TW202126559A - 振動輸送裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種振動輸送裝置，其包括可以不導致大幅的成本提高、構造的複雜化地容易地調整顛簸的防振構造。振動輸送裝置通過振動輸送線型輸送面上的輸送對象物，其中，包含包括線型輸送面的第一質量體、相對於第一質量體以反相位振動的第二質量體、連接第一質量體和第二質量體的第一彈性體以及連接基台和第一彈性體的第二彈性體，關於第二彈性體的水平方向的彈性係數和第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，至少能夠獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數。

Description

振動輸送裝置

本發明涉及可將輸送對象物沿預定方向輸送的振動輸送裝置。

另外，本發明涉及通過使決定共振特性的主機械要素的安裝狀態適當化實現了作為振動機的高頻率、大振幅化的旋轉振動機及振動輸送裝置。

一直以來，已知可以將工件等輸送對象物通過振動沿輸送路輸送至預定的輸送目的地的振動輸送裝置。振動輸送裝置包含包括輸送路的可動部（第一質量體）、作為固定部發揮功能的第二質量體、以及連接第一質量體和第二質量體的板狀的第一彈性體（驅動彈簧），而且構成為，通過使可動部（第一質量體）包括的輸送路在水平方向上振動，可以將輸送對象物向輸送方向下游側輸送。另外，振動輸送裝置構成為，利用第二彈性體（防振彈簧）從大地支撐包括第一質量體、第二質量體以及第一彈性體的構造物。

在這樣的振動輸送裝置中，若振動時，由第二彈性體支撐的構造物在振動輸送方向上產生旋轉的運動（類似於搖頭的運動、以下稱為“顛簸”），則輸送路不能均勻地振動，特別是輸送路的末端（輸送方向下游端）處的振動增大，輸送對象物被粗暴地輸送，產生與下一工序的連接不良、輸送不良等，對平順的輸送處理產生不良影響。

若由彈性體（驅動彈簧）的安裝角度規定的彈性主軸、第一質量體的重心以及第二質量體的重心完全一致，則能夠防止或有效抑制顛簸。但是，對於實際設備難以應用完全滿足上述條件的重心設計，因此，抑制顛簸是困難的課題。

因此，提出有如下技術：通過改變作為防振彈簧的平板狀的彈簧（防振板簧）的角度，調整防振板簧的垂直方向的彈簧常數，抑制顛簸（專利文獻1、專利文獻2）。在使用平板狀的彈簧（防振板簧）作為防振彈簧的情況下，通過調整防振板簧的垂直方向的彈簧常數抑制顛簸的原理如以下。

也就是，在由防振板簧支撐的結構體進行顛簸（旋轉運動）的情況下，為了抑制該顛簸，當強化（加強）防振板簧的垂直方向地向結構體傳導來自大地（穩定的基台等）的反作用力時，對結構體作用與旋轉方向相反的朝向的力，抑制顛簸。但是，當強化（加強）防振板簧的垂直方向時，對大地的反作用力增加，對搭載設備產生影響，防振板簧的水平方向減弱，因此，作為設計方針，優選在探討最佳的重心設計後，抑制因防振板簧而引起的顛簸。

另外，一直以來，已知可以將工件等輸送對象物通過振動沿輸送路輸送至預定的輸送目的地的振動輸送裝置。振動輸送裝置包含包括輸送路的可動部（第一質量體）、作為固定部發揮功能的第二質量體、以及連接第一質量體和第二質量體的板狀的第一彈性體（驅動彈簧），而且構成為，通過利用激振源使可動部（第一質量體）包括的輸送路在水平方向上振動，可以將輸送對象物向輸送方向下游側輸送。另外，振動輸送裝置構成為，利用第二彈性體（防振彈簧）從大地支撐包括第一質量體、第二質量體以及第一彈性體的構造物。

由於輸送對象物的生產量增大，要求來自振動輸送裝置的供給量（振動輸送裝置的輸送速度）的提高在此以上。為了提高輸送速度，提升頻率及振幅是第一優先事項。

因此，為了實現高頻大振幅的振動，提出了將在目標振幅時也不會破損的一張薄的板簧重疊多個來使用的方案（重疊板簧方式）（專利文獻3）。

當採用這樣的重疊板簧方式時，越重疊板簧，作為第一彈性體的彈簧常數越大，越可能成為高頻振動，並且，能夠將即使大振幅下各個板簧也不會破損的驅動彈簧搭載於振動輸送裝置。

另外，作為旋轉振動機的種類，例如，一直以來一般為圖14所示那樣的構造。該旋轉振動機100構成為包含作為第一質量體的振動盤101、與該振動盤101在對置軸m方向上相對配置的作為第二質量體的基台102、使上述振動盤101和上述基台102繞上述對置軸m相對振動的激振源103、以及配置於將上述振動盤101和上述基台102之間連接的位置的第一彈性體104。

在這樣的旋轉振動機100的振動盤101上如圖14所示地安裝輸送路105例如用作作為物品輸送裝置的送料器PF時，為了提高輸送速度，對該旋轉振動機100也要求高頻率、大振幅化。

就旋轉振動機100而言，主要第一彈性體104為決定共振特性的因素。例如，在第一彈性體104為如圖示的板簧的情況下，若將板簧104加厚、加長，則能夠應對近年來的高頻率、大振幅化的要求。

專利文獻4示出了對連接振動盤和基台的板簧進行了改良的重疊板簧構造。目前由單個板簧構成，因此，存在因成為厚壁而容易折斷的問題。對於此，在該文獻中由多個板簧實現一個板簧的功能，各個板簧容易彎曲，因此作為整體，消除了板簧折斷的問題。

現有技術文獻 專利文獻1：日本特開2012－66931號公報（日本專利第5741993號公報） 專利文獻2：日本特開2007－276963號公報（日本專利第5332080號公報） 專利文獻3：日本特開平09－123126號公報（日本專利第3509397號公報） 專利文獻4：日本特開2012－96853號公報

另外，若構成為通過一個防振彈簧實現防振功能（水平方向的防振性）和顛簸抑制功能（垂直方向的防振性）這兩個功能，則在通過防振板簧的角度調整垂直方向的彈簧常數的情況下，防振板簧的水平方向的彈簧常數肯定變化，僅通過使防振板簧的傾斜角度稍微變化，便能夠使顛簸的程度變化，要求苛刻的角度調整。

另外，由於將防振板簧設置於基台與第二質量體之間，因此第二質量體在水平上大幅振動，需要縮小防振板簧的水平方向的彈簧常數。其結果，防振板簧在水平方向上削弱，當施加衝擊時，產生錯位。

因此，在由平板狀的彈簧構成防振彈簧的現有的振動輸送裝置中，只能調整防振板簧的角度，因此垂直方向和水平方向的調整處於折中的關係，不能將垂直方向和水平方向的彈簧常數獨立地調整。

本發明著眼於這樣的方面，主要目的在於提供包括可以容易地調整顛簸的防振構造的振動輸送裝置。

另外，不管如何採用重疊板簧方式，現有的板簧一般在將第一質量體和第二質量體的兩端彼此分別連接的位置通過螺栓固定。

在此，作為用於提高輸送速度的點，可以列舉提高共振特性的峰值（以下，有時簡稱為共振峰值）的點。即，即使是相同的激振力，共振倍率越高，能夠得到越大的振幅，越能夠以小的激振力實現大振幅，這有助於輸送速度的提高。

但是，如果是在通過板簧連接第一質量體和第二質量體的兩端彼此時必須進行螺栓固定的現有結構，則由於板簧與螺栓平墊片的摩擦，粘性衰減增加，存在共振峰值降低的問題。另外，由於板簧的大的彈性變形（彎曲），與平墊片的固定形狀變化，板簧的有效長度變化，由此原本為線性特性彈簧的板簧成為非線形特性彈簧，這也成為共振峰值降低因素，另外考慮為導致驅動頻率（共振頻率）降低的因素。

而且，如果是將連接第一質量體和第二質量體的兩端彼此的板簧用螺栓固定的現有結構，則在板簧撓曲時，在第一質量體及第二質量體的兩端（彈簧固定端）作用彎矩。由此，期望為剛性體的第一質量體及第二質量體成為以S字狀撓曲的彈性體。當第一質量體及第二質量體以S字狀撓曲時，在部件間產生摩擦，粘性衰減增加，從而共振峰值、驅動頻率降低。

本發明著眼於這樣的點，主要目的在於提供一種振動輸送裝置，即使是設計上受限制的有限的激振力，也能夠發揮大振幅的振動性能，提高輸送對象物的輸送速度。

另外，為了實現高頻率、大振幅，要求儘量降低激振損失。激振損失是因彈簧與固定部件之間的內部摩擦等產生的激振能量的損失。

圖14中第一彈性體104由長方形的板簧構成。板簧104是長方形狀，且在振動盤101與基台102的對置軸m的周圍沿與該對置軸m傾斜的方向延伸配置。

如圖15所示，將板簧104的基台固定側β的厚度方向、寬度方向中心設為原點O，將長邊方向設為z軸、將厚度方向設為x軸，將寬度方向設為y軸，將對置軸m設為旋轉軸。

在圖14所示的送料器PF中，在振動盤101和基台102彼此向不同的方向旋轉的情況下，在沿縱向設置於外周的板簧104，如圖16所示地，在原點O側及相反側的彈簧兩固定端產生由x方向的力Fx、F´x和繞y軸的固定力矩My、M´y形成的長邊方向的彎曲即A模式的撓曲。也就是，對在兩端固定連接有板簧104的振動盤101、基台102也作用Fx、F´x和My、M´y。

一直以來，作為例如原點O和相反側的板簧的固定方法，包括如圖17（a）所示地沿y軸方向的固定方法和如圖17（b）所示地沿x軸方向的固定方法。

在圖17（a）的情況下，由於進行y軸方向螺栓固定，因此當產生繞y軸的彎矩My時，板簧104繞螺栓v產生旋轉滑動。產生該滑動時，導致因摩擦而引起的能量損失，共振倍率下降，其結果，無法以小的激振力實現大振幅。

