NO175425B - Fremgangsmåte og apparat for påföring av belegg på varm glassoverflate - Google Patents

Fremgangsmåte og apparat for påföring av belegg på varm glassoverflate

Info

Publication number
NO175425B
NO175425B NO894093A NO894093A NO175425B NO 175425 B NO175425 B NO 175425B NO 894093 A NO894093 A NO 894093A NO 894093 A NO894093 A NO 894093A NO 175425 B NO175425 B NO 175425B
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
gas
flow
chamber
inlet
reactant
Prior art date
Application number
NO894093A
Other languages
English (en)
Other versions
NO894093L (no
NO175425C (no
NO894093D0 (no
Inventor
Barry Thomas Grundy
Edward Hargreaves
Peter James Whitfield
Original Assignee
Pilkington Plc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pilkington Plc filed Critical Pilkington Plc
Publication of NO894093D0 publication Critical patent/NO894093D0/no
Publication of NO894093L publication Critical patent/NO894093L/no
Publication of NO175425B publication Critical patent/NO175425B/no
Publication of NO175425C publication Critical patent/NO175425C/no

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Description

Foreliggende oppfinnelse angår et apparat og en fremgangsmåte for påføring av belegg på glass, og nærmere bestemt for å anbringe et belegg på overflaten av et bevegelig bånd av varmt glass ved hjelp av gassreaktanter som reagerer sammen til å danne et belegg på glassoverflaten.
Det er velkjent at belegg med ønskelige egenskaper for arkitektonisk bruk kan fremstilles ved anvendelse av gassreaktanter som spaltes ved kontakt med den varme glass-overf late. Således har det vært fremstilt silikonbelegg for regulering av innfallende solstråling ved pyrolyse av en silanholdig gass på en varm glassoverflate, og det-er også fremsatt mange andre forslag med hensyn på å frembringe andre belegg for solstrålingsregulering og lav strålingsevne (høy infrarød refleksjon) ut ifra andre passende gassreaktanter. Det er imidlertid dessverre vist seg å være vanskelig i kommersiell praksis å oppnå tilstrekkelig jevne belegg med den påkrevde tykkeIse.
En typisk fremgangsmåte og et apparat for påføring av sådanne belegg på glass er beskrevet i GB-PS 1.507.996, hvor et jevnt belegg påføres fra en reaktantgass ved å bringe gassen til å strømme parallelt med glassoverflaten under laminære strøm-ningsforhold. I denne utførelse er det ikke gitt noen spesielle anvisninger for bruk av blandinger av reaktanter som vil kunne reagere med hverandre før de når frem til glass-overf laten.
GB-PS 1.516.032 beskriver en prosess som går ut på å belegge glass ved anvendelse av et fluidmedium som inneholder en eller flere påføringsreaktanter som kan foreligge i flytende form eller gassform, og som rettes mot det varme glass i form av en eller flere strømmer hvorav minst en har en hastighets-komponent i glassbåndets bevegelsesretning og har en skråretning i forhold til båndets overflate i en vinkel (eller midlere vinkel)' på ikke mer enn 60°. Utnyttelse av denne oppfinnelse sies å gi et belegg kjennetegnet ved et glassholdig lag med homogen struktur og som oppviser et regelmessig krystallarrangement. I det tilfelle hvor det er påkrevet at to eller flere komponenter reagerer med hverandre, kan disse tilføres som separate strømmer gjennom tilstøtende dyser som hver er anordnet for å opprette en reaktantstrømning i spiss vinkel med glassoverflaten, således at reaktantene. kommer i kontakt med hverandre i nærheten av glasset, eller også kan en enkelt dyse anvendes for tilførsel av en første reaktantstrøm mens en luftstrøm, som gjør tjeneste som en annen reaktant, bringes til å strømme til reaksjonssonen drevet av den første reaktantstrøms strømningsmoment og skråretning. En avløps-kanal kan være anordnet nedstrøms for påføringssonen for derved å trekke gass bort fra denne sone, og en hette kan være anordnet for å fastlegge, sammen med glassoverflaten, en strømningspassasje over glasset og bort fra innfallsområdet av fluidstrømmen eller -strømmene mot glasset.
GB-PS 1.524.32 6 beskriver en prosess hvor et gassmedium bringes til å strømme langs det substrat som skal påføres belegg, i form av et hovedsakelig turbulensfritt lag langs en strømningspassasje som delvis avgrenses av vedkommende glassflate, idet denne strømningspassasje fører til en avløpskanal som sørger for å trekke restgass bort fra glasset. Gassreaktantene innføres i strømningspassasjen gjennom innløpskanaler som fører inn i oppstrømsenden av strømningspassasjen, idet innløpskanalene er utført for å føre gassreaktantene mot hverandre i spiss vinkel med glasset.
GB-PS 2.026.454B gjelder særlig en prosess for å danne et tynt oksydbelegg på en varm glassoverflate ved anvendelse av et gassholdig medium som inneholder tinn-tetraklorid og vanndamp. I en særlig foretrukket utførelse bringes en strøm av nitrogenbæregass som inneholder tinn-tetrakloriddamp til å strømme langs den glassflate som skal belegges, mens en luftstrøm som inneholder vanndamp avgis til denne strøm på et sted hvor den ikke strømmer langs nevnte glassflate. Et dopemiddel, slik. som hydrogenfluorid, kan tilføres substratet separat eller blandes med den fuktige luft. Gasstrømmene tilføres fortrinnsvis glassoverflaten ved å lede strømmene av gass inn i et påføringsgalleri eller -kammer som dannes av en grunn strømningspassasje som gasstrømmene flyter gjennom som et hovedsakelig turbulensfritt lag frem til en avløpskanal som sørger for å trekke restgass bort fra glasset. Gasstrømmene føres inn i påføringskammeret gjennom tilførselskanaler som fører inn i taket av påføringsgalleriet eller -kammeret, idet disse tilførselskanaler er skråstilt i retning nedover og fremover i glassbåndets bevegelsesretning med en spiss inn-fallsvinkel på 45° i forhold til horisontalplanet.
