RU1838262C - Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла - Google Patents

Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла

Info

Publication number
RU1838262C
RU1838262C SU894742175A SU4742175A RU1838262C RU 1838262 C RU1838262 C RU 1838262C SU 894742175 A SU894742175 A SU 894742175A SU 4742175 A SU4742175 A SU 4742175A RU 1838262 C RU1838262 C RU 1838262C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
gas
glass
stream
flow
Prior art date
Application number
SU894742175A
Other languages
English (en)
Inventor
Томас Гранди Берри
Хагривз Эдвард
Original Assignee
Пилкингтон Плс
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Пилкингтон Плс filed Critical Пилкингтон Плс
Application granted granted Critical
Publication of RU1838262C publication Critical patent/RU1838262C/ru

Links

Landscapes

  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Сущность изобретени : на движущуюс  ленту гор чего стекла нанос т покрытие из смешанного газового турбулентного потока двух реагентов с числом Рейнольдса более 2500. Турбулентный поток второго газообразного реагента ввод т в поток первого реагента под углом не более чем 90°. Первый реагент может содержать хлористое олово, второй - вод ной пар, а также фтористый водород. Смешанный газовый турбулентный поток предпочтительно имеет число Рейнольдса более 6000. 3 з.л.ф-лы, 3 ил.

