經 央 標 準 局 員 工 消 费 合 作 社 印 製 31〇5〇2 五、 A7 B7 發明説明（丨） 發明之背景 發明之領域 本發明是關於一種使用一 S Η型表面波之一端面反射 型表面波裝置的製造方法，而且尤指一種製造方法，於此 製造方法中藉Κ改良該表面波装置的相反端反射面被形成 之製程。 習知技術 將介於一壓電基板的相反端面間 一端面反射型表面轚波裝置係相當習 面聲波装置的一個例子由參考圖1來 表面波共振器1包括一由一個單 方形壓電基板2。一交互數位式換能 作” IDT” ，係在基板2的一上表 D Τ包括一組包含複數個相互交錯的 及4a_4c之梳狀電極3、4。 介於指狀電極3a—4c之間的 其中λ是一被振通表面波的波長。指 寬度（是位在基板2的相反端上相闞 面波傳播的方向）是λ/8 ，當其餘 、4c的寬度是λ/4時，指狀電極 緣分別沿壓電基板2的端面2c、2 一交流的電流被施加於梳狀電極 -3- S Η型表面波反射之 知的。此一習知的表 說明。 一懕電晶體形成的長 器，其在下文中被稱 面2 a處被形成。I 指狀電極3a—3c 距離最好是λ/4， 狀電極3c、4a的 於由箭頭X指示之表 的指狀電極3a、4b 3 c、4 a的外部邊 b的方向延伸。 3、4K產生一在箭 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2S·7公釐） 310502 A7 B7 經濟部中央揉準局員工消费合作社印簟 五、發明説明 ( y ) 1 1 1 頭 X 的 方 向 傳 播 而 且 介 於 基 板 2 的 相 反 端 面 2 b > 2 C 之 1 1 I 間 被 反 射 的 B G S 波 0 表 面 波 共 振 器 1 有 共 振 點 f Γ 及 一 1 1 I 反 共 振 美 f a * 由 在 圖 2 中 阻 抗 的 特 性 對 頻 率 所 顯 示 〇 請 先 1 1 因 為 表 面 波 振 器 1 致 使 B G S 波 在 介 於 基 板 2 的 相 閱 讀 1 背 1 反 端 面 之 間 振 盪 9 所 Μ 必 須 準 確 地 亦 成 端 面 2 b 2 C 0 面 之 1 注 如 果 端 面 2 b 2 C 的 位 置 不 準 確 » 就 得 不 到 所 需 的 共 振 意 事 1 I 特 性 〇 而 且 如 果 端 面 2 b 、 2 C 不 夠 平 坦 不 希 望 的 偽 信 再- A | 號 將 發 生 0 寫 本 裝 頁 1 在 製 造 — 端 面 反 射 型 的 表 面 波 共 振 器 1 的 習 用 方 法 中 1 I 9 梳 狀 電 極 3 4 在 一 壓 電 基 板 5 ( 圖 3 ) 上 被 形 成 其 1 1 I 寬 度 較 最 後 產 物 的 基 板 2 之 寬 度 大 〇 其 後 壓 電 基 板 5 沿 1 1 綫 A 的 方 向 使 用 一 切 方 塊 的 工 具 切 割 以 形 成 和 指 狀 電 極 4 a 訂 I 的 邊 緣 齊 平 的 —* 端 面 2 b ( 圖 1 ) 0 在 類 似 的 方 式 中 9 1 I 相 反 雨} 面 2 C 由 沿 指 狀 電 極 3 C 的 外 部 邊 緣 之 方 向 切 割 而 1 1 露 出 提 供 具 有 交 互 數 位 式 電 極 3 > 4 在 那 上 面 被 形 成 的 1 壓 電 基 板 2 0 線 I 亦 即 形 成 端 面 2 b > 2 C 習 用 的 方 法 需 要 準 備 一 大 I 於 最 後 的 壓 電 基 板 2 之 壓 電 基 板 5 而 且 然 後 沿 指 狀 電 極 1 1 3 C 4 a 的 外 部 邊 緣 準 確 地 切 割 壓 電 基 板 5 0 1 1 在 習 用 的 製 造 方 法 中 很 難 準 確 地 沿 指 狀 電 極 3 C 1 I 4 a 之 外 部 邊 緣 切 割 一 壓 電 基 板 1 其 结 果 很 難 於 端 面 反 射 1 I 型 的 表 面 波 共 振 器 1 中 得 到 一 所 需 之 共 振 特 性 0 1 1 甚 至 如 果 在 壓 電 基 板 5 被 切 之 處 的 準 確 性 被 盡 可 能 地 1 1 — 4- 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 310502 A7 _B7_ 五、發明説明（4 ) 提高到一程度，準確地沿指狀電極3c、4a的外部邊緣 準確地切割壓電基板5是非常困難的，如果切割在電極手 指3c、4a外部邊緣的裡面被完成，指狀電極3a、4c 和壓電基板5共同被切割’最後’破裂有可能發生在由於 圖4中箭頭B所顯示之端面2B、2C中。