CN115537902B - 钛网组件以及电镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种钛网组件以及电镀设备，所述钛网组件包括：多个第一阳极盒和多个第一钛网，所述第一阳极盒在幅宽面内沿第一方向和第二方向成列铺设，第一方向与所述第二方向正交，所述第一钛网呈N边形或圆形，每个所述第一阳极盒上罩设所述第一钛网，并限定出电镀空间，所述第一钛网上设置电源接入点，所述电源接入点至所述第一钛网各顶点的距离一致或所述电源接入点与所述第一钛网的圆心重合。由此，通过设置呈N边形或圆形的第一钛网，并使电源接入点位于第一钛网的圆心上，或电源接入点到达第一钛网各个顶点的距离一致，以使第一钛网上的电力线分布更加均匀，并确保各个边缘的边缘效应相同，可以提高镀膜厚度的均匀性，以提高电镀效果。

Description

钛网组件以及电镀设备

技术领域

本发明涉及电镀技术领域，尤其是涉及一种钛网组件以及电镀设备。

背景技术

在进行电镀的过程中，由于产品的厚度较薄，产品表面的导电性较差，钛网组件的边缘效应会体现的尤为明显，现有技术中，钛网组件在电镀膜面上的投影一般为梯形或条形，以通过边缘交错的形式，规避边缘效应，但规避效果较差，且在电镀液膜面垂直方向上仍然存在方阻波峰和波谷效应。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种钛网组件，可以有效降低边缘效应，并提高膜面方阻的均匀性。

本发明进一步提出了一种采用上述钛网组件的电镀设备。

根据本发明第一方面实施例的钛网组件，包括：多个第一阳极盒和多个第一钛网，所述第一阳极盒在幅宽面内沿第一方向和第二方向成列铺设，所述第一方向与所述第二方向正交，所述第一钛网呈N边形或圆形，每个所述第一阳极盒上罩设所述第一钛网，并限定出电镀空间，所述第一钛网上设置电源接入点，所述电源接入点至所述第一钛网各顶点的距离一致或所述电源接入点与所述第一钛网的圆心重合。

根据本发明实施例的钛网组件，通过设置呈N边形或圆形的第一钛网，并使电源接入点位于第一钛网的圆心上，或电源接入点到达第一钛网各个顶点的距离一致，以使第一钛网上的电力线分布更加均匀，并确保各个边缘的边缘效应相同，可以提高镀膜厚度的均匀性，以提高电镀效果。

根据本申请的一些实施例，所述第一阳极盒在所述幅宽面内的投影轮廓与所述第一钛网一致或外切于所述第一阳极盒。

由此，通过使第一阳极盒的外形轮廓与第一钛网一致或外切于第一钛网，一方面，可以提高空间利用率及电镀效率，另一方面，可以通过多边形钛网与第一阳极盒配合以使多个边缘的边缘效应一致性更好，以有效利用边缘效应，或外切于圆形钛网的第一阳极盒与圆形钛网配合，以降低边缘效应，即通过有效利用边缘效应或改善边缘效应的技术角度出发，提高电镀效果。

根据本发明的一些实施例，所述钛网组件还包括：钛排，所述钛排设置于所述第一钛网，所述钛排与所述电源接入点相连，并朝向所述第一钛网的边缘延伸。

由此，可以通过第一钛排向第一钛网传导电流，且第一钛排沿第一钛网的电源接入点向边缘延伸，第一钛网在第一方向或第二方向上对称的两点上电流的流通长度一致，可以有效改善电力线分布，使电力线分布更加均匀，可以将电流均匀分散至第一钛网，确保第一钛网轮廓范围内的电势一致，以提高电镀效果。

进一步地，所述钛排包括：沿所述第一方向延伸的第一钛排和沿所述第二方向延伸的第二钛排，所述第一钛排与所述第二钛排在所述第一钛网的中心相交，且所述第一钛排和所述地安排均延伸至所述第一钛网的边缘。

这样，第一钛排和第二钛排的交点与钛网的电源接入点重合，该区域与上级电源电连接，以使电流可以由第一钛网的中心区域向边缘区域分散，并通过第一钛排和第二钛排限定出四条分散路径，分散路径合理，分散均匀性更好，使第一钛网的电势一致性更好，电镀效果更好。

根据本申请的一些实施例，所述第一阳极盒呈正六边形，并在幅宽面内密铺，在第一方向上，每个所述第一阳极盒的中心，和与其在第二方向上相邻的第一阳极盒的边缘平齐，所述第一方向与所述第二方向正交。