Description

Ё
. Изобретение относитс , в частности, к способу нанесени  на стекло.покрыти , в котором по меньшей мере два газообразных ре л ген та вступают в реакцию с образованием покрыти  на движущейс  ленте гор чего стекла.
Целью изобретени   вл етс  повышение эффективности.
Изобретение показывает, что сравнительно толстые покрыти  (200 нм и более) мо||ут быть успешно получены в сравнительно короткой камере дл  нанесени  покры- ти  на гор чей ленте движущегос  стекла из по (меньшей мере двух газообразных реагентов , взаимодействующих друг с другом. Способ получени  таких покрытий заключаете 1 в создании первого потока первого газа1 реагента вдоль нагретой поверхности сте ела в первом общем направлении, параллельном направлению движени  стекла, созданий второго потока газа-реагента в виде турбулентного потока во втором общем направлении под углом к первому общему направлению и к поверхности стекла, во введении второго потока в первый поток под указанным углом, избега  восход щего движени  второго газа-реагента в первом потоке, направлении смешанного газового потока дл  нанесени  покрыти  вдоль поверхности нагретого стекла в первом общем направлении в виде турбулентного потока через зону нанесени  покрыти . Отработанные газы дл  покрыти  рекомендуют удал ть с нагретого стекла.
Каждый из первых и вторых потоков может включать один или несколько реагентов дл  покрыти  и газ-носитель, например азот или воздух, хот  пон тно, что желательно
00
со
00
ю о ю
И
избегать смешивани  в пределах как первого , так и второго потока газов, реагирующих друг с другом с образованием нежелательных отложений на стекле или оборудовании дл  нанесени  покрыти  еще до смешива- ни  первого и второго потоков друг с дру- . гом.
Второй поток создают в виде турбулентного потока, поскольку Это необходимо дл  достижени  удовлетворительной степени смешивани  с первым потоком, уже контактирующим со стеклом. Турбулентность второго потока приводит к быстрому смешиванию двух газов и обеспечивает равно- мерное покрытие, наносимое в короткой зоне нанесени  покрыти .
Выражение турбулентный поток, используемое в описании, означает поток, в котором флуктуации, хаотичные и во времени , и в пространстве, по скорости и по на- правлению налагаютс  на средние услови  в потоке. Требуема  турбулентность потока может быть достигнута при работе со сравнительно высокими числами Рейноль- дса (как правило, по меньшей мере 2500) или при работе с несколько более низкими числами Рейнольдса и созданием в потоке достаточных восход щих отклонений, обес- печивающих турбулентность. Хот  работа при числах Рейнольдса ниже 2500 и может быть осуществлена, если создавать в потоке достаточные восход щие отклонени , тем не менее дл  создани  необходимой турбулентности необходимы числа Рейнольдса по меньшей мере 1700, но в то же врем  при наложении достаточной деформации сдвига турбулентность может быть создана и при более низких числах Рейнольдса. Дл  смешанного потока обычно характерно число Рейнольдса по меньшей мере 2500. пред- почтительно по меньшей мере 6000.
Первый поток может быть турбулент- .ным или ламинарным. Рекомендуетс , чтобы он совпадал с направлением движени  стекла, и поскольку его общее направление параллельно направлению движени  стекла , поток может несколько сходитьс  по направлению к стеклу или несколько отклон тьс  от стекла. Более того, совершенно необ зательно, чтобы смешанный поток был точно параллелен стеклу, например средний поток может несколько сходитьс  со стеклом или несколько отклон тьс  от стекла при условии, что поток совпадает по направлению или противоположен по на- правлениюк направлению движени  стекла и контактирует со стеклом в зоне нанесени  покрыти .
Восход щего движени  второго газа- реагента в первом потоке первого газе-peaгента необходимо избегать. Такое восход щее движение способно привести к неравномерному местному отложению материала покрыти  в восход щем направлении от места , в котором второй газ-реагент ввод т в поток первого газа-реагента. Таким образом , указанного восход щего движени  необходимо избегать, чтобы не допускать какого-либо местного отложени  покрыти , привод щего к существенной неравномерности конечного покрыти .
Дл  того, чтобы избежать какого-либо восход щего движени  второго газа-реагента в первом потоке, второй поток рекомендуетс  создавать и вводить в первый поток под углом не более 90° к первому потоку. На практике рекомендуетс  использовать угол, близкий к 90°, поскольку такой угол, как найдено, сводит к минимуму отложени  материала покрыти  на выходе из канала дл  второго потока с одновременным исключением восход щего движени  второго газа-реагента в первому потоке.
