TW203034B - - Google Patents

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,030^4 Α6 Β6 五、發明説明 本發明偽有關於塗敷玻璃的裝置，並且，更持別問5全 從共同反應在玻璃表面形成塗膜的氣體反應物，將塗膜應 用於熱玻璃的移動帶上的裝置。 吾人熟知，建築應用上所需性質的塗膜，可利用熱玻 璃表面分解的氣體反應物來産生。因此，如太陽控制的塗 膜一樣有用的矽塗膜，曾在熱玻璃表面熱解含矽烷的氣鏝 而産生，並且，曾有許多建議，從其它合適的氣證反應物 生産出其它太陽控制和低放射率（強红外線反射）的塗膜 c不幸地，在商業應用上，要逹到所需厚度的足夠均匀塗 膜己被證實是困難的。 ~ 以吾人UK專利說_晝:1,507,996中所述之該塗膜的敷玻 璃之典型方法及儀器，藉使氣體以庖流狀態平行於玻璃表 面流動，從反應物氣諠製成均匀的塗膜。在此規範中，對 於在逹到玻璃表面之前，易於共同反應的反應物混合物之 使用，並無持別的規定。 經濟部中央標準局印- (請先M"背面之注意事項兵填寫本頁) •打·- UK專利說明書1, 5 1 S , 0 3 2描逑一値利用流證介質的塗敷 玻璃方法，一値或多値液態或氣態的塗敷反應物，其 以一傾或多_導向熱玻璃上，其中，至少有一®具有帶 饶移動方向上的速度分量，並且，與帶筷表面的傾斜角度 (或平均角度）不超過60。。本發明的應用.可得到塗膜 的持性為结晶規則排列之均勻结構特性的玻璃接筠層。其 中，兩個或多餾成份需共同反應，這些可绖由相郯的噴嘴 ，以分開的氣流供應，每一値以相對於玻璃表面為銳角來 供應反應物氣流，使得反應物在玻璃附近接辑；或是利用 甲 4(210X297 公发） 78. 8. 3,000 Α6 Β6 經濟部中央標準局印裝 五、發明説明（） 單一噴垛供應反應物的第一値氣流，並利用第一痼氣流的 動量和傾斜，將做為第二儲反應物的空氣氣流引至反應區 。一傾排氣導管被置於塗敷區下游，以移除塗敷區的氣髏 ，並且，通風楠與玻璃表面可用以界限出玻璃上方的流體 循環路程，而遠離玻璃上方之流髏氣流的衝擊區。 ϋΚ葡1|_書1.524.326描述一個方法，其中，使氣疆 介質沿著被塗敷的作用物流動，沿著被玻璃面部分界限的 流諼循琛路程實質上為無湍動層；流髏循琛路程到逹從玻 璃移除殘留氣鐙的排氣導管。將氣體反應物引入流體循環 路程，經由入口槽進入流饈循琛路程的上游端，入口槽披 定位於以銳角共同引入氣髏反應物至玻璃。 UK專利說明耆2, 026, 454 Β待別有闊於在熱玻璃上形成氣 化錫塗膜的方法，其利用含有四氮化錫和水蒸汽的氣鋟介 質。在持別地較佳實施例中，使含有四氮化錫蒸汽的氮載 Η氣流沿著披塗敷的玻璃面流動，並且，含有水蒸汽之空 氣箱:流被送至沿箸該面流動處的氣流中。有如氟化氫的摻 雜劑，可分開地或混以溼空氣地飼至作用物表面。氣流較 佳地由引入氣流至塗敷台或淺流髏循環路程形成的室而被 飼至玻璃表面，氣流.實質上為無湍動厣，經過流鹾循環路 程至從玻璃移除留氣體的排氣導管。經由導至塗敷台或室 頂部的飼入導管，將氣流引至塗敷室，此飼入導管在披璃 帶移動方向上，以相對水平面45°銳角，向上及向下地傾 斜。 在熱玻璃作用物上，生産氣化錫塗膜的另一値方法説 (請先閱讀背面之注意事項再蜞寫本頁) •泉· 甲 4(210X297 公沒） 經濟部中央榡準局印裂 2030 ⑽ A6 __ B6 五、發明説明（） 明於UK專利說明書No. 