TW202308924A - 晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法 - Google Patents

晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法 Download PDF

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Abstract

本發明提供了一種晶圓搬運裝置，包括外側壁均設置有取送導向結構的第一支撐機構和第二支撐機構；還包括第一取送機構和第二取送機構，分別活動設置於所述第一支撐機構的取送導向結構和所述第二支撐機構的取送導向結構；所述第一取送機構和所述第二取送機構均包括朝向相反的末端執行部；還包括旋轉機構和旋轉驅動部，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構固定設置於所述旋轉機構，所述旋轉驅動部驅動旋轉機構作旋轉運動，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，能夠擴展晶圓的取送範圍，有利於提高產能。本發明還提供了一種晶圓搬運方法。

Description

晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法
本發明涉及半導體加工領域，尤其涉及一種晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法。
晶圓搬運裝置可使晶圓在各個工作位置之間傳遞，是半導體工藝設備中的核心運動部件，隨著半導體行業的迅猛發展，晶圓搬運技術逐漸成為制約行業發展的關鍵因素，其性能的優劣直接影響晶圓的生產效率和製造品質。同時隨著光刻機產能的不斷提升，與其對接的塗膠顯影設備中的晶圓搬運裝置的搬運能力也需要不斷提升。
公告號為CN102763210B中國專利公開了一種能夠實現雙向搬運的系統。該系統用於取送的兩個滑動叉相互固定，並一起設置在同一叉架上，兩個滑動叉朝向相反方向佈置且每個滑動叉始終朝向相反的方向，其滑動叉之間的夾角無法調節，限制了晶圓的取送範圍。
因此，有必要開發一種新型晶圓搬運裝置，以避免現有技術中存在的上述問題。
本發明的第一目的在於提供一種晶圓搬運裝置，能夠擴展晶圓的取送範圍，有利於提高產能。
為實現上述目的，本發明提供的晶圓搬運裝置包括第一支撐機構和第二支撐機構，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構沿平移方向並排設置，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構相對的兩個外側壁均設置有取送導向結構；還包括第一取送機構和第二取送機構，所述第一取送機構和所述第二取送機構分別活動設置於所述第一支撐機構的取送導向結構和所述第二支撐機構的取送導向結構；所述第一取送機構和所述第二取送機構均包括末端執行部，所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部沿升降方向相對設置，並朝向相反的方向，所述升降方向垂直於所述平移方向；還包括取送驅動部，所述取送驅動部連接所述第一取送機構和所述第二取送機構，以帶動所述第一取送機構沿所述第一支撐機構的取送導向結構的設置方向運動，以及帶動所述第二取送機構沿所述第二支撐機構的取送導向結構的設置方向運動；還包括旋轉機構和旋轉驅動部，所述旋轉機構和所述旋轉驅動部所述第一支撐機構和所述第二支撐機構固定設置於所述旋轉機構，所述旋轉機構旋轉設置於所述旋轉驅動部，所述旋轉驅動部驅動旋轉機構作旋轉運動，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，以改變所述第一取送機構和所述第二取送機構的至少一個的運動方向。
本發明的所述搬運裝置的有益效果在於：所述第一取送機構和所述第二取送機構分別活動設置於所述第一支撐機構的取送導向結構和所述第二支撐機構的取送導向結構，所述第一取送機構和所述第二取送機構均包括末端執行部，所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部沿所述升降方向相對設置，並朝向相反的方向，所述旋轉機構旋轉設置於所述旋轉驅動部，所述旋轉驅動部驅動旋轉機構作旋轉運動，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，以改變所述第一取送機構和所述第二取送機構的至少一個的運動方向，能夠擴展晶圓的取送範圍，有利於提高產能。
較佳的，所述的晶圓搬運裝置還包括平移調整機構和平移調整驅動部，所述平移調整機構沿平移方向活動設置於所述平移調整驅動部；所述旋轉驅動部固定設置於所述平移調整機構，所述平移調整驅動部驅動所述平移調整機構沿所述平移方向運動，進而帶動所述旋轉驅動部和所述旋轉機構沿所述平移方向運動，使所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個沿所述平移方向運動。其有益效果在於：實現支撐機構向目標晶圓相對應的取送位置在平移方向上的移動。
