JPS581850B2 - 表面音響波変換器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、タンク回路特性を示す２端子薄膜装置に関す
る。

表面音響波装置は、先行技術により周知である。

或る形式のものでは、これらの装置は圧電性基板上に導
電体のパターンる倚している。

通常、導電体のパターンは、１対の平行で向かい合った
一定の間隔を置かれた導電体と、そしてこの導電体に接
続された複数個のすだれ状電極を含む。

すだれ状電極は導電体の間隔よりも長さが短く、全ての
すだれ状電極は、お互いに平行である。

夫々の隣り合うすだれ状電極は、異なる導電体に接続さ
れる。

この構成に於て、導電体間の電位差により形成された電
界は、基板が圧電性であるので、この基板に於で表面音
響波を発生する。

先行技術は、１対の変換器を含む２人力端の４端子装置
に於で、フィルタとしてこれ等の装置を利用していた。

第１の変換器は、第１の１対の端子を経て電圧の印加に
より、弾性表面波を発生する。

第２の変換器は、第１の変換器により発生された弾性表
面波を電気的信号に変換する。

そして、この第２の変換器は、第２の１対の端子に接続
される。

変換器の材料及びそれらのパラメータを調整することに
より、これらの装置は周波数に敏感なインピーダンス特
性を持つ様に形成され、よってフィルタの機能を達成す
る。

これらの装置は利用度が高いが、多くの欠点も有す。

例えば、夫々の装置は基板に付着された１対の弾性表面
波変換手段を必要とする。

更に、これらは或る変換器により発生された弾性表面波
を他の変換器に伝達する為、かなりの量の圧電性材料を
必要とする。

更に、この装置を例えばフィルタ及び発振器に応用する
場合、基本的な構成ブロックを形成する為、タンク回路
として用いることができる様に、この装置のインピーダ
ンス特性を鋭くする事が要求される。

