TW312640B - - Google Patents

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312640 Α7 Β7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（l ) [技術領域] 本發明係1«於對導套之内 導套設置在自動車床，用Μ 工具（刀具）之近傍旋轉及可 物加Μ潸接。 [背景技術] 導套設於自動車床之自動 被加工物在切削工具之近傍 及固定型兩種。旋轉型係經 該被加工物可以於_方向滑 加工物保持旋轉及可以於_ 任一型之導套皆具備有： 了持有彌性之開鍵Μ安裝於 被加工物；該內周面因為時 易磨損，特別是固定型之情 因此*由於該被加工物之 之導套内周面•有藉著將超 設置者，罾如專利申謫案之 報所揭示者。 如此，薄由將優異射磨損 Κ設於導套之內周面，被錤 可是，即使將如此超硬合 於使用自動車床切削量既大 超硬合金或陶瓷皆為摩擦係數 周面形成硬質碳膜之方法，將 國持圓棒狀之被加工物在切削 Κ於粬方阎滑動，並輿被加工 車床支柱*用Μ固持圓棒狀之 使其可Κ旋轉，係分成旋轉型 常輿被加工物一起旋轉並固持 励，而固定型係不旋轉而將被 方向潸動。 外周圆維面：及，螺釘部，為 支柱；及*內周面♦用Μ固持 常輿被加工物加Κ潸接所Μ容 形其磨損更為厲害。 旋轉戒滑動在與被加工物滑接 硬合金或陶'瓷釺焊等加Μ固接 日本專利特開平4-141303虢公 性或W热性之超硬合金戒»棄 為可抑制某種程度之磨損效果 金或_粢配設於内周面，但對 加工速度又快的簠切削’因為 很大而热傳導率低，所Μ被加 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS )八4见格（210X297公釐） 4 A7 B7 312640 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 工物會產生擦傷，或使導套及被加工物之直徑方向的間隙 尺寸減少而產生燒接之問*，而有不能提高切削量及加工 速度之問覼。 固定型之導套可Μ將被加工物保持其軸心而無污黏，所 Μ可以加工成高正圓度及精確度，而且磉音很少，自動車 床之構逭也不複雜而可Μ成小型化等，有此優點。 可是*導套內周面之磨損*因為大大超遇旋轉型之情形 ，所Κ要進一步提高切削量及加工速度則會有困難之間*。 因此，本發明係為解决上述之問麵*其目的在於，可加 倍性提高導套內周面之酎磨損性用Κ接觸被加工物，而不 會產生對被加工物的擦傷或熵接，並»由自動車床可Μ提 高切削量犮加工速度。又，其可Κ有效製造如此之導套。 [發明之開示] 因此，本發明係提供一種導套*將硬質碳臢配設在與被 加工物潸接的内周面；及* 一種形成硬質碳膜之方法，Μ 短時間可均匀且堅固形成確質碳贓在該導套之肉周面。 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印製 所諝硬質碳縝，係指氳化不定形（Amorphous)碳膜，因 為具有類似鏞石之性質，所Μ也被稱為鼸石同性碳（DLC)。 該硬質礙膜（DLC)，係高硬度（維氐硬度（Vickers Hardness: H\f)3000HVM上），具優異附磨損性，摩擦係數 很小（超硬合金之1/8左右），也具有儍異的射蝕性。 因此，依據本發明可將該硬質磺臢配設在輿被加工物滑 接之導套內周面，比配設先前之超硬合金或_瓷在専套内 _ 躍而，可姒加锒的椹惠射麝禰袢。__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 5 312640 at B7 五、發明説明t 3 ) 因此，將此儎為自動車床之固定型導套使用，即使進行 切剌悬大且加工速度快之重切剷*在被加工物也不會袤生 擦傷，或發生燒接，而成爲今長期藺進行高精密度加工。 在上述導套之內周面使高粘著性之中藺曆介於中閨而配 設硬質礙膜則可。 該中間曆係由钛或鉻或其化合物而成之下雇*及，矽或 鍺或其化合物而成之上曆所形成的2靥_，如此則下庸輿 導*之内周面（基材之磺工具綱）可保持粘著性，上簷輿《 質碳縝強力踣合，所Μ坷K設粘蕃性更堅固之硬質碳膜。 或者*在內周面使鎢磺化物（VC)等之超砸合金，或，矽 碳化物（Sic)等之_瓷焼結臞等砸質構件介於中間配設碾 質纊膜也可Μ，在該情形，也輿上述介入中間雇配設待嘴碳 膜一樣可Μ更提离粘著性。 又，在導套之内成面附近基材形成,浸碳層，並藏由該浸 碳曆在内周面配設硬質碳膜也可Μ，在該情形，輿上述介 在中間靥配設硬質碳膜一樣可Μ更提高粘著性。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，根據本發明對導套之内周面形成硬質碳鼷之方法 係依據Μ下之顚序。 自動車床用之導套，具有排氣口及氣嫌引進口 *並在内 部設置隔極及_絲而配置於真空槽内，在形成該導套内周 面與被加工物用以滑接之中心開口内加Κ插入條狀或嬝狀 之補助電極。將該補助電極事先插入於導套之中心闢口內 之狀戆下，輿導套一起配置於真空播內也可Κ。 而且*將真空槽内排氣之後，由氣《引進口引進含有碳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規择·（ 210Χ297公釐) _ R 一 " A7 B7 312640 五、發明説明（4) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 之氣《，並將直淀霣懕外加於導套i同時將直流m歷外加於 上述曝«，而將交流電壓外加於上述钃錄使之產生等雛子 艚，在上述導套之内周面用μ形成硬質碳膜〇 又，在輿空權内使之產生等雛子钃之方法*係在真空槽 內不設置跚概及纖錄•而賻离周波m懕外加於導套，或者 ，外加直流電懕使之產生等雛子艚也可μ。 如此，將補助霣植插入於導套之中心開口内狀戆下，》 由引進含碳氣«於真空權内闻時俾之產生等難子«•可Μ 在専套之內周面快速且由Μ口鳙俩到内供Μ均勻厚形 成硬質碳膜。 在形成該硬質碳膜中*使上述補助電極鳐緣儎為深移霣 位也可Μ，、但要保持於捿地電位或直流正電位。 更且，在形成導套之開繾的開口鳙面，將具有該導套内 周面直徑及大略同内徑之環狀膜型件加Κ配置，並藕由形 成硬質碳膜，在内周面之開口皤附近可Μ提高硬質 均質性。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 在該情形，將補助霣極其前靖定位於比棋型_件WP 孃面更內側為較佳。 , 由 又，在形成導套之關繾的拥口靖面，在具有該3 面直徑及大略間内徑之環狀本»，在専套之各開播分$ 置具備可Μ插入之多數突起的附突起夾具，並將 插入於導套之各開嫌，藉由形成《質礙膜，在内 口蠼附近及開繾附近可Μ提离硬質碛贓之均質性° M Ht* $ 段築 在比専套與被加工物用以攢接之內周面直毪_______一 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 7 - 312640 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 部，將具有上述內周面直徑及大路同内徑之圓筒狀的內插 夾具加Μ插入，藉Μ形成硬資碳麒，則在上述內周面之段 差部附近可Μ提高碩質碳膜之均資性。 若將上述附突起夾具及内插夾具之兩方插入於導套形成 硬質碳臢，則跨越上述内周面之全區_可Μ形成均霣之磺 質碳膜。 將上述補助霣極，若藉由插入於比導套之上述内周面直 徑較大段差部之絕嫌子並用Κ支持，則在導套之中心開口 内Μ其中心輸嬢上可容易用來支持補助電植，也可以容易 用來外加任意之甯懕。 [圈式之簡單說明] 第1圓為表示依據本發明導套之一例之嫌剖面画。 第2_為表示其外觀之斜視_。 第3圓為表示依據本發明導套之其他例之縱剖面画。 第4圈至第7園為表示相當於在第1麵及第3_Κ画Α包顯 部份之放大剖面園。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第8圈為表示將第6麵之一部份再放大中間曆構成例之圓。 第9圈為表示將依據本發明之導套及兜前之導套，分別 «由使用於固定型導套之自動車床將切削試驗鯓果加K比 較之圈。 第10顯為依摊本發明對専套之内周面用K實振形成硬質 破膜方法之第1裝置之*略剖面匯。 第11·為表示K置補助電極71時及未K置時，由導套開 口鱺起之距饑及砸質礙醎之臢厚的闞係镍鬭。 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4规格（21〇X：297公釐） 312640

