TW202136594A - 槳葉、具備該槳葉的處理裝置、及該槳葉的製造方法 - Google Patents

Abstract

［課題］提供能夠降低電場遮蔽的影響，並且能夠提高機械強度的槳葉。 ［解決手段］用於通過在處理槽1內移動來攪拌該處理槽1內的處理液的槳葉16係具備形成蜂窩構造40的多個攪拌梁45。蜂窩建構40具有由多個攪拌梁45形成的多個六邊形的通孔50。

Description

槳葉、具備該槳葉的處理裝置、及該槳葉的製造方法

本發明係關於在對晶圓、基板、面板等工件的表面進行處理時使用的槳葉、具備該槳葉的處理裝置、及該槳葉的製造方法者。

圖18是表示過去的鍍敷裝置的概略圖。如圖18所示，作為對工件W進行處理的處理裝置的一例的鍍敷裝置具備：在內部保持鍍敷液的鍍敷槽201、配置在鍍敷槽201內的陽極202、保持陽極202的陽極保持架203、以及工件保持架204。工件保持架204構成為裝卸自如地保持晶圓、基板等工件W，並且使工件W浸漬於鍍敷槽201內的鍍敷液。

鍍敷裝置還具備對鍍敷槽201內的鍍敷液進行攪拌的槳葉205。槳葉205配置於由工件保持架204保持的工件W的表面附近。槳葉205鉛直地配置，通過與工件W的表面平行地往複運動來對鍍敷液進行攪拌，在工件W的鍍敷過程中，能夠向工件W的表面均勻地供給充分的金屬離子。

陽極202經由陽極保持架203與電源207的正極連接，工件W經由工件保持架204與電源207的負極連接。當對陽極202與工件W之間施加電壓，則電流流過工件W，而於工件W的表面形成金屬膜。

通過鍍敷而形成於工件W上的金屬膜的厚度受形成於陽極202與工件W之間的電場的強度影響。槳葉205配置於陽極202與工件W之間，因此槳葉205一邊遮蔽電場一邊於水平方向上往複運動。 ［先前技術文獻］ ［專利文獻］

［專利文獻1］日本特開2000-129496號公報

［發明所欲解決之課題］

圖19是從箭頭A所示的方向觀察圖18所示的槳葉205的圖。槳葉205具備在鉛直方向上延伸的多個攪拌棒208。這些攪拌棒208一邊在圖19的箭頭所示的方向上往復移動，一邊攪拌鍍敷液。為了降低電場遮蔽的影響，會希望各攪拌棒208的寬度盡可能小。

然而，當減小攪拌棒208的寬度，則槳葉205的機械強度降低，無法提高槳葉205的攪拌速度。另一方面，當增大攪拌棒208的寬度，則槳葉205的機械強度提高，但電場遮蔽的影響變大，其結果為，形成在工件W上的金屬膜變成厚度不均勻。

因此，本發明提供一種能夠降低電場遮蔽的影響，並且能夠提高機械強度的槳葉。另外，本發明提供具備那樣子槳葉的處理裝置。 ［解決課題之手段］

在一態樣中，提供一種槳葉，其係用於以在處理槽內移動的方式攪拌該處理槽內的處理液的槳葉，其具備形成蜂窩構造的多個攪拌梁，上述蜂窩構造具有由上述多個攪拌梁形成的多個六邊形的通孔。

在一態樣中，上述多個攪拌梁分別相對於上述槳葉的移動方向傾斜或者與上述槳葉的移動方向垂直。 在一態樣中，上述多個六邊形的通孔為多個正六邊形的通孔。 在一態樣中，上述攪拌梁的寬度相對於上述多個六邊形的通孔的排列間距的比例小於10%。 在一態樣中，上述攪拌梁的寬度為0.5mm~3.0mm。 在一態樣中，上述多個六邊形的通孔的排列間距為5mm~23mm。 在一態樣中，上述多個六邊形的通孔的排列方向相對於上述槳葉的移動方向傾斜。 在一態樣中，上述槳葉的移動為往複運動，當將上述多個六邊形的通孔的排列方向相對於上述槳葉的往複運動的方向的角度設為θ、上述槳葉的往複運動的1行程的長度設為T、上述六邊形的通孔的高度設為H、n設為自然數，則tanθ等於n(H/2)/T。