音響波を用いたもう１つの周波数選択装置は、バルク波
変換器である。

この変換器に於で２つの間隔付けられた電極間で発生さ
れた電界は、圧電性材料を介してつながっている。

この応用例に於で、装置の周波数応答は極めて鋭い。

しかし、電界が圧電性材料を横切って与えられるので、
周波数応答は電極間の材料の厚さに直接的に依存してい
る。

この結果、圧電性材料の正確な寸法が必要である。

更に、装置の所望の周波数範囲が増大するに応じて、装
置の厚さは減少しなければならない。

現在の技術レベルでは、バルク波圧電性装置の周波数範
囲は約２０ＭＨｚから１００ＭＨｚである。

本発明は、タンク回路の特性を示す２端子薄膜集積回路
を提供する。

本発明は、先行技術によっで示されたのと同様な特性を
有する単一の弾性表面波変換手段を含む。

その点に関して、変換器は圧電性基板上に付着された１
対の平行な導電体を有する。

夫々の導電体は、やはり基板上に付着された複数個の夫
々のすだれ状電極に直角に接続される。

すだれ状電極の数を増加することにより、装置は、共振
周波数と反共振周波数の間の周波数範囲で誘導的リアク
タンスを示す。

良好な実施例に於で、弾性表面波反射手段も弾性表面波
変換器に隣接する基板上に設けられる。

この反射手段は、装置の誘導的リアクタンスを強める。

この弾性表面波反射手段は、１対の弾性表面波反射装置
を含むのが望ましく、これらの反射装置の夫々は変換器
の両側に設けられる。

更に、反射装置は、すだれ状電極に平行な一連の導電体
を含んで良い。

代替的には、反射装置は、すだれ状電極に平行な一連の
溝を含んで良い。

更に他の実施例に於で、反射装置は、平行に置かれた一
連の誘電性バーを基板上に設けることにより実現されて
良い。

これら反射要素の夫々の間隔は、反射装置の特定な形状
に関係なく等しい。

１対の共振一反共振周波数を有する装置を構成する為に
、反６０乃至８０％）周波数応答は広い範囲になり、装
置全体は複式タンク回路の特性を示す。

即ち、装置は複数対の共振一反共振周波数を有した特性
を示す。

反射装置が、容量的リアクタンスを増大することなく装
置の誘導的リアクタンスを増大するので、反射装置の利
用は好ましい。

より低い値の等価キャパシタンスを示す。

他方の新規な弾性表面波変換器も、タンク回路特性を示
す装置に於で利用度が高い。

この新規な弾性表面波変換器は、上述の反射手段吉共に
用いでも良いし、反射手段なしで用いでも良い。

しかし、反射手段を用いる方が好ましい。

新規な弾性表面波変換器は、少なくとも３つの平行導電
体を有し、その導電体のうちの２つは、同一直線上にあ
る。

これら導電体の夫々は、複数個のすだれ状電極と直角に
接続している。

当然、同一直線上にある導電体は、電気的な導電性を生
じない様に間隔付けられている。

すだれ状電極の隣り合う夫々は、２つの同一直線上の導
電体の間に存在するギャップの領域をのぞき、間隔付け
られた導電体に交互に接続される。

上記の領域に於では、２つの隣接するすだれ状電極は、
２つの同一直接上にある導電体の間のギャップと反対側
で同一の導電体に接続される。

任意の２つの平行な導電体の長さを減少することにより
、変換器の等価キャパシタンスは、等価インダクタンス
を減少することなく減少される。

当然、これは、ギャップを有する同一直線上に並ぶ導電
体の数を増加する事により、３つ以上の平行な導電体を
有する変換器に発展され得る。

複数個で、夫々がタンク回路の特性を示す弾性表面波装
置は、単一の圧電性基板に付着され、フィルタの特性を
示す為付着された導電体により市気的に相〃接続される
。

そして、装置は増幅器の人力端子と出力端子の間で、帰
還要素としで接続され、これによって発振器を形成する
。

発振器の発振周波数は、装置の周波数応答特性により決
定される。

第１図は、先行技術の４端子弾性表面波装置を示す。

この装置１０は人力端子１−１′及び出力端子２−２′
を有している。

圧電性基板４の上には、第１の弾性表面波変換器を含む
導電体５及び６が人力端子１−１′に夫々接続される。

導電体５及び６は、基板４に付着されている複数個のす
だれ状電極３と接続される。

第１図に示される如く、すだれ状電極のとなり合った夫
々は、異なる導電体に接続される。

電圧が端子１−１′の間に印加される場合、電界がその
電圧によって発生され、基板４の圧電的性質により弾性
表面波を発生する。

この弾性表面波は第１図に於ける矢印９により示される
。

第２の弾性表面波変換器は、装置１０に含まれる。

この第２の弾性表面波変換器は、１対の平行に置かれた
導電体Ｉ及び８を含んでおり、そしてこの導電体７及び
８は夫々出力端子２及び２′に接続される。

複数個のすだれ状電極１１は、この平行に置かれた導電
体７及び８と直角をなして接続される。

すだれ状電極１１のとなり合った夫々は、導電体Ｔ及び
８の異なる一方に接続される。

第１の弾性表面波変換器によって発生された弾性表面波
は、すだれ状電極１１に接続された圧電性基板４により
電圧に変換される。

この電圧は端子２−２′に於で検出可能である。

本明細書に於ける図面は、設計図ではなく、すだれ状電
極の大きさや間隔は実寸で描かれたものではない点は明
らかである。

更に、すだれ状電極の数及びこれ等が接続された導電体
の長さは、尺度を考えた図面として描かれていない。

すだれ状電極の間隔及び幅及び数並びにこれ等に接続さ
れた導電体の長さに関する情報は、本明細書に於で与え
られよう。

第２Ａ図は、本発明の基礎となる弾性表面波装置の概要
図である。

圧電性材料の基板４（例えば、リチウム、ニオブレイト
）は、それに付着された１対の平行に置かれた導電体１
６及び１７を有す。

これらの導電体は、本分野に於で一般的な方法で外部端
子に接続される。

導電体１６及び１Ｔは、すだれ状亀極１８とも接続され
る。

第２Ａ図に於で示される如く、すだれ状電極１８のとな
り合った夫々は、導電体１６及び１７の異なる一方に接
続される。

本発明の弾性表面波装置に関して、タンク回路の電気特
性を示す為、その電気的インピーダンスは或る周波数に
於で、容量的リアクタンスから誘導的リアクタンスに変
化しなければならない。