Найдено, что широкомасштабные структурные элементы потока, такие как вращающиес  пустоты или вихревое движение , способны привести к неравномерности покрыти , вследствие чего их надо избегать. На практике применение турбулентного потока уменьшает указанные элементы. Они могут быть еще больше уменьшены путем увеличени  скорости потока второго газа- реагента, -вводимого в поток первого газа- реагента, и/или работой при скорост х смешанного потока более низких, чем скорость второго потока с замедлением газа второго потока при направлении его на нагретое стекло. С другой стороны, маломасш- табные структурные элементы, т.е. элементы с небольшими максимальными размерами (менее 20%, предпочтительно менее 10%) по сравнению с прот женностью зоны нанесени  покрыти , в которой на большую толщину отлагаетс  покрытие, приемлимы с точки зрени  заметных отклонений от равномерности покрыти . Таким образом, мэломасштабные элементы, неизбежные в турбулентном потоке, могут быть приемлемы.
Предлагаемый способ особенно полезен дл  получени  отражающегос  инфракрасное излучение покрыти  из оксида олова с использованием, например, четыреххло- ристого олова в качестве первого газа-реагента и паров воды в качестве второго газа реагента. Дл  усилени  отражающей инфракрасное излучение способности покрыти  в реакционные газы может быть введена легирующа  добавка, така  как  вл юща с  источником сурьмы или фтора/
Д )угие покрыти , такие как покрыти  из ок- cv да титана или нитрида титана, могут быть также нанесены предлагаемым способом. Д (  нанесени  покрыти  из оксида титана в «честве первого газа-реагента может быть применен четыреххлористый титан, а в качестве второго газа-реагента - вод ной пар. Д 1  получени  покрыти  из нитрида титана в Kt честве первого газа-реагента может быть ис пользован четыреххлористый титана и в качестве второго газа-реагента - аммиак.
На фиг.1 представлена установка дл  rtc несени  покрыти  предлагаемым способе м, в разрезе; на фиг.2 показан вид А на фнг. фиг.З - ограничитель газового потока , используемый в установке, вид сбоку в азрезе.
Термины восход щий и нисход щий используютс  со ссылкой на направлении ДЕ ижени  потоков газо-реагентов через камеру дл  нанесени  покрыти . Рекомендуетс , кас в специфичных вариантах, приведенных в виде примеров, чтобы это направление совпадало с направлением движени , стекла, но это необ зательно. Изобретение может быть успешно использовано -и при противоточном движении потока газа-реагента к направленно движени  стекла.
Установка дл  нанесени  покрыти  подведена над лентой 1 стекла, перемещаемой с г омощью валиков (не показаны) слева направо , к каретке 2, состо щей из горизонтальной пластины 3, к верхней поверхности которой приварены передние А и задние 5 креп щие кронштейны. Как правило, по вс р ширине установки предусмотрены три пеэедних и-три задних креп щих кронштейна в каждом случае один из кронштейнов ра:положен в центре, а два остальных - вб 1изи концов установки. Каждый из креп - ш х кронштейнов свешиваетс  с соответст- вуощей охлаждаемой водой балки (не показаны), располагающейс  поперечно uiv рине стекла, на которое нанос т покрытии . .
Нижн   часть установки состоит из р да профилированных углеродных блоков 6, 7, }, 9, 10, 11. расположенных перпендику- л  но поверхности стекла, на которое нанос  покрытие. Углеродные блоки образуют с поверхностью стекла камеру 12 дл  нанесе- ни 1 покрыти , имеющую потолок 13.14 ступенчатой конфигурации, причем потолок 13 в восход щем направлении от второго впускного канала 15 выше потолка 14 в нисход щем направлении от второго впускного канала. Углеродные блоки ограничивают по вертикали первый впускной канал 16 дл  по, 1ачи в камеру дл  нанесени  покрыти  пё )вого газа-реагента, по вертикали второй .
впускной канал 15 дл  подачи в камеру дл  нанесени  покрыти  второго газа-реагента, проход 17 дл  потока в камере дл  нанесени  покрыти  между первым впускным ка- 5 налом и вторым впускным каналом, выпускной канал 18 дл  удалени  отработанных газов из камеры дл  нанесени  покрыти  и зону 19 дл  нанесени  покрыти , образуемую проходом дл  потока газа в ка10 мере дл  нанесени  покрыти  между вторым впускным каналом 15 и выпускным каналом 18.
Каждый из углеродных блока подвешен ниже„горизонтальной пластины 20. Блоки
15 имекуг каналы (не показаны) дл  жидкого теплоносител , такого как охлаждающа  вода , и при работе установки температуру углеродных блоков регулируют пропусканием охлаждающей воды по этим каналам.
0 Камера 12 дл  нанесени  покрыти  имеет открытую поверхность, направленную поперечно ленте 1 стекла, на которое нанос т покрытие. В восход щем конце камеры дл  нанесени  покрыти  углеродные блоки
5 6 и 7 ограничивают по вертикали первый впускной канал 16, через который в камеру впускают первый газообразный реагент. В нисход щем направлении от первого впускного канала между углеродными блоками 7
0 и 8 создаетс  второй вертикальный канал 15 дл  подачи в камеру дл  нанесени  покрыти  второго газообразного реагента. В нисход щем конце камеры дл  нанесени  покрыти  углеродные блоки 10 и 11 ограни5 чивают выпускной канал 18. служащий дл  удалени  из камеры отработанных газов.
