CZ283608B6 - Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla - Google Patents

Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla Download PDF

Info

Publication number
CZ283608B6
CZ283608B6 CS895826A CS582689A CZ283608B6 CZ 283608 B6 CZ283608 B6 CZ 283608B6 CS 895826 A CS895826 A CS 895826A CS 582689 A CS582689 A CS 582689A CZ 283608 B6 CZ283608 B6 CZ 283608B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
coating chamber
ceiling
coating
inlet channel
inlet
Prior art date
Application number
CS895826A
Other languages
English (en)
Inventor
Barry Thomas Grundy
Edward Hargreaves
Peter James Whitfield
Original Assignee
Pilkington Plc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pilkington Plc. filed Critical Pilkington Plc.
Publication of CZ582689A3 publication Critical patent/CZ582689A3/cs
Publication of CZ283608B6 publication Critical patent/CZ283608B6/cs

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Abstract

Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás (12) skla reakcí alespoň dvou plynných reakčních složek, které obsahuje směrem dolů k povrchu pásu (12) skla otevřenou povlékací komoru (10) rozprostírající se přes celou šířku povlékaného pásu (12) skla a mající první vstupní kanál (14) a druhý vstupní kanál (15) sestávající z kanálu, který se rozprostírá napříč stropu povlékací komory (10) přes celou její šířku, první rozdělovač (19) plynu umístěný nad prvním vstupním kanálem (14), druhý rozdělovač (24) plynu umístěný nad druhým vstupním kanálem (15) a odtahový kanál (18) vyvedený z povlékací komory (10). První vstupní kanál a odtahový kanál (18) jsou umístěny na protiproudé straně respektive na poproudé straně druhého vstupního kanálu (15), vztaženo na proud plynných reakčních složek povlékací komorou (10). Strop (9a, 9b) povlékací komory (10) má stupňovité uspořádání u místa spojení druhého vstupního kanálu (15) a povlékací komory (10), přičemž strop (9a) povlékací komory (10) ŕ

