JP2001033524A - プローブの研磨機構及びプローブ装置 - Google Patents
プローブの研磨機構及びプローブ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 図４、図５に示すように研磨時にエアシリン
ダ３の空気圧で研磨体２を支持しているが、最近ではＩ
Ｃチップの高集積化に伴ってプローブ本数が激増し、そ
の本数が２０００〜３０００本レベルに達し研磨時の研
磨体２への荷重も格段に大きくなっているため、エアシ
リンダ３の空気圧では研磨体２を十分に支持することが
できず、研磨体２が沈み込む。 【解決手段】 本発明の研磨機構３０は、研磨板３１に
その下面から垂下して支持体３３から下方へ突出するシ
ャフト３６を設けると共に水平移動可能な支持板３４に
シャフト３６が嵌入する嵌入孔３４Ａを設け、プローブ
２０Ａの研磨時には第１のエアシリンダ３２を介して研
磨板３１を押し上げてシャフト３６の突出下端を支持板
３４の嵌入孔３４Ａから抜き出した後、直進駆動機構３
５を介して支持板３４を直進させて支持板３４の嵌入孔
以外の部分でシャフト３６を支承する。
ダ３の空気圧で研磨体２を支持しているが、最近ではＩ
Ｃチップの高集積化に伴ってプローブ本数が激増し、そ
の本数が２０００〜３０００本レベルに達し研磨時の研
磨体２への荷重も格段に大きくなっているため、エアシ
リンダ３の空気圧では研磨体２を十分に支持することが
できず、研磨体２が沈み込む。 【解決手段】 本発明の研磨機構３０は、研磨板３１に
その下面から垂下して支持体３３から下方へ突出するシ
ャフト３６を設けると共に水平移動可能な支持板３４に
シャフト３６が嵌入する嵌入孔３４Ａを設け、プローブ
２０Ａの研磨時には第１のエアシリンダ３２を介して研
磨板３１を押し上げてシャフト３６の突出下端を支持板
３４の嵌入孔３４Ａから抜き出した後、直進駆動機構３
５を介して支持板３４を直進させて支持板３４の嵌入孔
以外の部分でシャフト３６を支承する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブの研磨機
構及びプローブ装置に関し、更に詳しくは半導体ウエハ
（以下、単に「ウエハ」と称す。）等の被検査体の電気
的特性検査を行う際に用いられるプローブへの付着物を
除去するプローブの研磨機構及びこの研磨機構を有する
プローブ装置に関する。
構及びプローブ装置に関し、更に詳しくは半導体ウエハ
（以下、単に「ウエハ」と称す。）等の被検査体の電気
的特性検査を行う際に用いられるプローブへの付着物を
除去するプローブの研磨機構及びこの研磨機構を有する
プローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被検査体であるウエハの電気的特性検査
には例えばプローブ装置が用いられる。プローブ装置
は、カセット内に収納されたウエハＷを搬送するローダ
室と、このローダ室内に配設された搬送機構（図示せ
ず）を介して搬送されたウエハＷの電気的特性検査を行
うプローバ室とを備えている。
には例えばプローブ装置が用いられる。プローブ装置
は、カセット内に収納されたウエハＷを搬送するローダ
室と、このローダ室内に配設された搬送機構（図示せ
ず）を介して搬送されたウエハＷの電気的特性検査を行
うプローバ室とを備えている。
【０００３】プローバ室は、ウエハＷを載置するＸ、
Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置台（メインチャッ
ク）と、このメインチャック上に載置されたウエハＷを
検査位置に正確にアライメントするアライメント機構
と、アライメント機構によりアライメントされたウエハ
の電気的検査を行うためのプローブを有するプローブカ
ードとを備え、テストヘッドを介してプローブカードと
テスタ（図示せず）間を電気的に接続し、プローブと接
触したウエハの検査を行うようになっている。
Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置台（メインチャッ
ク）と、このメインチャック上に載置されたウエハＷを
検査位置に正確にアライメントするアライメント機構
と、アライメント機構によりアライメントされたウエハ
の電気的検査を行うためのプローブを有するプローブカ
ードとを備え、テストヘッドを介してプローブカードと
テスタ（図示せず）間を電気的に接続し、プローブと接
触したウエハの検査を行うようになっている。
【０００４】ウエハＷの検査を行う時には、ウエハの電
極パッド（例えばアルミニウムによって形成されてい
る）表面に形成された自然酸化膜（酸化アルミニウムか
らなる）等をプローブによって削り取り、プローブと電
極パッドとを電気的に導通させてウエハの検査を行う
が、この検査を繰り返しているとプローブの針先に絶縁
性の酸化アルミニウム等の不純物が付着し、その後の検
査に支障を来すことがある。そこで、例えばメインチャ
ック近傍に配設された研磨機構を用いてプローブの針先
の不純物を除去し、その後の検査を支障なく行うように
している。
極パッド（例えばアルミニウムによって形成されてい
る）表面に形成された自然酸化膜（酸化アルミニウムか
らなる）等をプローブによって削り取り、プローブと電
極パッドとを電気的に導通させてウエハの検査を行う
が、この検査を繰り返しているとプローブの針先に絶縁
性の酸化アルミニウム等の不純物が付着し、その後の検
査に支障を来すことがある。そこで、例えばメインチャ
ック近傍に配設された研磨機構を用いてプローブの針先
の不純物を除去し、その後の検査を支障なく行うように
している。
【０００５】而して、従来のプローブの研磨機構は、例
えば図４に示すように、載置台（メインチャック）１に
隣接する正方形状の研磨体２と、この研磨体２を昇降さ
せる昇降駆動機構として設けられたエアシリンダ３と、
このエアシリンダ３が立設された固定台４とを備えてい
