JP3262206B2 - フィルム剥離方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ
用基板等に例示される基板の表側及び裏側に貼着された
保護フィルムを剥離する方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子器具に使用される
プリント配線基板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁
性パネルの両面又は片面に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板は、次のような工
程により製造されている。

【０００４】まず、絶縁性基板上に導電層を設けてなる
プリント配線板用基板上に感光性樹脂（フォトレジス
ト）層とそれを保護する透光性樹脂フィルム（保護フィ
ルム）とからなる積層体をローラにより熱圧着ラミネー
トする。次いで、配線パターンフィルムを重ね、この配
線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通し
て前記フォトレジスト層を所定時間露光する。

【０００５】次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した
後、露光されたフォトレジスト層を現像してエッチング
マクスパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要
部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配
線パターンを有するプリント配線板が形成される。

【０００６】前記プリント配線板の製造工程において、
前記保護フィルムを自動的に剥離するフィルム剥離装置
あるいは方法が提案され且つ実施されている。この場
合、保護フィルム先端の、剥離を開始させる部分を、上
下や斜めに押圧したり、ニードル状部材で引掛けて起こ
したりしている。

【０００７】その１つとして、例えば特公平６−３５５
０号公報に配置されるように、基板に張付けられている
感光性樹脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フ
ィルムの端部にバイブレータのロッドの振動を与えて叩
くことにより、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂
層から浮上させるフィルム浮上手段を備えた薄膜の剥離
装置がある。

【０００８】上記のような、バイブレータのロッドの振
動を与えて、積層体フィルムの端部を叩いて浮上させる
剥離装置においては、例えば、特開平７−３３０２１３
号公報に開示されるように、フィルム浮上手段によって
浮上された透光性樹脂フィルムの部分に、その先端方向
からエアーノズルからのエアージェットを吹き付けて、
透光性樹脂フィルム先端を全幅にわたって浮上させるよ
うにしている。

【０００９】他の剥離装置としては、バイブレータ以外
の押圧子により、基板に貼られた積層体フィルムの一辺
の端縁を基板方向に（上下方向に）繰返して複数回押圧
したり、つついてから引っかけて起こす等によって浮き
上がらせるものがある。

【００１０】このようにして浮き上がらせたフィルム端
縁を、基板のパスライン下流側に隣接した位置に配置さ
れた例えば一対のベルトより挟み込んで、更に基板から
めくり上げ、基板の進行と同期して、積層体フィルムを
剥離させると共に、剥離されたフィルムを外部に搬出す
ることが考えられる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ここで、積層体フィル
ムは、基板の表面及び裏面の両側に貼着されているもの
も多くあり、これらを剥離させるためには、当然基板の
パスラインを挟んで表側及び裏側にフィルム先端縁浮上
手段及びこれに隣接してベルトを配置することになる。

【００１２】ところで、フィルムは基板に対して常に同
一位置に精度良く貼着されるものではなく、基板進行方
向の先端縁に対して、表側及び裏側でフィルム先端縁の
位置がずれることもある。又、フィルム先端縁の剥離開
始タイミングが表側と裏側でずれることもある。

【００１３】ところが、フィルム先端縁浮上工程を経た
基板がパスラインに沿って搬送されてくるとき、該基板
の先端縁を検出してから、所定時間後に、剥離されてい
るフィルムを挟み込むようにしてベルトの入側端部を閉
じるようにすると、上記のように、基板の表側及び裏側
での剥離フィルムの先端の位置がずれていると、ベルト
の入側端部が閉じてから浮上したフィルム先端縁が通過
することがある。このため先端縁を剥離浮上させたにも
拘らず、表側及び裏側の一方のフィルム全体を剥離する
ことができない、剥離ミスが生じるという問題点があっ
た。

【００１４】この発明は上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、基板の表裏両面に貼着されたフィルムの剥
離された先端縁が基板進行方向にずれていても、両者を
確実に剥離し且つ搬出することができるようにしたフィ
ルム剥離方法及び装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【００１６】

【００１７】

【００１８】

【課題を解決するための手段】 請求項１の本方法発明
は、パスラインに沿って搬送される基板の表面及び裏面
に貼着された積層体フィルムのそれぞれの送り方向先端
縁を押圧して、積層体フィルムの少なくとも最も内側の
層を残して、外側の層の端縁の一部を基板表面及び裏面
から離間させ、次に該離間した各フィルムの先端部分に
エアージェットを吹き込んでフィルムを基板から剥離さ
せると共に、該剥離されたフィルムを、前記パスライン
に接近して、前記基板の表側及び裏側にそれぞれ配置さ
れた各一対のベルトにより挾持して、基板の進行と同期
して前記パスラインから離間する方向に搬出するフィル
ム剥離方法において、前記表側及び裏側の各一対のベル
トを、少なくともパスライン側の入側端部間で開き、フ
ィルム先端を挾持しない開状態としておき、前記表側及
び裏側でのフィルム先端の剥離を別個に検出し、且つ、
表側及び裏側の一方での剥離が検出されてから所定時間
後に、表側及び裏側のベルトを閉じて剥離フィルムを挾
持し、且つ、剥離、搬出するようにして、上記目的を達
成するものである。

【００１９】又、請求項２の本装置発明は、パスライン
に沿って搬送される基板表面及び裏面に貼着された積層
体フィルムのそれぞれの送り方向先端縁を押圧して、積
層体フィルムの少なくとも最も内側の層を残して、外側
の層の先端縁の一部を基板表面及び裏面から離間させる
表側及び裏側の押圧部材と、この押圧部材の近傍に配置
され、前記フィルム先端縁の離間された部位にエアージ
ェットを吹き込んでフィルム先端縁を基板から剥離させ
る表側及び裏側のエアージェット装置と、前記基板から
剥離された表側及び裏側のフィルム先端領域を別個に検
出する表側及び裏側の剥離フィルム検出用センサと、入
側端が、前記フィルム剥離開始位置で、前記パスライン
に接近して配置され、各々が、剥離フィルムを先端から
挾持して搬出する一対のベルトを含んでなる表側及び裏
側のフィルム搬出ベルト装置と、前記剥離フィルム検出
用センサからの検出信号のに基づき、前記フィルム搬出
フィルム搬出ベルト装置を駆動する制御装置と、を有し
てなり、前記フィルム搬出ベルト装置の一対のベルト
は、前記パスライン側の入側端が、剥離フィルム先端を
挾持する閉状態と挾持できない開状態との間で開閉自在
とされ、前記制御装置は、前記表側又は裏側の剥離フィ
ルム検出用センサの一方から検出信号が入力したときか
ら一定時間後に、表側及び裏側の両方で、前記ベルトを
閉状態に駆動するようにして上記目的を達成するもので
ある。

