經濟部中央標隼局員工消費合作杜印聚 A?' ----—__B7 五、發明説明（1 ) 本發明係有關於一種加速度侦知裝置，特別是有關於 一種利用半導體感測元件的加述度積知裝置，因而可以在 垂直其特定平面（亦即所謂的主平面）來感測加速度之感測 元件。 蜂砵的加速度偵知裝置多半採用具有壓電效應之半導 體做爲感測元件，藉由半導體之加速度偵知裝置的優點來 感測加速度。經由此類型之感測元件，因而可在垂直於此 感測元件之主平面方向上以高準確度的方式測出加漣度。 於上述的半導體感測裝置中是將待定的部件（亦即爲 懸臂型之固定端）固定於基板上，並且由基底元件所支承。 加速度偵知裝置是藉由將基底元件固定支承於包裝元件之 上而形成，並且藉由包裝元件將基底元件及半導體感測元 件進行包覆。包裝元件係構成加速度偵知裝置之外部包裝 元件的一部分，並且多半是由樹脂材料所製成。 此加速度偵知裝置一般是以採用具有電路板之集中式 之單一本體，並且在加達度偵知裝置之底倒部分上形成有 複數腿部件，藉由該等腿部件而將感測裝置固定於電路板 上。腿部件可在框架構件之端部上以金屬材料來形成，並 且固定在包裝元件上，以及可採特定數量的腿部件從包裝 元件之底面來凸出設置。 在上述加速度偵知裝置中，半導體感測元件是以矽之 易碎材料所製成，因而在加速度侦知裝置掉落或類似的撞 擊現象發生時’過大的衝擊負荷便可能損壞感測元件。尤 其是當衝擊負荷作用在感測加逹度的方向上時（亦即垂直
(請^閱讀片面之注意夢項汚續巧各汀
叫368 Λ7 ------ B7 五、發明説明（2) 於感測元件之主平面的方向時)，則感測元件在較小的負荷 作用下便會發I数壞。 讀先閱漬背而之;i意f''l>e:^'i.· 特別是在將感測裝置裝入單一本體之組裝步驟時，或 是在先前所提的運送階段中不慎將加達度偵知裝置掉落， 則會造成了感測元件的損壞„ 有錯於i述的各種問题，在日本專利Laid-Open Publication No_ HEl 1-302169(於此視爲第一習知技術）中係 揭露出一種藉由緩衝材料包覆於包裝元件外部之加速度偵 知裝置，在此包裝元件中包括有半導體感測元件。 訂 於本案中更揭露出在日本專利Laid-〇pe:n No. HEI 3-170065(於此視爲第二習知技術）中以一包裝元 件的單一本體是與加速度偵知裝置結合爲一體，在加速度 偵知裝置中之包裝元件包覆於感測裝置的外部表面，並且 形成有一風箱部分，此風箱部分的延伸與收縮方向是可與 加速度感測方向一致。根據此第二習知技術，配置有加速 度偵知裝置而用以支承基板的包裝元件是由一種具有可以 線 承受較大機械力量的材質所製成，並且以緩衝材料貼附於 其外部表面上。 經濟部中央標準局員工消費合作社印取 再者’於日本專利 Laid-0.pen Publ丨cation No. ΗΕΙ Τ- ΐ 67887(於此 視爲第 三習知 技術） 中係 揭露出 —種蓋 子元件 <單一本體，此一單一本體是輿加速度偵知裝置（第三習知 技術之半導體感測裝置）結合爲一體，並且在加速度偵知裝 置中具有一衝擊緩和元件，其位置是向外突出於感測裝置 所固定之基底外圍。 6 本紙張尺賴則’ϋ蘇轉（)峨格(.21(>>< 297為~~· -------- 五 經濟部中央標率局員工消費合作杜印製 、發明説明（ 根據第-習知技術’當加速度偵知聚置於單 ’縱使因錢落或其他相似时造成感 負崎，此衝擊負荷便可藉由貼附在包裝元件 件有刚…㈣感測元 然而在本例子中，每一個外部包装元件必須 緩衝材料來固定於其周園表面上，因此需要勞力 才能夠完成。 