HU210280B - Method and apparatus for coating hot glass surface - Google Patents

Method and apparatus for coating hot glass surface Download PDF

Info

Publication number
HU210280B
HU210280B HU895301A HU530189A HU210280B HU 210280 B HU210280 B HU 210280B HU 895301 A HU895301 A HU 895301A HU 530189 A HU530189 A HU 530189A HU 210280 B HU210280 B HU 210280B
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
coating chamber
coating
glass
gaseous
inlet
Prior art date
Application number
HU895301A
Other languages
English (en)
Other versions
HUT55714A (en
HU895301D0 (en
Inventor
Peter James Whitfield
Edward Hargreaves
Barry Thomas Grundy
Original Assignee
Pilkington Plc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pilkington Plc filed Critical Pilkington Plc
Publication of HU895301D0 publication Critical patent/HU895301D0/hu
Publication of HUT55714A publication Critical patent/HUT55714A/hu
Publication of HU210280B publication Critical patent/HU210280B/hu

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Description

A leírás terjedelme: 12 oldal (ezen belül 4 lap ábra)
HU 210 280 Β végénél elhelyezett, a bevonókamra mennyezetének irányában a bevonókamra teljes szélességében, a második gáznemű reagenst az első gáznemű reagens áramába juttató második bevezetőcsatomája valamint a gáznemű reagensek áramlását tekintve az első és második bevezetőcsatornától lefelé elhelyezett, a fáradt gázokat a bevonókamrából eltávolító, kivezető kiömlőnyílása van.
A találmány tárgya továbbá egy eljárás a mozgó forró üveg felületén bevonat kialakítására is.
A találmány szerinti berendezést az jellemzi, hogy a bevonókamrája (10) a bevezetőcsatoma (15) és a bevonókamra (10) csatlakozásánál lépcsős kialakítású mennyezettel van ellátva, amely mennyezet égy, a bevezetőcsatoma (15) az első gáznemű reagens áramlási irányában felfelé eső oldalán magasabb kialakítású első mennyezetrészből (9a) és az első reagens áramlási irányát tekintve a bevezetőcsatorna alsó oldalán pedig egy alacsonyabb kialakítású második mennyezetrészből (9b) áll, valamint egy, az első gáznemű reagenst egy gázvezetékből az első bevezetőcsatomába (14) juttató első gázelosztója (19) és egy, a második gáznemű reagenst egy másik gázvezetékből a második bevezetőcsatornába (15) juttató második gázelosztója (24) van.
A találmány szerinti eljárás során legalább két gáznemű reagens reakciójával, amelynek a bevonókamrán (10) áthaladó üveg (12) haladási irányával lényegében párhuzamosan, az üveg (12) felett áramló első gáznemű reagens áramába, a bevonókamra (10) mennyezetének irányában egy második gáznemű reagenst vezetünk be, majd a két gáznemű reagens keveréket a bevonandó üveg (12) felett a bevonókamra (10) mennyezete mentén áramoltatjuk.
A találmány tárgya berendezés mozgó, forró üvegfelületen bevonat két gáznemű reagens létrehozására legalább reagáltatásával, amelynek egy nyitott homlokoldalú, a gáznemű reagenseknek az üveg mozgásával párhuzamos irányú áramlását és ezáltal a bevonat kialakítását biztosító, a bevonandó üveg irányában lefelé nyíló és annak teljes szélességét átfogó bevonókamrája, a bevonókamrához csatlakozó, az első gáznemű reagenst az üveg felülete fölött a bevonókamrán keresztül és annak teljes szélességében átáramoltató első bevezetőcsatomája és az első gáznemű reagens áramlási irányát tekintve, az első bevezetőcsatoma alsó végénél elhelyezett, a bevonókamra mennyezetének irányában a bevonókamra teljes szélességében, a második gáznemű reagenst az első gáznemű reagens áramába juttató második bevezetőcsatomája, valamint a gáznemű reagensek áramlását tekintve az első és második bevezetőcsatomától lefelé elhelyezett, a fáradt gázokat bevonókamrából eltávolító, kivezető kiömlőnyílása van. A találmány tárgya továbbá egy eljárás is, ahol a bevonat kialakítását legalább két gáznemű reagens reakciójával végezzük, az első és második gáznemű reagens bevezetését az áramlási irányt megtörve a bevonókamra lépcsős kialakítása mentén végezzük. Ismeretes az, hogy építészeti célokra alkalmazott üvegek esetén a bevonatokat olyan gáznemű reagensek segítségével lehet kialakítani, amelyek lerakódnak a forró üvegfelületen. így szilikonbevonatokat - amelyek napsugárzást szabályozó bevonatként alkalmasak - egy szilántartalmú gáznak forró üvegfelületen való pirolízisével állítanak elő és több kísérlet történt más, napsugárzást szabályozó és alacsony emissziójú (azaz erős infravörös reflektálóképességű) bevonatok előállítására, más, a célnak megfelelő gáznemű reagensek alkalmazásával. Sajnálatos módon azonban a nagybani előállítás a gyakorlatban nem minden esetben volt megvalósítható és nem sikerült kielégítően egyenletes bevonatok létrehozása a megkívánt vastagsággal. Üvegnek ilyen bevonattal történő ellátásához egy jellegzetes eljárást és berendezés ismertet a GB-PS 1 507 996 számú leírás, amely leírásban foglaltak szerint egyenletes bevonatot hoznak létre egy reagens gáz alkalmazásával úgy, hogy ezt a gázt lamináris áramlási körülmények között az üveg felületével párhuzamosan áramoltatják. Itt azonban nem történik speciális intézkedés olyan reagensek keverékének alkalmazására, amelyek könynyen lépnek egymással reakcióba, mielőtt elérnék az üveg felületét.