進一步較佳的，所述的晶圓搬運裝置還包括升降機構和升降驅動部，所述升降機構沿升降方向活動設置於所述升降驅動部；所述平移調整驅動部固定設置於所述升降機構，所述升降驅動部驅動所述升降機構沿所述升降方向運動，進而帶動所述平移調整驅動部和所述平移調整機構沿所述升降方向運動，使所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個沿所述升降方向運動。其有益效果在於：實現支撐機構向目標晶圓相對應的取送位置在升降方向上的移動。
較佳的，所述旋轉機構包括兩個子旋轉機構，所述旋轉驅動部包括兩個子旋轉驅動部，所述兩個子旋轉機構分別旋轉設置於所述兩個子旋轉驅動部，使所述兩個子旋轉機構在所述兩個子旋轉驅動部的驅動下分別作旋轉運動。
進一步較佳的，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別固定設置於所述兩個子旋轉機構，以在所述兩個子旋轉驅動部的驅動下分別控制所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的旋轉運動。其有益效果在於：實現所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的分別旋轉。
較佳的，所述平移調整機構包括兩個子平移調整機構，所述平移調整驅動部包括兩個子平移調整驅動部，所述兩個子平移調整機構分別沿所述平移方向活動設置於所述兩個子平移調整驅動部，使所述兩個子平移調整機構在所述兩個子平移調整驅動部的驅動下，分別沿平移方向運動。
進一步較佳的，所述兩個子旋轉驅動部分別固定設置於所述兩個子平移調整機構，以在所述兩個子平移調整驅動部的驅動下分別控制所述兩個子旋轉機構分別沿所述平移方向運動，帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿所述平移方向運動。其有益效果在於：實現所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿平移方向運動。
較佳的，所述升降機構包括兩個子升降機構，所述升降驅動部包括兩個子升降驅動部，所述兩個子升降機構分別沿所述升降方向活動設置於所述兩個子升降驅動部，使所述兩個子升降機構在所述兩個子升降驅動部的驅動下分別沿所述升降方向運動。
進一步較佳的，所述兩個子平移調整驅動部分別固定設置於所述兩個子升降機構，以在所述兩個子升降驅動部的驅動下分別控制所述兩個子平移調整機構分別沿所述升降方向運動，帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿所述升降方向運動。其有益效果在於：實現所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿升降方向運動。
本發明的第二目的在於提供一種晶圓搬運方法，能夠擴展晶圓的取送範圍，有利於提高產能。
為實現上述目的，本發明提供的晶圓搬運方法通過所述旋轉驅動部驅動所述旋轉機構旋轉，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，使所述第一取送機構和所述第二取送機構朝向晶圓抓取位置或晶圓放置位置；所述取送驅動部驅動所述第一取送機構和所述第二取送機構，使所述第一取送機構和所述第二取送機構沿所述取送導向結構的設置方向伸出，通過所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部實現抓取或放置動作，完成動作後縮回。
為使本發明實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。除非另外定義，此處使用的技術術語或者科學術語應當為本發明所屬領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。本文中使用的“包括”等類似的詞語意指出現該詞前面的元件或者物件涵蓋出現在該詞後面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
為解決現有技術存在的問題，本發明實施例提供了一種晶圓搬運裝置。
圖1為本發明一種實施例的晶圓搬運裝置的結構示意圖；圖2為圖1所示的晶圓搬運裝置的部分結構沿T軸反方向的結構示意圖；圖3為圖1晶圓搬運裝置的俯視圖。
本發明實施例中，所述晶圓搬運裝置包括第一支撐機構和第二支撐機構，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構沿平移方向並排設置，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構相對的兩個外側壁均設置有取送導向結構。
