회로기판이 동일한 힘을 받도록 하고 있다.
그러나, 2개의 적층박막이 전술한 회로기판의 전후측에 코팅될 경우 코팅된 위치가 상호 편위할 수 있으며, 이 경우 회로기판의 진행방향에서의 적층 박막의 단부위치는 그 박리위치와 관련하여 문제를 발생시킨다. 이와 같은 큰 편위를 흡수하기 위해 상호 편위된 박막의 단부위치로부터 상대적으로 큰 스트로크에 의해 봉의 선단을 이동시킴으로써 봉의 선단부가 적층박막의 단부를 확실히 타격하여 부상시키도록 하고 있다.
이 경우 적층박막의 단부위치를 센서가 검출하여 진동기의 봉에 의한 진동부여의 시작점을 결정한다. 그러나, 시작점이 진행방향으로 회로기판의 선단에 아주 밀접하게 위치하면 진동기 봉의 선단이 회로기판의 타결동작을 오프시킬 수도 있고, 이에 따라 2개의 봉 선단이 상호 아이들 타격을 하여 상호손상을 줄 수도 있다.
또한, 전술한 종래의 박리장치에 있어서와 같이 한 쌍의 진동기 봉이 상호 대향하여 얇은 회로기판의 전후측에 배치될 경우 회로기판에 변형이 발생할 수 있으므로 상부봉 및 하부봉의 위치를 상당히 고정밀도로 설정해야만 한다.
본 발명은 전술한 종래의 박막박리장치에서 발견되는 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 진동기 봉에 의한 진동인가 범위가 넓다 하더라도 상호 타격에 의해 발생하는 전방봉 및 후방봉에 대한 손상을 방지할 수 있고, 설정단계 중에 진동기의 봉단부의 위치간에 편위를 허용할 수 있는 박막박리방법 및 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 박막박리장치는 각각 포토레지스트층 및 투광성 박막으로 구성되는 2개의 적층박막이 회로기판의 전후면에 각각 코팅되고, 각각 봉을 포함하는 2개의 진동기가 회로기판의 전후에 배치되어 회로기판의 전후면을 둘러싸는 동시에 봉의 선단부들이 회로기판을 사이에 두고 상호 마주하도록 배치되며, 회로기판의 전후면에 코팅된 각 적층박막의 단부에 봉의 진동운동이 가해져 연관된 포토레지스트층으로부터 투광성박막의 일부를 부상시키고, 이 투광성박막의 부상부분으로부터 이 박막을 박리 시키는 적층박막의 박막박리방법에 있어서, 상기 회로기판의 면을 따라 상호 어긋나도록 상기 회로기판에 대해서 전방봉 및 후방봉의 상기 봉의 위치를 설정하는 단계와, 상기 회로기판 및 상기 적층박막을 통해서 상기 전방봉 선단 및 상기 후방봉 선단에 각각 대향하는 위치에 후방백업부재 및 전방백업부재를 배치하는 단계와, 상기 상호 대향하는 전방봉선단 및 후방봉선단과 동기하여 각각 상기 회로기판 및 상기 2개의 적층박막을 따라 상기 후방백업부재 및 전방백업부재를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리방법을 제공한다.
상기 봉 선단에 의해 상기 적층박막에 가해지는 상기 진동 운동의 시작점은 각각 상기 회로기판의 전후면 상에 적층된 박막의 단부에서 또한 인근 회로기판의 에지로부터 떨어진 곳에 설정되며, 상기 전방봉 선단 및 후방봉 선단, 상기 후방 백업부재 및 전방 백업부재는 모두 상기 시작점으로부터 일정한 간격을 두고 이동하는 동안 상기 진동운동이 상기 적층박막에 인가된다. 또한 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 롤러로서, 상기 봉의 이동방향으로 상기 적층박막과 롤링 접촉한다.