A GB-PS 1 516 032 számú leírásban olyan üvegbevonó eljárást ismertetnek, amelynek során folyékony közeget alkalmaznak, amely egy vagy több bevonó reagenst tartalmaz, s ezek lehetnek folyadék- vagy gázneműek, s amelyet egy vagy több áramlási irányba juttatnak a forró üvegfelületre, amely áramlási irányok legalább egyike rendelkezik a szalag mozgásirányába eső sebesség-összetevővel, továbbá 60°-nál nem nagyobb szög alatt hajlik a szalag homlokfelületéhez. Ezen megoldás haszna, hogy olyan bevonat alakítható ki, amelyre jellemző a homogén szerkezetű, szabályos kristályelrendeződésű üvegbevonati réteg. Ahol két vagy több, egymással reagáló komponens szükséges, ezeket külön áramként lehet bevezetni egymás mellett elhelyezkedő fűvókákon keresztül amelyek mindegyike úgy van elrendezve, hogy az üvegfelülethez hegyesszögben haladó reagens áramlást állítson elő úgy, hogy a reagensek egymással az üveg közelében kerülnek érintkezésbe; de használható egyetlen fúvóka is az első reagensáramlás létrehozásához, míg a második reagensként szolgáló levegőáramot az első áramlás impulzusa és hajlása segítségével juttatják a reakciózónába. A bevonózónától áramlásirányban lefelé elszívóvezeték helyezhető el, a gáznak a bevonózónából való elvonására és egy süveget lehet alkalmazni, hogy meghatározható legyen a gázfelszínnel együtt egy áramlási pálya az üveg felett abból az övezetből, ahol a folyadékáram(ok) visszaverődnek az üvegen.
HU 210 280 Β
A GB-PS 1 524 326 számú leírásban olyan eljárás ismertetnek, amelynél egy gáznemű közeget áramoltatnak a bevonandó anyag mentén gyakorlatilag turbulenciamentes rétegként egy, részben az üvegfelület által meghatározott áramlási út mentén; az áramlási út egy elszívóvezetékhez tart, amelyen át a visszamaradt gázt elvonják az üvegtől. A gáznemű reagenseket az áramlási út áramlásirányban felső végéhez vezető csatornákon át vezetik az áramlásba, ahol ezen csatornák úgy vannak elhelyezve, hogy a gáznemű reagenseket együtt, hegyesszögben vezessék az üveghez.
A GB-PS 2 026 454 számú leírás részletesen foglalkozik egy, a forró üvegfelületen kialakítandó ónoxidréteget előállító eljárással, amelynek során ón-tetrakloridot és vízgőzt tartalmazó gáznemű közeget alkalmaznak. Egy különösen előnyös megvalósításnál ón-tetraklorid-gőzt tartalmazó nitrogén vivőgáz-áramot áramoltatnak a bevonandó üveg felülete mentén, továbbá vízgőzt tartalmazó levegőáramot vezetnek az említett áramlásba azon a helyen, ahol az említett felület mentén áramlik. Egy adalékanyagot - mint amilyen a hidrogén-fluorid - lehet táplálni az anyag külső felületére külön, vagy nedves levegővel kevertem a gázáramokat előnyösen lényegileg turbulenciamentes rétegként vezetik az üveg felületéhez úgy, hogy a gázáramokat kis mélységű gázáramlási út mentén egy bevonókamrába juttatják és elszívóvezetéken át a visszamaradt gázokat elvonják az üvegtől. A gázáramokat a bevonókamra tetejébe vezető tápvezetékeken át juttatják be, amely tápvezetékek lefelé és előrefelé lejtenek az üveg haladási irányában, a vízszinteshez 45°-os szög alatt.
Egy további ismert eljárást - forró üvegen ón-dioxid bevonat létesítésére - a GB-PS 20 333 748 számú leírás ismertet. Ebben a GB-PS 2 026 454 számú leíráshoz hasonló berendezés kerül ismertetésre, azonban ezen megoldás esetén a berendezés egy járulékos bevonókamrát is tartalmaz az első bevonókamrától áramlásirányban felfelé, abból a célból, hogy egy fémoxid alsó bevonatot hozzanak létre az üvegen, mielőtt az ón-dioxid bevonatot felvinnék.
Egy további ismert, a GB 2 184 748 A sz. bejelentésben leírt eljárásnál egy bevonatoló elővegyületet és egy Oxidáló gázt vezetnek be egy keverőzónába jóval az üveg felett a bevonókamra áramlásirányban felső végénél. A keverőzónába hőt juttatnak be és az elővegyületet, valamint az oxidáló gázt alaposan összekeverik a keverőzónában, miközben ki vannak téve a szubsztrátumnak, de olyan magasságban, hogy a bevonat kialakulása egy lényegileg homogén gőzkeverékből kezdődik el. A keverék azután folyamatosan áramlik át a bevonókamrán, az üveg felső felületét érintve.
A bevonókamra előnyösen legalább 5 méter hoszszúságú; az ilyen hosszú bevonókamra alkalmazása különösen előnyös a bevonási teljesítmény növelése tekintetében, amikor viszonylag vastag bevonatokat alakítanak ki egy gyorsan mozgó anyagon, mint amilyen egy frissen kialakított folyékony üvegszalag.
Az ismert berendezések és eljárások során, ahol a bevonatot egymással reakcióba lépő gáznemű reagensek segítségével hoznak létre, továbbá az olyan típusú berendezés alkalmazása esetén, amelynél a reagenseket különálló, ferde csatornákból vezetik be a bevonókamrába - mint amilyen berendezés például a már említett GB-PS 2 026 454 számú leírásból ismerhető meg - azt tapasztalták, hogy a bevonási eljárás során nem kívánt bevonóanyag-lerakódás jön létre azon csatorna alsó végnél, amelyen át a második reagens gázt bevezetik a bevonókamrába. Úgy találták, hogy ez az anyaglerakódás a bevezetőcsatorna áramlásirányban felső falán a legjelentősebb. A lerakódás kialakulása viszonylag gyors és igen hamar befolyással van az üvegszalag felületén kialakított bevonat minőségére. Az üvegszalagon lévő bevonat gyorsan leromlik és egyenetlenné válik, ami az üveg felületén lerakodó bevonatcsíkok formájában jelentkezik.