Description

(57) Anotace:
Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás (12) skla reakcí alespoň dvou plynných reakčních složek, které obsahuje směrem dolů k povrchu pásu (12) skla otevřenou povlékací komoru (10), rozprostírající se přes celou šířku povlékaného pásu (12) skla a mající první vstupní kanál (14) a druhý vstupní kanál (15), sestávající z kanálu, který se rozprostírá napříč stropu povlékací komory (10) přes celou její šířku, první rozdělovač (19) plynu, umístěný nad prvním vstupním kanálem (14), druhý rozdělovač (24) plynu, umístěný nad druhým vstupním kanálem (15), a odtahový kanál (18), vyvedený z povlékací komory (10). První vstupní kanál (14) a odtahový kanál (18) jsou umístěny na protiproudé straně, respektive na poproudé straně druhého vstupního kanálu (15), vztaženo na proud plynných reakčních složek povlékací komorou (10). Strop (9a, 9b) povlékací komory (10) má stupňovité uspořádání u místa spojení druhého vstupního kanálu (15) a povlékací komory (10), přičemž strop (9a) povlékací komory (10) na protiproudé straně vzhledem ke druhému vstupnímu kanálu (15) je umístěn ve větší výšce než strop (9b) povlékací komory (10) na poproudé straně vzhledem ke druhému vstupnímu kanálu (15), takže podélný průřez stropu (9a, 9b) má stupňový obrys.
Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla
Oblast techniky
Vynález se týká zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla, přičemž tento povlak se vytváří reakcí alespoň dvou plynných reakčních složek, a zařízení obsahuje směrem dolů k povrchu skla otevřenou povlékací komoru, rozprostírající se přes celou šířku povlékaného pásu skla a má první vstupní kanál a druhý vstupní kanál, sestávající z kanálu, který se rozprostírá napříč stropu povlékací komory přes celou její šířku, první rozdělovač plynu, umístěný nad prvním vstupním kanálem, druhý rozdělovač plynu, umístěný nad druhým vstupním kanálem, a odtahový kanál, vyvedený z povlékací komory. První vstupní kanál a odtahový kanál jsou umístěny na protiproudé straně, respektive na poproudé straně druhého vstupního kanálu, kde protiproudá, respektive poproudá strana jsou vztaženy na proud plynných reakčních složek povlékací komorou.
Dosavadní stav techniky
Je známo, že je možno získat povlaky s požadovanými vlastnostmi pro architektonické použití použitím plynných reakčních složek, které se rozkládají na horkém povrchu skla. Například křemíkové povlaky, kterých se používá k řízení prostupu slunečního světla, je možno získat pyrolýzou plynu s obsahem síranu na horkém povrchu skla. Byla navržena celá řada dalších povlaků pro řízení prostupu slunečního světla a pro odrážení infračerveného světla při použití dalších vhodných plynných reakčních složek. Naneštěstí je velmi obtížné ve velkém měřítku dosáhnout vytváření dostatečně stejnoměrných povlaků požadované tloušťky.
V britském patentovém spisu č. 1,507,966 se popisuje typický postup a zařízení pro vytváření stejnosměrného povlaku při použití reakčního plynu, který je veden rovnoběžně s povrchem skla při laminámím proudění. Ani v tomto případě se neuvádí možnost použití směsi reakčních složek, reagujících před přivedením k horkému povrchu skla.
V britském patentovém spisu č. 1,516,032 se popisuje způsob povlékání skla při použití prostředí, které obsahuje jednu nebo více reakčních složek, které se mohou nacházet v plynné nebo kapalné formě. Směs složek se přivádí k horkému sklu jako proud nebo proudy, z nichž alespoň jeden má rychlostní složku ve směru pohybu pásu skla a je skloněn vzhledem k povrchu skla v úhlu nejvýše 60°. Uvádí se, že tímto způsobem je možno získat povlak s homogenní strukturou a s pravidelným uspořádáním krystalků. V případě, že spolu má reagovat větší počet složek, je možno tyto složky přivádět ve formě oddělených proudů sousedícími tryskami, z nichž každá je zdrojem proudu reakční složky, směrovaného v ostrém úhlu k povrchu skla, takže reakční složky se navzájem smíchávají v blízkosti skla. Je také možno použít jedinou trysku pro přívod prvního proudu reakční složky, kdežto vzduch, který je druhou složkou, se přivádí do reakční zóny v okamžiku styku prvního proudu s povrchem skla. Za povlékací zónou je možné upotřebený plyn odsávat, přičemž je možno užít digestoře za povlékací zónou.
V britském patentovém spisu č. 1,524,326 se popisuje způsob, při kterém se plynné prostředí vede podél podkladu, který má být povlékán, jako vrstva, prostá turbulence, z průchodu, jehož část je vymezena povrchem skla. Tento průchod potom končí odtahovým zařízením, kterým se odvádí zbylý plyn s povrchu skla. Plynná reakční složka se přivádí do průchodu vstupními kanálky, které jsou uloženy tak, že se plynná reakční směs přivádí ke sklu společně v ostrém úhlu.
- 1 CZ 283608 B6
V britském patentovém spisu č. 2,026,454 B se popisuje způsob, při kterém se vytváří povlak oxidu cíničitého na horkém povrchu skla při použití plynného prostředí s obsahem chloridu cíničitého a vodní páry. Ve zvláště výhodném provedení se nechá proudit po povlékaném povrchu skla proud dusíku jako nosného plynu s obsahem chloridu cíničitého ve formě par, a do tohoto proudu se přivádí proud vzduchu s obsahem vodní páry v místě, kde se první proud již dostává do styku s povrchem skla. Odděleně je možno přivádět dopovací činidlo, například fluorovodík, nebo směs tohoto činidla s vlhkým vzduchem. Proudy plynu se s výhodou přivádějí k povrchu skla v ostrém úhlu 45°.