Первый газ-реагент подают в первый впускной канал 16 по газоподающему каналу (не показан) через канал-распределитель
0 21 и ограничитель 22 газового потока. Канал-распределитель ограничен передними 23 и задними 24 стенками в форме инвертированных лопастей, сближающихс  друг с другом в нисход щем направлении с обра5 зованием в нижней части канала узкой щели
25, направленной поперечно ширине ленты стекла, на которое нанос т покрытие.
Первый газ-реагент, поступающий из щели 25 в основании канала 21, пропускают 0 через ограничитель 22 газового потока, расположенный ниже канала 21. Ограничитель 22 (фиг.З) состоит из противоположно рас положенных пар удлиненных стенок 26. 27 и 28,.29, образующих удлиненную камеру 5 30. Удлиненные стенки направлены перпендикул рно в поперечном направлении к ленте стекла, на которое нанос т покрытие. Стенки 26 и 28  вл ютс  восход щими, а стенки 27 и 29 - нисход щими. На каждом конце удлиненной камеры 30 имеютс  противоположные концевые стенки 3.1, причем кажда  концева  стенка расположена параллельно движению стекла.
У впускного конца ограничител  22 газового потока предусмотрен впускной ограничитель 32, представл ющий собой удлиненный впускной пластинчатый элемент 33, проход щий поперек камеры 30. Впускной пластинчатый элемент герметично фиксирован между противоположно рас- положенными парами пластин 34, 35, причем кажда  пара пластин прикреплена, например приварена, к соответствующей удлиненной стенке 26,27 и к каналу-распределителю 21. Пластины каждой пары крепко св заны друг с другом с помощью нарезанных соединителей 36. Между каждой парой пластин 34, 35 и впускным пластинчатым элементом 33 имеютс  прокладки {не показаны ).
По всей длине впускного пластинчатого элемента 33 имеетс  р д отверстий 37, соедин ющих впускной конец ограничител  газового потока с остальной частью камеры 30. Отверсти   37 представл ют собой круглые дырки предпочтительно диаметром 2- .10 мм. В одном из особенно рекомендуемых вариантов диаметр отверстий 4 мм с центрами , отдаленными друг от друга на 20 мм. Р д отверстий 37 расположен на восход щей стороне удлиненной камеры 30.
Р дом с выходом 38 ограничител  22 газового потока расположен выпускной ограничитель 39. Его конструкци  така  же, что и впускного ограничител  32, т.е. он имеет удлиненный выпускной пластинчатый .элемент 40, герметично фиксированный между противоположно расположенными парами пластин 41, 42, прикрепленных, например приваренных, к соответствующим удлиненным стенкам 28,29. Пластины 41,42 отделены от выпускного пластинчатого элемента 40 прокладками (не показаны) и крепко св заны друг с другом нарезными соединител ми 43, которые также крепко св зывают пластины 41,42, а в итоге и ограничитель газового потока, с пластиной 19, к которой подвешены графитовые блоки 6, 7, В выпускном пластинчатом элементе 40 имеетс  р д отверстий 44 предпочтительно диаметром 2-10 мм, и в одном из особенно рекомендуемых вариантов диаметром 4 мм с центрами отверстий, удаленных друг от друга на 10 мм. Р д отверстий. 44 расположен на восход щей стороне камеры 30.
Отражатель 45 потока газа расположен у выхода 38 из ограничител  22 газового потока ниже выпускного пластинчатого элемента 40 и состоит из 1 -о5оазного элемента 46, составл ющего одно целое с олной из
пластин 41 и расположенного р дом с отверсти ми 44. Свободный конец 47 L-образ- ного элемента 46 направлен вверх по направлению к выпускному пластинчатому
элементу 40. с которым образует зазор 48, через который газ-реагент из отверстий 44 должен проходить после отражени  от горизонтальных ответвлений 49 L-образного элемента 46.. .
0 Назначение отражател  45тазового потока заключаетс  в ликвидации определенных локализованных повышений в газовом потоке, которые могут произойти.
К примеру, имеетс  тенденци  к повыше5 нию интенсивности газового потока в непосредственной близости к каждому из отверстий 44 в пластинчатом элементе 40 ниже этого элемента. Наличие отражател  газового потока выравнивает также локализованные повы0 шени  интенсивности потока. В некоторых случа х может оказатьс  возможным исклю- чить отражатель газового потока из конструкции ограничител  газового потока.
Промежуточный ограничитель 50 распо5 ложен между впускным 32 и выпускным 39 ограничител ми. Его конструкци  совпадает с конструкцией впускного ограничител  32 и включает в себ  удлиненный промежуточный пластинчатый элемент 51 с р дом
0 отверстий 52. Промежуточный пластинча-, тый элемент 51 герметично фиксирован между противоположно расположенными парами горизонтальных пластин 53, 54, прикрепленных, например приваренных к
5 удлиненным стенкам 26,28, 27 и 29 соответственно . Между пластинами 53, 54 и проме-- жуточным пластинчатым элементом 51 имеютс  прокладки (не показаны), и пластины 53,54 соединены друг с другом нарезны0 ми соединител ми 55. Р д отверстий 52 в промежуточном пластинчатом элементе 51 в отличие от впускного и выпускного пластинчатых элементов расположен на нисхо- . д щей стороне удлиненной камеры 30, т.е.