또한, 전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 박막박리장치는 각각 포토레지스트층 및 투광성박막으로 구성되는 2개의 적층박막이 회로기판의 전후면에 배치되고, 봉을 각각 포함하는 2개의 진동기가 회로기판의 상하에 배치되어 회로기판의 전후면을 둘러싸는 동시에 봉의 선단이 회로기판을 사이에 두고 서로 마주 보면서 회로기판의 전후면에 각각 코팅된 적층박막의 단부에 봉의 진동운동을 가하여 각 포토레지스트층으로부터 투광성박막의 일부를 부상시키며, 박막박리수단은 투광성박막의 부상부분에서 박막을 박리시키고, 회로기판에 대해서 전방봉선단 및 후방봉선단의 위치는 회로기판의 면을 따라 상호 편위되도록 설정되고, 회로기판 및 적층박막을 사이에 두고 전방봉 및 후방봉과 마주하는 위치에는 후방백업부재 및 전방백업부배가 배치되어 대향하는 전방동선단 및 후방봉선단과 동기하면서 회로기판 및 적층박막을 따라 이동 가능하게 구성되어 있다.
본 발명에 따르면 후방백업부재 및 전방백업부재는 전방진동기 및 후방진동기에 의해 각각 지지되고, 후방백업부재 및 전방백업부재는 경고무로 구성되는 롤러이다.
박막부상수단은 회로기판의 진행방향에서 상대적으로 전방봉 및 후방봉을 이동시킨다. 또 박막부상수단은 박막선단감지센서 및 제어장치를 구비하며, 박막선단감지센서는 각각 회로기판의 진행방향에서 전후방적층박막의 선단을 검출한다. 제어장치는 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 회로기판의 선단으로부터 떨어진 적층박막의 선단을 검출하여 이 검출된 선단에 봉 이동수단에 의해 전방봉선단 및 후방봉선단을 위치시키도록 하는 한편 회로기판의 진행방향에서 일정간격 떨어져 이 봉선단을 이동시킨다.
적층박막 감지센서는 회로기판 및 이 회로기판에 적층된 적층박막의 폭방향에서 상호 일정간격 떨어져 배치된 한 싸의 도체접점을 구비하며, 이 한 쌍의 도체접점이 회로기판면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 적층박막은 적층박막 위로 상승하고, 도전이 차단될 경우 박막 검출신호를 출력한다.
본 발명의 방법에 따르면 후방백업부재 및 전방백업부재는 박막이 봉의 선단에 의해 타격을 받을 경우 수용부재로서 작용하며, 적층박막 및 회로기판을 사이에 두고 상호 대향하여 위치한다는 사실에 따라 전방봉 및 후방봉의 선단이 회로기판의 면을 따라 상호 어긋나도록 배치되어도 회로기판의 전후면은 어긋난 선단에 의해 다른 위치에서 타격을 받으므로 이 회로기판의 왜곡이 발생하지 않는다. 따라서 전방봉 및 후방봉의 선단 사이에 다른 위치를 설정하는 것이 가능하며, 전방봉 및 후방봉의 선단이 상호 마주하지 않으므로 봉의 선단이 회로기판을 미끄러져 비껴나더라도 상호 충돌에 의해 손상를 주지 않는다.
회로기판상의 전후방적층박막의 단부위치가 상호 다르더라도 박막이 확실하게 박리될 수 있다.
백업부재가 봉의 이동방향으로 롤링 접촉하는 롤러일 경우 이동 중에 박막과 마찰하지 않으며, 직접 접촉하여 봉의 선단에 대해 회전함에 따라 봉의 선단에 의해 동일한 위치에서 타격을 받지 않으므로 손상을 거의 받지 않는다.
본 발명은 장치에 따르면 전방봉과 후방봉이 상호 편위되면 회로기판이 왜곡되며, 이에 따라 전방봉 및 후방봉 선단의 위치상의 편위가 가능하다, 또 봉이 회로기판에서 떨어져 진동하더라도 전방봉선단 및 후방봉선단이 상호 아이들 충돌에 의해 손상을 받지 않는다.
전방봉 및 후방봉이 동기하여 이동하면 전방백업부재 및 후방백업부재가 함께 이동하여 이 전방봉의 선단 및 후방봉의 선단에 대해 항상 대향하여 위치한다.
백업부재가 경고무로 제조될 경우 대향하는 봉의 선단에 의해 주어지는 충격을 흡수할 수 있으며, 또한 회로기판 및 적층박막과 면접촉하므로 대향선단을 상호 위치가 다르게 설정할수 있다.
