TW209311B - - Google Patents

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Λ 6 B 6 五、發明説明（1 ) 本發明傜有關測試裝置，特別是，關於具備檢査被檢 查體的電特性之測試針的清潔機構之測試裝置。 先前，做為檢査被檢査體的電特性之測試裝置，已知 有由能向水平方向及垂直方向移動，並能水平旋轉的載置 台，和接觸半導體晶Η等被檢査體之電極部的多數探針之 測試插件板所構成者。該測試插件板所具備的測試針，俗 以對水平方向具有所定角度地傾斜之狀態被安裝在測試插 件板。該測試裝置，係把載置台移動到所定位置，使測試 針接觸到被設置在載置台上的被檢査體之電極襯墊，而檢 査半導髏晶片的電特性者。 經濟部中央標準局貝工消#合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 近年來，隨著半導體元件之複雜化及微細化，電極襯 墊的配列也被複雜化。因此，以傾斜狀態之測試針，逐漸 難以使測試針正確地接觸在各電極襯墊。所以，為了因應 如此地被複雜地配列的電極襯墊，而使測試針以垂直方向 直立之狀態配列的，將所謂垂直測試針接觸到電極襯墊之 技術已被開發。根據該垂直測試針時，對任何被複雜地配 列的電極襯墊，都能把測試針均勻地壓接而使之接觸，而 能夠精確地檢査電特性。 然而，此等測試針，偽在接觸半導體晶片的鋁製之電 極襯墊時，係一面削其表面的氧化膜以取得導通。因此， 將別是在垂直測試針，將會在其尖端附箸鋁屑。當反覆進 行檢査時，鋁屑會堆叠在垂直測試針的尖端而引起導通不 良，而無法正確地進行檢査。同時，會有縮短垂直測試針 的壽命之問題。並且，附箸在垂直測試針的鋁屑會飛散而 本紙張尺度逍用中Β Η家標準（CNS)甲4規格(210x297公煃） 一 3 一 81. 5. 20,000 ⑻ Λ 6 Β6 209¾11 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 掉落在半導體晶片上，變成粒子而有降低半導體晶片的品 質之問題。 本發明之目的，俗在提供備有垂直測試針的清潔機構 ，能把測試針經常維持適正之檢査狀態的測試裝置者。 該目的，將由具備保持被撿査體之載置台，和使之接 觸被檢査體的電極部測定被檢査體之電特性的多數之垂直 測試針，和具有去除附著在垂直測試針的屑之清潔材的清 潔部件，而清潔材俗由超極細纖維所成之布所構成的測試 裝置被達成。 〔實施例〕 以下，將本發明之理想的實施例參照圖面詳細地說明 Ο 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 第1圖係顯示本發明之測試裝置的主要部分。圖中， 多數之垂直測試針1傜被固定在測試針固定部件2 ,該測 試針固定部件2被安裝在測試插件板3。再者，測試插件 板3係由未圖示的升降手段使之能向上下方向移動。同時 ，也可以設置使測試插件板3向X及Y方向移動的手段。 在測試插件板3之下方，被配置有能向X，γ及z方向移 動的基台，而在基台上被安裝有載置台4。同時，在載置 台4附近，被設置具有清潔材5之清潔部件。

將載置台4載置的台级，偽如第1圖所示，由沿著γ 方向被配置之Y方向導軌6上被安裝成能移動的γ台级7 ，和被設在該Y台级7之與Y方向正交的方向，即沿著X 本紙張尺度逍用中國國家標準(CNS)甲4規格(210x29·丨公龙） -4 - 81. 5. 20,000(H) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（3J - 方向被配置乏X方向蕃軌8上能移動地被載置的X台级:9 ，和在該X台级9上能弁降及旋轉地被安裝的夾具1 〇所 構成。