TW202136792A - 測試座及包含其的測試裝置、測試座的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明的測試座涉及一種將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而設置在用於測試被檢查設備的測試裝置的測試座，其包括：非彈性絕緣外殼，由非彈性絕緣材料構成，並具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔；及導電部，以在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的形式構成，且被配置在外殼孔內，以使下端部與放置在非彈性絕緣外殼的下側的測試器的信號電極聯接，上端部與放置在非彈性絕緣外殼的上側的被檢查設備的端子聯接，以厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼。在非彈性絕緣外殼形成以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼的排列孔，該排列孔供將非彈性絕緣外殼固定在測試器的零件的排列銷通過。

Description

測試座及包含其的測試裝置、測試座的製造方法
本發明涉及測試座，更具體地涉及一種電連接被檢查設備和測試器的測試座及包含其的測試裝置、測試座的製造方法。
半導體封裝由微細電路高密度集成而形成，並在製造工藝中經過各個電路的正常與否的測試工藝。測試工藝是一種測試半導體封裝是否正常運轉而甄選合格產品和不合格產品的工藝。
在半導體封裝的測試中，利用電連接半導體封裝的端子和施加測試信號的測試器的測試裝置。測試裝置根據作為測試物件的半導體封裝的種類而具有各種結構。測試裝置和半導體封裝並非相互直接聯接，而是通過測試座間接聯接。
測試座代表性的有探針測試座和橡膠測試座。其中，橡膠測試座具有配置使得在矽膠具有等彈力的材料的內部，含有多個導電粒子的形式的導電部與由矽膠等具有彈力的材料構成的絕緣部裡側相互絕緣的結構。該橡膠測試座未使用錫焊或彈簧等機械手段，而能夠實現簡單的電聯接的優點，因而，最近被大量使用。
對於包含橡膠測試座類型的測試座的測試裝置，測試座的接觸衝程(contactstroke)量根據處於按壓半導體封裝的推送器的加壓部週邊的衝程限制器部和處於測試座的導電部週邊的限位元器的垂直厚度、半導體封裝的厚度、測試座的高度等確定。
但現有的測試裝置因加上衝程限制器部的厚度公差、限位器的厚度公差、測試座的高度公差、半導體封裝的厚度公差而難以進行精密的衝程控制。
並且，對於現有的設置在測試裝置的測試座，在檢查發生細微翹曲(warpage)的被檢查設備時，存在壽命急劇縮短等問題。被檢查設備在製造時，對比邊緣而中央部細微彎曲為向上側捲曲的形狀或其它形狀。該被檢查設備的翹曲的程度小而難以通過肉眼確認，但在檢查時，被檢查設備的端子無法穩定地與測試座接觸，或對測試座施加衝擊。
例如，如圖1顯示所示，在將對比邊緣而中央部彎曲為向上側捲曲的被檢查設備10向測試座20壓縮時，因設置在被檢查設備10的端子11之間的高度差，測試座20的導電部21受到的壓力相互不同。即，在設置在測試座20的多個導電部21中相對地配置在邊緣的導電部21受到大的加壓力。此時，在獲得相對大的加壓力的導電部21產生集中應力，在該現象反復的情況下，存在產生集中應力的導電部21發生損傷而縮短測試座20的壽命的問題。 [現有技術文獻] [專利文獻]
(專利文獻0001)公開專利公報第2006-0062824號(2006.06.12)
[發明要解決的技術問題]
本發明基於如上所述的方面而研發，其目的在於提供一種測試座及包含其的測試裝置、測試座的製造方法，減少因被檢查設備的厚度公差等而導致衝程控制的困難，能夠進行衝程的精密的控制，且耐用性優秀。 [本發明的技術方案在於]
用於實現如上所述目的的本發明的測試座涉及一種將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而設置在用於測試所述被檢查設備的測試裝置的測試座，該測試座包括：非彈性絕緣外殼，由非彈性絕緣材料構成，並具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔；及導電部，以在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的形式構成，且被配置在所述外殼孔，以使下端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的下側的所述測試器的信號電極聯接，上端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的上側的所述被檢查設備的端子聯接，並按厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼，其中，在所述非彈性絕緣外殼以厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼的方式形成排列孔，該排列孔供用於將所述非彈性絕緣外殼固定在所述測試器的零件的排列銷通過。