전방백업부재 및 후방백업부재가 롤러이면 봉이 이동할 경우 박막면과 마찰하지 않으며, 아이들타격이 발생할 경우 봉의 선단이 동일한 위치를 반복하여 타격하지 않으므로 백업부재가 거의 충격을 받지 않는다.
봉의 선단 및 이와 대향하는 백업롤러는 봉의 이동수단에 의해 회로기판의 적층박막의 임의 위치에 설정할 수 있고, 전방적층박막과 후방적층박막 사이에 코팅위치의 차이가 발생하여도 봉의 선단을 확실히 동작시켜 박막을 부상시킬 수 있다.
전방적층박막 및 후방적층박막의 선단위치는 박막선단감지센서에 의해 검출되며, 선단 중 하나는 기준으로서 설정된 회로기판의 선단으로부터 떨어지게 설정된다. 이러한 구성으로 전방선단 및 후방선은 전방적층박막 및 후방적층박막을 타격하면서 일정한 범위에서 이동하여 박막을 확실히 부상시킬 수 있다.
적층박막 감지센서에 배치된 한 쌍의 도체접점이 적층박막 위로 이동할 경우 적층박막의 선단이 검출된다.
다음에 본 발명의 실시예에 대하여 첨부도면에 따라 상세히 설명한다.
제 1 도에 도시한 본 발명의 실시예에 있어서, 박막박리장치(1)에는 포토레지스트층(11A)및 투광성수지박막(11B)으로 각각 구성된 2개의 적층박막(12A, 12B)이 회로기판(14)의 전후면에 코팅되어 통과라인(14A)의 선두에 배치되어 있다. 전방봉(18A)및 후방봉(18B)을 각각 포함하는 한 쌍의 전방진동기(16A) 및 후방진동기(16B)가 회로기판(14)의 상하에 각각 배치되어 회로기판(14)의 전후면을 둘러싸는 형태로 되어 있고, 전방봉(18A) 및 후방봉(18B)의 선단은 회로기판(14)을 사이에 두고 서로 마주하고 있다. 박막박리장치(12)의 박막부상수단(20)은 전방봉(18A) 및 후방봉(18B)의 진동운동을 전후의 적층박막(12A, 12B)의 단부에 가하여 포토레지스트층(11A)으로부터 투광성수지박막(11B)으 일부를 부상시키며, 박막박리수단(22)은 이와 같이 하여 부상상태로 된 투광성수지박막(11B)을 박리 시킨다. 또한, 본 발명의 박막박리장치에 따르면, 전방봉(18A) 및 후방봉(18B)의 선단부는 회로기판(14)으 폭방향으로 상호 어긋나게 위치하여 회로기판(14)의 진행방향과는 수직으로 위치하게 된다.
회로기판(14) 및 2개의 적층박막(12A, 12B)을 사이에 두고 전방봉 및 후방봉18A, 18B)과 대향하는 위치에 후방백업롤러(24B) 및 전방백업롤러(24A)가 각각 배치되며, 이들 롤러는 상호 대향하는 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)의 선단과 동기하여 회로기판(14) 및 적충박막(12A, 12B)과 롤링 접촉하면서 이동할 수 있다. 전방백업롤러(24A)는 전방진동기(16A)의 지지부재(26A)에 의해 지지된다. 전방 및 후방백업롤러(24A, 24B)는 회로기판(14)의 진행방향에 대해 수직으로 위치하는 회전샤프트에 회전 가능하게 지지되는 경고무재의 차륜으로 각각 구성되어 있다.
제 1 도에 도시된 바와 같이 전방진동기 및 후방진동기(16A, 16B)에 대응하여 상하로 위치하는 2개의 박막박리수단(22)은 평탄한 팬 형상의 선단부를 갖는 공기노즐(22A, 22B)을 각각 구비하고, 이들 공기노즐(22A, 22B)은 각가 지지부재(26A, 26B)에 고정되는 동시에 그 축이 회로기판(14)의 통과라인(14A)의 각 측면 상에서 전방 및 후방백업롤러(24A, 24B)의 원호를 둘러싸는 형태로 위치한다. 한편 공기노즐(22A, 22B)에 공기압력을 공급하기 위해 공기호스(25A, 25B)가 사용된다. 각 지지부재(26A, 26B)의 위치는 직선로(30A, 30B)에 대해 수직방향으로 자유롭게 조절이 가능하게 지지된다. 직선로(30A, 30B)는 그 고정부재(31)가 상하부 수평바(32A, 32B)에 각각 고정되고, 그 수직가동부재(33)는 고정부재(31)에 대해 미끄럼 가능하게 지지되어 스프링(34A, 34B)에 의해 상향으로 가압된다.
