KR900006249A - 글래스를 코팅하는 장치, 방법 및 코팅된 글래스 - Google Patents
글래스를 코팅하는 장치, 방법 및 코팅된 글래스 Download PDFInfo
- Publication number
- KR900006249A KR900006249A KR1019890014709A KR890014709A KR900006249A KR 900006249 A KR900006249 A KR 900006249A KR 1019890014709 A KR1019890014709 A KR 1019890014709A KR 890014709 A KR890014709 A KR 890014709A KR 900006249 A KR900006249 A KR 900006249A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- coating chamber
- ceiling
- inlet channel
- chamber
- flow
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacture Of Switches (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 장치의 횡단면도.
제2도는 제1도에 도시된 장치를 화살표 Ⅱ의 방향에서 취한 단면도.
제3도는 제1도의 장치에서 실시되는 유형의 기체 흐름 제한기를 더욱 상세히 도시한 횡단면도.
Claims (13)
- 개방된 면을 지니고 있는 코팅 챔버를 포함하고 상기의 코팅 챔버내에서 글래스 표면에 원하는 코팅을 형성하기 위하여 기상 반응물이 글래스의 진행 방향과 실질적으로 평행한 방향에서 코팅되는 글래스 표면과 접촉하여 흐르게 되고, 상기의 코팅 챔버는 코팅될 글래스 표면상에서 아래쪽으로 오픈되어 있고 상기 글래스 표면의 폭을 가로질러 뻗어 있으며, 또한 상기 코팅 챔버는 코팅 챔버의 폭 동안 챔버를 통하여 글래스 표면위에 첫번째 기상 반응물의 흐름을 제공하는 첫번째 유입 장치와 코팅 챔버내에서 두번째 기상 반응물을 첫번째 기상 반응물의 흐름에 유입시키기 위하여 챔버의 천정을 가로질러 챔버의 폭의 길이만큼 뻗어 있는 유입 채널로 구성되는 두번째 유입 장치로 구성되고 ; 코팅 챔버의 천정은 상기의 유입 채널과 코팅 챔버의 접합부에서 계단모양의 구성을 지니고 있어서 유입 채널의 업스트림 측(첫번째 반응기체의 흐름과 관련하여)에서의 코팅 챔버의 천정은 상기 유입 채널의 다운 스트림측(첫번째 반응기체의 흐름과 관련하여)에서의 코팅 챔버의 천정보다 높은 레벨에 위치하게 되고, 천정의 횡단면에 의해 예시된 라인은 계단모양의 구조를 지니고 ; 첫번째 기체 반응물을 기체 공급관으로부터 상기의 첫번째 유입 장치까지 전달하는 첫번째 기체 분배기, 및 두번째 기체 반응물을 두번째 기체 공급관으로부터 상기의 두번째 유입 장치로 전달하는 두번째 기체 분배기 ; 와 코팅 챔버에서 잔류 기체를 제거하기 위하여 코팅 챔버로부터 안내되는 첫번째와 두번째의 유입 장치의 다운 스트림(반응 기체의 흐름과 관련하여)에 위치하는 배출장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 두개이상의 기상 반응물에 의해 형성되는 코팅을 핫 글래스의 움직이는 리본의 표면에 형성시키는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유입 채널의 업스트림측에서의 코팅 챔버의 천정이 상기 유입 채널의 다운스트림 측에서의 천정보다 5mm이상 높은 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유입 채널의 업스트림측에서의 코팅 챔버의 천정은 상기 유입 채널의 다운 스트림측에서의 코팅 챔버의 천정보다 75mm까지 높을 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 유입 채널의 업스트림측에서의 코팅 챔버의 천정이 상기 유입 채널의 다운 스트림측에서의 코팅 챔버보다 10mm 높은 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에서 제4항까지의 어느 한항에 있어서, 두번째 유입 채널이 코팅 챔버를 통하여 반응 기체의 유통로에 실질적으로 직각을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에서 제5항중의 어느 한항에 있어서, 유입 채널의 다운 스트림벽의 베이스가 코팅 챔버의 상기의 측벽과 천정의 접합부에서 볼록하게 휘어진 면으로 성형되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에서 제6항중의 어느 한항에 있어서, 첫번째와 두번째 기체 분배기들의 각각은 중앙의 유입구에서 아랫쪽으로 분기되어 코팅하려는 글래스 표면의 폭을 가로질러 뻗어 있는 슬롯에 연결되는 역전된 팬형의 전단벽과 후단벽의 사이에서 성형되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제7항에 있어서, 역전된 팬형의 전단 및 후단 벽면이 아랫쪽으로 테이퍼링되어 상기의 슬롯에 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에서 제8항중의 어느 한항에 있어서, 첫번째 기상 반응물을 코팅하려는 글래스 표면의 폭을 따라 균일하게 분배하기 위하여 첫번째 기체 분배기와 첫번째 유입장치의 사이에 위치하는 기체 흐름 제한기를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에서 제9항중의 어느 한항에 있어서, 두번째 기상 반응물을 코팅하려는 글래스 표면의 폭을 따라 균일하게 분배하기 위하여 두번째 기체 분배기와 두번째 유입 장치 사이에 위치하는 기체 흐름 제한기를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 글래스 위의 코팅 챔버내에서 글래스가 움직이는 방향과 실질적으로 평행한 방향에서 첫번째 기상 반응물의 흐름을 제공하는 것과 챔버의 천정을 가로질러 뻗어 있는 유입 장치를 통하여 두번째 기상 반응물을 첫번째 기상 반응물의 흐름에 유입시키는 것과 글래스상에 바람직한 코팅을 형성하기 위하여 상기의 첫번째와 두번째 기상 반응물을 글래스가 움직이는 방향과 실질적으로 평행한 방향에서 글래스 표면과 접촉되어 있는 상기의 코팅 챔버를 관통하여 흐르게 하는 것으로 구성되고, 코팅 챔버의 천정은 상기의 유입 채널과 코팅 챔버의 접합부에서 계단 모양의 구성을 이루어 유입 채널의 업스트림 측(첫번째 반응 기체의 흐름과 관련하여)에서의 코팅 챔버의 천정이 상기의 유입 채널의 다운스트림측(첫번째 반응 기체의 흐름과 관련하여)에서의 코팅 챔버의 천정보다 더 높은 레벨에 있게 되며, 천정의 횡 단면에 의해 예시된 라인은 계단 모양의 구조를 지니는 것을 특징으로 하는 두개이상의 기상 반응물들의 반응에 의해 핫 글래스의 움직이는 리본의 표면에 성형되는 코팅을 형성시키는 방법.