実験では、すだれ状電極の数に従ってこれらが接続され
ている導電体の長さは、装置が十分な誘導性リアクタン
スを示すためには、先行技術の弾性表面波変換器に於で
用いられていた屯極の数、若しくは導電体の長さ以上に
増加されなければならない事がわかった。

第２Ａ図の装置は第２Ｂ図の等価回路を用いて説明され
る電気特性を有する。

特に、装置はインダクタンスＬとキャパシタンスＣ，の
直列回路の両端をキャパシタンスＣｏに接続した並列回
路として動作する。

この等価回路のインピーダンス対周波数特性は、第２Ｃ
図に示される。

第２Ｃ図に示される如く、第２Ｂ図の等価回路のインピ
ーダンスは、周波数が０からＦ，の範囲に於で容量性で
ある。

Ｆ，は、等価回路２Ｂの共振周波数として知られている
。

即ち、この値の周波数に於で回路は最小インピーダンス
を示す。

周波数がＦｒよりも増加するに応じで、等価回路２Ｂは
誘導性リアクタンスを示す。

第２Ａ図の装置の特価インピーダンスは、周波数がＦｒ
からＦａまでの範囲に於て誘導性である。

Ｆａは、本回路の反共振周波数として知られている。

即ち、回路は無限大の周波数を示す、即ち大きなインピ
ーダンスを有す。

反共振周波数以上は装置は再び容量性リアクタンスを示
す。

共振周波数Ｆｒは、インターデジタル電極の周期性、す
だれ状電極の幅及びインターデジタル電極間の間隔によ
って決定される。

反共振周波数Ｆａは、上述のパラメータ及び基板として
用いられた材料の電気一機械的特性により決定される。

詳細には、本発明では電極の幅は１波長に等しくし、そ
して電極間の間隔はこの電極の幅に等しくいた。

当業者にとって、任意の特定の周波数に関する波長が圧
電性材料に依存する事は明らかであろう。

弾性表面波分野に於で通常実施されている様に、導電体
１６及び１７及びすだれ状電極は、金若しくはアルミニ
ウムの如き金属性薄膜から成り得る。

前述の如く、第２Ａ図の装置と第１図の変換器の間の主
な相異点は、第２Ａ図の装置は、この装置が第２Ｃ図に
於で示された周波数特性を示す様に、誘導性リアクタン
スを高める為、増加した数のすだれ状電極を有している
ことである。