具體的，參照圖1和圖2，第一支撐機構11和第二支撐機構12沿平移方向，即圖示T方向或其反方向並排設置，所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12內部為中空結構，放置有馬達、通訊線纜等元器件；所述第一支撐機構11的側壁面111和所述第二支撐機構的側壁面121設置有第一取送導向結構21和第二取送導向結構（圖中未標示），所述第一取送導向結構21和所述第二取送導向結構（圖中未標示）以開口方向相反的方式分別佈置於所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12相對的兩個側壁面上，所述取送導向結構包括導軌。
本發明實施例中，所述晶圓搬運裝置包括第一取送機構和第二取送機構，所述第一取送機構和所述第二取送機構分別活動設置於所述第一支撐機構的取送導向結構和所述第二支撐機構的取送導向結構，所述第一取送機構和所述第二取送機構均包括末端執行部，所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部沿升降方向相對設置，並朝向相反的方向，所述升降方向垂直於所述平移方向。
具體的，參照圖2和圖3，第一取送機構22包含第一末端執行部31，第二取送機構23包含第二末端執行部32；以所述第一末端執行部31為例，所述第一末端執行部31前端由兩個相對的圓弧結構（圖中未標示）組成，用於承載所述晶圓；每個圓弧結構靠近自由端的部位設有真空吸頭6，用於吸附固定所述晶圓。
更具體的，每個圓弧結構具有與所述真空吸頭6相通的中空結構，並連接抽氣裝置以提供負壓。所述真空吸頭6在所述第一取送機構22和所述第二取送機構23的具體實現方式為本領域技術人員的常規技術手段。
參照圖2和圖3，所述第一末端執行部31與所述第二末端執行部32沿升降方向，即圖示Z方向或其反方向相對設置且之間具有間隙，以防止各種運動過程中發生碰撞。所述第一末端執行部31與所述第二末端執行部32前端的圓弧結構朝向相反，第一末端執行部31朝向圖示R1方向，第二末端執行部32朝向圖示R2方向。
所述升降方向垂直於所述平移方向，參照圖1，圖示Z方向垂直於圖示T方向。
本發明實施例中，所述晶圓搬運裝置包括取送驅動部，所述取送驅動部連接所述第一取送機構和所述第二取送機構，以帶動所述第一取送機構沿所述第一支撐機構的取送導向結構的設置方向運動，以及帶動所述第二取送機構沿所述第二支撐機構的取送導向結構的設置方向運動。
一些具體的實施例中，所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12均為中空腔體，所述取送驅動部的數目為2，並分別設置於每個中空腔體內。
一些具體的實施例中，所述取送驅動部設置於所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12外部，並分別連接所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12，以實現對所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12的驅動控制。
一些更具體的實施例中，所述取送驅動部包括分別控制所述第一取送機構和所述第二取送機構的兩組驅動機構，所述驅動機構包括馬達、滾珠螺桿和滾珠螺桿螺母座；兩組驅動機構設置方向相反；馬達帶動滾珠螺桿旋轉，滾珠螺桿螺母座安裝在滾珠螺桿上隨滾珠螺桿轉動而移動；滾珠螺桿螺母座與對應的取送機構相連接，並帶動其移動。
在所述取送驅動部的帶動下，參照圖3，以所述第一取送機構22為例，所述第一取送機構22沿所述第一取送導向結構21的設置方向，即圖示R1方向或其反方向，伸出或縮回。
在一種控制下，所述取送驅動部的兩個馬達收到相同內容的電信號並旋轉，兩個滾珠螺桿螺母座也同時反向移動，並帶動所述第一取送機構22與所述第二取送機構23同步沿相反方向伸出或縮回完成取送動作。
在另一種控制下，所述取送驅動部的兩個馬達中的任意一個收到電信號並旋轉，與之對應的滾珠螺桿螺母座產生移動，並帶動與之對應的取送機構沿取送方向伸出或縮回完成取送動作；而另一個取送機構不執行取送動作。
本發明實施例中，所述晶圓搬運裝置包括旋轉機構和旋轉驅動部，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構固定設置於所述旋轉機構，所述旋轉機構旋轉設置於所述旋轉驅動部，所述旋轉驅動部驅動旋轉機構作旋轉運動，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，以改變所述第一取送機構和所述第二取送機構的至少一個的運動方向。
具體的，一些實施例中，所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12與旋轉機構固定連接，旋轉驅動部包括馬達和連接件，馬達通過連接件連接所述旋轉機構，帶動其沿圖1所示θ方向或其反方向旋轉，進而帶動所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12中的一個或兩個同步旋轉；所述旋轉機構和所述旋轉驅動部安裝在收容腔體3內。