由此，通过设置多个呈正六边形结构的第一阳极盒，一方面，可以实现多个第一阳极盒在幅宽面内的密铺，充分利用幅宽空间，可以布置更多的第一阳极盒，提高电镀效率；另一方面，每个第一阳极盒的中心，与在第二方向上和其相邻的第一阳极盒的边缘位于同一直线上，可以改善每个第一阳极盒内的电力线分布，以改善边缘效应，从而提高电镀后产品的质量。

在一些实施例中，所述钛网组件还包括：第二钛网，在所述第二方向上，具有第一列钛网至第N列钛网，其中，偶数列钛网在所述第一方向上的两端设置有呈等腰梯形的第二阳极盒，且所述第二阳极盒的长边长度为短边长度的2倍，第二钛网盖设于所述第二阳极盒，以更加充分的利用幅宽面，提高电镀效率。

进一步地，所述第一钛网为圆形钛网或正六边形钛网，所述第二钛网为等腰梯形钛网或半圆形钛网，可以充分利用幅宽面尺寸，提高电镀效率的前提下，半圆形钛网的周侧边缘的电镀作用形状、作用面积一致，而等腰梯形钛网的多个侧边，可以正向利用边缘效应。

进一步地，所述第二钛网的电源接入点位于所述第二钛网的长边中点，以使电源接入点到长边两端的距离与电源接入点到达短边的最短距离一致，可以提高第二钛网的电力线分布均匀性，电势一致性，以提高第二钛网的电镀效果。

进一步地，所述第二钛网上设置有第三钛排，所述第三钛排与所述电源接入点相连，并朝向所述第二钛网的边缘延伸。

由此，可以通过第三钛排向第二钛网传导电流，且第三钛排沿第二钛网的电源接入点向边缘延伸，可以将电流均匀分散至第二钛网，确保第二钛网轮廓范围内的电势一致，以提高电镀效果。

根据本发明第二方面实施例的电镀设备，包括：上述实施例中任一项所述的钛网组件。

根据本发明实施例的电镀设备，采用上述钛网组件，在提高电镀效率的同时，能够改善膜面方阻，以提高电镀效果。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明第一实施例的钛网组件的示意图；

图2是根据本发明第一实施例的第一阳极盒与第一钛网的配合示意图；

图3是根据本发明第二实施例的钛网组件的示意图；

图4是根据本发明第二实施例的第一阳极盒与第一钛网的配合示意图。

附图标记：

钛网组件100，

第一阳极盒10，

第一钛网20，

第一钛排31，第二钛排32，第三钛排33，

第二钛网40，

第二阳极盒50。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

下面参考图1-图4描述根据本发明实施例的钛网组件100以及电镀设备。

如图1和图3所示，根据本发明第一方面实施例的钛网组件100，包括：多个第一阳极盒10和多个第一钛网20，第一阳极盒10与第一钛网20之间限定出电镀空间，需要电镀的产品可以放置在电镀空间内(例如：第一钛网20与第一阳极盒10的底壁之间具有1mm间隙，而产品可以设置在该间隙内)，并通过向第一钛网20供电，以对浸润在电镀液内的产品进行电镀作业。

示例性地，第一阳极盒10采用绝缘耐腐蚀材料，多个第一阳极盒10和多个第一钛网20均浸没在电镀液中，并对第一钛网20进行通电，即可进行电镀。

第一阳极盒10在幅宽面内，沿第一方向和第二方向成列铺设，第一方向与第二方向正交(第一方向为幅宽面内的长度方向或宽度方向，对应第二方面为幅宽面内的宽度方向或长度方向)，第一钛网20呈N边形或圆形，N≥6，每个第一阳极盒10上罩设一第一钛网，并限定出点入空间，第一钛网20上设置电源接入点，电源接入点至第一钛网20各定点的距离一致或电源接入点与第一钛网20的圆心重合。

其中，第一钛网20可以为六边形、七边形、八边形等，第一钛网20的边更多，相邻的使第一钛网20的边更多，相邻的第一钛网20处于相同方向上的边缘具有相同的边缘效应，在电镀过程中，通过电镀液的不断走带，可以使产品的边缘的电镀厚度相同，而第一钛网20的边缘的数量越多，利用边缘效应的效果更好，当多边形的边缘数量无限多时，第一钛网20的形状越接近圆形，或直接形成为圆形的第一钛网20。

进而，在电镀过程中，电源接入点位于呈圆形的第一钛网20的圆心上，或电源接入点到达第一钛网20的各顶点的距离一致，电流流经第一钛网20在第一方向和第二方向上对称的任意两点的流动长度一致，可以使电力线分布更加均匀，并基于更多边缘的引入，以有效利用边缘效应，可以确保电镀走带过程中，产品上的镀膜厚度均匀性更好，电镀效果更好。