【００２０】即ち、前工程で剥離浮上された表側及び裏
側のフィルム先端領域の一方が検出されても直ちにこれ
をベルトにより挟み込むことなく、一定時間後に表側及
び裏側のベルトを閉じて、両フィルムを確実に挾持して
剥離するものである。

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【００２４】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００２５】この実施の形態の例に係るフィルム剥離装
置１０は、感光性樹脂層１１Ａと透光性樹脂フィルム１
１Ｂとからなる積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂを、表面
及び裏面に貼着してなり、パスライン１４Ａ上を進行す
る基板１４に対して、表面側と裏面側から基板１４を挟
み込むようにして一対の表側バイブレータ１６Ａ及び裏
側バイブレータ１６Ｂの表側ロッド１８Ａ、裏側ロッド
１８Ｂの先端を対峙させ、これらロッドの振動を前記表
裏の積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂの端部に与えて、透
光性樹脂フィルム（保護フィルム）１１Ｂの一部を感光
性樹脂層１１Ａから浮上させるフィルム浮上手段２０
と、該浮上された部分のフィルムを剥離させるフィルム
剥離手段２２と、を有するものであって、前記基板１４
に対する表側及び裏側のロッド１８Ａ、１８Ｂの先端の
位置を、基板１４の表面に沿って該基板の進行方向に直
交する方向（基板幅方向）にオフセットさせて配置し、
且つ、表側ロッド１８Ａ及び裏側ロッド１８Ｂ先端に対
して、基板１４と積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂを介し
て対向する位置に、対向する表側ロッド１８Ａ先端及び
裏側ロッド１８Ｂ先端とそれぞれ同期して、基板１４及
び積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂに沿って転接移動する
裏側バックアップローラ２４Ｂ及び表側バックアップロ
ーラ２４Ａを設けたものである。

【００２６】ここで、前記表側バイブレータ１６Ａは支
持部材２６Ａに、又裏側バイブレータ１６Ｂは支持部材
２６Ｂにそれぞれ支持されている。

【００２７】又、表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂの
先端は、金属、硬質ゴム、あるいは金属を硬質ゴムで被
覆したもの等から構成され、その硬さが、先端の打撃に
よる基板１４の損傷、積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂの
剥離状況により選択される。前記表側及び裏側バックア
ップローラ２４Ａ、２４Ｂは、基板１４の進行方向に直
交する回転軸によって回転自在に支持された硬質ゴム車
輪から構成されている。

【００２８】前記フィルム剥離手段２２は、前記表側及
び裏側バイブレータ１６Ａ、１６Ｂに対応してそれぞれ
図１において上下に設けられ、前記バイブレータの表側
及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂのほぼ先端にエアージェ
ットを吹き付ける第１エアージェット装置２２Ａ、２２
Ｂ及び第２エアージェット装置２３Ａ、２３Ｂを備えて
構成されている。前記第１エアージェット装置２２Ａ、
２２Ｂは前記バイブレータ１６Ａ、１６Ｂの先端に向け
て配置された各１本のエアーノズルからなり、第２エア
ージェット装置２３Ａ、２３Ｂは、第１ジェット装置２
２Ａ、２２Ｂのフィルム幅方向外側に隣接して配置され
ていて、図５（Ａ）に示されるように、先端が偏平且つ
扇形に拡がったエアーノズルから構成されている。

【００２９】この第２エアージェット装置２３Ａ、２３
Ｂによる第２のエアージェット吹き込みタイミングは、
前記第１エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂによるエア
ージェット吹き込み開始から僅かに遅くなるように制御
装置５６（後述、図６参照）により制御されるようにな
っている。

【００３０】これら第１エアージェット装置２２Ａ、２
２Ｂを構成するエアーノズルは、それぞれ前記支持部材
２６Ａ、２６Ｂに固着され、前記表側バックアップロー
ラ２４Ａ及び裏側バックアップローラ２４Ｂの基板１４
のパスライン１４Ａ側の円弧にその中心軸線がそれぞれ
外接するように配置されている。図１の符号２５Ａ、２
５Ｂは第１、第２エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂ、
２３Ａ、２３Ｂに圧力空気源（図示省略）からの圧力空
気を供給するためのエアーホースをそれぞれを示す。

【００３１】ここで、前記表側バックアップローラ２４
Ａ及び裏側バックアップローラ２４Ｂは、それぞれ支持
フレーム２８Ａ、２８Ｂを介して後述の水平バー３２
Ａ、３２Ｂにそれぞれ支持されている。支持フレーム２
８Ａ、２８Ｂは、パスライン１４Ａと斜めに交叉して配
置され、且つ、それぞれ上部本体２７Ａ、及び、これに
軸方向摺動自在に挿入されている下部本体２７Ｂからな
り、上部本体２７Ａは長孔２７Ｃを備え、該長孔２７Ｃ
を挿通し、上部本体２７Ａの内側で下部本体２７Ｂに螺
合するボルト２７Ｄの長孔２７Ｃに対する軸方向位置に
よって基板厚さ方向の位置調節自在とされている。

【００３２】又、前記下部本体２７Ｂは、前記上部本体
２７Ａに挿通される軸部２９Ａと、この軸部２９Ａの先
端側に軸方向摺動自在に嵌装される筒状部２９Ｂとを含
んで構成されている。この筒状部２９Ｂは、ばね２９Ｃ
により先端方向に、ストッパーピン２９Ｄに当接するよ
うに付勢されると共に、先端に、前記バックアップロー
ラ２４Ａ、２４Ｂを支持している。

【００３３】前記ロッド支持部材２６Ａ、２６Ｂは共に
鉛直方向のリニアウエイ３０Ａ、３０Ｂを介して上下方
向位置調節自在に支持されている。リニアウエイ３０
Ａ、３０Ｂは固定側部材３１が水平バー３２Ａ、３２Ｂ
に固定され、上下動部材３３がばね３４Ａ、３４Ｂによ
りそれぞれ上方に付勢された状態で固定側部材３１に対
して摺動自在に支持されている。