5 отверстий 52 расположен ближе к нисход -, щим стенкам 27, 29, чем к восход щим стенкам 26, 28 камеры 30. Такое расположение р да отверстий в р дом расположенных удлиненных пластинчатых элементах приво0 дит. к тому; что они находит не на одной. линии по отношению друг к другу.
Второй газ-реагент подают по второму . впускному каналу 15 из второго газоподво- д щего.канала (не показан) через канал-рас5 пределитель 56 той же конструкции, что и канал-распределитель 21 и затем ограничитель 57 газового потока той же конструкции. что и о граничитель 22 газового потока.
Отработанные газы, проход щие по вы.- пускному каналу 18, затем проход т через
к0нал 58 в объемном элементе 59, после чего поступают в выпускной канчл 60, передн   61 и задн   62 стенки которого имеют форму инвертированных лопастей. Отработанные , непрореагировавшие газы-реагенты и г&зы-носители из выпускного канала со стенками в форме инвертированных лопастей попадают в проход дл  отработанных газов (не показан).
. i Высоты углеродных блоков 6, 7 и 8, ограничивающих первый впускной канал 16 и второй впускной канал 15, выбирают соответственно такими, чтобы потолок 13, 14 камеры 12 дл  нанесени  покрыти  имел ступенчатую конфигурацию в месте соединени  второго впускного канала 15 с камерой дл  нанесени  покрыти , при этом фтолок 13 камеры 12 на восход щей стороне второго впускного канала 15 находитс  на более высоком уровне по сравнению с потолком 14 камеры на нисход щей стороне второго впускного канала 1:5 и, как видно на фиг.1, .лини , соответствующа  потолку в Продольном сечении, имеет непрерывный и .Ступенчатый характер. Так, нижн   часть блока 8 может быть на 10 мм ниже нижней части блока 7. В результате основание восход щей стенки 63 второго впускного канала может быть на 10 мм выше нисход щей стенки 64 того же канала с образованием Спускной щели 65 со ступенчатой конфигу-. рацией. Така  ступенчата  щель сводит к минимуму количество .твердого материала Покрыти , отлагаемого на боковых стенках второго впускного канала 15 вблизи впуск- Нюй щели. Восход щий верхний конец углеродного блока 8 может быть исполнен в|ыпуклым (не показано)-, например с радиусом кривизны дл  ступенчатой впускной щели 10 мм и высотой ступеньки 10 мм.
В работе установка дл  нанесени  покрыти  подвешена над лентой 1 стекла на .бысоте, при которой углеродный блок 11 в «исход щем конце установки расположен на высоте пор дка 10 мм от поверхности ленты стекла, на которое нанос т покрытие, (Первый газ-реагент, обычно разбавленный газом-носителем, подают в канал-распределитель 21 и газовый ограничитель 22, обеспечивающий равномерное распределение газа по всей ширине стекла, на которое нанос т покрытие. Выход щий из газового ограничител  22 газ проходит через первый Спускной канал 16 и попадает в камеру 12 дл . нанесени  покрыти , где проходит в первом общем направлении, параллельном Стеклу, вдоль прохода в камере 12 по направлению к основанию второго впускного канала 15. Второй газ-реагент, обычно разбавленный газом-носителем.. подают в канал-распредепитель 56 и газовый ограничитель .57 с гарантированным равномерным распределением второю газообразного реагента по всей ширине стекла. 5Второй газ-реагент, включа  и газ-носитель , подают в канал-распределитель 56 со скоростью, достаточной дл  создани  турбулентного потока газа-реагента из второго
впускного канала 15, попадающего в камере 10 дл  нанесени  покрыти  в поток первого газа-реагента, при этом относительные скорости первого и второго потоков выбирают такими, при которых исключаетс  восход щее движение второго газа-реагента в пер- 5 вом пбтоке.
Поток смешанного газа направл ют в виде турбулентного потока над поверхностью стекла через зону 19 нанесени  покры0 ти , где два газа-реагента взаимодействуют с нанесением покрыти  на поверхности гор чего стекла. Газ-носитель, непрореэгиро- вавшие газы-реагенты и отработанные газы удал ют из реакции в зоне нанесени  по5 крыти  и с нагретого стекла через выпускной канал 18. созданием пониженного давлени  (например, отсосом с помощью выт жного вентил тора - не показан) в канале 60 дл  отработанных газов, имеющие
0 расход щиес  в направлении вверх переднюю и заднюю стенки в форме инвертированной лопасти. С помощью пониженного давлени  не только удал етс  газ из зоны нанесени  покрыти , но может быть вызван
5 приток внешней атмосферы под нисход щим 63 и аосход щмм 64 концами установки дл  нанесени  покрыти .
Первый поток первого газа-реагента, поступающий по первому впускному каналу
0 16, может быть турбулентным или ламинарным .
Использование камеры дл  нанесени  , покрыти  с потолком ступенчатой конфигурации в месте входа второго впускного ка5 нала обеспечивает работу установки продолжительное врем  без нежелательного забивани  второго впускного канала, происход щего вследствие отложени  в канале материала покрыти . Применение спо0 соба и установки, описанных выше, дл  нанесени  покрыти  из оксида олова, легит рованного фтором, на ленту гор чего стекла