- 제11항에 있어서, 두번째 기상 반응물의 흐름이 코팅 챔버를 관통하여 반응기체의 유통로에 실질적으로 직각을 이루는 방향에서 첫번째 기상 반응물의 흐름에 유입되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제11항 또는 제12항에 따른 방법 또는 제1항에서 제10항중 어느 한 항에 따른 장치를 사용함으로써 생산된 코팅된 글래스.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8824102 | 1988-10-14 | ||
GB8824102.1 | 1988-10-14 | ||
GB888824102A GB8824102D0 (en) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | Apparatus for coating glass |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR900006249A true KR900006249A (ko) | 1990-05-07 |
KR960010096B1 KR960010096B1 (ko) | 1996-07-25 |
Family
ID=10645192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019890014709A KR960010096B1 (ko) | 1988-10-14 | 1989-10-14 | 유리를 코팅하는 장치, 방법 및 코팅된 유리 |
Country Status (29)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5022905A (ko) |
EP (1) | EP0365240B1 (ko) |
JP (1) | JP2594650B2 (ko) |
KR (1) | KR960010096B1 (ko) |
CN (1) | CN1025846C (ko) |
AT (1) | ATE94159T1 (ko) |
AU (1) | AU622711B2 (ko) |
BG (1) | BG50832A3 (ko) |
BR (1) | BR8905216A (ko) |
CA (1) | CA2000269C (ko) |
CZ (1) | CZ283608B6 (ko) |
DD (1) | DD300419A5 (ko) |
DE (2) | DE68908993T2 (ko) |
DK (1) | DK509989A (ko) |
ES (1) | ES2013987T3 (ko) |
FI (1) | FI96506C (ko) |
GB (2) | GB8824102D0 (ko) |
HU (1) | HU210280B (ko) |
IN (1) | IN174378B (ko) |
MX (1) | MX171377B (ko) |
NO (1) | NO175425C (ko) |
PL (1) | PL162824B1 (ko) |
RO (1) | RO104572B1 (ko) |
RU (1) | RU1838261C (ko) |
TR (1) | TR23962A (ko) |
TW (1) | TW203034B (ko) |
UA (1) | UA11250A1 (ko) |
YU (1) | YU47026B (ko) |
ZA (1) | ZA897659B (ko) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IN177541B (ko) * | 1990-06-29 | 1997-02-08 | Geoffrey Norman Pain | |
AU650887B2 (en) * | 1990-06-29 | 1994-07-07 | Telstra Corporation Limited | A method and apparatus for treating a surface |
FR2672518B1 (fr) * | 1991-02-13 | 1995-05-05 | Saint Gobain Vitrage Int | Buse a alimentation dissymetrique pour la formation d'une couche de revetement sur un ruban de verre, par pyrolyse d'un melange gazeux. |
GB2268509B (en) * | 1992-07-11 | 1996-01-31 | Pilkington Uk Ltd | Coatings on glass |
US5314727A (en) * | 1992-07-28 | 1994-05-24 | Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota | Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium |
GB9300400D0 (en) * | 1993-01-11 | 1993-03-03 | Glaverbel | A device and method for forming a coating by pyrolysis |
GB9400323D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
GB9400319D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
GB9400320D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coating on glass |