En ytterligere prosess for å fremstille et belegg av tinnoksyd på et varmt glassubstrat er beskrevet i GB-PS 2.033.374B. I henhold til dette patent anvendes et apparat av samme art som det beskrevne apparat i ovenfor nevnte GB-PS 2.026.454B, men dette apparat omfatter et ytterligere påføringskammer opp-strøms for det første påføringskammer, med det formål å påføre et metalloksyd som underbelegg på glassubstratet før den etterfølgende påføring av et tinnoksydbelegg.
Ved en ytterligere fremgangsmåte som er beskrevet i GB-patentsøknad 2.184.748A innføres en mornukleide for belegg-påføring og en oksyderende gass inn i en blandesone godt ovenfor glasset i oppstrømsenden av et påføringskammer. Varme tilføres blandesonen og mornukleiden for beleggpåføring og den oksyderende gass blandes intimt i blandesonen mens den er åpen mot substratet, men befinner seg i sådan høyde at belegg-dannelsen innledes ut ifra en hovedsakelig homogen damp-blanding. Blandingen bringes så til å strømme kontinuerlig gjennom påføringskammeret i kontakt med oversiden av glasset. Det angis som fordelaktig at takstrukturen avtar i høyde i nedstrømsretningen, således at strømmen av damp strupes langs påføringskammeret. I visse foretrukkede utførelser senkes takstrukturen i form av en kurve som fører inn i et nedstrøms takparti over glasset. Dette er funnet å fremme en hovedsakelig jevn nedstrømsstrømning av dampen ladet med mornukleid innenfor påføringskammeret, hvilket angis å være gunstig for jevnheten av det dannede belegg. Det er fordelaktig at på-før ingskammeret har en lengde på minst 5 meter, og anvendelse av et så langt påføringskaminer angis å være særlig gunstig når det gjelder å øke påføringsytelsen ved dannelse av forholdsvis tykke belegg på et raskt bevegelig substrat, slik som et bånd av nydannet flyteglass.
Ved forsøk på å danne et belegg på en glassoverflate ut ifra gassreaktanter som reagerer innbyrdes under utnyttelse av et apparat av den art hvor hver av reaktantene innføres i et påføringskammer gjennom hver sin skråstilte kanal, slik som det skjematisk viste apparat i ovenfor nevnte GB-PS 2.02 6.454, er det funnet at under utøvelse av påføringsprosessen bygget det seg opp en uønsket avsetning av påføringsmaterial i den nedre ende av den kanal som den annen reaktant ble ført inn gjennom i påføringskammeret. Denne materialavsetning ble funnet å være mest fremtredende på den oppstrømsliggende sidevegg av innføringskanalen. Oppbygningen av avsetning fant sted forholdsvis raskt og påvirket meget snart kvaliteten av det belegg som ble dannet på oversiden av glassbåndet. Belegget på glassbåndet ble gjenstand for rask nedbrytning og ble ujevnt, hvilket gjorde seg til kjenne ved striper som kunne sees på det avsatte belegg på overflaten av glasset.
Hvis ytterligere nedbrytning av belegget skulle unngås, måtte påføringsprosessn bli avbrutt og påf©ringsapparatet løftet bort fra glassbåndet for å kunne fjerne avsetningen av det uønskede beleggmaterial fra påf©ringsapparatet. Denne rense-prosess vil da være tidskrevende og medføre materialtap.
Det er derfor åpenbart behov for et apparat hvor problemer med uønsket avsetning av beleggmaterial er minimale, og som tillater lengre perioder av kontinuerlig drift for påførings-prosessen.
Det er derfor et formål for foreliggende oppfinnelse å frembringe et apparat hvor sådanne driftsforhold kan oppnås.
Oppfinnelsen gjelder således et apparat for å påføre overflaten av et bevegelig bånd av varmt glass et belegg som dannes ved reaksjon av minst to reaktantgasser, idet apparatet omfatter et åpent påføringskammer hvori nevnte,reaktantgasser bringes til å strømme i kontakt med den glassoverflate som skal påføres belegg og i en retning hovedsakelig parallell med glassets bevegelsesretning for derved å danne det ønskede belegg på glassoverflaten, og påføringskammeret er åpent i retning nedover mot og strekker seg tvers over den glass-overf late som skal belegges, samt har et første innløpsorgan for å opprette en strøm av en første reaktantgass langs glass-overf laten gjennom kammeret over hele dets bredde og et andre innløpsorgan som utgjøres av en innløpskanal som befinner seg nedstrøms for det første innløpsorgan (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) og strekker seg på tvers av kammerets tak over hele kammerbredden, for innføring av en andre reaktantgass i strømmen av den første reaktant i påføringskammeret, mens utløpsutstyr befinner seg nedstrøms for første og andre innløpsorgan (med hensyn til strømmen av reaktantgassene) og fører ut fra påføringskammeret for å fjerne forbrukte gasser fra dette.
