DE4434689C2 - Verfahren zur Herstellung einer Schlitzmaske - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske, welche in einer Farb-Kathodenstrahlröhre verwendet wird, insbesondere eine Schlitzmaske mit vertikalen Schlitzen, wie sie in Anspruch 1 beschrieben ist.

Als Material für solche Schlitzmasken ist bislang eine Platte aus kaltgewalz­ tem, unberuhigtem Stahl mit niedrigem Kohlenstoffgehalt, eine Platte aus kaltgewalztem, beruhigtem Stahl niedrigen Kohlenstoffgehalts mit Alumini­ um oder eine Fe-Ni-Invar-Legierung niedrigen Kohlenstoffgehalts (36% Ni-Fe- Legierung) verwendet worden, da diese Materialien zur Herstellung von Schlitzmasken für Kathodenstrahlröhren unter dem Gesichtpunkt ihrer Formgebung und Aufhängung sowie des Ätzens der Schlitzlöcher geeignet sind.

Es gibt viele Arten von Schlitzmasken, die sich in der Form der Schlitze oder Öffnungen unterscheiden, in der Art des Einbauens in die Kathodenstrahlröhre und in der Art der Verarbeitung während der Her­ stellung. Eines der oben erwähnten Materialien ist in Abhängigkeit von der Art der Lochmaske verwendet worden. Im allgemeinen ist für Lochmasken vom Schlitztyp und Kreislochtyp eine Fe-Ni-Invar-Legierung niedrigen Kohlenstoff­ gehaltes mit niedrigem, thermischem Ausdehnungskoeffizienten oder eine Platte aus kaltgewalztem, beruhigtem Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes mit Aluminium verwendet worden. Insbesondere ist die Fe-Ni-Invar-Legierung niedrigen Kohlenstoffgehaltes mit niedrigem, thermischem Ausdehnungskoeffi­ zienten in jüngster Zeit verwendet worden, und zwar unter dem Gesichts­ punkt, eine Farbabweichung zu vermeiden, die in der Kathodenstrahlröhre aufgrund von thermischer Ausdehnung auftritt, wenn die Röhre in Betrieb genommen wird.

Aus der DE-PS 29 45 467 C2 ist ein Lochmaskenblech und ein Verfahren zur Verarbeitung eines Lochmaskenbleches für eine Lochmaske bekannt. Das Loch­ maskenblech soll hierbei bezüglich seiner Härte für einen bei der Weiterver­ arbeitung auftretenden Photoätzschritt verbessert werden. Hierbei wird ein heiß­ gewalztes Blech aus der geschmolzenen Stahllegierung hergestellt, mindestens einer Kombination aus einem Kaltwalzen und einer dazwischenliegenden An­ lassung ausgesetzt bevor die abschließende Kaltwalzendbearbeitung erfolgt. Das Blech wird hierbei einer Rekristillationsanlassung zwischen 520° bis 650°C unterworfen. Nachfolgend wird das Blech zur Ausbildung von Maskenlöchern foto­ geätzt.

Aus der DE-OS 35 27 146 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske mit schlitzartigen Öffnungen bekannt. Hierbei werden nachfolgend die Schritte des Belichtens, der Entwicklung, des Trocknens, des Brennens und des Ätzens auf ein langgestrecktes Lochmaskenmaterial, dessen Oberfläche mit einer foto­ widerstandsfähigen Schicht beschichtet ist, angewendet, um schlitzartige Öffnungen zu bilden, die sich sowohl längs als auch quer zur Band- bzw. Walz­ richtung erstrecken. In EP 0 251 821 A2 wird darüber hinaus angegeben, daß sich die langen Achsen der Öffnungen im allgemeinen parallel zur Walz­ richtung erstrecken.