另一個方面，在圖17（b）的情況下，由於進行x軸方向的螺栓固定，相對於如圖16所示的x軸方向的力Fx，在正交方向上進行螺栓固定，因此不存在問題。但是，如圖17（c）所示，繞y軸的彎矩My例如傳遞至旋轉盤側固定部α。即，當板簧104變形時，本來如該圖17（c）用虛線所示地彈簧懸臂梁式地撓曲，但由於將其保持於旋轉盤側固定部α，如圖中箭頭所示的繞y軸的力矩My傳遞至旋轉盤側固定部α。此時，在連接的振動盤101為了輕量化而為薄的圓盤型的情況下等，旋轉盤側固定部α承受彎矩，如圖17（d）所示地，振動盤101起伏地撓曲。於是，彈簧不以S字形彎曲，頻率不能提高，因此，無法實現高頻率。另外，由於振動盤101起伏，與配置於振動盤101之上的輸送體B產生接觸干涉、摩擦，依然產生激振損失，無法實現大振幅化。在彈簧不以S字彎曲的情況下，對於第一彈性體的彈性係數計算，需要追加因振動盤101等的撓曲而引起的彈簧固定端條件，形成更複雜的計算式。

但是，若將作為第一質量體的振動盤101加厚，則慣性力矩提高，若外周加厚，則難以旋轉。從而，由此也難以實現高頻率、大振幅化。

這樣的問題即使在重疊板簧之前的單一板簧構造中也完全相同。在重疊板簧構造的情況下，在板簧彼此之間還存在滑動的問題。

本發明的目的在於實現旋轉振動機及振動輸送裝置，通過將作為決定共振特性的主機械要素的第一彈性體適當地安裝於質量體，消除因部件間的滑動、彈簧固定部件的撓曲而引起的激振損失，可以實現作為振動機的高頻率、大振幅化。

即，本發明的第一實施方式涉及通過振動輸送線型輸送面上的輸送對象物的振動輸送裝置。在此，作為輸送對象物，例如，能夠列舉微小尺寸的電子元件（工件）、醫療用部件等，但可通過本實施方式的振動輸送裝置輸送的部件不限於此。

而且，本實施方式的振動輸送裝置的特徵在於，包含包括線型輸送面的第一質量體、相對於第一質量體以反相位振動的第二質量體、連接第一質量體和第二質量體的第一彈性體、以及連接基台和第二質量體或第一彈性體的第二彈性體，關於第二彈性體的水平方向的彈性係數和第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，至少能夠獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數。

在此，本實施方式的“第二彈性體的水平方向的彈性係數”與“第二彈性體中的水平成分的彈性係數”意思相同，“第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數”與“第二彈性體中的鉛垂成分的彈性係數”意思相同。另外，本實施方式中的“水平方向”是指沿由第一彈性體的安裝角度規定的彈性主軸的方向（相對於彈性主軸平行或大致平行的方向），本實施方式中的“鉛垂方向”是指相對於彈性主軸正交或大致正交的方向（相對於彈性主軸的法線方向）。即，本實施方式中，以第一彈性體的彈性主軸為基準決定第二彈性體的水平方向及鉛垂方向，“第二彈性體的水平方向的彈性係數”中的水平方向有時與和地球的重力方向以直角相交的方向（物理學上定義的水平方向）一致，也有時是與地球的重力方向不以直角相交的方向，同樣地，“第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數”中的鉛垂方向有時與地球的重力方向（物理學上定義的鉛垂方向）一致，也有時與地球的重力方向不一致。本實施方式的振動輸送裝置關於這樣的第二彈性體的水平方向的彈性係數和第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，只要是至少能夠獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數的結構即可，第二彈性體的外觀形狀沒有特別限定。

根據本實施方式的振動輸送裝置，當通過適當的激振機構使連接第一質量體和第二質量體的第一彈性體驅動而振動時，第二質量體作為固定部（平衡配重）發揮功能，第二彈性體作為防振體發揮功能，從而第一質量體振動，能夠將線型輸送面上的輸送對象物沿預定的輸送方向輸送。進一步地，根據本實施方式的振動輸送裝置，關於第二彈性體的水平方向的彈性係數和第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，構成為至少能夠獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，因此，能夠不對第二彈性體的水平方向的彈性係數產生影響地將第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數設定為可抑制顛簸的彈性係數，能夠實現容易進行顛簸調整的裝置。從而，能夠在預先將第二彈性體的水平方向的彈性係數設定得較大，設定為在從外部施加衝擊的情況下也難以產生錯位的裝置（耐強衝擊裝置）的狀態下，對第二彈性體的水平方向的彈性係數不產生影響地將第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數設定為可抑制顛簸的彈性係數。

特別是本實施方式的振動輸送裝置若構成為可以獨立改變第二彈性體的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數，則能夠通過不改變第二彈性體的水平方向的彈性係數而僅調整第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，從而容易進行顛簸調整，並且通過不改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數而（例如保持維持為可抑制顛簸的彈性係數的狀態）僅調整第二彈性體的水平方向的彈性係數，從而能夠將第二彈性體的水平方向的彈性係數設定得較大，能夠實現在從外部施加衝擊的情況下也難以發生錯位的裝置（耐強衝擊裝置）。

特別是本實施方式的振動輸送裝置若將第二彈性體的一端安裝於第一彈性體的振動的節，則由於節是在水平方向及鉛垂方向上不位移（不振動）的部分，因此通過將第二彈性體的一端安裝於該節，起到防振作用，由此能夠將第二彈性體的水平方向的彈性係數設定得較大。此外，節可以作為點指定，但是本實施方式中的“第一彈性體的節”是包括第一彈性體中的包括可以作為點指定的節的預定區域的概念。

此外，日本特開平11－91928號公報中關於壓電驅動型輸送裝置公開了i）在以橫向配設的激振體的上表面固定慣性質量體，在其下表面固定激振體安裝部件的結構、ii）將激振體安裝部件和輸送體經由傾斜豎立設置的第一連結部件連結固定的結構、iii）在第一連結部件的長邊方向中間部固定連結部件支撐片，將連結部件支撐片和基台經由第二連結部件連結固定的結構，特別是公開iv）通過將第二連結部件的一端通過螺紋固定等機構固定於基台的兩端部側面，將第二連結部件的另一端固定於連結部件支撐片，且將連結部件支撐片固定於第一連結部件的成為節的部分的結構，能夠大幅減少從支撐壓電驅動型輸送裝置的基台向其設置面的振動。在此，該公報中的“固定於第一連結部件的成為節的部分”的構件不是彈性體而是連結部件支撐片，這點與本實施方式存在明確的差異。於是，能夠容易地理解，若為該公報記載的結構，則不能完全進行參與顛簸的抑制的鉛垂方向的彈性係數的調整。

在本實施方式的振動輸送裝置中，在作為第二彈性體應用了包含相對於鉛垂方向的振動成分能夠調整彈性係數的水平臂部、和相對於水平方向的振動成分能夠調整彈性係數的鉛垂臂部的至少一方的彈性體的情況下，形狀簡單，並且能夠實現本實施方式的目的的結構。也可以包含水平臂部及鉛垂臂部雙方，或者僅包含任意一方的臂部。此外，第二彈性體的水平臂部和鉛垂臂部不必一定是正交關係，也可以是不正交的關係（水平臂部和鉛垂臂部以90度以外的角度相交的關係）。

在作為第二彈性體應用了包含水平臂部及鉛垂臂部的彈性體的情況下，若構成為包含將水平臂部及鉛垂臂部的至少任意一方的臂部在厚度方向上按壓的彈性調整部件，且通過彈性調整部件調整被按壓成不能彈性變形的區域，可以改變調整對象的臂部的有效長度，則能夠在保持將臂部與臂部的連接對象構件（基台和第二質量體或第一彈性體）的相對位置關係維持為適當位置關係的狀態下，簡單地調整臂部的有效長度，其結果，能夠簡單地進行相對於鉛垂方向的振動成分的彈性係數及相對於水平方向的振動成分的彈性係數中的至少任一方的彈性係數的調整。

特別是若第二彈性體為一體包括水平臂部及鉛垂臂部的L字型的板簧（將一個平板狀的板簧折彎成L字狀），則通過適當調節、改變水平臂部及鉛垂臂部的任一方的有效長度、或者雙方的有效長度，能夠將第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數（彈簧常數）、水平方向的彈性係數（彈簧常數）個別地設定為適當的值。在此，若調整L字型的板簧的縱向的有效長度（鉛垂臂部的有效長度），則能夠調整水平方向的彈簧常數，若調整L字型的板簧的橫向的有效長度（水平臂部的有效長度），則能夠調整垂直方向的彈簧常數。

另外，本發明的第二實施方式涉及通過振動將線型輸送面上的輸送對象物輸送的振動輸送裝置。在此，作為輸送對象物，能夠列舉例如微小尺寸的電子元件（工件）、醫療用部件等，但可由本實施方式的振動輸送裝置輸送的部件不特別受限定。

而且，本實施方式的振動輸送裝置包含包括線型輸送面的第一質量體、配置於相對於第一質量體在高度方向上對置的位置且相對於第一質量體以反位相振動的第二質量體、以及連接第一質量體和第二質量體的第一彈性體，使第一質量體的至少一部分、第二質量體的至少一部分以及第一彈性體為一體構造。

在此，本實施方式中的“使第一質量體的至少一部分、第二質量體的至少一部分以及第一彈性體為一體構造”的形態包括i）使第一質量體的全部、第二質量體的全部以及第一彈性體為一體構造的形態、ii）使第一質量體的一部分、第二質量體的全部以及第一彈性體為一體構造的形態、iii）使第一質量體的全部、第二質量體的一部分以及第一彈性體為一體構造的形態、iv）使第一質量體的一部分、第二質量體的一部分以及第一彈性體為一體構造的形態、這些全部的形態。以下，將成為一體構造的塊設為一體構造物。線型輸送面構成第一質量體，但在採用ii）的形態、及iv）的形態的情況下，第一質量體包含構成一體構造物的構件和與一體構造物分體的構件，能夠適當選擇是在第一質量體中的構成一體構造物的構件形成線型輸送面，還是在與一體構造物分體的構件形成線型輸送面。

根據本實施方式的振動輸送裝置，使第一質量體的至少一部分、第二質量體的至少一部分、以及第一彈性體為一體構造，因此，在第一質量體與第一彈性體的連接部位、以及第二質量體與第一彈性體的連接部位不產生摩擦，與通過螺栓等固定件將第一彈性體固定於第一質量體、第二質量體的結構相比，粘性係數減小，共振峰值不會降低。另外，即使大振幅時，固定條件（連接部位處的連接條件）也不變化，能夠減小因第一彈性體的彈簧常數非線形性而引起的驅動頻率（共振頻率）的降低。在此，若為通過螺栓等固定件將第一彈性體固定於第一質量體、第二質量體的結構，則第一彈性體的振幅越大，在作為第一彈性體的板簧與螺栓中的與板簧接觸的螺栓端面之間、板簧與第一質量體或第二質量體中的與板簧接觸的接觸面之間越產生間隙，板簧的有效長度增長，從而彈簧常數下降。將這樣彈簧常數相對於振幅位移而變化稱為第一彈性體的彈簧常數非線形性，在現有的振動輸送裝置中，若為大振幅，則彈簧常數下降，傾向於驅動頻率降低。因此，根據本實施方式的振動輸送裝置，能夠完全消除現有的通過螺栓等固定件將第一彈性體固定於第一質量體、第二質量體的結構無法避免的共振峰值降低的因素，能夠以小的激振力實現大振幅。