示例性地，第一钛网20呈多边形的实施例中，电源接入点位于第一钛网20内，且电源接入点与各个顶点之间的连线长度一致，以使电流流向各个边缘的流经长度一致，以改善电力线分布，优选使第一钛网20在第一方向上和第二方向上构造为轴对称结构，则可以进一步提高电势一致性效果，而第一钛网20呈圆形的实施例中，电源接入点与第一钛网20的圆心重合，电源接入点到边缘上任一点的长度均相等，以使电流流向边缘上各点的流经长度一致，也可以改善电力线分布，并实现电势一致性效果。

根据本发明实施例的钛网组件100，通过设置呈N边形或圆形的第一钛网20，并使电源接入点位于第一钛网20的圆心上，或电源接入点到达第一钛网20各个顶点的距离一致，以使第一钛网20上的电力线分布更加均匀，并确保各个边缘的边缘效应相同，可以提高镀膜厚度的均匀性，以提高电镀效果。

需要指出的是，第一钛网20罩设在第一阳极盒10内，第一钛网20可以与第一阳极盒10的外形轮廓一致或不同。

根据本申请的一些实施例，如图1和图3所示，第一阳极盒10在幅宽面内的投影轮廓与第一钛网20一致或外切于第一阳极盒10。

换言之，第一钛网20可以为六边形，对应第一阳极盒10可以为六边形，且两者轮廓尺寸相同，第一钛网20还可以为圆形，对应第一阳极盒10构造为外切第一钛网20的多边形。

示例性地，在一些实施例中，如图1和图2所示，第一钛网20可以为圆形钛网，以盖设于第一阳极盒10。

由此，在电镀过程中，第一阳极盒10和第一钛网20水平浸没在电镀液内，电镀液膜面在第一阳极盒10内运行时，圆形钛网的周侧边缘对电镀液膜面的电镀作用面积一致，作用形状一致，可以降低钛网对电镀液膜面的边缘效应，使边缘效应降至最低，以尽可能的减少第一钛网20电镀时的边缘效应，可以改善对水平全浸没式电镀的膜面方阻均匀性，有效提升电镀设备的电镀能力。

优选地，第一阳极盒10外切于第一钛网20(第一钛网20的外形轮廓为第一阳极盒10外形轮廓的内切圆)，以使第一阳极盒10内被第一钛网20覆盖区域的面积更大，单个第一阳极盒10内可以进行电镀的区域的面积更大，以提高电镀效率。

在另一些实施例中，如图3和图4所示，第一钛网20可以为多边形钛网(例如：正六边形)，以盖设于第一阳极盒10。

由此，通过设置呈多边形的第一钛网20，在电镀过程中，第一阳极盒10和第一钛网20水平浸没在电镀液内，电镀液膜面在第一阳极盒10内运行时，电镀液膜面各边缘经过的第一钛网20的边长一致，相较传统梯形钛网和条形钛网，边数更多，边缘效应更加明显，而六个边的边长一致，可以利用一致的边缘效应，以使电解液膜面在各个方向上受到的边缘效应更加均匀。

优选地，第一钛网20的轮廓尺寸与第一阳极盒10的内壁尺寸一致，以使第一阳极盒10内被第一钛网20覆盖区域的面积更大，单个第一阳极盒10内可以进行电镀的区域的面积更大，以提高电镀效率。

综上，通过使第一阳极盒10的外形轮廓与第一钛网20一致或外切于第一钛网20，一方面，可以提高空间利用率及电镀效率，另一方面，可以通过多边形钛网与第一阳极盒10配合以使多个边缘的边缘效应一致性更好，以有效利用边缘效应，或外切于圆形钛网的第一阳极盒10与圆形钛网配合，以降低边缘效应，即通过有效利用边缘效应或改善边缘效应的技术角度出发，提高电镀效果。

如图2和图4所示，根据本发明的一些实施例，钛网组件100还包括：钛排，钛排设置于第一钛网20，钛排与电源接入点相连，并朝向第一钛网20的边缘延伸。

即，钛排沿第一钛网20的电源接入点向第一钛网20边缘延伸，并用于传导电流至第一钛网20。

由此，可以通过第一钛排31向第一钛网20传导电流，且第一钛排31沿第一钛网20的电源接入点向边缘延伸，第一钛网20在第一方向或第二方向上对称的两点上电流的流通长度一致，可以有效改善电力线分布，使电力线分布更加均匀，可以将电流均匀分散至第一钛网20，确保第一钛网20轮廓范围内的电势一致，以提高电镀效果。