【００３４】前記水平バー３２Ａ、３２Ｂは、パスライ
ン１４Ａの上下において、水平且つ、基板１４の先端と
平行に配置され、その長手方向（フィルム幅方向）両端
は装置の左右側壁３５から突出し、突出した両端で、図
２、図３に示されるように、上側ラック３６Ａ及び下側
ラック３６Ｂの上端及び下端にそれぞれ連結されてい
る。

【００３５】これら上側ラック３６Ａと下側ラック３６
Ｂはパスライン１４Ａの高さ位置に配置されたピニオン
３８と噛み合うことによってパスライン１４Ａに接近す
る方向及び離間する方向に同期して上下動されるように
なっている。

【００３６】更に詳細には、前記上側ラック３６Ａに
は、エアーシリンダ４０が連結され、このエアーシリン
ダ４０によって上側水平バー３２Ａを介して上側ラック
３６Ａを駆動することにより、下側ラック３６Ｂをピニ
オン３８を介して同期して駆動できるようにされてい
る。

【００３７】上記上側ラック３６Ａ、下側ラック３６
Ｂ、ピニオン３８、エアーシリンダ４０は、それぞれ上
下の水平バー３２Ａ、３２Ｂの両端に配置され、左右同
期して、水平バー３２Ａ、３２Ｂを水平状態を維持した
まま上下動させるようになっている。

【００３８】又、前記表側及び裏側バイブレータ１６
Ａ、１６Ｂ、表側及び裏側バックアップローラ２４Ａ、
２４Ｂは、前記水平バー３２Ａ、３２Ｂそれぞれについ
てパスライン１４Ａの幅方向中心から左右等距離の位置
に一対設けられ、更に、前記第１、第２エアージェット
装置２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂは、１本のバイブ
レータに対して各々取付け配置されている。従って、１
本のバイブレータに対して、１個のバックアップローラ
及び２本のエアーノズル（１本ノズル及び扇形ノズル）
が一体的に移動されるように構成されている。

【００３９】図２、図３の符号４０Ａは前記水平バー３
２Ａ、３２Ｂを摺動自在に貫通しこれを案内するための
鉛直方向のガイドロッドを示す。このガイドロッド４０
Ａは固定ブロック４１Ａ、４１Ｂにより移動ブロック４
２に支持されている。

【００４０】前記移動ブロック４２は、前記上側及び下
側ラック３６Ａ、３６Ｂ、ピニオン３８、及びガイドロ
ッド４０Ａを支持すると共に、側壁３５の外側に設けら
れたガイドレール４６Ａ、及び側壁３５の一部に形成さ
れたレール部４６Ｂに沿って前記パスライン１４Ａと平
行に移動できるように支持されている。

【００４１】又、上側のガイドレール４６Ａには、第２
移動ブロック４８が、移動ブロック４２と同様にパスラ
イン１４Ａと平行に移動できるように配置されている。

【００４２】この第２移動ブロック４８の下端は、基板
１４を送るための送りローラ５０と連動するピニオン５
０Ａに噛み合ってこれに駆動される水平方向のラック５
２に連結され、これによって第２移動ブロック４８が送
りローラ５０によって送られる基板１４と同期して進行
できるようにされている。

【００４３】又、第２移動ブロック４８にはエアーシリ
ンダ５４が配置され、そのロッド５４Ａが前記移動ブロ
ック４２に連結され、該エアーシリンダ５４によって移
動ブロック４２が第２移動ブロック４８に対して一定範
囲でパスライン１４Ａに沿って接近・離反移動できるよ
うにされ、且つ、移動ブロック４２と第２移動ブロック
４８の相対的位置制御は、図に示される制御装置５６に
よってエアーシリンダ５４を制御することによってなさ
れる。

【００４４】又、前記第２移動ブロック４８には、側壁
４４側に取付けられた第２エアーシリンダ５８のロッド
５８Ａが連結され、該第２エアーシリンダ５８によっ
て、ラック５２と共にパスライン１４Ａに沿って往復動
され得るようになっている。

【００４５】第２移動ブロック４８は、第２エアーリシ
ンダ５８によって、ラック５２及びピニオン５０Ａを介
して、送りローラ４９、５０により運搬されてくる基板
１４の進行速度と同期して駆動される。

【００４６】又、ラック５２及び第２移動ブロック４８
は、フィルム前半部分の剥離作業が終了した時点で、次
の基板を迎える位置にまで、第２エアーシリンダ５８に
よって戻され待機位置とされる。ここで、ピニオン５０
Ａの軸孔にはワンウエイベアリング（図示省略）が嵌め
込まれていて、送りローラ５０が逆転されることがない
送りローラ５０の両軸端にはピニオン５０Ａ、５０Ｂが
設けられている。

【００４７】図３の符号４７、５１、図１の符号５９は
押えローラ、図１の符号５３、５５、５７は送りローラ
をそれぞれ示す。

【００４８】前記移動ブロック４２には上下の第２水平
バー６０Ａ、６０Ｂが一体的に支持されている。これら
第２水平バー６０Ａ、６０Ｂは前記上下の水平バー３２
Ａ、３２Ｂと平行且つ等距離位置で、パスライン１４Ａ
方向には固定されている。

【００４９】前記移動ブロック４２には、図２、図４に
示されるように、エアーシリンダ６１Ａ、６１Ｂを介し
て薄膜先端センサ６２Ａ、６２Ｂ、及び基板先端センサ
６４がそれぞれ支持されている。

【００５０】これらのセンサは、前記左右各一対の表側
及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂの間の位置に、剥離フィ
ルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂと共に配置されてい
る。

【００５１】又、これらセンサは、パスライン１４Ａ方
向には、図４に示されるように、薄膜先端センサ６２
Ａ、６２Ｂ、基板先端センサ６４及び剥離フィルム検出
用光センサ６６Ａ、６６Ｂが基板流れ方向に順に配置さ
れている。

【００５２】前記薄膜先端センサ６２Ａ、６２Ｂは、図
７に示されるように、基板１４の表側及び裏側に張付け
られた導電層の先端が接触したとき導通される基板幅方
向に分離した一対の導電性接触子６８Ａ、６８Ｂを備
え、その積層体フィルムの先端に乗り上げて導通が途絶
えることにより先端検出信号を前記制御装置５６に出力
するようになっている。

【００５３】又、前記基板先端センサ６４は、光センサ
であり、両者間の光が基板１４の先端領域によって遮断
されたとき、該先端領域を検出し、前記制御装置５６に
検出信号を出力するものである。