수평바(32A, 32B)는 통과라인(14A)을 중심으로 상하위치에서 회로기판(14)의 선단에 대해 평행하게 수평으로 각각 배치되며, 제 2 도 및 제 3 도에 도시한 바와 같이 길이방향에 있어서 그 수평바(32A, 32B)의 2개의 단부는 좌우측벽(35)으로부터 돌출하고, 이 돌출단부가 상하부랙(36A, 36B)의 2개의 상하단부에 연결되어 있다. 상하부랙(36A, 36B)은 통과라인(14A)과 같은 레벨로 위치하는 피니언(38)에 의해 톱니바퀴가 맞물려 있으므로 상호 동기하여 통과라인(14A)에 대해 접근 및 후퇴하는 방향으로 수직이동이 가능하다. 즉, 상수 수평바(32A)를 통해 연결된 공기실린더(40)가 상부 랙(36A)을 구동하고 이 상부랙(36A)과 동기하여 하부랙(36B)이 피니언(38)을 통해 구동된다. 상부 랙(36A), 하부랙(36B), 피니언(38), 공기실린더(40)는 각각 상부 수평바(32A) 및 하부 수평바(32B)의 2개의 단부에 배치되는 동시에 수평상태를 유지하는 동안 좌우와 동기하여 수직으로 상하부 수평바(32A, 32B)를 이동시킨다.
또 한 쌍의 전방 좌우 진동기(16A), 한 쌍의 후방 좌우 진동기(16B), 한 쌍의 전방 좌우 백업롤러(24A), 한 쌍의 후방 좌우백업롤러(24B)를 각 수평바(32A, 32B)에 배치하고, 2개의 공기노즐(22A) 및 2개의 공기노즐(22B)을 각 진동기에 장착한다. 따라서 본 발명의 실시예에 따르면 1개의 백업롤러 및 2개의 공기노즐이 1개의 진동기와 일체로 이동할 수 있다.
제 2 도 및 제 3 도에 있어서, 수직으로 배치되는 안내봉(40A, 40B)은 수평바(32A, 32B)를 통해 미끄럼 가능하게 이동하며, 고정블록(41A, 41B)을 통해 가동블록(42)에 의해 지지된다. 가동블록(42)은 상하부랙(36A, 36B), 피니언(38), 안내봉(40A, 40B)을 지지하며, 측벽(35)의 외측에 배치된 안내레일(46A) 및 측벽(35)의 일부에 배치된 안내레일(46B)을 따라 통과라인(14A)에 대해 평행하게 이동할 수 있도록 배치된다. 또한, 상부안내레일(46A) 에 배치되는 제 2 가동블록(48)은 가동블록(42)과 유사하게 통과라인(14A)에 평행하게 이동이 가능하다.
제 2 가동블록(48)의 하단부는 회로기판(14)을 이송시키는 이송롤러(50)에 연계하여 동작하는 피니언(50A)에 맞물려 있고, 이 피니언(50A)에 의해 구동되는 수평랙(52)에 접속되므로 이송롤로(50)에 의해 이송되는 회로기판(14)과 동기하여 제 2 가동블록(48)은 선행하여 진행한다. 제 2가동블록(48)에 배치된 공기실린더(54)의 봉(54A)은 가동블록(42)에 접속되어 있으며, 공기실린더(54)는 제 2 가동블록(48)에 대해 소정의 범위에서 통과라인(14A)을 따라 가동블록(42)을 이동 가능하게 한다. 가동블록(42)과 제 2 가동블록(48) 사이의 상대위치는 제 3 도에 도시한 제어장치(56)에 의해 공기실린더(54)를 제어함으로써 제어될 수 있다. 측벽(44)의 일측에 장착된 제2공기실린더(58)의 봉(58A)은 제 2 가동블록(48)에 접속되므로 제 2 가동블록은 제 2 공기실린더(58)에 의해 통과라인(14A)을 따라 랙(52)과 함께 왕복이동이 가능하다. 따라서, 회로기판(14)은 랙(52) 및 피니언(50A)을 통해 제 2 공기실린더(58)에 의해 제 2 가동블록(48)과 공기하여 구동된다.