иллюстрируетс  нижеследующими примерами ,.
5 П р и м е р 1. Ленту флоат-стекла (4 мм) пропускают под установкой дл  нанесени  покрыти  при скорости ленты 540 м/ч. Установку располагают перед лером при температуре стекла под ней 580°С. Первый газ-реагент, состо щий из четыреххлористого олова, предварительно нагревают до 345°С сухим воздухом, служащим также газом-носителем , и подают в канал-распределитель . Скорость подачи четыреххлористого олова 84 кг/ч, скорость подачи сухого возду- ха 105 м3/ч (измерени  при нормальных услови х ). Первый газ-реагент проходит через канал-распределитель и ограничитель газового потока, распредел ющий газ по всей ширине камеры дл  нанесени  покрыти  с обеспечением однородного потока первого газа-реагента по всей ширине камеры в на- правлении впускного канала. Газ, поступающий из выпускного канала, смешиваетс  с потоком воздуха, выпускаемого под нисхо- д щей п той, и проходит в первом общем направлении, параллельном стеклу, по проходу в направлении второго впускного канала и зоны нанесени  покрыти . Число Рейнольдса выход щего из выпускного ка- нала потока согласно расчетам 1300.
Второй газ-реагент, содержащий 20% фтористоводородной кислоты в предварительно нагретом до 402°С воздухе, подают в.о-;впускной канал-распределитель. Скоро- Сть пОдйчи фтористоводородной кислоты 34 кг/ч, скорость подачи воздуха 620 м3/ч (соответствует нормальным услови м). Второй газ-реагент проходит через канал-распределитель и ограничитель газового потока, распредел ющий газ по всей ширине установки дл  нанесени  покрыти  с обеспечением равномерного потока второго газа-реагента по всей ширине установки-в направлении впускного канала. Выход щий из второго впускного канала газ.представл ет собой турбулентный поток, который смешиваетс  с первым потоком первого газа-реагента , проход щего над поверхностью стекла. Число Рейнольдса выход щего из впускного канала газа.согласно расчетам
4750.
При введении второго потока газа из впускного канала в установившийс  лоток из впускного канал вдоль прохода газы-реа- генты быстро смешиваютс  и в камеру дл  нанесени  покрыти  поступает смешанный поток. Число Рейнольдса потока смешанного газа в камере дл  нанесени  покрыти  согласно расчетам 7600 благодар  вли нию потока газа, подаваемого, под нисход щей п той. Восход щего движени  второго-газа реагента в первом потоке первого газа-реагента .избегают путем ограничени  скорости второго пбтока по впускному каналу и обес- печени  достаточно высокой скорости удалени  газов через выпускной канал 18.
Отработанный газ дл  нанесени  покрыти  удал ют с нагретого стекла через выпускной канал и канал-распределитель
создание пониженного давлени  (7.5 миллибар ниже атмосферного давлени ) в начале канала.
Описанный способ приводит к удовлетворительно равномерному покрытию из оксида олова, легированного фтором, средней толщины 270 нм с интервалом толщины 250-275 гм (за исключением краев) при использовании относительно короткой зоны дл  нанесени  покрыти , примерно в 75 см. расположенной между впускным каналом и выпускным каналом. Стекло с нанесенным покрытием имеет ирридесцентную отражающую окраску, котора  вследствие узкого колебани  покрыти  по толщине (±5%) может быть легко ликвидирована использованием подслойного цветогашени .
П р и м е р 2. Воспроизведена методика примера 1 со следующими изменени ми. В первом газе-реагенте четыреххлористое олово подают со скоростью 74 кг/ч, предварительно нагреты до, 300°С воздух подают со скоростью 180 м3/ч (в пересчете на нормальные услови ). Число Рейнольдса выход щего из впускного канала газа согласно расчетам 1900. Второй газ-реагент кроме 20% фтористоводородной кислоты содержит вод ной пэр и предварительно нагретый до 250 С воздух. Вод ной пар подают со скоростью 120 кг/ч, фтористоводородную кислоту - со скоростью 35 кг/ч и воздух - со скоростью 576 м3/ч - (в пересчета на нормальные услови ). Число Рейнольдса выход щего из выпускного канала газа согласно расчетам 6100 и число Рейнольдса смешанного потока в камере дл  нанесени  покрыти  согласно расчетам 8400, Пониженное давление, создаваемое дл  удалени  отработанных газов покрыти  с поверхности стекла, 5 миллибар ниже атмосферного давлени .
Описанный способ приводит к удовлетворительно равномерному покрытию из оксида олова, легированного фтором, с толщиной 303-320 нм. Стекло с нанесенным покрытием имеет ирридесцентную отраженную окраску, котора  вследствие небольшого колебани  толщины покрыти  может быть легко подавлена .применением подслойного гашени  окраски.
Из вышеизложенногоо видно, что способ позвол ет наносить сравнительно толстые (200 нм и более) покрыти  с удовлетворительной степенью однородности в зоне дл  нанесени  покрытий длиной менее 2 м, предпочтительно менее 1 м.