所述非彈性絕緣外殼的硬度，優選地，為3B~6H的範圍。
所述非彈性絕緣外殼由聚醯亞胺構成。
所述導電部包括：導電部主體，設置在所述外殼孔內；導電部下部凸塊，與所述導電部主體連接而從所述非彈性絕緣外殼的下面突出。並滿足下面的條件。
Figure 02_image001
(Lt:導電部主體和導電部下部凸塊相加的長度，Lb:導電部下部凸塊的長度)
所述外殼孔包括：外殼下部孔，以一定寬度從所述非彈性絕緣外殼的下面向上側延伸；外殼上部孔，以從所述非彈性絕緣外殼的上面趨向下側而寬度逐漸減小的形式形成，與所述外殼下部孔連接。
本發明的測試座包括：絕緣部，由彈性絕緣物質構成，配置在所述非彈性絕緣外殼和所述導電部之間。
本發明的測試座包括：上部絕緣墊片，由絕緣材料構成，並具有在與所述導電部對應的位置形成的上部絕緣墊片孔，並與所述非彈性絕緣外殼的上面結合，其中，所述上部絕緣墊片孔的至少一部分以從所述上部絕緣墊片的上面趨向所述非彈性絕緣外殼側而寬度逐漸減小的方式形成為錐形。
所述導電部包括：導電部主體，設置在所述外殼孔內；導電部上部凸塊，與所述導電部主體連接而從所述非彈性絕緣外殼的上面突出，所述上部絕緣墊片孔的最上部寬度大於所述導電部上部凸塊的寬度。
另外，用於實現如上所述目的的本發明的測試裝置涉及一種將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而用於測試所述被檢查設備的測試裝置，其包括：測試座，以電為媒介連接所述測試器和所述被檢查設備，以使所述測試器的測試信號傳輸至所述被檢查設備；引導外殼，與所述測試器結合，以用於將所述測試座固定在所述測試器，設置插入於所述測試器的固定孔的排列銷；及推送器，以接近所述測試器側或遠離所述測試器的方式移動，而提供將放置在所述測試座上的所述被檢查設備向所述測試器側加壓的加壓力，其中，所述測試座包括：非彈性絕緣外殼，由非彈性絕緣材料構成，並具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔和以供所述排列銷通過的方式按厚度方向貫通形成的排列孔；及導電部，以在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的形式構成，且被配置在所述外殼孔，以使下端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的下側的所述測試器的信號電極聯接，上端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的上側的所述被檢查設備的端子聯接，並按厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼。
本發明的測試裝置包括：緩衝部，配置在所述推送器和所述被檢查設備之間，以緩衝所述推送器對所述被檢查設備施加的壓力。
另外，用於實現所述目的的本發明的測試座的製造方法涉及一種設置於將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而測試所述被檢查設備的測試裝置的測試座的製造方法，其包括如下步驟：(a)準備由非彈性絕緣材料構成的非彈性部件；(b)在所述非彈性部件形成多個外殼孔和排列孔而形成非彈性絕緣外殼，其中，所述多個外殼孔，按厚度方向貫通所述非彈性部件；所述排列孔，按厚度方向貫通所述非彈性部件，以供用於將所述測試座固定在所述測試器的零件的排列銷通過；及(c)將在彈性絕緣物質內含有多個導電粒子的導電部形成於所述外殼孔內。
所述(c)步驟中，以滿足下面條件的形式形成所述導電部。
Figure 02_image003
(Lt:將設置在外殼孔內的導電部主體和與導電部主體連接而從非彈性絕緣外殼的下面突出的導電部下部凸塊相加的長度，Lb:導電部下部凸塊的長度)
所述(c)步驟，包括如下步驟：將彈性絕緣物質內含有多個導電粒子的導電粒子混合物填充至所述多個外殼孔；準備具有與所述多個外殼孔對應的多個模具孔的模具，在所述多個模具孔填充所述導電粒子混合物；將所述模具與所述非彈性絕緣外殼的下面結合，以使所述多個模具孔與所述多個外殼孔一對一對應；將填充至所述外殼孔和所述模具孔的所述導電粒子混合物固化為一體。 [本發明的有益效果在於]
本發明的測試裝置利用包含支撐多個導電部的非彈性材料的非彈性絕緣外殼的測試座而電連接測試器和被檢查設備，由此，在被檢查設備和測試座之間及測試座和測試器之間準確施加推送器的加壓力。在推送器對被檢查設備加壓時，因從非彈性絕緣外殼的下面突出的導電部的導電部下部凸塊發生彈性變形而提供將被檢查設備的端子與測試器聯接時所需的衝程。由此，減少如利用橡膠測試座類型的測試座的現有技術所示，因衝程限制器部的厚度公差或測試座的限位器厚度公差、測試座的高度公差、被檢查設備的厚度公差等產生的衝程控制的難度，能夠進行衝程的精密控制。