勒力 再者’根據第二或第三背知技術所提出的結構中，與 加速度傾知裝置結合在—起的單_本雜之&裝元件或蓋子 元件疋具有-機構來吸收衝突負荷，並且這些機構不是直 接用於保護加逹度偵知裝置。 A因此，根據第二、第三習知技街所提出之感測裝置並 d锋有效地吸收前述之運送階段中.或在將感測裝置裳入單 一本體時所發生掉落而造成之衝擊負荷。 有鑑於前逑習知技術的各項缺點，本發明之θ的係在 於提供一雙簡單構造的加速度镇知裝置，藉由此加速度偵 知裴置來吸收作用在加速度偵知裝置之單—單位的衝擊負 荷，因而可以達到保護其内部之半導體感測元件而免於損 壞。 爲達到上述i的，本發明之第一實施例的加速度偵知 裝置包括：一半導體感測元件，該半導體感測元件可以感 測垂直於一特定平面之方向上的加達度；一基底元件，該 基底元件係用以支承該半導體感測元件；一包裝元件，該 个上很尺度通用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2!〇χ 297公^~ A 7 ----- B 7 五、發明説明（4 ) 包裝元件係用以支承該基底元件，以及用以包後該基底元 件及該半導體感測元件；一框架構件，該框架構件具有複 數腿部件，該等腿部件係由該包裝元件的底部平面突出， 並且固定於該包裝元件；及—_製帽狀蓋子元件，該樹 脂製帽狀蓋子元件具有一頂部部分，該谓部部分係相對於 該包裝元件或該框架構件之上表面，並且該帽狀蓋子元件 係由上万覆蓋固定於該該包裝元件；其特微在於：該帽狀 丨裝 蓋子元件的側壁部分是至少延伸到一位置，該位置是相對 於該感測元件所排列的位置。 A在上迷的例I+，較佳的方式是將樹職製蓋子元件固 疋在包裝元件之上，並且可藉由材料本身之彈性限度内的 力量來移除蓋子。 ύ. 經濟部中央榡準局員工消费合作社印製 再者’根據本發明之第三宜施例的加速度偵知裝置包 括：-半導體感測元件’該半等體感測元件可以感測垂直 於-特定平面之方向上的加速度；—基底元件，該基底元| 件係用以支承該半淨體感測元件一樹脂製包裝元件，該I 樹脂製包裝元件係用以支承該基底元件，並且用以包覆該! 基底元件及該半導體感測元件；―框架構件，該框架構件 具有複數腿部件，該等腿部件係由該包裝元件的底部平面I 笑出’並且固定於該包裝元件；其免徵在於該包裝元件| 具有複f笑出物，該等突出物與該包裝元件爲-體成型’ ! 並且茲等笑出物是凸出於除了該底乎面的一乎面上，以及 孩等哭出物是平行於該半導雅慼測元件之該特定平面。 外根據本發明之第三實施例的加速虎偵知裝置包 本紙張尺舰财關 8 3l〇S68 Λ7 --------- B7 五、發明説明（5) .裝— 括.半導體感測元件，該半導髓感測元件可以感測垂直 於一特定平面之方向上的加速度；—基底元件，該基底元 件係用乂支承該半導雜感測元件；—包裝元件，藏包裝元 件係用以支承該基底元件，並且用以包覆該基底元件及該 半導體感測元件；一金屬製框架構件，該金屬製框架構件 具有複數腿部件，該等腿部件係由該包裝元件的底部平面 义出，並且固定於該包裝元件；其特徵在於：該框架構件 係於底部平面以外的面且與該赉導體感測元件之該特定平 面平行的面，包含有對應於該感測元件之配置部位之部份 的區域設定成較該包裝元件弩曲至外侧。 在上述例子中，較佳的方式是將框架構件之凸出部份 是以波紋狀的方式來形成。 實施例： 以下兹配合圖式資料説明本發明之較佳實施例<5 第一實施例 線 經濟部中央標率局員工消費合作社印裝 首先，在第1〜4圖中將説明本發明第一實施例之加速 度偵知裝置丨（在此簡稱爲感測裝置）。