在一態樣中，提供一種處理裝置，其係用於對工件進行處理的處理裝置，其具備：處理槽，其用於在內部保持處理液；工件保持架，其保持上述工件；上述槳葉；以及槳葉驅動裝置，其使上述槳葉移動，上述槳葉配置於上述處理槽內。

在一態樣中，提供一種製造方法，其係用於以在處理槽內移動的方式攪拌該處理槽內的處理液的上述槳葉的製造方法，其包括將上述槳葉的三維設計數據儲存於立體印表機的儲存裝置內，並且由上述立體印表機基於上述三維設計數據製作上述槳葉的工序。 ［發明的效果］

具有蜂窩構造的槳葉能夠實現較高的機械強度和較低的電場遮蔽率這兩者。

以下，參照附圖對本發明的實施方式作說明。 圖1是表示作為處理裝置的一例的鍍敷裝置的一個實施方式的概略圖。如圖1所示，作為對工件進行處理的處理裝置的一例的鍍敷裝置具備：鍍敷槽（處理槽）1，其在內部保持鍍敷液（處理液）；陽極2，其配置在鍍敷槽1內；陽極保持架4，其保持陽極2；以及工件保持架（保持裝置）8，其配置在鍍敷槽1內。工件保持架8構成為裝卸自如地保持晶圓、基板、面板等工件W，並且使工件W浸漬於鍍敷槽1內的鍍敷液。本實施方式的鍍敷裝置是通過使電流流過鍍敷液而利用金屬對工件W的表面作鍍敷的電鍍裝置。在工件W的表面鍍敷的金屬例如為銅（Cu）、鎳（Ni）、錫（Sn）、Sn-Ag合金、鈷（Co）或者金（Au）。

陽極2和工件W鉛直地配置，在鍍敷液中配置為相互對置。陽極2經由陽極保持架4與電源18的正極連接，工件W經由工件保持架8與電源18的負極連接。當對陽極2與工件W之間施加電壓，則電流流過工件W，在工件W的表面形成金屬膜。

鍍敷裝置具備與鍍敷槽1相鄰的溢流槽12。鍍敷槽1內的鍍敷液越流過鍍敷槽1的側壁而流入溢流槽12內。鍍敷液循環線20的一端與溢流槽12的底部連接，鍍敷液循環線20的另一端與鍍敷槽1的底部連接。在鍍敷液循環線20安裝有循環泵36、恆溫單元37以及過濾器38。

鍍敷液越流過鍍敷槽1的側壁而流入溢流槽12，進而從溢流槽12通過鍍敷液循環線20返回至鍍敷槽1。這樣，鍍敷液通過鍍敷液循環線20而在鍍敷槽1與溢流槽12之間循環。

鍍敷裝置還具備：對工件W上的電位分佈進行調整的調整板（Regulation plate）14、以及對鍍敷槽1內的鍍敷液作攪拌的槳葉16。調整板14配置於槳葉16與陽極2之間，具有用於限制鍍敷液中的電場的開口14a。槳葉16配置於由鍍敷槽1內的工件保持架8所保持的工件W的表面附近。工件W的表面與槳葉16的距離處於3mm~15mm的範圍內。工件W的表面與槳葉16的距離會希望為10mm以下，更會希望為8mm以下。槳葉16鉛直地配置，以與工件W的表面平行地往複運動的方式攪拌鍍敷液，可在工件W的鍍敷過程中均勻地供給充分的金屬離子至工件W的表面。

圖2是表示用於使槳葉16在鍍敷槽1內往複運動的往複運動機構25的上視圖。往複運動機構25具備：在水平方向上延伸的軸26、固定於軸26的槳葉保持部27、將軸26支承為能夠在其長度方向上移動的軸支承部28、以及使軸26和槳葉16一體地進行往複運動的槳葉驅動裝置29。槳葉16由槳葉保持部27保持。軸26具有位於槳葉保持部27的兩側的凸緣部30。凸緣部30防止鍍敷液沿著軸26到達軸支承部28。

