TW307883B - - Google Patents

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307863 A7 B7 _— 五、發明説明（1 ) 發明背景： (請先閲讀背面之注$項再填商本I ) 本發明係關於一種使用於彩色陰極射纏管中的蘸蔽簟 ，尤指一種具有垂直縫陳之《柵，及製造具有1 0 0微米 或更小之上述形式的蔭柵之方法。 目前爲止，已使用冷軋低職来靜鋼板、冷軋低醵鋁淨 靜鋼板或低碳Fe-N i恆範觑（3 6%Fe— N i合金 )作爲蔭柵之材料，因爲從製纔成蔭柵、蝕刻並做成逋於 做成陰極射線管之形成的觀點來看，道些材料是合適的。 在製造成陰極射練管與製造的纖稹中，有許多種的薩蔽覃 ，其開口或孔的形狀不同。視蔭蔽單的種類而定，使用上 述材料的其中之一。通常，對於槽型或圈孔型的蔭蔽軍， 使用低的熱膨脹係數之低碳F e -N i恆範鋼或冷軋低碳 鋁淨靜鋼板。特別是，爲了避铯當管朦於操作時由於熱膨 脹而發生於陰極射線管中的色彩儸移，最近使用低的熱膨 脹係數之低碳Fe—Ni恆範鋼。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 在槽型或園孔型的蔭蔽軍之情形中，由於在槽或孔之 前與後側開口的面域中之殘留應力的減輕程度之不同，會 發生在蝕刻過程期間之捲邊的闍題，此殘留應力之差異是 由於前與後側開口之直徑或尺f的不间，而在蔭柵的情形 中則不會發生此一捲邊問題。不同於其它形式的藤蔽眾， 蔭柵是逋於陰極射線管的，而且在壓機（press)中成 形時不會發生塑膠變形。由於上述理由，目前爲止對於蔭 柵特別使用冷軋低碳未靜鋼板。 目前爲止，使用一低碳鋼板來製造蔭栅，例如一厚度 本紙張尺度逋用中踽國家梯準（匚奶>八4规格（2丨0\297公藿）_;1 ^ ~~~~ 1 307883 at B7 五、發明説明（2 )

超過1 0 0微米之冷軋低碳未靜鋼板。執行製進_柵之方 法，同時於其相對的表面上蝕刻一低碳的網板以製逾貫穿 的縫隙。此方法稱爲單步驟蝕刻方法A 另一種製造蔭柵的方法如下。亦即，一低碳的鋼板在 其相對的前與後表面上塗覆以感光的樹脂層，然後在相對 的樹脂層施加圓案罩。前圖案累具有寬的後嫌圓案，而後 圚案罩具有窄的縫隙圓案。随後，前與後圓窠罩藉由曝光 分別被印至前與後樹脂層，然後在印刷後的前與後圖案之 樹脂屠上顯影。 經由顯影後的後樹脂層在鐧板之後表面上執行半蝕刻 ，以形成一窄的後凹部於板之後表面中：然後一防触刻樹 脂被塡入後凹部中及鋼板上的後樹脂層上方：經由顧影後 的前樹脂層，一寬的前凹部被触刻於鋦板的前表面中，以 使前凹部到達半蝕刻的後凹部，藉以製造一通孔於鋼板中 。此方法爲二步驟蝕刻方法* 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 製造蔭蔽軍的另一種方法，播示於在1 9 9 3年一月 2 2日公告之日本專利申請案公開號碼5 — 1 2 ，9 9 6 中。在此方法中，一網板在其前與後我面上塗覆以樹脂層 ，然後只在其前表面施加一圖案縫陳覃並藉由曝光而印刷 ，而後樹脂層保持目前之情形*並被一複印榭脂片所樣印 。經由印刷及顯影後的前樹脂靥，只有在鋼板的前表面上 執行蝕刻，以在鋼板中製造一前凹部。此前凹部到連後樹 脂層，藉以當後樹脂層連同複印樹脂片被移雠時，在鋼板 中製造一通孔。 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS> A4IH格（210X29?4釐） A7 ______B7 _ 五、發明説明（3 ) 然而，上述的二步驟蝕刻方法非常薄時，且執行時沒 有效率。而上述的單步驟蝕刻方法則可有效地製遨各縫隙 之推拔的側壁以具有所需要的精確造形或形狀。爲此理由 ，通常使用單步驟蝕刻方法來製逾釀柵吣 在冷軋低碳未靜鋼板的情形中，當其受倒蝕刻處理時 ，殘留應力通常約爲10. Okg/nun2或褒多，當板厚度 超過1 0 0微米時，可使用未靜鋼板而不會有特殊的問題 。尤其是採取措施例如使藉由蝕刻帶鋼而製纖的蔭柵之帶 的方向垂直於帶鋼之餺屢方向，或使帶的方向與带鋼之赛 S方向相合而適當地保持帶鋼之張力，不會發生任何特別 的問題。