20 3：3 3 74 B。此專利中，儀器類似於上 述Μ寒利說明書中所使用的儀器，但是該儀器在第一餾塗敷 室上游，包含一艟額外的塗敷室，乃為了在沈積氣化錫塗 膜之前，先在玻璃作用物上，沈積一金屬氣化物底層。 另一痼方法述於UK專利申請案GB 2 , 184,748Α ,塗膜前 身和萆化氣體在塗敷室上游端，披引至玻璃上方的混合區 。供應熱到混合區，且塗膜前身和氣化氣饈暴於作用物時 ，在混合區完全混合，但是須在一値高度，使得塗膜的形 成始於實質上均勻的蒸汽混合物。然後，使混合物連缅地 流過塗敷室，與玻璃的上表面接觸。據稱在下游方向，降 低高度的頂部结構是有利的，以節流沿塗敷室的蒸汽流動 。在有些較佳的實施例中，頂部結構以曲结遞減至玻璃上 方的下游頂部部分。發現在塗敷室内，促使充滿了蒸汽之 前身的平滑通常下游流動，有利於形成塗膜的均質性。有 利的是，塗敷室至少有5公尺長，該長塗敷室的使用，拣 稱在快速移動的作用物上，如新形成的流動玻璃帶，形成 相當厚的塗膜時，特別有利於增加塗膜的産置。 當從共同反應的氣體反應物，在玻璃表面形成塗膜， 並且利用從分開傾斜的槽，將每一個反應物引入塗敷室的 裝置.如前述UK專利說明書N Q 2 , 0 2 6 , 4 5 4中圖示的儀器.申 請者發現在塗敷方法的操作期間，出現在第二痼反應物氣 體進入塗敷室所绖過槽的下端，有塗敷材料的不良沈積。 發現材料的沈積最普及在入口槽的上游側壁。沈積的集结 發生地很快速，並且，很快地干擾到玻璃帶表面所形成的 甲4(210X297公沒） _ _ (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) •裝. •訂. •線· Α6 Β6 ,030 匕 五、發明説明（） {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 塗膜品質。玻璃帶上的塗膜快速地品質惡化，並且，在玻 璃表面沈積的塗膜上，有可見的條纹顯示，而變得非均匀 〇 如果要避免塗膜的更加惡化，則塗敷程序霹被中斷， 將塗敷裝_置移離玻璃帶，並且從塗敷裝置上去除無用的塗 敷材料沈積。此洗淨的操作是耗時且浪費的。 對於裝置而言，塗敷材料的無用沈積問題極徹，以及 使塗敷程序的連绩操作更長期間，是很明顯的需要。 本發明旨在提供一値符合該目摞的裝置。 依據本發明而提供的裝髯，自至少兩種氣體反應物的 反應，在熱玻璃的移動帶表面上沈積塗膜，_雪包含一傾 敞開面的塗敷室，使氣體反應物沿實質上與玻璃移動方向 平行的方向上流動，以與被塗敷的玻璃表面接觸，而在玻 璃表面形成所需的塗膜，塗敷室向下敞口，且横向延伸於 披塗敷的玻璃表面廣度上，塗敷室具有第一β入口工具， 以提供玻璃表面上方，第一痼氣諼反應物的流動，穿過塗 敷室的整痼寬度，以及第二傾入口工具，在塗敷室的整個 寬度，由横向延伸於塗敷室頂部的入口槽组成，以引入第 二偭氣體反應物至塗敷室内第一個氣體反應物的流動； 經濟部中央標準局印裂 在該入口槽和塗敷室的接合處，塗敷室的頂部呈梯狀 ，使得入口槽上游端（關於第一偭反應物氣體的流動）的 塗敷室頂部，比該入口槽下游端（關於第一個反應物氣證 的流動）的塗敷室頂部為高的水平，取自頂部之縱向橫截 面的線具有梯狀； 甲 4(210X297 公潑） 6 經濟部中央標準局印？