JP2594650B2 - ガラス被覆方法および装置 - Google Patents

ガラス被覆方法および装置

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JP2594650B2 JP1265305A JP26530589A JP2594650B2 JP 2594650 B2 JP2594650 B2 JP 2594650B2 JP 1265305 A JP1265305 A JP 1265305A JP 26530589 A JP26530589 A JP 26530589A JP 2594650 B2 JP2594650 B2 JP 2594650B2
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    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガラスに被覆する装置、特にホットガラス
の移動リボンの表面に、互いに反応するガス状反応体か
ら被覆をガラス表面に塗布する装置に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
建築上の用途で、ホットガラス表面上で分解するガス
状反応体を使用して所望の特性の被覆を製造することが
できることは既知である。ソーラ制御被覆として有用な
シリコン被覆は、ホットガラス表面上でシラン含有ガス
を熱分解することにより形成していた。また他のソーラ
制御および低放射率（高赤外線反射率）被覆を他の適当
なガス状反応体から製造することが多く提案されてき
た。しかし、必要な厚さの充分均一な被覆を得るにはコ
ストの面で難点があった。
このような被覆でガラスをコーティングするための代
表的な方法および装置としては、英国特許明細書第1507
996号に記載されているものがあり、この場合層流状態
の下でガラス表面に平行なガス流を生ぜしめることによ
って反応ガスから均一な被覆を施すようにしている。こ
の英国特許明細書においては、ガラス表面に達する前に
互いに反応し合う反応体の混合物を使用する特別な装置
は設けていない。
英国特許第1516032号には、液状またはガス状の１個
またはそれ以上の被覆反応体を含有する流体媒体を使用
し、この流体媒体を１個またはそれ以上の流れとしてホ
ットガラスに指向させ、少なくとも１個の流れの速度成
分をリボンの移動方向にリボンの表面に対して60°を越
えない角度（または平均角度）傾斜を有するものとして
構成したガラス被覆処理について記載している。この英
国特許を使用すれば、結晶の配列が規則的な均一構体で
あるガラス接触層に特徴がある被覆を形成することがで
きるといわれている。２個またはそれ以上の成分を互い
に反応させたい場合、これら成分は互いに隣接するノズ
ルを介して別個の流れとして供給し、各流れはガラス表
面に対して鋭角の角度をなす反応体の流れとし、ガラス
の近傍で反応体を互いに接触させる。あるいは単独のノ
ズルを使用して第１反応体の流れを供給するとともに、
第２反応体として機能する空気流を第１反応体の流れの
運動エネルギおよび傾斜により反応領域に導入する。排
出ダクトは接触領域の下流域に設け、接触領域からガス
を引き出し、ガラス表面にフードを設け、ガラスに入射
する流体流の領域から流体が通過できるようにする。
英国特許第1524326号には、ガス状媒体を被覆すべき
サブストレートに沿ってほぼ乱流のない層としてガラス
表面を一部とする流路に沿って流動させる方法について
記載しており、流路は排気ダクトに導かれ、残留ガスを
ガラスから取り出すようにしている。ガス状反応体は入
口チャンネルから流路の上流端部に導かれ、この入口チ
ャンネルはガス状反応体をともにガラスに対して鋭角度
で合流させて導入するよう位置決めする。
英国特許明細書第2026454号には、四塩化スズおよび
水蒸気を含有するガス状媒体を使用してホットガラス表
面に酸化薄膜を形成する方法について記載している。特
に好適な実施例においては、四塩化スズの蒸気を含有す