【００５４】更に、前記剥離フィルム検出用光センサ６
６Ａ、６６Ｂは、前記フィルム浮上手段２０及びフィル
ム剥離手段２２によって剥離され且つ捲り上（下）げら
れたフィルムを検出する光センサである。

【００５５】なお、薄膜先端センサ６２Ａ、６２Ｂは検
出態勢に入ると、エアーシリンダ６１Ａ、６１Ｂにより
パスライン１４Ａに近接され、薄膜先端を検出した直後
に、該エアーシリンダ６１Ａ、６１Ｂで反転させられ、
元のパスライン１４Ａから離間した位置に戻される。

【００５６】図８に示されるように、前記基板１４の、
フィルム剥離開始位置における表側及び裏側に接近し
て、フィルム搬出ベルト装置７０Ａ、７０Ｂがそれぞれ
設けられている。これらフィルム搬出ベルト装置７０
Ａ、７０Ｂは、基板１４から剥離され且つ捲り上（下）
げられたフィルムをその厚さ方向に挟み込んで搬出する
一対のフィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａ及び７２Ｂ、
７４Ｂから構成されている。

【００５７】前記上側のフィルム搬出ベルト７２Ａ、７
４Ａは、それぞれ、図９に示されるように、フィルム幅
方向に隙間７６をもって配置された各３個の小幅搬出ベ
ルト７３Ａ〜７３Ｃ及び７５Ａ〜７５Ｃから構成されて
いる。

【００５８】従って、前記隙間７６はフィルム幅方向に
２箇所あり、この隙間７６の位置には、図９に示される
ように、上側のフィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａによ
り表裏を挟持して搬出された剥離フィルムを、該フィル
ム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａの外側に案内する剥離フィ
ルムガイド７８、７９が設けられている。

【００５９】図８に示されるように、前記基板搬送方向
下流側のフィルム搬出ベルト７４Ａ、７４Ｂは、パスラ
イン１４Ａ側のベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂが、該
ベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂと平行な回動軸８２
Ａ、８２Ｂを中心としてレバー８４Ａ、８４Ｂにより揺
動自在に支持され、これによって、ベルト張りローラ８
０Ａ、８０Ｂは、フィルム搬出ベルト７２Ａ、７２Ｂに
接近して、剥離され且つ捲り上（下）げられたフィルム
を挟み込む搬出位置と、フィルム送り方向下流側且つパ
スライン１４Ａから離間する方向に揺動された待機位置
との間で揺動されるようになっている。

【００６０】図８の符号７９Ａ、７９Ｂは、フィルム搬
出ベルト７２Ａ、７２Ｂ側の、ベルト張りローラ８０
Ａ、８０Ｂと対向する入側ベルト張りローラ、８６Ａ、
８６Ｂは、エアージェット装置により基板から剥離され
且つ捲り上（下）げられたフィルムの先端部を、パスラ
イン１４Ａと直角に案内するためのフィルム案内プレー
ト、６６Ａ、６６Ｂはこのフィルム案内プレート８６
Ａ、８６Ｂに、剥離されたフィルムの先端が案内されて
いるか否かを検出するための剥離フィルム検出用光セン
サ、９０Ａ、９０Ｂはベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂ
が待機位置にあるとき、フィルム搬出ベルト７４Ａ、７
４Ｂを該ベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂへの巻き掛け
状態を維持するためのベルト支持ローラをそれぞれ示
す。

【００６１】前記剥離フィルムガイド７８、７９は、フ
ィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａにおける入側のベルト
張りローラ７９Ａ、８０Ａと反対側の出側歯付ベルトプ
ーリー９２Ａ、９３Ａに対して、両者間で、側方から見
て重なる位置（ベルト移動軌跡を横切る位置）から、ベ
ルト移動方向、且つ、外側にまで延在し、それぞれ前記
出側歯付ベルトプーリー９２Ａ、９３Ａ間を通って搬出
されてくる剥離フィルムの両面に対向するガイド面７
８、７９を備えている。

【００６２】該ガイド面７８、７９は、出側歯付ベルト
プーリー９２Ａ、９３Ａ間の位置から側方且つ上方に拡
開して、剥離フィルムを外部に搬出できるようにされて
いる。

【００６３】又、前記下側のフィルム搬出ベルト７２
Ｂ、７４Ｂの出側には、剥離フィルムガイドが設けられ
ていないが、下方に排出された剥離フィルムが、該フィ
ルム搬出ベルト７２Ｂ、７４Ｂの出側の歯付ベルトプー
リー９２Ｂ、９３Ｂ間を通って下方に落下されるように
なっている。

【００６４】更に、前記剥離されたフィルムの搬送経路
に沿って、その表側及び裏側にエアーを吹き付けて該剥
離フィルムを出側に円滑に送り出すための複数のエアー
吹出しパイプ９５が配置されている。該エアー吹出しパ
イプ９５は基板搬送方向と直交する方向に延在し、その
外周には剥離フィルム送り出し方向にエアー吹出し孔が
設けられている。

【００６５】又、前記エアー吹出しパイプ９５の近傍に
は、上下のフィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａ、７２
Ｂ、７４Ｂの出側で剥離フィルムの終端を検出する搬出
検知センサ９６Ａ、９６Ｂが設けられ、その出力信号が
前記制御装置５６に入力されるようになっている。

【００６６】前記回動軸８２Ａ、８２Ｂは、ベルト張り
ローラ８０Ａ、８０Ｂが待機位置にあるように駆動され
ていて、エアージェットにより基板１４から剥離された
フィルムの先端が待機状態のベルト張りローラ７９Ａと
８０Ａ、７９Ｂと８０Ｂの間に入り込んできたときに、
搬送位置に駆動されるようになっている。

【００６７】更に具体的には、基板１４から剥離され且
つ捲り上（下）げられたフィルムの先端領域が、前記前
記フィルム案内プレート８６Ａ、８６Ｂに、第１及び第
２エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ
からのエアージェットにより押し付けられていると、こ
れを剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂが検出
し、該剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂの検
出信号に基づいて、前記制御装置５６が前記回動軸８２
Ａ、８２Ｂのアクチュエータを、ベルト張りローラ８０
Ａ、８０Ｂが搬送位置となるように別個に駆動させるも
のである。