在本實施方式的振動輸送裝置中，通過第一彈性體連接第一質量體和第二質量體的位置不特別限定，但是，為了確保穩定的支撐狀態，優選以現有的基於驅動彈簧的連接部位為基準的結構，即，在連接第一質量體及第二質量體的輸送對象物的輸送方向上游側的端部彼此及輸送方向下游側的端部彼此的位置配置第一彈性體的結構。

若為通過螺栓固定將第一質量體和第二質量體的兩端彼此連接的板簧的現有的結構，則板簧撓曲時，在第一質量體、第二質量體的兩端（彈簧固定端）作用彎矩，由此作為彈簧的固定部期望為剛體的第一質量體及第二質量體以S字狀撓曲。此時，作為彈簧的固定部的第一質量體和第二質量體撓曲，從而不能進行彈簧的固定，彈簧常數下降，導致頻率降低。另外，在部件間產生摩擦，粘性衰減增加，從而共振峰值降低。因此，若為在第一質量體及第二質量體的連接輸送方向上游側端部與輸送方向下游側端部之間的中途部分彼此的位置配置有第一彈性體的振動輸送裝置，則利用第一彈性體將第一質量體及第二質量體在輸送方向（前後方向）的兩端和中途部分支撐，因此，配置於中途部分的第一彈性體實現作為肋的功能，能夠提高第一質量體及第二質量體的彎曲剛性，由此，第一質量體及第二質量體的撓曲變化進一步減小，能夠抑制線型輸送路的變形，並且，彈簧常數提高，成為滿足驅動頻率高且部件間的摩擦減小而提高共振峰值的好條件的結構。

如上述地，第一質量體也可以包含構成一體構造物的構件和與一體構造物分體的構件，但在後者的情況下，若第一質量體包含構成成為一體構造的主框架（一體構造物）的第一質量體主體和與第一質量體主體分體且包括線型輸送面的輸送路，則能夠將要求高度的設計規格的線型輸送路作為與主框架分體的專用品來準備，能夠減輕作為一體構造物的主框架的製造時的加工負擔。

進一步地，若為在第一質量體及第二質量體之間沿輸送對象物的輸送方向分離地配置多個第一彈性體的振動輸送裝置，則由在輸送方向上相鄰的第一彈性體分隔的空間形成於一體構造物（主框架）的內部空間，若該空間為較大的空間，則也能夠將該空間用作例如用於向第一彈性體安裝壓電元件的訪問空間。

另外，本發明的第三實施方式為了實現上述的目的而想到如下機構。

即，本實施方式的旋轉振動機的特徵在於，包含第一質量體、相對於該第一質量體在對置軸方向上對置配置的第二質量體、使上述第一質量體和上述第二質量體繞上述對置軸相對振動的激振源、以及配置於將上述第一質量體與上述第二質量體之間連接的位置的第一彈性體，將上述第一彈性體設為包括板簧、連續設置於上述板簧的一端側且成為上述第一質量體的一部分的第一連續設置部、以及連續設置於上述板簧的另一端側且成為上述第二質量體的一部分的第二連續設置部，其中，至少將上述第一連續設置部與上述第一質量體的主體部之間沿平行於上述對置軸的方向通過連結件連結。

若將板簧的厚度方向設為x方向、將寬度方向設為y方向、將長邊方向設為z方向，則將板簧的兩端固定於第一質量體和第二質量體並使其變形成S字狀時，施加繞y軸的彎矩。但是，根據上述的結構，連結件的軸力與對置方向即繞軸的彎矩正交，因此難以產生繞固定部的滑動。另外，至少第一彈性體經由第一連續設置部與第一質量體的一部分成為一體，從而能夠通過部件剛性承受固定力矩，可抑制第一質量體的撓曲的發生，實現第一質量體的適當的平行移動。由此，消除第一連續設置部與第一質量體之間的滑動、第一質量體的撓曲導致的激振損失，共振倍率高，即使小的激振力也能夠適當地實現高頻率、大振幅化。

該情況下，優選將上述第二連續設置部與上述第二質量體的主體部之間沿與上述對置軸方向交叉的第一方向、以及與上述對置軸方向及上述第一方向交叉的第二方向連結。

於是，能夠在第二質量體側相對於第一彈性體的扭轉應力在與第二連續設置部之間實現強的固定。

或者，優選將上述第二連續設置部與上述第二質量體的主體部之間也沿上述對置軸方向連結。

於是，在第二連續設置部與第二質量體之間，也與第一連續設置部與第一質量體之間同樣地，能夠消除因部件間的滑動、彈簧固定部件的撓曲而導致的激振損失。

上述中，優選上述第二質量體為固定側，上述第一質量體為可動側。在此，可動側是指包含輸送體等加振對象的側，固定側是指實現可動側的平衡配重的功能的側。

這樣，通過將第一質量體設定於可動側，可優先消除可動部側的滑動、彈簧固定部件的撓曲。

特別優選將上述第一連續設置部與上述第一質量體的主體部之間至少在兩個部位沿上述對置軸方向連結。

這樣，經由第一連續設置部將板簧在多個部位牢固地保持於第一質量體的主體部，因此第一質量體不會撓曲或傾斜，能夠相對於第二質量體平行移動。

而且，若通過上述任一個記載的旋轉振動機和固定於上述第一質量體上並包含螺旋狀的輸送路的輸送體構成振動輸送裝置，則能夠有效提高輸送體上的物品的輸送速度。 本發明的效果如下。

根據本發明的第一實施方式，著眼於連接基台和第二質量體或第一彈性體的第二彈性體，構成為能夠對第二彈性體的水平方向的彈性係數不產生影響地獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，從而能夠提供包括可以容易地調整顛簸的防振構造的振動輸送裝置。

另外，根據本發明的第二實施方式，採用了使第一質量體的至少一部分、第二質量體的至少一部分、以及第一彈性體成為一體構造的前所未有的嶄新的結構，能夠將一體結構體（主框架）振動的驅動頻率高頻率化，並且能夠提供可以實現高的共振倍率，得到大振幅的振動輸送裝置。

另外，根據本發明的第三實施方式，通過將決定共振特性的主機械要素即第一彈性體適當地安裝於質量體，能夠提供消除因部件間的滑動、彈簧固定部件的撓曲而導致的激振損失，可以實現高頻率、大振幅的新的旋轉振動機及振動輸送裝置。

＜第一實施方式＞

以下，參照圖式，對本發明的第一實施方式進行說明。

如圖1所示，本實施方式的振動輸送裝置X是使例如電子元件等工件K在輸送路14（後述的線型輸送路14）上通過振動移動，並且將其輸送至預定的輸送目的地（供給目的地）的裝置。本實施方式的振動輸送裝置X是將工件K沿直線狀的輸送路14（以下，稱為“線型輸送路14”）輸送至輸送目的地的裝置。此外，在線型輸送路14的上游端連接有一邊進行排列一邊進行輸送的料斗送料器的輸送路（料斗輸送路）的下游端（省略圖示）。因此，線型送料器X可以將經由形成於料斗送料器的輸送路（料斗輸送路）輸送來的工件K通過振動輸送至線型輸送路14的終端，供給至預定的輸送目的地。在該線型送料器X包含返回部（返回用輸送路），該返回部（返回用輸送路）在溢出時、判斷為工件K不是預定的輸送姿勢的情況下，將作為該對象的工件K（溢出的工件K、判斷為不是預定輸送姿勢的工件K）返回料斗輸送路。

如圖1至圖4所示，線型送料器X包含包括線型輸送面的第一質量體1、相對於第一質量體1以反相位振動的第二質量體2、將第一質量體1及第二質量體2相互連接的第一彈性體3、基台4、以及將基台4及第一彈性體3相互連接的第二彈性體5。

在本實施方式中，在沿輸送方向T包括長條形態的基台4的上方配置有作為第一質量體1的主構件的可動配重11（可動部），在可動配重11的上方經由第一彈性體3配置有作為第二質量體2的主構件的平衡配重21（固定部），在平衡配重21的上方經由側面連結板12配置有連結於可動配重11的滑槽台13。在本實施方式中，如圖2所示，經由成對的側面連結板12將可動配重11及滑槽台13相互連結。此外，在圖4中，省略了成對的側面連結板12中的紙面近前側的側面連結板12。

在滑槽台13的上表面經由螺栓等固定件裝卸自如地設置輸送路14，通過對輸送路14賦予振動，工件K在設於輸送路14的線型輸送面（輸送槽）內移動。滑槽台13進行與可動配重11的振動同步的運動，作為將可動配重11的振動傳遞至輸送路14的振動傳遞部發揮功能。

在以下的說明中，將沿著輸送路14的工件K的輸送方向T設為前後方向T，將輸送方向T上游側設為後側，將輸送方向T下游側設為前側。另外，將相對於輸送方向T在水平面內正交的方向設為寬度方向W（橫斷方向）（參照圖1等）。

如圖2及圖4所示，滑槽台13的前端部分及後端部分為比可動配重11向前方及後方分別突出的懸伸部分。也能夠在滑槽台13的前方懸伸部分的下朝向面安裝例如可動配重（省略圖示）。側面連結板12、滑槽台13以及輸送路14是與可動配重11同樣地構成第一質量體1的構件。

在本實施方式中，將作為第一質量體1的主構件的可動配重11和作為第二質量體2的主構件的平衡配重21的沿著輸送方向T的尺寸（前後尺寸）設定為大致相同，將這些平衡配重21及可動配重11以在高度方向上對置的姿勢配置。