る窒素キャリヤガスを被覆すべきガラス面に沿って流動
させ、水蒸気を含む空気流を上記キャリヤガス流のガラ
ス面に沿って流動する位置に送給する。例えば、フッ化
水素などのドーピング剤をサブストレート面に別個に供
給し、または湿気のある空気に混合させることができ
る。ガス流は、ガス流がほぼ乱流のない層として流動す
る浅い流路から排気ダクトに達する被覆ギャラリーまた
は被覆室に導入することによってガラス表面に供給する
とよい。排気ダクトから残留ガスをガラスから引き出
す。ガス流は被覆ギャラリーまたは被覆室の天井に達す
る供給導管から被覆室に導し、この供給導管を下方およ
びガラスリボンの移動方向の前方に水平に対して45°の
角度で傾斜させる。
ホットガラスサブストレートに酸化スズの被覆を形成
する他の方法として、英国特許第2033374B号に記載のも
のがある。この英国特許においては、上述の英国特許第
2026454B号に記載の装置と同様の装置を使用し、但しこ
の装置は第１被覆室の上流側に追加の被覆室を設け、ガ
ラスサブストレートに酸化金属の下部被覆を堆積してか
ら酸化スズの被覆を堆積させるものである。
更に、他の方法として英国特許出願第2184748A号に記
載の方法において、先駆物質および酸化ガスを被覆室の
上流端部でガラスの上方の混合領域に導入する。熱をこ
の混合領域に供給し、先駆物質および酸化ガスをこの混
合領域において完全に混合させ、被覆形成がほぼ均一な
蒸気混合体から開始される高さでサブストレートに加え
る。この混合体はガラスの上面に接触して被覆室に連続
的に流動させる。天井構体は下流方向に高さを減少し、
被覆室に沿う蒸気流を絞るよう構成するとよい。好適な
実施例においては、天井構体は湾曲して降下させてガラ
スの上方の下流屋根部分に合体するようにする。このこ
とによれば、被覆室内の先駆物質含有蒸気の下流への流
れをスムースにし、このことは被覆を均一にする上で有
利となる。好適には、被覆室の長さを少なくとも5mとす
るとよい。このような長い被覆室を使用すると、新規に
形成したフロートガラスのリボンのような高速移動サブ
ストレート上に比較的熱い被覆を形成するときの被覆効
率を向上させるのに特に有益であるといわれている。
〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、互いに反応するガス状反応体からガラス表面
に被覆を形成しようとし、各反応体を個別の傾斜チャン
ネルから被覆室に導入する形式の装置例えば、上述の英
国特許明細書第2026454号に記載の装置を使用すると
き、被覆プロセスの動作中、第２反応ガスを被覆室に導
入するチャンネルの下方端部に好ましくない被覆材料の
堆積を生ずることを本願人は発見した。この材料の堆積
は入口チャンネルの上流側の側壁に多く見られることが
わかった。このような堆積は急速に増大し、ガラスリボ
ンの表面に形成される被覆の品質を阻害することにな
る。ガラスリボン上の被覆は急速に悪化し、ガラスの表
面に堆積する被覆にストライプのような不均一を生ずる
ことになる。
更に、被覆の品質低下を避ける場合、被覆プロセスを
中断し、被覆装置をガラスリボンから持ち上げ、好まし
くない被覆材料の堆積物を被覆装置から除去することが
必要になる。このクリーニング作業は時間がかかり、無
駄を生ずる。
従って、本発明の目的は、被覆プロセスを長期間連続
的に作動させても被覆材料の好ましくない堆積を最小に
する被覆装置を得るにある。
〔課題を解決するための手段〕
上述の目的を達成するため、本発明は移動するホット
ガラスリボンの表面上に少なくとも２個のガス状反応体
の反応により形成される被覆を堆積させる方法におい
て、被覆室内で前記ガラス上にガラスの移動方向にほぼ
平行な方向の第１ガス状反応体の流れを発生させ、前記
被覆室の天井を横切って延在する入口チャンネルにより
構成した入口手段を経て前記第１ガス状反応体の流れに
第２ガス状反応体を導入し、前記第１ガス状反応体およ
び第２ガス状反応体を前記ガラス表面に接触させてガラ