圖3的（a）至圖3的（d）是表示圖2所示的槳葉驅動裝置29的示意圖。軸26經由連桿17與曲柄盤19連結。連桿17偏心地安裝於曲柄盤19。曲柄盤19與未圖示的電動機連結。當電動機使曲柄盤19向箭頭所示的方向旋轉，則曲柄盤19的旋轉通過連桿17而變換為往複運動，而與連桿17連結的軸26會作往復運動。與軸26連結的槳葉16通過槳葉驅動裝置29而與工件W的表面平行地往複運動，對工件W的表面附近的鍍敷液作攪拌。

在本實施方式中，槳葉在水平方向上往複運動，但在一個實施方式中，槳葉也可以在相對於水平方向傾斜的方向上往複運動，或者也可以在鉛直方向上往複運動。

槳葉16被配置為橫切形成在陽極2與工件W之間的電場。因此，基於槳葉16的電場遮蔽會給膜厚的均勻性帶來影響。特別是，在往複運動的槳葉16位於行程末端時，槳葉16的速度為0。因此，在行程末端的槳葉16的停留時間與其他場所相比特別長。這樣的槳葉16的動作有可能降低膜厚的均勻性。因此，在本實施方式中，像以下說明的那樣，槳葉16具備能夠降低電場遮蔽的影響，並且能夠提高槳葉16的機械強度的構造。

圖4是從箭頭B所示的方向觀察圖1所示的槳葉16的圖。槳葉16具備：形成蜂窩構造40的多個攪拌梁45、與蜂窩構造40的最上端連接的上框47、與蜂窩構造40的最下端連接的下框48、以及與蜂窩構造40的兩側連接的側框49。上框47與多個攪拌梁45中的位於最上方的攪拌梁45連接，下框48與多個攪拌梁45中的位於最下方的攪拌梁45連接。側框49從上框47延伸到下框48。上框47由圖2所示的槳葉保持部27保持。也可以省略側框49和下框48中的任一方或者雙方。

蜂窩構造40具有由攪拌梁45形成的多個六邊形的通孔50。這些六邊形的通孔50無間隙地在水平方向上並排排列。即，六邊形的通孔50與槳葉16的往複運動的方向平行地排列。六邊形的通孔50具有相同的形狀和相同的大小。

如圖4的箭頭所示般，槳葉16在水平方向上往複運動。槳葉16的寬度D1比工件W的寬度D2小，槳葉16的往複運動的行程長度大於將工件W的寬度D2與槳葉16的寬度D1之差除以2而得的值。當成為這樣的行程長度，則如圖5所示，槳葉16能夠往復運動，橫切工件W的表面整體，能夠對工件W的表面整體附近的鍍敷液進行攪拌。圖5表示位於行程末端的槳葉16。但是，本發明不限於本實施方式。在一個實施方式中，也可以槳葉16的寬度D1與工件W的寬度D2相同或者比工件W的寬度D2大。

圖6是蜂窩構造40的放大圖。形成六邊形的通孔50的攪拌梁45具有指定的寬度F。多個六邊形的通孔50無間隙地以指定的排列間距P排列。六邊形的通孔50是具有六邊形的剖面的通孔50。六邊形由六個頂點、以及將相鄰的頂點間連結的六個邊構成。在本實施方式中，形成一個六邊形的通孔50的攪拌梁45係構成六個直線的邊，但只要能夠攪拌鍍敷液並且能夠確保槳葉16的機械強度，攪拌梁45也可以稍微起伏或者彎曲。在本實施方式中，形成六邊形的通孔50的六個攪拌梁45具有相同的寬度F，但在一個實施方式中，只要能夠確保槳葉16的機械強度，六個攪拌梁45中的一個或者幾個也可以具有與其他攪拌梁45不同的寬度。