K A7 B7 五、發明説明（6 經濟部中央標準局貝工消費合作社印簟 質質同.實 法 他法硬 起 縱 硬 硬 _ 他 C 方。其 方 成 。突 C 的 成 成10其 _ 之鼷外 之。形 _附 鼷。態 形 形 第 之 視臢面另 膜所 面用 面狀 0 0 輿 法 斜碳拥法 碳面及 拥使 剖面之 資 實 .時 方 之質略方 質剖饜 的所 縵剖套 Μ Μ 件 之 件確 * 之 硬略霣 例法 的鑤導 用 用 梅ΙΚ構成之膜 成橛正 體方 態的於 面 面。覆 破 型形樣碳。形之潦 具之 。狀態具 ΜΗΟΛΙΟ被*。 横明同»明樣直 造膜之狀夾 內 Ξ 内 Ξ 加« 用發HW 面發同之 構礙 面套之插 之JS之㈣追 成面使本13成剖本面植 持質 剖導套内 套tiff套 U 麵 形剖所據第形略據18電 支 《 鐵於辱及 導RW導Ktt形 明赂例依及明 《依第助。之成 之具於具 MuaKUil具夾具夾 明 U 明 ^實 本之實表12本樣表於線電明 夾起夾起 發 Μ 發 Μ 之 據樣之為第據同為17加係助發 插突插突 本2¾本3«_ 依同晒鼸輿依園·第外鼷補本 内附内附 據第據第10示H1518態示1521輿示的示據。樣配配配 依的依的第。表10第第形表第第態表厚表依圓同装裝装 為法為法為為第為及施為與及形為膜為為視為為為為 鼷方_方~鼷面_ 與晒實面態圈 _ 圓之 _躕斜!!画 2 13 ^-4ti5s67b9$of283 4 ί 5 6 7 8 11 之 t-H 之 r-H 一-< ix 1X 11 Λώ οώ 之 OJ 2 2 第膜第麟第之第形第第其第施第他第碳第第具第第第第 碳 碳/樣 施 的 實 其 質 夾 (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） 9 312640

K A7 B7 五、發明説明（7 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 裝装 籣画定 為II盤筒 嫘用 套 套 Μ 面固物 成 旋卡 且 W 之作 導導 加剖置 Η, 可夾 而 W 狀之 之之 造 之設加 上 Μ 筲 箝25 型 型 。 櫛 限面被 身19有 内 1 將簧 定 轉 明 的 為周用 床 _配 孔»4，彌 固 旋 說 床 傍內使 示 主裝 心 部該 置 置 Κ 車 近其 Κ C部 中 Μ 蠼由 設。設。 加 動 軸在加 未 設鳙 之， 後藉 套_套·Isfi]自 主-戆 之21前411 的， 等面導面 形一之 床定狀 床 座之 套®13且 用剖用拥 Hu* 車固持 車 支19盤a'盤而 使之使之 資宋導fllM固 動 承輪 卡13卡。 明限明限 之 U 用 自加轉 自 粬主 於面。夾25 發為發為 明 Μ 使 制11旋 制。由在 置維to筒箦 本傍本傍Is]發@«於 控套由 控動藉且 κΒίκι之» 據近據近 Μ 本Κ對 值導自。值滑係而 係周 内置 依輸依_㈣將導I 數將7ΜΪ_向7>13»外29㈣ 示主示主^國之# 示係311方1者 1纗 套狀 表床表床 uiew»表床Μ ㈣減右台持 0 0^00 為車#考㈣依 為車裝@||17左_支 卡之 J-s-lll 。·#·%-#*:!,。画 _#11台之主所 夾13a>在成 β29自30自㈣下㈣先 S29自 #Η«β_ 該IIW3S41且« 面第的第的 UMKffi首說第該之 α 主於在狀。該卡面更材 剖 置 置！![«單 。型51可 之13夾錐 釘 Μ ^ ^ I 訂 n (Μ Μ ·* (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规棒（210X297公董） 10 五、發明説明（8 A7 B7 麟If: 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 ，由中間套29内可K推出茼夾卡盤13。 筒夾卡盤13之前端位置，係在主軸19之前端接觸於用Μ 固定螺釘之蓋形螺母27將位置加Κ限制。因此，筒夾卡盤 13藉由彈簧25之螺钉力量，可Μ防止由中間套29跳出。 在中間套29之後端部*係通過該中間套29設有卡盤開關 機構31。而且藉由卡盤開關爪33用Μ開闞，使筒夾卡盤13 開顒，將被加工物51加Κ持拿或放開。 換言之*將卡盤開關機構31之卡盤開闞爪33的前端部Μ 相互可拉開加Μ移動，則與卡盤開關爪33之中間套29接觸 之部份，移動到第29圖之左方向並將中間套推到左方向。 藉由該中間套2 9移動到左方向，使接觸於中間套2 9之左端 的筒夾卡盤41移動到左方向。 而且，筒夾卡盤13，係在主軸19之前端藉由鎖緊螺釘之 蓋形螺母27，防止由主袖19跳出。 因此，藉由該卡盤套41移動到左方向 > 使形成简夾卡盤 13之開鏠的部份外周圓錐面13a，及*卡盤套41之内周圓 維面41a強力壓著，成為相互沿著圓維面加Μ移動。 其结果，可使筒夾卡盤13之内周面直徑變小，可Μ用來 持拿被加工物5 1。 使茼夾卡盤13之内周面直徑變大用以放開被加工物51時 ，卡盤開關爪33之前端部藉由相互關閉加Κ移動*將卡盤 套41壓到左方向之力量解除。 於是藉由彈簧25之復原力可將中間套2 9及卡盤套41，加 Κ移動到圖之右方向。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝丨 訂 h線--- • mu In— I —β—fl 1^1 本紙張尺度適用中國國家標準（〔呢）八4規格（210父297公釐）-11_-修正頁 312640 A7 B7 五、發明説明（9 ) 因此，可成為解除筒夾卡《13之外周圓錐®13a，及， 卡盤套41之内周圓維面41a推壓力。藉此，筒夾卡盤13可 以自己持有之彌力使内周面之直徑變大，可K用來打開被 加工物51。 更且，在主軸台17之前方係設有支柱35，在此*將導案 裝置37使其中心_線輿主輸中心線一致而配置著。 該導套裝置37,係靨固定型之等套裝置37，將導褰11加 以固定，在該導套11之内厢面lib用以固持被加工物51成 可Μ旋轉之狀態。 在固定於支柱35之夾具39之中心孔，嵌入櫬套筒23*而 在該確套筒23之前皤部設有内周圓雎面23a。 而且，在該襯套筒23之中心孔，在前端部使其形成外周 @维面11a及開縫11c之等套11嵌入而配置著。 在導套裝置37之後鳙都，藉由螺接於導套11之鐳釘部所 設置之調整鳔母43加以旋_，則可K用來譎整導套11之内 徑及被加工物51之外形的間嫌尺寸。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 換言之，使讕整嫘母43右旋轉，則對於類套简23之導套 11移動到國之右方向，與筒夾卡盤13之情形同搬，使襯褰 筒23之內周園維面23a及導套11之外周圃維面11a相互推麇 著，Μ使導套11之前鳙部的内《變小。 在導套装置37之更前方，設有切削工具（刀具）45。 同時，被加工物51被使用主輪19之筒夾卡盤13加以持拿 *同時Μ導套裝置3 7加Κ支持，而且將該導套裝置37加以 貫通並將突出於加工領域之被加工物51·藉由切削工具45 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐）