入‘ 2 Ο 3 Ο 3 ’左 Α6 Β6 五、發明説明（） 第一痼氣體分配器乃用來傳送第一脑氣證反應物，從 氣饅供應導管至該第一痼入口工具，和 第二艏氣體分配器乃用來傳送苐二鏑氣體反應物，從 第二痼氣饈供應導管至該第二傾入口工具； 以及排氣工具，位於由塗敷室引出之第一個和第二館 入口工具的下游（關於反應物氣體的流動），以移除塗敷 室内用過的氣體。 依據本發明的另一痼觀點，從至少兩種氣髏反應物的 反應物，所形成的塗膜沈積在熱玻璁移動帶表面上的方法 ，其包含了在塗敷室内玻璃上方，實質地平行於玻璃移動 方向的方向上，提供第一個氣饈反應物的流動，並且經由 横向延伸於室頂部的入口槽所组成的入口工具，將第二髄 氣鱧反應物引入第一痼氣鹾反應物的流動，並且使該第一 植和第二値氣髏反應物流過該塗敷室，在實質上平行於玻 璃移動方向的方向上，與玻璃表面接簇，以在玻璃上形成 所需的塗膜，塗敷室的頂部在該入口槽和塗敷室的接合處 具有梯狀，使得入口槽上游端（関於第一痼反應物氣體的 流動）的塗敷室頂部比該入口槽下游端（關於第一®反應 物氣證的流動）的塗敷室頂部為較高的水平，取自頂部縱 向黃截面所成的線為梯狀。 在本發明的較佳實施例中，該入口槽上游端的塗敷室 頂部通常比該入口槽下游端的塗敷室頂部高出至少5 ίο, 並且通常比該入口槽下游端的塗敷室頂部高出不超過75nm 。吾人發現，以不超過15 mn的梯階來操作是便利的，並 {請先閲讀背面之注意事項再琪寫本页) •31· .訂. •線· 甲 4 (210X297 公沒) 2 ,03034 A 6 B6 五、發明説明（） 且，在一値黄施例中，該入口槽上游端的頂部H:該入口槽 下游端的頂部高出1〇 ΠΒ。 在另一艟較佳的賁施例中，入口槽實質上被置與反應 物氣饈通過塗敷室的流體循琛路程成直角。 在特別較佳的排列中，入口槽的下游端壁底座在該端 壁和塗敷室頂部的接合處，形成凸形的曲線表面。 吾人發現，利用此型的排列，明顯地減少在第二個八 口槽壁此沈積不良的塗敷材料量。接著，本發明的塗敷裝 置比已知的塗敷裝置使用於較長的期間.而無須中斷來洗 淨裝置及移除裝置上不良沈積的塗敷方法。 第一傾和第二痼氣箧反應物從各自的氣體供應導管， 供應至本裝置，並且.藉著使氣流通過各自的第一値和第二 値氣體分配器，而横向分布於被塗敷的玻璃表面，在自中 央入口向下發散的倒扇形前和後壁之間，界限出氣體分配 器，且终止在橫向延伸於被塗敷玻璃表面上廣度的槽。較 佳的實施例中，倒扇形的前和後壁錐銷，向下地朝向彼此 ，而终止於該槽。 經濟部中央標準局印裂 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 較佳地，本裝置另外包括在第一艢氣鱧分配器和第一痼 入口工具之間插入氣流限制器，因此，提供第一値氣體反 應物的均勻分布横向於被塗敷的玻璃表面廣度。第二値氣 塍反應物的類似均勻分布也可藉著，在第二個氣體分配器 和第二艏入口工具之間提供一艟第二個氣流限制器而逹到 ,該第二痼氣流限制器通常與第一痼氣流限制器有相同的 结構。 甲 4(210X297 公沒） A 6 B6 03031 五、發明説明（') {請先閲讀背面之注.