Claims (4)

1.Способ нанесени  покрыти  на движущуюс  ленту гор чего стекла путем создани  потока газообразного реагента
Пропускани  ого п зоне нанесени  покрыти  а|доль поверхности стекла и удалени  отработанною газа, отличающийс  тем, Что, с целью повышени  эффективности, со- задают турбулентный поток второго газообразного реагента, который ввод т в поток первого реагента под углом не более чем 9О°, направл   в зону нанесени  покрыти  Смешанный газовый турбулентный поток с числом Рейнольдса более 2500.
/7 7 13 63 12 65 15 &
0
2. Способ по п. 1, о т п и ч   ю щ и и с   тем, что первый реэгенг содержит хлористое олово, а второй - вод ной пар.
3. Способ по п. 1и 2, отличающийс  тем, что второй реагент содержит дополнительно фтористый водород.
4. Способ по пп.1-3, отличающийс  тем, что смешанный газовый турбулентный поток имеет число Рейнольдса более 6000,
(pt/.i
MA
/
V
Фиг. г
/
/
Л
VA
to--..W 16 38 47 Фиг.З
35
SU894742175A 1988-10-14 1989-10-13 Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла RU1838262C (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB888824147A GB8824147D0 (en) 1988-10-14 1988-10-14 Optical communications system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1838262C true RU1838262C (ru) 1993-08-30

Family

ID=10645223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894742175A RU1838262C (ru) 1988-10-14 1989-10-13 Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла

Country Status (2)

Country Link
GB (1) GB8824147D0 (ru)
RU (1) RU1838262C (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
GB8824147D0 (en) 1989-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0365239B1 (en) Process for coating glass
JP2594650B2 (ja) ガラス被覆方法および装置
US4834020A (en) Atmospheric pressure chemical vapor deposition apparatus
US4524718A (en) Reactor for continuous coating of glass
CA1138725A (en) Glass coating
JP2008069071A (ja) ガラスをコーティングする方法
JP2518896B2 (ja) 板ガラスのコ―ティング方法および装置
US4793282A (en) Distributor beam for chemical vapor deposition on glass
RU1838262C (ru) Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла
GB2026454A (en) Coating glass with tin oxide
US6103015A (en) Symmetrical CVD coater with lower upstream exhaust toe
JP2534368B2 (ja) 平ガラスの被覆装置
IE893249L (en) Depositing a coating on hot glass from at least two gaseous¹reactants