Další způsob pro výrobu povlaku oxidu cíničitého na horkém skleněném podkladu je popsán v britském patentovém spisu č. 2,033,374 Β. V tomto patentovém spisu je popsáno zařízení, které je analogií zařízení, popsaného ve výše uvedeném britském patentovém spisu č. 2,026,456 B, avšak zařízení obsahuje další povlékací komoru k ukládání spodního povlaku oxidu kovu na skleněném podkladu před uložením povlaku oxidu cíničitého. Tato komora je předřazena povlékací komoře pro uložení povlaku oxidu cíničitého.
Další způsob je popsán v britském patentovém spisu čís. 2,184,748 A. Při tomto způsobu se přivádí prekurzor pro vytváření povlaku a oxidační plyn do mísící zóny, uložené poněkud výše nad povrchem skla před vstupem do povlékací komory. Do mísící zóny se přivádí teplo a prekurzor se důkladně smíchává s oxidačním plynem a potom se přivádí k podkladu v takové výšce, že vytváření povlaku se provádí z v podstatě homogenní směsi par. Tato směs se potom nechá proudit spojitě komorou pro vytváření povlaku ve styku s povrchem skla. Je výhodné snižovat postupně strop uvedené komory. V některých výhodných provedeních se tento strop sklání v křivce až k výstupnímu otvoru z komory nad povrchem skla. Tímto způsobem vzniká laminámí proudění par směrem dolů v průběhu komory, což je příznivé pro stejnoměrnost vytvářených povlaků.
Snahy vytvořit povlak na povrchu skla z plynných reakčních složek, které nejprve navzájem reagují, vedly k navržení zařízení, ve kterých se každá z reakčních složek přivádí do povlékací komory odděleným přívodem, skloněným vzhledem k povrchu skla tak, jako v zařízení z britského patentového spisu č. 2,026,454, které již bylo výše uvedeno. Bylo však zjištěno, že v průběhu vytváření povlaku dochází k ukládání nežádoucích usazenin povlakového materiálu na spodním konci přívodu pro druhou reakční složku do povlékací komory. Větší množství tohoto materiálu se ukládalo zejména na postranní stěnu přívodního kanálu, více vzdálenou od povlékací komory. Tato usazenina se vytvářela poměrně rychle a velmi brzo nepříznivě ovlivňovala jakost povlaku, vytvářeného na povrchu pásu skla. Tento povlak se postupně zhoršoval a stával se nestejnoměrným, jak bylo zřejmé z proužkovaného povrchu skla.
V případě, že mělo být zabráněno dalšímu zhoršování povlaku, bylo třeba přerušit celý způsob, oddělit zařízení od skla a odstranit usazeniny ze zařízení. Tento čisticí postup je nákladný na čas i na spotřebu materiálu.
Je tedy zřejmé, že by bylo třeba navrhnout zařízení, ve kterém by docházelo pouze k minimálním problémům, způsobeným nežádoucím ukládáním povlakového materiálu, a které by umožňovalo provozovat celý způsob plynule po delší dobu.
Vynález si klade za úkol navrhnout zařízení, které by splňovalo výše uvedené požadavky.
Podstata vynálezu
Vynález řeší úkol tím, že vytváří zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla, přičemž tento povlak se vytváří reakcí alespoň dvou plynných reakčních složek. Zařízení obsahuje směrem dolů k povrchu skla otevřenou povlékací komoru, rozprostírající se přes celou
-2CZ 283608 B6 šířku povlékaného pásu skla, a má první vstupní kanál a druhý vstupní kanál, sestávající z kanálu, který se rozprostírá napříč stropu povlékací komory přes celou její šířku, první rozdělovač plynu, umístěný nad prvním vstupním kanálem, druhý rozdělovač plynu, umístěný nad druhým vstupním kanálem, a odtahový kanál, vyvedený z povlékací komory. První vstupní kanál a odtahový kanál jsou umístěny na protiproudé straně, respektive na poproudé straně druhého vstupního kanálu, kde protiproudů, respektive poproudá strana, jsou vztaženy na proud plynných reakčních složek povlékací komorou. Podstata vynálezu spočívá v tom, že strop povlékací komory má stupňovité uspořádání u místa spojení druhého vstupního kanálu a povlékací komory (10), přičemž strop povlékací komory na protiproudé straně vzhledem k druhému vstupnímu kanálu je umístěn ve větší výšce než strop povlékací komoiy na poproudé straně vzhledem k druhému vstupnímu kanálu, takže podélný průřez stropu má stupňový obrys.
Pole výhodného provedení předloženého vynálezu strop povlékací komory na protiproudé straně druhého vstupního kanálu je alespoň o 5 mm nad stropem povlékací komory na poproudé straně druhého vstupního kanálu.
Podle dalšího výhodného provedení předloženého vynálezu strop povlékací komory na poproudé straně druhého vstupního kanálu je nejvýše o 75 mm nad stropem povlékací komory na poproudé straně druhého vstupního kanálu.
Podle dalšího výhodného provedení předloženého vynálezu strop povlékací komory na protiproudé straně druhého vstupního kanálu je o 10 mm nad stropem povlékací komory na poproudé straně druhého vstupního kanálu.
Podle dalšího výhodného provedení předloženého vynálezu druhý vstupní kanál je uspořádán ve svislém směru.
Podle dalšího výhodného provedení předloženého vynálezu poproudá boční stěna druhého vstupního kanálu je u místa jejího spojení se stropem povlékací komory vytvořena jako vypouklý zakřivený povrch.
Přehled obrázků na výkresech
Vynález je znázorněn na výkresech, kde obr. 1 znázorňuje zařízení podle vynálezu v příčném řezu, obr. 2 znázorňuje nárys zařízení z obr. 1 ve směru šipky II, obr. 3 podrobněji v příčném řezu znázorňuje zařízení pro regulaci proudu plynu, které je částí zařízení z obr. 1, a obr. 4 znázorňuje výhodné uspořádání spodní části druhého přívodního kanálu.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 a 2 je zařízení 1 podle vynálezu zavěšeno nad pásem 12 skla, který se pohybuje přes neznázoměné válečky směrem zleva doprava.
Zařízení 1 je zavěšeno na rámu 2, který je tvořen vodorovnou deskou 3, na jejímž horním povrchu jsou navařeny přední konzoly 4 a zadní konzoly 5. Obvykle se užívá tří předních konzol 4 a čtyř zadních konzol 5 po šířce celého zařízení 1, vždy jedna konzola je upevněna ve střední poloze a druhé dvě v blízkosti okraje zařízení 1. Každá z předních konzol 4 a zadních konzol 5 je zavěšena na neznázoměném nosníku, chlazeném vodou, který má rozsah přes celou šířku povlékacího pásu 12 skla.