【００６８】又、前記制御装置５６は、前記剥離フィル
ム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂの一方から検出信号が
入力してから、所定時間内に他方からの検出信号が入力
しないとき、直ちに、該入力しない側のベルト張りロー
ラ８０Ａ又は８０Ｂを搬送位置に駆動するようにされて
いる。ここで、所定時間とは、基板１４の表裏における
剥離されたフィルム先端位置の、基板進行方向のずれ、
及び、基板１４の表裏におけるフィルム剥離開始タイミ
ングのずれに基づく、剥離フィルム先端領域検出時間の
ずれの最大値とする。

【００６９】次に上記実施例装置の作用について説明す
る。

【００７０】まず、第２エアーシリンダ５８によって待
機位置に位置決め固定された第２移動ブロック４８を基
準として、エアーシリンダ５４により、移動ブロック４
２を、図４に示されるパスライン１４Ａに沿って移動位
置決めする。又、エアーシリンダ６１Ａ、６１Ｂにより
薄膜先端センサ６２Ａ、６２Ｂが図１０（Ａ）から図１
０（Ｂ）に示された状態に、パスライン方向と直交する
方向に押し出されて基板１４の導電層を検出する準備体
制に入る。

【００７１】この状態で表裏に積層体フィルム１２Ａ、
１２Ｂが配置された基板１４が送りローラ４９、５０に
よってパスライン１４Ａに沿って前記センサ及びフィル
ム浮上手段２０、フィルム剥離手段２２方向に送られて
くる。

【００７２】基板１４の先端が図１０（Ｃ）で示される
ように、上下の導電性接触子間に入り込み、これを開い
て進行する。基板１４の進行に伴い上下の薄膜先端セン
サ６２Ａ、６２Ｂの導電性接触子６８Ａ、６８Ｂが基板
１４の導電層（Ｃu 箔）６９に接触して導通され、次
に、積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂが薄膜先端センサ６
２Ａ、６２Ｂの両方又は一方における導電性接触子６８
Ａ、６８Ｂに接触することによってその導通を遮断す
る。

【００７３】一方、基板１４が進行している途中で図４
の符号６５で示される基板先端検出ラインに到達したと
きに、これが基板先端センサ６４に検知される。

【００７４】制御装置５６においては、薄膜先端センサ
６２Ａ、６２Ｂが表裏における積層体フィルム１２Ａ、
１２Ｂの両方の前端を検出し且つ基板先端センサ６４が
基板先端通過を検出したときを基準とし、次のステップ
に進む。

【００７５】次に、エアーシリンダ５８により第２移動
ブロック４８を引張り、これによって、ラック５２を介
してピニオン５０Ａにより、該第２移動ブロック４８を
基板１４と同期して進行させる。

【００７６】次いで、エアーシリンダ４０によりラック
３６Ａ、３６Ｂを介して上側及び下側水平バー３２Ａ、
３２Ｂを駆動し、表側及び裏側バイブレータ１６Ａ、１
６Ｂ、表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂ、表側及び裏
側バックアップローラ２４Ａ、２４Ｂ、第１、第２エア
ージェット装置２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂの上下
方向位置をセットする。そのセット位置として、ロッド
の先端は薄膜表面上で薄膜先端より内側に接触するよう
にされている。

【００７７】なお、表側及び裏側バックアップローラ２
４Ａ、２４Ｂを支持する支持フレーム２８Ａ、２８Ｂの
基板１４に対する位置は、長孔２９、ボルト２７により
微調整する。

【００７８】基板１４が進行してきて、前記上下の薄膜
先端センサ６２Ａ、６２Ｂが共にオフとされた瞬間か
ら、第２エアーシリンダ５８とエアーシリンダ４０及び
バイブレータ１６Ａ、１６Ｂに圧力空気が送られ、一瞬
遅れてエアーシリンダ５４にも圧力空気が送られる。同
時に第１エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂからも圧力
空気が噴き出す。なおこのとき、薄膜先端センサ６２
Ａ、６２Ｂを基板１４に押し付けるエアーシリンダ６１
Ａ、６１Ｂのエアーは抜かれ、これらのセンサは基板か
ら離れた位置とされる。

【００７９】移動ブロック４２と第２移動ブロック４８
が水平に移動開始すると同時に、バイブレータ１６Ａ、
１６Ｂもバイブレーションが開始され、且つ、表側ロッ
ド１８Ａ、裏側ロッド１８Ｂが基板１４に接触し、その
直後に、エアーシリンダ５４に圧力空気が送られ移動ブ
ロック４２が第２移動ブロック４８との距離を詰めるよ
うに駆動される。

【００８０】上記の過程で、エアーシリンダ５４は設定
距離だけ移動ブロック４２を引張る。

【００８１】従って、表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８
Ｂの先端は、積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂ及び基板１
４に対して、該基板１４より速い速度で移動しつつ且
つ、予め設定した距離だけ、積層体フィルム１２Ａ、１
２Ｂを叩きつつ基板１４の先端方向に移動することにな
る。

【００８２】この移動の際のストロークを大きめに取れ
ば、基板１４の表裏における積層体フィルム１２Ａ、１
２Ｂの張付け位置即ちその先端と基板１４先端との距離
のばらつきを吸収して、確実にロッドにより積層体先端
部を叩くことができる。

【００８３】表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂにより
叩かれると、積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂにおける透
光性樹脂フィルム１１Ｂが感光性樹脂層１１Ａから浮上
がり、ここに、フィルム剥離手段２２における第１エア
ージェット装置２２Ａ、２２Ｂから圧力空気を噴射させ
ると、該浮上した部分が剥離する。

【００８４】他方、前記第２エアージェット装置２３
Ａ、２３Ｂには、圧力空気源からの圧縮空気が、エアー
ホース２５Ａ、２５Ｂを介して供給されるが、制御装置
５６により、第２エアージェット装置２３Ａ、２３Ｂか
らの第２エアージェット吹き出し開始タイミングが、第
１エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂよりも僅かに遅ら
される。

【００８５】従って、第１エアージェット装置２２Ａ、
２２Ｂにより剥離され始めた透光性樹脂フィルム１１Ｂ
は、第２エアージェットにより基板幅方向外側に向かっ
て順次剥離されることになる。

【００８６】又、このとき、第２エアージェット装置２
３Ａ、２３Ｂからの第２エアージェット吹き出し開始と
同時に、同一の圧力空気源から圧縮空気が供給されてい
る第１エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂからの第１エ
アージェットの圧力が低下される。