この様な装置は、タンス回路と同様の動作をする為の十
分な誘導性リアクタンスを与えるけれども、多くの欠点
を有する。

すだれ状電極の数の増加に応じて、導電体の長さも増加
されなければならない。

この結果、キャパシタンスか増大する。

その結果として、インダクタンスの増加分は、キャパシ
タンスの増加分によって部分的に相殺される。

本発明の良好な実施例を説明する前に、本発明による弾
性表面波装置の理論的背景を述べる事は有益である。

電圧が、導電体１６及び１７の如き平行に置かれた導電
体に印加される場合、すだれ状電極は電圧が適当な範囲
の周波数を有する場合、弾性表面波を発生する。

この周波数範囲以外では、インターデジタル電極は単に
コンデンサとして動作する。

この弾性表面波は、圧電気によってインターデジタル電
極に逆起電力を誘導する。

特定の周波数に於て、この逆起電力と印加電圧は加算さ
れ、これによって最大量の電流が電極を通り流れる。

この特定の周波数は、共振周波数として定義される。

共振周波数よりも通常高い、もう一方の周波数に於で、
逆起電力は印加電圧に反対方向で、最少量の電流のみ装
置を通って流れ得る。

この周波数は、反共振周波数として定義される。

これら２つの周波数の間に於で、装置は誘導性リアクタ
ンスを示し、そしてこれら２つの周波数の範囲以外では
、装置は容量性リアクタンスを示す。

当業者にとってこれは、タンク回路の周波数応答特性と
等しい特性である事は明らかであろう。

前述の如東第２Ａ図に示された装置に関する増加した数
の電極は、装置のインダクタンスを増加するが、装置の
静的なキャパシタンスも増加する。

その結果、インダクタンスの正味の増加は、キャパシタ
ンスの増加によっていくらか相殺される。

第３Ａ図に於で示された例は、キャパシタンスを増加す
ることなくインダクタンスを増加する。

第３Ａ図は、第２Ａ図に於で示されて弾性表面波装置の
改良されたものである。

第３Ａ図に於で、すだれ状電極１８の数は先行技術の弾
性表面波装置と同様、比較的少なく押えられる。

その結果、導電体１６及び１７、並びにすだれ状電極１
８の誘導的リアクタンスは、タンス回路と同一の動作を
する為には十分でない。

第３Ａ図に於で、４は圧電性基板で、そしてその上には
平行導電体１６及び１７と複数個のインターデジタル電
極１８を含む弾性表面波変換器が設けられている。

そして、すだれ状電極１８のとなり合う夫々は、導電体
１６及び１７の異なる一方に直角に接続される。

すだれ状電極の夫々の幅とそれらの間隔は、この装置に
関して所望共振周波数に従って選択される。

更に、反射手段が圧電性基板の上に設けられる。

特に第３Ａ図は、反射手段が１対の弾性表面波反射装置
Ｒから成るのを示す。

特に、反射装置Ｒの夫々は、平行な一連の反射要素１９
から成っている。

平行な反射要素１９の夫々は、弾性表面波に不連続を導
入し、従って変換器の方向に波を反射する。

反射要素１９の夫々はすだれ状電極１８に平行で、そし
て反射要素１９のとなり合った夫々の間隔は等しい。

１対の共振周波数一反共振周波数を示す薄膜装置に波長
が好ましい。

反射要素１９の夫々は様々な形式を取り得る。

本発明の或る形式に於で、反射要素１９は第３Ａ図及び
第３Ｂ図に於で示された如く薄膜一金属導電体から成り
、そしてこれらは変換器若しくは、任意の他の反射要素
と電気的に接続されていない。

薄膜金属は、金若しくはアルミニウム、又は他の適当な
材料で良い。

代替的な実施例として、反射要素１９の夫々は、第３Ｂ
図の断面図に於で示される様に厚い誘電性のバーから成
っても良い。

これらのバーの夫々は、薄膜金属に相応した長さと幅を
付している。

バーの厚さは、弾性表面波を伝播する機構に不連続点を
導入するという機能によって決定される。

バーの重さは、この不連続を与える際の十分なファクタ
である。

反射要素１９の夫々に関して、更に代替的な実施例は、
第３Ｃ図の断面図に於で示される。

第３Ｃ図は、反射要素１９が圧電性基板４の表面に溝を
含む。

溝（反射要素）１９の夫々は、第１の実施例に用いた薄
膜金属導電体の長さ、幅に相応した長さと幅を有す。

反射要素１９の溝の深さは、溝が所望な機能を満たす為
、弾性表面波を伝播する機構に、十分な不連続を与える
様に選択される．第２Ａ図若しくは第３Ａ図の薄膜装置
を製造する方法は、適当な圧電性基板４からスタートさ
れる。