圖6所示，形成六邊形的通孔50的攪拌梁45全部不會都與槳葉16的往複運動的方向（在本實施方式中為水平方向）平行。換言之，形成六邊形的通孔50的攪拌梁45係分別相對於槳葉16的往複運動的方向（在本實施方式中為水平方向）傾斜、或者與槳葉16的往復運動的方向垂直。更具體而言，形成六邊形的通孔50的全部的攪拌梁45相對於槳葉16的往複運動的方向大於0度且小於180度。因此，作為通孔50的剖面形狀的六邊形的六個邊全部都會相對於槳葉16的往複運動的方向大於0度且小於180度。

具有蜂窩構造40的槳葉16與圖19所示的過去的槳葉205相比，能夠提高機械強度。其結果為，能夠減小構成槳葉16的攪拌梁45的寬度F，因此能夠降低形成在陽極2與工件W之間的電場的遮蔽的影響。再者，能夠將槳葉16的整體輕型化，也能夠降低施加給圖2所示的槳葉驅動裝置29的負荷。

圖7是表示本實施方式的槳葉16、圖19所示的過去的槳葉205的具體的結構例和性能的表。圖7的表所示的專案是攪拌梁的寬度、攪拌梁的排列間距、攪拌梁的密度（寬度/排列間距×100）、機械強度、電場遮蔽率。攪拌梁的寬度為從槳葉的正面觀察時的攪拌梁的寬度（參照圖6的附圖標記F），攪拌梁的排列間距在圖19的槳葉205中是相鄰的攪拌棒208的排列間距，在本實施方式的槳葉16中是圖6所示的六邊形的通孔50的排列間距P。機械強度是針對在槳葉往複運動時在槳葉內產生的應力的耐久性的指標值，是藉由模擬而得到的相對值。電場遮蔽率是在某個鍍敷時間中，槳葉在行程末端停止的時間期間受到基於槳葉的電場遮蔽時之膜厚降低量R2相對於膜厚降低基準量R1的比例（R2/R1），膜厚降低基準量R1是使用圖19所示的過去的槳葉205進行鍍敷時之工件的膜厚因電場遮蔽引起的降低量，膜厚降低量R2是使用本實施方式的槳葉16進行鍍敷時之工件因電場遮蔽引起的膜厚的降低量。膜厚降低基準量R1和膜厚降低量R2都是藉由鍍敷模擬而得到的。

圖7所示的過去的槳葉是圖19所示的過去的槳葉205。圖7所示的蜂窩槳葉No.1、No.2、No.3是本實施方式的槳葉16。從圖7所示的表可知，本實施方式的三個類型的槳葉16具有比圖19所示的過去的槳葉205高的機械強度，並且具有較低的攪拌梁45的密度（小於10%）。其結果為，本實施方式的三個類型的槳葉16與圖19所示的過去的槳葉205相比，能夠實現較高的機械強度，並且實現較低的電場遮蔽率。

另外，蜂窩構造40能夠提高槳葉16的機械強度，因此能夠由PEEK（聚醚醚酮）或者PEI（聚醚酰亞胺）等樹脂來取代過去的鈦（Ti）而構成槳葉16。在一個實施方式中，也可以由鈦（Ti）構成槳葉16。在該情況下也能夠將槳葉16的整體輕型化。根據本實施方式，槳葉16的整體能夠輕型化，因此能夠降低施加給圖2所示的槳葉驅動裝置29的負荷。

從確保槳葉16的機械強度並且降低電場遮蔽率的觀點出發，攪拌梁45的寬度F的下限為0.5mm，攪拌梁45的寬度F的上限為3.0mm。從降低電場遮蔽率的觀點出發，攪拌梁45的寬度F的上限會希望為1.5mm。形成蜂窩構造40的六邊形的通孔50的排列間距P為5.0mm~23mm。當排列間距P超過23mm，則槳葉16的往復運動時槳葉16會變得容易振動。