在本實施方式的線型送料器X中，在連接這些可動配重11及平衡配重21的前端彼此及後端彼此的位置配置有第一彈性體3。

第一彈性體3包括使厚度方向與輸送方向T大致一致的平板狀的彈簧（板簧）的形態。在第一彈性體3粘貼作為激振源發揮功能的壓電元件31，通過對壓電元件31賦予電荷，第一彈性體3彈性變形而產生振動，第一質量體1及第二質量體2振動。從而，第一彈性體3作為驅動彈簧發揮功能。本實施方式的第一彈性體3設定為未發生彈性變形的通常姿勢是沿鉛垂方向立起的姿勢。由第一彈性體3及壓電元件31構成的彈簧常數根據由輸送的部件的重量、大小以及輸送路14（溝槽）的重量等確定的任意的共振頻率的條件適當選擇。在本實施方式中，將第一質量體1及第二質量體2通過多個第一彈性體3連接。

另外，在本實施方式中，在可動配重11及平衡配重21的前端與後端之間的連接預定的中途部分彼此的位置也配置有第一彈性體3。第一彈性體3在各自的配置部位（連接可動配重11和平衡配重21的部位）沿前後方向T隔開稍微的間隙兩個一組地配置。在本實施方式中，在連接可動配重11及平衡配重21的前端彼此的部位、連接可動配重11及平衡配重21的後端彼此的部位、可動配重11及平衡配重21的前端與後端之間的中途部分中的比前後方向T中央向前端側偏離預定距離的部位、以及可動配重11及平衡配重21的前端與後端之間的中途部分中的比前後方向T中央向後端側偏離預定距離的部位、這四個部位分別以沿前後方向T排列的方式配置有兩個第一彈性體3的形態、即全部包含八個第一彈性體3的形態。

本實施方式的線型送料器X將第一質量體1的主構件即可動配重11、第二質量體2的主構件即平衡配重21、以及第一彈性體3設為一體構造物（以下，將該一體構造物稱為“主框架M”）。由此，在第一質量體1與第一彈性體3的連接部位、及第二質量體2與第一彈性體3的連接部位不產生摩擦，粘性係數減少，並且即使在大振幅時，固定條件（連接部位的連接條件）也不變化，彈簧的非線形性降低。

另外，利用第一彈性體3將可動配重11及平衡配重21在前後方向T的兩端和中途部分支撐，因此，可動配重11及平衡配重21的撓曲變化減少，特別是主框架M的可動配重11與側面連結板12的摩擦減小，粘性係數減小。進一步地，若為將第一彈性體3通過螺栓等固定件固定於第一質量體1（可動配重11）、第二質量體2（平衡配重21）的情況，則需要確保固定件的配置空間，但根據本實施方式，無需確保固定件的配置空間，因此，能夠將第一質量體1的高度尺寸設定得較大，能夠提高彎曲剛性，其結果，第一質量體1（可動配重11）難以以S字狀撓曲，驅動頻率提高。這樣，根據本實施方式的線型送料器X，能夠提高結構體（主框架M）振動的驅動頻率及振幅，能夠實現高的共振倍率，得到大振幅。

在本實施方式的線型送料器X中，配置於第一質量體1（可動配重11）及第二質量體2（平衡配重21）的前端與後端之間的中途部分的第一彈性體3實現作為肋的功能，由此，第一質量體1及第二質量體2難以呈S字撓曲。

在本實施方式中，通過對一塊金屬原料實施線切割加工，成形一體包括可動配重11、平衡配重21以及第一彈性體3的主框架M。此外，也可以通過線切割加工以外的加工處理成形主框架M。

在本實施方式的線型送料器X中，例如，也可以將與主框架M分體的平衡配重（副平衡配重）一體地安裝於平衡配重21。作為副平衡配重的設置部位，能夠列舉主框架M的內部空間MS、也就是形成於沿輸送方向T相鄰的第一彈性體3彼此之間的較大的空間MS（除了兩個一組接近配置的第一彈性體3彼此的空間）。該情況下，主要是在將副平衡配重設於主框架M的內部空間MS的狀態下，副平衡配重滿足與平衡配重21以外的構件（第一彈性體3、壓電元件31、可動配重11、側面連結板12）不接觸的條件。副平衡配重與平衡配重21同樣地是構成第二質量體2的構件。主框架M的內部空間MS（由在輸送方向T上相鄰的第一彈性體3分隔的較大的空間MS）的尺寸也可以如圖3及4等所示地是相互均等的尺寸（等分），也可以是不均等的尺寸（不等分）。此外，圖3是圖2的主要部分放大圖。另外，主框架M的內部空間MS也能夠用作用於向第一彈性體3安裝壓電元件31的訪問空間。

在此，本實施方式的振動輸送裝置X包含構造物（主框架M），該構造物（主框架M）一體地包括可動部的第一質量體1的主構件即可動配重11、相對於可動配重11作為固定部發揮功能的第二質量體2的主構件即平衡配重21、以及第一彈性體3，且構成為，將該構造物（主框架M）由第二彈性體5從大地（本實施方式中能夠視為大地的基台4）支撐，將第二彈性體5作為防振彈簧發揮功能。

如圖2至圖4所示，本實施方式的線型送料器X在主框架M的前方及後方分別配置有第二彈性體5，通過各第二彈性體5連結基台4和主框架M。

在本實施方式中，使用一體包括沿鉛垂方向延伸的鉛垂臂部51和沿水平方向延伸的水平臂部52的平板L字狀的彈性部件（L字型彈簧5A）構成第二彈性體5。圖2等表示的第二彈性體5將鉛垂臂部51的前端（上端）部分固定於第一彈性體3，將水平臂部52的前端（無鉛垂臂部51立起的一方的端部）部分固定於基台4。

在本實施方式中，在第一彈性體3中的在水平方向及鉛垂方向上不位移的節的部分設置向前方或後方突出的突部32，在該突部32固定鉛垂臂部51的前端部分。此外，第一彈性體3將兩端（上端、下端）分別固定於可動配重11和平衡配重21（兩端固定懸掛），因此節是長邊方向中央部分。在此，第一彈性體3的節能夠為點，但在第一彈性體3設有突部32的區域是包括第一彈性體3的節的預定區域（節及節的附近區域）。在突部32的沿寬度方向W分離的兩個部位設有內螺紋孔33（參照圖3）。在鉛垂臂部51形成有與各內螺紋孔33連通的螺栓插通孔，通過將螺栓B1插通螺栓插通孔並螺紋結合於內螺紋孔33，能夠將第二彈性體5的鉛垂臂部51固定於第一彈性體3。在螺栓B1的頭部與第二彈性體5的鉛垂臂部51之間隔著按壓板。

在基台4的前端部及後端部的沿寬度方向W隔開的兩個部位設有內螺紋孔41（參照圖3）。在水平臂部52形成有與各內螺紋孔41連通的內螺栓插通孔，通過將螺栓B2插通內螺栓插通孔並螺紋結合於內螺紋孔41，能夠將第二彈性5的水平臂部52固定於基台4。

在本實施方式的線型送料器X中，在輸送方向T上，在與第一彈性體3不重複的位置配置第二彈性體5，將第二彈性體5的上端部安裝於第一彈性體3中的作為高度方向H大致中央部分的節，因此，第一質量體1振動時，輸送路14的振動穩定，能夠相應地實現更進一步穩定的部件輸送處理。

另外，為了實施更進一步穩定的工件輸送處理，需要使輸送路14不產生顛簸現象。

在本實施方式的線型送料器X中，通過不改變第一彈性體3的前後方向T的傾斜角度而獨立調整第二彈性體5的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數，能夠調節成第一彈性體3的振動為完全沒有或者大致完全沒有顛簸現象的期望的振動。在此，本實施方式中的“第二彈性體的水平方向的彈性係數”與“第二彈性體中的水平成分的彈性係數”意思相同，“第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數”與“第二彈性體中的鉛垂成分的彈性係數”意思相同。另外，本實施方式中的“水平方向”是指由第一彈性體3的安裝角度規定的沿彈性主軸的方向（相對於彈性主軸平行或大致平行的方向），本實施方式中的“鉛垂方向”是指相對於彈性主軸正交或大致正交的方向（相對於彈性主軸的法線方向）。在本實施方式的線型送料器X中，使用包括可以調整針對鉛垂方向的振動成分的彈性係數的水平臂部52和可以調整針對水平方向的振動成分的彈性係數的鉛垂臂部51的平板L字狀的第二彈性體5，實現可以將第二彈性體5的水平方向及鉛垂方向的各彈性系統不相互產生影響地獨立調整的結構。

在本實施方式中，如圖3及圖4所示，在高度方向H上夾著第二彈性體5的水平部即L字型板簧5A的水平臂部52中的前端部分的位置配置平板狀的彈性調整部件6，將這些彈性調整部件6及水平臂部52通過共通的螺栓B2固定。彈性調整部件6形成沿輸送方向T（前後方向T）延伸的長孔61，將插入到該長孔61的螺栓B2還插入水平臂部52的雌螺栓插通孔，並螺紋結合於基台4的內螺紋孔41而緊固。然後，在將基於螺栓B2的緊固狀態稍微鬆動的狀態下在長孔61內引導螺栓B2，改變彈性調整部件6相對於水平臂部52的固定位置，通過在該位置再次緊固螺栓B2，能夠改變第二彈性體5的水平臂部52中的自由的區域（未被螺栓B2及彈性調整部件6緊固或按壓的區域）的大小，其結果，能夠改變第二彈性體5的水平臂部52的有效長度，調節第二彈性體5的鉛垂方向的彈性係數（彈簧常數）。

對每個第二彈性體5是依次還是同時進行這樣的調節作業，能夠根據顛簸現象的發生狀態來選擇。

彈性調整部件6不限於配置於在厚度方向上夾著水平臂部52的位置、即對一個水平臂部52配置兩個彈性調整部件，也可以對一個水平臂部52配置一個彈性調整部件。該情況下，只要是如下結構即可：應用在厚度方向上按壓水平臂部52的彈性調整部件，通過彈性調整部件調整被按壓成不能彈性變形的區域，從而可以改變水平臂部52的有效長度。也可以使彈性調整部件6作為隔離物或墊片發揮功能。

此外，在本實施方式中，對於第二彈性體5的鉛垂臂部51即L字型板簧5A的鉛垂臂部51採用了無法調整自由區域（有效長度）的結構。在這樣的結構中，第二彈性體5的水平方向的彈性係數（彈簧常數）的調整能夠通過替換（更換）為鉛垂臂部51的尺寸（鉛垂方向的長度、彈簧的厚度、寬度、重疊的個數）不同的其它第二彈性體（省略圖示）而進行。此外，對於第二彈性體5的鉛垂臂部51，也可以應用以水平臂部52為標準的結構，即，在沿著輸送方向T（前後方向T）夾著鉛垂臂部51的前端部分的位置配置平板狀的彈性調整部件，在彈性調整部件形成沿高度方向H延伸的長孔，利用長孔改變彈性調整部件相對於鉛垂臂部51的固定位置，從而改變第二彈性體5的鉛垂臂部51中的自由區域（未被螺栓B2及彈性調整部件6緊固、按壓的區域）的大小。當然，與關於水平臂部52的彈性調整部件的變形例同樣地，也能夠採用對一個鉛垂臂部51配置一個彈性調整部件的形態。該情況下，只要構成為應用將鉛垂臂部51在厚度方向按壓的彈性調整部件，通過彈性調整部件調整被按壓成不能彈性變形的區域，能夠改變鉛垂臂部51的有效長度即可。