スの移動方向にほぼ平行な方向に流動させてガラス上に
所望の被覆を形成し、前記被覆室の天井は、前記入口チ
ャンネルと被覆室との接合部で段差形状にし、第１反応
ガスの流れの方向に見て入口チャンネルの上流側の被覆
室天井を、前記入口チャンネルの下流側の被覆室天井よ
りも高いレベルとし、天井の縦断面で描かれるラインが
段差形状となるものとしたことを特徴とする。
更に、本発明は、ホットガラスの移動リボンの表面上
に少なくとも２個のガス状反応体の反応により形成され
る被覆を堆積させる被覆装置において、 被覆すべきガラス表面に接触させ、ガラスの移動方向
にほぼ平行にガス状反応体を流入させてガラス表面に所
望の被覆を形成する側面開放被覆室を設け、この被覆室
を下向きに開放させて被覆すべきガラス表面の幅を横切
る方向に延在させ、前記被覆室には、ガラス表面の幅に
わたり被覆室を通ってガラス表面上に第１ガス状反応体
の流れを生ぜしめる第１入口手段と、被覆室の幅にわた
り室の天井を横切って延在する入口チャンネルにより構
成し、被覆室における第１ガス状反応体の流れに第２ガ
ス状反応体を導入する第２入口手段とを設け、 前記被覆室の天井の前記入口チャンネルと被覆室の接
合部分を段差付形状にし、第１反応ガスの流れの方向に
見て入口チャンネルの上流側の被覆室天井を、前記入口
チャンネルの下流側の被覆室天井よりも高いレベルに
し、天井の縦断面で描かれるラインが段差形状となるよ
うにし、更に、 前記第１ガス状反応体をガス供給ダクトから前記第１
入口手段に移送する第１ガスディストリビュータと、 前記第２ガス状反応体を第２ガス供給ダクトから前記
第２入口手段に移送する第２ガスディストリビュータ
と、 前記被覆室から導いて前記第１および第２の入口手段
の下流域に配置し、使用したガスを被覆室から除去する
排出手段と を設けたことを特徴とする。
本発明の好適な実施例においては、前記入口チャンネ
ルの上流側の被覆室天井を、前記入口チャンネルの下流
側の被覆室天井よりも少なくとも5mm高くし、また通常
高くても75mm程度高いものとする。本願人は15mmを越え
ない段差でうまく機能することを見出し、好適な実施例
においては入口チャンネルの上流側の天井が入口チャン
ネルの下流側の天井よりも10mm高いものとする。
更に、本発明の好適な実施例においては、第２入口チ
ャンネルを、前記被覆室に通過する反応ガスの流路に対
してほぼ直角に配置する。
更に、本発明の好適な実施例においては、前記入口チ
ャンネルの下流側側壁の底部は、前記側壁と前記被覆室
の天井との接合部で凸状湾曲面として形成する。
〔発明の作用および効果〕
この構成によれば、第２入口チャンネルの壁に堆積す
る好ましくない被覆材料の量は大幅に減少する。従っ
て、本発明被覆装置は、クリーニングすべき装置の被覆
処理を中断して装置から好ましくない堆積物を除去する
必要なく従来既知の装置に比べると寿命が長くなる。
第１および第２のガス状反応体をそれぞれに対応のガ
ス供給ダクトから装置に供給し、倒立した扇形の前壁お
よび後壁間に生ずる第１および第２のガスディストリビ
ュータにガス流を通過させることによって被覆すべきガ
ラス表面に分散され、扇形の前壁および後壁は中心入口
から下方に末広となり、被覆すべきガラス表面の幅にわ
たり延在する溝孔に終端する。好適な実施例において
は、前記前壁および後壁を下方に向かって互いに接近す
る方向に傾斜させて前記溝孔に終端させる。
好適には、前記第１ガスディストリビュータと前記第
１入口手段との間に介在させ、被覆すべきガラス表面の
幅を横切って第１ガス状反応体の均一に分布させる第１
ガス流リストリクタを設ける。同様に第２ガスディスト
リビュータと第２入口手段との間に第２ガス流リストリ
クタを設けることにより第２ガス状反応体を均一に分布
させることができる。この第２ガス流リストリクタは第
１ガス流リストリクタと同一の構造とする。
このようなガスリストリクタは、反応ガスの供給を受
けかつ被覆すべき平坦ガラスにわたり反応ガスを流出さ
せる室と一連の少なくとも２個の制限部とを設け、各制