經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 _I 補尤_五、發明説明（10 ) 之前進後退及主軸台17之移動的合成動作進行預定之切削 加工。 接著，對於使用旋轉型之導套裝置將用Μ持拿被加工物 之導套加Μ旋轉的狀態依據第30圖加Κ說明。在該第30圖 中，與第29圖對應之部份係被附與同一編號。 做為該旋轉型之導套裝置，係有使筒夾卡盤13及導套11 同步旋轉之導套裝置 > 及，不同步旋轉之導套裝置。該圖 所示之導套裝置37，係靥筒夾卡盤13及導套11同步旋轉者。 該旋轉型之導套装置37，係利用由主軸19之蓋彤螺母27 突出之旋轉驅動棒47，將導套裝置37加Μ驅動。取代該旋 轉驅動棒47，也有利用齒輪或皮帶輪將導套裝置37加Κ驅 動者。 該旋轉型之導套裝置37，係在固定於支柱35之夾具39之 中心孔，通過軸承支座使襯套筒23嵌入在可Μ旋轉之狀態 所配置者。又，於該襯套筒23之中心孔使導套11嵌入如此 配置。 襯套筒23及導套11，係與依據第29圖所做的說明同樣的 構成。而且，在導套裝置37之後端部，藉由螺接於導套11 之螺釘部所設置調整螺母43加Μ旋轉，使専套11之内徑變 小，可.Κ用Κ調整導套11之內徑及被加工物5 1之外形的間 隙尺寸。 導套裝置3 7除了旋轉型Μ外之構成，係與依據第2 9圖所 做的自動車床之構成同樣，所以此等之說明被省略。 [依據本發明導套之說明] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ 裝-- 訂 Η線丨· 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公聲）修正買 312640

經濟部中央標準局員工消費合作社印I 沃i;.本 yL·： ' ~------__五、發明説明（u) 其次，依據本發明將導套之構成，對於種種之實施形態 加κ說明。 第1圖為表示依據本發明導套之一例縱剖面圖，第2圖為 表示其外觀之斜視圖。 此等圖所示之導套11，係表示前端部為自由打開的狀態 。該導套11，係在長度方向之一端部形成外周圓维面Ua ，而在另一端部具有螺紋部Ilf。 更且，在該導套11之中心設有不同開口徑貫通之開口。 而且在設置外周圓錐面11a側之内周，形成內周面lib用Μ 固持被加工物51。而且，在該內周面llbM外之領域，係 形成比內周面11b之内徑更大持有內徑之段差部llg。 又，該導套11係由外周圓錐面11 a到彈簧部H d正，將外 周圓錐面11a在圓周方向做為3等分之開鏠11c，Μ 120°間 隔設於3處。 而且，在前述之襯套筒的内周圓錐面藉由將該導套11之 外周圓維面11a加Μ推壓，使螺紋部lid鬆弛，可Κ用以調 整内周面lib及第1圖Μ假想線所示被加工物51之間隙尺寸。 更且，在該導套11，係在彈簧部11 d及螺紋部11 f之間設 有嵌合部1 1 e。而且，使該嵌合部1 1 e藉由嵌合於第2 9圖及 第30圖所示之襯套筒23之中心孔，可Μ將専套11配置在主 軸之中心線上，並且可Μ平行配置在主軸中心線。 做為該導套11之材料，可使用碳工具鋼（SK鋼），形成外 形形狀及內形形狀之後，進行淬火處理及回火處理。 更且，在該導套11之內周面lib*藉第3圖所示將超硬材 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4规格（210X 297公釐）~~-1 4-修正頁 A7 B7 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

K 辣--- 經濟部中央標準局貝工消费合作社印褽 A7 B7 五、發明説明U2 ) 料12藉由飪焊手段加以固定為佳。 可是’該導套11，在外用圓艙面lla於鼷期狀態下，在 内周®iib及被加工物51之間在半徑方向設有5w B〜1〇w B 之間隙。藉此，可使被加工物51出入因為輿內周面11]3加 Μ滑接，所以會有磨損之間鼸。 更且’使用固定型之導套裝置時，因為固持於所固定之 導套11的被加工物51Κ高遽旋轉所加工，所Κ在內周面 11b及被加工物51之間高速潰動，而且由於切剌負荷對內 周面由於遘大之被加工物51之推颳力，會產生燒接之問羅。 因此’在該導套11之內周面lib，設有前述之硬質碳膜 (DLC)15。其硬質磺臟15之鎮厚儀做成到5« ·〇 在第1BL之例中，係在導套11之基材（碳工具鋼）上介入 後述之中間層形成硬質碳膜15·而在第3面之例，係在超 硬材料12上直接或介入後述之中間曆形成砸質碳臟15。 該砸質碳膜具有輿蟥石類似之性質。換言之，其具備有 高的搌械性強度，摩擦係數小的_滑性，更且持有良好電 氣涵緣性或髙热傅導率，也有優異的腐蝕性等特戡。 因此，在內周面lib設有硬質碳膜15之該導套11，附磨 損性可無限的提高，而在畏期使用成重切削加工中，也可 Μ抑制與被加工物51接觸之内周面lib的磨損。又，也可 K抑制對被加工物51產生擦傷，又可Μ用Μ抑制導套11及 被加工物51產生燒接。 因此*依據本發明，導套11，對於長期使用可以特別提 高其信頼性，也可Μ充分使用固定型之導套裝置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210X297公釐） -ι 5 - I,--^---:--f 袈------訂------^ T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >12640 A7 ____ _B7 五、發明説明（13 ) 在此，將設有該導套11之内周面1U的硬霣碳膜15郤份 各種構成例，參考相當於第1面及第3·以圓A包鼸部份之 第4_至第7·放大剖面，及，第8·表示放大第6画之一 部份中闥曆的構成例加Μ說明。 第4國係相當於第1躕之Α都放大醒，在導套11之内周面 lib基材（碳工具綱）上，為了提高粘接性而介入中間靥16 ，並配設硬質碳臢1«·到5w·之膜厚。又*依據導套11之 基材材質，不介入中間曆直接在其表面形喊硬質磺膜也可 第5圓及第6圈係相當於第3蘭之A部放大_ *皆在導套11 之內周面lib之基材上，將瞾》2··〜5··之硬質構件藉由 钎焊等加以固接，在其內周面形成硬質磺膜15。如此，則 可以更進一步提高導套11之耐久性。 第5_所示之例*係在砸質構件12之內周面為更提高粘 接性介入中間靥16，而形成碾資碳臌15。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 此等之例中，做為設於硬質磺膜15之下曆的硬質構件12 ，也可Μ使用線碳化物（WC)等之超硬合金，或矽破化物（ SiC)等之陶瓷燒結臁。在_瓷之鐃結時*通常係添加Cr、 Ni、Co等做為粘結繭，但其添加最很少時，則不介入中間 曆而將硬質碳膜15可K直接形成於該硬質構件12上亦可。 在此，將做為該砸質構件12使用矽碳化物（SiC)之形成 方法之一例加以說明。 K原子百分比將矽（Si)及碳（C)K1比1之矽碳化物粉末 ，放入環狀之棋型*加上0.5到3_壓力用Μ加懕成型。接 16 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4C棒（210X297公釐） 312640 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（u 著，在氣或氩氣等不活性氣髏之籯内氣體中進行燦成處理。 之後* Μ矽磧化物i黻點附近澴度14001C到170〇υ加Μ加 熱*與該加熱同時進行加懕處理*使矽碳化梅中之氣孔消 失。藉由該加热加臛處理使矽碳化物壤行精密化，做為硬 質構件12使其密度及《度提离，Κ維氏砸度成為2000到 3000 0 之後，在該瓖狀之硬質構件12形成Μ钕（Π)做為主成份 之金屬嗔鍍曆。而且在導套11之内周面lib配置該砸質構 件12並進行加热處理，使金颺嗔敏層熔融並輿等萁11之基 材接合。 並且，在進行該硬質構件12之内周研磨加工之後，進行 加工用Μ形成開鎗11c在該導套11。 第7圈為表示在導套11之内周面lib取代配設硬質構件12 ，在内周面lib附近之基材形成滲破曆llh*而藉由該滲碳 雇llh在内周面lib配設硬質碳膜15之例。 所諝滲碳，係鋦材之表面硬化法之一 *使表面硬化，而 深部依然保持強韌之性質，如此為眾所周知之處理。 