JP 02-175 820 A offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Stahlblechs für eine Loch- bzw. Schattenmaske. Hierbei wird nachfolgend auf einen Schritt des Kaltwalzens auf die gewünschte Blechdicke ein Glühschritt bei einer Temperatur zwischen 450-500°C angewendet, um Eigenspannungen des Stahlblechs zu reduzieren, so daß das Blech zur Verwendung als Lochmaske geeignet ist.

JP 63-128 120 A beschreibt die Herstellung eines Fe-Ni-Blechs für eine Loch- bzw. Schattenmaske, wobei das Blech einer wiederholten Abfolge eines Kalt­ walzschrittes, gefolgt von einem Glühschritt in einer Wasserstoff-Stickstoff- Atmosphäre zur Reduktion von Eigenspannungen unterworfen wird.

In dem Fall einer Platte aus kaltgewalztem, unberuhigtem Stahl mit niedrigem Kohlenstoffgehalt beträgt die Innenspannung gewöhnlich etwa 10,0 kg/mm² oder mehr, wenn sie einem Ätzprozeß unterzogen wird; die unberuhigte Stahlplatte kann jedoch ohne besondere Probleme verwendet werden wie sie ist, wenn die Plattendicke größer ist als 100 µm. Insbesondere sind keine bestimmten Probleme aufgetreten beim Vornehmen von Maßnahmen, wie dem Ausrichten der Richtung der Stege bzw. Bänder (englisch "tapes") der zu erzeugenden Schlitzmaske durch Ätzen eines Ring- oder Bandstahles senk­ recht zur Walzrichtung des Bandstahles oder wie dem Ausrichten der Rich­ tung der Stege in Übereinstimmung mit der Richtung des Walzens des Band­ stahles, während der Bandstahl geeignet gespannt bzw. gezogen wird. Die obigen Maßnahmen können die Erzeugung von "Streifen" (englisch "streaks") in den Stegen der Schlitzmaske verhindern. Die Streifen werden erzeugt, indem Innenspannungen entspannt werden, und zwar als Ergebnis eines Durchbruches der Schlitze zwischen der Vorder- und Rückfläche der Stahl­ platte während des Ätzschrittes. Bei der Stahlplatte aus kaltgewalztem, beruhigtem Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes mit Aluminium ist die Innen­ spannung generell größer als 10,0 kg/mm², und zwar wie in dem Falle einer Platte aus kaltgewalztem, unberuhigtem Stahl mit niedrigem Kohlenstoff­ gehalt.

In den letzten Jahren werden Kathodenstrahlröhren-Anzeigeeinrichtungen wie Farbfernseher immer größer, so daß auch die in solchen Vorrichtungen ver­ wendeten Lochmasken groß sein müssen. Insbesondere ist bei Schlitzmasken die Art des Befestigens derselben unterschiedlich von der Art des Befestigens anderer Arten von Lochmasken mit Schlitzen oder kreisförmigen Öffnungen. D. h., die Schlitzmaske wird unter Spannung an einem starren Rahmen festge­ legt. Aus diesem Grund muß der Rahmen notwendigerweise in Bezug zu der vergrößerten Schlitzmaske auch vergrößert sein und muß der zum Befestigen der Schlitzmaske herkömmlicher Dicke notwendigen Spannung widerstehen können. Daraus ergibt sich, daß das Gewicht des Rahmens merkbar ansteigt. Um mit dieser Gewichtszunahme des Rahmens fertig zu werden, muß das Gewicht der Schlitzmaske reduziert werden, so daß die Dicke der Schlitzmas­ ke zu reduzieren ist, um den Anstieg der Größe zu kompensieren.

