KR960000734A - 다중 기판 전달 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 그 중심부에 회전운동을 하는 원형의 회전자(13)가 형성되고, 그 상부 표면은 기판 전달 이동 방향을 안내하는 가이드 수단(12,18,19)이 형성된 지지판, 일측단은 상기 회전자(13)에 고정되고 타측단은 기판이 올려지며, 상기 가이드 수단(12,18,19)과 결합되는 가이드 결합수단(5,16,17)이 구성되어 기판을 전달하는 기판 전달암을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 기판 전달장치에 관한 것이다.
그리고, 본 발명은 다수의 기판 전달암이 형성되어 특정장비에서 기판의 이동을 여러장 동시에 수행함으로, 공정시간의 단축을 가져와 반도체 소자의 생산력을 향상시키며, 장비 구매 갯수의 감소로 인한 비용절감의 효과를 가져온다.

Description

다중 기판 전달 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 기판 전달장치가 이용되는 반도체 장치의 구성 예시도.
제5도는 기판 전달 모듈의 일부를 포함한 기판 전달암의 전진상태 측면도.
제7도는 기판 전달 모듈내의 기판 전달암의 후진상태 평면도.
제8도는 기판 전달 모듈내의 마그네틱 배치를 표시한 평면도.

Claims (4)

  1. 기판 전달 장치에 있어서, 그 중심부에 회전운동을 하는 원형의 회전자(13)가 형성되고, 그 상부 표면은 기판 전달 이동 방향을 안내하는 가이드 수단(12,18,19)이 형성된 지지판, 일측단은 상기 회전자(13)에 고정되고 타측단은 기판이 올려지며, 상기 가이드 수단(12,18,19)과 결합되는 가이드 결합수단(5,16,17)이 구성되어 기판을 전달하는 다수의 기판 전달암을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 기판 전달장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 전달암은, 회전자(13)에 고정되는 일측단에 형성되는 원통형의 구동중심롤러(1), 상기 기판 전달암 타측에 형성되는 기판 로더판(7), 상기 기판 로더판(7)을 지지하는 원통형의 기판 로더판 지지롤러(6), 상기 구동중심롤러(1) 및 기판 로더판 지지롤러(6)를 연결하는 롤러 연결판(2), 상기 구동중심롤러(1)가 고정된 회전자(13)방향으로 기판 로더판(6)의 구동을 위해 상기 롤러연결판(2)이 굴절되도록 구동중심롤러(1) 및 기판 로더판 지지롤러(6)사이에 형성된 다수의 굴절수단(3,4)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 기판 전달 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가이드 수단(12,18,19)과 가이드 결합수단(5,16,17)은 서로 다른 극성을 가지는 자석(12,5)인 것을 특징으로 하는 다중 기판 전달 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가이드 수단(12,18,19)은 기판 전달 이동로를 따라 형성된 가이드 홈(18,19)이고, 가이드 결합수단(5,16,17)은 상기 홈(18,19)을 따라 이동하는 가이드봉(16,17)인 것을 특징으로 하는 다중 기판 전달장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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