在此，譬如在甲烷（CIU)或乙烯（CZIU)等之含碳的滲碳 性氣體及毚（H2)之載氣的混合氣鱺鱸內氣«中，Μ如下之 條件進行滲碳處理。 (滲碳條件） 溫度 11001： 時間 30分鐘 滲碳深度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公嫠） 17 _________->装 —I (請先閱讀背面之注^^項再填寫本頁) 訂 A7 B7 312640 五、發明説明（15 ) 以如此進行，在導套11之内周面lib之表曆形成滲磺曆 llh時，可K在其表面直接用K形成««碳膜15，但在其 表面形成中間靥16為更提离粘接性，而介入該中藺曆用以 形成硬質碳膜15者更佳。 做為該中間曆16，可使用元素馬期表第IV族之矽（Si)或 箱（Ge)*或，矽或》之化合物也可K。或使用如矽磺化物 (SiC)或呔碳化物（TiC)含碳化合物也可Μ。 又，做為該中閭曆16，也可Κ*用呔（Ti)或鎢（V)或鉬 (Mo)或鉅（Ta)及矽（Si)之化合物。 更且，將該中間靥18，如第8_所示，形成為使用钛 (Ή)或铬（Cr)而成之下靥16a*及，使用矽（Si)戒tt(Ge) 而成之上層16b的2層膜也可K。 如此，則中閬靥16之下靥16a的肽或络係與導套11之基 材可發揮保持粘接性之功能，而上靥16b之矽或鍺係與硬 質碳膜15加Μ共價鍵*與該《質碳鎮15可發揮強烈结合之 功能。 又，做為該中間曆16，係使用肽化合物或络化合物之下 曆及矽化合物或緒化合物之上曆形成2庸膜也可Κ。成者 ，使用鈦或鉻之下曆及矽化合物或緒化合物之上曆形成2 曆鵬也可Μ。更且*使用呔化合物或鉻化合物之下曆及矽 或结之上曆做為2層膜也可Κ。 而且，做為該中間曆16之形成方法，可缠用濺射法或離 子侵蝕法，或化學汽相成長（CVD)法或熔射法即可。 又，做為前述硬質構件12而使用矽碳化物（SiC)時，可 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 18 312640 a? ____ B7 五、發明説明（16 ) K省略該中藺層16之形成。因為，矽碳化物係元素周期表 之第IV族的矽及磺化合物，輿形成在其表面之《質碳膜15 加Μ共價鍵，可Μ取得高粘接性。 第9_為表示依據本發明之導套及先前之導套*藉分刖 使用之自動車床將切削轼驗結果加Κ比較之圈。 在此進行實際之切削加工，將先前之導套，及本發明之 硬質碳膜形成於内周面之導套加以比較。比較轼騸之導套 係颺届定型之導套。 做為先前之導套，係使用在内周面儸Κ設超硬合金（超 硬），及，僅設置陶瓷之熝结觼，而本發明之導套係使用 在内周面介入中間庸形成厚度3W μ之硬質碳臢（DL C)。， 而且切削條件係如下述條件進行。 被加工物 不綉鋼（SUS303)，直徑16麗雇 旋轉數 4000rp蠤 切入量 軽切M : 0.8·· 賁用切M : d= 3·· 苛刻切斛：d= 5.0β· 經濟部中央檩準局負工消費合作社印製 界限切削：d = 6.5bh 送進量 0.05»»/1旋轉 加工長度 20m· 該切削試驗之結果，在第9圓可Μ正常切削MO標記表 示，不能切削MX檷記表示。 換言之，在使用設有先前之超磺合金導套時’即使在輕 切削1目之被加工物的切削開始稍後，在導套內周面產生 19 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 312640 A7 B7 五、發明説明（17,) 燒接，則成為不能切削狀戆。 又，使用投有先前之_*導套畤*則輕切削在正常可Μ 切削100個之被加工物*但在資用切削，則在1目之被加工 物的切顧開始稍後，在専套内周面產生燒接，而成為不旌 切削狀囍。 相對地*依據本發明使用設有確質磺膜（DLC)之導套時 ，則從輕切削到界限切剌為止，分別將各100髑被加工物 連績切削加工試驗之後，即嫌行2000·之切聃距難的加工 ，如此也不會產生任何嫌结，更且也完全不會衋生導套内 周面之磨損或DLC之剌離現象。 如此*若依據本發明使用導套*則在苛刻之條件下也可 Μ進行切削加工，可Κ明絲提高加工效率*而且經由長期 間可Μ進行高信頼性之切刺加工。 [對導套內周面形成硬質磺膜之方法的說明] 接著，將依據本發明導套內周面形成硬質碳膜之方法的 實》形態加Κ說明。 第3圖為表示對導套11內周面lib形成硬質碳_ (DLC)15 之方法所做的說明。 第3圓所示之導套1W辨丨ϋ破工具鋦（SK)材科進行切削加 工，用Μ形成外周圓维面11a及鏍紋部lid及嵌合部lie及 鏍紋部Ilf，及，藉由中心開口 llj之内周面lib及比此内 徑大約段差部llg。之後，將圓简形狀之超硬材料12利用 If焊接合並固接於該導套11之内周面lib。 而且，進行放轚加工*在該導套11之外周_維面Ua傷 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -ft _ (請先闆讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Μ & 312640 A7 B7 五、發明説明（18 ) 以120°間隔形成開嫌lie。 1..--ΓΤ-----(袈-- (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 更且進行研鼸加工，遒行内II面lib及外筠圓维面11£|及 嵌合部lie之研磨，在形成硬質磺膜之前取得導套11〇 其次，在該導套11形成磺質磧贓15。第1裝置係用以形 成碾質碳膜15，係如第10_所示之構成。 61為真空槽，具有氣艚引迪口 63及排氣口 65，在其中之 中央上部，配設有曝極？9及纖躲81。在該輿空播61內之中 央下部，將前述之専套11下部鬮定而垂直配置在絕緣支持 具80上。 而且，在該導套11之中心_ 口 llj，通邊真空檐61將連 接於接地電位之细小條狀的補助竃檷71用Μ插入並配設著 。此時補助電檯71要定位於導套11之中心開Ullj的中央 部（大路在_線上）。 心· 又，該補助霣極71係使用不綉醑等之金羼材料所做成。 而且，該補助霣極，其前端係由導套11之開口靖面（在第 10麵為上端面）不要使其突出，而配置於1·ι左右内侧，如 此較佳。 經濟部中央標準局舅工消費合作社印簞 而且，將真空槽61内成為真空度3X10 - Β托爾，由排 氣口 65加Μ真空排氣。 更且，由氣艚引進口 63將做為含碳氣顙之苯引進到真空 權61內·加以控制成為真空槽61内之壓力為5X10 - 3托 爾。 之後，在該導套11外加由直流電灘73之負的直流電壓， 而在隔禳係外加由》檯a灏75之正的直流電壓，進而在鎩 21 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS )八4规格（210X297公嫠） 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（19 ) 絲81外加由纖絲霄源？7之交滦電臛。 此時，由直流霣源73用Μ外加在導*11之直潦*饜為負 3KV·由隈極電源75用以外加在»極79之直潦霄壓為正50 V 左右。又，由纖絲電源77用Μ外加在繼絲81之交流«Κ， 係能潦通30Α之電流用Κ外加10V左右之交流電簾。 Μ如此進行，在配萱於真空懵61内之導套11的周顯领域 使其產生等離子黷*並在導套11之表面形成砸質磧膜。 在該第10_所示形成硬質磺膜之方法中，輔由設置補助 電捶71用Μ插入導套11之中心開口 llj內，不僅導套11之 外周部，建内周部也可以用Μ形成等雜子震。 又*藉此不會產生異常放霣之空心放電，可Κ提高«質 碳膜15之粘接性。 更且，在導套11之内周面的長度方向成為均匀的竃位特 性，所Μ形成於内周面lib之硬霣碛膜之膜厚分佈可成為 均勻。而且*為了成為快速成膜速度，由開口蠼面俩到開 口内供為止將均勻_厚之硬質碳_ *可Μ短時間之處理加 Μ形成。 如此，將不Κ置補助電極71輿形成硬質碳_在該導套11 之情形做比較，則成為如第11圓所示。 導套11之內周面lib之内徑為12··情形，不配置補助電 槿71時，則如第11鼷Μ三角標記圃曲孃之折嬢b所示，膜 厚很 薄》而且由開口蟠到內而去所K膜厚成為更薄。