Ha el akarjuk kerülni a bevonat további romlását, akkor meg kell szakítani a bevonatolási folyamatot, a bevonóberendezést le kell emelni az üvegszalagról és a nem kívánatosán lerakodott bevonóanyagot el kell távolítani a bevonóberendezésből. Ez a tisztítási művelet igen időigényes és jelentős termeléskiesést eredményez.
Hasonló megoldást ismertet a DE 2 361 702 sz. szabadalmi leírás is, ahol a bevonatoló elővegyületet az üvegtől távol, egymással összekeverik és gázkeveréket az üveg síkjára merőleges irányban elhelyezkedő fúvókából vezetik a forró üvegre, azaz mindkét fúvókéból ugyanazt a gázkeveréket vezetik az üvegfelületre és a gőzzel bevonatoló pajzs az üveg fölött az egyes fúvókák valamennyi oldalán egyforma magasságú. Ezzel a megoldással sem tudták kiküszöbölni az ismert megoldások eddigi hibáit.
A találmány célkitűzése olyan berendezés és eljárás létrehozása, amelynek segítségével a nemkívánatos bevonóanyag-lerakódás megakadályozható, vagy minimálisra csökkenthető és amely lehetővé teszi a bevonási művelet folyamatos végzését hosszabb időszakon keresztül.
A találmány szerinti célkitűzést olyan berendezéssel valósítjuk meg, amelynek a bevonókamrája a bevezetőcsatoma és a bevonókamra csatlakozásánál lépcsős kialakítású mennyezettel van ellátva, amely mennyezet egy, a bevezetőcsatorna az első gáznemű reagens áramlási irányában felfelé eső oldalán magasabb kialakítású első mennyezetrészből és az első reagens áramlási irányát tekintve a bevezetőcsatorna alsó oldalán pedig egy alacsonyabb kialakítású második mennyezetrészből áll, valamint egy, az első gáznemű reagenst egy gázvezetékből az első bevezetőcsatornába juttató első gázelosztója és egy, a második gáznemű reagenst egy másik gázvezetékből a második bevezetőcsatomába juttató második gázelosztója van.
A találmány szerinti berendezés egy előnyös kiviteli alakja esetén a bevonókamra első mennyezetrésze a bevezetőcsatorna áramlásirányban felfelé eső oldalán legalább 5 mm-rel magasabb kialakítású, mint a bevonókamra második mennyezetrésze a bevezetőcsatoma áramlásirányban lefelé eső oldalán.
A találmány szerinti berendezés egy másik előnyös
HU 210 280 Β kiviteli alakjánál a bevonókamra első mennyezetrésze a bevezetőcsatorna áramlásirányban felfelé eső oldalán legalább 75 mm-rel magasabb kialakítású, mint a bevonókamra második mennyezetrésze a bevezetőcsatorna áramlásirányban lefelé eső oldalán, míg egy további előnyös kiviteli alak esetén a bevonókamra első mennyezetrésze a bevezetőcsatoma áramlásirányban felfelé eső oldalán 10 mm-rel magasabb kialakítású, mint a bevonókamra második mennyezetrésze a bevezetőcsatoma áramlásirányban lefelé eső oldalán.
A találmány szerinti berendezés egy célszerű kiviteli alakjánál a bevezetőcsatornája a bevonókamrán áthaladó gáznemű reagensek áramlási irányára merőlegesen van elhelyezve.
A találmány szerinti berendezés egy másik célszerű kiviteli alakja esetén a bevezetőcsatoma áramlásirányban alsó falának alja az alsó fal és bevonókamra második mennyezetrészének csatlakozásánál konvex görbületű felületként van kialakítva.
A találmány szerinti berendezés egy további célszerű kiviteli alakjánál az első és második gázelosztóját fordított legyezőalakú elülső és hátulsó falak határolják, amelyek a középső bevezetésről lefelé haladva széttartóak, és a bevonandó üvegfelület szélességében kiterjedő hasítékban végződően vannak kialakítva.
Különösen előnyös az a kiviteli alak, ahol a fordított legyezőalakú elülső és hátsó falak lefelé haladva egymás felé szűkülnek a bevonandó üvegfelület szélességében kiterjedő hasítékban végződnek.
A találmány szerinti berendezés egy másik előnyös kiviteli alakjának az első bevezetőcsatoma és az első gázelosztó között elhelyezett, az első gáznemű reagensei a bevonandó üvegfelület szélességében szétoszlató áramlásszűkítője is van.
A találmány szerinti berendezés egy további előnyös kiviteli alakjánál a második gázelosztó és a második bevezetőcsatorna között egy, a második gáznemű reagenst a bevonandó üvegfelület szélességében eloszlató áramlásszűkítője van.
A találmány további célkitűzését olyan eljárással valósítjuk meg, amelynél a bevonókamrán áthaladó üveg haladási irányával lényegében párhuzamosan, az üveg felett áramló első gáznemű reagens áramába, a bevonókamra mennyezetének irányában egy második gáznemű reagenst vezetünk be, majd a két gáznemű reagens keveréket a bevonandó üveg felett a bevonókamra mennyezete mentén áramoltatjuk.
A találmány szerinti eljárás egy előnyös alkalmazási módja során a második gáznemű reagensnek az első gáznemű reagens áramába történő bevezetését a bevonókamrán keresztül haladó első reagens áramlási irányára merőleges irányban végezzük.
Az alábbiakban következő leírásban, mind a rajzokon az „áramlási irányban elülső vagy felső” és az áramlási irányban „hátsó vagy alsó” meghatározások a reakciógázoknak a bevonatolókamrán való átáramlási irányára vonatkoznak. Olyan kiviteli alakot ismertetünk a példa keretében, ahol előnyösen ez a gázáramlás együtt halad az üveg mozgásával, azonban ez nincs szükségképpen így, a találmányt akkor is előnyösen alkalmazhatjuk, ha a reakciógázok áramlási iránya ellentétes az üveg mozgási irányával.
A találmány szerinti berendezés egy példaképpeni kiviteli alakját a csatolt ábrák alapján részleteiben ismertetjük, ahol az
1. ábra a találmány szerinti berendezés hosszmetszete; a
2. ábra az 1. ábra szerinti berendezés II. nyíl irányából vett nézete; a