在本實施方式中，能夠對設於沿輸送方向T的前後兩個部位的第二彈性體5的彈性係數個別地進行調整。即，可以將前後兩個部位的第二彈性體5的彈性係數設定為互相不同的值。

這樣，根據本實施方式的線型送料器X，當通過激振源（壓電元件31）使連接第一質量體1和第二質量體2的第一彈性體3驅動而振動時，第二質量體2作為固定部（平衡配重）發揮功能，第二彈性體5作為防振體發揮功能，從而能夠使第一質量體1振動，將線型輸送路14上的輸送對象物K沿預定的輸送方向T輸送。而且，根據本實施方式的線型送料器X，構成為能夠獨立改變第二彈性體5的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數，因此，通過不改變第二彈性體5的水平方向的彈性係數，僅調整第二彈性體5的鉛垂方向的彈性係數，容易進行顛簸調整，並且，通過不改變第二彈性體5的鉛垂方向的彈性係數（例如在維持為可抑制顛簸的彈性係數的狀態下）僅調整第二彈性體5的水平方向的彈性係數，能夠將第二彈性體5的水平方向的彈性係數設定得較大，能夠實現在從外部施加衝擊的情況下也難以發生錯位的裝置（耐強衝擊裝置）。

特別是在本實施方式的線型送料器X中，將第二彈性體5的一端安裝於第一彈性體3中的即使振動時在水平方向及鉛垂方向上也不位移（不振動）的節，因此，起到良好的防振作用，由此，能夠將第二彈性體5的水平方向的彈性係數設定得較大。

另外，就本實施方式的振動輸送裝置X而言，作為第二彈性體5，應用了包含可調整針對鉛垂方向的振動成分的彈性係數的水平臂部52和可調整針對水平方向的振動成分的彈性係數的鉛垂臂部51的彈性體，因此，形狀簡單，並且能夠實現本實施方式的目的的結構。

而且，構成為，作為第二彈性體應用包含平板狀的水平臂部52及平板狀的鉛垂臂部51的彈性體，包含將水平臂部52在厚度方向上按壓的彈性調整部件6，通過彈性調整部件6調整被按壓成不能彈性變形的區域，從而可以改變調整對象的臂部（水平臂部52）的有效長度，因此，能夠在維持臂部（水平臂部52）與作為臂部（水平臂部52）的連接對象構件的基台4、第一彈性體3的相對位置關係為適當的位置關係的狀態下，簡單地調整臂部（水平臂部52）的有效長度，其結果，能夠容易且順暢地進行針對鉛垂方向的振動成分的彈性係數的調整。

特別是第二彈性體5為一體包括水平臂部52及鉛垂臂部51的L字型的板簧5A，因此通過適當調節水平臂部52及鉛垂臂部51的任一方的有效長度、或雙方的有效長度，能夠將第二彈性體5的鉛垂方向的彈性係數（彈簧常數）、水平方向的彈性係數（彈簧常數）個別地設定為適當的值。

此外，本實施方式不限定於上述的實施方式。例如，在上述的實施方式中，作為調整第二彈性體即L字型彈簧的彈性係數的結構，示例了使用在厚度方向上夾著L字型彈簧的臂部的彈性調整部件來調整L字型彈簧的臂部的有效長度（自由區域的大小）的結構，但不限於此，也能夠採用不使用在厚度方向上夾著L字型彈簧的臂部的彈性調整部件而調整L字型彈簧的彈性係數的結構。作為一例，能夠列舉如下結構：在L字型彈簧的臂部形成長孔，在固定臂部的部分（上述的實施方式中為基台4）沿長孔的長邊方向以預定間距設定內螺紋，使L字型彈簧整體沿長孔的長邊方向移動，並且選擇、改變固定螺栓的內螺紋孔，從而調整臂部的有效長度（自由區域的大小）。若為該結構，則有時被L字型彈簧支撐的結構體（主框架）整體也根據L字型彈簧的移動量移動。

另外，如上述地，也可以構成為，預先準備鉛垂臂部、水平臂部的長度、面積、厚度等不同的多種L字型彈簧，從它們中選擇適當的L字型彈簧，或者通過更換而改變第二彈性體的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數的結構。

第二彈性體的數量、相對於基台的固定位置能夠適當改變。另外，第二彈性體也可以連接基台和第二質量體。

也可以由L字型彈簧以外的彈簧（例如，連接I字型的彈簧的基端彼此而成的彈簧、T字型彈簧等）、彈簧以外的彈性體（橡膠等）構成本實施方式的第二彈性體。

第一彈性體的數量、形狀、第一彈性體相對於第一質量體及第二質量體的連接位置也能夠適當改變。例如，也能夠以在輸送方向上傾斜預定角度的姿勢配置第一彈性體。此外，上述的實施方式的第一彈性體也以在輸送方向上傾斜預定角度（2度左右）的姿勢配置。如上述地，本實施方式中的“第二彈性體的水平方向的彈性係數”與“第二彈性體中的水平成分的彈性係數”意思相同，“第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數”與“第二彈性體中的鉛垂成分的彈性係數”意思相同。另外，本實施方式中的“水平方向”是指沿由第一彈性體的安裝角度規定的彈性主軸的方向（相對於彈性主軸平行或大致平行的方向），本實施方式中的“鉛垂方向”是指相對於彈性主軸正交或大致正交的方向（相對於彈性主軸的法線方向）。即，在本實施方式中，以第一彈性體的彈性主軸為基準決定第二彈性體的水平方向及鉛垂方向，關於這樣的第二彈性體的水平方向的彈性係數和第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，只要是至少可以獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數的結構即可，第二彈性體的外觀形狀不特別受限。因此，第二彈性體的水平臂部和鉛垂臂部不必一定是正交的關係，例如，也可以是彼此不正交的關係。另外，基台的高度方向和第二彈性體的鉛垂方向一致的結構也包含於本實施方式。

在上述的實施方式中，示例了一體包括可動配重11（第一質量體1的一部分）、平衡配重21（第二質量體2的一部分）以及第一彈性體3的形態，但也可以採用它們的全部或僅一部分為單體的形態。本實施方式的振動輸送裝置包括將第一彈性體相對於第一質量體和第二質量體分別直接連接的形態、經由其它部件間接地連接的形態，同樣地，包括將第二彈性體相對於基台和第二質量體或第一彈性體分別直接連接的形態、經由其它部件間接地連接的形態。

第一質量體只要包括線型輸送面即可，也可以不包含上述的輸送路（溝槽）而在滑槽台的上朝向面形成有線型輸送面、不包含滑槽台而在可動配重的上朝向面形成有線型輸送面、或者在與可動配重同步地振動的構件（不限定於滑槽台）形成有線型輸送面。

另外，第二質量體也可以僅由單一的平衡配重構成，也可以包含多個平衡配重。也能夠採用在第二質量體的上方配置第一質量體的結構。

激振源也可以是壓電元件以外的部件。

另外，輸送對象物也可以是LED等各種LED、LED以外的電子設備、或者食品等電子元件以外的部件。

另外，本實施方式包括如下振動輸送裝置：關於第二彈性體的水平方向的彈性係數和第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，構成為可以獨立改變第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，且構成為可以獨立改變第二彈性體的水平方向的彈性係數。

除此之外，關於各部分的具體的結構，也不限於上述實施方式，可以在不脫離本發明的宗旨的範圍內進行各種變形。 ＜第二實施方式＞

以下，參照圖式，對本發明的第二實施方式進行說明。在第二實施方式中，對於與上述的第一實施方式實質上相同的結構，標注相同的符號進行說明。

如圖1所示，本實施方式的振動輸送裝置X也是使例如電子元件等工件K在輸送路14（後述的線型輸送路14）上通過振動移動，並且將其輸送至預定的輸送目的地（供給目的地）的裝置。此外，在線型輸送路14的上游端連接有一邊排列一邊輸送的料斗送料器的輸送路（料斗輸送路）的下游端（省略圖示）。因此，線型送料器X將經由形成於料斗送料器的輸送路（料斗輸送路）輸送來的工件K通過振動輸送至線型輸送路14的終端，可以供給至預定的輸送目的地。在該線型送料器X包含返回部（返回用輸送路），該返回部（返回用輸送路）在溢出時、判斷為工件K不是預定的輸送姿勢的情況下將作為其對象的工件K（溢出的工件K、判斷為不是預定輸送姿勢的工件K）返回料斗輸送路。

如圖1至圖4所示，線型送料器X包含包括線型輸送面的第一質量體1、相對於第一質量體1以反相位振動的第二質量體2、將第一質量體1及第二質量體2相互連接的第一彈性體3、基台4、以及將基台4及第一彈性體3相互連接的第二彈性體5。

在本實施方式中，在沿輸送方向T包括長條形態的基台4的上方配置有作為第一質量體1的主構件的可動配重11（可動部），在可動配重11的上方經由第一彈性體3配置有作為第二質量體2的主構件的平衡配重21（固定部），在平衡配重21的上方經由側面連結板12配置有連結於可動配重11的滑槽台13。在本實施方式中，如圖2所示，經由成對的側面連結板12將可動配重11及滑槽台13相互連結。此外，在圖4中，省略了成對的側面連結板12中的紙面近前側的側面連結板12。

在滑槽台13的上表面經由螺栓等固定件裝卸自如地設置輸送路14，通過對輸送路14賦予振動，工件K在設於輸送路14的線型輸送面（輸送槽）內移動。滑槽台13進行與可動配重11的振動同步的運動，作為將可動配重11的振動傳遞至輸送路14的振動傳遞部發揮功能。

在以下的說明中，將沿著輸送路14的工件K的輸送方向T設為前後方向T，將輸送方向T上游側設為後側，將輸送方向T下游側設為前側。另外，將相對於輸送方向T在水平面內正交的方向設為寬度方向W（橫斷方向）（參照圖1等）。