限部は室を横切って延在しかつ複数個の開孔を有するプ
レート部材により構成する。
本明細書中「上流」および「下流」は被覆室における
反応ガスの流れの方向に関して使用する。特別な実施例
においては、ガス流方向をガラス移動方向と同一方向と
するがこれに限定せず、ガラス移動方向とは逆向きに反
応ガスを流動させると都合がよい場合がある。
〔実施例〕
次に、図面につき本発明の好適な実施例を説明する。
被覆装置１をリボン状のガラス12の上方に懸垂し、こ
のガラス12をローラ（図示せず）により左から右へ移動
させる。
被覆装置は水平のプレート３を有するキャリッジ２か
ら懸垂し、このプレート３の上面を多数の前方取付ブラ
ケット４および後方取付ブラケット５に溶着する。代表
的には３個の前方取付ブラケットおよび３個の後方取付
ブラケットを被覆装置の幅方向に設ける。前方および後
方の各取付ブラケットの１個のブラケットは装置の中心
に取付け、他の２個のブラケットは装置の側面の近傍に
取付ける。取付ブラケット４、５の各々はそれぞれの水
冷ビーム（図示せず）から懸垂し、これらビームは被覆
すべきリボン状ガラスの幅方向に配置する。
装置の下方部分には、多数の整形カーボンブロック3
2、34、38、40および42を被覆すべきガラスの幅に対応
する長さにわたり横方向に配置する。カーボンブロック
は段差形状の天井9a、9bを有する被覆室10を形成し、第
２流入チャンネル15の上流における被覆室10の天井9aを
第２流入チャンネル15の下流における被覆室10の天井9b
よりも高くする。このカーボンブロックは、第１反応ガ
スを被覆室に導入するための垂直の第１入口チャンネル
14により構成される第１入口手段と、第２反応ガスを被
覆室に導入するための垂直の第２入口チャンネル15によ
り構成される第２入口手段と、第１流入チャンネル14と
第２流入チャンネル15との間の被覆室における流路16
と、被覆室から使用したガスの排出するための排出チャ
ンネル18と、第２流入チャンネル15と排出チャンネル18
との間の被覆室に設けた流路17とを形成する。
種々のカーボンブロックの各々は水平のプレート部材
44の下面に懸垂する。ブロックには冷却水などの熱伝達
流体のためのダクト（図示せず）を組み込み、装置の使
用にあたり、これらダクトに冷却水を通過させることに
よりカーボンブロックの温度を調整する。
被覆室10は被覆すべきリボン状のガラスまたはガラス
リボン12を横切る開放面を有する。被覆室の上流端部に
おいて、カーボンブロック32、34は第１反応ガスを被覆
室に導入するための垂直の第１入口チャンネル14を形成
する。この第１入口チャンネル14の下流において、カー
ボンブロック34、36間に第２反応ガスを被覆室に導入す
るための垂直の第２入口チャンネル15を形成する。
被覆室の下流端部において、カーボンブロック40、42は
使用したガスを被覆室から除去するための排出チャンネ
ル18を形成する。
第１反応ガスはガス供給ダクト（図示せず）からファ
ンテイルディストリビュータ19およびガス流リストリク
タ22を経て第１入口チャンネル14に供給する。ファンテ
イルディストリビュータ19は倒立した扇形の前壁20と後
壁21との間に形成され、前壁および後壁は下方むかって
互いに接近し、ファンテイルの底部において狭い溝孔48
を形成し、この溝孔48は被覆すべきガラスリボンの幅を
横切って延在する。
ファンテイル19の底部の溝孔48から流入する第１反応
ガスは、このファンテイル19の下方に取付けたガス流リ
ストリクタ22を通過する。
ガス流リストリクタ22を第３図に詳細に示し、互いに
対向する細長の壁対即ち、対向壁対120、122および121,
123を有し、これら壁対により細長の室124を形成する。
細長壁120,122及び121,123は被覆すべきガラスリボンを
横切って横方向に延在させ、壁120および121を上流側の
壁とし、壁122および123を下流側の壁とする。細長室12
4の各端部に互いに対向する端壁126を設け、各端壁126
はガラスリボンの移動方向に平行にする。ガス流リスト