通常のホトレジスト技法を用いる場合、薄膜導電体１６
及び１７並びにインターデジタル電極１８が基板に付着
される。

導電体１６及び１７の電気的接続を形成する為、第２Ａ
図及び第３Ａ図に示された如き付着される導電体に関し
て通常の技法が用いられる。

前述の如く、薄膜装置の共振周波数は、インターデジタ
ル電極の幾何学上のパラメータによって決定される。

広い範囲の周波数に関して、適当に寸法付けられたイン
ターデジタル電極の形成の為に、通常のホトレジスト技
法は十分な精度を与える。

しかし、装置に所望な共振周波数が発生する場合、すだ
れ状電極の精度を上げ、周期性を減少する為、ホトレジ
ストは電子ビームにより露光されなければならない。

電子ビームの露光による精度の増大は、より高い共振周
波数を得る。

前述の段階は、適当な圧電性基板４の上で、必要な相互
接続用導電体とともに弾性表面波変換器を構成するのに
十分である。

薄膜導電体から成る反射要素１９の実施例に関して、こ
れ等の薄膜導電体は、導電体１６及び１７、並びにすだ
れ状電極１８に関して用いられたのと同様な光、若しく
は電子ビームによってホトレジストを露光する技法を用
いて付着される。

誘電性のバーから成る反射要素１９の実施例に於て、誘
電性のバーは、同様なホトレジスト技法を用いて付着さ
れて良い。

更に、溝から成る反射要素１９の実施例に於で、この様
な溝は、溝の所望な精度及び大きさによって、光若しく
は電子ビームの動作によって露光される通常のホトレジ
スト技法を適当に用いて食刻されて良い。

第２Ａ図及び第３Ａ図に示された装置に関する説明によ
ると、装置は唯一の共振一反共振の対を与える。

第３Ｄ図は、複数対の共振一反共振周波数を有する周波
数応答特性を与える為、第３Ａ図の装置の修正を示す。

特に、第３Ｄ図は、導電体１６及び１７、並びにすだれ
状電極１８を含む弾性表面波変換器が圧電性基板４の上
に付着されているのを示す。

しかしながら、第３Ｄ図の反射手段は第３Ａ図の反射手
段とは異なる、特に複数個の反射要素１９は異なる端部
に於で相互に接続され、広帯域反射手段を形成する。

この様な反射手段は、先行技術によってすでに示されて
いる。

例えば、ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ
Ｓｏｎｉｃ ａｎｄ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｓ ＳＵ−
２０巻、第２号、１９７３年４月号１３４頁以後、特に
１３７頁第９図に記載されているＭａｒｓｈａｌ１等に
よる″Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ
ＭｕＩｔｉ−Ｓｔｒｉｐ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ ａｎ
ｄ Ｔｈｅｉｒ Ａｐ−ｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ”を参照
されたい。