る。エアシリンダ３は研磨体１の四隅に配置され、研磨
体２を四隅で昇降するように支持している。また、固体
台４は例えばメインチャック１の側面に固定され、メイ
ンチャック１から水平に張り出している。
えば図４に示すように、載置台（メインチャック）１に
隣接する正方形状の研磨体２と、この研磨体２を昇降さ
せる昇降駆動機構として設けられたエアシリンダ３と、
このエアシリンダ３が立設された固定台４とを備えてい
る。エアシリンダ３は研磨体１の四隅に配置され、研磨
体２を四隅で昇降するように支持している。また、固体
台４は例えばメインチャック１の側面に固定され、メイ
ンチャック１から水平に張り出している。
【０００６】上記研磨機構を用いてプローブを研磨する
場合には、メインチャック１がＸ、Ｙ方向へ移動し、図
５に示すように研磨体２がプローブカード５の真下に来
る間に、研磨機構のエアシリンダ３が駆動して研磨体２
が図４の位置から図５の実線位置まで上昇する。引き続
きメインチャック１が上昇してプローブ５Ａと研磨体２
が接触する。その後、研磨のためにメインチャック１が
Ｚ方向に上昇オーバードライブして研磨体２とプローブ
５Ａが圧接した後、メインチャック１が下降し、再び上
昇する。この昇降動作を繰り返す間に、エアシリンダ３
の空気圧で研磨体２を支持した状態でプローブ５Ａの研
磨を行うことができる。
場合には、メインチャック１がＸ、Ｙ方向へ移動し、図
５に示すように研磨体２がプローブカード５の真下に来
る間に、研磨機構のエアシリンダ３が駆動して研磨体２
が図４の位置から図５の実線位置まで上昇する。引き続
きメインチャック１が上昇してプローブ５Ａと研磨体２
が接触する。その後、研磨のためにメインチャック１が
Ｚ方向に上昇オーバードライブして研磨体２とプローブ
５Ａが圧接した後、メインチャック１が下降し、再び上
昇する。この昇降動作を繰り返す間に、エアシリンダ３
の空気圧で研磨体２を支持した状態でプローブ５Ａの研
磨を行うことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブの研磨機構の場合には、研磨時にエアシリンダ
３の空気圧で研磨体２を支持しているが、最近ではＩＣ
チップの高集積化に伴ってプローブ本数が激増し、その
本数が２０００〜３０００本レベルに達し研磨時の研磨
体２への荷重も格段に大きくなっているため、エアシリ
ンダ３の空気圧では研磨体２を十分に支持することがで
きず、プローブ５Ａから荷重を受けると研磨体２が図５
の実線位置から一点鎖線位置（初期の位置）まで沈み込
み研磨を行うことができず、ひいては研磨体２に隣接す
るアライメント用のカメラを損傷する虞すらある。しか
も、研磨体２に適用し得るエアシリンダ３の能力、つま
り空気圧にも限界があるため、従来の研磨機構では最近
のプローブカード５の研磨には対応することができな
い。
プローブの研磨機構の場合には、研磨時にエアシリンダ
３の空気圧で研磨体２を支持しているが、最近ではＩＣ
チップの高集積化に伴ってプローブ本数が激増し、その
本数が２０００〜３０００本レベルに達し研磨時の研磨
体２への荷重も格段に大きくなっているため、エアシリ
ンダ３の空気圧では研磨体２を十分に支持することがで
きず、プローブ５Ａから荷重を受けると研磨体２が図５
の実線位置から一点鎖線位置（初期の位置）まで沈み込
み研磨を行うことができず、ひいては研磨体２に隣接す
るアライメント用のカメラを損傷する虞すらある。しか
も、研磨体２に適用し得るエアシリンダ３の能力、つま
り空気圧にも限界があるため、従来の研磨機構では最近
のプローブカード５の研磨には対応することができな
い。
【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、今後プローブ本数が増加し、プローブと研
磨体間の荷重が格段に増大しても安定した研磨を確実に
行うことができるプローブの研磨機構及びプローブ装置
を提供することを目的としている。
れたもので、今後プローブ本数が増加し、プローブと研
磨体間の荷重が格段に増大しても安定した研磨を確実に
行うことができるプローブの研磨機構及びプローブ装置
を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のプローブの研磨機構は、被検査体の載置台に隣接し、
この載置台の上方に固定されたプローブカードのプロー
ブを研磨する研磨機構において、上記プローブを研磨す
る昇降可能な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆
動機構と、この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨
体を下降端で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された
支持体と、この支持体を支承する水平移動可能な支持板
と、この支持板を水平方向に直進させる直進駆動機構と
を備え、上記研磨板にはその下面から垂下して上記支持
体から下方へ突出するシャフトを設けると共に上記支持
板には上記シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プロ
ーブの研磨時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨板
を押し上げて上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から
抜き出した後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を
直進させて上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフ
トを支承することを特徴とするものである。
のプローブの研磨機構は、被検査体の載置台に隣接し、
この載置台の上方に固定されたプローブカードのプロー