Somit sollte die Dicke des Materials zum Erzeugen von Schlitzmasken 100 µm nicht übersteigen. Die oben genannten Maßnahmen waren geeignet, die oben erwähnten Probleme für Material einer Dicke von mehr als 100 µm zu lösen. Im Gegensatz zu dem Fall, bei dem das Material mehr als 100 µm dick ist, verursacht das Material oder der Bandstahl einer Dicke von 100 µm oder weniger das folgende Problem. Wenn das Material oder der Bandstahl einem Ätzen in einem solchen Zustand ausgesetzt würde, daß die Richtung der Stege einer Schlitzmaske, in welche das Material herzustellen ist, senkrecht zur Walzrichtung des Bandstahls ist, würden die Förderwalzen des Förder­ systems für den Bandstahl den Bandstahl deformieren, da dieser dünn ist. Aus diesem Grund ist die obige Maßnahme, die für dickere Bandstähle ver­ wendet worden ist, nicht einsetzbar. Die bislang eingesetzte, zweite Maßnah­ me des Ausrichtens der Richtung der Stege in Übereinstimmung mit der Walzrichtung, während der Stahl gespannt wird, hat sich ebenfalls als nicht brauchbar erwiesen, wenn das Einschritt-Ätzverfahren verwendet wird, und zwar, weil Streifen der Stege aufgrund der Entspannung der Innenspannung auftreten, wenn die Schlitze die Stahlplatte während des Ätzprozesses durch­ dringen. Unter diesen Umständen sind die für Bandstahlplatten einer Dicke von 100 µm oder weniger verwendbaren Ätzverfahren, um Schlitzmasken großer Abmessungen herzustellen, auf das zeitaufwendige Zweischritt-Ätzver­ fahren begrenzt worden, welches Verstärkungseinrichtungen erfordert, als auch auf das Einschritt-Ätzverfahren, welches die Schwierigkeit mit sich bringt, die geforderte, exakte Form der kegelförmigen Seitenwände der Schlit­ ze zu erhalten.

Ein Einschritt-Ätzverfahren wurde bisher vorteilhafterweise verwendet. Dieses Verfahren ist jedoch nachteilig bei der Verwendung des Ätzens einer dünnen Stahlplatte mit einer Dicke von 100 µm oder weni­ ger, und zwar wegen der Erzeugung von Streifen aufgrund der Entspannung der Innenspannung zur Zeit des Durchdringens der Schlitze durch die Stahl­ platte.

Die Streifen werden erzeugt aufgrund der Nichtgleichförmigkeit der Span­ nungsverteilung in den Schlitzmasken-Stegen. Die nichtgleichförmige Span­ nungsverteilung verursacht ein Verdrehen von jedem Tape, was merkbar auftritt, wenn die Dicke der Stahlplatte unter 100 µm liegt. Es ist bekannt, daß die Streifen Veränderungen in der Strahlungsmenge hervorrufen, die durch die Schlitzmaske geht, und demzufolge eine Verschlechterung der Qualität der Bilder hervorrufen, die auf der Kathodenstrahlröhre ausgebildet werden, in welche die Schlitzmaske eingepaßt ist.

Das der Erfindung zugrundeliegende Problem besteht darin, ein Verfahren zur Herstellung einer Schlitzmaske unter Verwendung eines Einschritt-Ätzver­ fahrens anzugeben, bei welchem das Auftreten von Streifen selbst in dem Fall verhindert werden kann, wenn die Dicke der Stahlplatte, aus welcher die Schlitzmaske hergestellt wird, 100 µm oder weniger beträgt.

Dieses Problem wird durch ein Verfahren zur Herstellung einer Schlitzmaske für eine Kathodenstrahlröhre gemäß Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Insbesondere umfaßt das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Schlitzmaske für eine Kathodenstrahlröhre die folgenden Schritte:
Vorbehandeln einer kaltgewalzten Stahlplatte niedrigen Kohlenstoff­ gehaltes und einer Dicke von maximal 100 µm aus einem Bandstahl zur Herabsetzung der Eigenspannung auf maximal 7 kg/mm²;
Anlegen einer Zugspannung an die Stahlplatte in Walzrichtung des Bandstahls während einer Foto-Ätzung der gegenüberliegenden Seiten der Stahlplatten zur Ausbildung von sich in Walzrichtung erstreckenden Schlitzlöchern, so daß die zwischen den Schlitzen ausgebildeten Stege in Walz­ richtung ausgerichtet sind.