上述措施可以避免在蔭柵之帶中產生^條紋# 。 此條紋的產生是由於殘留應力的減輕，而殘留應力是因蝕 刻步驟期間鋼板的前與後表面之蘭的縫賺破裂而產生。對 於冷軋低碳鋁淨靜鋼板而言，殘留應力通常大於10. 〇 kg / M2 ，如同冷軋低碳未靜網板的情形。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請δ讀背面之注$項再填寫本頁) 近幾年來，c R T顯示裝童例如彩色霉視之尺寸變大 ，所以在此種裝置中所使用的蔭蔽覃醫要亦做成大尺寸。 特別是，在蔭柵中，其面定方式是不同於具有槽或鼷形開 口之其它型式的蔭蔽眾之固定方式。亦即，蘸柵在張力下 被固定至一堅固的框。爲此理由，相對於放大的蔭柵，框 必須被放大，而且需要能抵抗固定習知厚度之蔭栅所醫的 張力。因此，框之重量會大幅堆增加。欲抗衡框之重量的 增加，必須減小蔭柵之重置，所以蔭栅之厚度必須減小， 以補償尺寸之放大。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS>A4规格（ 210X 297公*Γ _ 6 ~ 經濟部中央標準扃貝工消费合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 於是製造蔭柵之材料的摩度不可趨過10 0徽米。上 述的措施可以解決材料之厚度艇過1 0 0徽米的闋題。與 材料之厚度超過1 0 0微米的情形不同，厚度爲Γ0 0微 米或更小之帶鋼材料會引起以下問蘧。亦即，如果在材料 做成的蔭柵之帶的方向是與带網之輾顧方向垂直的狀態， 帶鋼或材料受到蝕刻，#鋦之羅输系統的暹輸輥軋或軸會 使帶鋼變形，因爲它很薄。所以，對於較厚的帶網所使用 的上述措施並不逋用。當採用輩步驟蝕刻方法時，因爲由 於當縫隙於蝕刻過程穿透鋼板時殘留應力之減輕而發生帶 之條紋，發現截至目前爲止所使用的第二種措施亦不適用 ，此第二種措施爲使帶之方向與使鋦拉張之§壓方向相合 。在此情形之下，厚度爲1 0 D微米或更小之带钃板欲被 製成大尺寸的蔭柵，其所適用的蝕刻方法局限於需要加強 裝置之费時的二步髁蝕刻方法，以及很難得到縫陳之推拔 側壁的精確形狀的單側蝕刻方法。 如前所述，目前爲止已有效地使用單步驟蝕刻方法， 但是此種方法使用於具有厚度爲1 〇 〇微米或更小之薄鋼 板的蝕刻時會有缺點，因爲由於在縫隊穿透鋼板時的殘留 應力減輕會導致產生條紋。 條紋的產生是由於繭柵榷中的應力分布不均匀。不均 勻的應力分布會引起各册的扭曲，當鋼板之厚度小於 1 0 0微米時會明願地發生。B知條紋會引起通過蔭柵之 光置的改變，因而引起形成在瞻極射線管上的影像變差， 蔭柵是裝於陰極射線管中。 本紙張尺度逋用中困國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-η - ----------^ 裝----：訂------^，..- (請先閲讀背面之注意Ϋ項#填寫本«> 307883 A7 B7 五、發明説明（5 ) 發明節要： 本發明之目的是提供一種製造蔭柵之方法，使用單步 驟蝕刻方法，其中即使在做成藤響之鋼板的厚度悬1 0 〇 微米或更小的情形，亦可避免發生條紋。 本發明之另一個目的是提供一種蔭栅，其中不會發生 條紋。 依據本發明，提供一種陰極射線管之蘸柵的製造方法 ，包含以下步驟：準備一鋼板：將前與後感光阻谶層分別 塗覆至鋼板的相對表面；分別施加前與後縫_圖案軍至前 與後感光阻體層；分別印刷前與後縫陳園粱羅至前與後阻 雠靨：顳影前與後阻II層中的印刷縴賺圈窠：經由所鼷影 的前與後阻臁層，分別蝕刻鋼板之枏對表面，以製造一前 凹部或一後凹部：當蝕刻步驟進行時，使前凹部與後凹部 彼此相通：及將前與後阻髗層移離鍋板之粗對表面，此方 法之特徽在於以下步驟：從具有賴壓方向之帶鋦來準備賅 --——.、.》 鋼板，做成厚度爲1 0 0微米或更小的冷軋低碳鋼板：處 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 (讀先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 理鋼板以具有7 . 