一些實施例中，所述旋轉驅動部包括的馬達為步進馬達。
本發明實施例中，所述晶圓搬運裝置包括平移調整機構和平移調整驅動部，所述平移調整機構沿平移方向活動設置於所述平移調整驅動部；所述旋轉驅動部固定設置於所述平移調整機構，所述平移調整驅動部驅動所述平移調整機構沿所述平移方向運動，進而帶動所述旋轉驅動部和所述旋轉機構沿所述平移方向運動，使所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個沿所述平移方向運動。
具體的，一些實施例中，平移調整驅動部包括平移導軌和直線馬達，所述直線馬達設置於所述直線導軌中，直線馬達與平移調整機構固定連接，所述平移調整機構與所述旋轉驅動部固定連接，所述直線馬達帶動所述平移調整機構，進而帶動所述旋轉驅動部沿所述平移方向運動，即沿圖1所示T方向或其反方向運動，使所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12沿平移方向運動，即向圖中所示T方向或其反方向運動。
本發明實施例中，所述晶圓搬運裝置包括升降機構和升降驅動部，所述升降機構沿升降方向活動設置於所述升降驅動部；所述平移調整驅動部固定設置於所述升降機構，所述升降驅動部驅動所述升降機構沿所述升降方向運動，進而帶動所述平移調整驅動部和所述平移調整機構沿所述升降方向運動，使所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個沿所述升降方向運動。
具體的，升降驅動部包括圖1所示的升降導軌5，以及直線馬達，所述直線馬達與升降機構固定連接，所述平移調整驅動部與所述升降機構固定連接，所述直線馬達通過帶動所述升降機構來帶動所述平移調整驅動部沿所述升降方向運動，即沿圖1所示的Z方向或其反方向運動，使所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12沿升降方向運動，即沿圖1所示的Z方向或其反方向運動。
圖4為本發明另一種實施例的晶圓搬運裝置的俯視圖。
本發明實施例中，所述旋轉機構包括兩個子旋轉機構，所述旋轉驅動部包括兩個子旋轉驅動部，所述兩個子旋轉機構分別旋轉設置於所述兩個子旋轉驅動部，使所述兩個子旋轉機構在所述兩個子旋轉驅動部的驅動下分別作旋轉運動。
具體的，所述兩個子旋轉驅動部中的任意一個均包含馬達和連接件；以其中一個所述子旋轉驅動部和一個所述子旋轉機構為例，一個所述馬達通過一個所述連接件固定連接於一個子旋轉機構，帶動所述子旋轉機構沿圖示θ方向或其反方向旋轉，所述兩個子旋轉機構和所述兩個子旋轉驅動部安裝在圖1所示的收容腔體3內。
本發明實施例中，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別固定設置於所述兩個子旋轉機構，以在所述兩個子旋轉驅動部的驅動下分別控制所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的旋轉運動。
具體的，參照圖4，所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12與兩個所述子旋轉機構（圖中未標示）一一對應固定連接，所述兩個子旋轉驅動部（圖中未標示）帶動所述兩個子旋轉機構旋轉，進而帶動所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12分別沿圖示θ方向或其反方向旋轉。
一種控制下，所述兩個子旋轉驅動部的馬達收到電信號後，驅動所述兩個子旋轉機構均沿圖示θ方向旋轉。
另一種控制下，所述兩個子旋轉驅動部的馬達收到電信號後，驅動所述兩個子旋轉機構均沿圖示θ方向的反方向旋轉。
另一種控制下，所述兩個子旋轉驅動部的馬達收到電信號後，驅動所述兩個子旋轉機構中任意一個沿圖示θ方向旋轉，另一個沿圖示θ方向的反方向旋轉。
本發明實施例中，所述平移調整機構包括兩個子平移調整機構，所述平移調整驅動部包括兩個子平移調整驅動部，所述兩個子平移調整機構分別沿所述平移方向活動設置於所述兩個子平移調整驅動部，使所述兩個子平移調整機構在所述兩個子平移調整驅動部的驅動下，分別沿平移方向運動；
具體的，所述兩個子平移調整驅動部中的任意一個均包含直線馬達和平移導軌4；以其中一個所述子平移調整驅動部和一個所述子平移調整機構為例，所述直線馬達活動設置於所述平移導軌上，並固定連接於一個子平移調整機構，帶動所述子平移調整機構沿圖示T方向或其反方向運動，所述兩個子平移調整機構和所述兩個子平移調整驅動部安裝在收容腔體3內。
一種控制下，所述兩個子平移調整驅動部的直線馬達收到電信號後，均沿圖示T方向運動。
另一種控制下，所述兩個子平移調整驅動部的直線馬達收到電信號後，均沿圖示T方向的反方向運動。