US5723172A (en) * | 1994-03-11 | 1998-03-03 | Dan Sherman | Method for forming a protective coating on glass |
US5665424A (en) * | 1994-03-11 | 1997-09-09 | Sherman; Dan | Method for making glass articles having a permanent protective coating |
FR2736632B1 (fr) * | 1995-07-12 | 1997-10-24 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive |
US5908947A (en) * | 1996-02-09 | 1999-06-01 | Micron Technology, Inc. | Difunctional amino precursors for the deposition of films comprising metals |
US5607722A (en) * | 1996-02-09 | 1997-03-04 | Micron Technology, Inc. | Process for titanium nitride deposition using five-and six-coordinate titanium complexes |
US5659057A (en) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Micron Technology, Inc. | Five- and six-coordinate precursors for titanium nitride deposition |
US5976976A (en) | 1997-08-21 | 1999-11-02 | Micron Technology, Inc. | Method of forming titanium silicide and titanium by chemical vapor deposition |
US6284316B1 (en) * | 1998-02-25 | 2001-09-04 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition of titanium |
US6143362A (en) * | 1998-02-25 | 2000-11-07 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition of titanium |
JP4984562B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2012-07-25 | Jfeスチール株式会社 | 金属ストリップ表面へのTiN成膜方法およびTiN連続成膜装置 |
CN104812717A (zh) * | 2012-11-26 | 2015-07-29 | 旭硝子株式会社 | 薄膜形成方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1307361A (en) * | 1969-04-23 | 1973-02-21 | Pilkington Brothers Ltd | Treating glass |
GB1307216A (en) * | 1969-04-23 | 1973-02-14 | Pilkington Brothers Ltd | Treating glass |
GB1507465A (en) * | 1974-06-14 | 1978-04-12 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
GB1507996A (en) * | 1975-06-11 | 1978-04-19 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
GB1516032A (en) * | 1976-04-13 | 1978-06-28 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
GB1524326A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-13 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
GB2026454B (en) * | 1978-07-20 | 1982-07-21 | Bfg Glassgroup | Coating glass with tin oxide |
CA1138725A (en) * | 1978-07-20 | 1983-01-04 | Robert Terneu | Glass coating |
BE879189A (fr) * | 1978-10-19 | 1980-04-04 | Bfg Glassgroup | Procede de formation d'un revetement d'oxyde d'etain sur un support de verre chaud et produits ainsi obtenus |
US4325987A (en) * | 1979-07-31 | 1982-04-20 | Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. | Process for the production of an electrically conducting article |
CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
GB8531424D0 (en) * | 1985-12-20 | 1986-02-05 | Glaverbel | Coating glass |
GB2185249B (en) * | 1985-12-20 | 1989-10-18 | Glaverbel | Apparatus for and process of coating glass |
GB2187184B (en) * | 1985-12-20 | 1989-10-11 | Glaverbel | Process and apparatus for pyrolytically coating glass |
NO168762C (no) * | 1985-12-20 | 1992-04-01 | Glaverbel | Belagt, flatt glass. |