På denne bakgrunn av prinsipielt kjent teknikk fra FR-PS 2.518.429 og FR-PS 2.456.077, samt de ovenfor angitte patentskrifter, har så apparatet i henhold til oppfinnelsen som særtrekk at påføringskammerets tak har form av et trinn ved overgangen mellom kammeret og nevnte innløpskanal, således at kammertaket på oppstrømssiden av innløpskanalen (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) befinner seg på et høyere nivå enn kammertaket på nedstrømssiden av innløps-kanalen (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass), og lengdesnittslinjen gjennom taket derved får et trinnformet forløp, idet: en første gassfordeler er anordnet for overføring av den første reaktantgass fra en gasstilførselskanal til nevnte
første innløpsorgan, og
en andre gassfordeler er anordnet for overføring av den andre reaktantgass fra en andre gasstilførselskanal til nevnte andre innløpsorgan.
Oppfinnelsen gjelder videre fremgangsmåte for påføring av et belegg, dannet ut fra en reaksjon mellom minst to reaktanter i gassform på overflaten av et bevegelig bånd av varmt glass,
og hvor det fra et første innløpsorgan opprettes en strøm av en første reaktantgass i en retning hovedsakelig parallelt med glassets bevegelsesretning innenfor et påføringskammer på oversiden av glasset, og en andre reaktantgass innføres i strømmen av den første reaktantgass gjennom et andre innløps-organ som utgjøres av en innløpskanal som befinner seg ned-strøms for det første innløpsorgan (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) og som strekker seg tvers over kammertaket og bringer nevnte første og andre reaktantgasser til å strømme gjennom påføringskammeret i kontakt med glassoverflaten og i en retning hovedsakelig parallelt med glassets bevegelsesretning, for derved å danne det ønskede belegg på glasset.
Fremgangsmåten har da som særtrekk i henhold til oppfinnelsen at taket av påføringskammeret gis form av et trinn i overgangen mellom nevnte innløpskanal og påføringskammeret, idet påføringskammerets tak på oppstrømssiden av innløpskanalen (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) bringes til å ligge på et høyere nivå enn taket av påføringskammeret på nedstrømssiden av innløpskanalen (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass), således at et lengdesnitt gjennom taket danner en trinnformet linje.
I foretrukkede utførelser av foreliggende oppfinnelse er påføringskammerets tak på oppstrømssiden av nevnte innløps-kanal vanligvis minst 5 mm høyere enn taket av påføringskam-meret på nedstrømssiden av nevnte innløpskanal, samt vanligvis ikke mer enn 75 mm høyere enn taket av påføringskammeret på nevnte nedstrømsside av innløpskanalen. Det er funnet hen-siktsmessig å arbeide med et trinn på ikke mer enn 15 mm, og i en utførelse er taket på oppstrømssiden av nevnte innløpskanal 10 mm høyere enn taket på nedstrømssiden av vedkommende kanal.
I en ytterligere foretrukket utførelse, er innløpskanalen anordnet hovedsakelig i rett vinkel med strømningsbanen for reaktantgassene gjennom påføringskammeret.
I et særlig foretrukket arrangement er den nedre ende av nedstrømssideveggen for innløpskanalen utformet som en konvekskrummet flate ved overgangen mellom nevnte sidevegg og påføringskammerets tak.
Det er funnet at ved anvendelse av fremgangsmåte og apparat av denne art vil mengden av uønsket beleggmaterial som avsettes på veggene av den annen innløpskanal bli nedsatt i vesentlig grad. Påf©ringsapparatet i henhold til foreliggende oppfinnelse kan således være i drift lengre tidsperioder enn kjente påføringsapparater, uten at påføringsprosessen må avbrytes for rengjøring av apparatet og fjerning av uønskede avsetninger.
Den første og den annen gassreaktant tilføres apparatet fra hver sin gasstilførselskanal og fordeles over den glassoverflate som skal belegges ved å føre gasstrømmene gjennom henholdsvis i en første og en annen gassfordeler som kan være innlagt mellom omvendt vifteformede for- og bakvegger som divergerer i retning nedover fra et sentralt innløp for å ende i en sliss som strekker seg tvers over bredden av den glassflate som skal påføres belegg. I en foretrukket utførelse smalner den omvendt vifteformede for- og bakvegg nedover mot hverandre for å ende i nevnte sliss.
Apparatet omfatter videre fortrinnsvis en gasstrømningsbe-grenser innlagt mellom den første gassfordeler og det første innløpsorgan, for derved å frembringe jevn fordeling av den første reaktant i gassform over bredden av den glassoverflate som skal belegges. Lignende jevn fordeling av den annen gassreaktant kan også oppnås ved å anordne en annen gasstrøm-ningsbegrenser mellom den annen gassfordeler og det annet innløpsorgan, idet nevnte annen gasstrømningsbegrenser hovedsakelig er av samme utførelse som den første strøm-ningsbegrenser.
Vanligvis omfatter en sådan gassbegrenser et kammer innrettet for å.motta en tilførsel av reaktantgass samt utført for å avgi en strøm av denne gass over det flate glass som skal belegges, samt en rekke på minst to begrensninger, som hver omfatter et platelegeme som strekker seg tvers over kammeret og har flere gjennomgående åpninger.