V dolní části zařízení 1 je uspořádána řada tvarovaných uhlíkových bloků 32, 34, 36,38,40 a 42, které mají příčný rozměr, který opovídá šířce povrchu povlékacího pásu 12 skla. Tyto uhlíkové bloky 32, 34, 36, 38, 40 a 42 vymezují společně s povrchem pásu 12 skla povlékací komoru 10 se stropem 9a, 9b stupňovité konfigurace, přičemž část stropu 9a proti směru proudu od druhého vstupního kanálu 15 je vyšší než část stropu 9b ve směru proudu od druhého vstupního kanálu 15. Uvedené uhlíkové bloky 32, 34, 36, 38, 40 a 42 vymezují první vstupní kanál 14 pro přívod prvního reakčního plynu do povlékací komory 10, druhý vstupní kanál 15 pro přívod druhého reakčního plynu do povlékací komory 10, průchod 16 povlékací komorou 10 mezi prvním 14 a druhým vstupním kanálem 15, odtahový kanál 18 pro odstranění upotřebených plynů z povlékací komory 10 a povlékací zónu 17, tvořenou prostorem v povlékací komoře 10 mezi druhým vstupním kanálem 15 a odtahovým kanálem 18.
Každý z uhlíkových bloků 32, 34, 36, 38, 40 a 42 je uložen pod vodorovnou deskou 44.
V blocích 32, 34, 36. 38. 40 a 42 jsou upraveny kanály, které nejsou znázorněny a slouží pro kapalinu, například chladicí vodu, a při použití celého zařízení se teplota uhlíkových bloků 32, 34, 36, 38, 40 a 42 reguluje průtokem chladicí vody těmito kanály.
Povlékací komora 10 je přilehlá k povlékanému pásu 12 skla. Uhlíkové bloky 32 a 34 vymezují první vstupní kanál 14, kterým se přivádí proud prvního plynu do povlékací komory 10. Ve směru proudu za prvním vstupním kanálem 14 je uhlíkovými bloky 34, 36 vymezen druhý vstupní kanál 15 pro přivádění druhé plynné reakční složky do povlékací komory 10.
Ve směru proudu vymezují uhlíkové bloky 40 a 42 odtahový kanál 18 pro odvádění upotřebených plynů z povlékací komory 10.
První reakční plyn se přivádí do prvního vstupního kanálu 14 z neznázoměného přívodu plynu přes první rozdělovač 19 a zařízení 22 pro regulaci proudu plynu. První rozdělovač 19 je vymezen přední stěnou 20 a zadní stěnou 21, které se sbíhají směrem dolů a vymezují štěrbinu 48, která pokrývá celou šířku povlékaného pásu 12 skla.
První reakční plyn ze štěrbiny 48 a z první části prvního rozdělovače 19 proudí zařízením 22, které je uloženo pod prvním rozdělovačem 19.
Zařízení 22 je podrobněji znázorněno na obr. 3 a je tvořeno páry protilehlých stěn 120, 122 a 121, 123, které vytvářejí podélnou komoru 124. Stěny 120, 122 a 121, 123 jsou uloženy příčně přes povlékaný pás 12 skla, přičemž stěny 120 a 121 se nacházejí výše v protisměru než stěny 122 a 123, které jsou vzhledem k nim uloženy ve směru proudu. Protilehlé koncové stěny 126 jsou uloženy na každém konci podélné komory 124, přičemž každá koncová stěna 126 je uložena rovnoběžně se směrem pohybu povlékaného pásu 12 skla.
Na vstupním konci zařízení 22 pro regulaci proudu plynu je vstupní zúžení 127, sestávající z destičky 128, probíhající napříč podélnou komorou 124. Destička 128 je upevněna mezi protilehlými páry vodorovných destiček 130, 132, spojených například svařením s odpovídajícími protilehlými stěnami 120, 122. a tím i se štěrbinovitým přívodem 19. Vodorovné destičky 130, 132 jsou spolu spojeny šroubem 134. Mezi každý pár vodorovných destiček 130, 132 a destičku 120 je vloženo neznázoměné těsnění.
V celé destičce 128 je provedena řada otvorů 136, které spojují vstupní konec zařízení 22 s podélnou komorou 124. Otvory 136 jsou kruhové a mají s výhodou průměr 2 až 10 mm. Ve zvláště výhodném provedení mají otvory 136 průměr 4 mm a jejich středy jsou od sebe vzdáleny 20 mm. Řada otvorů 136 je v podélné komoře 124 uložena tak, že leží blíže k protilehlé stěně 120 než k protilehlé stěně 122.
-4CZ 283608 B6
Při výstupu 110 ze zařízení 22 je uloženo výstupní zúžení 138. Výstupní zúžení 138 má v podstatě stejnou konstrukci jako vstupní zúžení 127 v tom smyslu, že je tvořeno výstupní deskou 140, těsně upevněnou mezi protilehlými deskami 142, 144, z nichž vždy horní je spojena například svařením s odpovídající protilehlou deskou 121, 123. Protilehlé desky 132, 144, jsou odděleny od výstupní desky 140 neznázoměným těsněním. Protilehlé desky 142, 144 jsou spolu spojeny šrouby 146 a tím také se zařízením 22 a s vodorovnou deskou 44, ke které jsou upevněny také uhlíkové bloky 32 a 34. Výstupní deska 140 je opatřena otvory 152, jejichž průměr je s výhodou 2 až 10 mm, a ve zvláště výhodném provedení mají tyto otvory průměr 4 mm a jejich středy jsou od sebe vzdáleny 10 mm. Otvory 152 jsou v podélné komoře 124 uloženy blíže k protiproudovému konci podélné komory 124.
U výstupu Π0 je uložen deflektor 154 proudu plynu pod výstupní deskou 140. Deflektor 154 je tvořen členem 156 tvaru L, kteiý je vytvořen vcelku s jednou z protilehlých desek 142 v blízkosti otvorů 152. Volné rameno 158 členu 156 směřuje směrem nahoru k výstupní desce 140 a vymezuje štěrbinu 160, kterou musí proudit reakční plyn z otvorů 152 po odchýlení vodorovným ramenem 162 členu 156.
Deflektor 154 má ten účel, aby bylo možno odstranit místní zrychlení proudu plynu, ke kterému může občas dojít. Je totiž možné, že dojde k intenzivnějšímu proudění plynu v bezprostřední blízkosti každého z otvorů 152 ve výstupní desce 140 a zejména pod výstupní deskou 140. Přítomnost deflektoru 154 vyrovnává tato místní zrychlení proudu plynu. V některých případech je možné deflektor 154 ze zařízení 1 podle vynálezu vynechat.
