TW295729B - - Google Patents

Description

205729 A 6 B6 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（1 ) 發明背景 本發明係有Μ於用在固態影像感知器或接*型影像感 知器，如電荷耩合装置（CCD)或戽斗型霣荷耩合裝置 (bucket brigade device-BBD)之濰色曆的製法。 就固態影像感知器而言，選揮性地以一特殊光波醱射 在如CCD或BBD膨像感知器之表面Μ獲得一種顔色，如 今已製成一色曆來隔誠紅色，綠色，藍色或黄色，青藍 色，紫紅色。在此吠況下，如液晶顯示裝置即可遽當改 變其吸收之光線。 目前，就色曆而言，已廣泛塱造一有櫬染色型（或晶 Η上型）*其含一所要之光_特性，藉光浸蝕技術將一 種容易染色之感、光樹脂作成圈形並將此醒形用染料加Μ染 色〇 現解釋此種形成在電荷糴合裝置上之傳統色曆之製法。 因此藉此例子，如麵1所示，最好取影像感知器之切 面圖，其中之色曆形成在線間轉移之電荷鞲合装置上 (Κ後稱為IT-CCD)。松下技術報告（第36冊，纗虢3,第 90.6期）及NICHEI微裝置（1989年12月版）皆有敘述HI 之傅統技術。 參考圏1 , IT-CCD包含光二極體32, 33, 34, 35, 36 ,37及38, Μ將照射在p型半導體基板表面之光轉換成 電，一具電荷轉移部位之作用區，作重複佈置Μ轉移電 荷，此作用區緊臨光二極« 32, 33, 34, 35, 36, 37和 -3- (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS)甲.1規格（2U) X 2J7 W釐） 82.3. 40,000 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2 ) 38,及一對外傳輪訊號之具襯垫52之襯垫匾，此讕塱匾 緊臨此作用區。 此光二極體32-38可為PNP结構形成在P型半導體基 板上或為P N P Η结構Μ移去無光霣流（D a r k C u r*「e n U。 霣荷轉移部位50含一二氣化矽絕緣曆44以絕缘第一多 晶矽轉移霄荷之傳導層42,及一形成在絕緣曆44上之第二 多晶矽傅導曆46, Μ及一形成在第二傳導層46上之雙履 金_鋁Α1和SiWx所組成之光阻曆48。 濾色曆形成在IT-CCD上。首先，當一彩色_型陣列 (此後稱濾色曆）於整個IT-CCD表面上染色時，一平面層 40形成在IT-CCD之整個表面上Μ形成一均勻濾色曆Μ防 止正光姐曆48及作為金麵曆之金臛焊墊部位52不因感光 材料之酸根而腐蝕。平面曆40由一具卓越導光性及感光 性之正聚亞醣胺在淬水溫度下形成。 因此，根據濾色層之傳統製法，均勻沈澱著一感光靨 ，其在如聚乙烯酵，賂素或凝膠之親水性巨分子材枓上 使用二鉻酸胺而具感光性。然後，瀝乾後Μ光軍曝光法 僅將第一彩色_型部份加Μ曝光顬膨，而形成一所要的 圖型。 將一具預定光譜特性之國型用染料加Κ染色，第一濂 色暦54之紫紅色曆躭形成在相當於第一光二極黼32處。 然後，依相同方式形成第二和第三濾色蹰。第一内層 56形成一防染層Μ防止第一濾色層54被平面曆40及第一濉 -4- (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X烈7公釐） 82.3. 40,000 經濟部中央標準局員工消費合作社印$ A6 B6 五、發明説明（3 ) 色層54全表面上之黄色染料所染色。第一内層56由正聚 亞釀胺形成。 形成第一内曆56後，第二黄色濾色曆58亦對應第二及 第三光二極鱷34和36形成在第一内曆56上。 為防止第二濾色臞58不被育藍材料染色到，第一内曆 56和第二濾色層58之全表面上即形成一由正聚亞_胺姐成 之第二内曆60。第三育Μ濾色暦62形成在相當於第三光 二極》36(其沈澱在第二内層60上）處。第二濉色履58及 第三濾色層62之重叠部份66為綠色。 為防止第三濉色曆62被外界播擊，於是在第二内曆60 和第三濾色曆62之全表面上形成一由正聚亞醯胺組成之 第三内曆64。