3. ábra az 1. ábra Szerinti berendezésben alkalmazott gázáramlás-szűkítő keresztmetszete, kinagyítva; a
4. ábra az 1. ábra szerinti berendezés második bevezetése alsó végének kialakítása metszetben.
Elöljáróban megjegyezzük, hogy az ábrákon azonos alkatrészeket azonos hivatkozási jelekkel láttuk el.
Az 1. és 2. ábra a találmány szerinti 1 bevonóberendezést szemlélteti, amely egy 12 üveg fölött kerül elhelyezésre, ahol a 12 üveg - itt nem ábrázolt - görgők segítségével halad balról jobb felé.
Az 1 bevonóberendezés egy 2 állványra van felfüggesztve, amely 2 állvány egy 3 lemezt tartalmaz, amelynek felső felületéhez több elülső kerettartóhoz, így például egy 4 kerettartóhoz valamint egy hátsó kerettartóhoz, mint egy 5 kerettartóhoz van rögzítve. Az 1 bevonóberendezés szélességében általában három elülső 4 és három hátsó 5 kerettartó van elhelyezve. A 4 és 5 kerettartók ilyen száma esetén egy 4 és 5 kerettartó középütt, míg két 4 és 5 kerettartó a berendezés széle közelében helyezkedik el.
Mind a 4 mind az 5 kerettartók egy megfelelő - itt nem ábrázolt - vízhűtéses gerendára vannak felfüggesztve, amely a bevonandó 2 üveg teljes szélességében nyúlik végig.
Az 1 bevonóberendezés alsó része több, alakos 32, 34, 36, 38, 40 és 42 széntömböt, illetve grafittömböt tartalmaz, amelyek keresztirányban olyan hosszúságúak, mint a bevonandó 2 üveg felületének szélessége. A 32,34, 36,38,40 és 42 széntömbök lényegében egy 10 bevonókamrát határoznak meg, amely 10 bevonókamra mennyezete lépcsős kialakítású és egy 9a és egy 9b mennyezet részre osztható, mégpedig úgy, hogy a 10 bevonókamrának egy második 15 bevezetőcsatomától a gáznemű reagens áramlási irányban felfelé eső 9a mennyezetrésze magasabban van, mint a 10 bevonókamrának ezen második 15 bevezetőcsatornától a gáznemű reagens áramlási irányban lefelé elhelyezkedő 9b mennyezetrésze. Az említett 32 34, 36, 38, 40 és 42 széntömbök egy első bevezetést - amely első bevezetés egy függőleges első 14 bevezetőcsatornát alkot, és amely az első reagens gáznak a 10 bevonókamrába történő bevezetésére szolgál - és egy második bevezetést - amely második reagens gáznak a 10 bevonókamrába történő vezetését végzi - határoznak meg.
Ugyancsak a 32, 34, 36, 38, 40 és 42 széntömbök határozzák meg a 10 bevonókamrában az első 14 bevezetőcsatoma és a második 15 bevezetőcsatorna közötti 16 áramlási utat, egy 18 elszívócsatomát, amely a 10 bevonókamrából a használt gázok elvezetését szolgálja, valamint a 10 bevonókamrában a második 15 beve4
HU 210 280 Β zetőcsatorna és a 18 elszívócsatoma között lévő 17 áramlási utat.
A 32, 34, 36, 38, 40 és 42 széntömbök kialakítása tetszőleges lehet, de mindegyik egy vízszintes 44 lemez alatt van felfüggesztve. A 32, 34, 36, 38, 40 és 42 széntömbökhöz különféle itt nem ábrázolt vezetékek hőhordozók csatlakoznak, a hőhordozó közeg, például hűtővíz számára és így az 1 bevonóberendezés üzemelésekor a 32, 34, 36, 38, 40 és 42 széntömbök hőmérsékletét ezen vezetékeken átáramoltatott hűtővíz segítségével szabályozhatjuk.
A 10 bevonókamra homlokrésze a bevonandó 12 üveg szélességének megfelelően nyitott. A 10 bevonókamra a reagens gáz áramlási irányában felfelé eső végnél lévő 32 és 34 széntömb határozza meg az említett első függőleges 14 bevezetőcsatornát, amelyen keresztül az első gáznemű reagensnek a 10 bevonókamrába való bevezetése történik. Az első 14 bevezetőcsatomától áramlási irányban lefelé helyezkedik el a második függőleges 15 bevezetőcsatoma, amelyet a 34 és 36 széntömbök határoznak meg, s amely a második gáznemű reagensnek a 10 bevonókamrába való bevezetésére szolgál.
A 10 bevonókamrának az áramlási irányba eső alsó végnél lévő 40 és 42 széntömbök határozzák meg a 18 elszívócsatomát, amely a használt gázoknak a 10 bevonókamrából történő eltávolítását szolgálja.
Az első reagens gázt egy legyezőalakú 19 gázelosztón és egy 22 gázáram-szűkítőn keresztül az első 14 bevezetőcsatornához egy - itt nem ábrázolt - gázszállító vezetékből juttatjuk a 10 bevonókamrába. A legyezőalakú 19 gázelosztót egy visszafordított legyezőalakú homlok- és hátoldali 20 és 21 fal határozza meg, amelyek lefelé haladva összetartóak és a legyezőalak alsó részénél egy keskeny 48 rést alkotnak, amely a bevonandó 2 üveg teljes szélességében húzódik.
A 48 résből a legyezőalakú 19 gázelosztó aljánál kibocsátott első reagens gáz áthalad a legyezőalakú 19 gázelosztó alá szerelt 22 gázáram-szűkítőn.
A 22 gázáram-szűkítőt részletesebben a 3. ábra kapcsán ismertetjük. A 22 gázáram-szűkítő egy pár, egymással átellenes hosszúkás 120, 122, valamint 121, 123 fallal rendelkezik, amelyek egy hosszúkás 124 kamrát határolnak. A hosszúkás 120, 122, valamint a 121, 123 fal keresztirányban átnyúlik a bevonandó 2 üvegen; a 120 és 121 fal az áramlási irányba eső felső, míg a 122 és 123 fal pedig az áramlási irány szerinti alsó fal. A 2 üveg mozgásirányával párhuzamosan egy 126 végfal helyezkedik el.
A 22 gázáram szűkítő bemeneti végénél egy 127 bemeneti szűkület helyezkedik el, amelyben egy hosszúkás bemeneti 128 lap található, amely 128 lap keresztben végignyúlik a 124 kamrán. A bemeneti 128 lap egy vízszintes 130, 132 lap-pár közé van tömítetten beerősítve, ahol is az egyes 130,132 lapok a megfelelő hosszúkás 120, 122 fallal és a legyezőalakú 19 gázelosztóval van összeerősítve, pl. összehegesztve. Mindegyik 130, 132 lapokat egy 134 kötőcsavarok fogják össze. Az - itt nem ábrázolt - tömítések a 130,