如果如此的破 裂發生，端面的準確性將顯著的惡化而且不可能獲得所需 之共振特性。 為了避免這種問題之一可能方式為保證當形成梳狀電 極3c 、4a時，指狀電極3c 、4a的寬度少於λ/8 而且然後在指狀電極3 c内部邊緣的左邊至少λ/8的位 置及在指狀電極4 a內部邊緣的左邊λ/8的位置切割基 板使得在指狀電極外部邊緣的外側位置切割。然而，如果 指狀電極3 c、4 a的寛度被做成比λ/8短，在共振器 的共振特性中有一退化情形。 發明之簡要說明 所Κ本發明的一個目的是提供一端面反射型之表面波 裝置的一種製造方法，就是在一壓電基板的切割期間較少 可能致使切成碎片而且能夠準確地提供一所需的共振特性 一種具有交互數位的換能器在一壓電基板上被形成的 一個端面反射型之表面波裝置的製造方法，包括步驟： 在一壓電基板上形成一交互數位的換能器，該交互數 位換能器產生一表面波沿著一活動的信號之應用的傳播方 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 裝 訂 .~線 ( 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( f ) 1 1 向 傳 播 到 那 裡 > 該 交 互 數 位 換 能 器 具 有 複 數 個 交 互 數 位 的 1 1 指 狀 電 極 延 伸 向 通 常 垂 直 於 該 傳 播 方 向 而 且 包 含 一 對 最 外 1 1 部 的 指 狀 電 極 相 對 於 該 傳 播 方 向 該 對 最 外 部 的 指 狀 電 極 請 先 1 1 具 有 一 λ / 8 的 寬 度 λ 係 該 表 面 波 的 波 長 Μ 及 其 餘 的 閲 讀 1 背 1 該 電 極 手 指 具 有 一 λ / 4 的 寬 度 該 交 互 數 位 的 換 能 器 具 面 之 1 有 少 於 該 壓 電 基 板 的 寬 度 之 寬 度 0 意 事 1 項 界 定 —- 對 切 割 該 壓 電 基 板 的 百 標 區 域 每 個 該 百 橘 再一 填 1 區 域 由 該 指 狀 電 極 最 外 面 的 —_. 對 中 各 別 的 __» 個 之 外 部 邊 緣 寫 本 頁 1 延 伸 至 從 那 裡 向 外 λ / 8 的 位 置 > Η 及 1 1 在 該 百 標 區 域 之 内 切 割 該 壓 電 基 板 0 1 1 最 終 的 產 品 最 好 是 在 介 於 表 面 波 裝 置 的 相 反 端 面 之 間 1 1 反 射 —_* S Η 型 表 面 波 的 型 式 〇 在 此 說 明 書 中 一 S Η 型 表 訂 I 面 波 參 考 有 垂 直 於 表 面 波 傳 播 的 方 向 之 位 移 及 包 含 一 平 行 1 I 於 基 板 的 表 面 之 成 分 的 表 面 波 0 S Η 型 波 的 例 子 有 一 漏 隙 1 1 波 — 葉 形 波 及 一 Β G S 波 0 1 ••ν | 在 本 發 明 中 一 I D Τ 最 好 首 先 由 一 組 梳 狀 電 極 每 線 I 一 個 梳 狀 電 極 有 一 個 或 多 個 指 狀 電 極 在 — 壓 電 基 板 上 被 形 1 I 成 指 狀 電 極 被 如 此 的 安 排 以 致 於 相 互 交 錯 在 壓 電 基 板 1 1 相 闢 於 一 表 面 波 的 傳 播 方 向 之 相 反 側 上 最 外 面 的 指 狀 電 極 1 1 有 一 λ / 8 的 寬 度 9 而 且 其 餘 的 指 狀 電 極 有 一 λ / 4 的 寬 1 I 度 0 1 I 在 本 發 明 中 9 有 可 能 使 用 一 m 電 基 板 包 括 一 L i N b 0 3 1 1 $ 4 1 度 旋 轉 的 Y 基 板 X 6- 傳 播 方 向 之 壓 電 基 板 t 6 4 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 310502 五、發明説明（< ) 度旋轉的Y —基板X —傳播方向之一 L iNb〇3壓電基 板，或36度旋轉的Y —基板X —傳播方向之一 L i Ta〇3 壓電基板，或由壓電陶瓷形成的壓電基板。 