一般地，當六邊形的通孔50的排列間距變小，則形成在槳葉16內的六邊形的通孔50的數量增加。其結果為，槳葉16能夠以更多的攪拌梁45攪拌鍍敷液。然而，當排列間距P過小，則在一個六邊形的通孔50內產生的鍍敷液的流動會變得容易碰撞。具體而言，由形成六邊形的通孔50的上側的斜邊和下側的斜邊的平行移動而產生的鍍敷液的流動相互碰撞，而抵消掉攪拌效果。

圖8是表示六邊形的通孔50的排列間距P與槳葉16的攪拌強度的關係的表。關於攪拌強度，以藉由槳葉16的往複運動而被攪拌的鍍敷液的平均流速的相對值來表示，在將攪拌梁45的寬度限定在某個範圍內的條件下，藉由流體模擬而得到。如圖8的表所示，攪拌強度伴隨著六邊形的通孔50的排列間距的減少會變大，但在排列間距8mm附近會最大。當六邊形的通孔50的排列間距比8mm小，則攪拌強度降低。從該流體模擬的結果，六邊形的通孔50的排列間距P宜為5.0mm~13.5mm，更宜為8.0mm~13.5mm。六邊形的通孔50的密度（寬度/排列間距×100）為2%以上且小於10%。從確保槳葉16的機械強度並且降低電場遮蔽率的觀點出發，六邊形的通孔50的密度宜處於6%~8%的範圍內。

本實施方式的蜂窩構造40具有由攪拌梁45形成的多個六邊形的通孔50。六邊形與圓形、其他多邊形相比，能夠提高槳葉16的整體的機械強度，並且在提高攪拌強度這點上是有利的。在相同面積的條件下，圓形與多邊形相比，具有較短的周長，並且具有較高的強度。然而，當在平面上排列多個圓形，則圓形彼此的接觸面積極小，其結果為，無法提高槳葉整體的機械強度。三角形能夠在平面上無間隙地排列，三角形彼此的接觸面積較大，因此槳葉的機械強度提高。四邊形也同樣。

然而，如圖9所示，三角形具有相對於槳葉的往複運動的方向傾斜地延伸的邊，由於這些邊相互連接，因此被這些邊擠出的鍍敷液的流動相互碰撞。其結果為，攪拌效果降低。如圖10所示，四邊形不具有傾斜的邊，但具有在槳葉的往複運動的方向上延伸的邊，因此該邊始終遮擋到電場。其結果為，在工件上形成局部厚度較小的膜。如圖11所示，也考慮使四邊形的邊相對於槳葉的往複運動的方向傾斜的配置，但在該情況下，產生與參照圖9說明的問題相同的問題。根據流體模擬的結果可知，圖11所示的四邊形與具有六邊形的通孔50的蜂窩構造40相比，只能實現一半左右的攪拌強度（平均流速）。

六邊形不會引起上述的問題。如圖12所示，鍍敷液被邊S1和邊S3傾斜地擠出，但由於被位於邊S1與邊S3之間的邊S2擠出的鍍敷液的流動，上下的流動不會碰撞。另外，構成六邊形的全部的邊不會都與槳葉16的往複運動的方向平行，因此不會始終遮擋電場。出於這些理由，具備具有六邊形的通孔50的蜂窩構造40的槳葉16能夠實現機械強度的提高、電場遮蔽率的降低以及攪拌強度的提高。

本實施方式的六邊形的通孔50是六個邊的長度相同的正六邊形的通孔。在一個實施方式中，如圖13所示，六邊形的通孔50也可以是縱長的六邊形的通孔50、或者橫長的六邊形的通孔50。

圖14是對使槳葉16往複運動時的六邊形的通孔50的移動軌跡作說明的示意圖。在本實施方式中，蜂窩構造40的六邊形的通孔50與槳葉16的往複運動的方向平行地排列。在該排列中，從圖14可知，攪拌梁45的密度根據槳葉16的部位而不同，其結果為，電場遮蔽效果和攪拌強度這雙方變得不均勻。