132 lemezek és a bemeneti 128 lap közé vannak behelyezve.
A bemeneti 128 lap hosszában egy sor 136 nyílás található, amely 136 nyílások összekötik a 112 bemenetet a 124 kamra többi részével. A 136 nyílások köralakú lyukak, amelyeknek átmérője előnyösen 2 mmtől 10 mm-ig terjed. Egy különösen előnyös kiviteli alaknál a 136 nyílások átmérője 4 mm és középpontjaik egymástól 20 mm-nyire helyezkednek el. A 136 nyílások sora a hosszúkás 124 kamra áramlási irányban felfelé eső oldalán található, vagyis a 136 nyílások sora közelebb van a 124 kamra felső 120 falához, mint annak alsó 122 falához.
A 22 gázáramlás-szűkítő 110 kimenete közelében egy 138 kimeneti szűkület helyezkedik el. A138 kimeneti szűkület lényegileg azonos szerkezeti kialakítású, mint a 127 bemeneti szűkület, így egy kimeneti hoszszúkás 140 lapot foglal magában, amely 140 lap tömítetten van rögzítve két átellenes 142, 144 lap-pár közé, ahol a 142, 144 lap-párok felső lapjai - például hegesztés útján - a megfelelő hosszúkás 121, 123 falhoz vannak csatlakoztatva.
A 142, 144 lapok a kimeneti 140 laptól - itt nem ábrázolt tömítések útján vannak elválasztva.
A142, 144 lapokat egy 146 kötőcsavarok kapcsolják egymáshoz, amelyek szintén szilárdan csatlakoznak a 142, 144 lapokhoz és ezáltal a 22 gázáramlásszűkítőhöz, egy 44 lemezhez, amelyre a 31, 34 széntömbök vannak felfüggesztve. A kimeneti 140 lap egy sor 152 nyílással van ellátva, amely nyílások átmérője előnyösen 2 mm-től 10 mm-ig terjed, és egy különlegesen kedvező kivitelnél 4 mm-es átmérőjűek, középvonalaik pedig 10 mm-nyire vannak egymástól. A 152 nyílások sora egy hosszúkás 124 kamra áramlási iránya elülső oldalán van elhelyezve.
A 22 gázáramlás-szűkítő 110 kimenetéhez a kimeneti 140 lap alatt egy 154 gázáramterelő van szerelve. A 154 gázáramterelőben egy hosszúkás L-alakú 156 elem található, amely az alsó 142 lappal, a karimával van összekapcsolva és a 152 nyílások közelében van elhelyezve. Az L-alakú 156 elem szabad 15 vége felfelé nyúlik a kimeneti 140 lap felé és így egy 160 hézagot határoz meg, amelyen keresztül a reagens gáznak a 152 nyílásoktól át kell haladnia, miután az L-alakú 156 elem vízszintes karja eltereli azt.
A 154 gázáramterelő célja, hogy a gázáramban esetleg keletkező valamely helyi növekedést eltávolítsa. így a gázáram hajlamos lesz arra, hogy intenzívebbé váljon a kimeneti 140 lapban lévő 152 nyílások közvetlen szomszédságában, a 140 lap alatt. A 154 gázáramterelő jelenléte kiegyenlíti az említett helyileg megnövelt intenzitású áramlást. Némely esetben lehetséges volna a 154 gázáramterelő elhagyása a találmány szerinti gázáram-szűkítőből.
A 127 és 138 bevezetési, illetve kimeneti szűkület között egy közbenső 164 szűkület van elhelyezve. Ez a közbenső 164 szűkület azonos szerkezeti kialakítású, mint a 127 bevezetési szűkület és tartalmaz egy közbenső hosszúkás 166 lapot, amelyben egy sor 168 lyuk található. A közbenső 166 lap tömítetten van beerősítve
HU 210 280 Β az egymással szemben fekvő vízszintes 170, 172 lapok közé, amely 170 és 172 lapok hozzá vannak kapcsolva - pl. hegesztéssel - a hosszúkás 120, 121, valamint a 122, 123 falakhoz. Itt nem ábrázolt tömítések találhatók 170, 172 lapok és a közbenső 166 lap között és a 170, 172 lapok egy 174 közcsavar útján szorosan kapcsolódnak egymással. A közbenső 166 lapban lévő 168 lyukak sora a bevezető és kimeneti 128, illetve 140 lappal ellentétben a hosszúkás 124 kamra áramlásirányú alsó oldalán van elhelyezve, azaz a 168 lyukak sora közelebb van a 124 kamra áramlásirányban alsó 122, 123 falaihoz, mint az áramlásirányban elülső 120, 121 falaihoz. Ez az elrendezés azt eredményezi, hogy a szomszédos hosszúkás lapok lyuksora nincs egymással egyvonalban.
A második reagens gázt a második 15 bevezetőcsatomához a második - itt nem ábrázolt - gázvezetékből juttatjuk el egy további, legyezőalakú 24 gázelosztón keresztül, amely azonos szerkezeti felépítésű, mint a legyezőalakú 19 gázelosztó, majd ezt követően áthalad a 25 gázáramlás-szűkítőn, amely viszont a 22 gázáramlás-szűkítővei azonos szerkezeti kialakítású.
A 18 elszívócsatornából kibocsátott elhasznált gázok egy 50 csatornán haladnak keresztül egy 52 távköztartó egységbe, majd egy elszívó 26 kiömlőnyílásba, amelyet fordított legyezőalakú elülső és hátsó 27 és 28 falak határolnak. Az elszívó 26 kiömlőnyílása a füstgázokat, a reakcióban részt nem vett reagens gázokat és vivőgázokat szállítja egy itt nem ábrázolt elszívóvezetékbe.
Az első 14 bevezetőcsatomát és a második 15 bevezetőcsatornát meghatározó 32, 34 és 36 széntömbök vonatkozó magasságai úgy vannak megválasztva, hogy a 10 bevonókamra 9a, 9b mennyezetrésze lépcsőzetes alakban kapcsolódjék egymáshoz, a második 15 bevezetőcsatorna kapcsolódási helyénél, éspedig úgy hogy a 10 bevonókamra 9a mennyezetrésze a második 15 bevezetőcsatornától áramlásirányban felfelé magasabb szinten van mint a 10 bevonókamrának a második 15 bevezetőcsatornától áramlásirányban lefelé elhelyezkedő 9b mennyezetrésze és amint ezt az 1. ábrán láthatjuk, a mennyezet hosszában vett metszet lépcsős alakzatot mutat. így a 36 széntömb alját úgy választjuk meg, hogy 10 mm-rel legyen lejjebb, mint a 34 széntömb alja. Ennek eredményeként a második 15 bevezetőcsatoma áramlásirányban felfelé eső 54 falának alja 10 mm-rel magasabb lehet, mint a második 15 bevezetőcsatorna áramlásirányban lefelé eső 56 fala, s így egy lépcsős kialakítású 58 bevezetőrés alakul ki. Az ilyen lépcsős 58 bevezető résről úgy találtuk, hogy minimális értékűre csökkenti a második 15 bevezetöcsatorna oldalfalain a szilárd bevonóanyag lerakódásának mértékét az 58 bevezetőrés környezetében.