一壓電基板，當沿表面波傳播的方向测量時有一較 I DT的尺寸更大的尺寸，被使用Μ便使在一稍後完成的 切割元法期間切割壓電基板Κ形成表面波裝置的兩個端面 成為可能。 I DT最好由一導電的物質諸如一金屬形成，例如， 由鋁、金或其同類者。雖然在形成一 I DT的型式上沒有 限制，但是它可被形成，例如，由一散佈於一壓電基板整 個表面上之導電物質形成一薄膜，提出導電物質供輕輕的 暘光掩蓋及蝕刻導電物質。 在本發明中，壓電基板在一由最外面的指狀電極向外 延伸到λ/8之一位置的一個目標區域之内被切割，而且 最好是3 λ/32 ，由此向外*壓電基板之相反端面Μ此 方式被切去Κ致使一 S Η型表面波由外部電極來反射，藉 在此範圍内切割以避免最外面的指狀電極之破裂，於是提 供良好的共振特性。 壓電基板的切割可使用任何適合的切割裝置來完成。 圖式之簡單說明 為了舉例說明本發明的目的，在附圖中顯示有一目前 較佳的型式，但是為吾人所了解的是，本發明不限於所顯 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 裝 訂一 ,—線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央棣準局貝工消費合作社印製 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（^ ) 示的精確設置及工具。 圖1係一習用的端面反射型之表面波共振器的立體視 圖。 圖2係一圖表，其顯示在圖1中顯示的表面波共振器 之共振特性。 圖3係一示意平面圖，其為了解釋製造端面反射型之 表面波共振器的習用方法。 圖4係一表面波共振器的部分平面視圖，其顯示當表 面波共振器由習用的方法製造時破裂的發生。 圖5係一表面波共振器的平面視圖，其用Μ說明與本 發明之一實施例一致於一壓電基板上被形成之IDT的狀 態。 圖6係根據本發明的一個實施例所製造之一端面反射 型表面波共振器的平面視圖。 圖7係一圖表，其說明與本發明之一實施例一致所製 造的一個實驗例子之一端面反射型表面波共振器的共振特 性，其中實綫表示一阻抗的特性對應於頻率及虚綫表示一 相位的特性對應於頻率。 圖8係一圖表，其顯示與本發明之一實施例一致所製 造的另一個實驗例子之一端面反射型表面波共振器的共振 特性。 圖9係一圖表，其說明一端面反射型之表面波共振器 的共振特性，其切割的位置是在本發明的範圍之外。 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） — II I I I I I I I I I 訂 I -—線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（γ ) 圖1 〇係一圖表，其說明一端面反射型之表面波共振 器的共振特性，其切割的位置是在本發明的範圍之外。 圖11係一圖表，其說明一端面反射型之表面波共振 器的共振特性，其切割的位置是在本發明的範画之外。 圖1 2係一圖表，其說明介於端面被切割的位置與最 終的表面波共振器之共振特性之間的關係。 較佳實施例之詳细說明 根據本發明之一實施例的一個端面反射型之表面波裝 置的製造方式現在將配合參考圖5及圖6做說明。 首先，一 I DT在一壓電基板1 1上被形成，如在圖 5中所顯示，在本實施例中，壓電基板1 1最好是M4 1 度旋轉Y —基板X —傳播的L i Nb〇3 ，就是在設計圖 形狀中長方形形式被形成。 IDT 12最好由使用一稀薄薄膜形成技術如沈暇 、噴出、或電鍍鋁在壓電基板1 1的整個上表面1 1 a之 上形成一層鋁薄膜，而且此外提出它供輕輕的曝光掩蓋及 蝕刻。