ブを研磨する研磨機構において、上記プローブを研磨す
る昇降可能な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆
動機構と、この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨
体を下降端で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された
支持体と、この支持体を支承する水平移動可能な支持板
と、この支持板を水平方向に直進させる直進駆動機構と
を備え、上記研磨板にはその下面から垂下して上記支持
体から下方へ突出するシャフトを設けると共に上記支持
板には上記シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プロ
ーブの研磨時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨板
を押し上げて上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から
抜き出した後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を
直進させて上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフ
トを支承することを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明の請求項２に記載のプローブ
の研磨機構は、請求項１に記載の発明において、上記昇
降駆動機構としてエアシリンダを設けたことを特徴とす
るものである。
の研磨機構は、請求項１に記載の発明において、上記昇
降駆動機構としてエアシリンダを設けたことを特徴とす
るものである。
【００１１】また、本発明の請求項３に記載のプローブ
の研磨機構は、請求項１に記載の発明において、上記昇
降駆動機構として上記直進駆動機構を介して駆動するカ
ム及びカムフォロワを設けたことを特徴とするものであ
る。
の研磨機構は、請求項１に記載の発明において、上記昇
降駆動機構として上記直進駆動機構を介して駆動するカ
ム及びカムフォロワを設けたことを特徴とするものであ
る。
【００１２】また、本発明の請求項４に記載のプローブ
装置は、被検査体の載置台と、この載置台の上方に配置
されたプローブカードと、このプローブカードのプロー
ブを研磨する研磨機構とを備えたプローブ装置におい
て、上記研磨機構は、上記プローブを研磨する昇降可能
な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆動機構と、
この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨体を下降端
で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された支持体と、
この支持体を支承する水平移動可能な支持板と、この支
持板を水平方向に直進させる直進駆動機構とを備え、上
記研磨板にはその下面から垂下して上記支持体から下方
へ突出するシャフトを設けると共に上記支持板には上記
シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プローブの研磨
時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨板を押し上げ
て上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から抜き出した
後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を直進させて
上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフトを支承す
ることを特徴とするものである。
装置は、被検査体の載置台と、この載置台の上方に配置
されたプローブカードと、このプローブカードのプロー
ブを研磨する研磨機構とを備えたプローブ装置におい
て、上記研磨機構は、上記プローブを研磨する昇降可能
な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆動機構と、
この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨体を下降端
で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された支持体と、
この支持体を支承する水平移動可能な支持板と、この支
持板を水平方向に直進させる直進駆動機構とを備え、上
記研磨板にはその下面から垂下して上記支持体から下方
へ突出するシャフトを設けると共に上記支持板には上記
シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プローブの研磨
時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨板を押し上げ
て上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から抜き出した
後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を直進させて
上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフトを支承す
ることを特徴とするものである。
【００１３】また、本発明の請求項５に記載のプローブ
装置は、請求項４に記載の発明において、上記昇降駆動
機構としてエアシリンダを設けたことを特徴とするもの
である。
装置は、請求項４に記載の発明において、上記昇降駆動
機構としてエアシリンダを設けたことを特徴とするもの
である。
