JPH057006A - 半導体加速度検出装置 - Google Patents

半導体加速度検出装置

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JPH057006A
JPH057006A JP3157957A JP15795791A JPH057006A JP H057006 A JPH057006 A JP H057006A JP 3157957 A JP3157957 A JP 3157957A JP 15795791 A JP15795791 A JP 15795791A JP H057006 A JPH057006 A JP H057006A
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JP
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acceleration
weight
substrate
detecting device
acceleration detecting
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Masahiro Yamamoto
雅裕 山本
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Mitsubishi Electric Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
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    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/4809—Loop shape
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、耐衝撃性を向上させた半導体加
速度検出装置を得ることを目的とする。 【構成】 加速度検出梁１は、その端部に取り付けられ
た台座３によって基板２に取り付けられている。加速度
検出梁１の他端には、加速度の感度を高めるための重り
４が設けられている。この重り４の周囲には、重り４の
加速度印加方向及びこの方向に垂直な方向の過剰な変動
を制限する止め具１１が基板２に取り付けられている。
従って、重りの変動域を高精度で制御することができ、
加速度検出梁のしなり、ねじれによる耐衝撃性を高精度
で制御できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体加速度検出装
置、特に、耐衝撃性を向上させた半導体加速度検出装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の半導体加速度検出装置を
示す側面断面図であり、図４はその斜視図である。これ
らの図において、加速度検出梁１は、その端部に取り付
けられた台座３によって基板２に取り付けられている。
加速度検出梁１の他端には、加速度の感度を高めるため
の重り４が設けられている。この重り４の上下には、重
り４の上下の動き、すなわち加速度が印加される方向の
動きを制御するコの字形の止め具１０が基板２上に取り
付けられている。また、加速度検出梁１の中程の基板２
側には、溝５が設けられており、この溝５の裏面には伸
縮により抵抗値が変化する歪抵抗６が形成されている。
この歪抵抗６からの電気信号は、導線８により引き出し
ピン７に接続されている。そして、上記の基板２、加速
度検出梁１及び止め具１０等は、外囲体の蓋９で覆われ
ている。なお、図４は、蓋９が基板２に取り付けられる
前の状態を示している。
【０００３】従来の半導体加速度検出装置は上述したよ
うに構成され、半導体加速度検出装置に加速度が加わる
と、加速度検出梁１、特にその溝５の部分がしなる。こ
の時、溝５の反対側に設けられている歪抵抗６が伸縮す
ることにより、歪抵抗６の抵抗値が変化し、その出力信
号が導線８を介して引き出しピン７から引き出され、加
速度が検出される。また、加速度検出時においては、加
速度検出梁１の上下のしなり幅を止め具１０で制御する
ことにより、大きな衝撃による加速度検出梁１の折れを
防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したような半導体
加速度検出装置では、垂直方向以外の加速度が印加され
た場合、重り４はその方向に変動する。しかし、止め具
１０は重り４の垂直方向以外の変動を制御できず、加速
度検出梁１のしなり、ねじれ幅を精度良く制限すること
ができないという問題点があった。この発明は、このよ
うな問題点を解決するためになされたもので、重り４の
垂直方向以外の変動も制御することができる半導体加速
度検出装置を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体加
速度検出装置は、加速度検出梁に設けられた重りの加速
度印加方向及びこの方向に垂直な方向の過剰な変動を制
限するための止め具を備えたものである。
【０００６】
【作用】この発明においては、止め具により重りの加速
度印加方向だけでなく、これに垂直な方向の変動域をも
制限することができるので、より高精度に加速度検出梁
のしなり、ねじれを制限でき、耐衝撃性を向上させるこ
とができる。
【０００７】
【実施例】図１は、この発明の一実施例による半導体加
速度検出装置を示す断面図であり、図２はその斜視図で
ある。なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示
しているので、その説明は省略する。また、図２は、蓋
９が基板２に取り付けられる前の状態を示している。こ
の発明においては、加速度検出梁１に加速度が印加され
る方向及びこの方向に対し垂直な方向の変動を防止する
止め具１１を、重り４を囲むように設けたものである。
なお、加速度印加方向に垂直な方向には、加速度検出梁
１の長手方向は含まない。
【０００８】上述したように構成された半導体加速度検
出装置においては、受ける加速度が非常に大きいと、加
速度検出梁１が大きくしなり、それに伴って重り４も大
きく変動しようとする。しかし、止め具１１と重り４と
が接触することで、重り４の変動域が加速度が印加され
る方向のみでなく、その垂直方向の変動も制御すること
ができる。なお、止め具１１は、あと付けによりパッケ
ージの基板２に取り付けたものなので、重り４との間隔
も調節し易く、精度の高いものが得られる。
【０００９】
【発明の効果】この発明は以上説明したとおり、外囲体
の基板と、この基板を覆って設けられた外囲体の蓋と、
溝部が設けられると共に、この溝部の反対側に歪抵抗が
形成された加速度検出梁と、この加速度検出梁をその一
端で上記基板に取り付けると共に、支柱となる台座と、
上記加速度検出梁の他端に取り付けられた重りと、上記
基板に上記重りを囲んで取り付けられ、上記重りの加速
度印加方向及びこの方向に垂直な方向の過剰な変動を制
限する止め具とを備えたので、重りの変動域を高精度で
制御することができ、加速度検出梁のしなり、ねじれに
よる耐衝撃性を高精度で制御できとと共に、安価で精度
の高い加速度検出装置が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例による半導体加速度検出装
置を示す側面断面図である。
【図２】図１に示した半導体加速度検出装置の斜視図で
ある。
【図３】従来の半導体加速度検出装置を示す側面断面図
である。
【図４】図３に示した半導体加速度検出装置の斜視図で
ある。
【符号の説明】
１ 加速度検出梁 ２ 基板 ３ 台座 ４ 重り ５ 溝 ６ 歪抵抗 ７ 引き出しピン ８ 導線 ９ 蓋 １１ 止め具

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 外囲体の基板と、この基板を覆って設け
    られた外囲体の蓋と、溝部が設けられると共に、この溝
    部の反対側に歪抵抗が形成された加速度検出梁と、この
    加速度検出梁をその一端で上記基板に取り付けると共
    に、支柱となる台座と、上記加速度検出梁の他端に取り
    付けられた重りと、上記基板に上記重りを囲んで取り付
    けられ、上記重りの加速度印加方向及びこの方向に垂直
    な方向の過剰な変動を制限する止め具とを備えたことを
    特徴とする半導体加速度検出装置。
JP3157957A 1991-06-28 1991-06-28 半導体加速度検出装置 Pending JPH057006A (ja)

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