意事項再填寫本页) 與型地，該氣髏限制器包含一室，其適於接收反應物 氣體的供應，並且，適於在被塗敷的平面玻璃上方，輸出 反應物氣體的流動，以及一組至少兩痼的限制，毎痼限制 包含了一値延伸横向室的板構件及穿過其上具有大半的孔 0 在下列的説+明中，如所伴隨的申請專利範圍中一樣， 術語“上游”和“下游”傜有關於反應物氣匾穿過塗敷室 的流動方向。較佳地，如利用實例說明的持定實施例中， 此指與玻璃移動的方向並流，但是此非必要，且在反應物 氣諼流動方向與玻璃移動方向逆流時，本發明的應用也是 有利用的。 ‘ 現在，參考附画，只藉實例來更詳细地說明本發明， 其中： 第1圖是依據本發明裝S的横截側視圖； 第2圖乃取自第1圖中箭頭ϋ方向上，示於第1圖裝 置的端正視圖； 第3圖是一傾横截刨視圖，更仔細地顯示出第1圖裝 置中併有的氣流限器制，及 第4圖是一艏部分被切開的橫截側視圖，顯示出第二 痼入口工具下端的較佳结構。 經濟部中央標準局印敗 圖中，相同的參考數字代表相同的部分。 特別關於第1圖和第2圖，通常以1代表的塗敷裝置 .被吊在滾輪（未顯示）上方由左向右前進的玻璃帶12上 方。 甲 4 (210X297 公潑） 203034 A 6 B6 經濟部中央標準局印裝 五、發明说明（） 塗敷裝鼋由水平板3組成的台架2愍吊箸，其上方表 面被焊至示於4的數痼前向嵌裝托架及示於5的反向嵌裝 托架上。典型地，三個前向和三個反向的嵌裝托架横置於 塗敷裝置的廣度上；在毎一痼情形中，一個托架嵌裝在中 央•及其它兩艏托架嵌裝在犇近裝置的兩側。毎一個嵌裝 托架4, 5由横向延伸在被塗敷的玻璃帶寬度上各自的水 冷卻樑（未顯示）所懸掛。 •本裝置的下_方部分包含數痼成形的硝精塊32, 34, 36, 38, 40和42,其横向延伸的長度相當於披塗敷的玻璃表面 寬度。碩精塊界限出具有梯狀頂部9a，9b的塗敷室10,其 第二値入口槽15上游的塗敷室10頂部9a高於第二個入口槽 15下游的塗敷室頂部9b。該硪精塊也界限出由直式第一値 入口槽14組成的第一値入口工具，將第一値反應物氣體引 入塗敷室，由直式第二痼入口槽15所組成的第二画入口工 具，將第二値反應物氣體引入塗敷室，在第一値入口稽14 和第二値入口槽15之間之塗敷室内的流體循環路程16,從 塗敷室移除使用過的氣體排氣槽18,及第二値入口槽15和 排氣檜18之間之塗敷室内的流體循環路程17。 毎一値不同的磺精塊被懸在水平板構件44下方。碩精 塊併於具有如冷卻水之熱傳流饈的導管（未顯示），並且 ,在本裝^用時，磺精塊的溫度犇冷卻水通過這些導管來 調節。 塗敷室10具有一傾敞開面，延伸横越過被塗敷的玻璃 帶12。在塗敷室的上游端，磺精塊32和34界限該直立的第 甲 4(210X297 公沒） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本页) “· •Λ" -10 03034 A6 B6 經 済· 中 央 標 準 局 印 裝 三、發明說明（ 一膣入口槽14,第一痼氣體反應物由此披引入室内。第一 値入口槽的下游，第二痼直式入口槽15界限在碩精塊34和 36之間，以引第二値氣匾反應物進入塗敷室内。 在塗敷室的下游端，硪精塊40和42界限出排氣槽18, 以自塗敷室移除用過的氣體。 從氣.饅供應導管（未顯示），經由拱架分配器19和氣 流限制器22，第一艏反應物氣體飼入第一値入口槽14。拱 架分配器以倒雇形被界限在前後壁20和21之間，前後壁在 下方朝彼此收斂，以在拱架底部形成狹樓48,其延伸横_ 被塗敷之玻璃帶的寬度。 