【００８７】従って、第１エアージェット装置２２Ａ、
２２Ｂにより剥離された部分の透光性樹脂フィルム１１
Ｂが、強いエアージェットによりいわゆるバタ付きを生
じたりすることがなく、適度なエアージェットによっ
て、前記前記フィルム案内プレート８６Ａ、８６Ｂに押
し付けられることになる。

【００８８】又、第２エアージェット装置２３Ａ、２３
Ｂからの第２エアージェットも、吹き出し開始時におけ
る第１エアージェットよりも弱い圧力で吹き出される
が、既に剥離を開始している透光性樹脂フィルム１１Ｂ
を更に連続して剥離させるには十分であり、且つ剥離さ
れたフィルムのバタ付きが生じることがない。又、第２
エアージェットの吹き出し開始タイミングは、第１エア
ージェットより僅かに遅れているので、第１エアージェ
ットによる透光性樹脂フィルム１１Ｂの剥離開始時に、
その両側を強く押し付けて第１エアージェットによる剥
離を妨げることがない。

【００８９】透光性樹脂フィルム１１Ｂの進行方向先端
側がその全幅にわたって剥離されると、該先端領域は前
記フィルム案内プレート８６Ａ、８６Ｂに、第１及び第
２エアージェットによって押し付けられた状態となる。
従って、剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂが
これを検出する。このとき、基板１４の表側と裏側での
フィルム張付位置あるいは剥離開始タイミングが、基板
搬送方向に異なると、剥離フィルム検出用光センサ６６
Ａ、６６Ｂの検出信号出力タミングがずれるが、制御装
置５６は各々の検出信号入力に基づき別個に、回動軸８
２Ａ、８２Ｂを回動させて、ベルト張りローラ８０Ａ、
８０Ｂが搬出位置となるようにする。

【００９０】

【００９１】又、前記制御装置５６は、前記剥離フィル
ム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂの一方から検出信号が
入力してから、所定時間内に他方からの検出信号が入力
しないとき、直ちに、該入力しない側のベルト張りロー
ラ８０Ａ又は８０Ｂを搬送位置に駆動するようにされて
いるので、表側及び裏側の一方でのフィルム剥離ができ
なかったときでも、基板１４の進行がベルト張りローラ
８０Ａ又は８０Ｂ及びこれに巻回されているフィルム搬
出ベルト７４Ａ又は７４Ｂにより妨げられることがな
い。

【００９２】ベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂが搬出位
置に駆動されると、フィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａ
及び７２Ｂ、７４Ｂが、透光性樹脂フィルム１１Ｂ先端
部を表裏から挟み込む。

【００９３】続いて、歯付ベルトプーリー９２Ａ、９３
Ａ及び９２Ｂ、９３Ｂがモーター（図示せず）で一斉に
回転駆動されて、該透光性樹脂フィルム１１Ｂを挟み込
んでいる部分の搬出ベルトが歯付ベルトプーリー９２
Ａ、９３Ａ及び９２Ｂ、９３Ｂの方向へ移動するので、
該透光性樹脂フィルム１１Ｂは基板１４から順次引き剥
され歯付ベルトプーリー９２Ａ、９３Ａ及び９２Ｂ、９
３Ｂから外の方に搬出される。なお、該搬出ベルトの移
動速度は基板１４の移動速度と概ね同速になるように調
整されている。

【００９４】このとき、表側（図において上側）の小幅
搬出ベルト７３Ａ〜７３Ｃ、７５Ａ〜７５Ｃ間の２箇所
の隙間７６には、前述の如く、剥離フィルムガイド７
８、７９が設けられ、その表側及び裏側一対のガイド面
が、側方から見て、出側歯付ベルトプーリー９２Ａ、９
３Ａと重なり合い、且つフィルム搬出面を挟み込むよう
に配置されているので、出側歯付ベルトプーリー９２
Ａ、９３Ａ近傍にまで搬出された剥離フィルムは、前記
ガイド面に沿ってパスライン外に排出されることにな
る。又、下側のフィルム搬出ベルト７２Ｂ、７４Ｂ間に
挟持された剥離フィルムは、出側歯付ベルトプーリー９
２Ｂ、９３Ｂ間から下方に落下排出される。

【００９５】剥離フィルムのパスライン外への排出の際
に、前記エアー吹出しパイプ９５からのエアーが、フィ
ルムを円滑に排出させる。

【００９６】剥離されたフィルムがパスライン外に排出
されるとき、搬出検知センサ９６Ａ、９６Ｂが該フィル
ムの終端領域を検知することによって排出完了が確認さ
れる。剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂがフ
ィルム先端領域を検知しているにも拘らず、排出完了が
確認されない場合は、剥離ミス又はベルトでのジャムと
いうことが判る。

【００９７】なお、下側の出側歯付ベルトプーリー９２
Ｂ、９３Ｂの位置において、剥離フィルムがベルトに巻
き付いて再度上方に運ばれてしまうような傾向がある場
合は、上側と同様の剥離フィルムガイドを設けるとよ
い。

【００９８】上記のように、基板１４の表側と裏側での
フィルム張付け位置のずれあるいはめくれ上がり（下が
り）のタイミングが大きくずれていても、そのずれが許
容範囲であればフィルムは基板の両面から確実に剥離さ
れ搬出される。

【００９９】しかし、基板１４の表側又は裏側のフィル
ム先端縁が剥離されなかった場合は、剥離フィルム検出
用光センサ６６Ａ、６６Ｂの出力信号は一方のみであ
り、これによって、前記制御装置５６は、一方のフィル
ム剥離が終了した後に、基板の搬送を停止し、且つパス
ラインから、例えば上方に搬出して、待機させる。

【０１００】このパスライン外に搬出された剥離ミスの
基板１４は、再度フィルム剥離装置１０を通すか、又は
別途バッチ処理にて残りのフィルムを剥すようにする。

【０１０１】又、制御装置５６は、上下の薄膜先端セン
サ６２Ａ、６２Ｂがフィルムの先端を検出してから、一
定時間内に剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂ
のいずれからも検出信号が出力されなかった場合は、当
該基板１４をパスライン外に排出するようにされてい
る。

【０１０２】ここで、前記表側ロッド１８Ａと裏側ロッ
ド１８Ｂは、基板１４の幅方向にオフセットされている
が、それぞれには、基板１４を介して反対側にバックア
ップローラ２４Ｂ、２４Ａが配置されているので、表側
及び裏側から同時にロッドにより基板１４を叩いても該
基板１４に歪みが生じることがない。