相反 地，在配置補助電極71時，如同四角禰記劃曲嬢之折 孃a所示形成膜厚很厚，而且不限於由開口姍之距離大略 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~~~ 1..--.T-----Γ 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 Α7 Β7 312640 五、發明説明（20 ) 呈均勻之膜厚。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 該補肋電極71之直徑，僳比導*11之開口直徑較小即可 ，但對形成硬質碳_之內周面lib有5··左右之間隙較佳， 即要設有等雛子《形成領域較佳。該補肋霣槿71之直極及 導套11之開口徑的比率為1/10M下為較佳，將减助電檯71 做成细小時則做為嬢狀也可Μ。 雖然對該補助電極71使用不锈鐧加Μ形成者已做了說明 ，但如使用鎢（V)或钽（Ta)之离融點的金颺材料作成也可 Μ。又*該補助霣《71之剖面形狀為圖形。 其次，依據輿上述之方法不同之資Ife形獯對辱套之内周 面形成硬質碳膜之方法*依據第12_加Μ銳明。 在第12國中，與第10_之對應部份則附輿闻一之編臚， 此等之脫明加Μ省略。 本實施形態所使用第2裝置之真空槽61，在其内部未設 有陽檯及鎩躲。 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 在使用該裝置形成硬質碳膜之方法中，與使用第1〇_所 示之裝置形成硬質碳腰之方法不同點，係在配置之導套11 插入真空槽61內所接地之補助«擓，通罎ΕΚ電路67而具 有13.56 MHz之振通周波數用Μ外加由高周波電濂69之高周 波霣壓之點，及，做為含有磺之氣«，將甲烷（CHO氣髑 引進到真空槽61內，加Μ調整成為真空度為0.1托爾之黏 而已。 Κ如此方式進行，不僅導套11之外周面供連內周面側也 產生等雛子臞，使導*11之全面形成硬質礙膜。特別是， 23 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A7 B7_____ 五、發明説明（2 1) 第3麵所示與補助m極71對置之内周面lib，可K在短時間 用Μ形成跨越全長略呈均勻之膜厚的硬賨碳_15。 接著，又將依據輿上逑之方法不同的實振形態對導套之 內周面形成硬霣碳膜之方法，依據第13鼷加Μ銳明。在第 13圈中*與第10圓對應之挪份也附與同一钃醵，而此等之 說明加Μ省略。 Μ本實掩形戆所使用之第3裝置，在真空槽61内也未設 有隱槿及纖絲。 在使用該裝置之形成硬質磺贓之方法中，與使用第10鼷 所示之裝置用Κ形成硬質破膜之方法不同黏在於*在配置 之導體11插入真空樓61内所接地之補助«極，镟用外加由 直流電源7.3'之負600 V的直溁電懕之點，及，做為含碳之 氣髓，將甲烷（CIU)氣*引進到真空槽61内，而可用以調 整成為真空度為0.1托爾之點而已。 K如此方式進行•不僅導套11之外周§刪連內周面供也畲 產生等雛子髅，並在導套11之全面形成硬質磺膜。特別是 ，在第3圓所示與補助電極71對萱之內周面lib*可K在短 時間用Μ形成跨越全畏大略圼均勻之臢厚的硬質磺膜15。 在Μ上之說明中*係在導套11之外周面及內周面之兩方 加Μ形成硬質碳臢，但也可Μ僅在內周面形成硬質碳膜。 在該情形*如第14鼷所示，將被覆構件82配置在導套11 之外周部即可•但簡易的方法係將做為該被覆梅件82之鋁 箔盤纗在導套11之外周部也可Κ。 第14_，係使用第10·之第1裝置的例，表示將被覆構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 2 4 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· _ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 312640 A7 B7 五、發明説明（22 ) 件82配置於導套11之外周部的例*但即使使用第12鼷戒第 13鼷所示第2、或第3装置時*也同橼在導套之外周面K置 鋁箔等之被覆構件82*也可K僅在內周面形成堅固均勻之 砸f碳讚。 又，此等形成硬霣碳膜之方法》係依據第4_至第8画做 說明，對導套11之內周面lib藉由各種靥之構成同樣也可 Μ瘇用於形成硬質磺顏15。 更且，依據上述之各實®形鐮對導套之内周面形成礞質 碳膜之方法，係使用做為含磺氣臞之甲烷氣糴或笨氣鳒做 說明，但除了甲烷之外也可Μ使用乙烯等之含碳氣鐮，或 己烷等之含碳硖體的蒸發蒸氣。 依據此等之實ft形籮對導套形成硬霣破_之方法，係在 導套之閭口內，在應形成硬質磺謨之內周面lib,將接地 電位之補肋«檯加K配置而形成硬質碳_，所K同電位之 電極彼此之間在對置之內周面聞，成為設有接地霣位之補 助霣極*而同霄位彼此之間成為不會對置，亦不會產生異 常放m之空心放電。因此，可μ將粘接性良好之硬質碳膜 形成在導套11之內周面iib。 其次，依據本發明對導套之內馬面形成砸質磺驥之其他 實腌形態，參考第15·至第18面加以說明。 第15_、第17園、及第18_為分別表示，與第1〇圓{、第 12圏、及第13國所示之第1、第2、第3裝置使用相同装置 形成班霣碳膜在辱套11之例。因此，與此等之各画同樣部 份係附輿同一孅號，而此等之說明加以省略。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） : J ; τ (裝 訂 ^ ^ 1¾. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7___ 五、發明説明（2 3) 因此，與前述之方向不同貼*係導套11之内周面11b(參 考第1_)之直徑及如第16圓所示使用具有大略相閲内徑瓌 之棋型構件53之點而已。該禊型構件53，也與補肋霣極71 同樣使用不銹網所形成。 該祺型構件53之外徑尺寸，係興導套11之開口嬙面大小 做為大略相同之大小。 而且，如第15圈所示*在具有氣»引進口 83及排氣口 65 之真空權61内》加以配置形成硬霣碳膜之導套11。此時在 導套11之外朗®維面側之開口鳙面（在中為上嬝面 > 上載置 有横型構件53。 此時*要使導套11之内周面及棋型構件之內周面一致。 在該導萘11之內周面lib，係如前述預先固接硬質材料 *或形成中雇放著。 而且，與前述之情形同樣在該》套11之中心開口 llj内 之中心*設有插入接地《位之補助«極71。此時，補肋.電 極71之前嬙由模形構件53之上靖面不使突出•而定位於稍 微內領即可。 經濟部中央棣準局員工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 對於其他則輿依據第10麵所說明之方法闻樣，但為慎簠 起見再加Μ說明。即將真空槽61內之真空度成為3X10 - 5 托爾，由排氣口 6 5加以莫空排氣。 之後|由氣體引進口 6 3將做為含磺氣艚之苯（CBHe)引進 到真空檐61內，用Μ控制將真空權61内之壓力成為5X10 - 3 托爾。 而且，在導套11外加由直流竃源73之負3KV的直潦«颸 ^紙張尺度逍用中國國家標準（CNS.) Α4规格（210X297公釐） -2 6 ~ Α7 Β7 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 五、發明説明（24) ，而在陽極79係外加由矚極霄源75之正50V之直流竃颸， 更且在鐵絲81係外加由纖緣锖瀕77流通30A之霄流的10V交 潦霣壓。 藉此*在真空權61內之導套11的周顯領域使其I生等雛子 驩，在第1_所示導套11含内周面lib之表面形成硬質磯膜。 此時補助霣極之作用係輿前述之情形同橼，但横型構件 53形成如下之作用。 換言之，對此一導套11形成硬賨磷臢之方法中*係使導 套11之內面及外周部產生等雛子*。而且，使導套11之纗 面容易集中霣荷*比起內面之開口鳙面領域係高霣位吠戆 ，發生所諝限界效果。