I den følgende beskrivelse, likesom i de medfølgende patent-krav, vil uttrykkene "oppstrøms" og "nedstrøms" bli brukt under henvisning til strømmen av reaktantgasser gjennom påføringskammeret. I den spesielle utførelse som vil bli beskrevet som eksempel er denne retning fortrinnsvis sammen-fallende med glassets bevegelsesretning, men dette behøver ikke nødvendigvis å være tilfelle, og oppfinnelsen kan også være fordelaktig i det tilfelle strømningsretningen av reaktantgass er motsatt glassets bevegelsesretning.
Foreliggende oppfinnelse vil nå bli nærmere beskrevet ved hjelp av et eksempel og under henvisning til de vedføyde tegninger, hvorpå: Fig. 1 er en snittsskisse i lengderetningen gjennom
apparatet i henhold til oppfinnelsen.
Fig. 2 er et endeoppriss tatt i retning av pilen II i
fig. 1, for det viste apparat i sistnevnte figur. Fig. 3 er en snittsskisse som mer detaljert viser en gasstrømningsbegrenser av den art som inngår i apparatet i fig. 1. Fig. 4 er en snittsskisse med delvis bortskårne partier og som viser en foretrukket utforming av den nedre ende av det annet innløpsorgan.
På tegningene angir samme henvisningstall tilsvarende deler.
Det skal nå særlig henvises til fig. 1 og 2, som viser et påf©ringsapparat som i sin helhet er angitt ved henvisnings-tallet 1 samt er opphengt over et glassbånd 12 som fremføres over ruller (ikke vist) fra venstre mot høyre. Påf©ringsapparatet er opphengt i en vogn 2 som omfatter en horisontal plate 3, hvis overside er påsveisetet antall fremre monteringsbraketter, slik som vist ved 4, samt bakre monteringsbraketter, slik som vist ved 5. Tre fremre og tre bakre monteringsbraketter er typisk anordnet tvers over bredden av påf©ringsapparatet, og i begge tilfeller er da en brakett montert nær midten av apparatet og de to ©vrige braketter montert nær apparatets sidekanter. Monterings-brakettene 4, 5 er opphengt i hver sin vannkj©lte bjelke (ikke vist) som strekker seg over bredden av det glassbånd som skal belegges.
Den nedre del av apparatet omfatter et antall formede karbonblokker 32, 34, 36, 38, 40 og 42 som strekker seg på tvers over en lengde som tilsvarer bredden av den glassoverflate som skal påføres belegg. Karbonblokkene avgrenser et påf©ringskammer 10 med et tak 9a, 9b av trinnform, idet taket 9a av påf©ringskammeret 10 oppstr©ms for den annen innløps-kanal 15 ligger h©yere enn taket 9b av påf©ringskammeret ned-strøms for den annen innløpskanal 15. Nevnte karbonblokker avgrenser også et første innløpsorgan som utgjøres av en vertikal f©rste innløpskanal 14 for innføring av en første reaktantgass i påføringskammeret, et annet innløpsorgan som utgjøres av en vertikal annen innløpskanal 15 for innføring av en annen reaktantgass i påføringskammeret, en str©mningsbane 16 i påf©ringskammeret mellom den første innløpskanal 14 og den annen innløpskanal 15, en avløpskanal 18 for fjerning av brukt gass fra påf©ringskammeret, samt en str©mningsbane 17 i påf©ringskammeret mellom den annen innløpskanal 15 og ut-løps kana len 18.
Hver av de forskjellige karbonblokker er opphengt på undersiden av et horisontalt platelegeme 44. I blokkene inngår kanaler (ikke vist) for et varmeoverføringsfluid, slik som kjølevann, og ved bruk av apparatet reguleres karbonblokkenes temperatur ved å føre kjølevann gjennom disse kanaler.
Påføringskammeret 10 har en åpen side som strekker seg over det glassbånd 12 som skal belegges. I oppstrømsenden av påføringskammeret danner karbonblokker 32 og 34 nevnte vertikale første innløpskanal 14 som en første gassreaktant innføres gjennom til påføringskammeret. Nedstrøms for den første innløpskanal, er en annen vertikal innløpskanal 15 dannet mellom karbonblokker 34 og 36, for innføring av en annen gassreaktant inn i påføringskammeret.
Ved nedstrømsenden av påføringskammeret danner karbonblokker 40 og 42 en avløpskanal 18 for fjerning av brukte gasser fra påføringskammeret.
Den første reaktantgass tilføres den første innløpskanal 14 fra en gasstilførselskanal (ikke vist) gjennom en vifteformet fordeler 19 og en gasstrømningsbegrenser 22. Den vifteformede fordeler er avgrenset mellom front- og bakvegg 20 og 21 av omvendt vifteform, idet disse vegger konvergerer innbyrdes i retning nedover til å danne ved bunnen av vifteformen en smal sliss 48 som strekker seg over hele bredden av det glass-bånd som skal påføres belegg.
Den første reaktantgass som strømmer ut fra slissen 48 ved bunnen av vifteformen 19 føres gjennom en gasstrømnings-begrenser 22 som er montert på undersiden av vifteformen 19.
Denne gasstrømningsbegrenser 22 er vist mer detaljert i fig. 3 og omfatter par av innbyrdes motstående vegger 120, 122 samt 121, 123 som tilsammen danner et langstrakt kammer 124. De langstrakte vegger 120, 122 samt 121, 123 strekker seg på tvers over det glassbånd som skal belegges, idet veggene 12 0 og 121 utgjør oppstrømsvegger og veggene 12 2 og 12 3 er ned-strømsvegger. Motstående endevegger 12 6 er anordnet ved hver sin ende av det langstrakte kammer 124, idet hver endevegg 12 6 er anordnet parallelt med glassbåndets bevegelsesretning.