A mennyezet lépcsős kialakítása folytán vélhetőleg az első reagens gázáram a 12 üveg felületére irányul és megakadályozza, hogy az első reagens gáz a második 15 bevezetőcsatomába áramoljon, aminek az volna a következménye, hogy helyi reakció veszélye állna elő a bevonatoló anyagnak a bevezetöcsatorna bemenetének függőleges felületein való lerakódásával.
Egy különösen előnyös kialakításnál a 36 széntömb áramlásirányban alsó sarka konvex görbületű 57 felületként van kialakítva, amint ez a 4. ábrán látható. Ennek görbületi sugara jellegzetesen 10 mm, olyan lépcsős 58 bevezetőrésnél, amelynek magassága 10 mm. A görbületi sugárnak elegendően kicsinynek kell lennie ahhoz, hogy a mennyezet lépcsős kialakításánál fenntartsa azon hatását, hogy lényegileg megakadályozza a második 15 bevezetöcsatorna torkolatában a zavaró lerakódások kialakulását. A 36 széntömbnek áramlásirányban felfelé eső alacsonyabb sarkát - itt nem ábrázolt - konvex görbeként alakíthatjuk ki, amelynek görbületi sugara például 10 mm lehet az olyan 58 bevezetőrés esetében amelynek lépcsőzete 10 mm magasságú.
A gyakorlatban a találmány szerinti bevonóberendezést felfüggesztjük a bevonandó 12 üveg fölé, amely itt nem ábrázolt görgőkön halad előre, éspedig a rajz szerint balról jobbfelé. Az 1 bevonóberendezés olyan magasságban van a 12 üveg felett felfüggesztve, hogy a berendezés áramlásirányban hátul elhelyezkedő 42 széntömbje 10 mm-es nagyságrendű magasságban legyen a bevonandó 12 üveg felülete felett. Az első reagens gázt, amely általában vivőgázzal van hígítva, a legyezőalakú 19 gázelosztóhoz és a 22 gázáramlás-szűkítőhöz vezetjük, amely biztosítja a gáz egyenletes elosztását a bevonandó 12 üveg szélessége mentén. A 22 gázáramlás-szűkítőbői kiáramló gáz áthalad az első 14 bevezetőcsatomán és bejut a 10 bevonókamrába, s itt egy első főirányban halad, amely párhuzamos a 12 üveggel a 10 bevonókamrában lévő 6 áramlási út mentén, a második 15 bevezetőcsatorna alja felé. A második reagens gázt, amely rendszerint vivőgázzal van felhígítva, a legyezőalakú 24 gázelosztóhoz és a 25 gázáramlás-szűkítőhöz vezetjük, úgyhogy biztosítható legyen a második reagens gáz egyenletes elosztásának fenntartása az üveg teljes szélességében.
A 25 gázáramlás-szűkítő alapjától kiáramló gáz a második 15 bevezetőcsatornán áthaladva jut az első reagens gáz áramába a bevonókamrában és egy összetett gáznemű reagensáramlást hoz létre a 12 üveg felülete felett a 17 áramlási út, illetve bevonózóna mentén, ahol is a két reagens gáz reakciója révén létrejön a bevonat a forró üveg felületén. Az üveg haladási sebességét úgy szabályozzuk, hogy a második reagens gáz turbulens áramlással áramoljon a második 15 bevezetőcsatomán és a 17 áramlási út mentén haladó kombinált reagens gáznál, miáltal elkerüljük, hogy a második reagens gáz az első reagens gáz áramlási irányával - az üveg áramlásával - szemben haladják.
A fáradt gázokat (vivőgázokat, a reagens gázok reakcióiban részt nem vett részét, valamint a reakcióból származó hulladékgázokat) a 18 elszívócsatomán át vezetjük el - a 17 áramlási út mentén -, a forró 2 üvegtől, csökkentett nyomás segítségével (például egy nem ábrázolt - elszívó ventilátor szívóhatásával), a legyezőalakú 26 elosztón keresztül, amely felfelé széttartó, fordított legyezőalakú homlok- és hátsó 27, 28 falból áll. A csökkentett nyomás nemcsak elszívja a gázt a bevonózónából, hanem létrehozhatja a külső atmoszféra áramlását az 1 bevonó berendezés áramlásirányban 29 elülső, valamint 30 hátsó vége alatt.
HU 210 280 Β
Az ismertetett berendezés hosszú időperiódusokon keresztül üzemeltethető anélkül, hogy nemkívánatos eltömődés jönne létre a második 15 bevezetőcsatománál annak következtében, hogy a bevonatoló anyag lerakódik a bevezetőcsatornában, s így megkönnyíti az egyenletes bevonat létrehozását üvegszalagon, nagy termelékenységgel.
A találmány szerinti berendezés különösen alkalmas infravörös-visszaverő ón-oxid bevonatok létesítéséhez, például első reagens gázként ón-kloridot, második reagens gázként pedig vízgőzt használva. A bevonat infravörös visszaverő-képességének növeléséhez egy adalékot - mint antimont vagy fluort - is tartalmazhatnak a reagens gázok. Más bevonatok, mint a titán-oxid vagy a titán-nitrid szintén elkészíthetők a találmány szerinti berendezéssel. Titán-oxid bevonat létesítéséhez titán-tetrakloridot lehet első reagens gázként alkalmazni, míg második reagens gázként vízgőzt használhatunk. Titán-nitrid bevonat készítésekor titántetra-kloridot használhatunk első reagens gázként, míg második reagens gázként ammónia használható.
Atalálmány szerinti berendezés és az abban alkalmazott lépcsős mennyezeti kialakítás folytán megakadályozható a bevonatoló anyagnak a bevonókamrában történő szabálytalan lerakódása egyenletes bevonat hozható létre, a bevonatolóberendezés tisztítása és ezzel a gyártási művelet leállítása a minimumra csökkenthető.