如圖2及圖4所示，滑槽台13的前端部分及後端部分為比可動配重11向前方及後方分別突出的懸伸部分。也能夠在滑槽台13的前方懸伸部分的下朝向面安裝例如可動配重（省略圖示）。側面連結板12、滑槽台13以及輸送路14是與可動配重11同樣地構成第一質量體1的構件。

在本實施方式中，將作為第一質量體1的主構件的可動配重11和作為第二質量體2的主構件的平衡配重21的沿著輸送方向T的尺寸（前後尺寸）設定為大致相同，將這些平衡配重21及可動配重11以在高度方向上對置的姿勢配置。

在本實施方式的線型送料器X中，在連接這些可動配重11及平衡配重21的前端彼此及後端彼此的位置配置有第一彈性體3。

第一彈性體3包括使厚度方向與輸送方向T大致一致的平板狀的彈簧（板簧）的形態。在第一彈性體3粘貼作為激振源發揮功能的壓電元件31，通過對壓電元件31賦予電荷，第一彈性體3彈性變形而產生振動，使第一質量體1及第二質量體2振動。因此，第一彈性體3作為驅動彈簧發揮功能。本實施方式的第一彈性體3設定為未彈性變形的通常姿勢為沿鉛垂方向立起的姿勢。由第一彈性體3及壓電元件31構成的彈簧常數根據由輸送的部件的輸送速度、輸送路14（溝槽）的重量等決定的任意的共振頻率的條件適當選擇。在本實施方式中，將第一質量體1及第二質量體2通過多個第一彈性體3連接。

另外，在本實施方式中，在可動配重11及平衡配重21的前端與後端之間的連接預定的中途部分彼此的位置也配置有第一彈性體3。第一彈性體3在各自的配置部位（連接可動配重11和平衡配重21的部位）沿前後方向T隔開稍微的間隙兩個一組地配置。在本實施方式中，在連接可動配重11及平衡配重21的前端彼此的部位、連接可動配重11及平衡配重21的後端彼此的部位、可動配重11及平衡配重21的前端與後端之間的中途部分中的比前後方向T中央向前端側偏離預定距離的部位、以及可動配重11及平衡配重21的前端與後端之間的中途部分中的比前後方向T中央向後端側偏離預定距離的部位、這四個部位分別以沿前後方向T排列的方式配置有兩個第一彈性體3的形態、即全部包含八個第一彈性體3的形態。

而且，本實施方式的線型送料器X將第一質量體1的主構件即可動配重11、第二質量體2的主構件即平衡配重21、以及第一彈性體3設為一體構造物（以下，將該一體構造物稱為“主框架M”）。本實施方式的振動輸送裝置X包含構造物（主框架M），該構造物（主框架M）一體地包括作為可動部的第一質量體1的主構件即可動配重11、相對於可動配重11作為固定部發揮功能的第二質量體2的主構件即平衡配重21、以及第一彈性體3，且構成為將該一體構造物（主框架M）由第二彈性體5從大地（在本實施方式中能夠視作大地的基台4）支撐，使第二彈性體5作為防振彈簧發揮功能。

如圖2至圖4所示，本實施方式的線型送料器X在主框架M的前方及後方分別配置有第二彈性體5，通過各第二彈性體5連結基台4和主框架M。

在本實施方式中，使用一體包括沿鉛垂方向延伸的鉛垂臂部51和沿水平方向延伸的水平臂部52的平板L字狀的彈性部件（L字型彈簧5A）構成第二彈性體5。圖2等表示的第二彈性體5將鉛垂臂部51的前端（上端）部分固定於第一彈性體3，將水平臂部52的前端（無鉛垂臂部51立起的一方的端部）部分固定於基台4。

在本實施方式中，在第一彈性體3中的在水平方向及鉛垂方向上不位移的節的部位設置向前方或後方突出的突部32，在該突部32固定鉛垂臂部51的前端部分。此外，第一彈性體3將兩端（上端、下端）分別固定於可動配重11和平衡配重21（兩端固定懸掛），因此節是長邊方向中央部分。在此，第一彈性體3的節能夠為點，但在第一彈性體3設有突部32的區域是包括第一彈性體3的節的預定區域（節及節的附近區域）。在突部32的沿寬度方向W分離的兩個部位設有內螺紋孔33（參照圖3）。在鉛垂臂部51形成有與各內螺紋孔33連通的螺栓插通孔，通過將螺栓B1插通螺栓插通孔並螺紋結合於內螺紋孔33，能夠將第二彈性體5的鉛垂臂部51固定於第一彈性體3。在螺栓B1的頭部與第二彈性體5的鉛垂臂部51之間隔著按壓板。

在基台4的前端部及後端部的沿寬度方向W隔開的兩個部位設有內螺紋孔41（參照圖3）。在水平臂部52形成有與各內螺紋孔41連通的內螺栓插通孔，通過將螺栓B2插通內螺栓插通孔並螺紋結合於內螺紋孔41，能夠將第二彈性5的水平臂部52固定於基台4。

在本實施方式的線型送料器X中，在輸送方向T上在與第一彈性體3不重複的位置配置第二彈性體5，將第二彈性體5的上端部安裝於第一彈性體3中的作為高度方向H大致中央部分的節，因此能夠提高防振性，實現低反作用力化。

另外，在本實施方式的線型送料器X中，通過不改變第一彈性體3的前後方向T的傾斜角度而獨立地調整第二彈性體5的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數，能夠調節成第一彈性體3的振動為完全沒有或者大致沒有顛簸現象的期望的振動。在此，本實施方式中的“第二彈性體的水平方向的彈性係數”與“第二彈性體中的水平成分的彈性係數”意思相同，“第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數”與“第二彈性體中的鉛垂成分的彈性係數”意思相同。另外，本實施方式的“水平方向”是指沿著由第一彈性體3的安裝角度規定的彈性主軸的方向（相對於彈性主軸平行或大致平行的方向），本實施方式的“鉛垂方向”是指相對於彈性主軸正交或大致正交的方向（相對於彈性主軸的發現方向）。在本實施方式的線型送料器X中，使用包括能夠調整針對鉛垂方向的振動成分的彈性係數的水平臂部52和能夠調整針對水平方向的振動成分的彈性係數的鉛垂臂部51的平板L字狀的第二彈性體5，實現能對第二彈性體5的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數不相互產生不良影響地對立進行調整的結構。

在本實施方式中，如圖3及圖4所示，在高度方向H上夾著第二彈性體5的水平部即L字型板簧5A的水平臂部52中的前端部分的位置配置平板狀的彈性調整部件6，將這些彈性調整部件6及水平臂部52通過共通的螺栓B2固定。彈性調整部件6形成沿輸送方向T（前後方向T）延伸的長孔61，將插入到該長孔61的螺栓B2還插入水平臂部52的雌螺栓插通孔，並螺紋結合於基台4的內螺紋孔41而緊固。然後，在將基於螺栓B2的緊固狀態稍微鬆動的狀態下在長孔61內引導螺栓B2，改變彈性調整部件6相對於水平臂部52的固定位置，通過在該位置再次緊固螺栓B2，能夠改變第二彈性體5的水平臂部52中的自由的區域（未被螺栓B2及彈性調整部件6緊固或按壓的區域）的大小，其結果，能夠改變第二彈性體5的水平臂部52的有效長度，調節第二彈性體5的鉛垂方向的彈性係數（彈簧常數）。

對每個第二彈性體5是依次還是同時進行這樣的調節作業，能夠根據顛簸現象的發生狀態來選擇。

彈性調整部件6不限於配置於在厚度方向上夾著水平臂部52的位置、即對一個水平臂部52配置兩個彈性調整部件，也可以對一個水平臂部52配置一個彈性調整部件。該情況下，只要是如下結構即可：應用在厚度方向上按壓水平臂部52的彈性調整部件，通過彈性調整部件調整被按壓成不能彈性變形的區域，從而可以改變水平臂部52的有效長度。也可以使彈性調整部件6作為隔離物或墊片發揮功能。

此外，在本實施方式中，對於第二彈性體5的鉛垂臂部51即L字型板簧5A的鉛垂臂部51採用了無法調整自由區域（有效長度）的結構。在這樣的結構中，第二彈性體5的水平方向的彈性係數（彈簧常數）的調整能夠通過替換（更換）為鉛垂臂部51的尺寸（鉛垂方向的長度、彈簧的厚度、寬度、重疊的個數）不同的其它第二彈性體（省略圖示）而進行。此外，對於第二彈性體5的鉛垂臂部51，也可以應用以水平臂部52為標準的結構，即，在沿著輸送方向T（前後方向T）夾著鉛垂臂部51的前端部分的位置配置平板狀的彈性調整部件，在彈性調整部件形成沿高度方向H延伸的長孔，利用長孔改變彈性調整部件相對於鉛垂臂部51的固定位置，從而改變第二彈性體5的鉛垂臂部51中的自由區域（未被螺栓B2及彈性調整部件6緊固、按壓的區域）的大小。當然，與關於水平臂部52的彈性調整部件的變形例同樣地，也能夠採用對一個鉛垂臂部51配置一個彈性調整部件的形態。該情況下，只要構成為應用將鉛垂臂部51在厚度方向按壓的彈性調整部件，通過彈性調整部件調整被按壓成不能彈性變形的區域，能夠改變鉛垂臂部51的有效長度即可。

而且，如上述地，本實施方式的振動輸送裝置X將第一質量體1的主構件即可動配重11、第二質量體2的主構件即平衡配重21、以及第一彈性體3設為一體構造物（主框架M）。由此，在第一質量體1與第一彈性體3的連接部位、以及第二質量體2與第一彈性體3的連接部位不產生摩擦，粘性係數減小，並且即使大振幅時固定條件（連接部位的連接條件）也不變化，彈簧的非線形性降低。

另外，根據本實施方式的振動輸送裝置X，由第一彈性體3將可動配重11及平衡配重21在前後方向T的兩端和中途部分支撐，因此，可動配重11及平衡配重21的撓曲變化減小，特別是主框架M的可動配重11與側面連結板12的摩擦減小，粘性係數減小。

進一步地，若在將第一彈性體3通過螺栓等固定件固定於第一質量體1（可動配重11）、第二質量體2（平衡配重21）的情況下，則需要確保固定件的配置空間，但根據本實施方式，無需確保固定件的配置空間，關於第一質量體1的形狀的設計自由度提高，例如通過將第一質量體1的高度尺寸設定得較大，能夠提高彎曲剛性，其結果，第一質量體1（可動配重11）難以呈S字狀撓曲，驅動頻率提高。這樣，根據本實施方式的線型送料器X，能夠提高結構體（主框架M）振動的驅動頻率及振幅，能夠實現高的共振倍率，得到大振幅。