リクタ22の入口端部には、室124を横切る細長の入口プ
レート部材128を有する入口制限部127を配置する。入口
プレート部材128は、互いに対向する水平プレート130,1
32の対間に封鎖固着し、各対のプレート130,132は例え
ば、溶接により細長壁120,122およびファンテイル19に
取付ける。各対のプレート130,132はねじ連結部材134に
より互いに強固に連結する。ガスケット（図示せず）を
各プレート対130,132と入口プレート部材128との間に配
置する。
入口プレート部材128の長さに沿って一列の開孔136を
設け、この開孔136により入口112をを室124の残りの部
分に接続する。開孔136は、好適には、直径2mmから10mm
の範囲の直径の円形孔とする。特に好適な実施例におい
ては、孔136は4mmの直径とし、中心間距離が20ミリの配
列にするとよい。開孔136の列は細長室124の上流側に配
置する。即ち、開孔136の列は室124の下流側壁122より
も上流側壁120に一層接近させて配置する。
ガス流リストリクタ22の出口110に隣接させて出口制限
部138を配置する。この出口制限部138は入口制限部127
の構造とほぼ同一とし、細長出口プレート部材140を有
し、この出口プレート部材140は互いに対向する２個の
プレート142,144対間に封鎖固着し、各プレート対142,1
44の上方プレートを例えば、溶接によって対応の細長壁
121,123に連結する。プレート142,144はガスケット（図
示せず）により出口プレート部材140から分離する。プ
レート142,144はねじ連結部146により互いに緊密に連結
し、このねじ連結部146はプレート142,144およびガス流
リストリクタ22をプレート44に強固に結合する。このプ
レート44からグラファイトブロック32を懸垂する。出口
プレート部材140には一列の孔152を設け、この孔の直径
は2mmから10mmの間の範囲の直径とし、特に好適な実施
例においては、4mmの直径で孔間の中心距離は10mmとす
る。孔152の列は細長室124の上流側に配置する。出口プ
レート部材140の下方でガス流リストリクタ33の出口110
にガス流デフレクタ154を取付ける。ガス流デフレクタ1
54は、プレート142の対の下方プレートに一体で孔152に
隣接配置した細長のＬ字状部材156を有する。Ｌ字状部
材156の自由アーム158を出口プレート部材140に向けて
上方に突出させ、出口プレート部材140との間にギャッ
プ160を生じ、このギャップ160を経て孔152からの反応
ガスをＬ字状部材156の水平アーム162により転向した後
通過させるようにする。
ガス流デフレクタ154の目的は、ガス流の局部的な増
加を除去することにある。ガス流はプレート部材140の
下方で出口プレート部材の各孔152の近傍でより強い強
度になる傾向がある。ガス流デフレクタ154の存在によ
りこれら局部的に増加した流れの強度を分散させる。場
合によっては、ガス流リストリクタからガス流デフレク
タ154を省くこともできる。
入口制限部127と出口制限部138との間に中間制限部16
4を配置する。この中間制限部164は入口制限部127と同
一構造とし、複数個の孔168の列を有する細長の中間プ
レート部材166を設ける。中間プレート部材166は互いに
対向する水平プレート170,172の対間に封鎖固着し、こ
れら水平プレート170,172は例えば、溶接によって細長
壁120,121,123にそれぞれ取付ける。ガスケット（図示
せず）をプレート170,172間に配置し、中間プレート部
材166およびプレート170,172をねじ連結部材174により
強固に連結する。中間プレート部材166の孔168の列は、
入口および出口のプレート128,140に比べると、細長室1
24の下流側に配置する即ち、複数個の孔168の列を室124
の上流壁120,121よりも下流壁122,123により近接させて
配置する。この構成によれば、細長プレート部材に隣接
する孔の列は互いに一列に整列しない。