因此，為焊嬢之故，上述所形成之平面暦 ，第一，第二和第三内曆56，60和64即一次以光浸触程 序加Μ去除MW露焊墊區52。 上述IT-CCD滅色曆之製法，是醑於改善彩色敏感度之 補色型中，注意到育藍層和黄色層互相重叠Μ形成嫌色 層。即，第一，第二和第三濾色曆54, 58和62形成在 IT-CCD上且内層56, 60和64形成一透明防染曆Μ防止濾 色層内之混色。 最近，因配合高效率之IT-CCD,使得吸光部位之滅小 ,每單位素之區域有減小之趨勢。於是，内曆瑕庇允 許度及濾色曆之排列準確度亦滅小。 此要求導致内曆在熱淬火程序中之瑕《。即每次形成 -5- ----------1------- ------裝------訂------46、 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（2丨0 X 297 X釐） 82.3. 40,000 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A6 B6 五、發明説明（4 ) 各濾色暦後之热淬火程序中，内曆會因熱鏞而變形，導 致濾色曆移動或内曆碎裂之可能性。 為遴免此狀況，巳使用一種程序，«互相堆稹不同材 料以形成内牖；然而，根據濾色曆淬火程序之熱鏞而言 ,問鼴依然存在。特別是由正聚亞黼胺所形成之内曆， 其由於卓越之導光性而被廣泛使用。然而，即使此材料 本身有騣重之热嫌特性，故在濾色曆和内曆間之介面即 存在一應力，而導致«色層之移動K及由於内暦碎裂造 成之膨像瑕莊，如波影或白斑，因而降低影像感知器之 特性。 發明摘要 本發明之目的欲提供一種具超異光譜特性及高敏感度 之濾色曆之製法，其内曆由一具低热嫌之«明樹脂做成 且幾乎不能被染料染色。 根據本發明，其提供一種濾色曆之製法，包含平滑地 在具電荷《合裝置和戽斗型霄荷》合装置之影像感知器 上形成平面層之步驟；並在該平面層上形成第一濾色層 和第一防染内曆；另外如上述步驟相同方式形成濾色靨 和内曆Μ形成第二濾色層，第二内層，第三濾色暦和第 三内曆：其中，第一或第三内曆由具相當低熱縮性之負 聚亞醣胺組成。 圈示之簡述 配合圖式，從Μ下較佳具體實例之描述，本發明之這 -6- ------------------------裝------，玎------ (請先閱讀背面之';±意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297么'釐） 82.3. 40,000 經濟部中央標準局S工消费合作社印製 A6 B6 五、發明説明（5 ) 些及其它目的，特性Μ及好處將更明顧，其中： 1係一霣荷鴒合裝置型之影像感知器之垂直切面_ ,Μ解釋傅統色曆之製法。 圏2係根據本發明較佳具體實例濾色暦之製造程序。 較佳具《實例之詳述 規在，將随_式詳细解釋本發明較佳之具黼實例。 濾色曆通常Μ條狀或馬賽克狀形成在CCD或BBD之膨 像感知器上。本實例中，描述形成在IT-CCD影像感知器 上之濾色層，此影像感知器與含圓1之光二極體和光姐 暦之傳統影像慼知器有相同之結構。 首先，如圈2Α所示，在IT-CCD之淬火溫度下具卓越傅 光性和不變感光度之聚亞醣胺被沈積為3.5微米厚，再 以熱盤在170C 下加热5分鏞Μ形成一平面曆40。最好 之正聚亞釀胺可使用CFGR-2010(Tokyo Ohka Kogyo有限 公司 >,且顯像液《和灤洗劑可用CRFT顬像劑（Tokyo Ohka Kogyo有限公司}。 參考圃2B,配合傳統濉色層之製法，第一紫紅濾色曆 54形成在相當於沈積在平面曆40上之第一光二檯體32處 。因此，負聚亞醣肢在熱盤上之9〇υ下，软烘70秒形成 0.8徵米摩；此負聚亞醢胺即使在淬火溫度下會改變其 感光度，但仍具低熱縮擴張率。然後，聚亞鼸胺在深紫 外線（240〜270·ιβ)下曝光及顧影，再於105C之熱盤加 熱5分鐘，因而形成只曝露焊墊匾52之第一内曆56。 -7- ------------------------裝------' 玎------^ (請先閱讀背面之.;i意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（2丨G X四?