Mezi vstupním zúžením 127 a výstupním zúžením 138 je střední zúžení 164. Toto střední zúžení 164 má stejnou konstrukci, jako vstupní zúžení 127, a je tvořeno destičkou 166, opatřenou otvory 168. Destička 166 je upevněna mezi protilehlými páry vodorovných desek 170, 172, které jsou spojeny například svařením s protilehlými stěnami 120, 121 a 122, 123. Mezi vodorovnými deskami 170, 172 a mezi destičkou 166 je uloženo neznázoměné těsnění. Vodorovné desky 170. 172 jsou spolu spojeny šrouby 174. Řada otvorů 168 destičky 166 je na rozdíl od destičky 128 a výstupní desky 140 uložena blíže ve směru proudu v podélné komoře 124, to znamená, že řada otvorů 168 je blíže ke stěnám 122, 123 podélné komory 124. Toto uspořádání zajišťuje, že se řady otvorů sousedních desek nedostanou navzájem do souosé polohy.
Druhý reakční plyn se přivádí do druhého vstupního kanálu 15 z druhého neznázoměného přívodu druhým rozdělovačem 24, jehož konstrukce je totožná s konstrukcí prvního rozdělovače 19, a potom je plyn veden zařízením 25 pro regulaci proudu plynu stejné konstrukce, jako zařízení 22.
Upotřebené plyny z odtahového kanálu 18 proudí kanálem 50 do sběrače 52 a potom odtahovým štěrbinovitým zařízením 26 s přední stěnou 27 a zadní stěnou 28. Tyto části zařízení odvádějí upotřebené plyny, nezreagované plyny a nosné plyny do neznázoměného výstupního potrubí.
Relativní výšky uhlíkových bloků 32, 34 a 36, které vymezují první vstupní kanál 14 a druhý vstupní kanál 15, se volí tak, aby se výška stropu 9a, 9b povlékací komory 10 postupně snižovala ve spojení druhého vstupního kanálu 15 a povlékací komory 10, takže část stropu 9a v protiproudu směrem od druhého vstupního kanálu 15 je vyšší, než část stropu 9b ve směru proudu od druhého vstupního kanálu 15, jak je zřejmé z obr. 1. Spodní část uhlíkového bloku 36 může tedy být uložena přibližně o 10 mm níže než spodní část uhlíkového bloku 34· V důsledku toho je spodní část stěny 54 druhého vstupního kanálu 15 uložena přibližně o 10 mm níže než spodní část stěny 56 druhého vstupního kanálu j_5, čímž se vytváří vstupní štěrbina 58 schodovité konfigurace. Tento tvar vstupní štěrbiny 58 snižuje na co nejmenší míru množství pevného povlakového materiálu, které je ukládáno na postranní stěny druhého vstupního kanálu 15 v blízkosti vstupní štěrbiny 58.
-5 CZ 283608 B6
Ve zvláště výhodném provedení je vytvořen spodní roh uhlíkového bloku ve směru proudu plynu jako konvexní zakřivený povrch 57, jak je znázorněno na obr. 4. Typický poloměr tohoto zakřivení je 10 mm pro schodovitou vstupní štěrbinu 58 o výšce 10 mm. Poloměr má být dostatečně malý k uchování výhod schodovitého uspořádání v tom smyslu, že se brání tvorbě nánosu v ústí druhého vstupního kanálu 15.
Při použití se zařízení 1 přiblíží nad pás 12 skla, který se pohybuje zleva doprava po neznázoměných válečcích. Zařízení 1 se spustí do takové výšky, aby uhlíkový blok 42 byl udržován přibližně ve vzdálenosti 10 mm nad povrchem povlékaného pásu 12 skla. První reakční plyn obvykle zředěný nosným plynem, se přivádí do štěrbinovitého přívodu 19 a zařízení 22, které zajišťuje rovnoměrné rozdělení proudu plynu po celé šířce povlékaného pásu 12 skla. Plyn, vystupující ze zařízení 22, proudí prvním vstupním kanálem 14 a proudí do povlékací komory JO rovnoběžně s povrchem skla průchodem 6 směrem k výstupu z druhého vstupního kanálu 15. Druhý reakční plyn, obvykle rovněž zředěný nosným plynem, se přivádí do štěrbinovitého přívodu 24 a zařízení 25 pro rozvádění plynu, které zajišťuje rovnoměrné rozdělení druhého proudu plynu po šířce povlékaného pásu 12 skla.
Plyn, vystupující z báze zařízení 25, proudí druhým vstupním kanálem 15 do proudu prvního plynu s obsahem reakční složky do povlékací komory 10, kde vzniká spojený proud plynných reakčních složek nad povrchem skla v povlékací zóně 17. ve které dva plyny s obsahem reakčních složek spolu reagují za současného ukládání povlaku na horký povrch skla. Při jednom provedení je možno řídit průchod skla a průtok plynu tak, aby proud druhého plynu druhým vstupním kanálem 15 a tím i spojený proud plynu v povlékací zóně 17 byl turbulentní, přičemž se současně brání zpětnému průniku druhého reakčního plynu do proudu prvního reakčního plynu průchodem 16. Upotřebené plyny, a to nosné plyny, nezreagované reakční složky a odpadní plyny, se z povlékací zóny 17 odvádějí odtahovým kanálem 18 použitím sníženého tlaku, například odsáváním pomocí neznázoměného exhaustoru přes odtahové štěrbinovité zařízení 26 s přední stěnou 27 a zadní stěnou 28. Snížený tlak nejen odsává plyny z povlékací zóny 17, ale také nasává vzduch z atmosféry štěrbinami 29, 30 na obou koncích zařízení 1.
Popsané zařízení může pracovat po delší časové období plynule bez nežádoucího blokování druhého vstupního kanálu 15, k němuž jinak může docházet v důsledku usazování povlékacího materiálu ve druhém vstupním kanálu 15. Tímto způsobem je tedy možno usnadnit výrobu plynulých povlaků na pohybujícím se pásu 12 skla ve vysokém výtěžku.
Zařízení 1 podle vynálezu je zvláště výhodné pro výrobu povlaků oxidu cíničitého. užívaných k odrážení infračerveného záření. Postupuje se například tak, že v prvním reakčním plynu je chlorid cíničitý, a druhý reakční plyn obsahuje vodní páru. Aby bylo možno zlepšit požadované vlastnosti povlaku, zejména schopnosti odrážet infračervené záření, je možno do reakčních plynů přidat dopující prostředek, například zdroj antimonu nebo fluoru. Při použití zařízení 1 podle vynálezu je možno nanášet také jiné povlaky, například oxid titaničitý nebo nitrid titaničitý. V případě nanášení povlaku oxidu titaničitého může první reakční plyn obsahovat chlorid titaničitý a druhý reakční plyn vodní páru. V případě nanášení povlaku nitridu titaničitého může první reakční plyn obsahovat chlorid titaničitý, jako složka druhého reakčního plynu se použije amoniak.