【００１４】また、本発明の請求項６に記載のプローブ
装置は、請求項４に記載の発明において、上記昇降駆動
機構として上記直進駆動機構を介して駆動するカム及び
カムフォロワを設けたことを特徴とするものである。
装置は、請求項４に記載の発明において、上記昇降駆動
機構として上記直進駆動機構を介して駆動するカム及び
カムフォロワを設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図３に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブの
研磨機構（以下、単に「研磨機構」と称す。）及びこの
研磨装置を有するプローブ装置について説明する。本実
施形態のプローブ装置１０は、例えば図１に示すよう
に、カセットＣ内に収納されたウエハＷを搬送するロー
ダ室１１と、このローダ室１１から搬送されたウエハＷ
を検査するプローバ室１２と、このプローバ室１２及び
ローダ室１１を制御するコントローラ１３と、このコン
トローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１
４とを備えている。
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブの
研磨機構（以下、単に「研磨機構」と称す。）及びこの
研磨装置を有するプローブ装置について説明する。本実
施形態のプローブ装置１０は、例えば図１に示すよう
に、カセットＣ内に収納されたウエハＷを搬送するロー
ダ室１１と、このローダ室１１から搬送されたウエハＷ
を検査するプローバ室１２と、このプローバ室１２及び
ローダ室１１を制御するコントローラ１３と、このコン
トローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１
４とを備えている。
【００１６】上記ローダ室１１は、ウエハ搬送機構１５
及びサブチャック１６を備え、ウエハ搬送機構１５でウ
エハＷをプローバ室１２へ搬送する間にサブチャック１
６を介してオリエンテーションフラットまたはノッチを
基準にしたウエハＷのプリアライメントを行う。
及びサブチャック１６を備え、ウエハ搬送機構１５でウ
エハＷをプローバ室１２へ搬送する間にサブチャック１
６を介してオリエンテーションフラットまたはノッチを
基準にしたウエハＷのプリアライメントを行う。
【００１７】また、上記プローバ室１２は、駆動機構１
７を介してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する温度調節可
能なメインチャック１８と、このメインチャック１８上
に載置されたウエハＷを正確にアライメントするアライ
メント機構１９と、アライメント機構１９によりアライ
メントされたウエハＷの電気的検査を行うためのプロー
ブとしてのプローブ２０Ａを有するプローブカード２０
とを備えている。アライメント機構１９は、例えば上下
のＣＣＤカメラ１９Ａ（図１では上方のＣＣＤカメラの
みを図示し、下方のＣＣＤカメラ（図示せず）は例えば
メインチャックに付設されている。）と、上方のＣＣＤ
カメラ１９Ａが下向きに配設されたアライメントブリッ
ジ１９Ｂと、このアライメントブリッジ１９ＢがＹ方向
に移動案内する一対のガイドレール１９Ｃとを備えてい
る。プローブカード２０はプローバ室１２の上面に対し
て開閉可能なヘッドプレートの中央の開口部にインサー
トリングを介して固定されている。そして、テストヘッ
ド（図示せず）がプローバ室１２のプローブカード２０
上へ移動し、プローブカード２０とテスタ（図示せず）
間を電気的に中継し、テスタからの所定の信号をプロー
ブカード２０を介してメインチャック１８上のウエハＷ
において授受し、ウエハＷに形成された複数のチップの
電気的検査をテスタによって順次行う。
７を介してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する温度調節可
能なメインチャック１８と、このメインチャック１８上
に載置されたウエハＷを正確にアライメントするアライ
メント機構１９と、アライメント機構１９によりアライ
メントされたウエハＷの電気的検査を行うためのプロー
ブとしてのプローブ２０Ａを有するプローブカード２０
とを備えている。アライメント機構１９は、例えば上下
のＣＣＤカメラ１９Ａ（図１では上方のＣＣＤカメラの
みを図示し、下方のＣＣＤカメラ（図示せず）は例えば
メインチャックに付設されている。）と、上方のＣＣＤ
カメラ１９Ａが下向きに配設されたアライメントブリッ
ジ１９Ｂと、このアライメントブリッジ１９ＢがＹ方向
に移動案内する一対のガイドレール１９Ｃとを備えてい
る。プローブカード２０はプローバ室１２の上面に対し
て開閉可能なヘッドプレートの中央の開口部にインサー
トリングを介して固定されている。そして、テストヘッ
ド（図示せず）がプローバ室１２のプローブカード２０
上へ移動し、プローブカード２０とテスタ（図示せず）
間を電気的に中継し、テスタからの所定の信号をプロー
ブカード２０を介してメインチャック１８上のウエハＷ
において授受し、ウエハＷに形成された複数のチップの
電気的検査をテスタによって順次行う。
【００１８】図１に示すようにメインチャック１８には
本実施形態の研磨機構３０が付設されている。本実施形
態の研磨機構３０とメインチャック１８の一部を拡大し
て示したものが図２の（ａ）〜（ｃ）である。この研磨
機構３０は、同図の（ａ）に示すように、プローブ２０
Ａを研磨する昇降可能な正方形（例えば、一辺が１００
ｍｍ前後）の研磨体３１と、この研磨体３１を昇降させ
る昇降駆動機構（例えば、第１のエアシリンダ）３２
と、このエアシリンダ３２を介して昇降する研磨体３１
を下降端で支承し且つメインチャック１８の近傍に固定
された矩形状の支持体３３と、この支持体３３を支承す
る水平移動可能な支持板３４と、この支持板３４を水平