Ved innløpsenden av gasstrømningsbegrenseren 22 er det anordnet en innløpsbegrenser 127 som omfatter et langstrakt innløpsplatelegeme 12 8 som strekker seg på tvers av kammeret 124. Innløpsplatelegemet 128 er tettende festet mellom motstående par av horisontale plater 130, 132, idet hvert platepar 130, 132 er festet f.eks. ved hjelp av sveising til hver sin langstrakte vegg 120, 122 samt til den vifteformede fordeler 19. Platene i hvert platepar 130, 132 er tett sammenføyd ved hjelp av gjengede forbindelsesstykker 134. Tetningsringer (ikke vist) er anordnet mellom hvert platepar 130, 132 og innløpsplatelegemet 128.
En rekke åpninger 13 6 er anordnet langs lengdeutstrekningen av innløpsplatelegemet 12 8, idet åpningene 136 forbinder innløpet 112 med resten av kammeret 124. Åpningene 136 er sirkulære hull og har fortrinnsvis en diameter fra 2 mm til 10 mm. I en særlig foretrukket utførelse har hullene 13 6 en diameter på 4 mm med innbyrdes avstand mellom hullenes midtpunkt på 2 0 mm. Rekken av hull 13 6 er anordnet på oppstrømssiden av det langstrakte kammer 124, hvilket innebærer at rekken av hull 136 ligger nærmere oppstrømsveggen 120 enn nedstrømsveggen 122 av kammeret 124.
Nær utløpsenden 110 av gasstrømningsbegrenseren 22 er det anordnet en utløpsbegrenser 13 8. Denne utløpsbegrenser 13 8 er av hovedsakelig samme utførelse som innløpsbegrenseren 12 7 ved - det forhold at den omfatter et langstrakt utløpsplatelegeme 140 som er tett innfestet mellom to innbyrdes motstående platepar 142, 144, hvor den øvre plate i hver av nevnte platepar 142, 144 er festet, f.eks. ved sveising til en tilordnet langstrakt vegg 121, 123. Platene 142, 144 er skilt fra utløpsplatelegemet 140 ved hjelp av tetningsringer (ikke vist). Platene 142, 144 er tett sammenføyd ved hjelp av gjengede forbindelsesorganer 146 som også sørger for fast forbindelse av platene 142, 144, og derved gasstrømningsbe-grenseren 22, til den plate 44 som grafittblokkene 32, 34 er opphengt i. Utløpsplatelegemet 140 er forsynt med en rekke hull 152 som fortrinnsvis har en diameter fra 2 mm til 10 mm, og i en særlig foretrukket utførelse har en diameter på 4 mm og innbyrdes senteravstand på 10 mm. Rekkene av hull 152 er anordnet på oppstrømssiden av det langstrakte kammer 124.
Et avbøyningslegeme 154 for gasstrømmen er montert ved utløpet 110 for gasstrømningsbegrenseren 22 på undersiden av utløpsplatelegemet 140. Avbøyningslegemet 154 omfatter et langstrakt L-formet legeme 156 som er utført i et stykke med den neare plate i nevnte platepar 142 og er anordnet inntil hullene 152. Den frie arm 158 av det L-formede legeme 156 rager oppover mot utløpsplatelegemet 140 for å danne et mellomliggende gap 160 som reaktantgass fra hullene 152 må passere gjennom etter å ha blitt avbøyd av den horisontale gren 162 av det L-formede legeme 156.
Formålet med gasstrømningsavbøyeren 154 er å fjerne visse lokale økninger som kan opptre i gasstrømmen. Det vil således være en tendens til at gasstrømmen blir kraftigere i den umiddelbare nærhet av hver av hullene 152 i utløps-platelegemet 140 på undersiden av dette legemet. Den foreliggende gasstrømningsavbøyer 154 jevner ut disse lokale intensitetsøkninger i gasstrømmen. I visse tilfeller kan det være mulig å utelate gasstrømningsavbøyeren 154 fra gasstrømningsbegrenseren i henhold til oppfinnelsen.
En mellomliggende begrenser 164 er innlagt mellom innløps- og utløpsbegrenseren 127, 138. Den mellomliggende begrenser 164 har samme utførelse som innløpsbegrenseren 127 og omfatter et mellomliggende langstrakt platelegeme 166 med en rekke huller 168. Det mellomliggende platelegeme 166 er tett innfestet mellom motstående par av horisontale plater 170, 172 som er festet, f.eks. ved hjelp av sveisning, til hvert sitt par 120, 121, henholdsvis 122, 123. Tetningsringer (ikke vist) er anordnet mellom platene 170, 172 og det mellomliggende platelegeme t 166, og platene 170, 172 er tett sammenføyd ved hjelp av gjengede forbindelsesorganer 174. Rekken av hull 168 i det mellomliggende platelegeme 166 er, i motsetning til hullene i innløps- og utløpsplatelegemene 128, 140, anordnet på en ned-strømsside av det langstrakte kammer 124, hvilket vil si at rekkene av hull 168 befinner seg nærmere nedstrømsveggene 122, 123 enn oppstrømsveggene 120, 121 av kammeret 124. Dette arrangement fører til at hullrekkene i de forskjellige langstrakte platelegemer ikke ligger i flukt med hverandre.
Den annen reaktantgass føres inn i den annen innløpskanal 15 fra en annen gasstilførselskanal (ikke vist) gjennom en ytterligere vifteformet fordeler 24 som er av samme utførelse som viftefordeleren 19, samt derpå gjennom en gasstrøm-ningsfordeler 25 som er av samme utførelse som gasstrøm-ningsfordeleren 22.
Avløpsgasser som kommer ut fra avløpskanalen 18 passerer gjennom en kanal 50 i en avstandsenhet 52 og derpå inn i en avløpsvifte 26 som omfatter omvendt vifteformet for- og bakvegg 27 og 28. Avløpsviften avgir avfallsgasser, ureagerte reaktantgasser samt bæregasser til en avløpskanal (ikke vist).