第3圖係表示本實施 例之感測器1之縱向剖面説明圖’圖中的感測裝置】係提 供有一半導體感測元件2(以下簡稱感測元件）可以感測在 垂直特別平面（亦即所謂的主平面）來感測加速度，並且提 供一基板3來支承感測元件2 < 在傳統技術中，半導體感測元件2利用半導體之壓電 電阻效應來感測加速度爲常見的技術，而在本實施例中是 以矽（S丨)所製成之懸臂型式來完成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） A7 __ __ B7 五、發明説明（6) "" ' 也就是説，感測元件2係探用近似矩形之平行之面體 板（薄板）而構成，並且在其一端部是藉由托架4而固定到 基板3，感測元件2是以懸臂型態之基板3來支承。在感 測元件2因定端與自由端之間美有_溝槽2;1。當加$ 〇 垂直於鳧測元件2之平面（主平面）且士行於基板3之方向 上時，感測器在此位置可以得到最大靈敏度。半導體感測 元件2也同樣是習知之常見技術，在此便不對其結構及操 作方式做更進一步詳述。 除了感測元件2之外，在基板3之上固定了一電容器 6。並且，在感測元件2之固定端與基板3之間具有一保 險絲5，藉由此保險絲5來取得感測元件的輸出。 感測裝置1更提供有一包裝元件丨丨，藉由包裝元件" 來支承基板3，並且包住基板3與半導體感測元件2，以 及提供-框架構件12 ’此框架構件12係定於包裝元件 η〈上。框架構件u係以金屬片製成爲佳，而包裝元件 11則以合成樹脂製成爲佳。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 在基板3之一側面的周圍部分係藉由黏著劑來固定於 包裝元件1 1，而感測元件2、保險絲5及電容器6則藉由 基板3及包裝元件n而限定於内部空間9之中。 楚慶’王思的是，基板3具有一貫穿孔，藉由此贯穿孔 來排放内部空間9的空氣，並且在空氣排除之後，此貫穿 孔便以焊接方式將其覆蓋。 金屬框架構件12中具有複數（例如：4條）腿部件 12d ’孩等腿部件12d係由包裝元件Π的底面而凸出。藉 本紙張尺度適用中 B7 ___________ 五、發明説明（7) 由這些腿部件12d，加速度偵知裝置1便可固定在加速度 量測單元（未圖示）之電路板PL。 再者，在基板3的後側表面上係以鲜接方式而連接一 保險絲7，藉由保險絲7而將感測元件2的輸出傳遞到電 路板PL。 雙得注意的是，本實施例之加漣度偵知裝置丨亦即是 所謂的、直立型赛置，其感測元件2之主平*是以垂直電路 板PL的方式來安排。此頬型的加速度偵知裝置係應用於 . . 車體前後方向之加速度，以及感測在汽車車輛之空氣 - ：ι·：.ι 氣囊系統的加速度。 如第1圖及第2圖所示，本實施例之加速度侦知裝置1 具有一帽狀蓋子13，該帽狀蓋子1 3係由上而覆蓋於包裝 元件11之上’並且可採取嚙合的方式而固定。此帽狀蓋子 13係由具有高耐熱牲之矽樹脂來製成爲佳。 !得注意的是，所謂的工程塑膠如PPS(聚硫化亞苯） 或PBT(聚丁烯對苯二酸)也可以來取代矽樹脂^ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 樹脂製蓋子13具有頂部部分丨3a，此頂部部分丨3a係 相對於包裝元件1 1或框架構件丨.2的上表面，並且蓋子13 之侧壁部分13b至少延伸到—個位置上，此位置係感測元 件2所設置之位置（如第3圖所示）。 藉以上述的设置方式’感測元件2的上方部分及側邊 部分均由樹脂製蓋子1 3所覆蓋，而作用在這些方向中的衝 擊負荷則可經由樹脂製蓋子13而有效地吸收。另一方面， 在感測元件2下方係具有框架構件1 2複數腿部件12d，這 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（8) 些腿部件12d是由包裝元件丨丨的底平面而凸出，因而由下 方傳來之衝擊負荷便可藉由腿部件12(1而吸收。 