從拱架19底座的槽48,流出的第一艟反應物氣髏，通 過嵌裝在拱架19下方的氣流限制器22。 圖示的氣流限制器22在第3圖中更詳細，且包含了界 限出伸長室124之對立的伸長壁1 2 0 , 122和121, 123。伸 長壁120, 122和121, 123延伸横越過被塗敷的玻璃帶， 壁120和121是上游壁\而壁122和123是下游壁。在毎値伸 長室124端處，有對立的端壁12S ,每一値端壁126披置與 玻璃帶移動的方向平行。 在氣流限制器22的入口端，有一個包含樓向於室124 之入口伸長板構件128的入口限制127。入口板構件128被 密封固定於對立的水平板130，132之間，每對板130, 132 被連接，如焊接，至値別的伸長壁120, 122及拱架分配器 19。每對130, 132板Μ螺紋接合物134而緊密連接在一起 。在每對板130 , 1 32和入口板構件128之間置有塾圈（未 甲 4(210X297 公沒) {請先閏讀背面之注意事項再填寫本页) .装· •線. ,03034 A 6 B6 五、發明説明（） 顯示）。. 沿入口板構件128的長度有一排孔136 ,孔135連接入 口 112和室124的其餘部分。孔136為圓孔，且較佳地具有 2 至10 mm的直徑。在一痼持別的較佳實施例中，孔136 的直徑4 mm及中心相離20 mm。一排孔136置於伸長室124 的上游端，亦卽與室124的下游壁122比較，此排孔136較 近於上游壁120。 靠近氣流限制器22的出口 110處，置有一鰌出口限制 138。出口限制138與入口限制127實質上是相同结構的， 因為它包含了在兩對對立板142, 144之間密封固定的出口 延長板構件14Q,該每對板14 2 , 144的上方板被連接，如 焊接，至痼別的伸長壁121, 123。板14 2 , 14 4被墊圈（未 顯示）舆出口板構件140分開。由同時緊密接合於板142, 144的螺紋接合物146將板142, 144緊密地連接在一起，因 此，氣鹾流過限制器22,至被懸掛磺精塊3 2, 3 4的板44。 出口板構件140具有一排孔152,其較佳地直徑為2 ππ至10 ππ ,並且在特別較佳的賁施例中，其直徑4 mm及中心相隔 10 nm。此排孔152置於伸長室124的上游端。 經濟部中央標準局印兑· {請先閱¾背面之注意事項再蜞寫本页) •打· 氣流偏轉器154嵌装於出口板構件140下方之氣流限制 器22的出口 11Q。氣流偏轉器154包含一伸長L型構件156 ，其與該對板142的下方為整體，且與孔152相鄰。L型構 件156的單臂158向上朝出口板構件140延伸，而在其間界 限出缝隙160，反應物氣體由孔152必通過此處，而後被L 犁構件156的水平背16 2所偏向。 甲 4 (210X297公沒) A6 B6 五、發明説明（） 氣流偏轉器154的目的乃在去除氣流中可能發生的某 些局部增加。因此，板構件140下方，緊郯出口板構件140 上的每一痼孔15 2處，有氣流更強的趨勢。氣流偏轉器154 的存在平除了流動的局部增加強度。在有些例子中，有可 能從本發明的氣體限制器中，略去氣流燏轉器154。 在入口及出口限制12 7 , 1 38之間，置有一値中間限制 164。該中間限制164具有與.