因此，在一個實施方式中，如圖15所示，六邊形的通孔50的排列方向也可以相對於槳葉16的往複運動的方向傾斜。除了六邊形的通孔50的排列方向以外，圖15所示的槳葉16的結構與圖4所示的槳葉16相同。圖16是對使圖15所示的槳葉16往複運動時的六邊形的通孔50的移動軌跡作說明的示意圖。當六邊形的通孔50的排列方向傾斜，則如圖16所示，攪拌梁45的密度的不均勻度會被改善。其結果為，槳葉16的整體的電場遮蔽效果和攪拌強度這雙方的不均勻度會被改善。

在圖16所示的實施方式中，六邊形的通孔50的排列方向相對於槳葉16的往複運動的方向傾斜角度θ。當將槳葉16的往複運動的1行程的長度設為T、六邊形的通孔50的高度設為H、n設為自然數，則下式成立。 tanθ=n(H/2)/T               （1）

當六邊形的通孔50的排列方向以這樣的角度θ傾斜，則在槳葉16進行一次往複運動的期間，攪拌梁45的密度的不均勻度會被改善。其結果為，槳葉16的整體的攪拌強度的不均勻度會被改善。但是，當角度θ變大，則六邊形的在縱向上延伸的邊（參照圖12的S2）變得傾斜，因此可能產生參照圖9說明的問題。因此，會希望角度θ盡可能小。從流體模擬確認到與六邊形的通孔50的排列方向為水平的槳葉16相比，在上述式（1）中n=1的槳葉16的攪拌性能實質上並不降低。因此，在上述式（1）中，n會希望為1。

參照圖4和圖15說明的實施方式的槳葉16能夠由立體印表機（也稱為3D印表機）製造。圖17是表示立體印表機的示意圖。立體印表機60具備硬碟機或者固態硬碟機等儲存裝置60a。槳葉16的三維設計數據儲存於儲存裝置60a內。立體印表機60基於儲存裝置60a內的三維數據來製作槳葉16。可使用公知的立體印表機作為這樣的立體印表機60。

在一個實施方式中，參照圖4和圖15說明的實施方式的槳葉16也可藉由切削加工來製造。

圖1所示的實施方式是使工件W以鉛直姿勢浸漬於鍍敷槽1內的鍍敷液中的鍍敷裝置，但鍍敷裝置的類型不限於圖1所示的實施方式。在一個實施方式中，鍍敷裝置也可以是使工件以水平或者傾斜的姿勢浸漬於鍍敷槽內的鍍敷液中的類型（所謂的杯式）。

另外，上述的各實施方式的槳葉16並不局限於鍍敷裝置，也可以應用於使用處理液的其他的濕式處理裝置。例如，於具備保持在鍍敷的前處理或者後處理中所使用的處理液（例如清洗液）的處理槽之處理裝置中，也能夠應用上述的各實施方式的槳葉16。上述的槳葉16能夠攪拌清洗液、鍍敷液等各種處理液，實現浸漬於處理液中的工件的均勻的處理。

並且，槳葉16的移動不限於往複運動。例如，用於使槳葉16移動的槳葉驅動裝置也可以構成為使槳葉16旋轉、或者使槳葉16沿著指定的軌道（例如圓軌道）移動、或者使槳葉16進行行星運動。在用於使槳葉16作這樣的運動的槳葉驅動裝置的具體的結構中，能夠使用公知的技術。

上述的實施方式是以具有本發明所屬的技術領域中的通常知識的人能夠實施本發明為目的而記載的。上述實施方式的各種變形例對於本領域技術人員來說是理所當然的，本發明的技術思想也能夠應用於其他實施方式。因此，本發明不限於所記載的實施方式，能夠解釋為根據由權利要求書定義的技術思想的最寬的範圍。

1:鍍敷槽 2:陽極 4:陽極保持架 8:工件保持架 12:溢流槽 14:調整板 16:槳葉 17:連桿 18:電源 19:曲柄盤 20:鍍敷液循環線 25:往複運動機構 26:軸 27:槳葉保持部 28:軸支承部 29:槳葉驅動裝置 30:凸緣部 36:循環泵 37:恆溫單元 38:過濾器 40:蜂窩構造 45:攪拌樑 47:上框 48:下方塊 49:側框 50:六邊形的通孔 60:立體印表機 60a:儲存裝置