在夾具1 0之上面，被設置有未圖示-的吸引丰段， 使之能由此將被檢査體之半導體晶片1 1予以吸引保持， 清潔部件，傜如第2圖所示地被構成。清潔材5傜被 貼在蓋狀基部1 2的上面。在蓋狀基部1 2之底面，被形 成有收容引導基部17用的凹部，在其凹部被載置引導基 部1 7。在引導基部1 7之上面，被形成有收容彈簧導件 1 7用的凹部，彈簧導件1 9能滑動地被載置在其凹部， 使之不會向上方脱出。在彈簧導件19的上面，被形成有 收容彈簧1 8之凹部，在其凹部被載置彈簧1 8 ,把具有 清潔材5的蓋狀基部12經常向上方推壓。同時，在蓋狀 基部12之上邊，有支持構件14以螺固被安裝。 如此被構成的清潔部件，係如第3圖所示地被安裝在 載置台4。升降板2 1傜能升降地被安裝在被固定在載置 台4的保持構件上。在升降板2 1上，被固定有彈簧導件 1 9。在此引導基部1 7之外周面的所定地點，被設有卡 合用凹部1 7 a，被著裝在蓋狀基部1 2之側壁的彈簧柱 塞1 5之球1 5a被卡合在該卡合用凹部1 7a。在蓋狀 基部1 2的下面和升降板2 1的上面之間，被形成有所定 的空隙S ,由此，能夠缓衝把垂直測試針1插入清潔材5 ，測試針固定部件2擋接到清潔部件的支持構件1 4時之 壓力。同時，該空隙S ,將會吸收清潔材5和垂直測試針 1的相對位置之誤差，確保兩者的適正接觸。空隙S ,以 (請先閱讀背面之注·意事項再填寫本頁) 裝· 訂_ 線‘ 本紙張尺度逍用中國國家«準(CNS)甲4規格(210X297公釐) -5 - 81. 5. 20,〇〇〇(Η) 五、發明説明（4 ) 1 D11D程度為理想。再者，此時蓋狀基部1 2之收容引導基 部17的面和彈簧導件19的上面之間，至少需要設置空 隙S以上的間隔。在升降板2 1之下面，被固定有升降手 段的氣缸20之柱塞2〇a,使蓋狀基部12，清潔材5 ，及彈簧導件1 9能夠升降。 在本發明的測試裝置，由於只要清潔材5能接觸垂直 測試針之構成即可，所以也可以為將清潔部件固定在載置 台，和載置台一起使之上下移動者。最好是，設置只使清 潔部件升降的升降手段，而只使清潔材接觸到垂直測試針 者。更理想的是，具備有使清潔材接觸垂直測試針時，能 吸收推壓力之彈性手段者。此時，做為升降手段，可以使 用例如由電磁閥動作的氣缸或由馬達動作之齒輪機構等。 並且，可以由檢出垂直測試針和清潔材的相對位置，根據 其檢出情報設置控制清潔材之升降而能省略彈性手段。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 再者，做為在本發明所使用的清潔材5 ,可以纺織如 第4圖（A )所示之連續的超極細纖維，使用在此施以高 收縮處理等化學處理所成之超極細纖維布。此時，做為纖 維的材料，可以使用如尼龍之聚醯胺樹脂，聚酯樹脂等。 再者，超極細纖維的粗細，以0 . 1丹尼程度為理想，纖 維密度以8 0，0 ◦ 0支/ c in2程度為理想。或是，做為 清潔材5 ,也可以使用把如第4圖（B )所示的多數之超 極細纖維配列成起毛狀的超極細纖維所成之布。再者，超 極細纖維所成的布之原度傜以1 mm程度為理想。 接箸，對於如此被構成的本發明之測試裝置的動作加 本紙張尺度逍用中a S家標準(CNS) T4規格(210X297公龙) -6 - 81. 5. 20,000⑻ Λ 6 B6 ^〇93ii- 五、發明説明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以説明。再者，圖面中，引導基部1 7和彈簧構件1 9之 嵌合狀態傜予以省略。 第5圖（A ),為顯示該發明的測試裝置之概略圔。 如第5圖所示，垂直測試針1 ,係使其一方的端部成為從 測試針固定部件2之透明材料所成的板片2 a例如突出 2 5 Ο ϋ m程度地被安裝在測試針固定部件2。再者，垂 直測試針1的他方之端部，係貫通測試插件板3被安裝在 測試插件板3。