Claims (6)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla, přičemž tento povlak se vytváří reakcí alespoň dvou plynných reakčních složek, a zařízení obsahuje směrem dolů k povrchu skla otevřenou povlékací komoru, rozprostírající se přes celou šířku povlékaného pásu skla a mající první vstupní kanál a druhý vstupní kanál, sestávající z kanálu, který se rozprostírá napříč stropu povlékací komory přes celou její šířku, první rozdělovač plynu, umístěný nad prvním vstupním kanálem, druhý rozdělovač plynu, umístěný nad druhým vstupním kanálem, a odtahový kanál, vyvedený z povlékací komory, první vstupní kanál a odtahový kanál jsou umístěny na protiproudé straně, respektive na poproudé straně druhého vstupního kanálu, kde protiproudá, respektive poproudá strana, jsou vztaženy na proud plynných reakčních složek povlékací komorou, vy z n aču j í cí se tím, že strop (9a, 9b) povlékací komory (10) má stupňovité uspořádání u místa spojení druhého vstupního kanálu (15) a povlékací komory (10), přičemž strop (9a) povlékací komory (10) na protiproudé straně vzhledem ke druhému vstupnímu kanálu (15) je umístěn ve větší výšce než strop (9b) povlékací komory (10) na poproudé straně vzhledem ke druhému vstupnímu kanálu (15), takže podélný průřez stropu (9a, 9b) má stupňový obrys.
  2. 2. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že strop (9a) povlékací komory (10) na protiproudé straně druhého vstupního kanálu (15) je alespoň o 5 mm nad stropem (9b) povlékací komory (10) na poproudé straně druhého vstupního kanálu (15).
  3. 3. Zařízení podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že strop (9a) povlékací komory (10) na poproudé straně druhého vstupního kanálu (15) je nejvýše o 75 mm nad stropem (9b) povlékací komory (10) na poproudé straně druhého vstupního kanálu (15).
  4. 4. Zařízení podle nároku 2 nebo 3, vyznačující se tím, že strop (9a) povlékací komory (10) na protiproudé straně druhého vstupního kanálu (15) je o 10 mm nad stropem (9b) povlékací komory (10) na poproudé straně druhého vstupního kanálu (15).
  5. 5. Zařízení podle alespoň jednoho z nároků laž4, vyznačující se tím, že druhý vstupní kanál (15) je uspořádán ve svislém směru.
  6. 6. Zařízení podle alespoň jednoho z nároků 1 až 5, vyznačující se tím, že poproudá boční stěna (56) druhého vstupního kanálu (15) je u místa jejího spojení se stropem (9b) povlékací komory (10) vytvořena jako vypouklý zakřivený povrch (57).
CS895826A 1988-10-14 1989-10-13 Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla CZ283608B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB888824102A GB8824102D0 (en) 1988-10-14 1988-10-14 Apparatus for coating glass