회로기판이 박막박리 작업의 종료와 함께 이송되면, 랙(52) 및 제 2 가동블록(48)은 제 2 공기실린더(58)에 의해 그 대기위치로 복귀하고, 여기서 다음 회로기판을 기다린다. 이 동작에 있어서, 일방향 베어링(도시하지 않음)이 피니언(50A)에 끼워져 이솔롤러(50)으 역회전을 방지한다.
상하부 제 2 수평바(60A, 60B)는 가동블록(42)과 함께 일체로 되어 이 가동블록에 의해 지지된다. 제 2 수평바(60A, 60B)는 상하부 수평바(32A, 32B)에 대해 평행하게 배치되는 동시에 상호 동일한 간견으로 배치되고, 통과라인(14)에 고정되어 있다. 제 2 도 및 제 4 도에 도시한 바와 같이 박막선단 감지센서(62A, 62B) 및 회로기판선단 감지센서(64)는 공기실린더(61A, 61B)를 통해 가동블록(42)에 각각 지지되어 있으며, 이들 센서는 쌍을 이루는 좌우의 전방봉 및 좌우의 후방봉(18A, 18B)사이에 박릭박막 감지센서(66A, 66B)와 함께 개재되어 있다. 한편, 제 4 도에 도시한 바와 같이, 이들 센서는 통과라인(14A)을 따라 박막선단 감지센서(62A, 62B), 회로기판선단 감지센서(64), 박리박막 감지센서(66A, 66B)의 순서로 배치되어 있다.
제 5 도에 도시한 바와 같이 박막선단 감지센서(62A, 62B)는 각각 회로기판의 폭방향으로 상호 분리된 한 쌍의 도체접점(68A, 68B)을 포함하고 있어 회로기판(14)의 전후측에 각각 코팅된 도체층의 선단에 의해 접촉될 경우 도전을 하게된다. 즉, 도체접점(68A, 68B)이 연관된 적층박막필름의 선단부로 상승하여 도전성을 차단될 경우 박막선단 감지센서(62A, 62B)는 각각 선단검출신호를 제어장치(56)에 출력한다.
회로기판선단 감지센서(64)는 광센서로서 센서(64) 사이의 빛이 회로기판의 선단에 의해 차단될 경우 회로기판(14)의 선단을 검출하여 그 검출신호를 제어장치(56)로 출력한다. 박리박막 감지센서(66A, 66B)도 역시 광센서로서 박막부상수단(20) 및 박막박리수단(22)에 의해 박리된 박막을 검출한다. 박막선단 감지센서(62A, 62B)가 검출동작에 들어가면 공기실린더(61A, 61B)에 의해 통과라인(14A)에 접근하게 되며, 박막선단의 검출직후 다시 공기실린더(61A, 61B)에 의해 통과라인으로부터 멀어지면서 원래의 위치로 복귀한다.
다음에 전술한 본 발명에 따른 장치의 동작에 대해 설명한다.
먼저, 제 2 공기실린더(58)에 의해 제 2가동블록(48)을 기준으로서 대기위치에 고정시키고, 역시 제 2 공기실린더(58)에 의해 가동블록(42)을 제 4 도에 도시한 통과라인으로 이동시킨다. 또한, 통과라인 방향에서 제 6(a)도에 도시한 상태로부터 제 6(b) 에 도시한 상태로 박막선단 감지센서(62A, 62B)를 공기실린더로 가압 전환시켜 회로기판(14)의 도체층을 검출할 준비를 행한다. 이러한 상태에서 전후면에 적층박막(12A, 12B)이 코팅된 회로기판(14)은 이송롤러에 의해 센서, 박막부상수단(20), 박막박리수단(22)을 통과한다.
