KR930001369A - 프로우브 장치 - Google Patents

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KR930001369A
KR930001369A KR1019920010233A KR920010233A KR930001369A KR 930001369 A KR930001369 A KR 930001369A KR 1019920010233 A KR1019920010233 A KR 1019920010233A KR 920010233 A KR920010233 A KR 920010233A KR 930001369 A KR930001369 A KR 930001369A
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야스시 나가사와
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이노우에 쥰이치
도오교오 에레구토론 야마나시 가부시끼가이샤
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
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Abstract

피검사체를 유지하는 얹어놓는대와, 상기 피검사체의 전극부에 접촉시켜서 피검사체의 전기적 특성을 측정하는 다수의 수직프로우브침과, 상기 프로우브침에 부착한 부스러기를 제거하는 클리닝재를 가지는 클리닝 블록을 구비하며, 클리닝재가 초극세섬유로 이루어지는 천에 의하여 구성되어 있는 프로우브장치, 이것에 의하여, 수직프로우브침에 부착한 부스러기등을 제거하여 수직프로우브침의 수명 장기화를 도모할 수 있다.

Description

프로우브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 프로우브장치의 요부의 개략사시도.
제2도는 본 발명에 따른 클리닝블록을 분해한 상태를 나타내는 사시도.
제3도는 클리닝블록을 착설한 상태를 나타내는 단면도.
제4도 (a) 및 (b)는 본 발명에 사용되는 클리닝재를 나타내는 모식도.
제5도 (a) 내지 (e)는 본 발명의 프로우브장치의 동작을 설명하기 위한 개략도.
제6도는 수직프로우브침의 클리닝 공정에 있어서의 동작을 설명하는 블록도.
제7도는 클리닝재의 오염의 정도와 그 교환시기를 나타내는 그래프이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 수직프로우브침 2 : 프로우브침고정블록
2a : 플레이트 3 : 프로우브카드
4 : 얹어놓는대 5 : 클리닝재
6 : Y 방향 안내레일 7 : Y 스테이지
8 : X 방향 안내레일 9 : X 스테이지
10 : 척 11 : 반도체웨이퍼
12 : 캡형상 기초부 14 : 지지부재
15 : 스프링 플런져 15a : 볼
17 : 가이드 기초부 17a : 걸어맞춤용 요홈부
18 : 스프링(탄성수단) 19 : 스프링 가이드
20 : 에어실린더(승강수단) 20a : 플런져
21 : 승강판 A : 부스러기
S : 간극

Claims (9)

  1. 피검사체를 유지하는 얹어놓는대(4)와, 상기 피검사체의 전극부에 접촉시켜서 피검사체의 전기적 특성을 측정하는 다수의 수직프로우브침(1)과, 상기 프로우브침(1)에 부착한 부스러기를 제거하는 클리닝재(5)를 가지는 클리닝블록을 구비하며, 상기 클리닝재(5)가 초극세섬유로 이루어지는 천에 의하여 구성되어 있는 프로우브장치.
  2. 제1항에 있어서, 클리닝블록은, 상기 수직프로우브침(1)과 상기 클리닝재(5)가 접촉할 때에 상기 수직프로우브침(1)에 걸리는 압력을 흡수하는 탄성수단을 구비하고 있는 프로우브장치.
  3. 제2항에 있어서, 탄성수단은 스프링(18)인 프로우브장치.
  4. 제1항에 있어서, 클리닝블록은, 승강수단을 구비하고 있는 프로우브장치.
  5. 제4항에 있어서, 승강수단은, 솔레노이드 밸브에 의하여 작동하는 에어실린더(20) 또는 모우터에 의하여 동작하는 기어기구인 프로우브장치.
  6. 제1항에 있어서, 클리닝재에 붙은 부스러기를 흡인하기 위한 흡인 수단이 상기 클리닝재(5) 근방에 배치된 프로우브장치.
  7. 제1항에 있어서, 클리닝블록이 분해가능하며, 상기 클리닝재(5)를 교환할 수 있는 프로우브장치.
  8. 제1항에 있어서, 초극세섬유가 폴리아미드수지, 폴리에스테르수지로 이루어지는 군으로부터 선택된 것인 프로우브장치.
  9. 제1항에 있어서, 수직프로우브침(1)과 클리닝재(5)의 상대위치를 검출하고, 그 검출정보에 기초하여 상기 클리닝재(5)의 승강을 제어하는 수단을 더욱 구비하는 프로우브장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019920010233A 1991-06-12 1992-06-12 프로우브 장치 KR0165558B1 (ko)

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