方向に直進させる直進駆動機構３５とを備えている。上
記研磨板３１の下面の四隅には４本のシャフト３６が連
結され、これらのシャフト３６はそれぞれ研磨板３１か
ら垂下し、その下端が支持体３３の下面から突出してい
る。図２の（ａ）に示すように上記支持板３４には支持
体３３から突出した左側２本のシャフト３６の下端が嵌
入する嵌入孔３４Ａが幅方向所定間隔を隔てて２箇所に
設けられ、研磨機構３０を使用しない時には２本のシャ
フト３６の下端が対応する嵌入孔３４Ａ内にそれぞれ嵌
入している。
本実施形態の研磨機構３０が付設されている。本実施形
態の研磨機構３０とメインチャック１８の一部を拡大し
て示したものが図２の（ａ）〜（ｃ）である。この研磨
機構３０は、同図の（ａ）に示すように、プローブ２０
Ａを研磨する昇降可能な正方形（例えば、一辺が１００
ｍｍ前後）の研磨体３１と、この研磨体３１を昇降させ
る昇降駆動機構（例えば、第１のエアシリンダ）３２
と、このエアシリンダ３２を介して昇降する研磨体３１
を下降端で支承し且つメインチャック１８の近傍に固定
された矩形状の支持体３３と、この支持体３３を支承す
る水平移動可能な支持板３４と、この支持板３４を水平
方向に直進させる直進駆動機構３５とを備えている。上
記研磨板３１の下面の四隅には４本のシャフト３６が連
結され、これらのシャフト３６はそれぞれ研磨板３１か
ら垂下し、その下端が支持体３３の下面から突出してい
る。図２の（ａ）に示すように上記支持板３４には支持
体３３から突出した左側２本のシャフト３６の下端が嵌
入する嵌入孔３４Ａが幅方向所定間隔を隔てて２箇所に
設けられ、研磨機構３０を使用しない時には２本のシャ
フト３６の下端が対応する嵌入孔３４Ａ内にそれぞれ嵌
入している。
【００１９】上記研磨体３１は、図１に示すように、研
磨紙（図示せず）が貼着された研磨板３１Ａと、この研
磨板３１Ａを真空吸着する吸着板３１Ｂとからなり、メ
インチャック１８の載置面よりも低く位置している。こ
の吸着板３１Ｂ内には上面の複数箇所で開口する真空排
気路が形成され、この真空排気路に接続された真空排気
装置を介して真空排気し、吸着板３１Ｂ上面に配置され
た研磨板３１Ａを吸着固定する。また、研磨板３１Ａの
表面は粘着剤を介して貼着された研磨紙からなってい
る。
磨紙（図示せず）が貼着された研磨板３１Ａと、この研
磨板３１Ａを真空吸着する吸着板３１Ｂとからなり、メ
インチャック１８の載置面よりも低く位置している。こ
の吸着板３１Ｂ内には上面の複数箇所で開口する真空排
気路が形成され、この真空排気路に接続された真空排気
装置を介して真空排気し、吸着板３１Ｂ上面に配置され
た研磨板３１Ａを吸着固定する。また、研磨板３１Ａの
表面は粘着剤を介して貼着された研磨紙からなってい
る。
【００２０】上記支持体３３はブラケット（図示せず）
を介して取付台３７上に固定されている。この支持体３
３の四隅には研磨板３１の４本のシャフト３６に対応す
る貫通孔が形成され、これらの貫通孔をこれらに対応す
るシャフト３６がそれぞれ貫通している。この支持体３
３の中心部には深い凹陥部３３Ａが形成されている。こ
の凹陥部３３Ａ内には第１のエアシリンダ３２が固定さ
れ、このエアシリンダ３２のシリンダロッド３２Ａの伸
縮で研磨板３１が支持体３３の上面で昇降する。
を介して取付台３７上に固定されている。この支持体３
３の四隅には研磨板３１の４本のシャフト３６に対応す
る貫通孔が形成され、これらの貫通孔をこれらに対応す
るシャフト３６がそれぞれ貫通している。この支持体３
３の中心部には深い凹陥部３３Ａが形成されている。こ
の凹陥部３３Ａ内には第１のエアシリンダ３２が固定さ
れ、このエアシリンダ３２のシリンダロッド３２Ａの伸
縮で研磨板３１が支持体３３の上面で昇降する。
【００２１】上記直進駆動機構３５は、図２の（ａ）に
示すように、取付台３７上に平行して配設された２本の
ガイドレール３５Ａと、これらのガイドレール３５Ａの
２箇所で係合し且つ支持板３４の下面にそれぞれ固定さ
れた４個の係合部材３５Ｂと、支持板３４の右端面に連
結板３５Ｃを介して連結され且つ取付台３７上に固定さ
れた第２のエアシリンダ３５Ｄとを備え、シャフト３６
が第１のエアシリンダ３２を介して支持板３４の嵌入孔
３４Ａから抜け出した状態でエアシリンダ３５Ｄが駆動
して支持板３４をガイドレール３５Ａに従って左右方向
に直進させる。
示すように、取付台３７上に平行して配設された２本の
ガイドレール３５Ａと、これらのガイドレール３５Ａの
２箇所で係合し且つ支持板３４の下面にそれぞれ固定さ
れた４個の係合部材３５Ｂと、支持板３４の右端面に連
結板３５Ｃを介して連結され且つ取付台３７上に固定さ
れた第２のエアシリンダ３５Ｄとを備え、シャフト３６
が第１のエアシリンダ３２を介して支持板３４の嵌入孔
３４Ａから抜け出した状態でエアシリンダ３５Ｄが駆動
して支持板３４をガイドレール３５Ａに従って左右方向
に直進させる。
【００２２】次に、動作について説明する。ウエハＷの
検査によりプローブ２０Ａに酸化アルミニウム等の不純
物が付着すると、研磨機構３０を用いてプローブ３１Ａ
の針先を研磨する。それには、例えば制御装置１３の制
御下でメインチャック１８がＸ、Ｙ方向に移動し、研磨
機構３０がプローブカード２０の真下に到達する。研磨
機構３０がプローブカード２０の真下に達するまでの
間、制御装置１３の制御下で研磨機構３０の第１のエア
シリンダ３２が駆動して研磨板３１を図２の（ａ）に示
す状態から同図の（ｂ）の白抜きの矢印で示すように持
ち上げて停止すると、４本のシャフト３６が支持板３４
のそれぞれの嵌入孔３４Ａから抜け出す。この状態で直
進駆動機構３５のエアシリンダ３５Ｄが駆動すると、ロ
ッドが縮んで支持板３４がガイドレール３５Ａに従って
図２の（ｂ）の矢印方向（右方）へ直進して停止する
と、同図の（ｃ）に示すように支持板３４の上面で４本
のシャフト３６を支持する位置に到達する。
検査によりプローブ２０Ａに酸化アルミニウム等の不純