제 6(c) 도에 도시한 바와 같이 회로기판(14)의 선단이 상부도체접점과 하부도체접점 사이로 들어가 이 접점을 개방하고, 다시 제 4 도에 도시한 회로기판 선단검출라인(65)에 도달하면, 회로기판선단 감지센서(64)가 이러한 상태를 검출하며, 이 검출에 반응하여 상하박막선단 감지센서(62A, 62B)의 도체접점(68A, 68B)이 회로기판(14)의 도체층(구리박막)(69)에 접한다. 다음에 적층박막(12A,12B)이 박막선단(62A, 62B)중 하나 또는 모두의 도체접점(68A, 68B)과 접하여 도체접점(68A, 68B)의 도전을 차단한다. 박막선단 감지센서(62A, 62B)가 회로기판(14)의 전후면에 코팅된 적층박막(12A, 12B)의 양측선단부를 검출하였다고 제어장치(56)가 판정할 경우 제 2 가동블록(48)이 제 2 공기실린더(58)에 의해 끌리고 이것에 의해 회로기판(14)은 랙(52)을 통해 피니언(50A)에 의해 제 2 가동블록(48)과 동기하여 앞서 진행한다. 이 경우 상부 및 하부수평바(32A, 32B)가 랙(36A, 36B)을 통해 공기실린더(40)에 의해 구동되어 전후방 진동기(16A, 16B), 전방봉 및 후방봉(8A, 8B), 전방 및 후방백업롤러(24A, 24B), 공기노즐(22A, 22B)의 수직위치를 설정한다. 이 위치가 설정됨에 따라 봉의 선단이 박막면 상에서 박막선단의 내부와 접하도록 배치된다.
회로기판(14)이 앞으로 진행하고, 상하박막선단 감지센서(62A, 62B) 모두가 오프되면 공기압력이 제 2 공기실린더(58), 공기실린더(40), 진동기(16A, 16B)에 공급되고, 이후 즉시 공기압력은 다시 공기실린더(54)에도 공급되며, 이와 동시에 공기압력은 공기노즐(22A, 22B)로부터 분출된다. 이러한 동작 중에 회로기판(14)에 대해 박막선단 감지센서(62A, 62B)를 가압하는 공기실린더(61A, 61B)의 공기가 제거되므로 이들 감지센서(62A, 62B)는 회로기판(14)으로부터 떨어져 위치한다.
가동블록(42) 및 제 2 가동블록(48)이 수평으로 이동을 시작할 때 진동기(16A, 16B)는 진동운동을 시작하고 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)은 회로기판(14)과 접하게 되며, 이후 가동블록(42)은 제 2 가동블록(48) 사이의 간격이 좁아지도록 구동된다.
전술한 과정에서 공기실린더(54)는 설정된 거리만큼 가동블록(42)을 끌게 되므로 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)의 선단이 적층박막(12A, 12B) 및 회로기판(14)과 동기하여 이동하고, 미리 설정된 간격만큼만 적층박막(12A)을 두르릴 경우 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)의 선단이 회로기판(14)의 선단방향으로 이동한다. 이와 같은 이동에 따른 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)의 스토로크가 크게 설정되면, 적층박막(12A, 12B)의 선단과 회로기판(14)의 선단간의 간격에 있어서의 변동을 흡수할 수 있으며, 이러한 작용에 의해 적층박막의 선단을 봉이 확실하게 두드릴 수 있게 된다.
적층박막(12A, 12B)의 선단이 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)에 의해 타격될 경우 적층박막(12A, 12B)의 투광성수지박막(11B)이 포토레지스트층(11)으로부터 부상하며, 공기노즐(22A, 22B)로부터의 공기압력이 이 부상부분에 가해질 경우 이부분의 박리가 이루어진다. 박리후 투광성수지박막(11B)이 박막이송장치(도시하지 않음)에 의해 박리된 부분에서 시작하여 회로기판(14)으로부터 순차 제거되어 통과라인의 외축으로 배출된다.
이러한 동작에 있어서, 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)이 회로기판(14)의 폭 방향에서 벗어나더라도 백업롤러(24A, 24B)가 회로기판(14)을 통해 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)의 양측에 각각 배치되므로 봉이 회로기판(14)을 전후에서 동시에 타격하더라도 회로기판(14)이 왜곡될 가능성이 없다.
가동블록(42)을 개재하여 공기실린더(54)에 의해 회로기판(14)에 대해 상대적으로 이동할 경우 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)은 회로기판(14)의 선단을 통과하더라도 상호 충돌할 가능성이 없으므로 이러한 오작동에 의한 손상을 방지할 수 있다.