在图2和图4所示的实施例中，钛排包括：沿第一方向延伸的第一钛排31和沿第二方向延伸的第二钛排32，第一钛排31与第二钛排32在第一钛网20的中心相交，且第一钛排31和第二钛排32均延伸至第一钛网20的边缘。

也就是说，第一钛排31和第二钛排32相交并限定出“十”字形的钛排，对应可以在幅宽面内限定出第一象限至第四象限，每个象限内的电力线分布一致，可以有效改善电力线分布，使电力线分布更加均匀，电势一致性更好。

示例性地，如图2和图4所示，定义第一钛排31与第二钛排32组成的“十”字形的钛排上，三点钟方向作为起始位置，逆时针方向上分别为第一象限、第二象限、第三象限和第四象限，第一象限选取点1，第二象限选取点2，第三象限选取点3，第四象限选取点4，则点1坐标为(x，y)，点2坐标为(-x，y)，点3坐标为(-x，-y)，点4坐标为(x，-y)，且四个点均位于第一钛网20的边缘上，四个点到达电源接入点的距离一致，分别通过第一钛排31和第二钛排32向四个点进行供电时，四个点的距离一致，对应电势一致，电流大小一致，可以有效提高电力线分布均匀性。

也就是说，第一钛排31和第二钛排32的交点与钛网的电源接入点重合，该区域与上级电源电连接，以使电流可以由第一钛网20的中心区域向边缘区域分散，并通过第一钛排31和第二钛排32限定出四条分散路径，分散路径合理，分散均匀性更好，使第一钛网20的电势一致性更好，电镀效果更好。

如图1和图3所示，第一阳极盒10呈正六边形，并在幅宽面内密铺，在第一方向上，每个第一阳极盒10的中心，和与其在第二方向上相邻的第一阳极盒10的边缘平齐。

具体而言，使每个第一阳极盒10均呈正六边形，以使多个第一阳极盒10可以在幅宽面(电镀设备用于容置电镀液的容器的水平面)内实现密铺，在有限的空间内，可以布置更多的第一阳极盒10，充分利用幅宽空间，可以提升电镀效率。进而，多个第一阳极盒10在第二方向上成列设置，每个第一阳极盒10的中心，与在第二方向上与其相邻的第一阳极盒10的边缘平齐，即每个第一阳极盒10的中心，与在第二方向上和其相邻的第一阳极盒10的边缘位于同一直线上，可以使多个第一阳极盒10限定出的电镀空间内电镀液膜面的电力线分布更加均匀，以改善边缘效应，降低边缘效应的影响，使电镀后产品的厚度更加均匀。

根据本发明实施例的钛网组件100，通过设置多个呈正六边形结构的第一阳极盒10，一方面，可以实现多个第一阳极盒10在幅宽面内的密铺，充分利用幅宽空间，可以布置更多的第一阳极盒10，提高电镀效率；另一方面，每个第一阳极盒10的中心，与在第二方向上和其相邻的第一阳极盒10的边缘位于同一直线上，可以改善每个第一阳极盒10内的电力线分布，以改善边缘效应，从而提高电镀后产品的质量。

优选地，第一钛网20可以为六边形或圆形，并设置在呈正六边形密铺的第一阳极和10内，可以结合蜂窝排布，达到边缘效应影响一致、可控的技术效果，即按照蜂窝排布分布在整个幅宽面的多个第一钛网20，可以利用一致的边长均匀边缘效应，以达到水平全浸没式膜面电镀设备的方阻均匀性的提升。

如图1和图3所示，在一些实施例中，钛网组件100还包括：第二钛网40，在第二方向上，具有第一列钛网至第N列钛网，其中，偶数列钛网在第一方向上的两端设置有呈等腰梯形的第二阳极盒50，且第二阳极盒50的长边长度为短边长度的2倍，第二钛网40盖设于第二阳极盒50。

由此，可以更加充分的利用幅宽面，以提高电镀效率。

如图2和图4所示，第二钛网40为等腰梯形钛网或半圆形钛网。

具体地，在第一钛网20构造为圆形钛网的实施例中，第二钛网40构造为半圆形钛网，并与等腰梯形的第二阳极盒50内切，在第一钛网构造为正六边形的实施例中，第二钛网40构造为等腰梯形钛网，并与等腰梯形的第二阳极盒50外形轮廓尺寸大小一致，充分利用幅宽面尺寸，提高电镀效率的前提下，半圆形钛网的周侧边缘的电镀作用形状、作用面积一致，而等腰梯形钛网的多个侧边，可以正向利用边缘效应。