Høydene av de forskjellige karbonblokker 32, 34 og 36 som danner den første innløpskanal 14 og den annen innløpskanal 15 er valgt slik at taket 9a, 9b av påføringskammeret 10 danner et trinn ved overgangen mellom den annen innløpskanal 15 og påføringskammeret, idet takpartiet 9a av påføringskammeret på oppstrømssiden av nevnte innløpskanal 15 befinner seg på et høyere nivå enn takpartiet 9b av påføringskammeret på ned-strømssiden av den annen innløpskanal 15, slik det vil fremgå av Figur 1, idet den linje som dannes av et lengdesnitt gjennom kammertaket er avbrutt og har trinnform. Undersiden av blokken 3 6 kan således typisk velges å ligge 10 mm lavere enn bunnen av blokken 34. Som en følge av dette vil den nedre ende av oppstrømsveggen 54 for den annen innløpskanal ligge 10 mm høyere enn det nedre avsnitt av nedstrømsveggen 56 for den samme annen innløpskanal 15 og derved danne en innløpssliss 58 formet som et trinn. En sådan trinnformet innløpssliss 58 er funnet å nedsette den mengde fast påføringsmaterial som avsettes på sideveggene av den annen innløpskanal 15 i nærheten av innløpsslissen 58. Trinnformen antas å virke slik at den retter strømmen av den første gassreaktant mot glassflaten og unngår at en andel av denne første reaktant strømmer inn i munningen av den annen innløpskanal, hvilket medfører risiko for lokal reaksjon og resulterende avsetning av påførings-material på vertikale flater i munningen av innløpskanalen.
I et særlig foretrukket arrangement er det nedre oppstrøms-hjørne av karbonblokken 3 6 utformet med konvekskrummet flate 57, slik som anskueliggjort i Figur 4, og typisk med en krumningsradius på 10 mm for en trirmformet innløpssliss 58 med trinnhøyde på 10 mm. Denne krumningsradius bør være tilstrekkelig liten til å opprettholde trinnvirkningen og derved hovedsakelig unngå vanskeligheter i forbindelse med oppbygning av materialavsetninger i munningen av den annen innløpskanal.
I bruk er påf©ringsapparatet i henhold til oppfinnelsen opphengt over et glassbånd 12 som fremføres over ruller (ikke vist) fra venstre mot høyre. Påf©ringsapparatet er opphengt i en viss høyde over glassbåndet og som er slik at karbonblokken 42 ved nedstrømsenden av apparatet holdes i en h©yde av størrelsesorden 10 mm over overflaten av det glassbånd som skal belegges. En første reaktantgass, som vanligvis er utspedd i en bæregass, tilføres en vifteformet fordeler 19 og gassbegrenser 22 som gir jevn fordeling av gassen over bredden av det glass som skal påf©res belegg. Den gass som avgis fra gassbegrenseren 22 passerer gjennom en første innløpskanal 14 og inn i påf©ringskammeret 10 samt vandrer i en f©rste hoved-retning parallelt med glasset langs en str©mningsbane 16 i kammeret 10 mot den nedre ende av den annen innløpskanal 15. Den annen reaktantgass, som også vanligvis er utspedd i en bæregass, tilføres viftefordeleren 24 og gassavgrenseren 25 for derved å sikre at det oppnås jevn fordeling av den annen gassreaktant over bredden av glasset.
Den gass som avgis fra den nedre ende av avgrenseren 2 5 passerer gjennom den annen innløpskanal 15 inn i strømmen av den første reaktantgass i påføringskammeret for derved å frembringe en kombinert strømning av gassreaktanter på oversiden av gassoverflaten langs en strømningsbane 17 hvor de to reaktantgasser reagerer innbyrdes for å påføre et belegg på den varme glassoverflate. I en driftsmodus, som er mer full-stendig beskrevet i en samtidig løpende patentansøkning med samme innleveringsdato, og hvis innhold hermed tas med i foreliggende ansøkning som referanse, kan gassens strømnings-forhold styres slik at det opprettes en turbulent strømning av den annen reaktantgass gjennom den annen innløpskanal 15 samt av de kombinerte gassreaktanter langs strømningsbanen 17, samtidig som det unngås oppstrømsstrømning av den annen reaktantgass inn i strømningen av den første reaktantgass innenfor strømningsbanen 16. De forbrukte gasser (bæregassene, ureagerte reaktantgasser samt avfallsgasser fra reaksjonen) trekkes ut fra påføringssonen gjennom en avløpskanal 18 ved hjelp av undertrykk (f.eks. sugevirkning fra en vifte - som ikke er vist) påført gjennom avløpskanalen 2 6 av vifteform, og som oppviser oppover konvergerende, omvendt vifteformet for-og bakvegg 27, 28. Undertrykket trekker ikke bare gass bort fra påføringssonen, men innfører også en strømning av ytre atmosfære på undersiden av påføringsapparatets ytterender 29, 3 0 på såvel oppstrøms- som nedstrømssiden.
Det ovenfor beskrevne apparat kan være i drift i lengre tidsperioder uten at uønsket blokkering av den annen innløpskanal
finner sted som en følge av avsetning av beleggmaterial i inn-løpskanalen, således at fremstilling av jevne belegg på
glassbånd lettes ved høy påføringsytelse.
Apparatet i henhold til foreliggende oppfinnelse er særlig anvendbart for fremstilling av infrarødtreflekterende tinnoksydbelegg ved f.eks. anvendelse av tinnklorid som første reaktantgass og vanndamp som den annen reaktantgass. For å øke den infrarøde reflekteringsevne av det påførte belegg, kan et dopemiddel, slik som en kilde for antimon eller fluor, inngå i reaksjonsgassene. Andre belegg, slik som titanoksyd eller titannitrid kan også påføres ved hjelp av apparatet i henhold til oppfinnelsen. For å påføre et titanoksydbelegg, kan titantetraklorid anvendes som den første reaktantgass, mens vanndamp utnyttes som den annen reaktantgass. For å oppnå et belegg av titannitrid, kan titantetraklorid utnyttes som første reaktantgass, mens ammoniakk anvendes som den annen reaktantgass.