在第5圖中，使載置半導體晶片1 1的載 置台4向X，Y及Z方向移動，把半導體晶Ml 1之鋁等 所成的電極襯墊和垂直測試針1對位，由於使測試插件板 3下降或使載置台4上升，而使垂直測試針1接觸在電極 襯墊以檢査電特性。將該檢査進行所定次數時，鋁屑A將 會附著在垂直測試針1。維持此狀態繼續檢査時，將會由 於鋁屑A引起垂直測試針1和電極襯墊的導通不良，而對 檢査會有障害。 經 濟 部 中 央 標 準 Μ 员 工 消 人 社 印 製 此時，在進行所定次數檢査後，如第5圖（B )所示 地，移動載置台4使清潔材5位於垂直測試針1的下方。 接著，如第5圖（c )所示，由於使氣缸動作而使柱塞 2 0 a伸長，使清潔部件上升。然後，如第5圖（〇 )所 不，使載置台4向Z方向上升而使清潔材5接觸垂直測試 針1。 此時，如第6圖所示，首先，由於使清潔材5稍為上 升，垂直測忒針1將會插入清潔材5 ,而到達清潔材5下 面的蓋狀基部1 2。此時，垂直測試針1 ,將由其彈力彎 本紙張尺度逍用中B S家4S準(咖）甲4規格(21Gx297公货)' --- —7 - 81. 5. 20,000(t Λ 6 Β6

〇a93U 五、發明説明（6) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 曲而會稍為上升。與此同時，測試針固定部件2的板片 2 a將會接觸清潔材5。當板片2 a推壓清潔材5時，彈 簧1 8將會吸收其推壓力。此時，附箸在垂直測試針1及 測試針固定部件2的鋁屑A將會由清潔材5被去除。垂直 測試針1 ,像以不會到達蓋狀基部1 2，而由清潔材5之 抵抗力上升為理想。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 接著，如第5圖（E )所示，使載置台下降式使測試 插件板3上升，將清潔材5從垂直測試針1分開，把載置 π 4稍為移動使清潔材5和垂直測試針1的相對位置偏位 後，再度和上述一樣地使清潔材5接觸垂直測試針1 ,把 附著在垂直測試針1及測試針固定部件2的鋁屑A去除。 在此，使清潔材5和測試針1之相對位置偏位的理由，傜 為了防止被吸收在清潔材5之鋁屑A再附著到垂直測試針 1。以下，由同樣地反覆第5圖（D)及第5圖（E)的 動作，而進行垂直測試針1之清潔。一旦被清潔材5吸收 的鋁屑A ,將不會飛散到外部，所以也能防止變成半導體 晶片之粒子。並且，也可以在清潔部件近傍設置吸引手段 ，積極去除清潔材吸收的鋁屑A。同時，由於該清潔材5 ，在清潔時將不會研磨垂直測試針1，所以也不會産生垂 直測試針的研磨屑。因此，也能延長垂直測試針之壽命。 再者，清潔部件，在通常時係在比載置台4的上面位 置稍低之位置待命。這是，為了不妨礙半導體晶片1 1的 對載置台4之夾具10上面的搬入.搬出。 如上述地進行垂直測試針1之清潔後，能夠再度如第 81. 5. 20.000(H) 本紙張尺度逍用中a國家標準(CNS)甲4規格(210x297公¢) -8 - a f\ c

AB 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（7_) " . 5圖（A )所示，使垂直測試針1接觸半導氬晶片1 1 _的 電極襯Μ ,進行電恃性之檢査/ — 再者，能夠由於在進行所定次數檢査後_，根據進行如 上述的清潔之程序予以控制，而如第7圖所示，自動地進 行測試裝置的垂直測試針1之保養。同時，在反覆進行清 潔時，附著在垂直測試針1的微細鋁屑將會堆積，故在進 行所定次數之清潔後，最好把清潔材更換。在更換清潔材 時，以能夠把清潔部件分解而至少只更換超極細纖雒布部 份的方式為理想。亦即，如第3圖所示，由抗拒彈簧柱塞 15的彈簧15b之彈力，把蓋狀基部12從引導基部 1 7拆卸而能更換清潔材5的方式為理想。 