JPS63298165A - 信号検出装置 - Google Patents

信号検出装置

Info

Publication number
JPS63298165A
JPS63298165A JP13641087A JP13641087A JPS63298165A JP S63298165 A JPS63298165 A JP S63298165A JP 13641087 A JP13641087 A JP 13641087A JP 13641087 A JP13641087 A JP 13641087A JP S63298165 A JPS63298165 A JP S63298165A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
acceleration
hole
substrate
detection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13641087A
Other languages
English (en)
Inventor
Akihiro Kobayashi
聡宏 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP13641087A priority Critical patent/JPS63298165A/ja
Publication of JPS63298165A publication Critical patent/JPS63298165A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、物体の加速度を検出する加速度検出装置等の
信号検出を行う素子を内部に有する信号検出装置に利用
され、より詳しくは、輸送時、組み付は時に壊れやすい
素子を有する信号検出装置に利用される。
(従来の技術) 従来、この種の装置として、特開昭61−244576
号公報に示され、第5図に示されるような加速度検出装
置があった。
第5図において加速度検出装置は、基板2、片持ばり3
、おもり4、ピエゾ抵抗5、上部ストッパー6、及び下
部ストッパー2aから構成される加速度検出素子1を有
している。この加速度検出素子1は、測定対象物8に固
定されている。
測定対象物8に加速度が加わると、おもり4により片持
ばり3がたわむ。このため片持ばりに取りつけられたピ
エゾ抵抗5はその抵抗値が変化する。この抵抗値の変化
をホイートストンブリッジにより検出することで加速度
の検出を行うことが出来る。
本装置を輸送する際や取付時には、本装置を誤って落と
したり、何かに衝突させたりして、使用時の加速度の数
千倍に及ぶ加速度が装置に加わる可能性があった。この
ため、加速度検出素子lに過大な加速度が加わった時片
持ばり3の破壊を防く為上部ストッパー6及び下部スト
ッパー2aが設けである。
(発明が解決しようとする問題点) しかし、この装置では、片持ばり3がストッパーに当た
る衝撃により片持ばり3に複雑な応力が′ 働き、スト
ッパーを設けたにも係わらず、素子が破壊に至ることが
あった。また衝撃の方向によっては、ストッパーを設け
ることが困難であり、必ずしも完全な対策とはいえなが
った。更に、微小なはりの変化に対し、精度よくストッ
パーを形成するのが困難であった。
そこで本発明においては、加速度検出装置のような微小
な信号を測定し、輸送時、移動時、組み付は時に起こる
衝撃により壊れやすい信号検出装置を、輸送時には外部
の衝撃が素子に加わらず、且つ取付後には物体の加速度
を精度良く検出できる装置とすることを、その技術的課
題とする。
〔発明の構成〕
(問題点を解決するための手段) 前記技術的課題を解決するため□に講じた技術的手段は
、信号検出装置において、素子をケースに緩衝材を介し
て配置し、且つ前記素子の被検出対象物への取付は部と
前記ケースの前記被検出対象物への取付は部とを別個に
設けたことである。
(作用) この技術的手段により、輸送時にケースに何らかの衝撃
が加わっても緩衝材により素子は保護される。また、素
子とケースの被検出対象物への取付部が別々に設けであ
るため、素子を被検出対象物にケースと独立して取りつ
けることが出来る。
これにより取付時には緩衝材の影響は排除され、且つ対
象物の動きを直接素子が測定出来るので、精度は損なわ
れない。