構成，以使很好地傳播電磁波，提高高頻率信號傳輸特性。並且，即使適用相同直徑的導電部，與彈性絕緣體相比利用非彈性絕緣體而有利於提高信號傳輸特性，與現有技術相比，信號傳輸特性優秀。
並且，本發明的測試座具有如下優點，利用具有非彈性特性的非彈性絕緣外殼作為支撐多個導電部的絕緣部，與現有的測試座相比，變形最小且耐用性優秀。
並且，本發明的測試座具有如下優點，在非彈性絕緣外殼上形成用於與和測試器結合的引導外殼等零件組裝的排列孔。因此，本發明的測試座無需如現有所示需要另外的框架，而與引導外殼等零件組裝，直接與引導外殼等零件組裝，由此，能夠在測試器上精密排列配置。
下面，參照附圖對本發明的測試座及包含其的測試裝置、測試座的製造方法進行具體說明。
圖2為顯示本發明的一實施例的測試裝置的正面圖，圖3為顯示設定在本發明的一實施例的測試裝置的測試座的截面圖。
如附圖顯示所示，本發明的一實施例的測試裝置100為用於將具有端子11的被檢查設備10與發生測試信號的測試器30聯接而測試被檢查設備10，該測試裝置100包括：測試座110，以電為媒介連接測試器30和被檢查設備10；推送器130，用於將放置在測試座110上的被檢查設備10向測試器30側加壓；及引導外殼160，用於將測試座110固定在測試器30。
測試座110包括：非彈性絕緣外殼112，具有多個外殼孔113；多個導電部119，分別配置在多個外殼孔113而以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼112。
非彈性絕緣外殼112由非彈性絕緣材料構成，相互分隔支撐多個導電部119。外殼孔113以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼112的方式形成。外殼孔113包括：外殼下部孔114，以均勻的寬度相對地形成於非彈性絕緣外殼112的下側；外殼上部孔115，相對地形成於非彈性絕緣外殼112的上側而與外殼下部孔114連接。外殼上部孔115以遠離外殼下部孔114而寬度逐漸增加的形式構成。
在非彈性絕緣外殼112配置外殼孔113並同時配置以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼112的排列孔116。排列孔116與外殼孔113相比更傾向配置在非彈性絕緣外殼112的邊緣側。引導外殼160的排列銷162插入於排列孔116。
非彈性絕緣外殼112由聚醯亞胺等工程塑料構成，或者除此之外由各種非彈性絕緣材料構成。
非彈性絕緣外殼112雖然如現有橡膠測試座的彈性絕緣部一樣不容易彈性變形，但優選地，具有能夠彎曲變形的特性。該特性提高對具有各種形式的翹曲(warpage)變形的被檢查設備的阻力，且有利於耐用性及增加壽命。尤其，彎曲變形特性對於非彈性絕緣外殼112具有翹曲(warpage)變形的情況，對非彈性絕緣外殼112的耐用性產生大的影響。非彈性絕緣外殼112在製造或處理中產生翹曲(warpage)變形。只有被安裝在測試器30的具有翹曲(warpage)變形的非彈性絕緣外殼112以向與被檢查設備10接觸時展開的方向彎曲變形，配置在此的導電部119與被檢查設備的端子才能穩定接觸。
非彈性絕緣外殼112不容易通過推送器130的加壓力而彈性變形，非彈性絕緣外殼112的硬度為適當的範圍的值，以使彎曲變形。即，優選地，非彈性絕緣外殼112具有未因推送器130的最大加壓力而發生壓縮變形，而即使在推送器130的最少加壓力下也能夠具有彎曲變形的硬度。
柔性的薄膜材料未顯示為維氏硬度等壓痕量的硬度值，按利用鉛筆產生表面劃痕的硬度表示。通常該表面劃痕程度的硬度表現為最低硬度8B到最高硬度9H的範圍。
優選的非彈性絕緣外殼112的硬度為3B~6H的防範圍。對於非彈性絕緣外殼112的硬度不足3B的情況，通過推送器130的最大加壓力而非彈性絕緣外殼112發生壓縮變形，非彈性絕緣外殼112的表面因反復的與被檢查設備10的接觸而發生損傷。而對於非彈性絕緣外殼112的硬度超過6H的情況，在非彈性絕緣外殼112具有翹曲(warpage)變形時，非彈性絕緣外殼112難以藉助推送器130的最小的加壓力而以展開的方向發生彎曲變形。該情況，設置於非彈性絕緣外殼112的導電部119無法與測試器的信號電極或被檢查設備的端子穩定聯接，進而導致非彈性絕緣外殼112的破損或被檢查設備的破損。
導電部119以在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的形式構成，以使與測試器30的信號電極41及被檢查設備10的端子11聯接。導電部119配置在外殼孔113而以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼112。
導電部119配置在外殼孔113，由此，下端部與放置在非彈性絕緣外殼112的下側的測試器30的信號電極41聯接，上端部與放置在非彈性絕緣外殼112的上側的被檢查設備10的端子11聯接。導電部119包括：導電部主體120，處於外殼孔113內；導電部下部凸塊123，與導電部主體120連接而從非彈性絕緣外殼112的下面突出。導電部主體120包括：下部主體121，配置在外殼孔113的外殼下部孔114；上部主體122，配置在外殼孔113的外殼上部孔115。上部主體122以遠離下部主體121而寬度逐漸增加的形式構成。