物が付着すると、研磨機構３０を用いてプローブ３１Ａ
の針先を研磨する。それには、例えば制御装置１３の制
御下でメインチャック１８がＸ、Ｙ方向に移動し、研磨
機構３０がプローブカード２０の真下に到達する。研磨
機構３０がプローブカード２０の真下に達するまでの
間、制御装置１３の制御下で研磨機構３０の第１のエア
シリンダ３２が駆動して研磨板３１を図２の（ａ）に示
す状態から同図の（ｂ）の白抜きの矢印で示すように持
ち上げて停止すると、４本のシャフト３６が支持板３４
のそれぞれの嵌入孔３４Ａから抜け出す。この状態で直
進駆動機構３５のエアシリンダ３５Ｄが駆動すると、ロ
ッドが縮んで支持板３４がガイドレール３５Ａに従って
図２の（ｂ）の矢印方向（右方）へ直進して停止する
と、同図の（ｃ）に示すように支持板３４の上面で４本
のシャフト３６を支持する位置に到達する。
【００２３】上述のようにして研磨板３１が研磨位置
（メインチャック１８の載置面よりも若干高い位置）に
達すると共にプローブカード２０の真下に来ると、制御
装置１３の制御下でメインチャック１８が駆動し、Ｚ方
向に上昇し、図２の（ｃ）に示すように研磨板３１とプ
ローブ２０Ａが接触し、更にメインチャック１８がオー
バドライブと下降を繰り返して研磨板３１でプローブ２
０Ａを研磨する。この際、プローブ２０Ａと研磨板３１
の間に働く荷重を第１のエアシリンダ３２の空気圧で支
えきれなくても、４本のシャフト３６が支持板３４で確
実に支持されているため、研磨板３１は上昇端から沈む
ことなく、安定した状態で確実にプローブ２０Ａを研磨
することができる。
（メインチャック１８の載置面よりも若干高い位置）に
達すると共にプローブカード２０の真下に来ると、制御
装置１３の制御下でメインチャック１８が駆動し、Ｚ方
向に上昇し、図２の（ｃ）に示すように研磨板３１とプ
ローブ２０Ａが接触し、更にメインチャック１８がオー
バドライブと下降を繰り返して研磨板３１でプローブ２
０Ａを研磨する。この際、プローブ２０Ａと研磨板３１
の間に働く荷重を第１のエアシリンダ３２の空気圧で支
えきれなくても、４本のシャフト３６が支持板３４で確
実に支持されているため、研磨板３１は上昇端から沈む
ことなく、安定した状態で確実にプローブ２０Ａを研磨
することができる。
【００２４】以上説明したように本実施形態によれば、
研磨板３１にはその下面から垂下して支持体３３から下
方へ突出するシャフト３６を設けると共に水平移動可能
な支持板３４にはシャフト３６が嵌入する嵌入孔３４Ａ
を設け、プローブ２０Ａの研磨時には第１のエアシリン
ダ３２を介して研磨板３１を押し上げてシャフト３６の
突出下端を支持板３４の嵌入孔３４Ａから抜き出した
後、直進駆動機構３５を介して支持板３４を直進させて
支持板３４の嵌入孔以外の部分でシャフト３６を支承す
るようにしたため、研磨時にプローブ２０Ａと研磨板３
１の間に第１のエアシリンダ３２の支持力を超える荷重
を受けても研磨板３１は沈むことがなく、プローブ２０
Ａを確実に安定した研磨を行うことができる。
研磨板３１にはその下面から垂下して支持体３３から下
方へ突出するシャフト３６を設けると共に水平移動可能
な支持板３４にはシャフト３６が嵌入する嵌入孔３４Ａ
を設け、プローブ２０Ａの研磨時には第１のエアシリン
ダ３２を介して研磨板３１を押し上げてシャフト３６の
突出下端を支持板３４の嵌入孔３４Ａから抜き出した
後、直進駆動機構３５を介して支持板３４を直進させて
支持板３４の嵌入孔以外の部分でシャフト３６を支承す
るようにしたため、研磨時にプローブ２０Ａと研磨板３
１の間に第１のエアシリンダ３２の支持力を超える荷重
を受けても研磨板３１は沈むことがなく、プローブ２０
Ａを確実に安定した研磨を行うことができる。
【００２５】図３は本発明の他の実施形態の研磨機構４
０を示す図である。本実施形態の研磨機構４０は研磨板
４１の昇降駆動機構４２及び支持体４３の構造を異にす
る以外は上記実施形態の研磨機構３０に準じて構成され
ている。この昇降駆動機構４２は、図３の（ａ）に示す
ように、カム４２Ａ及びカムフォロワ（例えば、ベアリ
ング）４２Ｂとから構成されている。カム４２Ａは支持
板４４の幅方向中央でその左端から右方へ延設され、カ
ムフォロワ４２Ｂは研磨板４１に連結部材（図示せず）
を介して連結、固定されている。また、支持体４３は、
支持板４４の四隅に対応して配設された外径が矩形状の
４本のシリンダを主体に構成され、これらのシリンダ内
に４本のシャフト４６が摺動自在に嵌入し、研磨機構４
０を使用しない時にはシャフト４６の下端が支持板４４
の嵌入孔４４Ａ内に嵌入している。また、図示してない
が各シリンダは支持体４３として一体化して取付台４７
上にブラケット等を介して固定されている。
０を示す図である。本実施形態の研磨機構４０は研磨板
４１の昇降駆動機構４２及び支持体４３の構造を異にす
る以外は上記実施形態の研磨機構３０に準じて構成され
ている。この昇降駆動機構４２は、図３の（ａ）に示す
ように、カム４２Ａ及びカムフォロワ（例えば、ベアリ
ング）４２Ｂとから構成されている。カム４２Ａは支持
板４４の幅方向中央でその左端から右方へ延設され、カ
ムフォロワ４２Ｂは研磨板４１に連結部材（図示せず）
を介して連結、固定されている。また、支持体４３は、
支持板４４の四隅に対応して配設された外径が矩形状の
４本のシリンダを主体に構成され、これらのシリンダ内
に４本のシャフト４６が摺動自在に嵌入し、研磨機構４
０を使用しない時にはシャフト４６の下端が支持板４４
の嵌入孔４４Ａ内に嵌入している。また、図示してない
が各シリンダは支持体４３として一体化して取付台４７
上にブラケット等を介して固定されている。
【００２６】従って、研磨時には、直進駆動機構４５が
駆動し、支持板４４が図３の（ａ）の矢印で示す方向へ
移動すると、支持板４４上のカム４２Ａが支持板４４と
一緒に矢印方向へ移動すると共に、研磨板４１及びシャ
フト４６がカムフォロワ４２Ｂを介して急激に上昇し、