在本實施方式的線型送料器X中，配置於第一質量體1（可動配重11）及第二質量體2（平衡配重21）的前端與後端之間的中途部分的第一彈性體3實現作為肋的功能，由此，第一質量體1及第二質量體2也難以呈S字撓曲。

在本實施方式中，通過對一塊金屬原料實施線切割加工成形一體包括可動配重11、平衡配重21以及第一彈性體3的主框架M。此外，也可以通過線切割以外的加工處理成形主框架M。

在本實施方式的線型送料器X中，例如，可以將與主框架M分體的平衡配重（副平衡配重）一體地安裝於平衡配重21。作為副平衡配重的設置部位，能夠列舉主框架M的內部空間MS、也就是形成於沿輸送方向T相鄰的第一彈性體3彼此之間的較大空間MS（除了兩個一組地接近配置的第一彈性體3彼此的空間）。該情況下，只要是在將副平衡配重設於主框架M的內部空間MS的狀態下，滿足副平衡配重與平衡配重21以外的構件（第一彈性體3、壓電元件31、可動配重11、側面連結板12）不接觸的條件。副平衡配重與平衡配重21同樣地是構成第二質量體2的構件。主框架M的內部空間MS（由在輸送方向T上相鄰的第一彈性體3分隔的較大的空間MS）的尺寸可以如圖3及4等所示地為相互均等的尺寸（等分），也可以是不均等的尺寸（不等分）。此外，圖3是圖2的主要部分放大圖。另外，主框架M的內部空間MS也能夠用作用於向第一彈性體3安裝壓電元件31的訪問空間。

這樣，根據本實施方式的線型送料器X，當通過激振源（壓電元件31）使連接第一質量體1和第二質量體2的第一彈性體3驅動而振動時，第二質量體2作為固定部（平衡配重）發揮功能，第二彈性體5作為防振體發揮功能，從而第一質量體1振動，能夠將線型輸送路14上的輸送對象物K沿預定的輸送方向T輸送。而且，根據本實施方式的線型送料器X，使作為第一質量體1的一部分的可動配重11、作為第二質量體2的一部分的平衡配重21、以及第一彈性體3成為一體構造，因此在第一質量體1與第一彈性體3的連接部位、以及第二質量體2與第一彈性體3的連接部位不會發生摩擦，與通過螺栓等固定件將第一彈性體固定於第一質量體、第二質量體的結構相比，粘性係數減小，共振峰值不會降低。另外，即使大振幅時固定條件（連接部位的連接條件）也不變化，能夠降低第一彈性體3的非線形性導致的驅動頻率（共振頻率）的降低。因此，根據本實施方式的振動輸送裝置X，能夠完全消除只要是現有的通過螺栓等固定件將第一彈性體固定於第一質量體、第二質量體的結構就無法回避的共振峰值降低的原因，能夠以小的激振力實現大振幅。

而且，在本實施方式的振動輸送裝置X中，將通過第一彈性體3連接第一質量體1及第二質量體2的部位與現有的基於驅動彈簧的連接部位同樣地設於第一質量體1及第二質量體2的連接輸送方向T上游端部（後端部）彼此及輸送方向T下游端部（前端部）彼此的位置，因此能夠確保基於第一彈性體3的穩定的支撐狀態。

特別是在本實施方式的振動輸送裝置X中，在可動配重11（第一質量體1的主構件）及平衡配重21（第二質量體2的主構件）的連接輸送方向T上游側端部（後端部）與輸送方向T下游側端部（前端部）之間的中途部分彼此的位置也配置有第一彈性體3，因此配置於中途部分的第一彈性體3發揮作為肋的功能，能夠進一步提高可動配重11及平衡配重21的彎曲剛性，由此，可動配重11及平衡配重21的撓曲變化進一步減少，能夠抑制線型輸送路14的變形，並且，彈簧常數提高，成為滿足驅動頻率高且部件間的摩擦減小而提高共振峰值的好條件的結構。

如以上地，根據本實施方式，通過採用使第一質量體1的至少一部分（可動配重11）、第二質量體2的至少一部分（平衡配重21）以及第一彈性體3成為一體構造這樣的前所未有的嶄新的結構，能夠提高一體結構體（主框架M）振動的驅動頻率及振幅，能夠實現高的共振倍率，得到大振幅，能夠實現可以提高輸送對象物K的輸送速度的振動輸送裝置X。

另外，在本實施方式的振動輸送裝置X中，作為第一質量體1，應用了包含構成作為一體構造物的主框架M（一體構造物）的可動配重11（相當於本實施方式的“第一質量體主體”）和與可動配重11分體且包括線型輸送面的輸送路14的質量體，因此能夠將要求高度的設計規範的線型輸送路14與主框架M分體地作為專用件準備，能夠減輕作為一體構造物的主框架M的製造時的加工負擔。

此外，本實施方式不限於上述的實施方式。例如，第一彈性體的數量、形狀、第一彈性體相對於第一質量體及第二質量體的連接位置也能夠適當改變。也可以以在輸送方向上傾斜預定角度的姿勢配置第一彈性體。

在上述的實施方式中，示出了使可動配重11（第一質量體1的一部分）、平衡配重21（第二質量體2的一部分）以及第一彈性體3成為一體構造的形態，但也可以採用使第一質量體的全部、第二質量體的一部分以及第一彈性體成為一體構造的形態、使第一質量體的一部分、第二質量體的全部以及第一彈性體成為一體構造的形態、或者使第一質量體的全部、第二質量體的全部以及第一彈性體成為一體構造的形態。

即，本實施方式的第一質量體可以僅由構成一體構造物（主框架）的構件（可動配重）構成，也可以包含構成一體構造物（主框架）的主構件和與一體構造物分體的構件。

同樣地，本實施方式的第二質量體可以僅由構成一體構造物（主框架）的主構件（平衡配重）構成，也可以包含構成一體構造物（主框架）的主構件和與一體構造物分體的構件。

第一質量體只要包括線型輸送面即可，也可以不包含上述的輸送路（溝槽）而在滑槽台的上朝向面形成有線型輸送面、不包含滑槽台而在可動配重的上朝向面形成有線型輸送面、或者在與可動配重同步振動的構件（不限於滑槽台）形成有線型輸送面。特別是在僅由相當於上述的可動配重的構件構成第一質量體的情況下，優選將第一質量體配置於比第二質量體靠上方，在第一質量體的上朝向面形成線型輸送面。

本實施方式的振動輸送裝置包括將起到防振作用的第二彈性體相對於一體構造物（主框架）分別直接連接的形態、經由其它部件間接連接的形態。第二彈性體的個數、相對於基台或一體構造物（主框架）的固定位置能夠適當改變。另外，第二彈性體也可以連接基台和第二質量體。

也可以由L字型彈簧以外的彈簧（例如將I字型的彈簧的基端彼此連接而成的彈簧、T字型彈簧等）、彈簧以外的彈性體（橡膠等）構成第二彈性體、由以在輸送方向上傾斜預定角度的姿勢配置的板簧構成第二彈性體。另外，不包含第二彈性體的振動輸送裝置也包含於本實施方式。

激振源也可以是壓電元件以外的部件。

另外，輸送對象物也可以是LED等各種LED、LED以外的電子元件、或者食品等電子元件以外的部件。

除此之外，關於各部分的具體的結構，也不限於上述實施方式，可以在不脫離本發明的宗旨的範圍內進行各種變形。 ＜第三實施方式＞

以下，參照圖5~圖10對本發明的第三實施方式進行說明。

該實施方式的旋轉振動機A包含作為第一質量體的振動盤7、相對於該振動盤7在對置軸m方向上對置配置的作為第二質量體的基台8、使這些振動盤7和基台8繞對置軸m相對振動的激振源9、以及配置於將振動盤7和基台8之間連接的位置的第一彈性體400。在旋轉振動機A安裝有輸送體B，該輸送體B包括以螺旋狀立起的輸送路，從而構成作為振動輸送裝置的送料器PF。該實施方式的輸送體B是為了排列、供給例如IC芯片這樣的微小物品而構成的。

振動盤7包括形成第一質量體的主體的圓盤狀的振動盤主體10和安裝於該振動盤主體10且形成第一質量體的一部分的後述的第一連續設置部44。在振動盤主體10的外周位，在等角多個部位、在本實施方式中在三個部位設有與第一彈性體連接的振動盤側第一連接部16，在與這些振動盤側第一連接部16錯開相位的等角多個部位、在本實施方式中在三個部位設有與激振源9連接的振動盤側第二連接部17。振動盤側第一連接部16為向下方及徑向外方向挖空而成的形狀、具體而言，為從側方觀察，為向下的U字狀且有底的凹部。振動盤側第二連接部17是從振動盤主體10向下突出的突部。

基台8包括形成第二質量體的主體的截頭圓錐狀的基台主體20和安裝於該基台主體20且形成第二質量體的一部分的後述的第二連接部42。基台主體20經由防振部件2a配置於設置面。在基台8的外周位設有位於與上述振動盤側第一連接部16對應的位置且與第一彈性體400連接的基台側第一連接部26和位於與上述振動盤側第一連接部17對應的位置且與激振源9連接的基台側第二連接部22。如圖6及圖7（a）所示，基台側第一連接部26是向上方及徑向外方向挖空的形狀、具體而言，從側方觀察為U字槽狀且有底的凹部。如圖6及圖7（b）所示，基台側第二連接部22位於可遊動地配置振動盤側第二連接部17的空間的內部，且包括後述的第二板簧容納部23及連接部件抵接部24。

激振源9包含構成作為第二質量體的基台8的一部分的連接部件36、將基端連接於該連接部件36且前端側沿半徑方向延伸的橫型配置的作為第二彈性體的第二板簧37、以及粘貼於該第二板簧37的兩面或一面且通過振動使第二板簧37撓曲的雙壓電晶片或單壓電晶片型的壓電元件驅動部38。如圖7（b）所示，在基台8設有從上觀察從中心向三個方向以星形延伸並向上方及徑向外方向開口的上述第二板簧容納部23和位於相鄰的第二板簧容納部23彼此之間的L字形的上述連接部件抵接部24，安裝有第二板簧37的基端的連接部件36在使兩個面抵接於連接部件抵接部24的狀態下從對置軸z方向即上方向通過作為固定件的螺栓v1緊固於基台8的底面。