因此導套11之靖面近傍之等離子艚 強度係比其他領域強大，並且也不穩定。 更且*導套11之饑部領域，係成為受到內面之等鐮子« 及外周部之等離子嫌的雙方雛子體膨響。 而且，在如此狀態下形成硬質碳膜，則在由導套11之開 口靖面到數内側的領域及其他領域，硬質碳膜之粘接性 係有若干差異*更且膜資也有若干不同。 因此，如第15·所示若在辱套11之開口鳙面配置棋型構 件53形成硬質碳臢，則陔旗質或粘接性不同之領域不畲形 成在導套11之内面，而成為形成於棋型構件53之開口内面。 若依據實驗* Μ第10画所示之方面在導套11形成碾霣碳 膜時*則在由導套11之開口蝙面到4··左右之内供，形成 寬尺寸為1··到2··之膜質或粘接性若干差異之領域。 可是，如第15園所示*將持有與導套11之開口尺寸大致 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 1^ ^ J1--r----p-- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規棒（210 X 297公釐） 27 312640 A7 B7 五、發明説明（25 ) 相同開口尺寸，畏度尺寸為10··之棋型構件53載置於導赛 11之開口皤面，並Μ前述之碩質磺膜形成條件進行被_形 成之結果，膜質或粘接性不同領域係形成於横型構件53* 而在導套11之内面係完全不脅形成臢質或粘接性不闻之_ 域。 第17画所示形成硬質碳膜之方法，係與第12画所示砂成練 質碳臢之方法同樣，在導套11，通逢匹配霣路67並藉由外 加由具有13.56ΜΗ ζ之振撤周波ft®周波竃源69之高庵波« 颸*在真空權61内使產生等雄子黷之黏，及，將做為含碳 氣髖之甲烷（CH4)氣艚引進到真空槽61内，並用Μ調整真 空度為0.1托爾之點，輿上述之方法不同而已。 又，第18圓所示形成硬質磺贓之方法，也在導套11，藉 由外加由直流電源73'之負600V的直流爾壓，在真空槽61 内使其產生等雛子體之黏輿上述之方法不同而巳。 此等之情形也可《由使用補助霣極71及棋型櫛件•在導 套11之內周面lib可Κ非常有效形成均勻之臢厚而縝質及 粘接性也均勻之硬霣碳膜。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 更且，如第14_所示之例，在導套11之外周藉由配置被 覆構件82*也可以僅在内周面形成硬質碳膜。 又，在此等形成硬質碳臢之方法中，將_助電極71之前 端部成為配置於由_型構件5 3之開口鳙面1··左右内傷。 因此補助霣槿71之前靖部由棋型構件53之鬬口端面霣出時 可以抑制補助霣橛71之前嬝部的異常放霣，可K將臢質良 好之硬質碳膜形成在導套11之內周面。 28 1.,~—,1^---”--C 装-- C请先聞tt背面之泣意事項存填寫本育)

Mk 本紙張尺度逍用中國國家標準（CMS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（2 6) 其次，依據本發明對導套之内周面形成硬質磺膜之方法 的另外其他實祿衫態*參考第19鼷至第23·加Μ銳明。 第19_至第21 _為表示本實旛形鐮之園，但其分別輿前 逑第15·、第17·、及第18_對應之画，與此等之各鼷同 樣部份則附與同一編號，而此等之說明加Κ省略。 在此，與前述方法不同點，係將補助霣橱71藉由絕緣子 85使嵌入於導套11之中心關口 llj·而對於導套11或對於 真空曆61皆使絕緣並加K支持*並在核補助霣極71外加由 補助«極電源83之直流正電雇（罾如正20V)之點。 將外加於該補助電極71之直流正電齷，及，形成於導套 11之開口內面的硬質碳膜厚之醐像*表示於第22 _之線_。 在該函為表示*使外加於補助電極71之直潦正霣懕由0V 到30 V為止變化，更且導套11之開口内面及補助霣榧71之 間的間陳尺寸為3··及5·ι畤之硬質碳膜的膜厚。又，曲鎳 a係表示上述間隙為3··時之特性*曲線b係表示上逑間隙 為5··時之特性。 經濟部中央標準局賣工消費合作社印装 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 如該曲媒a、b所示，使外加於補肋霣極71之直流正轚懕 埔加，則使硬質碳膜之臟形成速度提高。又，導套11之開 口内面及補助電極71之闢的閜陳尺寸愈大，則硬質碳膜之 膜形成速度愈提高。 而且，導套11之開口内面及補助電極71之間的間賺尺寸 為3®b時（曲線a)，係外加於補助電槿71之霣位在0V之接地 電颳，則在導*11之中心開口 llj之内面不會產生等離子 «•而不能形成_質磺麇。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（21〇χ297公釐） -29 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 五、發明説明（27) 可是，在該情形將外加於補助電極71之直流正霣屦提高 上去*則在導套11之中心関卩llj內的補助霣槿71之周圈 ♦發生等艨子* *也可Μ形成«霣碳臢。 因此，中心開口 llj之徑很小在導套之内周面·若依據 本實施形戆使用外加直流正電懕於補助霣極71，則可形成 硬霣碳膜之被膜。 如此之作用，係藉第19画至第21画所示其中之一方法， 在導套11形成硬質碳臢時也同樣。 又’如依據第10_至第13鼷已做之說明，不使用棋型構 件53形成硬質碳膜時，鶼由將直液高《懕外加於補助霣極 71，也可Μ獲得上述之作用。 第23圈為表示實施此等方法時，為了將補助電極71加Κ 絕緣並支持於導套11内之具髖構造例。 第23画中，由陶瓷而成絕緣材料之緬揉子用Μ插入在導 套11之段差部llg。在該絕緣子85，係内徑不同之第1孔 85a及第2孔85 b形成在其中心部。 而且，使補助霣欏71插通在該猪緣子85之第1孔85a，在 第2孔85b使接合於該補肋«極71之粗徑連接電極87嵌入並 固持著。 又，補助霣極71之外形尺寸及絕緣之第1孔S5a之間構 成為設有O.Olaim到0.03β·之間嫌。 更且，在導套11之段差部1U及絕緣子85之外徑尺寸之 間設有Ο.ΟΙβιβ到0.03之間賺，而絕緣子85持有某間隙尺寸 構成為能插入於段差部1U。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·

A A' 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐） -30 Α7 Β7 31264〇 五、發明説明（28 ) 又*將圓筒狀之内插夾具5 7K置於導套11之内周面lib W近傍。該内插夾具57，僳具有與導套11之內周面lib直 S大略相同之內棰。 將該内插夾具57裝配於絕緣子85及導套11之內周面lib ，進而將携型構件53裝配於導套11之開口鳙面，則在 $成等套11之硬質碳縝15的内周面lib近傍段差會消失》 換言之形成硬質碳膜15之内周面lib近傍及補肋霄極71之 間的間隙尺寸成為一致。 如此*通通絕緣子85將補助霣欏71配置在導套11之段差 部Us*則可以正確將補助電極71配置在導套11之中心開 口 11 j的中心。 補助霣極71由導套11之Μ 口中心偏離所配置時，則產生 於補助電極71及開口內壁之間的等雕子髏其平衡舍溃散， 而會產生硬質碳膜15之臢厚或膜霣的儀差。 因此，要對準此一導套11之段差部llg的內徑尺寸而插 入絕緣子85，進而Μ絕緣子8 5之第1孔85a用以位置控制補 助霣櫃71，則可Μ正確將補助電植71配置在導套11之開口 中心，而不會產生硬質碳臟15之膜厚或膜質的俪差。 通邊連接霣極87若將直流正電壓外加在該補助霣極71加 Μ使用，則依據前述第19Β[至第21圈可Κ實施已說明之形 成硬質碳膜之方法。在該情形，則補助霣檯71將電子集中 ，所Μ導套11之中心開口 Uj內的等離子髑密度變高，硬 質碳膜之形成速度變快。 