US4793282A (en) * | 1987-05-18 | 1988-12-27 | Libbey-Owens-Ford Co. | Distributor beam for chemical vapor deposition on glass |
-
1988
- 1988-10-14 GB GB888824102A patent/GB8824102D0/en active Pending
-
1989
- 1989-10-04 AU AU42555/89A patent/AU622711B2/en not_active Ceased
- 1989-10-05 IN IN738MA1989 patent/IN174378B/en unknown
- 1989-10-06 CA CA002000269A patent/CA2000269C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-09 ZA ZA897659A patent/ZA897659B/xx unknown
- 1989-10-10 RO RO141943A patent/RO104572B1/ro unknown
- 1989-10-12 BG BG89991A patent/BG50832A3/xx unknown
- 1989-10-12 US US07/420,513 patent/US5022905A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-12 TR TR89/0882A patent/TR23962A/xx unknown
- 1989-10-12 DD DD333533A patent/DD300419A5/de unknown
- 1989-10-12 HU HU895301A patent/HU210280B/hu not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 UA UA4722165A patent/UA11250A1/uk unknown
- 1989-10-13 MX MX017945A patent/MX171377B/es unknown
- 1989-10-13 EP EP89310564A patent/EP0365240B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-13 YU YU198689A patent/YU47026B/sh unknown
- 1989-10-13 NO NO894093A patent/NO175425C/no unknown
- 1989-10-13 DE DE89310564T patent/DE68908993T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-10-13 DK DK509989A patent/DK509989A/da not_active Application Discontinuation
- 1989-10-13 JP JP1265305A patent/JP2594650B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-13 BR BR898905216A patent/BR8905216A/pt not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 AT AT89310564T patent/ATE94159T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 CZ CS895826A patent/CZ283608B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 RU SU894742165A patent/RU1838261C/ru active
- 1989-10-13 PL PL28183089A patent/PL162824B1/pl unknown
- 1989-10-13 GB GB8923059A patent/GB2225343B/en not_active Revoked
- 1989-10-13 ES ES89310564T patent/ES2013987T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-13 FI FI894859A patent/FI96506C/fi not_active IP Right Cessation
- 1989-10-13 DE DE198989310564T patent/DE365240T1/de active Pending
- 1989-10-14 KR KR1019890014709A patent/KR960010096B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-10-14 CN CN89107935A patent/CN1025846C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-20 TW TW078108080A patent/TW203034B/zh active
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR900006249A (ko) | 글래스를 코팅하는 장치, 방법 및 코팅된 글래스 | |
IE42834L (en) | Coating glass. | |
ES473129A1 (es) | Procedimiento e instalacion para el tratamiento de gases. | |
EP0156857B1 (en) | Method and apparatus for coating a substrate | |
ES8205727A1 (es) | Procedimiento para revestir vidrio | |
US4995340A (en) | Glass coating apparatus | |
SE9203257D0 (sv) | Saett och anordning foer tvaerfoerdelning av ett stroemmande medium | |
UA14125A1 (uk) | Розподільhик газу або рідиhи |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20020709 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |