JPH03170065A - 半導体加速度センサーのパッケージ - Google Patents

半導体加速度センサーのパッケージ

Info

Publication number
JPH03170065A
JPH03170065A JP31036389A JP31036389A JPH03170065A JP H03170065 A JPH03170065 A JP H03170065A JP 31036389 A JP31036389 A JP 31036389A JP 31036389 A JP31036389 A JP 31036389A JP H03170065 A JPH03170065 A JP H03170065A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acceleration sensor
semiconductor acceleration
sensor
package
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP31036389A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayoshi Onishi
正義 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP31036389A priority Critical patent/JPH03170065A/ja
Publication of JPH03170065A publication Critical patent/JPH03170065A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Pressure Sensors (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は半導体加速度センサーのパッケージに関する
しのである。
E従来の技術1 半導体基板上に半導体歪ゲージの形戊される薄肉状のダ
イアフラム部を形成し、一方の厚肉部を支持部として固
定し、他方の厚肉部を自由端として、半導体歪ゲージの
抵抗値変化を検知し加速度を検出する片持梁型の半導体
加速度センサーは、特開昭61−178664号公報,
特開昭6388408号公報等に記載されているように
従来から知られている。
そして、一般にこの種の半導体加速度センサーにおいて
は、片持梁の破損を防止するため、上記各公報にも開示
されているように、シリコンオイル等のダンパオイルを
充填したパッケージ内にセンサーを配置し、ダンパオイ
ルの粘性抵抗による減衰作用で片持梁の振幅を制限する
ようにしている。
[発明が解決しようとする課題] 従来の片持梁型の半導体加速センサーは上記のようにダ
ンパオイルを充填したパッケージ内に配置されるのが普
通であるが、片持粱の薄肉部は約数十μと薄く、かつ脆
いため、落下等によって加速度検出方向に衝撃荷重が加
わったときには、ダンパオイルによる減衰作用では十分
にその衝撃荷重を吸収できず、薄肉部の破損が避けられ
ないという問題があった。ちなみに、落下時の衝撃荷重
は200G以上となるのが普通であり、ピーク衝撃荷重
はIOOOG以上にもなる。これに対してダンパオイル
の作用でSi片持粱の破損を確実に防止できるのはIO
OG程度までの荷重である。
この発明は、このような問題点を解消するためになされ
たものであって、片持粱型で薄肉部を有する半導体加速
度センサーが落下により破損するのを防止することを目
的とするものである。
[課題を解決するための手段コ この発明に係る半導体加速度センサーのパブケージは、
半導体加速度センサーを装着した台板を保持する第1部
材とこの第1部材に嵌合し上記半導体加速度センサーの
外面を包囲する第2部材とからなり、上記第1部材は機
械的強度の高い材料で構成するとともに外面に緩衝部材
を取り付け、上記第2部材はプラスチックエラストマー
で構成するとともに加速度センサーの加速度検出方向と
一致する方向に伸縮可能な衝撃吸収用の蛇腹部を備えた
乙のとしたものである。
[作用] この発明においては、センサ検出方向に落下衝9荷重が
加わった時のピーク衝撃荷重は第2部材に設けられた蛇
腹部と第1部材外面の緩衝部材によって吸収され、それ
により、センサーに作用する荷重はダ冫バオイルの減衰
作用によって対処可能な値にまで減衰されろ。
一方、センサー検出方向に直角の方向に加わる荷重に対
しては半導体加速度センサーの耐量は比較的大きいため
、この方向の衝撃荷重に対してはダンパオイルで対処で
きる。
[実施例] 図はこの発明による半導体加速度センサーのパッケージ
の一実施例の構成図である。図中(1)は外面側にコネ
クタ部(la)を備えた皿状の第1部材であり、この第
1部材(1)の上記コネクタ部(la)には一対のター
ミナル(2),(3)が装着されている。この第1部材
(1)は、熱的にも安定し機械的強度ら大きい材料、例
えばガラス繊維入りの樹脂(ナイロン,PET等)で構
成される。
また、上記第1部材(1)に対し、キャップ状の第2部
材(4)が端面側から嵌合され、その開口端部(4b)
が第1部材(1)の端部外周に固定されている。この第
2部材(4)は、プラスチックとゴムの中間の剛性を有
するプラスチックエラストマーで構成されたもので、軸
方向に伸縮可能な蛇腹部(4a)を有する。
上記第1部材(1)の開口側端面には台仮(5)がねじ
等によって固定され、この台板(5)には上記ターミナ
ル(2),(3)の先端部が固定されるとともに、外側
に増幅部(6)および半導体加速度センサー(7)が固
定されている。したがって、これら半導体加速度センサ
ー(7)と増幅部(6)を含むセンサ一部は外面全体が
上記第2部材(4)によって包囲された形であって、こ
のセンサ一部を包囲する第2部材(4)と台阪(5)と
の間にはダンパオイルが充填される。
また、上記第1部材(1)の外面には緩衝材(8)が貼
り付けられている。
第1部材(1)そのものは材料的に落下時等の衝撃荷重
の吸収力が小さいが、上記のように緩衝部材(8)が貼
り付けられていることにより、この面からの衝撃荷重が
そのままセンサー(7)に印加されることはない。また
、上記のようにセンサーの外面全体を包囲するようにキ
ャップ状のプラスチックエラストマー製第2部材(4)
が設けられ、しかも、この′yJ.2部材(4)には、
軸方向に、つまり台板(5)に対し直角方向で半導体加
速度センサー(7)の加速度検出方向と一致する方向に
伸縮可能な蛇腹部(4a)が形成されているので、この
第2部材(4)の側からの落下衝撃荷重は蛇腹部(4a
)で吸収され、ピーク荷重が例えばiooc以下の荷重
に減衰される。そして、このようにしてIOOG以下に
まで減衰された衝撃荷重に対しては、上記ダンパオイル
による減衰で十分対処することができる。
[発明の効果] 以上のようにこの発明によれば、センサーの加速検出方
向に伸縮する衝撃吸収用蛇腹を備えたプラスチソクエラ
ストマー製の第2部材によってセンサー外面を包囲する
とともに、台板を保持する第1部材に緩衝部材を取り付
けたので、落下時等の衝撃荷重が十分に減衰され、片持
粱型で薄肉部を宵する半導体加速度センサーの破損が避
けられる。
【図面の簡単な説明】
図はこの発明による半導体加速度センサーのパッケージ
の一実施例の構成図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体加速度センサーを装着した台板を保持する
    第1部材と該第1部材に嵌合し上記半導体加速度センサ
    ーの外面を包囲する第2部材とからなる半導体加速度セ
    ンサーのパッケージであって、上記第1部材は機械的強
    度の高い材料で構成するとともに外面に緩衝部材を取り
    付け、上記第2部材はプラスチックエラストマーで構成
    するとともに上記加速度センサーの加速度検出方向と一
    致する方向に伸縮可能な衝撃吸収用の蛇腹部を備えたも
    のとしたことを特徴とする半導体加速度センサーのパッ
    ケージ。
JP31036389A 1989-11-28 1989-11-28 半導体加速度センサーのパッケージ Pending JPH03170065A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31036389A JPH03170065A (ja) 1989-11-28 1989-11-28 半導体加速度センサーのパッケージ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31036389A JPH03170065A (ja) 1989-11-28 1989-11-28 半導体加速度センサーのパッケージ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03170065A true JPH03170065A (ja) 1991-07-23