另一種控制下，所述兩個子平移調整驅動部的直線馬達收到電信號後，其中任意一個沿圖示T方向運動，另一個沿圖示T方向的反方向運動。
本發明實施例中，所述兩個子旋轉驅動部分別固定設置於所述兩個子平移調整機構，以在所述兩個子平移調整驅動部的驅動下分別控制所述兩個子旋轉機構分別沿所述平移方向運動，帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿所述平移方向運動。
具體的，所述兩個子旋轉驅動部與所述兩個子平移調整機構一一對應固定連接，使所述兩個子平移調整驅動部帶動所述兩個子旋轉驅動部沿平移方向運動，即圖示T方向或其反方向運動，進而帶動所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12分別沿圖4所示的T方向或其反方向運動。
本發明實施例中，所述升降機構包括兩個子升降機構，所述升降驅動部包括兩個子升降驅動部，所述兩個子升降機構分別沿所述升降方向活動設置於所述兩個子升降驅動部，使所述兩個子升降機構在所述兩個子升降驅動部的驅動下分別沿所述升降方向運動。
具體的，所述兩個子升降調整驅動部中的任意一個均包含直線馬達和升降導軌5；以其中一個所述子升降驅動部和一個所述子升降機構為例，所述直線馬達活動設置於所述升降導軌5上，並固定連接於一個子升降機構，帶動所述子升降機構沿圖示Z方向或其反方向運動。
一種控制下，所述兩個子升降驅動部的直線馬達收到電信號後，均沿圖示Z方向運動。
另一種控制下，所述兩個子升降驅動部的直線馬達收到電信號後，均沿圖示Z方向的反方向運動。
另一種控制下，所述兩個子升降驅動部的直線馬達收到電信號後，其中任意一個沿圖示Z方向運動，另一個沿圖示Z方向的反方向運動。
本發明實施例中，所述兩個子平移調整驅動部分別固定設置於所述兩個子升降機構，以在所述兩個子升降驅動部的驅動下分別控制所述兩個子平移調整機構分別沿所述升降方向運動，帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿所述升降方向運動。
具體的，參照圖1，所述兩個子平移調整驅動部（圖中未標示）與所述兩個子升降機構（圖中未標示）一一對應固定連接，所述兩個子升降驅動部（圖中未標示）帶動所述兩個子平移調整驅動部沿升降方向運動，即圖示Z方向或其反方向運動，進而帶動所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12分別沿圖示Z方向或其反方向運動。
為解決現有技術存在的問題，本發明實施例還提供了一種晶圓搬運方法。
本發明實施例中，所述晶圓搬運方法通過所述旋轉驅動部驅動所述旋轉機構旋轉，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，使所述第一取送機構和所述第二取送機構朝向晶圓抓取位置或晶圓放置位置；所述取送驅動部驅動所述第一取送機構和所述第二取送機構，使所述第一取送機構和所述第二取送機構沿所述取送導向結構的設置方向伸出，通過所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部實現抓取或放置動作，完成動作後縮回。
具體的，通過所述旋轉驅動部驅動所述旋轉機構旋轉，進而帶動所述第一支撐機構11和所述第二支撐機構12的至少一個同步旋轉，使所述第一取送機構22和所述第二取送機構23朝向晶圓抓取位置或晶圓放置位置；所述取送驅動部驅動所述第一取送機構22和所述第二取送機構23，使所述第一取送機構22和所述第二取送機構23沿所述取送導向結構的設置方向伸出，通過所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部實現抓取或放置動作，完成動作後縮回。
雖然在上文中詳細說明了本發明的實施方式，但是對於本領域的技術人員來說顯而易見的是，能夠對這些實施方式進行各種修改和變化。但是，應理解，這種修改和變化都屬於申請專利範圍中所述的本發明的範圍和精神之內。而且，在此說明的本發明可有其它的實施方式，並且可通過多種方式實施或實現。
11:第一支撐機構 111121:側壁面 12:第二支撐機構 21:第一取送導向結構 22:第一取送機構 23:第二取送機構 3:收容腔體 31:第一末端執行部 32:第二末端執行部 4:平移導軌 5:升降導軌 6:真空吸頭
圖1為本發明一種實施例的晶圓搬運裝置的結構示意圖； 圖2為圖1所示的晶圓搬運裝置的部分結構沿T軸反方向的結構示意圖； 圖3為圖1所示的晶圓搬運裝置的俯視圖； 圖4為本發明另一種實施例的晶圓搬運裝置的俯視圖。
11:第一支撐機構
111:側壁面
12:第二支撐機構
21:第一取送導向結構
22:第一取送機構
23:第二取送機構
3:收容腔體

Claims (10)