Claims (12)

1. Apparat (1) for å påføre overflaten av et bevegelig bånd av varmt glass (12) et belegg som dannes ved reaksjon av minst to reaktantgasser, idet apparatet omfatter et åpent påføringskammer (10) hvori nevnte reaktantgasser bringes til å strømme i kontakt med den glassoverflate som skal påføres belegg og i en retning hovedsakelig parallell med glassets bevegelsesretning for derved å danne det ønskede belegg på glassoverflaten, og påføringskammeret (10) er åpent i retning nedover mot og strekker seg tvers over den glassoverflate som skal belegges, samt har et første innløpsorgan (14) for å opprette en strøm av en første reaktantgass langs glass-overf laten gjennom kammeret over hele dets bredde og et andre innløpsorgan som utgjøres av en innløpskanal (15) som befinner seg nedstrøms for det første innløpsorgan (14) (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) og strekker seg på tvers av kammerets tak (9) over hele kammerbredden, for innføring av en andre reaktantgass i strømmen av den første reaktant i påføringskammeret (10), mens utløpsutstyr (26) befinner seg nedstrøms for første og andre innløpsorgan (14, 15) (med hensyn til strømmen av reaktantgassene) og fører ut fra påføringskammeret (10) for å fjerne forbrukte gasser fra dette, karakterisert ved at påføringskammerets tak (9) har form av et trinn ved overgangen mellom kammeret (10) og nevnte innløpskanal (15), således at kammertaket (9a) på oppstrømssiden av innløpskanalen (15) (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) befinner seg på et høyere nivå enn kammertaket (9b) på nedstrømssiden av innløpskanalen (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass), og lengdesnittslinjen gjennom taket (9) derved får et trinnformet forløp, idet: en første gassfordeler (19) er anordnet for overføring av den første reaktantgass fra en gasstilførselskanal til nevnte første innløpsorgan (14), og en andre gassfordeler (24) er anordnet for overføring av den andre reaktantgass fra en andre gasstilførselskanal til nevnte andre innløpsorgan (15).
2. Apparat som angitt i krav 1, karakterisert ved at taket (9a) av på-føringskammeret (10) på oppstrømssiden av nevnte innløpskanal (15) ligger minst 5 mm høyere enn taket (9b) av påførings-kammeret (10) på nedstrømssiden av innløpskanalen (15).
3. Apparat som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at taket.(9a) av på-føringskammeret (10) på oppstrømssiden av nevnte innløpskanal (15) ligger opptil 75 mm høyere enn taket (9b) av påførings-kammeret (10) på nedstrømssiden av innløpskanalen (15).
4. Apparat som angitt i krav 2 eller 3, karakterisert ved at taket (9a) av på-føringskammeret (10) på oppstrømssiden av nevnte innløpskanal (15) ligger 10 mm høyere enn taket (9b) av påføringskammeret (10) på nedstrømssiden av innløpskanalen (15).
5. Apparat som angitt i et av de foregående krav, karakterisert ved at nevnte innløpskanal (15) er anordnet hovedsakelig i rett vinkel med reaktant-gassenes strømningsbane gjennom påføringskammeret (10).
6. Apparat som angitt i et av de foregående krav, karakterisert ved at den nedre ende av nedstrømssideveggen (56) av innløpskanalen (15) er utformet med en konveks, krum overflate (57) ved overgangen mellom nevnte sidevegg (56) og taket (9b) av påføringskammeret (10).
7. Apparat som angitt i et av de foregående krav, karakterisert ved at såvel første som andre gassfordeler (19, 24) er opprettet mellom omvendt vifteformede for- og bakvegger (20, 21) som divergerer nedover fra et sentralt innløp for å ende i en sliss (48) som strekker seg tvers over bredden av den glassoverflate som skal påføres belegg.
8. Apparat som angitt i krav 7, karakterisert ved at nevnte omvendt vifteformede for- og bakvegger (20, 21) i retning nedover har avsmalende innbyrdes avstand som ender i nevnte sliss (48).
9. Apparat som angitt i et av de foregående krav, karakterisert ved at det videre omfatter en gass-strømavgrenser (22) innlagt mellom den første gassfordeler (19) og det første innløpsorgan (14) for å frembringe jevn fordeling av den første reaktantgass over bredden av den glassflate som skal påføres belegg.
10. Apparat som angitt i et hvilket som helst av de foregående krav, karakterisert ved at det videre omfatter en gass-strømbegrenser (25) anordnet mellom den andre gassfordeler (24) og det andre innløpsorgan (15) for derved å frembringe jevn fordeling av den andre reaktantgass over bredden av den glassoverflate som skal påføres belegg.
11. Fremgangsmåte for påføring av et belegg dannet ut fra en reaksjon mellom minst to reaktanter i gassform på overflaten av et bevegelig bånd av varmt glass (12), og hvor det fra et første innløpsorgan (14) opprettes en strøm av en første reaktantgass i en retning hovedsakelig parallelt med glassets bevegelsesretning•innenfor et påføringskammer (10) på oversiden av glasset, og en andre reaktantgass innføres i strømmen av den første reaktantgass gjennom et andre innløpsorgan som utgjøres av en innløpskanal (15) som befinner seg nedstrøms for det første innløpsorgan (14) (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) og som strekker seg tvers over kammertaket (9) og bringer nevnte første og andre reaktantgasser til å strømme gjennom påføringskammeret (10) i kontakt med glassoverflaten og i en retning hovedsakelig parallelt med glassets bevegelsesretning, for derved å danne det ønskede belegg på glasset (12), karakterisert ved at taket (9) av på-førings kammer et (10) gis form av et trinn i overgangen mellom nevnte innløpskanal (15) og påføringskammeret, idet påførings-kammerets tak (9a) på oppstrømssiden av innløpskanalen (15) (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass) bringes til å ligge på et høyere nivå enn taket (9b) av påførings-kammeret på nedstrømssiden av innløpskanalen (15) (med hensyn til strømmen av den første reaktantgass), således at et lengdesnitt gjennom taket (9) danner en trinnformet linje.
12. Fremgangsmåte som angitt i krav 11, karakterisert ved at strømmen av den andre reaktantgass innføres i strømmen av den første gassreaktant i en retning hovedsakelig i rett vinkel med strømningsbanen for reaktantgassene gjennom påføringskammeret (10).
NO894093A 1988-10-14 1989-10-13 Fremgangsmåte og apparat for påföring av belegg på varm glassoverflate NO175425C (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB888824102A GB8824102D0 (en) 1988-10-14 1988-10-14 Apparatus for coating glass