多個導電部119中的一部分用於與測試器30的信號電極41接觸的信號發送，另一部分接地用。
利用具有架橋結構的耐熱性的高分子物質，例如，矽膠、聚丁二烯橡膠、天然橡膠、聚異戊二烯、丁苯共聚橡膠、丁腈共聚橡膠、丁苯-二烯嵌段共聚橡膠、苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚橡膠、聚氨酯橡膠、聚酯纖維類橡膠、表氯醇橡膠、乙烯-丙烯共聚橡膠、乙烯-丙烯-二烯共聚橡膠、軟性液體環氧樹脂橡膠等作為構成導電部119的彈性絕緣物質。
並且，利用具有磁性的物質，以作為構成導電部119的導電粒子而通過磁場反應。例如，利用鐵、鎳、鈷等顯示磁性的金屬的粒子；或該合金粒子或含有該金屬的粒子或將該粒子作為磁芯粒子，並在該磁芯粒子的表面鍍金、銀、鈀、鐳等導電性良好的金屬；或將非磁性金屬粒子、玻璃珠等無機物質粒子、聚合物粒子作為磁芯粒子，並在該磁芯粒子的表面鍍有鎳及鈷等導電性磁體；或在磁芯粒子鍍導電性磁體及導電性良好的金屬作為導電粒子。
導電部119具有如下所示結構特徵。
Figure 02_image005
在此，Lt是指導電部主體120和導電部下部凸塊123相加的長度，Lb顯示導電部下部凸塊123的長度。
該結構的導電部119能夠順暢提供在將被檢查設備10的端子11與測試器30聯接時所需的衝程。並且，包含導電部下部凸塊123的導電部119在接觸被檢查設備10的端子11時，分散荷重，從而，有利於防止被檢查設備10發生損傷。
即，從非彈性絕緣外殼112的下面突出的導電部下部凸塊123因不存在抓取非彈性絕緣外殼112的部分，而相對自由度高。因此，在將導電部下部凸塊123的長度按適當的長度設計的情況下，在接觸被檢查設備10時，能夠引導測試座110的細微移動。並且，在接觸被檢查設備10時，在測試座110以上下左右細微移動時，分散被檢查設備10的接觸而產生的荷重，並獲取緩衝衝擊的效果。
導電部下部凸塊123的長度根據導電部119的寬度或數量等適當確定。在導電部下部凸塊123的長度非常寬的情況下，無需引導測試座110的細微移動，在導電部下部凸塊123的長度非常長的情況下，存在降低耐用性的問題。因此，導電部下部凸塊123的長度如上說明所示，優選地，以滿足下面的條件的方式確定。
Figure 02_image007
對於導電部下部凸塊123的長度Lb與導電部主體120和導電部下部凸塊123相加的長度Lt的比不足0.05的情況，難以順暢提供在將被檢查設備10的端子11與測試器30聯接時所需的衝程，並無法引導測試座110的細微移動而不具有荷重分散效果。
而，對於導電部下部凸塊123的長度Lb與導電部主體120和導電部下部凸塊123相加的長度Lt的比超過0.5的情況，存在降低測試座110的耐用性，且縮短產品的壽命的問題。即，導電部下部凸塊123的長度Lb過長的情況下，在接觸被檢查設備10時，導電部下部凸塊123彎曲，導電部下部凸塊123之間接觸而發生短路測試不良（Short Fail）或導電部下部凸塊123破損。
推送器130以接近測試器30側或遠離測試器30的方式移動，而提供將配置在測試座110上的被檢查設備10向測試器30側加壓的加壓力。推送器130接收來自驅動部(未圖示)的移動力而移動。
在推送器130的下側設置加壓部140和緩衝部150，推送器130通過加壓部140和緩衝部150而加壓被檢查設備10。加壓部140與被檢查設備10的上面接觸而將推送器130的加壓力傳輸至被檢查設備10。緩衝部150起到緩衝推送器130施加至被檢查設備10的壓力的作用。緩衝部150由橡膠或矽膠等具有彈力的材料構成，或構成包含彈簧的結構等能夠吸收衝擊的各種結構。
通過緩衝部150的緩衝作用而在加壓部140對被檢查設備10加壓時，以限制使得推送器130施加至被檢查設備10和測試座110及測試器30的荷重不發生過量。因此，防止因過度的加壓力而導致被檢查設備10或測試座110或測試器30的損傷或破損。
引導外殼160與測試器30結合而將測試座110固定在測試器30。並且，引導外殼160將被檢查設備10向測試座110側引導。在引導外殼160的內側配置供被檢查設備10通過的開口161。並且，在引導外殼160設置插入測試器30的固定孔32的排列銷162。引導外殼160以排列銷162通過非彈性絕緣外殼112的排列孔116而插入固定孔32的方式與測試器30結合，將測試座110排列在測試器30上的規定的位置而固定。
具有現有的彈性絕緣部的橡膠測試座與具有供插入引導外殼的排列銷的排列孔的硬質材料的框架結合而設置在了測試器。因該現有的橡膠測試座通過單獨的框架組裝，由此，因橡膠測試座和框架之間的組裝誤差而存在測試器上降低精密度的問題。
而，因本發明的測試座110的用於與引導外殼160組裝的排列孔116形成於非彈性絕緣外殼112上，排列孔116至配置有導電部119的外殼孔113的間距為一定的。並且，因測試座110直接與引導外殼160組裝，在測試器30上精密排列配置。