シャフト４６が支持板４４の嵌入孔４４Ａから抜け出
し、引き続き支持板４４が矢印方向へ移動した後、支持
板４４はカムフォロワ４２Ｂを介してカム４２Ａの窪み
部分で停止する。この時、研磨板４１はメインチャック
１８の載置面よりも若干高い位置にあり、しかもその位
置では研磨板４１はシャフト４６を介して支持板４４上
面で支持されている。従って、本実施形態においても上
記実施形態と同様の作用効果を期することができる。
駆動し、支持板４４が図３の（ａ）の矢印で示す方向へ
移動すると、支持板４４上のカム４２Ａが支持板４４と
一緒に矢印方向へ移動すると共に、研磨板４１及びシャ
フト４６がカムフォロワ４２Ｂを介して急激に上昇し、
シャフト４６が支持板４４の嵌入孔４４Ａから抜け出
し、引き続き支持板４４が矢印方向へ移動した後、支持
板４４はカムフォロワ４２Ｂを介してカム４２Ａの窪み
部分で停止する。この時、研磨板４１はメインチャック
１８の載置面よりも若干高い位置にあり、しかもその位
置では研磨板４１はシャフト４６を介して支持板４４上
面で支持されている。従って、本実施形態においても上
記実施形態と同様の作用効果を期することができる。
【００２７】尚、本発明は上記各実施形態に何等制限さ
れるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計
変更することができる。例えばカム及びカムフォロワは
支持板の幅方向中央以外、例えば幅方向の両端に配設し
ても良い。また、図２の支持体３３も図３の支持体４３
と同様の構造にしても良い。この場合には第１のエアシ
リンダ３２は例えば支持体であるシリンダ間を連結する
連結板上に固定すれば良い。
れるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計
変更することができる。例えばカム及びカムフォロワは
支持板の幅方向中央以外、例えば幅方向の両端に配設し
ても良い。また、図２の支持体３３も図３の支持体４３
と同様の構造にしても良い。この場合には第１のエアシ
リンダ３２は例えば支持体であるシリンダ間を連結する
連結板上に固定すれば良い。
【００２８】
【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項６に記載の発
明によれば、今後プローブ本数が増加し、プローブと研
磨体間の荷重が格段に増大しても安定した研磨を確実に
行うことができるプローブの研磨機構及びプローブ装置
を提供することができる。
明によれば、今後プローブ本数が増加し、プローブと研
磨体間の荷重が格段に増大しても安定した研磨を確実に
行うことができるプローブの研磨機構及びプローブ装置
を提供することができる。
【図１】本発明の一実施形態のプローブ装置の一部を破
断して示す斜視図である。
断して示す斜視図である。
【図２】図１に示す用いられた本実施形態の研磨機構の
動作を説明するための要部断面図で、（ａ）は動作前の
状態を示す図、（ｂ）は研磨板を押し上げた状態を示す
図、（ｃ）はプローブを研磨する状態を示す図である。
動作を説明するための要部断面図で、（ａ）は動作前の
状態を示す図、（ｂ）は研磨板を押し上げた状態を示す
図、（ｃ）はプローブを研磨する状態を示す図である。
【図３】本発明の他の実施形態の研磨機構の動作を示す
図１に相当する図で、（ａ）は動作前の状態を示す図、
（ｂ）はプローブを研磨する状態を示す図である。
図１に相当する図で、（ａ）は動作前の状態を示す図、
（ｂ）はプローブを研磨する状態を示す図である。
【図４】従来の研磨機構を示す側面図である。
【図５】図４に示す研磨機構でプローブを研磨する状態
を示す側面図である。
を示す側面図である。
１０ プローブ装置 １８ メインチャック（載置台） ２０ プローブカード ２０Ａ プローブ ３０、４０ プローブの研磨機構 ３１、４１ 研磨体 ３２ 第１のエアシリンダ（昇降駆動機構） ４２ 昇降駆動機構 ４２Ａ カム ４２Ｂ カムフォロワ ３３、４３ 支持体 ３４、４４ 支持板 ３４Ａ、４４Ａ 嵌入孔 ３５、４５ 直進駆動機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AA17 AB07 AC13 AC14 AC21 AE03 AF07 2G032 AB01 AE01 AE09 AE11 AF02 AL03 3C034 AA13 AA19 BB88 DD20 4M106 AA02 BA01 BA14 DD18 9A001 HH34 JJ45 KK37 LL05
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査体の載置台に隣接し、この載置台
の上方に固定されたプローブカードのプローブを研磨す
る研磨機構において、上記プローブを研磨する昇降可能
な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆動機構と、
この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨体を下降端
で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された支持体と、
この支持体を支承する水平移動可能な支持板と、この支
持板を水平方向に直進させる直進駆動機構とを備え、上
記研磨板にはその下面から垂下して上記支持体から下方
へ突出するシャフトを設けると共に上記支持板には上記
シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プローブの研磨
時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨板を押し上げ
て上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から抜き出した