又，若將該補助《極71通通連接霣極87連接於接地霣位 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS〉A4規格（210X297公釐） J-----τ--^裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、tT_ "i 經濟部中央標準局貝工消費合作社印策 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A7 _B7__ 五、發明説明（29) 使用，則也可K實施依據前逑第1〇_至第18鼷已說明之形 成硬質碳_之方法。 或，此外加於導套11更小（1/10左右）負霣壓外加於該補 助霣極也可Μ。藉此，將導套11內之《子蓮動可K更激烈 *所Μ等離子體密度提高，硬質碳臟之形成速度變快。 更且，也可Κ將該？ί助«植71照絕掾狀慇之溧浮《位放 置。於是*藉由輿等艫子II之相互作用，在補肋霣極產生 負電位。因此，可Μ取得輿外加上述之小的負電懕情形同 樣之效果。 在依據第10圓至第23圓形成硬霣碳膜之方法說明中，係 將横型構件53配置在導套11之開口靖面用Μ形成硬質碳膜 之實施形懸作說明，但取代棋型溝件53，使用如第24_所 示之附突起夾具55也可Μ。 如第2 4鼷所示，該附突起夾具55，在與導套11之内周面 lib之徑具有略同内徑之開口 55b的瑭狀本«55a*將3個突 起55c可Μ插入在等套11之各開維llc，M120°間隔設置 用Μ對應於各開鏞11c。該各突起55c之厚度尺寸d，係與 開縫11c之切鍵寬尺寸幾乎相同。 因此，在前逑形成硬度磺膜之方法中設置3個突起55c在 使用的横型審件53即該附突起夾具55。 該附突起夾具55*如第26所示將其各突起55c插入於導 套11之開嫌11c，並配置於導套11之端面部。 K該狀態下依據前述之各方法，可Μ形成硬質碳膜15在 導套11之內周面lib。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 3 2 - J—.d—^—ίΓ 裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -丁 _ 經濟部中央棵準局員工消費合作杜印製 312640 A7 B7 五、發明説明（30 ) 使用該附突起夾具55形成硬質碾膜在導套11·則有如下 之效應〇 如前述，由於產生在導套11之開口端面的霣荷集中，比 起導套11之內面而其孃面领域係產生高電荷狀戆之界限效 應。可是*將該附突起夾具55裝配在導套11將硬質礦膜加 Μ被膜形成，則可Μ抑制該界限效應。 換言之，若將附突起夾具55配置在導套11之開口端面形 成硬質碳臢*則可Μ防止由於界限效應產生硬質碳膜之膜 質或粘接性不同之領域。 更且*為了使附突起夾具55之突起55c插入於導套11之 開Mile，也可K抑制由於產生在各拥鍵11c之邊緣部的轚 場集中之界限效應。 因此，在導套11之內周面Ub所形成之硬質碳_15的膜 質及粘接性更進一步均勻化。 另外*第25画所示為使用内插夾具57插接於導套11之段 差部11 g的縱剖面_。 該内插夾具57，係具備有：內插部57a，持有輿導套11 之内周面lib直徑略同內徑圖苘狀；及，鏍紋部57b，用Μ 鏍合導套11之鏍紋部llf‘。該内插部57a之外徑尺寸係用Μ 嵌合在導套11之段差部llg的尺寸。 該内插夾具57，如第27_所示將其內插部57a插入於導 套11之段差部llg，將鏍紋部57b螺裝於導套11之螺紋部 Π f，則在導套11之中心開口 11 j之内面成為沒有段差。換 言之導套11之内面全部成為其有同一之開口尺寸。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 33 J.—---τ^ 裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Α7 Β7 經濟部中央標準局舅工消費合作社印策 五、發明説明（31 ) 藉由該內插夾具57之裝配，在辱套11之內面由段差部11S 成為沒有段差。換言之補助電極71及導套11之内周的藺隙 尺寸*係在導套11之長度方向成為一致。 在該狀態下藉由前述之各方法，可Μ形成硬質碳膜15於 導套11之内周面11 b。 使用該內插夾具57形成硬質碳臢於導套11，則在導套η 之畏度方向的中心開口 llj之内面電位特性成為均勻，硬 質碳_之粘接性及_霣及膜厚成為均匀。 更且，如第28 _所示，將第2 4圓所示之附突起夾具55及 第25麵所示之内插夾具57兩方装K於導套11·肜成硬質破 膜15也可K。在該情形，係利用附突起夾具55及内插夾具 5 7之相乘效果，在導套11可以形成粘接性及膜質及_厚更 進一步優異之硬質碳膜。 該附突起夾具55及内插夾具57，係使用不锈爾等之金臛 材料所做成。 又，將前逑之模型構件53及上述内插夾具57加K姐合， 分別裝配在導套11形成磺質碳膜也可K。 又*此等形成硬《碳臢之方法各實廉形態，係將硬質構 件12設置於導套11之內周面lib，而在其表面形成硬質碳 膜15時之例作說明。 可是•此等成形硬質磧臢之方法*係在導套11之内周面 lib不設置硬質構件12*直接或介入前述各種之中間曆16 形成硬質碳膜15時*或在硬質構件12上再介入中間曆16形 成硬質碳膜時也同樣可Μ應用。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 人i. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS.) A4規格（210X297公釐） 34 A7 B7 五 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 '發明説明（32 ) —i-----.--、裝！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，依據上述之本發明對導套之內周面形成硬質磺膜之 方法各實旛形態，係使用做為含碳氣*之甲烷（CH*)或苯 (CbHb)之例作說明，但使用乙烯（C2H*)或己烷（CeHllt)等 也可。 更且，將此等含碳氣讎，K氣Ur)等之«離甯壓低的不 活性氣艚加Μ稀釋使用也可K。在該情形1導套圓简内之 等艙子更具穩定之效果。 或，在產生硬質磧膜時賴由添加少嫌（1«以下）之添加杨 ’可Μ提高潤潸性或硬度。 鬌如，添加氟（F)或珊（Β)則可以埔加_潸性，而添加絡 (cr)、鉬（Mo)或練（V)則可Μ增加硬度。 又，在真空槽内配置導套之後，在形成硬質碳膜之前· 使產生氩（Ar)或氮（Ηζ)等之等離子髖使粒子韉射導套之圓 筒內面，之後藉由甲烷或苯等之含碳氣艚使產生等難子髖 ’用Μ形成硬質碳膜即可。 如此》利用不活性氣體薄由進行粒子輻射之前處理*使 導套之圓筒内壁的湛度上昇而成為活性狀態。同時將圓筒 內檗之表面不純物打掉，使表面乾淨。賴由ft等之效果， 在導套之内周面所形成硬質碳膜的粘接性更進一步提高。 [產楽上之利用可能牲] 如κ上之說明，依據本議en藉由將等套使用於自動車床之 旋轉型或固定型之導套裝置*對於被加工物將切入最大的 切削加工不會發生擦傷或產生燒接而可Μ正常的進行，大 幅度提高加工效率。又，由於其耐久性大幅度的提离，成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格C2I〇x297公釐） 35 S12640 A7 丨’‘丨：f| 、 B7 1五、發明説明（33 ) 提行 度進 0 效 大有 也 常 率非 效M 動可 運， 之 置 床裝 車套 動導 自 之 ， 型 Η 定 加 固 續用 連使 Μ由 可藉 間， 時 又 長 0 為 高 經濟部中央標準局員工消費合作社印«. 高加工精確度（特別是正圓度）之切削加工。 又*若依據本發明對導套之内周面形成硬質碳膜，之方法 ，則在導套之内周面用K滑接被加工物具有與鑽石類似性 之硬質碳膜（DLC)，可Μ在短時間用Μ形成優異粘接性均 勻之膜厚。 因此*如上述可Μ製造生產性良好對自動車床之導套装 置有效之高耐久性的導套。 [元件編號之說明] 11導套；11a外周圓錐面；lib內周面（固持被加工物用） ;11 c開鏠\ 11 d 彈簧部；11 e嵌合部；11 f螺紋都； 1 U段差部；11 h 滲碳層；1 2硬質構件；1 5硬質碳膜 ;16中間層；16a下層；16b上層；51被加工物；53 取代模型構件；55付突起夹具；57内插夾具；61真空 槽；63氣體引進口； 65排氣口； 67匹配電路；69高周 波電源；7 1補助電極；7 3直流電源；7 3 ’直流電源；7 5 陽極電源；77纖絲電源；79陽極；80絕緣支持具；81 纖絲；8 2被覆構件；8 3補肋電極電源；8 5絕緣子；8 7 連接電極；39夹具；13简央卡盤；13a外周圓維面；17 主軸台；19主軸；23襯套筒；23a内周圓維面；25彈 簧；27蓋形螺母；29中間套；31卡盤開關機構；33卡 盤開關爪；35支柱；37導套裝置；41卡盤套；41a内周 圓維面；43調整螺母；45切削工具（刀具）；47旋轉驅 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 卜 裝------訂