0 kg / mm2或更小的殘留應力：在賅辗 ..'--- 廳方向拉張鋼板：及使蔭柵之鞭的方向與賴壓方向柑合。 此外，依據本發明，提供一種陰極射線管之蔭柵，包 含：厚度爲1 0 0微米或更小的冷乾低碳網板，具有縫陳 形成通過連同平行的相鄰帶，骸板具有7. Okg/M2或 更小的殘留應力且由具有方向的帶鋼所做成：及骸帶 延伸於與輾壓方向相合的方向。 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 6 ) 1 [ 本 發 明 之 進 — 步 細節 可 從 以 下 的 詳細敘 述 參 照 附 圓 加 1 1 I 以 了 解 Ο l. 1 I V 請 1 1 1 圖 形 之 簡 要 敘 述 先 閲 1 圖 1 是 使 ΠΠ 用 於 本 發明 之 方 法 中 的 jsxset 鋼 板之 剖 面 圊 謂 背 1 I 之 1 圈 2 指 出 塗 覆 感光樹 脂 屠 之 步 職 注 f 1 1 ΓΤ1 圃 3 指 出 施 加 縫 陳麵 案 單 τα, 嚴 經 由 <3B JpL 來襯 7C 感 λΙλ 7u 樹 脂 之 Ψ 項 1 1 步 驟 • > 1 裝 I 園 4 指 出 m 影 印 刷後 的 縫 讎 〇» 圓 乘 之 步蹀 : Μ 1 1 hi LSD 5 指 出 一 蝕 刻 步驟 1 I 圚 6 指 出 蝕 刻 t W 驟之 Μ 程 I 圖 7 指 出 最 後 得 到的 蔭 4m 慣 之 縫 嫌 的 剖面 ： 及 1 訂 | 圖 8 a 與 8 b 爲 用於 說 明 本 發 明 之 方法 的 透 視 册 0 1 1 1 較佳 實 施 例 之 敘 述 1 1 JL 參 照 圖 1 指 出 一板 1 > 由 此 板 1 來製 造 一 蘸 4ηη 償 0 板 V- I 1 是 由 具 有 厚 度 爲 1 0 0 微 米 或 更 小 的 冷軋 低 碳鐧 做 成 〇 1 1 I 此 一 鋼 板 1 是 由 圓 8 a所 示 的 帶 _ Η 所 做成 9 ' 帶 鋼 Η 是 由 1 1 輥 軋 機 所 製 成 0 由 於 輥軋 機 中 的 輥 軋 操 作， 帶 鋼 Η 自 然 具 1 1 有 -™- 輥 軋 方 向 R 與 殘 留應 力 於 具 中 0 1 1 带 AWW 鋼 Η 受 到 殘 留 應力 移 離 m 作 〇 執行此 殘留 應 力 移 離 1 I 操 作 做 爲 退 火 鱸 S 中 的退 火 操 作 〇 由 於 退火 操 作 的 結 果 9 1 1 I 帶 鋼 Η 中 的 殘留 應 力 被滅 小 至 7 0 kg / ΒΠΠ 2 或 更 小 的 値 1 1 0 已 承 受 殘 留 應 力 移 離操 作 之 徽鍋 Η 被做成 •™* 卷 帶鏞 Η 1 1 1 1 Μ Ns 6 揉 冢 國 國 宁 用 通 釐 公 7 9 2 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印裂 A7__£7_______五、發明説明（7 ) 的形狀。 執行形成縫隙通過鋼板1之敝刻操作働爲單步驟蝕刻 操作。如圖8 b所示，帶鋼Η 1從卷展関：形成有縫隊8 ;然後被切割成各別的板1。SI 2至圓7指出包括單步騄 蝕刻操作之連績的步驟。如圖2所示，一慼光樹臑材料或 阻镰被塗覆至鋼板1之相對表面，以形成前與後阻《層 2 a與2 b，然後使它們變乾。在匯形中，板1之下側是 前側，而上側是後側。在前阻讎層2 a之前側上塗有一前 圖案軍4 a，而在後樹脂層2 b之後側上'塗有一後麵案罩 4 b。道些輩4 a與4 I)分別興有相對地股置的阻光縫陳 _案5 a與5 b。在此實施例申，縫陳_案5 a是比縫陳 圖案5 b宽。 然後，如箭頭L所示，分別經由覃4 a與4 b來執行 感光樹脂層2 a與2 b之曝光。由於曝光的結果，縫陳圓 案5 a與5 b分別被印刷於阻懺層2 a與2 b上。在此資 施例中，所示的樹脂層爲光固層。 在移離罩4 a與4 b及顯影印刷後的雜隙圖案之後， 使前阻镰層2 a具有較宽的縫賺6 a，而使後阻體層2 b 具較窄的縫隙6 b，如園4所示。 