後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を直進させて
上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフトを支承す
ることを特徴とするプローブの研磨機構。 - 【請求項２】 上記昇降駆動機構としてエアシリンダを
設けたことを特徴とする請求項１に記載のプローブの研
磨機構。 - 【請求項３】 上記昇降駆動機構として上記直進駆動機
構を介して駆動するカム及びカムフォロワを設けたこと
を特徴とする請求項１に記載のプローブの研磨機構。 - 【請求項４】 被検査体の載置台と、この載置台の上方
に配置されたプローブカードと、このプローブカードの
プローブを研磨する研磨機構とを備えたプローブ装置に
おいて、上記研磨機構は、上記プローブを研磨する昇降
可能な研磨体と、この研磨体を昇降させる昇降駆動機構
と、この昇降駆動機構を介して昇降する上記研磨体を下
降端で支承し且つ上記載置台の近傍に固定された支持体
と、この支持体を支承する水平移動可能な支持板と、こ
の支持板を水平方向に直進させる直進駆動機構とを備
え、上記研磨板にはその下面から垂下して上記支持体か
ら下方へ突出するシャフトを設けると共に上記支持板に
は上記シャフトが嵌入する嵌入孔を設け、上記プローブ
の研磨時には上記昇降駆動機構を介して上記研磨板を押
し上げて上記シャフトの突出下端を上記嵌入孔から抜き
出した後、上記直進駆動機構を介して上記支持板を直進
させて上記支持板の嵌入孔以外の部分で上記シャフトを
支承することを特徴とするプローブ装置。 - 【請求項５】 上記昇降駆動機構としてエアシリンダを
設けたことを特徴とする請求項４に記載のプローブ装
置。 - 【請求項６】 上記昇降駆動機構として上記直進駆動機
構を介して駆動するカム及びカムフォロワを設けたこと
を特徴とする請求項４に記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20947299A JP4123400B2 (ja) | 1999-07-23 | 1999-07-23 | プローブの研磨機構及びプローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20947299A JP4123400B2 (ja) | 1999-07-23 | 1999-07-23 | プローブの研磨機構及びプローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001033524A true JP2001033524A (ja) | 2001-02-09 |
| JP4123400B2 JP4123400B2 (ja) | 2008-07-23 |
Family
ID=16573429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20947299A Expired - Lifetime JP4123400B2 (ja) | 1999-07-23 | 1999-07-23 | プローブの研磨機構及びプローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4123400B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936545B1 (ko) * | 2007-01-26 | 2010-01-11 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 스테이지 기구 |
| JP2010048789A (ja) * | 2008-08-25 | 2010-03-04 | Tokyo Electron Ltd | プローブの研磨方法、プローブ研磨用プログラム及びプローブ装置 |
| CN109387671A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-02-26 | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 | 一种探针台台面气动升降系统 |
| CN114770245A (zh) * | 2022-05-07 | 2022-07-22 | 鹰潭市云探电子科技有限公司 | 一种pogopin探针针管打磨装置 |
-
1999
- 1999-07-23 JP JP20947299A patent/JP4123400B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936545B1 (ko) * | 2007-01-26 | 2010-01-11 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 스테이지 기구 |
| JP2010048789A (ja) * | 2008-08-25 | 2010-03-04 | Tokyo Electron Ltd | プローブの研磨方法、プローブ研磨用プログラム及びプローブ装置 |
| CN109387671A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-02-26 | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 | 一种探针台台面气动升降系统 |
| CN114770245A (zh) * | 2022-05-07 | 2022-07-22 | 鹰潭市云探电子科技有限公司 | 一种pogopin探针针管打磨装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4123400B2 (ja) | 2008-07-23 |
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