本發明的一實施例的測試裝置100在對被檢查設備10檢查時，通過下面所述方式發生作用。
如圖3顯示所示，在推送器130通過加壓部140及緩衝部150而將被檢查設備10向測試座110側加壓的情況下，被檢查設備10的端子11壓縮測試座110的導電部119上端部壓縮，端子11的下端部壓縮測試器30的信號電極41。在這種情況下，在測試器30發生的測試信號通過測試座110而傳輸至被檢查設備10，進行被檢查設備10的電測試。
在被檢查設備10的端子11壓縮測試座110的導電部119時，因導電部119具有彈力，端子11使導電部119發生彈性變形，而進入外殼孔113裡側。在這種情況下，被檢查設備10的下面與非彈性絕緣外殼112的上面接觸。並且，被檢查設備10通過加壓測試座110的加壓力而導電部119的導電部下部凸塊123在非彈性絕緣外殼112的下面直至接觸測試器30的上面時，發生壓縮，因非彈性絕緣外殼112的下面與測試器30接觸而未增加衝程。
由此，被檢查設備10的下面與非彈性導電外殼112的上面接觸，而將測試座110向測試器30側加壓，由此，施加至被檢查設備10的加壓力被均勻地傳輸至整個測試座110，多個導電部119整體上通過均勻的密著力與多個信號電極41及多個端子11保持接觸狀態。因此，多個信號電極41及多個端子11通過測試座110而保持穩定的聯接狀態，從而，防止信號傳送損失，並能夠穩定測試。
另外，在推送器130將被檢查設備10向測試器20側加壓中，在測試座110的下面與測試器30接觸之後，緩衝部150發生彈性變形，而未再施加衝程。並且，緩衝部150緩衝推送器130的加壓力，防止因過度的加壓力而導致被檢查設備10或測試座110或測試器30發生損傷或破損。
如上所示，本發明的一實施例的測試裝置100利用包含支撐多個導電部119的非彈性絕緣材料的非彈性絕緣外殼112的測試座110而電連接測試器30和被檢查設備10，由此，推送器130的加壓力能夠被均勻地施加至被檢查設備10和測試座110之間及測試座110和測試器30之間。並且，在推送器130對被檢查設備10加壓時，從非彈性絕緣外殼112的下面突出的導電部119的導電部下部凸塊123發生彈性變形而提供將被檢查設備10的端子11與測試器30聯接時所需的衝程。
由此，本發明的一實施例的測試裝置100的測試座110的非彈性絕緣外殼112起到限位作用。因此，減少如利用橡膠測試座類型的測試座的現有技術所示，因衝程限制器部的厚度公差，或測試座的限位器厚度公差、測試座的高度公差、被檢查設備的厚度公差等導致的衝程控制的困難，能夠進行衝程的精密的控制。並且，通過衝程的精密控制而提高測試座110的壽命特性。
並且，本發明的測試座110利用非彈性絕緣體作為設置在多個導電部119之間的絕緣體，由高頻率信號傳輸優秀的電容率的材料製造非彈性絕緣外殼112。現有的橡膠測試座類型測試座利用電容率高的矽膠作為絕緣外殼，而不容易提高高頻率信號傳輸特性。而本發明由電容率相對低的材料形成非彈性絕緣外殼112，以使能夠很好地傳播電磁波，由此，提高高頻率信號傳輸特性。並且，即使適用相同的直徑的導電部，與彈性絕緣體相比，利用非彈性絕緣體也有利於提高信號傳輸特性，與現有技術相比，信號傳輸特性優秀。
另外，現有的彈性絕緣體和利用導電粒子的測試座出現在彈性絕緣體漏油的現象，油與被檢查設備接觸而產生導致被檢查設備的不合格的問題。而本發明利用非彈性絕緣體，減少漏油及被檢查設備的不合格的情況。
並且，本發明的測試座110利用具有非彈性特性的非彈性絕緣外殼112作為支撐多個導電部119的絕緣外殼，與現有的測試座相比，變形最小且耐用性優秀。
並且，本發明的測試座110即使對於具有翹曲(warpage)變形的被檢查設備，也能夠穩定檢查，對該被檢查設備的阻力優秀。即，如圖5(a)及(b)依次顯示所示，對於中央部分具有向上側捲曲的形式的翹曲(warpage)變形的被檢查設備10在上側接觸的情況，被檢查設備10的下面與非彈性絕緣外殼112的上面接觸。非彈性絕緣外殼112未如現有的彈性絕緣部一樣發生壓縮變形，而被檢查設備10展開，並且，被檢查設備10的端子11和測試座110的導電部119很好地接觸。
本發明的一實施例的測試裝置100的測試座110通過如圖6顯示所示的方法製造。
首先，如圖6(a)顯示所示，準備由非彈性絕緣材料構成的非彈性部件170。如上說明所示，非彈性部件170由聚醯亞胺或其它材料構成。
下面，如圖6(b)顯示所示，在非彈性部件170加工按厚度方向貫通非彈性部件170的多個外殼孔113和排列孔116而形成非彈性絕緣外殼112。
下面，如圖6(c)顯示所示，在多個外殼孔113填充在彈性絕緣物質內含有導電粒子的導電粒子混合物50。導電粒子混合物50以具有流動性的漿料的狀態壓入外殼孔113內。
下面，如圖6(d)顯示所示，準備具有與非彈性絕緣外殼112的外殼孔113對應的多個模具孔41的模具40，在多個模具孔41填充導電粒子混合物50。導電粒子混合物50以具有流動性的漿料狀態壓入模具孔41內。並且，在非彈性絕緣外殼112的下側設置配置有導電粒子混合物50的模具40。在這種情況下，多個模具孔41以一對一與多個外殼孔113對應的方式配置模具40。