然後，如圈5所示，鋼板1如箭頭E所示，經由前與 後阻嫌2 a與2 b，在其前與後側上受到蝕刻操作。道是 所謂的單步隳蝕刻方法，其中在一步驟中或同時執行在前 側上與在後側上的鈾刻。於是形成較大的前蝕刻凹都7 a 與較小的後蝕刻凹部7 b。當蝕刻進行時，道兩個柑對的 -------------------f : (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國鬮家揉準（CNS ) A4規格:（210XB7公釐） 10 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 A7 B7__ 五、發明説明（8) 蝕刻凹部7 a與7 b被放大，最镦彼此到達以形成一縫陳 8，此縫陳8具有相對的推拔側壁1 0。隨後，移離阻髗 2 a與2 b，藉以製造一蔭柵1 1如國7所示，此蔭柵 11具有一縫隙8界定於接合釣平行#帶't (圓8b) 之間。 於圓2至圖7所示的步驟期間，鋼板1在其帳思方向 r上受到一張力τ (圖8 b ) 。m_m方向爲做成钃板1之 帶鋼Η的縱向。依據本發明，I學方向是與圈1至圆7的 片垂直，且此輾壓方向R是與蘸柵之帶t的方向相合。 在具有縫隙的蔭柵中，其裏件是不同於具有縫陳或園 形開口的其它型式之蔭蔽罩，可以說低碳未靜鋼板能符合 蔭柵之要件。通常，低碳未靜鋼之帶鋼具有10. 〇 kg / mm2或更大的殘留應力，所以當低碳未靜網使用1 〇 〇微 米或更小的厚度時，如前所述無法避免產生條紋，當縫隙 是藉由蝕刻經過鋼之厚度而做成。 發現在殘留應力的減輕步傑中，藉由進一步將鑭板之 殘留應力減小至7 . 0 kg / mm2或更小的値時，可以抑制 條紋之產生。帶之方向與輾壓方向相合可進一步抑制條紋 I I—. 之產生。從圖8 b可以了解，在縫隙8之縱向上將張力T 施加至板1 ，使得緬隙與帶之線性不會受到不利地影響。 依據本發明，可以使用冷軋低碳未靜鋼、冷軋低碳鋁 淨靜鋼與低碳F e — N i恆範鋼（3 6 % F e — N i合金 )的其中之一來作爲冷軋低碳鋼。 由於條紋消除的結果，可以改善通遇蔭柵之光量的分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210Χ 297β釐） -----------------------τ- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央棣率局貝工消费合作社印装 A7 __J7__ 五、發明説明（9) 布之均匀度，因而改善由陰極射練管所產生的影像之品質 0 例子： 使用厚度爲1 0 0微米之冷軋低破未靜鋼做成蔭柵之 材料。由此未靜鋼做成之板受到退火爐中之退火，此退火 爐具有氮氣之氣氛且溫度爲5 0 0 °C。由於退火的結果， 減小鋼板中的殘留應力。爲了比較，準備具有厚度爲 1 0 0微米之其它的冷軋低碳乘靜鋼板。瑾些鋼板並沒有 受到退火，所以鋦板具有原始的殲留應力餘留其中。這兩 種的鋼板，亦即第一個退火後的板與第二備未退火的板， 在完全相同的條件下，受到連攀的處理步驟如圓2至圈7 所示。 第一與第二板（1 )首先藉由圈1之狀態中的清洗來 清潔。然後，在圈2之步驟中* 一酪蛋白（ casein)阻髗 被塗至板之前與下表面，以形成前與後阻嫌層（2 a， 2b)，然後使其變乾。鼸後，施加縫陳鼦案罩（4 a， 4b)，藉由水銀電弧燈照在前與後阻髗層上如圈3所示 來執行印刷。製造對應縫隙圖案之潛伏性的縫嫌影像。於 顯影時，在前與後阻體層中形成相對的縫_，如麵4所舉 例。 使用氣化鑠溶液，其方式如圖5與6所示，在雨種板 之前與後表面執行蝕刻。於是形成一縫陳經過各板。在各 板之相對表面上的阻體磨，藉由使鹼性溶液被移離，以得 本紙》JUt逋用中_爾家標準（ CNS > ( 210X297公兼)"""_ ” _"""""^~ ^------1T------C (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 307883 A7 B7 五、發明说明（ίο) 到一蔭栅如圈7所示。 