第２反応ガスは第２入口チャンネル15に第２ガス供給
ダクト（図示せず）から他のファンテイルディストリビ
ュータ24を経て供給し、このファンテイルディストリビ
ュータ24はファンテイルディストリビュータ19と同一の
構成とし、ガス流リストリクタ22と同一構造のガス流リ
ストリクタ25を経て供給する。
排出チャンネル18からくる排気ガスはスペーサユニッ
ト52のチャンネル50および反転した扇形の前壁27および
後壁28よりなる排出ファンテイルに通過させる。排出フ
ァンテイルは廃棄ガス、未反応ガスおよびキャリヤガス
を排出ダクト（図示せず）に移送する。
第１入口チャンネル14および第２入口チャンネル15を
形成するカーボンブロック32,34,36の各高さは、第２入
口チャンネル15と被覆室との間の結合部において被覆室
10の天井9a,9bに段差を生ずるよう選択し、入口チャン
ネル15の上流側の被覆室の天井9aが第２入口チャンネル
15の下流側の被覆室の天井9bよりも高いレベルとなるよ
うにし、第１図に示すように、天井の縦断面で描かれる
ラインは不連続となり段差形状を持つようにする。この
ようにブロック36の底部はブロック34の底部よりも10mm
低くなるよう選択するのが一般的である。この結果、第
２入口チャンネルの上流側壁54の底部は第２入口チャン
ネル15の下流側壁56の底部よりも10mm高く、従って、入
口溝孔58は段差形状になる。このような段差付入口溝孔
58は、入口溝孔58の近傍で第２入口チャンネル15の側壁
に堆積する固形の被覆材料の料を最小にすることがわか
った。このような段差は、第１ガス状反応体の流れをガ
ラス面に指向させ、第１ガス状反応体が第２入口チャン
ネルの開口部に流れこむことがないようにし、入口チャ
ンネルの開口部の垂直面に被覆材料が堆積する局部反応
を生ずるのを防止するさようを行うものと考えられる。
特に好適な実施例においてはカーボンブロック36の上
流側下方コーナーは例えば、第４図に示すように凸状湾
曲面57として形成し、代表的には高さが10mmの段付入口
溝孔58となるよう10mmの曲率半径にする。この曲率半径
は第２入口チャンネルの開口に堆積物がたまるのをほぼ
防止する段差の効果を維持する程度に充分小さいものと
すべきである。
使用にあたり、本発明の被覆装置はガラスリボン12の
上方に懸垂し、このガラスリボンをローラ（図示せず）
により左方から右方に前進させる。この被覆装置は、装
置の下流側端部のカーボンブロック42が被覆すべきガラ
スリボンの表面の上方10mmのオーダーの高さに保持され
る高さに懸垂する。第１反応ガス、一般的にはキャリヤ
ガスに希釈した反応ガスをファンテイルディストリビュ
ータ19およびガスリストリクタ22に供給し、被覆すべき
ガラスの幅を横切る方向にガスを均一に分散させる。ガ
スリストリクタ22を出たガスは第１入口チャンネル14か
ら被覆室10に流入し、第２入口チャンネル15の底部に向
かって室10の流路16に沿ってガラスにほぼ平行な第１方
向に移動する。キャリヤガスに希釈した第２反応ガスを
ファンテイルディストリビュータ24およびガスリストリ
クタ25に供給し、第２ガス反応体がガラスの幅方向に均
一に分布されるようにする。
リストリクタ25の底部から出るガスは第２入口チャン
ネル15を経て被覆室における第１反応ガスの流れに合流
させ、流路17に沿ってガラス面上にガス状反応体の混合
流を生じ、２個の反応ガスが反応してホットガラス面上
に皮膜を堆積する。
或る作用モードにおいて、本願と同日出願の明細書に
詳細に記載したように、ガス流条件を制御して第２入口
チャンネル15を通過する第２反応ガスおよび流路17を経
る混合ガス反応体の乱流を生ずるようにし、かつ第２反
応ガスが流路16に沿って第１反応ガスに逆流するのを防
止するとよい。反応で生じた消費ガス（キャリヤガス、
未反応の反応ガスおよび廃棄ガス）を被覆領域から排出
ダクト18を経て減圧（例えば、図示しない排気ファンか
らの吸気）により引き出す。この減圧は上方に向かって