Family

ID=18004340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31036389A Pending JPH03170065A (ja) 1989-11-28 1989-11-28 半導体加速度センサーのパッケージ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03170065A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07167887A (ja) * 1993-12-16 1995-07-04 Honda Motor Co Ltd 半導体加速度センサ装置
US5656846A (en) * 1991-06-18 1997-08-12 Nec Corporation Semiconductor acceleration sensor and method of fabrication thereof
US5773881A (en) * 1996-05-28 1998-06-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Acceleration sensor device
JP2013253792A (ja) * 2012-06-05 2013-12-19 Seiko Epson Corp センサーユニット及びそれを用いた運動計測システム

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5656846A (en) * 1991-06-18 1997-08-12 Nec Corporation Semiconductor acceleration sensor and method of fabrication thereof
JPH07167887A (ja) * 1993-12-16 1995-07-04 Honda Motor Co Ltd 半導体加速度センサ装置
US5773881A (en) * 1996-05-28 1998-06-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Acceleration sensor device
JP2013253792A (ja) * 2012-06-05 2013-12-19 Seiko Epson Corp センサーユニット及びそれを用いた運動計測システム
US9404934B2 (en) 2012-06-05 2016-08-02 Seiko Epson Corporation Sensor unit and motion measurement system using the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4643385A (en) Anti-vibration system
US5391844A (en) Load cell
JP5453599B2 (ja) 地震計などのデバイスに用いられる、マイクロ機械加工により製作され、プルーフマスが一体的に形成された、改良したサスペンション・プレート
KR20010073088A (ko) 좌석 탑승자 무게 측정 장치
EP1704394A1 (en) Improvements in and relating to accelerometers
JPH07505472A (ja) ロードセル
US5011108A (en) Active mounts
US6655211B1 (en) Piezoelectric accelerometer with laterally stabilizing element
JPH03170065A (ja) 半導体加速度センサーのパッケージ
US6128956A (en) Active cover accelerometer
KR890015894A (ko) 동적 써스팬션 씨스템에 대한 써스팬션장치
JPS58116Y2 (ja) はかり
US3828295A (en) Moisture impervious impact shield for a transducer and method of making the same
JPH07127683A (ja) 液体封入式マウント装置
US5447071A (en) Direct coupled pressure sensing device
JPS61271464A (ja) 車両用緩衝装置
JPH0499964A (ja) 半導体加速度センサ
JP2007232131A (ja) 除振マウント
CN213041332U (zh) 一种快速回零传感器
RU2014619C1 (ru) Датчик ускорения
RU1791782C (ru) Полупроводниковый интегральный тензоаксельрометр
JPS63298165A (ja) 信号検出装置
US6386134B1 (en) Elastomeric six degree of freedom isolator
JPH05107263A (ja) 半導体加速度センサ及びその製造方法
CN213423225U (zh) 一种带有防护结构的加速度传感器