Claims (12)

1. Berendezés mozgó, forró üvegfelületen bevonat létrehozására legalább két gáznemű reagens reagáltatásával, amelynek egy nyitott homlokoldalú, a gáznemű reagenseknek az üveg mozgásával párhuzamos irányú áramlását és ezáltal a bevonat kialakítását biztosító, a bevonandó üveg irányában lefelé nyíló és annak teljes szélességét átfogó bevonókamrája, a bevonókamrához csatlakozó, az első gáznemű reagenst az üveg felülete fölött a bevonókamrán keresztül és annak teljes szélességében átáramoltató első bevezetőcsatomája és az első gáznemű reagens áramlási irányát tekintve, az első bevezetőcsatorna alsó végénél elhelyezett, a bevonókamra mennyezetének irányában a bevonókamra teljes szélességében, a második gáznemű reagenst az első gáznemű reagens áramába juttató második bevezetőcsatornája, valamint a gáznemű reagensek áramlását tekintve az első és második bevezetőcsatornától lefelé elhelyezett, a fáradt gázokat a bevonókamrából eltávolító, kivezető kiömlőnyílása van, azzal jellemezve, hogy a bevonókamrája (10) a bevezetőcsatorna (15) és a bevonókamra (10) csatlakozásánál lépcsős kialakítású mennyezettel van ellátva, amely mennyezet egy, a bevezetőcsatorna (15) az első gáznemű reagens áramlási irányában felfelé eső oldalán magasabb kialakítású első menynyezetrészből (9a) és az első reagens áramlási irányát tekintve a bevezetőcsatorna alsó oldalán pedig egy alacsonyabb kialakítású második mennyezetrészből (9b) áll, valamint egy, az első gáznemű reagenst egy gázvezetékből az első bevezetőcsatornába (14) juttató első gázelosztója (19) és egy, a második gáznemű reagenst egy másik gázvezetékből a második bevezetőcsatornába (15) juttató második gázelosztója (24) van.
2. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a bevonókamra (10) első mennyezetrésze (9a) a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban felfelé eső oldalán legalább 5 mm-rel magasabb kialakítású, mint a bevonókamra (10) második mennyezetrésze (9b) a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban lefelé eső oldalán.
3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a bevonókamra (10) első mennyezetrésze (9a) a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban felfelé eső oldalán legfeljebb 75 mm-rel magasabb kialakítású, mint a bevonókamra (10) második mennyezetrésze (9b) a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban lefelé eső oldalán.
4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti berendezés, amelynél a bevonókamra (10) első mennyezetrésze (9a) a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban felfelé eső oldalán 10 mm-rel magasabb kialakítású, mint a bevonókamra (10) második mennyezetrésze (9b) a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban lefelé eső oldalán.
5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy bevezetőcsatornája (15) a bevonókamrán (10) áthaladó gáznemű reagensek áramlási irányára merőlegesen van elhelyezve.
6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a bevezetőcsatoma (15) áramlásirányban alsó falának (56) alja az alsó fal (56) és bevonókamra (10) második mennyezetrészének (9b) csatlakozásánál konvex görbületű felületként (57) van kialakítva.
7. Az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az első és második gázelosztóját (19, 24) fordított legyezőalakú elülső és hátulsó falak (20, 21) határolják, amelyek a középső bevezetésről lefelé haladva széttartóak, és a bevonandó üvegfelület szélességében kiterjedő résben (48) végződően vannak kialakítva.
8. A 7. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a fordított legyezőalakú elülső és hátsó falak (20, 21) lefelé haladva egymás felé szűkülnek a bevonandó üvegfelület szélességében kiterjedő résben (48) végződnek.
9. Az 1-8. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az első bevezetőcsatoma (14) és az első gázelosztó (19) között elhelyezett, az első gáznemű reagenst a bevonandó üvegfelület szélességében szétoszlató áramlás-szűkítője (22) is van.
10. Az 1-9. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a második gázelosztó (24) és a második bevezetőcsatorna (14) között a második gáznemű reagenst a bevonandó üvegfelület szélességében eloszlató áramlás-szűkítője (25) van.
11. Eljárás mozgó, forró üveg felületén bevonat kialakítására legalább két gáznemű reagens reakciójával, azzal jellemezve, hogy a bevonókamrán (10) áthaladó üveg (12) haladási irányával lényegében párhuzamosan, az üveg felett (12) áramló első gáznemű rea7
HU 210 280 Β gens áramába, a bevonókamra (10) mennyezetének irányában egy második gáznemű reagenst vezetünk be, majd a két gáznemű reagens keveréket a bevonandó üveg (12) felett a bevonókamra (10) mennyezete mentén áramoltatjuk. 5
12. A 11. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemez ve, hogy a második gáznemű reagensnek az első gázne mű reagens áramába történő bevezetését a bevonókam rán (10) keresztül haladó első reagens áramlási irányá ra merőleges irányban végezzük.
HU895301A 1988-10-14 1989-10-12 Method and apparatus for coating hot glass surface HU210280B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB888824102A GB8824102D0 (en) 1988-10-14 1988-10-14 Apparatus for coating glass