拡開する倒立した扇形の前壁27および後壁28よりなる排
出ファンテイル26に加える。この減圧は被覆領域からガ
スを引き出すだけでなく、被覆装置の上流端部29および
下流端部30における外気の流れも吸引する。
上流の装置は入口チャンネルに被覆材料が堆積して第
２入口チャンネルを塞ぐことなく、従って、ガラスリボ
ン上に均一な被覆を高い能率で生産することを容易に
し、長期間稼働させることができる。
本発明装置は、例えば、第１反応ガスとして塩化第一
スズ、第２反応ガスとして水蒸気を使用して赤外線反射
酸化薄膜被覆を形成するのに有用である。被覆の赤外線
反射率を向上するため例えば、アンチモンまたはフッ素
のようなドーパントを反応ガスに含有させるとよい。酸
化チタンまたは窒化チタンなどの他のコーティングを本
発明装置により施すこともできる。酸化チタンコーティ
ングを施すためには、四塩化チタンを第一反応ガスとし
て使用し、水蒸気を第２反応ガスとして使用する。窒化
チタンのコーティングを施すためには、四塩化チタンを
第一反応ガスとして使用し、アンモニアを第２反応ガス
として使用する。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明装置の縦断面図、 第２図は、第１図の装置の矢印IIの方向から見た端面
図、 第３図は、第１図の装置に組み込んだガス流リストリク
タの詳細を示す拡大縦断面図、 第４図は、第２入口手段の下方端部の好適な形状を示す
部分縦断面図である。 １…被覆装置、２…キャリッジ ３…プレート、４…前方取付ブラケット ５…後方取付ブラケット 9a,9b…天井、10…被覆室 12…ガラスリボン、14…第１入口チャンネル 15…第２入口チャンネル 16,17…流路、18…排出チャンネル 19,24…ファンティルディストリビュータ 22,25…ガス流リストリクタ 26…排出ファンティル、27…前壁 28…後壁、29…上流端部 30…下流端部 32,34,36,38,40,42…カーボンブロック 44…プレート部材、48…溝孔 52…スペーサユニット、54…上流側壁 56…下流側壁、57…凸条彎曲面 58…入口溝孔、124…細長室 127…入口制限部、138…出口制限部 154…ガス流デフレクタ 164…中間制限部
フロントページの続き (72)発明者 ピーター ジェームズ ウィットフィー ルド イギリス国マーシーサイド ダブリュー エイ104エヌイー セント ヘレンズ リビングトンロード59 (56)参考文献 特開 昭64−79040（ＪＰ，Ａ) 特公 昭57−17862（ＪＰ，Ｂ２) 特表 平１−502183（ＪＰ，Ａ)

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】移動するホットガラスリボンの表面上に少
    なくとも２個のガス状反応体の反応により形成される被
    覆を堆積させる方法において、被覆室内で前記ガラス上
    にガラスの移動方向にほぼ平行な方向の第１ガス状反応
    体の流れを発生させ、前記被覆室の天井を横切って延在
    する入口チャンネルにより構成した入口手段を経て前記
    第１ガス状反応体の流れに第２ガス状反応体を導入し、
    前記第１ガス状反応体および第２ガス状反応体を前記ガ
    ラス表面に接触させてガラスの移動方向にほぼ平行な方
    向に流動させてガラス上に所望の被覆を形成し、前記被
    覆室の天井は、前記入口チャンネルと被覆室との接合部
    で段差形状にし、第１反応ガスの流れの方向に見て入口
    チャンネルの上流側の被覆室天井を、前記入口チャンネ
    ルの下流側の被覆室天井よりも高いレベルとし、天井の
    縦断面で描かれるラインが段差形状となるものとしたこ
    とを特徴とするガラス被覆方法。
  2. 【請求項２】前記被覆室における反応ガスの流路に対し
    てほぼ直交する方向の第１ガス状反応体の流れに第２ガ
    ス状反応体の流れを導入する請求項１記載のガラス被覆
    方法。
  3. 【請求項３】ホットガラスの移動リボンの表面上に少な