(実施例) 以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第1図に、本発明を加速度検出装置に用いた一実施例を
示す。基板10上には台座9、片持ばり5、おもり4、
ピエゾ抵抗3からなる加速度検出素子1が構成されてい
る。基板10には測定対象物8への取付穴11があけで
ある。加速度検出素子1はその外側をケース12で覆わ
れている。このケース12には貫通する穴13があけら
れており、この穴に沿ってゴム製のチューブ14が挿入
されている。ケース12の穴13と基板10の取付穴1
1は同一軸上に置かれている。内部に加速度検出素子1
を有するケース12とチューブ14で囲まれる空間には
、ゲル状の樹脂15が詰められている。
ゲル状の樹脂15は第2図に示すような方法でケース1
2に納めることが出来る。まず、ケース12の穴13の
両側から組付治具21a及び21bを差し込み、ケース
12及び加速度検出袋W1の付いた基板10を固定する
。次にケース12の上部にあけられた穴12aよりディ
スペンサ22を用い、液状にした樹脂をケース12内に
流し込む。このあと、ケース12の上部にあけられた穴
12aを塞ぎ、樹脂を硬化させ、ゲル状にする。
組付治具21a及び21bを取り去れば本実施例の加速
度検出装置が出来上がる。
第3図は、実施例の加速度検出装置の測定対象物への取
付状態を示す断面図である。ボルト16がワンシャ17
と基板10の取付穴11を測定対象物8の取付部8aに
締めつけている。ボルト16を付けた後は、ケース12
の穴には栓18を取りつける。
測定対象物8に突起状の取付部8aを付けることが出来
ない場合には、第4図のように、取付治具19を使い取
りつけることが出来る。取付治具19には基板10への
取付部19aと物体8への取付用穴19bが備わってい
る。ボルト16により基板10を取付治具19に取りつ
け、ボルト20により取付治具I9を測定対象物8に取
りつける。
このようにして作られた加速度検出装置は、輸送時や組
み付は時に加速度検出装置を誤って落下させたり、何か
にぶつけたりしてケース12に衝撃を加えても、この衝
撃はゲル状の樹脂15により和らげられるので、加速度
検出素子lに衝撃が加わることは無い。また、測定対象
物に取りつけた後は、加速度検出素子1を乗せた基板1
0が直接測定対象物8に取りつけられるので、ゲル状の
樹脂15が加速度の測定に影響することは無い。
以上、本発明を加速度検出装置に実施した実施例につい
て説明したが、本発明は本実施例で説明した加速度検出
装置に限らず、片持ばり以外の方法による加速度検出装
置や、振動検出装置、傾斜計、マイクロホン等の微小な
信号を測定し、輸送時、移動時、組み付は時に起こる衝
撃により壊れやすいものにでも実施することが出来る。
尚、本実施例では緩衝材としてゲル状の樹脂を用いたが
、他にスプリングやゴム、スポンジ等の衝撃吸収性を持
つ材料を使うことも出来る。
〔発明の効果〕
以上、説明した本発明によれば、輸送時にケースに何ら
かの衝撃が加わっても緩衝材により素子は保護される。
また、素子とケースの被検出対象物への取付部が別々に
設けであるため、素子を対象物にケースと独立して取り
つけることが出来る。
これにより取付時には緩衝材の影響は排除され、且つ対
象物の動きを直接素子が測定出来るので、精度は損なわ
れない。
また、素子は、輸送時には緩衝材で保護され、取りつけ
゛た後は測定対象物の振動しか伝わらないので、従来の
技術で述べたストッパーは不要になり、素子自体を簡略
化することも出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の加速度検出装置の断面図、第
2図は本発明の実施例の加速度検出装置を測定対象物に
取りつけた時の断面図、第3図は本発明の実施例の加速
度検出装置を治具を介して測定対象物に取りつけた時の
断面図、第4図は本発明の実施例の加速度検出装置の製
造方法を示す図、第5図は従来の加速度検出装置の断面
図である。 1・・・加速度検出素子、 2a・・・下部ストッパー、 3・・・片持ばり、 4・・・おもり、 5・・・ピエゾ抵抗、 6・・・上部ストッパー、 8・・・測定対象物、 10・・・基板、 11・・・取付穴、 12・・・ケース、 13・・・穴、 14・・・チューブ、 15・・・樹脂、 16.20・・・ボルト、 18・・・栓、 19・・・取付治具、 21・・・組付治具、 22・・・ディスペンサ。 第z8!! 第3図 115eFl