IDT 12有一組梳狀電極13、14包括交继 的指狀電極13&—13丨及14&_141。 最外面的指狀電極14a、1 3 i被安置在基板的相 反端關於由表面轚波裝置所產生的表面被傳播的方向之位 置而且有一 λ/8的寬度，其中λ是將被振通的表面波之 波長，其餘的指狀電極13a — 13h，14b — 14i -9- 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 裝 訂 I — ί - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 3 ) 1 1 1 有 一 λ / 4 的 寬 度 ♦ 介 於 相 鄰 的 指 狀 電 極 之 間 的 距 離 也 是 1 1 I λ / 4 〇 1 1 I 在 梳 狀 電 極 1 3 1 4 已 經 於 壓 電 基 板 1 1 的 表 面 上 請 1 1 被 形 成 之 後 t 壓 電 基 板 1 1 沿 連 綫 D — D 及 E — E 被 切 割 閲 讀 背 1 1 提 供 利 用 —> S Η 型 之 漏 隙 表 面 波 的 涸 端 面 反 射 型 表 面 面 之 1 注 波 装 置 1 5 〇 切 割 在 指 狀 電 極 1 4 a 1 3 1 外 部 邊 緣 的 意 事 1 項 I 外 側 於 一 λ / 8 的 範 圍 之 內 被 完 成 f 而 且 最 好 是 3 λ / 3 2 再一 Jti 1 9 從 那 些 指 狀 電 極 的 外 部 邊 緣 算 起 ο 寫 本 頁 裝 1 壓 電 基 板 1 1 的 左 端 由 切 割 在 從 指 狀 電 極 1 4 a 之 一 ·>.__< 1 I 外 ( 左 ) 端 邊 緣 到 由 此 向 左 λ / 8 之 内 的 一 個 位 置 延 伸 的 1 1 I —. 個 區 域 之 内 被 切 割 也 就 是 沿 連 綫 D 一 D 切 割 在 由 介 1 1 於 綫 A 一 A 亦 即 沿 指 狀 電 極 1 4 a 之 外 ) 左 ) 端 邊 緣 的 訂 1 綫 與 連 綫 C — C 亦 即 從 指 狀 電 極 的 外 端 邊 緣 >1 入 / 8 1 I 間 隔 而 且 和 綫 A — A 平 行 的 綫 之 間 複 數 個 小 美 晝 成 影 綫 1 1 I 所 舉 例 說 明 的 一 個 區 域 之 内 被 完 成 類 U 地 沿 連 綫 Ε — 1 Ε 切 割 在 從 指 狀 電 極 1 3 ί 的 一 外 ( 右 ) 端 邊 緣 到 由 此 向 線 1 右 λ / 8 的 一 個 位 置 之 區 域 内 被 完 成 0 I 所 僅 壓 霣 基 板 1 1 被 切 割 滅 少 破 裂 將 發 生 的 可 1 1 能 性 0 藉 使 用 由 複 數 個 小 美 的 影 綫 顯 示 的 區 域 當 成 一 切 割 1 1 動 作 的 巨 檷 ( 在 下 文 中 ” 巨 標 切 割 區 域 ” ) 有 一 較 少 切 1 | 割 指 狀 電 極 的 可 能 性 » 藉 Μ 減 少 破 裂 將 發 生 之 可 能 性 相 較 1 I 於 切 割 被 定 為 巨 檷 在 指 狀 電 極 的 外 端 邊 緣 處 之 情 形 0 1 1 此 外 使 用 具 有 一 λ / 8 的 寬 度 之 指 狀 電 極 亦 即 % 1 1 - 10 - 1 1 1 本紙張尺度適用中困國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ------ 五、發明説明 ( ? ) 1 1 這 些 指 狀 電 極 的 寬 度 不 薄 於 λ / 8 9 一 所 需 之 共 振 特 性 可 1 1 I W 被 獲 得 〇 1 1 雖 m 僅 一 包 括 一 姐 梳 狀 電 極 的 I D T 被 顯 示 於 由 本 實 y*—V 請 先 1 1 施 例 所 獲 得 之 端 面 反 射 型 的 表 面 被 装 置 1 5 之 中 9 但 是 本 閲 讀 1 背 1 發 明 的 