进一步地，第二钛网40的电源接入点位于第二钛网40的长边中点上，以使电源接入点到长边两端的距离与电源接入点到达短边的最短距离一致，可以提高第二钛网40的电力线分布均匀性，电势一致性，以提高第二钛网40的电镀效果。

其中，长边和短边为梯形相对的两个边，两者通过腰边相连。

在一些实施例中，第二钛网40上设置有第三钛排33，第三钛排33与电源接入点相连，并朝向第二钛网40的边缘延伸，以通过第三钛排33与上级电源电连接。

由此，可以通过第三钛排33向第二钛网40传导电流，且第三钛排33沿第二钛网40的电源接入点向边缘延伸，可以将电流均匀分散至第二钛网40，确保第二钛网40轮廓范围内的电势一致，以提高电镀效果。综上，本发明实施例的钛网组件100，第一钛网20呈N边形或圆形，N≥6，并使电源接入点至第一钛网20各顶点的距离一致或电源接入点位于第一钛网20的圆心，可以改善电力线分布，提高电势一致性，并利用多个边缘的边缘效应相同，以提高电镀效果，进而采用呈正六边形的第一阳极盒10，也可以进一步改善边缘效应，以提高电镀效果，而采用圆形钛网与第一阳极盒10配合，则可以通过有效降低边缘效应的方式，改善膜面方阻；进一步采用正六边形钛网与第一阳极盒10配合，可以利用六边形钛网的六个边长一致的边，正向利用边缘效应，按照蜂窝结构的分布，使边缘效应达到一致、可控的程度，以提高电镀效果，改善膜面方阻。

根据本发明第二方面实施例的电镀设备，包括：上述实施例中任一项的钛网组件100。

根据本发明实施例的电镀设备，采用上述钛网组件100，在提高电镀效率的同时，能够改善膜面方阻，以提高电镀效果。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。

在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。

在本发明的描述中，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种钛网组件，其特征在于，包括：

多个第一阳极盒（10），所述第一阳极盒（10）在幅宽面内，沿第一方向和第二方向成列铺设，所述第一方向与所述第二方向正交；

多个第一钛网（20），所述第一钛网（20）呈N边形或圆形，N≥6，每个所述第一阳极盒（10）上罩设一所述第一钛网（20），并限定出电镀空间，所述第一钛网（20）上设置电源接入点，所述电源接入点至所述第一钛网（20）各顶点的距离一致或所述电源接入点与所述第一钛网（20）的圆心重合；

所述第一阳极盒（10）在所述幅宽面内的投影轮廓与所述第一钛网（20）一致或外切于所述第一阳极盒（10）；

还包括：钛排，所述钛排设置于所述第一钛网（20），所述钛排与所述电源接入点相连，并朝向所述第一钛网（20）的边缘延伸；

所述钛排包括：沿所述第一方向延伸的第一钛排（31）和沿所述第二方向延伸的第二钛排（32），所述第一钛排（31）与所述第二钛排（32）在所述第一钛网（20）的中心相交，且所述第一钛排（31）和所述第二钛排（32）均延伸至所述第一钛网（20）的边缘；

其中，所述幅宽面为电镀设备用于容置电镀液的容器的水平面；

在第一方向上，每个所述第一阳极盒（10）的中心，和与其在第二方向上相邻的第一阳极盒（10）的边缘平齐。

2.根据权利要求1所述的钛网组件，其特征在于，所述第一阳极盒（10）呈正六边形，并在幅宽面内密铺。

3.根据权利要求2所述的钛网组件，其特征在于，还包括：第二钛网（40），在所述第二方向上，具有第一列钛网至第N列钛网，其中，偶数列钛网在所述第一方向上的两端设置有呈等腰梯形的第二阳极盒（50），且所述第二阳极盒（50）的长边长度为短边长度的2倍，第二钛网（40）盖设于所述第二阳极盒（50）。

4.根据权利要求3所述的钛网组件，其特征在于，所述第一钛网（20）为圆形钛网或正六边形钛网，对应所述第二钛网（40）为半圆形钛网或等腰梯形钛网。

5.根据权利要求4所述的钛网组件，其特征在于，所述第二钛网（40）的电源接入点位于所述第二钛网（40）的长边中点。

6.根据权利要求5所述的钛网组件，其特征在于，所述第二钛网（40）上设置有第三钛排（33），所述第三钛排（33）与所述电源接入点相连，并朝向所述第二钛网（40）的边缘延伸。

7.一种电镀设备，其特征在于，包括：权利要求1-6中任一项所述的钛网组件。