如以上所說明，根據本發明之測試裝置時，能夠去除 附著在垂直測試針的鋁屑等，設法延長垂直測試針之壽命 。同時，由於沒有附著在垂直測試針的鋁屑等會掉落到被 檢查體上之虞，所以也能防止被檢查體的品質會降低。 圖面之簡單説明 第1圖為本發明的測試裝置之主要部份的槪略斜視圖 9 第2圖為顯示把在本發明之清潔部件分解的狀態之斜 視圖， 第3圖為顯示把清潔部件安裝的狀態之剖面圖， 第4圖（A )及（B )為顯示在本發明所使用的清潔 材之模式圔， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 訂_ 線* 本紙張尺度逍用中國困家標準（CNS)甲4規格（210x297公¢) 81, 5. 20f000(H) * 3 9 ο 2 66 ΛΒ 五、發明説明（8 ) 第5圖（A )〜（E )為説明本發明的測試裝置之動 作用的概略圖， 第6圔為說明垂直測試針之在清潔工程的動作之方塊 圔，及 第7圖為顯示清潔材的污髒程度和其更換時期之圖表 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局员工消t合作社印製 81. 5. 20,000 ⑻ 本紙張尺度通用中國Η家標準(CNS)甲4規格(210X29’〖公埂) 10 -

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印« A7 B7 C7 D7_ 六、申猗專利範团 附件一·· 第81104500號專利申請案 中文申請専利範園修正本 民國81年11月修正 1 ♦—種測試裝置，傺屬於具備有：保持被檢査臁的 載置台；和使之接觸在前述被檢査體的電極部以測定被檢 査體之電特性的多數之垂直測試針之形態的測試裝置，其 特擻為： 具有去除附著在前述垂直測試針的屑之清潔材的淸潔 部件； 而前述淸潔材係由超極細纖維所成之布所構成者。 2. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，前述， 清潔部件，像具備有在前述垂直測試針和前述淸潔材接觸 時會吸收加在前述垂直測試針的壓力之彈性手段者。 3. 如申請專利範園第2項之測試裝置，其中，前述 彈性手段為彈簧者。 4. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，前述 清潔部件係具備有升降手段者。 5. 如申請專利範圍第4項之測試裝置，其中，前述 升降手段，像由電磁閥動作之氣缸或馬逹而動作的齒輪機 構者。 6. 如申請專利範園第1項之測試裝置，其中，為了 吸引清潔材所捕捉之屑用的吸引手段被配置在前述清潔材 近傍者。 (請先鬩讀背面之注意事項再填窝本頁) •裝· 訂. 本紙張尺度適用申囿围家橒準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 81.9.10,000 A7 B7 C7 D7 六、申請專利範团 7. 如申讅專利範匯第1項之測試裝置，其中，前述 淸潔部件為能分解，而能更換前述清潔材者。 8. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，前述 超極細纖維傜聚醛胺樹脂或聚酯樹脂者。 9. 如申請專利範圔第1項之测試裝置，其中，更具 備有檢出垂直測試針和清潔材之相對位置，並根據其檢出 情報以控制前述清潔材的升降之手段者。 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 丨裝. 訂. «濟部中央櫺準局RX消费合作杜印製 夂纸張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） ~ 2 ~ 81.9.10,000