製 造 方 法 可 應 用 於 以 2 個 或 多 個 I D T 所 形 成 之 一 面 之 1 端 面 反 射 型 的 表 面 波 裝 置 » 舉 例 來 說 諸 如 一 端 面 反 射 型 意 事 1 項 的 表 面 波 濾 波 器 〇 再_ 填 1 1 而 且 雖 m - S Η 型 漏 隙 波 最 好 被 使 用 在 由 說 明 的 實 寫 本 裝 頁 1 施 例 獲 得 的 端 面 反 射 型 之 表 面 波 共 振 器 1 6 中 其 他 的 S 1 I Η 型 表 面 波 諸 如 一 Β G S 波 或 一 葉 形 波 可 被 使 用 〇 壓 電 基 1 1 板 的 材 料 被 選 擇 與 一 將 被 使 用 的 表 面 波 一 致 〇 1 1 如 由 下 面 說 明 的 實 驗 所 顯 示 本 發 明 的 製 造 方 法 提 供 訂 | ___. 個 具 有 一 良 好 的 共 振 特 性 之 端 面 反 射 型 的 表 面 波 裝 置 0 1 I 一 個 根 據 上 述 方 法 所 製 造 的 第 一 表 面 波 裝 置 包 含 一 4 1 1 1 度 旋 轉 的 Y — 基 板 X — 傳 播 的 L i N b 0 3 壓 電 基 板 0 1 | I D Τ 1 2 由 一 鋁 薄 膜 其 厚 度 是 1 U m 所 形 成 指 狀 電 線 | 極 1 3 a 一 1 3 h Λ 1 4 b — 1 4 1 的 寬 度 度 是 3 0 U m I 9 第 __. 及 第 二 指 狀 電 極 1 4 a 1 3 1 的 寬 度 是 1 5 U m 1 1 9 I D T 1 2 包 含 1 5 對 指 狀 電 極 巨 標 切 割 區 域 的 寬 1 1 度 每 一 個 是 1 U τη 0 1 | 已 被 確 定 的 是 一 具 有 較 少 偽 回 應 之 良 好 的 共 振 特 性 1 I 被 提 供 當 端 面 1 1 b 1 1 C 在 一 由 第 1 / 2 指 狀 電 極 的 1 1 外 端 邊 緣 λ / 8 的 範 圍 之 内 的 區 域 處 被 切 割 如 在 圖 7 中 1 1 - 11 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 310502 A7 B7 五、發明説明（i0) 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 所顧示是一圖表顯示由上述之實施例所獲得之一端面反射 型表面波裝置的共振特性，簧綫顯示表面波裝置之阻抗對 應於頻率特性及虛錢表示表面波裝置之相位對懕於頻率特 性。 不同的端面反射型之表面波裝置被製造與本發明一致 但是切割端面1 1 b、1 1 c的位置不同而且他們的共振 特性被量測出，這些測試說明在端面不同的切割位置不同 的方式中共振特性會改變，然而，我們決定共振特性一般 可被歸類於顯示在圈8到圖11中之四種型式。 顯示於圖8中之共振特性具有一反共振點f a呈現一 高頻率位置和高反共振阻抗，以及一共振點顯示一小共振 阻抗，因此，一足夠大的頻帶寬度與一大阻抗比被提供， 阻抗比被表示成： 反共振阻抗 阻抗比=2 0 1 o g - 共振阻抗 在顯示於圖9中之共振特性中，共振點移向低範圍側 而且反共振點的阻抗低使得頻寛的數值被減少。此外，我 們可認出由箭頭Q所顯示之假的特性出現在高於共振點的 一届頻率範圔中，尤其，我們了解假的特性超越出現在相 位特性中零度。 顯示於圖10中之共振特性提供一共振點與一反共振 點被一小阻抗比分裂而且共振頻率於是被減小。此外，我 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -菜· t- Γ