Bevorzugt umfaßt in diesem Verfahren die Foto-Ätzung die folgenden, weiteren Schritte:
Aufbringen einer vorderen und hinteren, lichtempfindlichen Abdeck­ schicht auf die entgegengesetzten Flächen der Stahlplatte;
Aufbringen einer vorderen und hinteren Schlitzmustermaske auf die vordere bzw. hintere, lichtempfindliche Abdeckschicht;
Entwickeln der belichteten Schlitzmuster in der vorderen und hinte­ ren Abdeckschicht;
Ätzen der entgegengesetzten Flächen der Stahlplatte durch die so entwickelte, vordere und hintere Abdeckschicht oder Erzeugung vorderer und
hinterer Ausnehmungen, wobei die Ausnehmungen miteinander in Ver­ bindung treten, wenn der Ätzprozeß fortschreitet, so daß Schlitze zu­ sammen mit benachbarten, parallelen Stegen ausgebildet werden;
Entfernen der vorderen und hinteren Abdeckschicht von den entgegen­ gesetzten Flächen der Stahlplatte.

Nachstehend wird eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben.

Fig. 1 ist eine Schnittansicht einer bei dem Verfahren der vorliegenden Erfin­ dung verwendeten Stahlplatte;

Fig. 2 zeigt einen Schritt des Aufbringens von lichtempfindlichen Harzschich­ ten;

Fig. 3 zeigt einen Schritt des Aufbringens von Schlitzmustermasken und des Belichtens der lichtempfindlichen Harzschichten durch die Masken;

Fig. 4 zeigt einen Schritt des Entwickelns der gedruckten Schlitzmuster;

Fig. 5 zeigt einen Ätzschritt;

Fig. 6 zeigt einen Fortgang des Ätzschrittes;

Fig. 7 zeigt einen Schnitt eines schließlich erhaltenen Schlitzes einer Schlitz­ maske, und

Fig. 8A und 8B sind schematische, perspektivische Ansichten, die das Verfahren der vorliegenden Erfindung erläutern.

In Fig. 1 ist eine Platte 1 dargestellt, aus welcher eine Schlitzmaske erzeugt wird. Die Platte 1 ist aus kaltgewalztem Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes mit einer Dicke von 100 µm oder weniger hergestellt. Eine solche Stahlplatte 1 wird aus einem Stahlband oder Bandstahl H hergestellt, wie es in Fig. 8A gezeigt ist, welcher in einem Walzwerk hergestellt wird. Als Ergebnis des Walzvorgangs in dem Walzwerk hat der Bandstahl H naturgemäß eine Roll­ richtung bzw. Walzrichtung R und Innenspannungen darin.

Der Bandstahl H wird einem Innenspannungs-Beseitigungsvorgang unter­ zogen. Dieser Innenspannungs-Beseitigungsvorgang kann als ein Glühvorgang in einem Glühofen S ausgeführt werden. Als Ergebnis des Glühvorgangs werden die Innenspannungen in dem Bandstahl H auf einen Wert von 7,0 kg/mm² oder weniger reduziert. Der Bandstahl H, der diesem Innenspannungs- Beseitigungsvorgang unterzogen worden ist, wird in der Form einer Rolle aus Bandstahl H₁ aufgenommen.