弾性表面波変換器とともに、複数条線の反射要素を反射
手段として用いた場合、この複数条線の反射要素の周波
数特性は、複数対の共振一反共振周波数を与える。

複数対の共振一反共振周波数を有する広帯域応答を与え
る為には、反射要素間の距離は前記の間隔より減少する
。

前記の間隔の６０−８０％が良好である。

第３Ｄ図に示された特定の反射手段は、薄膜導電体若し
くは重い誘電性バー、若しくは溝から成って良い。

第２Ａ図及び第３Ａ図を参照して説明された様に、反射
手段は装置に関して良好なタンク回路特性を示す付加的
な等価インダクタンスを与える。

等価インダクタンスを増加する試みの際に、インターデ
ジタル電極の数が増加される場合、静的キャパシタンス
の不必要な増加があるので、反射手段が必要となる。

第４Ａ図に示された弾性表面波変換器は、先行技術の弾
性表面波変換器がなすよりもより低い静的キャパシタン
スを示す本発明による新規な弾性表面波変換器を示す。

当然、この弾性表面波変換器は、等価インダクタンスの
値を保持しつつ、静的キャパシタンスの値を減少し、タ
ンク回路の特性を高める。

第４Ａ図に示された弾性表面波変換器は、第３Ａ図に示
された反射手段の有無に関わらず、タンク回路の特性を
与える。

しかし、反射手段も備わっている方が好ましい。

第４Ａ図は、少なくとも導電体１６，１６’及び１７を
含む弾性表面波変換器を示す。

これらの導電体の内の２つ、即ち、導電体１６及び１６
′は、ギャップ４５がこれらの間に存在しているが同一
直線上に有る。

他の弾性表面波変換器の装置と同様に、インターデジタ
ル電極は、導電体１６及び１６′並びに１７に垂直に接
続される。

ギャップ４５に隣接しない領域における互いに隣り合う
インターデジタル電極１８は夫々対向導電体１６，１６
’及び１７へ互い違いに接続される。

しかし、ギャップ４５の領域に於で、１対のすだれ状電
極１８は共通導電体に接続される。

即ち、１８′及び１８“の如き、１対のすだれ状電極１
８は、同一直線上に有る導電体１６及び１６′の間のギ
ャップ４５と反対側に在る導電体１７に接続される。

薄膜装置は、導電体１６及び１６′を経て相互接続リー
ド４１及び４２により、外部回路に接続されている。

従って、導電体１７は、外部回路に接続されない。

これら薄膜装置の製造方法に関する先の説明から、通常
の当業者にとって第４Ａ図の変換器が先の説明の方法で
製造され得る事は明らかである。

インターデジタル電極１８の幅及びこれらの間隔は、先
に述べた他の弾性表面波変換器に関するパラメータと同
じパラメータを用いて決定される。

動作の際、変換器は先に述べた他の弾性表面波変換器が
行った方法で、弾性表面波を良好に発生する。

しかし、外部との接続の為、装置の静的キャパシタンス
は、ギャップ４５が存在しない場合の等価静的キャパシ
タンス以下に減少する。

これらの装置の制的キャパシタンスは、平行に置かれた
導電体の長さ、即ち、すだれ状電極の数と関係する。

ギャップ４５は、導電体１６及び１６′の長さと比較し
て小さくて良いので、静的キャパシタンスの減少は電気
的相互接続が原因で生じ、ギャツプ４５の長さでは生じ
ない。

要点を説明する為、第４Ｂ図は第４Ａ図の装置に関して
等価なキャパシタンスを示し、そして本図に於では導電
体１６及び１６′はギャップ４５を持たず、単一の導電
体である。

しかし、ここでは静的キャパシタンスの計算の為、これ
等の導電体を異なる導電体と考える。

かくて、１対の導電体１６及び１７の一方は等価キャパ
シタンスＣ１を有し、他方は等価キャパシタンスＣ２を
有する、ここで夫々の導電体が等しい長さであると仮定
するならば、Ｃ１と０２は等しい。

静的キャパシクンスはすだれ状電極の数と大きさの関数
である。

ギャツプ４５が存在しない場合、第４Ｂ図に示された様
な並列接続のコンデンサを形成する。

かくて、第４Ｂ図に示される様に、等価コンデンサＣｅ
二０１十０２である。

しかし、導電体１６及び１６′が等しく、中間部にギャ
ップ４５が生じており、第４Ａ図に示された相互接続の
構造の場合、等価の静的キャパシタンスは、第４Ｃ図の
等価回路を用いて計算される。

この場合容易に明白な如く、この等価回路は直列に接続
された１対のコンデンサを含む。

コンデンサＣ１とコンデンサＣ２が等第４Ｃ図の回路に
於で、端子４１は導電体１６に接続され、端子４２は導
電体１６′に接続されている。

コンデンサＣ１及びＣ２の共通端子は導電体１７を示す
。

当業者にとって、第４Ａ図に於で示された装置の原理が
拡張され、４つ以上の導電体を含む弾性表面波変換器を
含む方法は明らかである。

例えば、或る弾性表面波変換器は、２対の同一直線上に
並んだ導電体を有する４つの導電体を含む場合がある。

異なる１対の同一直線上に並んだ導電体の間に２つのギ
ャップ４５がある。

この構成は、３つの等しいコンデンサを直列接続したの
に等価である。

かくて、この回路の全キャパシタンスは、夫この３つの
コンデンサによって発生された弾性表面波は増加される
。

第５Ａ図は、Ｔ源回路網が第３Ａ図の弾性表面波装置に
よって構成されるのを示している。

第５Ａ図は、圧電性基板４と、その上に付着され、３つ
の弾性表面波変換器、及び相互に接続された導電体３０
，３Ｌ３２、及び３３を形成している導電体のパターン
１６：１７，２５，２６及び２γを示している。