之後，在配置於非彈性絕緣外殼112的導電粒子混合物50與在模具40配置的導電粒子混合物50接觸的狀態下，執行固化工藝。對於固化導電粒子混合物50的方法，在以一定溫度加熱之後，常溫冷卻的方法等根據導電粒子混合物50的特性而採用各種方法。
通過固化工藝而固化導電粒子混合物50，由此，形成包含配置在外殼孔113的導電部主體120和配置在模具孔41的導電部下部凸塊123的導電部119。在形成導電部119之後，如圖6(e)顯示所示，非彈性絕緣外殼112和模具40分離，由此，完成測試座110。
在該測試座110的製造方法中，在固化導電粒子混合物50之前，執行對導電粒子混合物50施加磁場的工藝。在嚮導電粒子混合物50施加磁場的情況下，在彈性絕緣物質中分散了的導電粒子因磁場的影響而向非彈性導電外殼112的厚度方向定向而形成電通道。
並且，在測試座110的製造方法中，導電部119的導電部主體120和導電部下部凸塊123在一個成型模具同時形成。
並且，在測試座110的製造方法中，在填充導電粒子混合物50的模具40與非彈性絕緣外殼112的下側結合之後，在多個外殼孔113填充導電粒子混合物50而固化。
另外，圖7所示的測試座210包括：非彈性絕緣外殼211，具有多個外殼孔212及排列孔213；多個導電部215，分別配置在多個外殼孔212內，而以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼211。
該測試座210構成為導電部215不具備導電部下部凸塊的結構。
圖8顯示的測試座220包括：非彈性絕緣外殼211，具有多個外殼孔212；多個導電部221，分別配置在多個外殼孔212內；下部絕緣墊片225，配置在非彈性絕緣外殼211的下面；上部絕緣墊片229，配置在非彈性絕緣外殼211的上面。非彈性絕緣外殼211如圖7顯示所示。
導電部221由在彈性絕緣物質內含有多個導電粒子的形式構成。導電部221包括：導電部主體222，設置在外殼孔212內；導電部下部凸塊223，與導電部主體222連接而從非彈性絕緣外殼211的下面突出。
下部絕緣墊片225由絕緣材料構成並覆蓋非彈性絕緣外殼211的下面。下部絕緣墊片225用於防止非彈性絕緣外殼211的下面和測試器30的信號電極31接觸時發生短路不良。在下部絕緣墊片225形成供插入導電部221的多個下部絕緣墊片孔226。並且，在下部絕緣墊片225設置按厚度方向貫通下部絕緣墊片225的下部絕緣墊片導孔227。下部絕緣墊片導孔227與排列孔213連接，在下部絕緣墊片導孔227插入引導外殼160的排列銷162。
上部絕緣墊片229由絕緣材料構成，設置在與多個導電部221對應的位置形成的多個上部絕緣墊片孔230。上部絕緣墊片孔230的至少一部分構成為從上部絕緣墊片229的上面趨向非彈性絕緣外殼211側而寬度逐漸縮小的錐形。即，上部絕緣墊片孔230包括：絕緣墊片下部孔231，從上部絕緣墊片229的下面向上部絕緣墊片229的上面並以與外殼孔212相同的寬度延伸；絕緣墊片上部孔232，從上部絕緣墊片229的上面而向上部絕緣墊片229的下面延伸而與絕緣墊片下部孔231連接。絕緣墊片上部孔232以從上部絕緣墊片229的上面趨向絕緣墊片下部孔231側而寬度逐漸縮小的方式構成為錐形。
並且，在上部絕緣墊片229設置以厚度方向貫通上部絕緣墊片229的上部絕緣墊片導孔233。上部絕緣墊片導孔233與排列孔213連接，且引導外殼160的排列銷162插入上部絕緣墊片導孔233。
該測試座220的上部絕緣墊片孔230構成為錐形，由此，在被檢查設備10向測試座220側接近時，被檢查設備10的端子11通過上部絕緣墊片229引導而更穩定地與導電部221接觸。
圖9顯示的測試座240包括：非彈性絕緣外殼211，具有多個外殼孔212；多個導電部241，分別配置在多個外殼孔212內；下部絕緣墊片225，配置在非彈性絕緣外殼211的下面；上部絕緣墊片229，配置在非彈性絕緣外殼211的上面。在此，非彈性絕緣外殼211和下部絕緣墊片225及上部絕緣墊片229如圖8顯示所示。
導電部241以在彈性絕緣物質內含有多個導電粒子的形式構成。導電部241包括：導電部主體242，設置在外殼孔212內；導電部下部凸塊243，與導電部主體242連接而從非彈性絕緣外殼211的下面突出；導電部上部凸塊244，與導電部主體242連接而從非彈性絕緣外殼211的上面突出。導電部上部凸塊244設置在上部絕緣墊片229的上部絕緣墊片孔230內。導電部上部凸塊244的寬度與導電部主體242的寬度相同，在導電部上部凸塊244和上部絕緣墊片229之間形成空間。
圖10顯示的測試座250包括：非彈性絕緣外殼211，具有多個外殼孔212；多個絕緣部251，分別配置在多個外殼孔212內；多個導電部255，在絕緣部251支撐以使按厚度方向貫通非彈性絕緣外殼211。