入口限制127相同的结構，且 包含一個具有一排孔168的中間伸長板構件166。中間板構 件1S5被密封固定於對立之水平板170, 172之間.其分別 被連接，如焊接，至伸長壁120, 121及1 2 2 , 1 23。怒圏（ 未顯示〉被置於板1 7 0 , 1 7 2和中間板構件1SS之間•且板 1 7 0 , 1 7 2被螺纹接合物174緊密連接在一起。與入口和出 口板構件1 28, 1 4 0相反，中間板構件166的該排孔1S8置於 .伸長室124的下游端，亦即與室124的上游壁120, 121比較 ,此排孔168較接近於下游壁1 2 2, 1 2 3。這種排列導致相 鄰伸長板構件的排孔彼此之間不成直绵。 第二値反應物氣键從第二痼氣體供應導管（未頚示） ，穿過與拱架分配器19相同结構的另一痼拱架分配器24, 然後，通過與氣流限制器2 2相同结構的氣流限制器25 ,披 飼入第二館入口槽15。 自排氣槽18釋出的廢氣通過間隔單元52中的槽50,然 後進入包含反扇形前後壁27和28的排氣拱架26。排氣拱架 傳送廢氣，未反應的反應物氣饈及軾體氣至排氣導管（未 顯示）。 铒 4(21〇X297 公沒） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· .訂：： •線· 經濟部中央標準局印？入* ^03034 A6 _B6 五、發明説明（） 界限出第一値入口槽14和第二傾入口槽15的頊精塊32 ,34和36之値別高度使塗敷室10的頂部9a, 9b在第二値入 口槽15和塗敷室接合處呈梯狀，在第二個入口槽15上游端 之室的頂部9a[：b第二値入口槽15下游端的塗敷室頂部9b為 較高，並且如第1圖所見，取自頂部之縱的横截面所成的 線為不連绩並呈梯狀。因此，塊36的底部可典型地被選定 比塊34底部低IQ mm。結果，第二値入口槽的上游壁54底 座可較第二痼入口槽15的下游壁56底座高出10 mn ,因此 ，形成具有梯狀的入口槽58。發現該梯狀入口槽58可減少 在入口槽5 8附近之第二艟入口槽15邊壁上沈積之固體塗敷 材料的量。相信此梯狀的操作，可將第一値氣體反應物的 流動導向玻璃表面，並且，避免第一掴氣體反應物的流動 進入第二値入口槽口，在入口槽口的垂直壁上，與塗敷材 料沈的局部反應所致的危險。 在持別的較佳配置中，硪精塊3S的上游較低角落處， 形成一個凸形曲面57,如第4圖的圖示，典型地，對於10 nm高的梯形入口槽58具有10 ππ的曲率半徑。曲率半徑必 須足夠小，以實質地避免在第二痼入口槽口上沈積的困接 集结，而維持梯狀的效用。 應用上，本發明的塗敷裝置懸於在滾輪（未顙示）上 由左向右前進的玻璃帶12上方。塗敷装置懸於玻璃帶上方 的高度.使得裝置下游端的碩精塊42位於被塗敷玻璃帶表 面上方10 ππ因次的高度。一般在載體氣中稀釋的第一値 反應物氣體被飼入拱架分配器19及氣體分配器22,其提供 5 297公匁） »ι1·ΐ|ΙΙίΙι»ιΙΐ3»1^!ΐί*"ί·'·Μ·Μ^Ι·ί· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •次· ’ JiT: io〇3〇ti ^ 經濟部中央標準局印^1 A 6 B6 五、發明説明（） 橫越過被塗敷玻璃寬度之氣饅的均匀分布。自氣饈限制器 22發射的氣體經由第一_入口槽14.