Publications (3)

Publication Number Publication Date
HU895301D0 HU895301D0 (en) 1990-01-28
HUT55714A HUT55714A (en) 1991-06-28
HU210280B true HU210280B (en) 1995-03-28

Family

ID=10645192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU895301A HU210280B (en) 1988-10-14 1989-10-12 Method and apparatus for coating hot glass surface

Country Status (29)

Country Link
US (1) US5022905A (hu)
EP (1) EP0365240B1 (hu)
JP (1) JP2594650B2 (hu)
KR (1) KR960010096B1 (hu)
CN (1) CN1025846C (hu)
AT (1) ATE94159T1 (hu)
AU (1) AU622711B2 (hu)
BG (1) BG50832A3 (hu)
BR (1) BR8905216A (hu)
CA (1) CA2000269C (hu)
CZ (1) CZ283608B6 (hu)
DD (1) DD300419A5 (hu)
DE (2) DE68908993T2 (hu)
DK (1) DK509989A (hu)
ES (1) ES2013987T3 (hu)
FI (1) FI96506C (hu)
GB (2) GB8824102D0 (hu)
HU (1) HU210280B (hu)
IN (1) IN174378B (hu)
MX (1) MX171377B (hu)
NO (1) NO175425C (hu)
PL (1) PL162824B1 (hu)
RO (1) RO104572B1 (hu)
RU (1) RU1838261C (hu)
TR (1) TR23962A (hu)
TW (1) TW203034B (hu)
UA (1) UA11250A1 (hu)
YU (1) YU47026B (hu)
ZA (1) ZA897659B (hu)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IN177541B (hu) * 1990-06-29 1997-02-08 Geoffrey Norman Pain
AU650887B2 (en) * 1990-06-29 1994-07-07 Telstra Corporation Limited A method and apparatus for treating a surface
FR2672518B1 (fr) * 1991-02-13 1995-05-05 Saint Gobain Vitrage Int Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux.
ES2096864T3 (es) * 1992-07-11 1997-03-16 Pilkington Uk Ltd Procedimiento para la preparacion de revestimientos reflectantes sobre vidrio y espejos preparados a partir del mismo.
US5314727A (en) * 1992-07-28 1994-05-24 Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium
GB9300400D0 (en) * 1993-01-11 1993-03-03 Glaverbel A device and method for forming a coating by pyrolysis
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
US5723172A (en) * 1994-03-11 1998-03-03 Dan Sherman Method for forming a protective coating on glass
US5665424A (en) * 1994-03-11 1997-09-09 Sherman; Dan Method for making glass articles having a permanent protective coating
FR2736632B1 (fr) 1995-07-12 1997-10-24 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive
US5908947A (en) * 1996-02-09 1999-06-01 Micron Technology, Inc. Difunctional amino precursors for the deposition of films comprising metals
US5659057A (en) * 1996-02-09 1997-08-19 Micron Technology, Inc. Five- and six-coordinate precursors for titanium nitride deposition
US5607722A (en) * 1996-02-09 1997-03-04 Micron Technology, Inc. Process for titanium nitride deposition using five-and six-coordinate titanium complexes
US5976976A (en) 1997-08-21 1999-11-02 Micron Technology, Inc. Method of forming titanium silicide and titanium by chemical vapor deposition
US6143362A (en) * 1998-02-25 2000-11-07 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
US6284316B1 (en) 1998-02-25 2001-09-04 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
JP4984562B2 (ja) * 2006-02-16 2012-07-25 Jfeスチール株式会社 金属ストリップ表面へのTiN成膜方法およびTiN連続成膜装置
WO2014081030A1 (ja) * 2012-11-26 2014-05-30 旭硝子株式会社 薄膜形成方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1307216A (en) * 1969-04-23 1973-02-14 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1307361A (en) * 1969-04-23 1973-02-21 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1507465A (en) * 1974-06-14 1978-04-12 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1507996A (en) * 1975-06-11 1978-04-19 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1516032A (en) * 1976-04-13 1978-06-28 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB2026454B (en) * 1978-07-20 1982-07-21 Bfg Glassgroup Coating glass with tin oxide
CA1138725A (en) * 1978-07-20 1983-01-04 Robert Terneu Glass coating
BE879189A (fr) * 1978-10-19 1980-04-04 Bfg Glassgroup Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus
US4325987A (en) * 1979-07-31 1982-04-20 Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. Process for the production of an electrically conducting article
CH643469A5 (fr) * 1981-12-22 1984-06-15 Siv Soc Italiana Vetro Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide.
NO168762C (no) * 1985-12-20 1992-04-01 Glaverbel Belagt, flatt glass.
GB8531424D0 (en) * 1985-12-20 1986-02-05 Glaverbel Coating glass
GB2185249B (en) * 1985-12-20 1989-10-18 Glaverbel Apparatus for and process of coating glass
GB2187184B (en) * 1985-12-20 1989-10-11 Glaverbel Process and apparatus for pyrolytically coating glass
US4793282A (en) * 1987-05-18 1988-12-27 Libbey-Owens-Ford Co. Distributor beam for chemical vapor deposition on glass

Also Published As

Publication number Publication date
GB2225343B (en) 1993-02-03
FI894859A0 (fi) 1989-10-13
FI96506B (fi) 1996-03-29
ZA897659B (en) 1990-09-26
KR900006249A (ko) 1990-05-07
DK509989D0 (da) 1989-10-13
TW203034B (hu) 1993-04-01
DE68908993T2 (de) 1994-04-21
GB8923059D0 (en) 1989-11-29
JPH02167841A (ja) 1990-06-28
DE365240T1 (de) 1990-08-16
NO894093L (no) 1990-04-17
ES2013987A4 (es) 1990-06-16
MX171377B (es) 1993-10-21
CN1042138A (zh) 1990-05-16
CA2000269C (en) 1998-05-19
AU622711B2 (en) 1992-04-16
NO175425C (no) 1994-10-12
CZ582689A3 (en) 1997-12-17
TR23962A (tr) 1991-01-11
UA11250A1 (uk) 1996-12-25
DD300419A5 (de) 1992-06-11
CA2000269A1 (en) 1990-04-14
DK509989A (da) 1990-04-15
HUT55714A (en) 1991-06-28
ES2013987T3 (es) 1994-01-16
GB8824102D0 (en) 1988-11-23
NO894093D0 (no) 1989-10-13
KR960010096B1 (ko) 1996-07-25
YU198689A (en) 1991-06-30
BR8905216A (pt) 1990-05-15
PL162824B1 (pl) 1994-01-31
IN174378B (hu) 1994-11-19
RO104572B1 (en) 1994-08-29
FI96506C (fi) 1996-07-10
AU4255589A (en) 1990-04-26
US5022905A (en) 1991-06-11
NO175425B (no) 1994-07-04
YU47026B (sh) 1994-11-15
GB2225343A (en) 1990-05-30
EP0365240A1 (en) 1990-04-25
DE68908993D1 (de) 1993-10-14
JP2594650B2 (ja) 1997-03-26
ATE94159T1 (de) 1993-09-15
RU1838261C (ru) 1993-08-30
EP0365240B1 (en) 1993-09-08
BG50832A3 (en) 1992-11-16
CZ283608B6 (cs) 1998-05-13
HU895301D0 (en) 1990-01-28
CN1025846C (zh) 1994-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HU210280B (en) Method and apparatus for coating hot glass surface
HU212792B (en) Method for producing coating on glass - glass ribbon
US4834020A (en) Atmospheric pressure chemical vapor deposition apparatus
JP2518896B2 (ja) 板ガラスのコ―ティング方法および装置
US5286295A (en) Nozzle with nonsymmetrical feed for the formation of a coating layer on a ribbon of glass, by pyrolysis of a gas mixture
EP0156857B1 (en) Method and apparatus for coating a substrate
EP0378543A1 (en) GAS INJECTION DEVICE FOR REACTORS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION.
JPS5934231B2 (ja) Cvd装置の吐出装置
EP0369602B1 (en) Glass coating apparatus
RU1838262C (ru) Способ нанесени покрыти на движущуюс ленту гор чего стекла
IE893249L (en) Depositing a coating on hot glass from at least two gaseous¹reactants

Legal Events

Date Code Title Description
HMM4 Cancellation of final prot. due to non-payment of fee