Ein Ätzvorgang zum Ausbilden von Schlitzen durch die Stahlplatte 1 wird als ein Einschritt-Ätzbetrieb ausgeführt. Wie es in Fig. 8B gezeigt ist, wird der Bandstahl H₁ von der Rolle abgewickelt, dann mit Schlitzen 8 ausgebildet und anschließend in einzelne Platten geschnitten. Die Fig. 2 bis 7 zeigen aufein­ anderfolgende Schritte einschließlich des Einschritt-Ätzbetriebs bzw. -vor­ gangs. Wie es in Fig. 2 gezeigt ist, wird ein lichtempfindliches Harzmaterial oder Abdeckmaterial auf die entgegengesetzten Flächen der Stahlplatte 1 aufgebracht, und zwar unter Ausbildung einer vorderen und einer hinteren Abdeckschicht 2a und 2b, welche dann getrocknet werden. In den Figuren ist die untere Seite der Platte 1 die Vorderseite und die obere Seite ist die Rück­ seite. Auf der Vorderseite der vorderen Abdeckschicht 2a wird eine vordere Mustermaske 4a aufgebracht, und auf die Hinterseite der hinteren Harzschicht- bzw. Abdeckschicht 2b wird eine hintere Mustermaske 4b aufgebracht. Diese Masken 4a und 4b haben wechselseitig gegenüberliegend angeordnete, lichteinfangende bzw. -abfangende Schlitzmuster 5a bzw. 5b. Bei dieser Aus­ führungsform ist das Schlitzmuster 5a breiter als das Schlitzmuster 5b.

Hiernach wird eine Belichtung mit Licht der lichtempfindlichen Harzschichten 2a und 2b durch die Masken 4a bzw. 4b ausgeführt, wie es durch Pfeile L angedeutet ist. Als Ergebnis der Belichtung mit Licht werden die Schlitzmu­ ster 5a und 5b auf die Abdeckschichten 2a bzw. 2b gedruckt. Bei dieser Ausführungsform sind die Harzschichten als Fotosatzschichten gezeigt.

Nach Entfernen der Masken 4a und 4b und Entwicklung der gedruckten Schlitzmuster ist veranlaßt, daß der Schlitz 6a der vorderen Abdeckschicht 2a breiter ist als der Schlitz 6b der hinteren Abdeckschicht 2b, und zwar, wie es in Fig. 4 gezeigt ist.

Dann wird, wie es in Fig. 5 gezeigt ist, die Stahlplatte 1 einem Ätzvorgang durch die vordere und hintere Abdeckung 2a bzw. 2b ausgesetzt, wie es durch Pfeile E angedeutet ist, und zwar an der Vorderseite und der Rückseite. Dies ist ein sogenanntes Einschritt-Ätzverfahren, bei welchem das Ätzen der Vorderseite und das Ätzen der Rückseite gleichzeitig oder in einem Schritt ausgeführt werden. Somit wird eine größere, vordere Ätzausnehmung 7a und eine kleine, hintere Ätzausnehmung 7b ausgebildet. Mit dem Fortgang des Ätzens vergrößern sich diese zwei entgegengesetzten Ätzausnehmungen 7a und 7b und erreichen einander schließlich unter Ausbildung eines Durch­ gangsschlitzes 8 mit entgegengesetzt geneigten bzw. kegelförmigen Seiten­ wänden 10. Hiernach werden die Abdeckungen 2a und 2b entfernt, wodurch, wie es in Fig. 7 gezeigt ist, eine Schlitzmaske 11 mit einem Schlitz 8 erzeugt wird, welcher zwischen benachbarten, parallelen Stegen t (Fig. 8B) definiert ist.

Während der in den Fig. 2 bis 7 gezeigten Schritte wird die Stahlplatte 1 einer Zugkraft T (Fig. 8B) in ihrer Walzrichtung R ausgesetzt. Die Walzrichtung ist die Längsrichtung des Bandstahls H, aus welchem die Stahlplatte 1 hergestellt wird. Die Walzrichtung ist die Richtung senkrecht zu den Lagen bzw. zur Blattebene der Fig. 1 bis 7, und diese Walzrichtung R fällt mit der Richtung der Stege t der Schlitzmaske zusammen.