進入塗敷室10,並且 在塗敷室10内，沿著流S循琛路程16平行玻璃的第一艟通 常方向上，朝第二艟入口槽15的底座行進。通常在載體氣 中稀釋的第二痼反應物氣髏被飼入拱架分配器24和氣體限 制器2 5 以確保得到第二値氣體反應物的均勻分布，於横 越所得玻璃的奪度上。 自限制器25底座釋出的空氣穿過第二値入口槽15至塗 敷室内的第一値反應物氣流，以提供在玻璃表面上方，氣 體反應物的混合流動，沿著在熱玻璃表面上，兩反應物氣 體反應而沈積塗膜的流證循環路程17。在一操作模式中， 如吾人更完整所述的共待審申請案中，本文參考性地併入 其沒容.，玻璃流動狀況可被控制以提供第二値反應物氣體 的湍動流穿過第二値入口槽15 ,和混合氣證反應物沿著流 饉循環路程17的流動，而避免沿箸流體循環路程16,第二 値反應物氣韹的上游流動在第一箇反應物氣體的流動中。 藉由向上分技的、倒扇形前和後壁2 7 , 28組成的排氣拱架 26所施以的减壓（如來自排氣扇的吸力一未顯示）方式， 從排氣導管18,將塗敷區的用過氣體（載鱧氣，未反應之 反應物氣體及反應的廢氣）由熱玻璃移除。該減壓不僅自 塗敷區移走氣諼，也引起塗敷_置之上、下游端（29, 30 )的外界大氣流動。 上述的裝置1可操作較長的期間.而在第二_入口檜無 因塗敷材料沈積在入口槽，所發生的不良堵塞，因此，促 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· •線. 甲 4(210X297 公寿） A 6 B6 五、發明説明（） 使玻璃帶上均匀塗膜的生産為高産置。 本發明的方法特別有用於生産红外線反射之氣化錫塗 膜，例如，使用做為第一痼反應物氣髏的氮化錫和做為第 二値反應物氣狸的水蒸汽。為了加強塗膜的红外综反射率 ，如銻或氟的摻雜劑可包含於反應氣體。其它塗膜，如二 氣化鈦或一氮化鈦，也可應用本發明的裝置。為了應用二 氣化鈦塗膜，四氯化鈦可用做第一傾反應物氣體，而水蒸 汽可做為第二値[反應物氣體。為了獲得一氮化钛的塗膜， 四氮化鈦可做為第一痼反應物氣證，而氨可做為第二値反 應物氣體。 甲 4(210X297 公潑） {請先閲讀背面之注意事項再填寫本页) .裝·

Claims (1)

1. 桡...' 公 Ρ- 士 Α7 Β7 C7 D7 經濟部中央揉率扃β：工消费合作社印製 六、申請專利範圍 第7810808 0號專利再審査案申請專利範圍修正本 修正日期·· 82年2月 1. 一棰將由至少兩種氣體反應物反應形成之塗膜沈積在 熱玻璃移動帶表面上的裝置，待擻乃在於該裝置包含 一個敞開面的塗敷室，其中，將氣體反應物與被塗敷 的玻璃表面接觸，並沿著實質上平行玻璃運動方向的 方向上流動，Μ形成玻瑰表面上所需的塗膜，塗敷室 向下開口並橫向延伸於被塗敷的玻璃表面，塗敷室具 有第一個入口工具，Μ提供玻璃表面上方，第一値氣 體反應物的流動穿過其寬度上方的室，和第二個入口 工具，由播向延伸於室寬度上方之室頂的入口橹所組 成，以引第二個氣體反應物在塗敷室內，進入第一個 氣體反應物的流動中； 在該入口槽和塗敷室接合處，具有梯狀的塗敷室頂部 ，使得在入口槽上游端（關於第一掴反應物氣體的流 動），塗敷室頂部比該入口槽下游端（關於第一個反應 物氣體的流動）之塗敷室頂部為較高的水平，取自頂 部縱向横截面的線具有梯狀； 第一値氣體分配器從氣體供應導管，傳送第一掴氣鼸 反應物至該第一掴入口工具，和 