Publications (4)

Publication Number Publication Date
NO894093D0 NO894093D0 (no) 1989-10-13
NO894093L NO894093L (no) 1990-04-17
NO175425B true NO175425B (no) 1994-07-04
NO175425C NO175425C (no) 1994-10-12

Family

ID=10645192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO894093A NO175425C (no) 1988-10-14 1989-10-13 Fremgangsmåte og apparat for påföring av belegg på varm glassoverflate

Country Status (29)

Country Link
US (1) US5022905A (no)
EP (1) EP0365240B1 (no)
JP (1) JP2594650B2 (no)
KR (1) KR960010096B1 (no)
CN (1) CN1025846C (no)
AT (1) ATE94159T1 (no)
AU (1) AU622711B2 (no)
BG (1) BG50832A3 (no)
BR (1) BR8905216A (no)
CA (1) CA2000269C (no)
CZ (1) CZ283608B6 (no)
DD (1) DD300419A5 (no)
DE (2) DE68908993T2 (no)
DK (1) DK509989A (no)
ES (1) ES2013987T3 (no)
FI (1) FI96506C (no)
GB (2) GB8824102D0 (no)
HU (1) HU210280B (no)
IN (1) IN174378B (no)
MX (1) MX171377B (no)
NO (1) NO175425C (no)
PL (1) PL162824B1 (no)
RO (1) RO104572B1 (no)
RU (1) RU1838261C (no)
TR (1) TR23962A (no)
TW (1) TW203034B (no)
UA (1) UA11250A1 (no)
YU (1) YU47026B (no)
ZA (1) ZA897659B (no)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IN177541B (no) * 1990-06-29 1997-02-08 Geoffrey Norman Pain
AU650887B2 (en) * 1990-06-29 1994-07-07 Telstra Corporation Limited A method and apparatus for treating a surface
FR2672518B1 (fr) * 1991-02-13 1995-05-05 Saint Gobain Vitrage Int Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux.
ES2096864T3 (es) * 1992-07-11 1997-03-16 Pilkington Uk Ltd Procedimiento para la preparacion de revestimientos reflectantes sobre vidrio y espejos preparados a partir del mismo.
US5314727A (en) * 1992-07-28 1994-05-24 Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium
GB9300400D0 (en) * 1993-01-11 1993-03-03 Glaverbel A device and method for forming a coating by pyrolysis
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
US5723172A (en) * 1994-03-11 1998-03-03 Dan Sherman Method for forming a protective coating on glass
US5665424A (en) * 1994-03-11 1997-09-09 Sherman; Dan Method for making glass articles having a permanent protective coating
FR2736632B1 (fr) 1995-07-12 1997-10-24 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive
US5908947A (en) * 1996-02-09 1999-06-01 Micron Technology, Inc. Difunctional amino precursors for the deposition of films comprising metals
US5659057A (en) * 1996-02-09 1997-08-19 Micron Technology, Inc. Five- and six-coordinate precursors for titanium nitride deposition
US5607722A (en) * 1996-02-09 1997-03-04 Micron Technology, Inc. Process for titanium nitride deposition using five-and six-coordinate titanium complexes
US5976976A (en) 1997-08-21 1999-11-02 Micron Technology, Inc. Method of forming titanium silicide and titanium by chemical vapor deposition
US6143362A (en) * 1998-02-25 2000-11-07 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
US6284316B1 (en) 1998-02-25 2001-09-04 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition of titanium
JP4984562B2 (ja) * 2006-02-16 2012-07-25 Jfeスチール株式会社 金属ストリップ表面へのTiN成膜方法およびTiN連続成膜装置
WO2014081030A1 (ja) * 2012-11-26 2014-05-30 旭硝子株式会社 薄膜形成方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1307216A (en) * 1969-04-23 1973-02-14 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1307361A (en) * 1969-04-23 1973-02-21 Pilkington Brothers Ltd Treating glass
GB1507465A (en) * 1974-06-14 1978-04-12 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1507996A (en) * 1975-06-11 1978-04-19 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1516032A (en) * 1976-04-13 1978-06-28 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB2026454B (en) * 1978-07-20 1982-07-21 Bfg Glassgroup Coating glass with tin oxide
CA1138725A (en) * 1978-07-20 1983-01-04 Robert Terneu Glass coating
BE879189A (fr) * 1978-10-19 1980-04-04 Bfg Glassgroup Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus
US4325987A (en) * 1979-07-31 1982-04-20 Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. Process for the production of an electrically conducting article
CH643469A5 (fr) * 1981-12-22 1984-06-15 Siv Soc Italiana Vetro Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide.
NO168762C (no) * 1985-12-20 1992-04-01 Glaverbel Belagt, flatt glass.
GB8531424D0 (en) * 1985-12-20 1986-02-05 Glaverbel Coating glass
GB2185249B (en) * 1985-12-20 1989-10-18 Glaverbel Apparatus for and process of coating glass
GB2187184B (en) * 1985-12-20 1989-10-11 Glaverbel Process and apparatus for pyrolytically coating glass
US4793282A (en) * 1987-05-18 1988-12-27 Libbey-Owens-Ford Co. Distributor beam for chemical vapor deposition on glass

Also Published As

Publication number Publication date
GB2225343B (en) 1993-02-03
FI894859A0 (fi) 1989-10-13
FI96506B (fi) 1996-03-29
ZA897659B (en) 1990-09-26
KR900006249A (ko) 1990-05-07
DK509989D0 (da) 1989-10-13
TW203034B (no) 1993-04-01
DE68908993T2 (de) 1994-04-21
GB8923059D0 (en) 1989-11-29
JPH02167841A (ja) 1990-06-28
DE365240T1 (de) 1990-08-16
NO894093L (no) 1990-04-17
ES2013987A4 (es) 1990-06-16
MX171377B (es) 1993-10-21
CN1042138A (zh) 1990-05-16
CA2000269C (en) 1998-05-19
AU622711B2 (en) 1992-04-16
NO175425C (no) 1994-10-12
CZ582689A3 (en) 1997-12-17
TR23962A (tr) 1991-01-11
UA11250A1 (uk) 1996-12-25
DD300419A5 (de) 1992-06-11
CA2000269A1 (en) 1990-04-14
DK509989A (da) 1990-04-15
HUT55714A (en) 1991-06-28
ES2013987T3 (es) 1994-01-16
GB8824102D0 (en) 1988-11-23
NO894093D0 (no) 1989-10-13
KR960010096B1 (ko) 1996-07-25
YU198689A (en) 1991-06-30
BR8905216A (pt) 1990-05-15
PL162824B1 (pl) 1994-01-31
IN174378B (no) 1994-11-19
RO104572B1 (en) 1994-08-29
FI96506C (fi) 1996-07-10
AU4255589A (en) 1990-04-26
US5022905A (en) 1991-06-11
HU210280B (en) 1995-03-28
YU47026B (sh) 1994-11-15
GB2225343A (en) 1990-05-30
EP0365240A1 (en) 1990-04-25
DE68908993D1 (de) 1993-10-14
JP2594650B2 (ja) 1997-03-26
ATE94159T1 (de) 1993-09-15
RU1838261C (ru) 1993-08-30
EP0365240B1 (en) 1993-09-08
BG50832A3 (en) 1992-11-16
CZ283608B6 (cs) 1998-05-13
HU895301D0 (en) 1990-01-28
CN1025846C (zh) 1994-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO175425B (no) Fremgangsmåte og apparat for påföring av belegg på varm glassoverflate
NO175426B (no) Fremgangsmåte for å påföre belegg på et bevegelig, varmt glassbånd
US6112554A (en) Device for forming a pyrolytic coating
JPWO2002051767A1 (ja) 保護被膜を有する板ガラス及びその製造方法
CA1138725A (en) Glass coating
NO173818B (no) Fremgangsmaate og apparat for paafoering av belegg paa plateglass ved kjemisk dampavsetning
US4655810A (en) Coating hot glass with metals or metal compounds, especially oxides
SE452977B (sv) Sett och anordning for bildning av en beleggning av en metall eller metallforening pa en yta av ett just format band av varmt glas
DK157916B (da) Fremgangsmaade og apparat til frembringelse af en belaegning af et metal eller en metalforbindelse paa en flade af et opvarmet glassubstrat
NO168763B (no) Fremgangsmaate og apparat for belegging av glass.
JPS62148342A (ja) ガラスを熱分解的に被覆する方法および装置
DK157669B (da) Fremgangsmaade og apparat til frembringelse af en belaegning af et metal eller en metalforbindelse paa en flade af et opvarmet glassubstrat
US6103015A (en) Symmetrical CVD coater with lower upstream exhaust toe
JP2534368B2 (ja) 平ガラスの被覆装置
NZ230881A (en) Process and apparatus for coating hot sheet glass
WO1990015783A1 (en) A method and apparatus for manufacturing coated flat glass