對於兩種板而言，麄柵之##的宽度爲5 2 0微米。 氯化鐵溶液之溫度爲6 0 °C，當藉由Bauiee比重計來測 *時溶液之特定比重爲4 6。同時哦灑氣化鐵溶液於板之 前與後表面。當正在執行蝕刻_，板受到一張力，其在Μ 懕方向上使板承受張力，此緩擊方向爲製成板之帶鋼的縱 向。欲被製造的蔭柵之鞭的方向是與板之方向相合。 所使用的張力爲2至3kg /mm2 ，其作用來消除板中的殘 留應力。 在縫陳形成之後，測置光纖適各蔭柵之量，並在所製 造出來的蔭柵中測置光量之變化。對於各板亦在退火之後 測置殘留應力。以X光線繞射方法來測量殘留應力。下表 中指出比較測弒的結果。 -------------h--IT-------f (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 本紙張尺度逍用中爵國家梯率（CNS ) A4規格（_21〇X297公釐） 13 - A7 B7 五、發明说明（ll) 殘留應力 kg / mni?) 通過蔭栅之光 量的變化 本發明之退火 (1)9.0 0.19 後的板 (2 ) 8.0 0.19 (3) 7.0 0.15 (4 ) 6.0 0.14 (5) 4.4 0.14 未退火之板 10.9 ' . 0.20 可以了解通過使用退火後的板之蔭柵的光置變化，比 通過使用来退火的板之蔭柵的光量變化明顯地小很多’特 別是在殘留應力爲7. Okg / ram2或更小的情形中。 ---------{策------tr-------^ (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 經濟部中夬橾隼局貝工消费合作社印氧 本紙張尺度逋用中，國家輾牵（CNS > A4规格（210><297七喹）

Claims (1)

1. ABC.D 307883 六、申請專利範圍 1 . 一種製造陰雛射嫌管之酶柵的方法，包含以下歩 驟： 準備一鐦板； 將前與後感光阻镰層分別塗覆至鋦板的相對表面； 分別施加前與後縫陳圓案罩至前與後麝光阻截靥； 分別印刷前與後嫌陳園案罩至前與後阻髏層； 顯影前與後阻雔屉中的印刷縫陳圖案： 經由所顯影的前與後阻镰層，分別蝕刻_板之相對表 面，以製造一前凹部或一後凹部； 當蝕刻步麻進行時，使前凹部與後凹潘彼此相通，藉 以形成一縫賺連同相鄰的平行帶；及 將前與後阻體層移離鋼板之相對表面， 該方法進一步包含以下步驟： 從具有輾壓方向之帶鋼來準備骸錮板，做成厚度爲 1 0 0微米或更小的冷軋低碳鋼板； 處理鋼板以具有7 0 kg /㈣2或更小的殘留應力； 在該變p方向拉張鋼板；及 使蔭柵之帶的方向與ϋ壓方向相合。 2.如申請專利範園第1項之方法，其中該麵板包含 一未靜鋼板。 3 .如申請專利範圏第1項之方法，其中該鏑板包含 一鋁淨靜鋼板。 4 如申請專利範圈第1項之方法，其中處理鋼板之 該步驟包含退火。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297/if ) " —~ " -15 - I I I I I I _.^裝 I - I I I I 訂— I I I - 外 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標牟局貝工消费合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 . —種陰極射線管之蔭柵，包含： 厚度爲1 0 0微米或更小的冷軋低碳鋼板，具有縫隙 或 2 1及 \ ; kg成 ο 做 . 所 。 7 _ 向 有帶方 具的的 板向合 骸方相 ,顧..向 帶辗i方 鄰有壓I 相具輾一 的由與 行且於 平力伸 同應延 連留， 過殘帶 通的該 成小 形更 m —^n m· ml n·^— .m nn ml^-t ml ^^^1 If m· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS > A4规格（2丨OX297公釐） -16 - —m·——wm——1-1-11神'〜