【０１０３】又、表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂが
移動ブロック４２を介してエアーシリンダ５４により、
基板１４に対して相対移動されるとき、前記表側ロッド
１８Ａ及び裏側ロッド１８Ｂが基板１４の先端から外れ
た場合でも、相互に叩き合うことがなく、従って、空打
ちによるロッドの損傷がない。

【０１０４】更に、表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂ
に対向する裏側バックアップローラ２４Ｂ及び表側バッ
クアップローラ２４Ａは、硬質ゴム車輪から形成されて
いるので、基板１４及び積層体フィルム１２Ａ、１２Ｂ
に対して面接触することになり、バックアップローラの
位置が対向するロッドに対して若干のずれがあっても、
ロッドによる打撃時、確実に基板を保持することができ
る。

【０１０５】更に又、前記表側ロッド１８Ａ、裏側ロッ
ド１８Ｂが作動されるとき、これらが支持部材２６Ａ、
２６Ｂがリニアウェイ３０Ａ、３０Ｂの上下動部材３３
に固定されていることから上下に振動し易いが、表側及
び裏側バックアップローラ２４Ａ、２４Ｂは、表側及び
裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂを支持する支持部材２６Ａ、
２６Ｂに対して固定側部材である水平バー３２Ａ、３２
Ｂにそれぞれ支持フレーム２８Ａ、２８Ｂを介して支持
されているので、前記振動に影響されることなく、常に
基板厚さ方向に定位置を取ることができる。

【０１０６】従って、表側及び裏側バックアップローラ
２４Ａ、２４Ｂが、表側及び裏側ロッド１８Ａ、１８Ｂ
の突出動作によって逃げてしまうことによる、該ロッド
打撃不良、透光性樹脂フィルム１１Ｂのねじれ等が生じ
ることがない。

【０１０７】透光性樹脂フィルム１１Ｂが剥離された
後、基板１４は、第２移動ブロック４８位置を通過して
フィルム剥離機構外に送り出され、一方、移動ブロック
４２、第２ブロック４８及びラック５２は、エアーシリ
ンダ５４及び５８の戻り動作によって待機位置に復帰さ
れる。

【０１０８】透光性樹脂フィルム１１Ｂの初期剥離がさ
れた後、エアーシリンダ４０には逆戻りの圧力空気が送
られ、ラック３６Ａ、３６Ｂを介して上側及び下側水平
バー３２Ａ、３２Ｂがパスライン１４Ａから剥離動作を
行い、それに連なるバイブレータ１６Ａ、１６Ｂ、バッ
クアップローラ２４Ａ、２４Ｂ、第１、第２エアージェ
ット装置２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ等が元の待機
位置に戻されるが、その時期は色々に設定することがで
きる。上記の例では、移動ブロック４２と第２移動ブロ
ックが水平方向に同時に移動開始したときにスタートす
るタイマーの設定で定めているが、移動ブロック４２を
移動するエアーシリンダ５４のストロークエンドを検知
するセンサの出力信号等に基づいて定めてもよい。

【０１０９】以後前記と同様の工程を繰返してフィルム
剥離を行う。

【０１１０】なお上記制御装置５６は、剥離フィルム検
出用光センサ６６Ａ、６６Ｂの検出信号に基づき、対応
する回転軸８２Ａ、８２Ｂを別個に、搬送位置に駆動す
るようにされているが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、例えば、剥離フィルム検出用光センサ６６
Ａ、６６Ｂの一方の検出信号に基づいて、検出から所定
時間後に、前記制御装置５６が前記回動軸８２Ａ、８２
Ｂのアクチュエータを、ベルト張りローラ８０Ａ、８０
Ｂが搬送位置となるように駆動させるようにしてもよ
い。

【０１１１】この場合、基板１４表裏におけるフィルム
先端縁の位置や、めくれ上がり（下り）のタイミングが
大きくずれていても、そのずれが許容範囲（所定時間
内）であれば、剥離されたフィルム先端が来る前にベル
ト張りローラ８０Ａ又は８０Ｂが搬出位置となってしま
い、剥離ミスを生じるというようなことがない。

【０１１２】又、前記フィルム搬出ベルト装置７０Ａ、
７０Ｂは、それぞれ入側端の一方のローラがフィルムを
挟み込む搬出位置と、離間した待機位置との間で揺動さ
れるようになっているが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、基板１４の表側及び裏側につきそれぞれ一対
のフィルム搬出ベルトにおける入側が開閉できるもので
あればよい。従って、フィルム搬出ベルト全体が離接す
るような構造であってもよい。

【０１１３】又、前記フィルム搬出ベルトはそれぞれ３
個の小幅搬出ベルトによって形成されているが、これは
フィルム剥離ガイドを設けることができる隙間７６があ
ればよく、従って、各々のフィルム搬出ベルトが２個以
上の小幅搬出ベルトから構成されるものであればよい。

【０１１４】又、前記フィルム剥離装置１０において、
基板から剥離された表側及び裏側のフィルム先端領域
が、エアージェット装置から空気流によって、剥離フィ
ルムガイド７８、７９に押付けられるようにされている
が、これは、剥離されたフィルム先端がパスライン１４
Ａ外に導かれるものであればよい。従って、例えばフィ
ルム搬出ベルト７２Ａ及び７２Ｂを、図８の状態よりも
更にパスライン１４Ａ方向に接近させて、その先端をフ
ィルム案内プレートの代わりとしてもよい。

【０１１５】更に、上記第２エアージェット装置２３
Ａ、２３Ｂは、先端が偏平且つ扇形に広がったエアーノ
ズルから構成されているが、これは第２エアージェット
が偏平な空気流であればよく、従って、例えば図５
（Ｂ）に示されるように、複数の小エアージェットノズ
ル９４Ａ〜９４Ｏから構成してもよい。この場合、各小
エアージェットノズル９４Ａ〜９４Ｏは、扇形に配置し
てもよく、又幅方向に並列してもよい。

【０１１６】更に、この小エアージェットノズル９４Ａ
〜９４Ｏを、第２エアージェットの吹き出し時に、第１
エアージェット装置２２Ａ、２２Ｂに近い側の小エアー
ジェットノズル９４Ａから順次９４Ｏに向かって吹き出
すようにしてもよい。このようにすると、より円滑にフ
ィルムを剥離させることができる。