  1. 一種晶圓搬運裝置，其中，包括： 第一支撐機構和第二支撐機構，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構沿平移方向並排設置，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構相對的兩個外側壁均設置有取送導向結構； 第一取送機構和第二取送機構，分別活動設置於所述第一支撐機構的取送導向結構和所述第二支撐機構的取送導向結構； 所述第一取送機構和所述第二取送機構均包括末端執行部，所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部沿升降方向相對設置，並朝向相反的方向，所述升降方向垂直於所述平移方向； 取送驅動部，連接所述第一取送機構和所述第二取送機構，以帶動所述第一取送機構沿所述第一支撐機構的取送導向結構的設置方向運動，以及帶動所述第二取送機構沿所述第二支撐機構的取送導向結構的設置方向運動； 旋轉機構和旋轉驅動部，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構固定設置於所述旋轉機構，所述旋轉機構旋轉設置於所述旋轉驅動部，所述旋轉驅動部驅動旋轉機構作旋轉運動，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，以改變所述第一取送機構和所述第二取送機構的至少一個的運動方向。
  2. 根據請求項1所述的晶圓搬運裝置，其中，還包括平移調整機構和平移調整驅動部，所述平移調整機構沿平移方向活動設置於所述平移調整驅動部； 所述旋轉驅動部固定設置於所述平移調整機構，所述平移調整驅動部驅動所述平移調整機構沿所述平移方向運動，進而帶動所述旋轉驅動部和所述旋轉機構沿所述平移方向運動，使所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個沿所述平移方向運動。
  3. 根據請求項2所述的晶圓搬運裝置，其中，還包括升降機構和升降驅動部，所述升降機構沿升降方向活動設置於所述升降驅動部； 所述平移調整驅動部固定設置於所述升降機構，所述升降驅動部驅動所述升降機構沿所述升降方向運動，進而帶動所述平移調整驅動部和所述平移調整機構沿所述升降方向運動，使所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個沿所述升降方向運動。
  4. 根據請求項1所述的晶圓搬運裝置，其中，所述旋轉機構包括兩個子旋轉機構，所述旋轉驅動部包括兩個子旋轉驅動部，所述兩個子旋轉機構分別旋轉設置於所述兩個子旋轉驅動部，使所述兩個子旋轉機構在所述兩個子旋轉驅動部的驅動下分別作旋轉運動。
  5. 根據請求項4所述的晶圓搬運裝置，其中，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別固定設置於所述兩個子旋轉機構，以在所述兩個子旋轉驅動部的驅動下分別控制所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的旋轉運動。
  6. 根據請求項2所述的晶圓搬運裝置，其中，所述平移調整機構包括兩個子平移調整機構，所述平移調整驅動部包括兩個子平移調整驅動部，所述兩個子平移調整機構分別沿所述平移方向活動設置於所述兩個子平移調整驅動部，使所述兩個子平移調整機構在所述兩個子平移調整驅動部的驅動下，分別沿平移方向運動。
  7. 根據請求項4或6所述的晶圓搬運裝置，其中，所述兩個子旋轉驅動部分別固定設置於所述兩個子平移調整機構，以在所述兩個子平移調整驅動部的驅動下分別控制所述兩個子旋轉機構分別沿所述平移方向運動，帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿所述平移方向運動。
  8. 根據請求項3所述的晶圓搬運裝置，其中，所述升降機構包括兩個子升降機構，所述升降驅動部包括兩個子升降驅動部，所述兩個子升降機構分別沿所述升降方向活動設置於所述兩個子升降驅動部，使所述兩個子升降機構在所述兩個子升降驅動部的驅動下分別沿所述升降方向運動。
  9. 根據請求項6或8所述的晶圓搬運裝置，其中，所述兩個子平移調整驅動部分別固定設置於所述兩個子升降機構，以在所述兩個子升降驅動部的驅動下分別控制所述兩個子平移調整機構分別沿所述升降方向運動，帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構分別沿所述升降方向運動。
  10. 根據請求項1所述的晶圓搬運裝置的晶圓搬運方法，其中： 通過所述旋轉驅動部驅動所述旋轉機構旋轉，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，使所述第一取送機構和所述第二取送機構朝向晶圓抓取位置或晶圓放置位置； 所述取送驅動部驅動所述第一取送機構和所述第二取送機構，使所述第一取送機構和所述第二取送機構沿所述取送導向結構的設置方向伸出，使得所述第一取送機構的末端執行部和所述第二取送機構的末端執行部實現對晶圓的取送。
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