亦即’在加速度偵知裝置1單獨操作時，由於落差或 類似的衝擊負荷作用下，半導體感測元件 2之内部可以有 效地受到保護。 再者，於本實施例中藉由在框架構件12上放置如樹脂 製之帽狀蓋子丨3的簡單結構，則在單一處理加速度偵知裝 置1之衝擊阻抗是可以受到改良的。 並且，根據本實施例之較佳的方式是將樹脂製帽狀蓋 子丨3的各部位以尺寸化的方式來設置，因而可藉由其本身 材料之彈性限内的力量，以可夥動方式接合固定於包裝元 件Π。因此，在完成單一處理感测裝置丨或類似的例子之 後，蓋子可以相當容易地移開，並且可以再次重覆使用於 另一個感測器，以做爲單一處理之使用。 較佳的蓋子13之頂部部分13a是具有—近似矩形開口 】31】，因而可以增加蓋子】3之頂部部分】的可撓性，並 且藉此可使得蓋子13輕易地結合及分離。 藉由以錐形狀的蓋子1 3的側壁部分丨3b内側表面的形 成，在相互面對之側壁部分13b的間距係在較低側間距小 於較高側間距，固定接合於包装元件π的帽狀蓋子丨3之 結合力是可以增加的。 再者，當蓋子不考慮再使用時，可藉由黏著劑之類物 品將其固定到包裝元件或框架構件上t . 如第4圖所示，當進行組合加速度侦知裝置丨時，首 12 氏張尺度· f __iT^NS --- (請先間，.ίΐ背而之;1:%_項汚靖寫本,0::. -裝 TV 、-t
• .1.^1 In 1 I A7 ______ _______ B7. 五、發明説明（9 ) '~^ 先將固定有感測元件2之基板3固定於包裝元件"上，進 而將每一個保險絲7從包裝元件】】之底部開口插入，隨後 藉由鮮接方式將其末端（上端）固定於基板3上。 其次，將金屬製之框架構件由上插入於樹脂製包裝元 件Π之中而完成組合，並且將凸出部分丨2e彎曲，因而使 用者相互之間產生固定。在本例中，框架構件12之腿部件 】2d係向下突出穿過於包裝元件1 1的底端開口 11 h。 並且’樹脂製蓋子13係由上放在包裝元件n或框架 構件1 2之上，因而完成組裝。 第一實施例的修正例 第一實施例的修正例將在第5〜7圖中説明。 基本上，本修正例係相頰似於第一實施例。如第7圖 中所示，所謂的水平型態即是其感測元件22係以平行吒 的万式來設置。此類型的加速度偵知裝置係用於感測車體 在寬度方向上的加速度，例如應用在汽車奉柄上的氣嚢系 统上。 、 經濟部中央標準局員工消費合作社印褽 如第7圖所示，在本修正例之加速度偵知裝置21中， 具有相同於前述感測裝置1之元件的結構及功能的各元件 (感測7C件22、基板23、踏板24、保險絲25及電容器26) 係放置於藉由基板23及樹脂製包裝元件3丨所限定的内部 空間29之中，並且保險絲27係連接於基板u。 在包裝元件31之上固定有一金屬製框架構件32 ’該 金屬製框架構件32具有四支腿部件32d。然而，金屬製框 架構件32於固在樹脂包裴元件3 1的結構上有些許的改 本紙張尺錢财_( A7 ---'----- B7 五、發明説明（10) ------- 變’但基本上是類似於前逑感測裝置1之框架構件！2。 如第5、6圖所示，一梅狀蓋子33由上而下覆蓋於包 裝疋件31及框架構件32之上而接合固定 、a此蓋+ 33係由樹脂材料所製成，並且蓋子33是錢似 於W述之感測裝置i，於蓋子33之侧璧部分说至少延伸 到與感測元件2 2設置的位置上（如第7圖所示）。再者，於 子33之頂部部分33a上具有一矩形狀的開口 Mh。 也就是説，在本修正例子之感測裝置h中，於感測元 件22之上側部分及側邊部分均以樹脂製的蓋子μ所覆 蓋。