Bei Schlitzmasken mit Schlitzen sind die Anforderungen hierfür unterschied­ lich gegenüber jenen für Lochmasken anderer Typen mit Schlitzen oder kreisförmigen Öffnungen, und es gilt, daß eine Platte aus unberuhigtem Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes die Anforderungen für Schlitzmasken erfüllen kann. Generell hat ein Bandstahl aus unberuhigtem Stahl mit niedrigem Kohlenstoffgehalt eine Innenspannung von 10,0 kg/mm² oder mehr, so daß, wenn eine Dicke von 100 µm oder weniger für den unberuhigten Stahl niedri­ gen Kohlenstoffgehaltes verwendet wird, die Erzeugung von Streifen der Stege nicht verhindert werden kann, wenn die Schlitze ausgebildet werden durch Ätzen durch die Dicke des Stahles, wie es zuvor diskutiert worden ist.

Es ist herausgefunden worden, daß durch weiteres Reduzieren der Innen­ spannung der Stahlplatte auf einen Wert von 7,0 kg/mm² oder weniger in dem Innenspannungs-Entspannungsschritt die Erzeugung von Streifen unter­ drückt werden kann. Das Zusammenfallen der Richtung der Stege mit der Walzrichtung dient weiterhin dazu, die Erzeugung der Streifen zu unterdrüc­ ken. Wie es sich aus Betrachtung der Fig. 8B ergibt, wird die Zugkraft T auf die Platte 1 in Längsrichtung der Schlitze 8 ausgeübt, so daß die Linearität der Schlitze und Stege nicht nachteilig beeinflußt wird.

Es ist möglich, als kaltgewalzten Stahl niedrigen Kohlen­ stoffgehaltes einen kaltgewalzten, unberuhigten Stahl niedrigen Kohlenstoff­ gehaltes, einen kaltgewalzten, beruhigten Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes mit Aluminium oder eine Fe-Ni-Invar-Legierung (36% Ni-Fe-Legierung) niedri­ gen Kohlenstoffgehaltes zu verwenden.

Als Ergebnis der Beseitigung der Streifen ist die Gleichförmigkeit der Ver­ teilung der Strahlungsmenge verbessert, die durch die Schlitzmaske verläuft, mit der sich daraus ergebenden Verbesserung der mit der Kathodenstrahlröhre erzeugten Bildqualität.

Beispiel

Als Material einer Schlitzmaske wurde kaltgewalzter, unberuhigter Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes einer Dicke von 1 µm verwendet. Platten aus diesem unberuhigten Stahl wurden einem Glühvorgang in einem Glühofen mit einer Atmosphäre aus N₂-Gas bei einer Temperatur von 500°C ausgesetzt. Als Ergebnis des Glühvorgangs waren die Innenspannungen in den Stahl­ platten reduziert. Zum Zwecke des Vergleichs wurden andere Platten aus kaltgewalztem, unberuhigtem Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes einer Dicke von 100 µm vorbereitet. Diese Stahlplatten wurden keinem Glühvorgang ausgesetzt, so daß die Stahlplatten weiterhin eine anfängliche Innenspannung aufwiesen. Diese zwei Arten von Stahlplatten, d. h., die ersten, geglühten Platten und die zweiten, nichtgeglühten Platten wurden unter exakt denselben Konditionen den folgenden Verarbeitungsschritten ausgesetzt, wie sie in den Fig. 2 bis 7 dargestellt sind.

Die ersten und zweiten Platten 1 wurden zuerst gereinigt durch Spülen in dem Zustand von Fig. 1. Dann wurde in dem Schritt von Fig. 2 eine Kasein-Ab­ deckschicht auf die vordere und hintere Fläche der Platten aufgebracht unter Ausbildung einer vorderen bzw. hinteren Abdeckschicht 2a, 2b, die dann getrocknet wurden. Hiernach wurde das Drucken ausgeführt mit aufgebrach­ ten Schlitzmustermasken 4a, 4b, und zwar mittels Quecksilberbogenlampen, an der vorderen und hinteren Abdeckschicht, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Hierdurch wurden latente Schlitzbilder entsprechend den Schlitzmustern erzeugt. Beim Entwickeln wurden entgegengesetzte Schlitze in der vorderen und hinteren Abdeckschicht ausgebildet, wie es beispielhaft dargestellt ist in Fig. 4.