絕緣部251包括：絕緣部主體252，設置在外殼孔212內；絕緣部下部凸塊253，從絕緣部主體252向下側延伸，以使從非彈性絕緣外殼211的下面突出。
導電部255以在彈性絕緣物質內含有多個導電粒子的形式構成。導電部255通過絕緣部251支撐而配置在外殼孔212內，從而，按厚度方向貫通非彈性絕緣外殼211。
導電部255包括：導電部主體256，設置在外殼孔212內；導電部下部凸塊257，與導電部主體256連接而從非彈性絕緣外殼211的下面突出。導電部主體256由絕緣部主體252圍繞，導電部下部凸塊257由絕緣部下部凸塊253圍繞。
導電部255以各種方法形成於絕緣部251內側。例如，在絕緣部251形成絕緣部孔，通過在絕緣部孔填充在彈性絕緣物質內含有導電粒子的導電粒子混合物並固化的方法形成導電部255。另一例，將導電粒子混合物填充至多個外殼孔212，在與各個外殼孔212對應的位置配置比外殼孔212的寬度小的磁體而在導電粒子混合物施加磁場，由此製造導電部255。即，通過磁體的磁場而導電粒子混合物內的導電粒子聚集至外殼孔212的中心而以非彈性絕緣外殼211的厚度方向排列，由此，形成導電部255。並且，僅彈性絕緣物質留在導電部255的邊緣，該彈性絕緣物質固化而形成絕緣部251。
圖11顯示的測試座260包括：非彈性絕緣外殼261，具有多個外殼孔262及排列孔265；多個導電部268，分別配置在多個外殼孔262內，而以厚度方向貫通非彈性絕緣外殼261。
非彈性絕緣外殼261由如上說明的非彈性絕緣材料構成。多個外殼孔262以按厚度方向貫通非彈性絕緣外殼261的形式形成。外殼孔262包括：外殼下部孔263，以一定寬度從非彈性絕緣外殼261的下面向上側延伸；外殼上部孔264，從非彈性絕緣外殼261的上面向下側延伸而與外殼下部孔263連接。外殼上部孔264形成從非彈性絕緣外殼261的上面趨向下側而寬度逐漸縮小的錐形。
導電部268以在彈性絕緣物質包含有多個導電粒子的形式構成。導電部268的寬度與外殼下部孔263寬度相同，導電部268的上端部分處於外殼上部孔264內。因此，導電部268的上端部分和非彈性絕緣外殼261之間形成空間。
該測試座260因導電部268的上端部分配置在錐形的外殼上部孔264內，在被檢查設備10向測試座260側接近時，被檢查設備10的端子11能夠更穩定地與導電部上部凸塊269接觸。並且，在被檢查設備10向測試座260側接近時，被檢查設備10的端子11與非彈性絕緣外殼261接觸而減少端子11發生損傷的問題。
綜上以優選的例子對本發明進行了說明，但本發明的範圍並非通過上述說明並例示的形式限定。
例如，推送器130的加壓力被傳輸至被檢查設備10的壓力傳輸結構未通過圖示限定，並能夠進行各種變更。
並且，在附圖中顯示了測試座與引導被檢查設備10的引導外殼160組裝而固定在測試器30，測試座與和測試器結合的各種不同的結構的零件組裝。
綜上，對於用於例示本發明的原理的優選的實施例顯示並對本發明進行了說明，但本發明並非僅通過該顯示說明的結構及作用限定。本領域技術人員應當理解，在不脫離申請專利範圍的思想及範圍的情況下，能夠對本發明進行多個變更及修正。
100:測試裝置 110、210、220、240、250、260:測試座 112、211、261:非彈性絕緣外殼 113、212、262:外殼孔 119、221、241、255、268:導電部 130:推送器 140:加壓部 150:緩衝部 160:引導外殼 225:下部絕緣墊片 229:上部絕緣墊片 251:絕緣部
圖1為顯示在現有的測試座接觸被檢查設備的狀態的附圖； 圖2為顯示本發明的一實施例的測試裝置的正面圖； 圖3為顯示設定在本發明的一實施例的測試裝置的測試座的截面圖； 圖4為用於說明本發明的一實施例的測試裝置的作用的附圖； 圖5為顯示本發明的一實施例的被檢查設備與設置在測試裝置的測試座接觸的過程的附圖； 圖6為顯示本發明的一實施例的設置在測試裝置的測試座的製造過程的附圖； 圖7至圖11為顯示測試座的各種變形例的附圖。
10:被檢查設備
11:端子
30:測試器
31:信號電極
32:固定孔
100:測試裝置
110:測試座
112:非彈性絕緣外殼
116:排列孔
119:導電部
130:推送器
140:加壓部
150:緩衝部
160:引導外殼
161:開口
162:排列銷

Claims (13)

  1. 一種測試座，涉及一種將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而設置在用於測試所述被檢查設備的測試裝置的測試座，其特徵在於，包括： 非彈性絕緣外殼，由非彈性絕緣材料構成，並具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔；及 導電部，以在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的形式構成，且被配置在所述外殼孔內，以使下端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的下側的所述測試器的信號電極聯接，上端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的上側的所述被檢查設備的端子聯接，以厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼， 在所述非彈性絕緣外殼形成以厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼的排列孔，該排列孔供用於將所述非彈性絕緣外殼固定在所述測試器的零件的排列銷通過。