또 전방봉 및 후방봉(18A, 18B)에 대향 배치된 전방 및 후방백업롤러(24A, 24B)는 모두 경고무로 형성되어 있으므로 회로기판(14) 및 적층박막(12A, 12B)과 면접촉이 가능하다. 따라서 백업롤러의 위치가 대향봉의 위치에 대해 약간 편위되더라도 봉에 의해 타격을 받을 경우 회로기판이 확실하게 유지된다.
투광성박막(11B)이 박리된 후 회로기판(14)은 제 2 가동블록(48)을 통과하여 박리장치의 외부로 배출되고 가동블록(42), 제2가동블록(48), 랙(52)은 제 2 공기실린더(58)에 의해 대기위치로 복귀한다. 이러한 공정이 반복되어 박막의 박리가 더욱 진행된다.
상기 실시예에 있어서 백업롤러(24A, 24B)는 경고무로 제조되지만 이에 한정되는 것은 아니며, 전후방 봉(18A, 18B)의 선단에 의해 회로기판(14)에 가해지는 충격을 견딜 수만 있다면 예를 들어 연고무, 금속, 고무판부재 등으로 제조될 수도 있다.
또한 상기 실시예에 있어서 백업롤러(24A, 24B)는 진동기 지지부재(26A, 26B)에 의해 지지되어 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 대향봉의 선단부와 동기하여 이동할 수 있는 한 이 백업롤러는 독립하여 지지될수도 있다.
제 1 도 내지 제 3 도에 있어서 박막부상, 박막박리, 봉 이동의 기능을 행하는 특정구조는 단지 실시예로서만 나타낸 것이으로서 이것에만 원하는 것은 아니며, 박막부상, 박막박리 또는 봉 이동을 얻을 수 있는 어떠한 관련요소도 본 발면은 수용이 가능하다. 즉, 넓게 본 발명은 박막부상, 박막박리 또는 봉 이동이 가능한 구조에 한정된다 할 것이다.
이상과 같이 여러 실시예에 대해서 설명하였지만 본 발명의 범위는 이에 한하지 않으며, 그 기술적 사상 및 다음의 특허청구의 범위를 일탈하지 않고 이 분야의 통상의 기술자에 의해 여러 가지 변경 및 변형이 가능함은 물론이다.

Claims (35)

  1. 각각 포토레지스트층 및 투광성박막으로 구성되는 2개의 적층박막이 회로기판의 전후면에 각각 코팅되고, 각각 봉을 포함하는 2개의 진동기가 회로기판의 상하에 배치되어 회로기판의 전후면을 둘러싸는 동시에 봉의 선단부들이 회로기판을 사이에 두고 반대편에서 상호 대향하도록 배치되며, 회로기판의 전후면에 코팅된 각 적층박막의 단부에 봉의 진동운동이 가해져 연관된 포토레지스트층으로부터 투광성박막의 일부를 부상시키고, 이 투광성박막의 부상부분으로부터 이박막을 박리 시키는 적층박막의 박막박리방법으로서, 상기 회로기판의 면을 따라 상호 어긋나도록 상기 회로기판에 대해서 전방봉 선단 및 후방봉선단의 위치를 설정하는 단계와, 상기 회로기판 및 상기 적층박막을 통해서 상기 전방봉선단 및 상기 후방봉선단에 각각 대향하는 위치에 후방백업부재 및 전방백업부재를 배치하는 단계와, 상기 상호 대향하는 전방봉선단 및 후방봉선단과 동기하여 각각 상기 회로기판 및 상기 2개의 적층박막을 따라 상기 후방백업부재 및 전방백업부재를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 봉선단에 의해 상기 적층박막에 가해지는 상기진동운동 부여의 시작점은 각각 상기 회로기판의 전후면 상에 적층된 적층박막의 단부에서, 또한 인근 회로기판의 에지로부터 떨어진 곳에 설정되며, 상기 진동운동이 상기 적층박막에 부여되는 동안 상기 전방봉선단 및 후방봉선단 그리고 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 모드 상기 시작점으로부터 일정한 간격을 두고 이동하는 것을 특징으로 하는 박막박리방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 롤러로서, 상기 봉의 이동방향으로 상기 적층박막과 롤링 접촉하는 것을 특징으로 하는 박막박리방법.