Ein Ätzvorgang wurde an der vorderen und hinteren Fläche der zwei Arten von Platten ausgeführt unter Verwendung einer Eisen(III)-Chlorid-Lösung auf die Art und Weise, wie sie in den Fig. 5 und 6 dargestellt ist. So wurden Schlitze durch jede der Platten ausgebildet. Die Widerstandsschichten bzw. Abdeckschichten an den entgegengesetzten Flächen jeder Platte wurden entfernt unter Verwendung einer alkalischen Lösung unter Erhalt einer Schlitz­ maske, wie sie in Fig. 7 dargestellt ist.

Die Breite von jedem Steg der Schlitzmaske betrug für die zwei Arten der Platten 520 µm. Die Temperatur der Eisen(III)-Chlorid-Lösung betrug 60°C, und die spezifische Gravität der Lösung betrug 46, gemessen mit einem Hydrometer nach Baumé. Die Eisen(III)-Chlorid-Lösung wurde gleichzeitig gegen die Vorderfläche und Rückfläche der Platten gesprüht. Während das Ätzen ausgeführt wurde, waren die Platten einer Zugkraft ausgesetzt, welche die Platte in Walzrichtung unter Spannung versetzt hat, d. h., die Längsrich­ tung des Bandstahls, aus welchem die Platten hergestellt waren. Die Richtung der Stege der herzustellenden Schlitzmaske wurden in Übereinstimmung mit der Walzrichtung der Platten gebracht. Die verwendete Zugkraft betrug 2 bis 3 kg/mm², was bewirkte, die Innenspannung in den Platten zu beseitigen.

Nachdem die Schlitze ausgebildet waren, wurde die durch jede erzeugte Schlitzmaske gehende Lichtmenge und die Variation derselben unter den erzeugten Schlitzmasken gemessen, um die Verhältnisse bei Elektronenbestrahlung der Maske zu simulieren. Weiterhin wurde bei jeder Platte die Innenspannung nach dem Glühen gemessen. Die Innenspannung wurde gemessen durch das Röntgen-Beugungsverfahren. Die folgende Tabelle zeigt die Ergebnisse des Vergleichstests.

Es versteht sich, daß eine Veränderung der durch die Schlitzmasken ver­ laufenden Lichtmenge unter Verwendung der geglühten Platten bemerkens­ wert kleiner war als jene durch die Schlitzmasken, welche die nichtgeglühten Platten verwendeten, und zwar insbesondere in dem Fall, wenn veranlaßt wurde, daß die Innenspannung 7,0 kg/mm² war oder geringer.

Claims (4)

1. Verfahren zur Herstellung einer Schlitzmaske (1) für eine Kathodenstrahl­ röhre mit den Schritten:
Vorbehandeln einer kaltgewalzten Stahlplatte (1) niedrigen Kohlenstoff­ gehaltes und einer Dicke von maximal 100 µm aus einem Bandstahl (H) zur Herabsetzung der Eigenspannung auf maximal 7 kg/mm²;
Anlegen einer Zugspannung an die Stahlplatte (1) in Walzrichtung (R) des Bandstahls (H) während einer Foto-Ätzung der gegenüberliegenden Seiten der Stahlplatte (1) zur Aus­ bildung von sich in Walzrichtung (R) erstreckenden Schlitzlöchern (8), so daß die zwischen den Schlitzen ausgebildeten Stege (t) in Walzrichtung (R) ausgerichtet werden.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei eine Stahlplatte (1) aus unberuhig­ tem Stahl verwendet wird.

3. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die Stahlplatte (1) aus beruhigtem Stahl mit Aluminium verwendet wird.

4. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die Eigenspannungen in der Stahl­ platte (1) durch einen Glühvorgang herabgesetzt werden.