    くとも２個のガス状反応体の反応により形成される被覆
    を堆積させる被覆装置において、被覆すべきガラス表面
    に接触させ、ガラスの移動方向にほぼ平行にガス状反応
    体を流入させてガラス表面に所望の被覆を形成する側面
    開放被覆室を設け、この被覆室を下向きに開放させて被
    覆すべきガラス表面の幅を横切る方向に延在させ、前記
    被覆室には、ガラス表面の幅にわたり被覆室を通ってガ
    ラス表面上に第１ガス状反応体の流れを生ぜしめる第１
    入口手段と、被覆室の幅にわたり室の天井を横切って延
    在する入口チャンネルにより構成し、被覆室における第
    １ガス状反応体の流れに第２ガス状反応体を導入する第
    ２入口手段とを設け、 前記被覆室の天井の前記入口チャンネルと被覆室の接合
    部分を段差付形状にし、第１反応ガスの流れの方向に見
    て入口チャンネルの上流側の被覆室天井を、前記入口チ
    ャンネルの下流側の被覆室天井よりも高いレベルにし、
    天井の縦断面で描かれるラインが段差形状となるように
    し、更に、 前記第１ガス状反応体をガス供給ダクトから前記第１入
    口手段に移送する第１ガスディストリビュータと、 前記第２ガス状反応体を第２ガス供給ダクトから前記第
    ２入口手段に移送する第２ガスディストリビュータと、 前記被覆室から導いて前記第１および第２の入口手段の
    下流域に配置し、使用したガスを被覆室から除去する排
    出手段と を設けたことを特徴とするガラス被覆装置。
  4. 【請求項４】前記入口チャンネルの上流側の被覆室天井
    を、前記入口チャンネルの下流側の被覆室天井よりも少
    なくとも5mm高くした請求項３記載のガラス被覆装置。
  5. 【請求項５】前記入口チャンネルの上流側の被覆室天井
    を、前記入口チャンネルの下流側の被覆室天井よりも高
    くても75mm程度高くした請求項３または４記載のガラス
    被覆装置。
  6. 【請求項６】前記入口チャンネルの上流側の被覆室天井
    を、前記入口チャンネルの下流側の被覆室天井よりも10
    mm高くした請求項４または５記載のガラス被覆装置。
  7. 【請求項７】第２入口チャンネルを、前記被覆室に通過
    する反応ガスの流路に対してほぼ直角に配置した請求項
    ３乃至６のうちのいずれか一項に記載のガラス被覆装
    置。
  8. 【請求項８】前記入口チャンネルの下流側側壁の底部
    は、前記側壁と前記被覆室の天井との接合部で凸状湾曲
    面として形成した請求項３乃至７のうちのいずれか一項
    に記載のガラス被覆装置。
  9. 【請求項９】前記第１および第２のガスディストリビュ
    ータの各々は、中心入口から下方に向かって末広形状と
    なり、被覆すべきガラス表面の幅を横切って延在する溝
    孔に終端する倒立扇形形状の前壁と後壁との間に形成し
    た請求項３乃至８のうちのいずれか一項に記載のガラス
    被覆装置。
  10. 【請求項１０】前記前壁および後壁を、下方に向かって
    互いに接近する方向に傾斜させて前記溝孔に終端させた
    請求項９記載のガラス被覆装置。
  11. 【請求項１１】前記第１ガスディストリビュータと前記
    第１入口手段との間に介在させ、被覆すべきガラス表面
    の幅を横切って第１ガス状反応体の均一に分布させる第
    １ガス流リストリクタを設けた請求項３乃至10のうちの
    いずれか一項に記載のガラス被覆装置。
  12. 【請求項１２】前記第２ガスディストリビュータと前記
    第２入口手段との間に介在させ、被覆すべきガラス表面
    の幅を横切って第２ガス状反応体の均一に分布させる第
    ２ガス流リストリクタを設けた請求項３乃至11のうちの
    いずれか一項に記載のガラス被覆装置。
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