·么、釐） 82.3. 40,000 經濟部中央標準局8工消費合作社印製 A6 B6 五、發明説明（6 ) 較佳之聚亞釀胺有PVR-7, FVR-10(富士化學有隈公司> ，而較佳之顯像液和溧洗液有FVR顯像劑和溧洗劑（富 士化學有限公司）。 如_2(：所示，第一内靨56形成後，第二黄色濾色曆58 形成在相當於沈積在第一內曆56上之第二和第三光二檯 髓34和36處。此後，負聚亞釀胺刖沈積在最後之結構上 成為第二濾色層58,其不被青藍染料所染色到，且第二 防染内層6 0也如前所述依相同方式形成。 结果，如_2D所示，第三育Μ濾色暦62則形成在相當 於第四光二極體38處。青藍層與第二濾色曆58重叠，而 濂色層58刖形成於沈積在第二内曆60上之第三光二極體 36之上部位。然後，第三内曆64形成在第三濉色暦62之 表面Κ防止第三濾色暦62被外力擁擊。此時，形成只曝 充焊墊區52之第三内層64。 此後，在焊墊區52上形成第一，第二和第三内曆。逋 些内曆可Μ 4.1撤米厚之負聚亞醣胺或0.6〜1.0微米厚 之負聚亞醮胺和2.0〜4.0微米摩之正聚亞醮胺之建鑛混 合物來形成。最好混合物之厚度為0.8微米之負聚亞_ 胺和3.3微米之正聚亞醢胺。 再者，對於第一，第二和第三内曆36, 60和64,正聚 亞醣胺在淬火溫度下具低熱嫌擴張率並維持其感光度。 本發明迄目前為止所提及者，形成内曆之材料因其在 熱淬火時有相當高之熱縮問題而Μ具相當低熱嫌之負聚 -8- ---------^---------------裝------.玎 (請先閱讀背面之·;±意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格U10 X W贄） 82.3. 40,000 A 6 B6 ，器 人本附之 力知 的及所内 應感 術 Μ 期· 之像 技例預範 面影 此實故正 介得 於體。真 間使 精具的明 曆， 於之顯發 内裂 對表明本 和碎 。發很或 曆之 例開是改 色曆。實公將修 濉内度體對改何 小及感具，條任 減動敏之述之 Μ 能移及述敘例含 故之性上之實將 )，層特於明體· (7代色譜限發具範 明取濾光不本它謫 。 説來止之明考具申例 Μ胺防異發參之利實 、醣而超本要明專體 五亞因具 只發之具 --------------1----------裝------.玎 (請先閲讀背面之注意事項再塡.寫本頁) 經濟部中央標準局8工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉甲4規格（2ίϋ X ZJ7 X货） 82.3. 40,000

Claims (1)

1. 申請專利範圍 ABCD

   經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第 82102977號 利案 杰申誚專利範 1.一種製造濾 在具霣荷 知器上平滑 在該平面 另外形成 層，第三濾 其中第一 負性感光樹 其中該平 性感光樹脂 其中該方 内靥後浸蝕 2 .如申誚專利 第三之每一 成。 3 .如申諳專利 相當低熱縮 「半導體基板上之濾色層的製造方法j專 (85年4月修正） 圍 色層之 铒合裝 掩蓋形 層上形 濾色層 色層及 ,第二 脂形成 面靥由 形成， 法更包 焊墊匾 範圍第 内層由 方法，含以下步思： 置或戽斗型《荷網合裝置之影像感 成一平面層， 成第一濾色層和第一防染内層， 及内層以形成第二濾色層，第二内 第三内層， 第三毎一内餍由具相當低熱縮性之 β 在固化溫度具不改變光敏感性之負 含每次 之内層 1項之 具相當低熱缩性之正性感光樹脂形 分別形成第一，第二和第三 之步驟。 方法，其中該第一，第二和 範圍第1項之方法，其中該第三内層由具 性之負性及正性感光樹脂之混合層形成。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（21〇Χ：297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、νβ