圖1是表示作為處理裝置的一例的鍍敷裝置的一個實施方式的概略圖。 圖2是表示用於使槳葉在鍍敷槽內往複運動的往複運動機構的上視圖。 圖3的（a）至圖3的（d）是表示圖2所示的槳葉驅動裝置的示意圖。 圖4是從箭頭B所示的方向觀察圖1所示的槳葉的圖。 圖5是表示位於行程末端的槳葉的圖。 圖6是蜂窩構造的放大圖。 圖7是表示本實施方式的槳葉和圖19所示的過去的槳葉的具體的結構例和性能的表。 圖8是表示六邊形的通孔的排列間距與槳葉的攪拌強度的關係的表。 圖9是表示由形成三角形的通孔的攪拌梁產生的液體的流動的示意圖。 圖10是表示由形成四邊形的通孔的攪拌梁產生的液體的流動的示意圖。 圖11是表示由形成四邊形的通孔的攪拌梁產生的液體的流動的示意圖。 圖12是表示由形成六邊形的通孔的攪拌梁產生的液體的流動的示意圖。 圖13是表示縱長的六邊形的通孔和橫長的六邊形的通孔的例子的示意圖。 圖14是對使槳葉往複運動時的六邊形的通孔的移動軌跡作說明的示意圖。 圖15是表示槳葉的其他實施方式的主視圖。 圖16是對使圖15所示的槳葉往複運動時的六邊形的通孔的移動軌跡作說明的示意圖。 圖17是表示立體印表機的示意圖。 圖18表示是過去的鍍敷裝置的概略圖。 圖19是從箭頭A所示的方向觀察圖18所示的槳葉的圖。

16:槳葉

40:蜂窩建構

45:攪拌梁

47:上框

48:下框

49:側框

50:通孔

W:工件

D1:寬度

D2:寬度

Claims (10)

1. 一種槳葉，其係用於以在處理槽內移動的方式攪拌該處理槽內的處理液的槳葉，其具備： 形成蜂窩構造的多個攪拌梁， 所述蜂窩構造具有由所述多個攪拌梁形成的多個六邊形的通孔。
2. 如請求項1所述的槳葉，其中， 所述多個攪拌梁分別相對於所述槳葉的移動方向傾斜或者與所述槳葉的移動方向垂直。
3. 如請求項1或2所述的槳葉，其中， 所述多個六邊形的通孔為多個正六邊形的通孔。
4. 如請求項1或2所述的槳葉，其中， 所述攪拌梁的寬度相對於所述多個六邊形的通孔的排列間距的比例小於10%。
5. 如請求項1或2所述的槳葉，其中， 所述攪拌梁的寬度為0.5mm~3.0mm。
6. 如請求項1或2所述的槳葉，其中， 所述多個六邊形的通孔的排列間距為5mm~23mm。
7. 如請求項1或2所述的槳葉，其中， 所述多個六邊形的通孔的排列方向相對於所述槳葉的移動方向傾斜。
8. 如請求項7所述的槳葉，其中， 所述槳葉的移動為往複運動，當將所述多個六邊形的通孔的排列方向相對於所述槳葉的往複運動的方向的角度設為θ、所述槳葉的往複運動的1行程的長度設為T、所述六邊形的通孔的高度設為H、n設為自然數，則tanθ等於n(H/2)/T。
9. 一種處理裝置，其係用於對工件進行處理的處理裝置，其具備： 處理槽，其用於在內部保持處理液； 工件保持架，其保持所述工件； 如請求項1至8中的任一項所述的槳葉；以及 槳葉驅動裝置，其使所述槳葉移動， 所述槳葉配置於所述處理槽內。
10. 一種製造方法，其係用於以在處理槽內移動的方式攪拌該處理槽內的處理液的槳葉的製造方法，其包括將所述槳葉的三維設計數據儲存於立體印表機的儲存裝置內，並且由所述立體印表機基於所述三維設計數據製作所述槳葉的工序， 所述槳葉是如請求項1至8中的任一項所述的槳葉。

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