在感測元件22❸下側部分係具有自包裝元件31之底 面所笑出延伸之框架構件32的複數腿部件32d，因此本修 正的例子便能狗產生如前所述感測裝置1的相同功效。 第二實施1 根據本發明第二實施例之加速度偵知裝置令1將於第8 圖中説明。値得注意的是，本感測裝置41係採用直立型 式，並且與第1圖到第4圖之第—實施例中的感測裝置1 具有相似的構造，其差別係在於樹脂製之包裝元件42 »因 此，除包裝元件42之外而相同於前述感測裝置1的其他裝 置係採用相同的參考符號來表示之外，並且不再綴述其相 關的説明。 在本實施例中，樹脂製之包裝元件42係具有複數（亦 即4個）突出物42d ’該等哭出物42d是集中於包裝元件42 及外向凸出，而突出物42d所在位置的表面是除了底面之 外之平行於半導體感测元件2的主平面。 請先閲讀背而之注意事項再4;r,木页 裝. 訂 '線 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（11〉 ' " ―― 當較大的衝擊負荷作用在垂直感測元件2主平面方向 上之最低衝擊阻抗位置時，藉由所提供之突出物42d便產 生變形或破斷’以吸收衝擊負荷,，另一方面，金屬製框架 構件12之複數腿部件12d係在感測元件的底面側上而從樹 脂製包裝凡件42的底平面來延伸，並且因而猶由腿部件 12d來吸收來自底面倒的衝擊負荷。因此，即使當感測裝 置41在單獨操作時有掉落的情況發生及遜成衝擊負荷 時，於内部之感測元件2仍能夠有效地得到保護。、了 再者，突出物42d可在包裝元件42的成型階段而輕易 完成。藉由包裝元件42所提供之簡單突出物42d的結構， 如此便可以增加感測裝S41對於衝擊負荷的抵抗能力。 第二實施例的修正例 第9圖係表示根據第二實施例之加读度備知裝^。 加速度偵知裝置51爲水平型態的結構，並且此加越度領知 裝置51係與第5圖到第7圖中之第一實施例修正例之感測 裝置21具有相同的結構，其差別是在於樹脂製包裝^件 5_ Q此包裝元件52之外而相同於前述感測裝置，丨 的其他裳置係採用相同的參考符號來表示之外，並不再緩 述其相關的說明。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 、在本修正例中，除了包裝元件5 2底面之外，並且平行 、心測元件22之主表面的表面即爲包裝元件52的上表 面’於包裝元件52 έ今上表面是形成有複數(亦即4個）突出 物 52d 。 1 在本例子中雖僅在包裝元件52的—表面上形成有突 15 本紙張尺度適财_家制M CNS) _ 經濟部中央標芈局員工消費合作社印製 Λ7 r—_.'一— 五、發明説明（Η ) 出物52d，其仍可以產生如前所述之第二實施例中的相同 功能。 第三實施例 如第10圖所示，根據本發明第三實施例之加速度偵知 装置6 1將於下文中説明。値得注意的是，感測裝置6丨是 以直立型態形成，並且與第1〜4圖中所示之第—實施例中 的感測裝置1有相同的結構，其不同點係在於金屬製框架 構件62。因此，除了金屬製框架構件62之外而與前述威 測裝置1相同的元件係相同的參考數字來表示，並月不再 做進一步的説明。 根據本實施例中的金屬裝框架構件62包括有一部 件，此部件是在平行於半導體感測元件】之主平面的—平 面上而向外凸出於包裝元件U。再者，較佳的凸出部分是 以波紋狀方式來形成。 因此，當衝擊負荷作用在感測元件2具有最小衝擊阻 抗之垂直平面的方向上時，藉由金屬製框架構件62上分凸 出部分62C便能夠有效地來吸收衝擊負荷。再者，框架構 件62之複數腿部件62d是在感測元件2之底側面的包裝元 件1丨之底平面而凸出，因此由底平面所產生的衝擊負荷便 可藉由腿部件62d來吸收。即使是當感測裝置6丨在單—處 理時發生掉落情況而造成衝擊負荷，其内部的感測元件2 也能夠有效地受到保護。 再者，凸出部分62c可在框架構件62的塑造階段中輕 易的體成型。藉由具有凸出部分62c之框架構件Μ，簡 16 ^氏依尺度賴巾^^^^17^71^1^¥7----------