【０１１７】更に又、小エアージェットノズル９４Ａ〜
９４Ｏを各々がある強さのエアージェットを形成するよ
うにすると共に、吹き出し開始時には、小エアージェッ
トノズル９４Ａ側から順次弱く吹き出すようにしてもよ
い。

【０１１８】又、上記偏平な第２エアージェット装置２
３Ａ、２３Ｂ及び小エアージェットノズル９４Ａ〜９４
Ｏを、その空気吹き出し口がフィルム幅方向のラインに
対して、フィルム幅方向内側ほど基板先端に接近するよ
うに斜めに配置するようにしてもよい。この場合は、均
一に吹き出してもフィルム幅方向内側ほど強くフィルム
先端を吹くことになり、剥離がより円滑となる。

【０１１９】又、上記フィルム剥離装置は、第１及び第
２エアージェット装置の２つを用いてフィルムを剥離さ
せるようにしているが、本発明はこれに限定されるもの
でなく、上下一対のエアージェット装置のみによりフィ
ルムを剥離させる場合にも適用されるものである。

【０１２０】又、上記装置において、バックアップロー
ラは硬質ゴム車輪から構成されているが、これは、ロッ
ド先端による基板の打撃を反対から支えることができる
ものであればよく、軟質のゴムローラ、金属ローラ、あ
るいは、ゴム板部材等であってもよい。

【０１２１】又、上記装置において、バックアップロー
ラは水平バーに支持されているが、本発明はこれに限定
されるものでなく、対向するロッド先端と同期して移動
され、且つ、振動するロッドの影響を受けることなく、
独立に支持されるものであればよい。

【０１２２】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、基
板の表裏両面に貼られたフィルムの剥離された先端縁が
基板の進行方向にずれていても、両者を確実に剥離し且
つ搬出することができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の態様の例に係るフィルム剥離装
置の要部を拡大して示す側面図

【図２】同フィルム剥離装置を後方から見た背面図

【図３】図２のIII −III 線相当部分の側面図

【図４】同装置のセンサ部分近傍を示す側面図

【図５】同装置の第２エアージェット装置を示す斜視図

【図６】同装置の制御系の要部を示すブロック図

【図７】同装置の薄膜先端センサを拡大して示す斜視図

【図８】同装置における剥離フィルム搬出ベルト装置を
示す側断面図

【図９】図８のIX−IX線視図

【図１０】前記薄膜先端センサの作用を示す略示断面図

【符号の説明】

１０…フィルム剥離装置 １２Ａ、１２Ｂ…積層体フィルム １４…基板 １４Ａ…パスライン １６Ａ…表側バイブレータ １６Ｂ…裏側バイブレータ １８Ａ…表側ロッド １８Ｂ…裏側ロッド ２０…フィルム浮上手段 ２２…フィルム剥離手段 ２２Ａ、２２Ｂ…第１エアージェット装置 ２３Ａ、２３Ｂ…第２エアージェット装置 ５６…制御装置 ６０Ａ、６０Ｂ…第２水平バー ６４…基板先端センサ ７０Ａ、７０Ｂ…フィルム搬出ベルト装置 ７２Ａ、７４Ａ、７２Ｂ、７４Ｂ…フィルム搬出ベルト ７３Ａ〜７３Ｃ、７５Ａ〜７５Ｃ…小幅搬出ベルト ７６…隙間 ７８、７９…剥離フィルムガイド ８６Ａ、８６Ｂ…フィルム案内プレート ９５…エアー吹き出しパイプ ９６Ａ、９６Ｂ…搬出検知センサ

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】パスラインに沿って搬送される基板の表面
   及び裏面に貼着された積層体フィルムのそれぞれの送り
   方向先端縁を押圧して、積層体フィルムの少なくとも最
   も内側の層を残して、外側の層の端縁の一部を基板表面
   及び裏面から離間させ、次に該離間した各フィルムの先
   端部分にエアージェットを吹き込んでフィルムを基板か
   ら剥離させると共に、該剥離されたフィルムを、前記パ
   スラインに接近して、前記基板の表側及び裏側にそれぞ
   れ配置された各一対のベルトにより挾持して、基板の進
   行と同期して前記パスラインから離間する方向に搬出す
   るフィルム剥離方法において、 前記表側及び裏側の各一対のベルトを、少なくともパス
   ライン側の入側端部間で開き、フィルム先端を挾持しな
   い開状態としておき、前記表側及び裏側でのフィルム先
   端の剥離を別個に検出し、且つ、表側及び裏側の一方で
   の剥離が検出されてから所定時間後に、表側及び裏側の
   ベルトを閉じて剥離フィルムを挾持し、且つ、剥離、搬
   出することを特徴とするフィルム剥離方法。
2. 【請求項２】パスラインに沿って搬送される基板表面及
   び裏面に貼着された積層体フィルムのそれぞれの送り方
   向先端縁を押圧して、積層体フィルムの少なくとも最も
   内側の層を残して、外側の層の先端縁の一部を基板表面
   及び裏面から離間させる表側及び裏側の押圧部材と、こ
   の押圧部材の近傍に配置され、前記フィルム先端縁の離
   間された部位にエアージェットを吹き込んでフィルム先
   端縁を基板から剥離させる表側及び裏側のエアージェッ
   ト装置と、前記基板から剥離された表側及び裏側のフィ
   ルム先端領域を別個に検出する表側及び裏側の剥離フィ
   ルム検出用センサと、入側端が、前記フィルム剥離開始
   位置で、前記パスラインに接近して配置され、各々が、
   剥離フィルムを先端から挾持して搬出する一対のベルト
   を含んでなる表側及び裏側のフィルム搬出ベルト装置
   と、前記剥離フィルム検出用センサからの検出信号のに
   基づき、前記フィルム搬出フィルム搬出ベルト装置を駆
   動する制御装置と、を有してなり、前記フィルム搬出ベ
   ルト装置の一対のベルトは、前記パスライン側の入側端
   が、剥離フィルム先端を挾持する閉状態と挾持できない
   開状態との間で開閉自在とされ、前記制御装置は、前記
   表側又は裏側の剥離フィルム検出用センサの一方から検
   出信号が入力したときから一定時間後に、表側及び裏側
   の両方で、前記ベルトを閉状態に駆動するようにされた
   ことを特徴とするフィルム剥離装置。