第二個氣钃分配器從第二個氣醱供應導管，傳送第二 傾氣髅反應物至該第二健入口工具； Μ及排氣工具，位於來自塗敷室之第一傾及第二痼入 口工具的下游（關於反應物氣醱的滾動），Μ移除塗敷 -17 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝· 訂· ί'· A7 ^030^4 〇7 ____ D7 六、申請專利範園 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 室的用過氣體。 2. 依據申請專利範圍第1項之裝置，待擞乃在於該入口 橹上游端的塗敷室頂部比該入口槽下游端的塗敷室頂 部高出至少5 mm。 3. 依據申請專利範圍第1或2項之装置，特擻乃在於該 人口棺上游端的塗敷室頂部比該入口槽下游端的塗敷 室頂部高達75ππ。 丨裝. 4. 依據申請專利範圍第2項之裝置，特擞乃在於該入口 槽上游端的塗敷室頂部比該入口槽下游端的塗敷室頂 部高出ΙΟββ。 5. 依據申請專利範圍第1項之装置，特擻乃在於第二値 入口槽與穿過塗敷室之反應物氣髏的流體循環路程， 實質上被置成直角。 6. 依據申請專利範圍第1項之裝置，特擞乃在於塗敷室 頂部和該锢壁接合處，入口槽的下游側壁底座形成凸 形曲面。 娌濟部中央標準局員工消费合作社印製 7·依據申請專利範圍第1項之裝置，特徵乃每一傾第一 艏和第二锢氣體分配器被界限在倒雇形的前後壁之間 ，其自中心入口向下收斂，而終止在横向延伸於被塗 敷的玻璃表面寬度上的槽。 8·依據申請專利範围第7項之裝置，特徼乃在該槽中， 倒扇形的前後壁錐狀彼此向下地終止。 9.依據申請專利範園第1項之装置，特激乃該裝置另外 包含一傾氣流限制器，界於第一傾氣體分配器和第一 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 Α7 Β7 C7 D7 Η、申請專利範圍 個入口工具之間，Μ供應第一値氣體反應物的均勻分 布於橫越過被塗敷的玻璃表面寬度上。 10. 依據申請專利範圍第1項之裝置，恃徹乃是該裝置另 外包含一個體流限制器，介於第二個氣體分配器和第 二個入口工具之間，Μ提供第二個氣體反應物的均勻 分佈於搞越被塗敷之玻璃表面的寬度上。 11. 一棰將由至少兩棰氣體反應物反應形成之塗膜沈積在 熱玻璃移動帶表面上的方法，其乃包含了：提供第一 個氣體反應物的流動在塗敷室内玻璃上方，在實質上 平行於玻璃移動方向的方向上，並且，引第二個氣體 反應物進第一値氣髏反應物，其穿過由横越室頂部的 入口樓所組成的入口工具，並且，使該第一個和第二 個氣體反應物流過該塗敷室，在實質上平行於玻璃移 動的方向上，與玻璃表面接觸，以在玻璃上，形成所 需的塗膜，塗敷室的頂部在該入口槽與塗敷室接合處 ν 具有梯狀，所以，在入口槽上游端（關於第一値反應 物氣體的流動）的塗敷室頂部比該入口槽下游端（關於 第一個反應物氣體的流動）的塗敷室頂§5在較高的水 平，取自頂部縱向横截面的線具有梯狀。 12. 依據申請專利範圍第11項之方法，特擞乃在於第二個 氣體反應物的流動被引入第一個氣體反應物的流動内 ，實質地與反應物氣體的流體循瓌路程成直角的方向 上，穿過塗敷室。 -19 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) i裝. 訂_