經濟部中央標準局負工消費合作社印製 31〇368 A? ____ _ _**~^"~""***"*"^* 1 I -.... - ·-.-- —-- 1 ...…， 1 | 五、發明説明（13 ) ^ ~* 單構造，因而在單一處理感測裝置6〗時的衝擊阻抗力便可 以提昇。 更特別的是，框架構件62之凸出部分62c是以波紋狀 來形成，因此在垂直感測元件2主平面方向的衝擊負荷便 可有效地被吸收。 框架構件62的材料一般是以具有高彈性的銅基（亦即 铍-銅或銅-錄-峰基）合金所製成。 第二實施例的修正例 第11圖所示爲根據第三實施例之修正例的加速度偵 知裝置7〗。此加速度偵知裝置7丨爲水平型式，除了金屬 製之框架構件72之外，並且與第5〜7圖中所示之第一實施 例之修正例的感測裝置21具有相同的結構。因此，除了金 屬製框架構件72之相同於前述感測裝置21的其他元件均 以相同的參考數字來表示並且不再綴述其相關的説明。 在本修正例子中，除了金屬製框架構件72之底面及平 行於半導體感測元件22之主平面外的平面只有上表面。在 上表面位置中，感測元件2是將包裝元件丨丨以向外凸出的 方式來形成。再者，凸出部分72c是以波紋方式來形成。 另一方面’框架構件72之複數腿部件72d是在感測元 件2之底侧面的包裝元件3丨之底平面而凸出因此，由底 平面所展生的衝擊負荷便可藉由腿部件72cj來吸收。 在本例子中’僅藉由在金屬製框架構件π之一表面上 权置有凸出部分72d，則仍可以產生如第三實施例之相同 功效。 17 本紙狀度適财關轉準"[⑽------ (請先閡請'-"面之注急事項-^^¾^¾)
A 7. A 7. 五 14 '發明説明、， 雖然本發明已以較佳貧施倒揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此項技藝者，在不赚離本發明之精 神和範圍内，當可作更動與潤飾，因此本發明之保護範圍 當視後附乏申請專利範圍所界定者爲準。 裝ί 根據本發明之第-實施例中，樹脂製帽狀蓋子元件具 有一頂部部分，該頂部部分是相對於包裝元件或框架構件 之上表面，並且其側壁部分至少延伸到—相對於半導體感 測元件所排列的位£。因此’感測元件之上側部份及倒邊 部分係由樹脂製蓋子元料覆蓋，並且作财t其他方向上 的衝擊負荷均可藉由樹脂製蓋+元件而有效地吸收。另一 方面，在感測元件的下侧是形成有複數腿部件，此枢架構 件的腿部件係由包裝元件的底平面而延伸，因此在底側所 產生的衝擊負荷便可藉由腿部件來吸收。 也就是説，即使當加速度偵知裝置在單一處理時發生 掉落情況而產生衝擊負荷時，其㈣之感測元件仍能夠有 效地受到保護。再者，|f由本例子中將樹脂製帽狀蓋子元 :放置在感測器的簡單結構，對於在單—處理加速度偵知 I置的衝擊阻抗能力是可以提异的。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 w在本例子中，樹脂製蓋子元件可藉由在其材料的彈性 牧，圍中的外力而自固定的位置上移除。因此，在本例子 中凡成加速度偵知裝置或相類似例子之單一操作之後，蓋 Γ元r便可以輕易地㈣，㈣對其他加料·裳置之 早—處理進行再利用。 又 ^者根據本發明之第二實施例中，樹脂製之包裝 18 A7 五、發明説明（15 ) 件係具有魏W物，該等突㈣是與包裳元件—體成型 及向外凸出於一平面，此一平面是除了在半導體感測元件 之底平面及平行於主平面外的千面。