  2. 如請求項1所述的測試座，其中，所述非彈性絕緣外殼的硬度為3B~6H的範圍。
  3. 如請求項2所述的測試座，其中，所述非彈性絕緣外殼由聚醯亞胺構成。
  4. 如請求項1所述的測試座，其中， 所述導電部包括：導電部主體，設置在所述外殼孔內；導電部下部凸塊，與所述導電部主體連接而由所述非彈性絕緣外殼的下面突出，並滿足下面的條件，
    Figure 03_image009
    (Lt:導電部主體和導電部下部凸塊相加的長度，Lb:導電部下部凸塊的長度)。
  5. 如請求項1所述的測試座，其中，所述外殼孔包括： 外殼下部孔，以一定寬度從所述非彈性絕緣外殼的下面向上側延伸；外殼上部孔，以從所述非彈性絕緣外殼的上面趨向下側而寬度逐漸減小的形式形成，與所述外殼下部孔連接。
  6. 如請求項1所述的測試座，其中，包括：絕緣部，由彈性絕緣物質構成，配置在所述非彈性絕緣外殼和所述導電部之間。
  7. 如請求項1所述的測試座，其中，包括： 上部絕緣墊片，由絕緣材料構成，並具有在與所述導電部對應的位置形成的上部絕緣墊片孔，並與所述非彈性絕緣外殼的上面結合， 所述上部絕緣墊片孔的至少一部分以從所述上部絕緣墊片的上面趨向所述非彈性絕緣外殼側而寬度逐漸減小的方式形成為錐形。
  8. 如請求項7所述的測試座，其中，所述導電部包括： 導電部主體，設置在所述外殼孔內； 導電部上部凸塊，與所述導電部主體連接而從所述非彈性絕緣外殼的上面突出， 所述上部絕緣墊片孔的最上部寬度大於所述導電部上部凸塊的寬度。
  9. 一種測試裝置，涉及一種將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而用於測試所述被檢查設備的測試裝置，其特徵在於，包括： 測試座，以電為媒介連接所述測試器和所述被檢查設備，以使所述測試器的測試信號傳輸至所述被檢查設備； 引導外殼，與所述測試器結合，以用於將所述測試座固定在所述測試器，並設置插入於所述測試器的固定孔的排列銷；及 推送器，以接近所述測試器側或遠離所述測試器的方式移動，而提供將放置在所述測試座上的所述被檢查設備向所述測試器側加壓的加壓力， 所述測試座包括： 非彈性絕緣外殼，由非彈性絕緣材料構成，並具有按厚度方向貫通形成的多個外殼孔和以供所述排列銷通過的方式按厚度方向貫通形成的排列孔；及 導電部，以在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的形式構成，且被配置在所述外殼孔，以使下端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的下側的所述測試器的信號電極聯接，上端部與放置在所述非彈性絕緣外殼的上側的所述被檢查設備的端子聯接，並按厚度方向貫通所述非彈性絕緣外殼。
  10. 如請求項9所述的測試裝置，其中，包括：緩衝部，配置在所述推送器和所述被檢查設備之間，以緩衝所述推送器對所述被檢查設備施加的壓力。
  11. 一種測試座的製造方法，涉及一種將具有端子的被檢查設備與發生測試信號的測試器聯接而設置在用於測試所述被檢查設備的測試裝置的測試座的製造方法，其特徵在於，包括如下步驟： (a)準備由非彈性絕緣材料構成的非彈性部件； (b)在所述非彈性部件形成多個外殼孔和排列孔而形成非彈性絕緣外殼，其中，所述多個外殼孔，按厚度方向貫通所述非彈性部件；所述排列孔，按厚度方向貫通所述非彈性部件，以供用於將所述測試座固定在所述測試器的零件的排列銷通過；及 (c)將在彈性絕緣物質包含多個導電粒子的導電部形成於所述外殼孔內。
  12. 如請求項11所述的測試座的製造方法，其中，所述(c)步驟中，以滿足下面條件的形式形成所述導電部，
    Figure 03_image011
    (Lt:設置在外殼孔內的導電部主體和與導電部主體連接而從非彈性絕緣外殼的下面突出的導電部下部凸塊相加的長度，Lb:導電部下部凸塊的長度)。
  13. 如請求項12所述的測試座的製造方法，其中，所述(c)步驟，包括如下步驟： 將在彈性絕緣物質內包含多個導電粒子的導電粒子混合物填充至所述多個外殼孔； 準備具有與所述多個外殼孔對應的多個模具孔的模具，在所述多個模具孔填充所述導電粒子混合物； 將所述模具與所述非彈性絕緣外殼的下面結合，以使所述多個模具孔與所述多個外殼孔一對一對應； 將填充至所述外殼孔和所述模具孔的所述導電粒子混合物固化為一體。
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