入力端子３５は、導電体３１を経て導電体２６と接続さ
れている。

導電体２７は、導電体３０を経て導電体１６と接続され
る。

導電体２５は導電体３２により端子３６と接続され、導
電体１Ｔは導電体３３により端子３７を通りアースに接
続される。

端子３５，３６及び３７は、Ｔ型フィルタの３外部端子
を形成する。

単一のタンク回路と同一の働きを成す第１弾性表面波変
換器は、導電体２６及び２７とそれらの間のすだれ状電
極２８を含む。

第２のタンク回路として働く第２弾性表面波変換器は、
導電体２１及び２５、並びにそれらの間のすだれ状電極
２８を含む。

第３タンク回路として働く第３弾性表面波変換器は、導
電体１６．１７及びすだれ状電極１８を含む。

第５Ａ図は、これらの装置の夫々に関連した反射手段を
示す。

第５Ａ図は、タンク回路として働く夫々の回路に関して
特定の方向を示しているが、当業者によって弾性表面波
変換器の任意の方向は、これらの装置の相対的な方向と
同様に随意に変化されることは明確にされる。

導電体２７は、２つの弾性表面波変換器に関して共通で
ある。

電気的に相互接続された２つの導電体は十分に働くが、
第５Ａ図に於で示されたパターンは簡単であるという利
点を有している。

第５Ａ図に於で示された装置に関する等価回路は第５Ｂ
図に示される。

第２Ｂ図に従って、第５Ｂ図は直列に接続されたコンデ
ンサと接続されたインダクタと、その対と並装に接続さ
れた第２のコンデンサを含む弾性表面波変換器の夫々に
関する等価回路を示す。

第１弾性表面波変換器は、第５Ｂ図の等価回路に於で、
ＬＡ，ＣＡ及びＣ。

Ａによって表わされ、第２弾性表面波変換器は、第５Ｂ
図の等価回路に於て、ＬＡｌ，ＣＡ及びＣＣＡｌによっ
て表わされ、第３弾性表面波変換器は第５Ｂ図の等価回
路に於で、ＬＢ／，ＣＢ及びＣ。

Ｂによって表わされる。

弾性表面波変換器の夫々に関して、共振及び反共振周波
数を決定するパラメータは広範囲内に選択されるが、第
５Ｃ図に於で示された特性は代表的な説明を与える。

第５Ｃ図は、第３弾性表面波変換器に関して共振周波数
はＦｒＢで、これは、反共振周波数ＦａＢよりも低い。

このＦａＢは第１弾性表面波変換器の共振周波数ＦｒＡ
と等しい。

そしてこのＦｒＡは、第２弾性表面波変換器の共振周波
数でもある。

そして、第１及び第２弾性表面波変換器の反共振周波数
は共振周波数ＦｒＡよりも当然高い。

これは、装置の夫々に関して、インピーダンス対周波数
特性を夫々示す第５Ｃ図に於て示される。

第５Ｄ図は、第５Ａ図の回路網の周波数を関数とした減
衰特性を示す。

人力の周波数が低周波数からＦｒＢに変化する場合、こ
れら全ての装置は容量性である。

ＦｒＢに於で第３弾性表面波変換器は共振周波数に在り
、かくて、装置のインピーダンスは事実上０である。

従って、第５Ａ図の回路網は高度な減衰を示す。

第１及び第２の弾性表面波変換器の共振周波数に周波数
が増加する場合、夫々の回路は低いインピーダンスを示
す。

しかし、同時に第３インピーダンスは高いインピーダン
スを示し、かくて、第５Ａ図の回路網は上述のこの周波
数に於で極めて低い減衰を有する。

この帯域は、第１及び第２弾性表面波変換器が略開放回
路となる反共撮周波数ＦａＡに周波数が到達するまで上
へのびる。

かくて、回路網全体は狭帯域のフィルタである。

この狭帯域フィルタの特性が導電性のパターン、若しく
は同等物を圧亀性の基板上に蒸着することで、形成され
た全体的な薄膜の装置によって誘動される事は明らかに
される。