藉由此種挪列方式， 當衝擊負荷以較大的彈度超過了感測元件<垂直於主平面 具有最J衝擊阻抗位置時，該等突出物便以變形或破斷 的方式來吸收衝擊負荷。另U，框架構件之複數腿部 件是在感測元件之底側面的包裝元件之底平面而凸出，因 此由底側面所產生的衝擊負荷使可藉由腿部件來吸收 也就是説’即使當加速㈣知聚置在單一處理時發生 掉_而產生衝擊負荷時，其内部之感測元件仍能夠有 放地又到保4。再者，藉由本例子中將樹脂製帽狀蓋子元 件放置在感測器的簡單結構，對於在單—處理加速度侦知 裝置的衝擊阻抗能力是可以提昇的。 再者’根據本發K第三㈣例中，金㈣框架構件 的設置是包括有一部件，此—部件是在平行於基板之主平 面的-平面上而向外凸出於包裝元件。因此，當衝繫負荷 作用在垂直於感測元件之主平財向上之具有最小衝擊阻 抗的位置時，藉由具有凸出部分之金屬製包裝元件便可以 有效地吸收衝擊負荷。再者，框架構件之複數腿部件係在 感測凡件之底侧面的包裝元件之底平面而^出，因此從底 側面所產S之衝擊負荷便可藉由腿部件來吸收。 也就是說，即使當加達度伯知裝置在單一處理時發生 掉落h況而產生衝擊負荷時，其内部之感測元件仍能夠有 效地又到保凌。再者，&出部分可在金屬製框架構件的塑 19 請先間讀背面之注意箨項4^*,"1叕 裝 T ，y5 經濟部中央標準局員工消費合作.社印製 表紙張尺度適用中國國家標隼（（、NS )八4规格（ 210x297 公釐） A7 ____B7 五、發明説明（16) ~ 造步驟中輕易地一次成形。藉由此一簡單的搆造，對於單 —處理加速度偵知裝置的衝擊酿抗能力是可以提昇的。 在本例子中’較隹的框架構件之凸出部分是以波紋方 式來形成。藉由此排列方式，則作用在半琢體感測元件之 垂直於主平面方向上的衝擊負荷便能夠有效地被吸收。 爲讓本發明之上述目的、特徵、和優點能更明顯易懂 ，下文特舉一較佳實施例，並配合所附屬式，作詳細說明 如下： 圖式之簡單説明： 第丨圖係表示依據本發明第--實施例之加速度偵知裝 置的立體圖； 第2圖係第一實施例之加逹度偵知裝置的正面說明 圏； 第3圖係表示沿著第2蠲中綠段1Π Ιϋ之縱向剖面説明 圖； 第4圖係表示第一實施例之加速度偵知裝置的分解立 體圖； 第5圖係根據第—實施例之修正例之加璉度偵知裝置 的立體圖； 第6圖係表示上述修正例之加速度偵知裝置的正面説 明圖； 第7圖係表示沿著第6躅中綠段VII-VH之縱向剖面説明 圖； 第8圖係表示依據本發明第二實施例之加速度偵知裝 20 請先間讀序兩之注意事项吟^巧木頁 .I H1+衣......- - — 絲 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 Λ7 —---——--—--II_______ —_________ 五、發明説明（n) 一 置的立體圖； 第9圖係根據第二實施例之修正例之加速度偵知裝置 的立體圖； 第10圖係表示依據本發明第三實施例之加速度偵知 裝置的立體圖；及 第11圖係根據第二貧施例之修正例之加速度偵知裝 置的立體圖。 费號説明： 1、 21、4】、51、61、7丨〜加速度偵知裝置 2、 22〜半導體感測元件 3、 23〜基板 11、31、42、52〜包裝元件 】2、32、62、72〜框架機件 12d、32d、62d、72d〜腿部件 13、33〜蓋子 13a、33a〜蓋子之頂部部分 13b、33b〜蓋子之側壁部分 經濟部中央橾华局貝工消費合作社印製 準 樣 家 |國 國 -中 用 Μ 度 尺 一法 I紙 i本 2 -0·