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ582689A3 CZ582689A3 (en) 1997-12-17
CZ283608B6 true CZ283608B6 (cs) 1998-05-13

Family

ID=10645192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS895826A CZ283608B6 (cs) 1988-10-14 1989-10-13 Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla

Country Status (29)

Country Link
US (1) US5022905A (cs)
EP (1) EP0365240B1 (cs)
JP (1) JP2594650B2 (cs)
KR (1) KR960010096B1 (cs)
CN (1) CN1025846C (cs)
AT (1) ATE94159T1 (cs)
AU (1) AU622711B2 (cs)
BG (1) BG50832A3 (cs)
BR (1) BR8905216A (cs)
CA (1) CA2000269C (cs)
CZ (1) CZ283608B6 (cs)
DD (1) DD300419A5 (cs)
DE (2) DE365240T1 (cs)
DK (1) DK509989A (cs)
ES (1) ES2013987T3 (cs)
FI (1) FI96506C (cs)
GB (2) GB8824102D0 (cs)
HU (1) HU210280B (cs)
IN (1) IN174378B (cs)
MX (1) MX171377B (cs)
NO (1) NO175425C (cs)
PL (1) PL162824B1 (cs)
RO (1) RO104572B1 (cs)
RU (1) RU1838261C (cs)
TR (1) TR23962A (cs)
TW (1) TW203034B (cs)
UA (1) UA11250A1 (cs)
YU (1) YU47026B (cs)
ZA (1) ZA897659B (cs)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IN177541B (cs) * 1990-06-29 1997-02-08 Geoffrey Norman Pain
AU650887B2 (en) * 1990-06-29 1994-07-07 Telstra Corporation Limited A method and apparatus for treating a surface
FR2672518B1 (fr) * 1991-02-13 1995-05-05 Saint Gobain Vitrage Int Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux.
ATE145195T1 (de) * 1992-07-11 1996-11-15 Pilkington Uk Ltd Verfahren zur herstellung von reflektierenden schichten auf glas und nach diesem verfahren hergestellte spiegel
US5314727A (en) * 1992-07-28 1994-05-24 Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium
GB9300400D0 (en) * 1993-01-11 1993-03-03 Glaverbel A device and method for forming a coating by pyrolysis
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
US5723172A (en) * 1994-03-11 1998-03-03 Dan Sherman Method for forming a protective coating on glass
US5665424A (en) * 1994-03-11 1997-09-09 Sherman; Dan Method for making glass articles having a permanent protective coating
FR2736632B1 (fr) 1995-07-12 1997-10-24 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive
US5607722A (en) * 1996-02-09 1997-03-04 Micron Technology, Inc. Process for titanium nitride deposition using five-and six-coordinate titanium complexes
US5659057A (en) * 1996-02-09 1997-08-19 Micron Technology, Inc. Five- and six-coordinate precursors for titanium nitride deposition
US5908947A (en) * 1996-02-09 1999-06-01 Micron Technology, Inc. Difunctional amino precursors for the deposition of films comprising metals
US5976976A (en) 1997-08-21 1999-11-02 Micron Technology, Inc. Method of forming titanium silicide and titanium by chemical vapor deposition
US6284316B1 (en) * 1998-02-25 2001-09-04 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
US6143362A (en) * 1998-02-25 2000-11-07 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
JP4984562B2 (ja) * 2006-02-16 2012-07-25 Jfeスチール株式会社 金属ストリップ表面へのTiN成膜方法およびTiN連続成膜装置
JPWO2014081030A1 (ja) * 2012-11-26 2017-01-05 旭硝子株式会社 薄膜形成方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1307361A (en) * 1969-04-23 1973-02-21 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1307216A (en) * 1969-04-23 1973-02-14 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1507465A (en) * 1974-06-14 1978-04-12 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1507996A (en) * 1975-06-11 1978-04-19 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1516032A (en) * 1976-04-13 1978-06-28 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB2026454B (en) * 1978-07-20 1982-07-21 Bfg Glassgroup Coating glass with tin oxide
CA1138725A (en) * 1978-07-20 1983-01-04 Robert Terneu Glass coating
BE879189A (fr) * 1978-10-19 1980-04-04 Bfg Glassgroup Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus
US4325987A (en) * 1979-07-31 1982-04-20 Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. Process for the production of an electrically conducting article
CH643469A5 (fr) * 1981-12-22 1984-06-15 Siv Soc Italiana Vetro Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide.
NO168762C (no) * 1985-12-20 1992-04-01 Glaverbel Belagt, flatt glass.
GB2187184B (en) * 1985-12-20 1989-10-11 Glaverbel Process and apparatus for pyrolytically coating glass
GB8531424D0 (en) * 1985-12-20 1986-02-05 Glaverbel Coating glass
GB2185249B (en) * 1985-12-20 1989-10-18 Glaverbel Apparatus for and process of coating glass
US4793282A (en) * 1987-05-18 1988-12-27 Libbey-Owens-Ford Co. Distributor beam for chemical vapor deposition on glass
AU2011319565B2 (en) 2010-10-22 2015-01-29 International Business Machines Corporation Content caching with remote charging services in a radio access network