L A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明 ( tl ) 1 1 們 認 出 介 於 共 振 頻 率 與 共 振 頻 率 之 間 的 差 異 很 小 致 狹 窄 1 1 I 的 頻 寬 9 更 進 — 步 地 9 在 共 振 點 的 附 近 及 介 於 共 振 點 與 反 1 1 共 振 點 之 間 有 顯 著 的 假 回 應 〇 請 1 1 顯 示 於 圖 1 1 中 之 振 特 性 * 展 現 大 的 假 振 通 於 . 廣 閲 讀 1 背 1 頻 率 範 圍 lad 之 上 在 一 反 共 振 點 的 附 近 及 一 進 __. 步 減 少 的 阻 抗 面 之 1 1 比 而 且 沒 有 清 晰 的 共 振 特 性 被 展 現 0 事 1 項 | 由 刖 述 我 們 將 了 解 在 圖 8 中 共 振 特 性 是 最 好 的 而 且 愈 填 1 來 愈 差 直 到 國 1 1 〇 寫 本 裝 頁 1 (SI 圈 1 2 是 一 岡 表 顯 示 介 於 所 獲 得 的 共 振 特 性 與 被 切 割 1 | 之 端 面 的 位 置 之 間 的 關 係 t 在 此 圓 表 中 9 圖 8 的 共 振 頻 率 1 1 Η 符 號 〇 表 示 圖 9 的 共 振 頻 率 Μ 符 號 Δ 表 示 圖 1 0 的 1 1 共 振 頻 率 以 符 號 □ 表 示 以 及 圖 1 1 的 共 振 頻 率 以 符 號 X 訂 I 表 示 0 1 I 水 平 的 軸 表 示 在 圖 5 中 壓 電 基 板 1 1 沿 連 綫 D 一 D 被 1 1 切 割 的 位 置 而 垂 直 的 軸 表 示 壓 電 基 板 1 1 沿 連 綫 E — E 1 I 被 切 割 的 位 置 0 也 就 是 每 一 個 切 割 位 置 被 Μ 從 第 或 第 線 | 二 指 狀 電 極 的 外 部 邊 緣 到 切 割 點 量 測 的 距 離 決 定 在 圖 12 I 中 指 示 〇 表 示 指 狀 電 極 之 外 部 邊 緣 的 準 確 位 置 〇 如 同 從 圖 1 1 1 2 一 樣 清 楚 以 符 號 〇 標 示 之 良 好 的 共 振 特 性 被 提 供 位 1 1 於 在 λ / 8 的 範 圍 之 中 從 第 — 指 狀 電 極 1 4 a 向 外 側 之 切 1 I 割 位 置 處 Μ 及 第 二 端 面 切 割 位 置 在 λ / 8 的 範 圍 之 中 從 第 1 I 二 指 狀 電 極 1 3 向 外 側 處 我 們 也 了 解 9 在 此 範 圍 之 外 側 1 1 區 域 中 9 共 振 特 性 退 化 而 且 圼 獻 有 許 多 □ S X 及 △ 的 符 號 1 1 — 13 — 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐) 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（β ) 0 於是從圖12可了解一良好的共振特性由在一從第一 或第二指狀電極的外側邊緣λ/8的範圍之中切割端面來 提供。更合人意地，端面應於一從指狀電極的外側邊緣 3 λ/3 2的距離之内被切割。 根據本發明，在一端面反射型之表面波裝置的製造期 間相反端面在IDT於壓電基板上被形成之後由切割一壓 電基板在一從位於一 I D Τ的相反端上第一及第二電極手 指的外側邊緣到達λ/8的範圍中被形成，所Κ提供一具 有一良好的共振特性之端面反射型的表面被裝置是可能的 0 另外，因為壓罨基板在一指狀電極之外側邊緣的外側 區域中被切割，所Κ壓電基板的破裂將發生的可能性被降 低。也就是，於一端面反射型之表面波裝置習用的製造方 法中，為了形成端面的切割已經由摞定一在電電基板的相 反端上指狀電極之外側邊緣及破裂易於發生在壓電基板中 實現。相對的，如此的破裂當使用本發明的方法很少發生 〇 本發明於是足以穩定地提供一具有減少在特性中改變 之一良好的共振特性之端面反射型的表面波裝置。 本發明可以在不違反其精神或基本羼性下以其他特定 形式被具體化，於是，用作指示本發明之範噶懕參照至所 附的申請專利範圍而非前逑的說明。 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） I 裝 I I I I 訂— I I 線 A _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)