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 信号を検出する素子と、該素子を内包するケー
    スとを有する信号検出装置において、前記素子を前記ケ
    ースに緩衝材を介して配置し、且つ前記素子の被検出対
    象物への取付け部と前記ケースの前記被検出対象物への
    取付け部とを別個に設けた、信号検出装置。
  2. (2) 前記素子は、加速度検出素子である、前記特許
    請求の範囲第1項に記載の信号検出装置。
  3. (3) 前記ケースに窪みを設け、この窪みの中に穴を
    あけ、この穴から前記素子の前記被検出対象物への取付
    け部を前記ケース外部に対し露出させた、前記特許請求
    の範囲第1項に記載の信号検出装置。
  4. (4) 前記緩衝材はゲル状の樹脂である、前記特許請
    求の範囲第1項に記載の信号検出装置。
JP13641087A 1987-05-29 1987-05-29 信号検出装置 Pending JPS63298165A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13641087A JPS63298165A (ja) 1987-05-29 1987-05-29 信号検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13641087A JPS63298165A (ja) 1987-05-29 1987-05-29 信号検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63298165A true JPS63298165A (ja) 1988-12-05

Family

ID=15174510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13641087A Pending JPS63298165A (ja) 1987-05-29 1987-05-29 信号検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63298165A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995023080A1 (de) * 1994-02-28 1995-08-31 Siemens Aktiengesellschaft Sensoreinheit zum steuern eines insassenschutzsystems eines kraftfahrzeugs
JP2009192522A (ja) * 2008-01-17 2009-08-27 Railway Technical Res Inst 高精度加速度測定装置
JP2009537802A (ja) * 2006-05-16 2009-10-29 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 振動の入力が低減されたチップケーシング

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995023080A1 (de) * 1994-02-28 1995-08-31 Siemens Aktiengesellschaft Sensoreinheit zum steuern eines insassenschutzsystems eines kraftfahrzeugs
US5706181A (en) * 1994-02-28 1998-01-06 Siemens Aktiengesellschaft Sensor unit for controlling an occupant protection system of a motor vehicle
JP2009537802A (ja) * 2006-05-16 2009-10-29 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 振動の入力が低減されたチップケーシング
JP2009192522A (ja) * 2008-01-17 2009-08-27 Railway Technical Res Inst 高精度加速度測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5221400A (en) Method of making a microaccelerometer having low stress bonds and means for preventing excessive z-axis deflection
US6826960B2 (en) Triaxial acceleration sensor
CA2133456C (en) Load cell
US5391844A (en) Load cell
JPH0670640B2 (ja) 加速度計アセンブリ
US6498651B1 (en) Device for detecting activation movement for laser gyroscope
KR960014939A (ko) 자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법
US5109175A (en) Monolithic resonator for vibrating beam force sensors
US6633008B2 (en) Electronic force sensing shock resistant load cell
JP3089399B2 (ja) 3成分地震計
US11287441B2 (en) Resonator including one or more mechanical beams with added mass
Suminto A wide frequency range, rugged silicon micro accelerometer with overrange stops
JP2625364B2 (ja) タッチ信号プローブ
JPS63298165A (ja) 信号検出装置
US6450032B1 (en) Vibrating beam force sensor having improved producibility
JPH03113337A (ja) 加速度計一体形圧力センサ
US20120085170A1 (en) Shock Resistant Mounting for High G Shock Accelerometer
Liu et al. Failure Analysis and Experimental validation of MEMS Gyro under random Vibration condition
JPH05215763A (ja) 物理量の測定センサ
US5447071A (en) Direct coupled pressure sensing device
CN109231155B (zh) 一种复合梁结构的压阻式mems加速度传感器及封装装置
JP3913925B2 (ja) 角速度センサ
RU2746763C1 (ru) Микромеханический акселерометр
CN117607489B (zh) 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器
CN117572021B (zh) 敏感结构及加速度传感器