Also Published As

Publication number Publication date
GB8824102D0 (en) 1988-11-23
YU47026B (sh) 1994-11-15
JPH02167841A (ja) 1990-06-28
DE365240T1 (de) 1990-08-16
GB2225343B (en) 1993-02-03
CN1025846C (zh) 1994-09-07
BR8905216A (pt) 1990-05-15
CZ582689A3 (en) 1997-12-17
FI96506C (fi) 1996-07-10
ZA897659B (en) 1990-09-26
FI894859A0 (fi) 1989-10-13
DE68908993D1 (de) 1993-10-14
GB2225343A (en) 1990-05-30
DE68908993T2 (de) 1994-04-21
ES2013987A4 (es) 1990-06-16
ATE94159T1 (de) 1993-09-15
DK509989D0 (da) 1989-10-13
CN1042138A (zh) 1990-05-16
MX171377B (es) 1993-10-21
DD300419A5 (de) 1992-06-11
GB8923059D0 (en) 1989-11-29
AU4255589A (en) 1990-04-26
ES2013987T3 (es) 1994-01-16
JP2594650B2 (ja) 1997-03-26
PL162824B1 (pl) 1994-01-31
FI96506B (fi) 1996-03-29
EP0365240B1 (en) 1993-09-08
IN174378B (cs) 1994-11-19
NO894093L (no) 1990-04-17
TR23962A (tr) 1991-01-11
KR900006249A (ko) 1990-05-07
HUT55714A (en) 1991-06-28
RU1838261C (ru) 1993-08-30
HU210280B (en) 1995-03-28
TW203034B (cs) 1993-04-01
NO894093D0 (no) 1989-10-13
DK509989A (da) 1990-04-15
BG50832A3 (en) 1992-11-16
AU622711B2 (en) 1992-04-16
YU198689A (en) 1991-06-30
KR960010096B1 (ko) 1996-07-25
EP0365240A1 (en) 1990-04-25
UA11250A1 (uk) 1996-12-25
HU895301D0 (en) 1990-01-28
CA2000269C (en) 1998-05-19
RO104572B1 (en) 1994-08-29
CA2000269A1 (en) 1990-04-14
US5022905A (en) 1991-06-11
NO175425C (no) 1994-10-12
NO175425B (no) 1994-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ283608B6 (cs) Zařízení k ukládání povlaku na pohybující se horký pás skla
EP0365239B1 (en) Process for coating glass
US4834020A (en) Atmospheric pressure chemical vapor deposition apparatus
US4562095A (en) Method and apparatus for manufacturing a uniformly coated substrate
JPS6124352B2 (cs)
IL99643A (en) Apparatus for depositing a metal oxide coating on glass articles
JP2518896B2 (ja) 板ガラスのコ―ティング方法および装置
GB2333781A (en) CVD coater for glass using two exhaust towers
EP0369602B1 (en) Glass coating apparatus
IE893249L (en) Depositing a coating on hot glass from at least two gaseous¹reactants
RU1838262C (ru) Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20021013