  4. 각각 포토레지스트층 및 투광성박막으로 구성되어 회로기판의 전후면에 각각 코팅되는 2개의 적층박막을 박리하는 박막박리장치에 있어서, 박막박리장치는 2개의 진동기와 전방백업부재 및 후방백업부재와 박막부상수단과 박막박리수단을 구비하며, 상기 2개의 진동기는 각각 봉을 포함하는 동시에 회로기판의 상하에 배치되어 회로기판의 전후면을 둘러싸고, 전방봉선단과 후방봉선단의 위치는 회로기판을 사이에 두고 상호 반대편에서 대향하는 동시에 상기 회로기판의 표면을 따라 상호 어긋나게 설정되고, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 상기 회로기판 및 상기 적층박막을 사이에 두고 상기 전방봉 및 후방봉과 대향하여 위치하는 동시에 상기 대향하는 봉선단과 동기하여 상기 회로기판 및 상기 적층박막을 따라 접촉하면서 이동하고, 상기 박막부상수단은 각 포토레지스트층으로부터 투광성박막의 일부를 부상시키기 위해 회로기판의 전후면에 각각 코팅된 적층박막의 단부에 봉의 진동운동을 부여하며, 상기 박막박리수단은 투광성박막의 부상부분에서 박막을 박리하는 것을 특징으로 한는 박막박리장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 상기 후방진동기 및 전방진동기의 지지부재에 의해 각각 지지되는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 각각 경고무는 제조되는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 각각 롤러인 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상대적으로 전방봉선단 및 후방봉선단을 이동시키는 봉 이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 박막부상 수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방 적층박막의 선단을 검출하는 박막선단감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판 상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막위로 상승하고 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  11. 제6항에 있어서, 박막부상 수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징으로하는 박막박리장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 박막부상 수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방후 적층박막의 선단을 검출하는 박막선단 감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신로에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  14. 제5항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 각각 롤러인 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  15. 제14항에 있어서, 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방적층박막의 선단을 각각 검출하는 다수의 박막선단 감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판 상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  18. 제5항에 있어서, 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방적층박막의 선단을 각각 검출하는 다수의 박막선단 감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고, 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  21. 제4항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 각각 경고무로 형성된 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 각각 롤러인 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  23. 제22항에 있어서, 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방 적층박막의 선단을 각각 검출하는 다수의 박막선단감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판 상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고, 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  26. 제21항에 있어서, 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방 적층박막의 선단을 각각 검출하는 다수의 박막선단 감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 몇 이 회로기판 상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고, 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  29. 제4항에 있어서, 상기 후방백업부재 및 전방백업부재는 각각 롤러인 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  30. 제29항에 있어서, 박막부상수단은 상기 회로기판 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징을 하는 박막박리장치.
  31. 제30항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방 적층박막의 선단을 각각 검출하는 다수의 박막선단 감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 진행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  32. 제31항에 있어서, 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판 상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접점을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고, 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  33. 제4항에 있어서, 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상대적으로 이동시키는 봉 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 박막부상수단은 상기 회로기판의 진행방향에서 상기 전후방 적층박막의 선단을 각각 검출하는 다수의 박막선단 감지센서와, 상기 박막선단 감지센서로부터의 출력신호에 따라서 진행방향에서 상기 회로기판의 선단으로부터 나온 적층박막의 선단을 검출하고, 상기 전방봉선단 및 후방봉선단을 상기 검출된 선단에 위치시키기 위해 상기 봉 이동수단을 제어하고, 상기 회로기판 지행방향에서 상기 위치로부터 일정간격으로 상기 봉을 이동시키는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
  35. 제34항에 있어서, 상기 적층박막 감지센서는 상기 회로기판의 폭방향으로 상호 일정간격 떨어져 배치되어 상기 회로기판의 면 및 이 회로기판 상에 각각 코팅된 상기 적층박막의 면과 접할 수 있는 한 쌍의 도체접접을 구비하며, 상기 한 쌍의 도체접점이 상기 회로기판의 면에 각각 배치된 도체층과 접할 경우 상기 적층박막 감지센서는 상기 적층박막 위로 이동하고, 도전상태가 차단될 경우 박막검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 박막박리장치.
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