当業者にとって、反射手段を利用する事は必要でないが
、第２Ａ図若しくは第４図に示された装置を用いる事は
可能である事は明らかである。

更に、反射手段を用いるこれらの実施例に於で、これら
実施例は、本明細書の関連部分に於で説明された様に、
第３Ａ，３Ｂ、若しくは３０図に示された任意の形式を
取って良い。

第６図は、発振器としで適応する際にタンク回路と同様
な働きをする為に、第３Ａ図弾性表面波変換器を利用し
たもう１つの代表的な例を示す。

弾性表面波変換器６０は、増幅器の入力端子と可変コン
デンサ５０の間に接続される。

可変コンデンサ５０のもう一方の端子を、増幅器の出力
端子と接続することにより、その結果形成された回路は
、弾性表面波変換器６０及び可変コンデンサ５０の特性
による周波数で発振される。

１対の共振一反共振周波数を有する弾性表面波変換器を
用いる場合、町変コンデンサ５０は省略され、振動の周
波数は弾性表面波変換器のパラメータにより決定される
。

しかし、複数対の共振一反共振周波数を有する弾性表面
波変換器６０を用いることで、この回路は帯域に於で複
数個の異なる周波数によって発掘を可能にする。

発振の特定の周波数は可変コンデンサ５０の値を選択す
ることで決定されてよい。

代表的には、可変コンデンサ５０は実際はＰＩＮダイオ
ードを含み、このキャパシタンスはバイアス電流を変化
することによって変えられる。

複数個の異なる周波数で発振が町能なこの様な発振装置
は、受信装置、若しくは送信装置が複数個の異なる周波
数に対して同調を町能にしなければならない同調装置の
応用例の際に利用される。

かくて、ＰＩＮタイオードのバイアスと単に変化する事
によって、発振周波数は正確に制御される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、先行技術の弾性表面波装置の平面図、第２Ａ
図は、タンク回路の特性を示す本発明の基礎となる弾性
表面波装置の平面図、第２Ｂ図は、第２Ａ図に於で示さ
れた装置の電気的特性の等価回路、第２Ｃ図は、第２Ａ
図に於て示された装置のインピーダンス対周波数特性の
グラフ、第３Ａ図は、反射手段を有する弾性表面波装置
の平面図、第３Ｂ図及び第３Ｃ図は、夫々、第３Ａ図の
線３Ｂにおける断面図及び代替装置の同様の断面図、第
３Ｄ図は、第３Ａ図の装置に対する代替装置例の平面図
、第４Ａ図は、本発明の新規な弾性表面波変換器の平面
図、第４Ｂ及び第４Ｃ図は、新規な弾性表面波変換器の
利点を説明する際に有効な等価回路、第５Ａ図は、Ｔ型
回路の特性を有する弾性表面波フィルタの平面図、第５
Ｂ図は、第５Ａ図に於で示された装置の等価回路、第５
０図は、第５Ｂ図に於で示された等価回路の成分に関し
、インピーダンス対周波数の関係をプロットした図、第
５Ｄ図は、第５Ａ図に於で説明された装置に関し減衰対
周波数の関係をプロットした図、第６図は、第３Ａ図の
弾性表面波装置を用いる発振器の概略図である。 ４・・・・・・圧電性基板、１６，１７・・・・・・導
電体、１８・・・・・・すだれ状電極。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 圧電性基板と、 前記基板に付着された少なくとも３本の導醒体であって
   、該３本の導電体のうちの第１及び第２の導電体が間に
   ギャップをあけて同一直線上に設けられ、且つ夫々接続
   端子手段を有し第３の導電体が前記第１及び第２の導電
   体と平行に且つこれから所定の間隔をあけて設けられた
   ものと、前記第１及び第２の導電体と前記第３の導電体
   との間にこれらの導電体と垂直に前記基板に付着された
   すだれ状導電体であって、前記ギャップに隣接する領域
   では１対の隣接するすだれ状導電体が前記第３の導電体
   へ接続され、それ以外のすだれ状導亀体が前記第１又は
   第２の導電体と前記第３の導電体とへ互い違いに接続さ
   れたものと、を有する表面音響波変換器。