X ml ml Mnu -mi m I n^n nn 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公* ) -36-修正霣 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（34 ) 動棒 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S丨裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X.297公釐）-37*-修正賓

Claims (1)

1. 312640 A8 B8 C8 D8 86. 1. -8修正本 經濟部中央椟準局員工消費合作社印製 々、申請專利範圍 1. 一種導套，係成為具有貫通於袖方向之中心開口之略 画简狀*於其長度方向之一端部形成外周圓錐面及可使於 其上具有彈力之開縫，於他端部具有可安裝於自動旋盤的 支柱上之螺紋部，於形成前述外周圓錐面部份之內周形成 保持被加工物之内周面*藉由被安裝於自動旋盤上，將插 通於前述中心開口之被加工物*利用保持前述被加工物之 內周圓，在切削工具之附近保持成旋轉K及可於軸方向滑 動；其特徵為： 於保持前逑被加工物之内周面設置氫化非晶形碳膜·之硬 質碳膜。 2. 如申請專利範圍第1項之導套，其中在前述内周面介 入提高粘接性之中間層而設置前述硬質碳膜。· 3. 如申請專利範圍第1項之導套，其中在前述内周面介 入超硬合金或陶.瓷之燒結體等的硬質構件而設置前述硬質 碳膜。 4. 如申請專利範圍第3項之導套，其中在前述硬質構件 及前述硬質碳膜之間，設置提高粘接性之中間層。 5. 如申請專利範圍第1項之専套，其中在前述内周面附 近之基材形成滲碳層，利用該滲碳層在内周面設置前述硬 .質碳膜。 6. 如申請專利範圍第5項之導套，其中利用前述滲碳層 在內周面及前述硬質碳膜之間，設置提高粘接性之中間層。 7. 如申請專利範圃第2、4、6項中任一項之導套，其中 前述中間層係形成著2層膜，由鈦或鉻或其化合物所構成 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X297公蝥）-1- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) L——夂-裝. 、一tT 線_ 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 之下層，及*由矽或緒或其化合物所構成之上層。 8. —種對導套之內周面形成硬質碳膜之方法，其特微在 於： 將自動車床用之導套*配置於具有排氣口及引進口，並 在内部設有陽極及纖絲之真空槽內； 在形成該導套之内周面用Μ與被加工物滑接之中心開口 內插入條狀或線狀之補肋電極； 將前述真空槽内排氣之後，由前述氣體引進口引進含碳 氣體，並在前述導套外加直流電壓，同時在前述陽極外加 直流電壓，及在前述纖絲外加交流電壓使產生等雛子體； 而在前述導套之内周面形成硬質碳膜者。 9. 一種對導套之内周面形成硬質碳膜之方法，其特徽在 於： 將自動車床用之導套，配置於具有排氣口及氣體引進口 之真空槽内； 在形成該導套之内周面用Μ與被加工物滑接之中心開口 內插入條狀或線狀之補助電極； 將前述真空槽内排氣之後，由前述氣體引進口引進含碳 氣體，並在前述導套外加高周波電壓使產生等離子體； 而在該導套之內周面形成硬質碳膜者。 10. —種對導套之内周面形成硬質碳膜之方送，其特徵 在於： 將自動車床用之導套，配置於具有排氣口及氣體引進口 之真空槽內； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A -裝---- ---气線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） -2- 鯉濟部中央榡準局員工消費合作社印製 • A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 在形成該導套之内周面用κ與被加工物滑接之中心開口 内插入條狀或線狀之補助電極； 將前述真空槽内排氣之後，由前述氣體引進口引進含碳-氣體，並在前述導套外加直流電壓使產生等離子體； 而在該導套之內周面形成硬質碳膜者。 11. 如申請專利範圍第δ、9、10項中任一項之對導套之 内周面形成硬質碳膜之方法，其中形成前述硬質碳膜中， 將前述補助電極保持在接地電位或直流正電位者。 12. 如申諳專利範圍第8、9、10項中任一項之對導套之 内周面形成硬質碳膜之方法，其中在形成前述導套之開鏠 的開口端面，配置與該導套之前述内周面直徑持'有略同内 徑之環狀的模型構件，用Μ形成前述硬質碳膜者。 13. 如申請專利範圍第δ、9、10項中任一項之對導套之 內周面形成硬質碳膜之方法，其中將前述補肋電極，其前 端配置於定位在比前逑模型構件之開口端面更內側者。 14. 如申請專利範圍第8、9、10項中任一項之對導套之 内周面形成硬質碳膜之方法*其中在形成前述導套之開縫 的開口端面，在與該導套之前述內周面直徑持有略同內徑 之環狀的本體，在前述導套之各開鏠，分別配置具備可Κ 插入之多數突起的附突起夾具，並將前述各突起插入於前 述導套之各開縫，用Μ形成前述硬質碳膜者。’ 15. 如申請專利範圍第δ、9、10項中任一項之對導套之 内周面形成硬質碳膜之方法，其中在比前述導套之前述内 周面直徑較大之段差部，插入與前述内周面直徑持有大略 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ·297公釐）-3- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ---C I裝. 訂 線_ ο 4 6 2 ABCD 六、申請專利範圍 相同内徑之圓筒狀的内插夾具，而用Μ形成前述硬質碳膜 者。 16. 如申請專利範圍第8、9、10項中任一項之對導套之 內周面形成硬質碳膜之方法，其中在形成前述導套之開缝 的開口端面，在與該導套之前述内周面直徑持有略同内徑 之環狀的本體，在前述導套之各開縫，分別配置具備可Κ 插入之多數突起的附突起夾具，並將前述各突起插人於前 述導套之各開壤；同時 在比前述導套之前述内周面直徑較大之段差部，插入與 前述內周面直徑持有略同内徑之圓简狀的内插夾具； 而用Μ形成前述硬質碳膜者。 17. 如申請專利範圍第8、9、10項中任一項之對導套之 '内周面形成硬質碳膜之方法，其中將前述補助電極，插入 於比前述導套之前述內周面直徑更大之段差部藉由絕緣子 加Μ支持，用Κ形成前述硬質碳膜者。 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 、tr 線 經濟部中央揉準局貞工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公嫠）-4-