而且，將第二板簧37的基端部通過作為固定件的螺栓v21在水平方向上連結於連接部件36，將第二板簧37的前端部通過作為固定件的螺栓v22在水平方向上連結於從振動盤主體10向下方突出設置的振動盤側第二連接部17。

第一彈性體400連結振動盤7和基台8，從而主要作為共振彈簧發揮功能，如圖8所示地，形成一體型板簧構造（進一步而言，一體型重疊板簧構造），該一體型板簧構造包括多個（本實施方式中兩個）板簧40、連續設置於各板簧40的一端側且形成振動盤7的一部分的上述第一連續設置部44、以及連續設置於各板簧40的另一端側且形成基台8的一部的上述第二連續設置部42。

板簧40互相平行配置。在與圖15所示同樣地，將板簧40的厚度方向、寬度方向中心設為原點O，將長邊方向設為z、將厚度方向設為x、將寬度方向設為y的情況下，圖5及圖8等所示的板簧40配置成，使厚度方向x朝向旋轉振動機A的圓周方向，使寬度方向y朝向旋轉振動機A的徑向，使長邊方向z沿與旋轉振動機A的對置軸m傾斜的方向延伸。若觀察各個板簧40，則如圖9（c）所示地，其y方向的寬度尺寸D沿長邊方向不是如用假想線表示地從一端40e1到另一端40e2同樣的長方形狀，而是如用實線表示地形成以從上下端40e1、40e2朝向中央部40m逐漸縮窄的方式順滑地縮頸的形狀。該形狀通過對作為彈簧原料的彈簧鋼、碳素鋼等實施縮頸加工來賦予。

圖8所示的第一連續設置部44為與各板簧40的上端部形成一體的長方體狀，如圖5及圖6所示地，緊密地配置於作為振動盤側第一連接部的凹部16內。圖8所示的第二連接部42為與各板簧40的下端部形成一體的底部42a、以包圍各板簧40的方式配置於該底部42a的兩側的右側部42b及左側部42c構成一體的U字狀，且如圖5~圖7所示地，緊密地配置於作為基台側第一連接部的凹部26內。

即，第一彈性體400配置成相對於作為第一質量體的旋轉盤7及作為第二質量體的基台8能夠從外部可裝卸地嵌入的位置關係。

如圖5、圖6以及圖8所示，第一連續設置部44與振動盤主體10之間由連結件v3在兩個部位沿平行於對置軸m的方向連結。圖6及圖8中用符號h3表示的部位是用於此的連結用孔。

另外，第二連續設置部42的右側部42b與基台主體20之間由螺栓v4在兩個部位沿與上述對置軸m方向交叉（正交）的第一方向s連結，第二連接部42的左側部42c與基台主體20之間由螺栓v5在兩個部位沿與上述對置軸m方向及上述第一方向s交叉（正交）的第二方向u連結。在圖8中，用符號h4、h5表示的部位是用於此的連結用孔。該實施方式的情況下，第一方向s是對置軸m的圓周上的切線方向，第二方向u是穿過對置軸m的半徑方向。另外，板簧的長邊方向z相對於對置軸m稍微傾斜，板簧30的厚度方向x與第一方向s大致一致，板簧的寬度方向y與第二方向u對置一致。

在該實施方式中，為了實現慣性力矩降低，用鋁製作振動盤主體10。但是，若在振動盤主體10直接結合彈簧，則由於鋁原料的楊氏模量比鐵低而結合部的彎曲剛性降低。因此，如圖9（b）所示地，將作為第一質量體的一部分的第一連續設置部44與板簧40均由彈簧鋼、碳素鋼等彈簧原料製作。因此，包括提高構成第一彈性體400的板簧40與旋轉盤主體10的結合部的彎曲剛性的效果。這在構成第一彈性體的板簧40與作為第二質量體的主體的基台主體20的結合部也同樣地將與板簧40形成一體的第二連續設置部42用彈簧鋼、碳素鋼等彈簧原料製作，包括提高板簧40與基台主體20的結合部的彎曲剛性的效果。此外，為了便於說明圖9（b）用一個板簧40表示，但本實施方式的板簧40如圖9（a）那樣為兩個，因此各個板簧40均包括上述的結構，包括相同的效果。

而且，通過對壓電元件驅動部38反復施加所需頻率的電壓，通過第二板簧37對振動盤7在正反方向上加振。隨之作為第一彈性體的板簧40撓曲振動。

該撓曲振動中，發生圖10（a）所示的長邊方向的彎曲。該彎曲是決定共振特性的決定性的因素。隨著該彎曲，在原點O側及相反側的彈簧兩固定端產生x方向的力Fx、F´x和繞y軸的固定力矩My、M´y。將此設為A模式的撓曲。

另外，隨之產生圖10（b）所示的繞z軸的扭轉。隨著該扭轉，繞原點O，從z軸方向觀察產生力矩Mz。將此設為B模式的撓曲。

進一步地，隨之產生圖10（c）所示的寬度方向的彎曲。隨著該彎曲，在與原點相反側產生y方向的力Fy和繞x軸的固定力矩Mx。也就是，當振動盤102相對於基台101旋轉時，板簧104的振動盤側固定部α的相位相對於基台側固定部β的相位變化，因此，例如，在將其投影到y－z平面時，振動盤側固定部α在寬度方向（徑外方向）移動。將此設為C模式的撓曲。

其中，主要通過A模式的撓曲能夠在共振點或共振點附近增幅到必要的頻率、振幅，高效地驅動振動盤7。

此時，作為第一彈性體的第一板簧40在相對於對置軸m傾斜的方向的ｚ軸方向配置，從而振動盤7進行上下方向的同時運動（振動）和圓周方向的旋轉運動（振動）。其結果，作為在振動盤7上安裝有包含螺旋狀的輸送路的輸送體B的振動輸送裝置的送料器PF將輸送路上的物品沿螺旋狀的輸送路從輸送體B的底部向上部輸送。

如以上地，本實施方式的旋轉振動機A包含作為第一質量體的旋轉盤7、相對於該旋轉盤7在對置軸m方向上對置配置的作為第二質量體的基台8、使旋轉盤7和基台8繞對置軸m相對振動的激振源9、以及配置於將旋轉盤7與基台8之間連接的位置的第一彈性體400。

而且，將該第一彈性體400設為一體型板簧構造，該一體型板簧構造包括板簧40、連續設置於上述板簧40的一端側且形成旋轉盤7的一部分的第一連續設置部44、以及連續設置於上述板簧40的另一端側並形成基台8的一部分的第二連續設置部42，其中至少將第一連續設置部44與旋轉盤主體10之間沿平行於對置軸m的方向用作為連結件的螺栓v3連結。

當採用這樣的所謂對置軸方向固定時，在如圖10（a）所示地使板簧40的兩端固定於旋轉盤7和基台8而變形成S字狀時，即使施加繞y軸的彎矩My，由於圖9（b）所示的作為連結件的螺栓v3的軸力與對置方向即繞軸的彎矩My正交，因此也難以產生繞固定部的滑動。另外，板簧40的端部與作為旋轉盤7的一部分的第一連續設置部10為一體，從而能夠通過該部件剛性承受固定力矩My，能夠抑制振動盤7的撓曲的發生，在x、y方向上實現適當的平行移動。由此，消除第一連續設置部44與板簧40之間的滑動、旋轉盤7的撓曲導致的激振損失，提高共振倍率，即使小的激振力也能夠適當地實現高頻率、大振幅化。

另外，將第二連續設置部42與作為第二質量體的主體部的基台主體20之間沿與對置軸m方向交叉的第一方向s、以及與對置軸m方向及上述第一方向s交叉的第二方向u連結，因此，在作為第二質量體的基台8側相對於第一彈性體400的扭轉應力，在該基台8與第二連續設置部42之間更能夠實現強的固定。

特別是第二質量體為固定側的基台8，第一質量體為可動側的旋轉盤7，至少在旋轉盤7側採用了上述對置軸方向固定，因此，優先消除可動部側的滑動、彈簧固定部件的撓曲。

另外，將第一連續設置部44與作為第一質量體的一部分的旋轉盤主體10之間至少在兩個部位沿對置軸m方向連結，且經由第一連續設置部44，板簧40在多個部位牢固地保持於旋轉盤主體10，因此，旋轉盤10不會撓曲、傾斜，能夠相對於基台8平行移動。

而且，由這樣的旋轉振動機A和固定於作為第一質量體的旋轉盤7上且包含螺旋狀的輸送路的輸送體B構成作為振動輸送裝置的送料器PF，因此能夠有效提高輸送體B上的物品的輸送速度。

以上對本發明的第三實施方式進行了說明，但各部分的具體的結構不限於上述的實施方式。

例如，也可以以上述實施方式的第一質量體為基台，第二質量體為振動盤的方式上下反轉而使用。該情況下，位於第一彈性體之下的上朝向U字狀的第二連續設置部位於上方配置成下朝向U字狀，相反地，位於上方的第一連續設置部位於下方，在基台與第一彈性體之間優先進行對置軸方向的連結。第一質量體、第二質量體的形狀等只要適當改變即可。

另外，在上述實施方式中，將板簧40設為從端部朝向中央部縮窄的縮頸形狀，但也可以如圖11所示的板簧40´那樣採用長方形狀。其它的基本結構與上述實施方式相同，對對應的部分標注相同的符號。這樣，板簧40´自身的剛性提高，因此可以進行以高頻率化為重點的設計。

另外，在上述實施方式中，將第一連續設置部44與旋轉盤主體10之間在兩個部位沿平行於對置軸m的方向利用作為連結件的螺栓v3連結，但是，也可以如圖12（a）所示地在一個部位用螺栓v3連結。該情況下，更優選利用螺栓v3的連結部位處於兩個板簧40´（或者40）的中間點，在通過繞y軸的力矩My與軸力大致正交而能夠防止滑動方面和通過利用第一連續設置部44的部件剛性承受該力矩My而能夠防止振動盤的撓曲的方面，起到同樣的效果。

另外，如圖12（b）所示，在將第一連續設置部44與旋轉盤主體10之間在兩個部位沿平行於對置軸m的方向利用作為連結件的螺栓v3連結時，將連結用孔h3在螺栓v5的緊固方向u上錯開進行緊固也有效。這樣，能夠提高板簧40´（或40）的彎曲強度。

另外，在上述實施方式中使用了兩個板簧40，但當然也可以以圖13（a）所示地僅使用一個板簧40´（或40）的結構、雖未圖示但使用了三個以上的板簧的結構實施。

另外，在上述實施方式中，將作為第一質量體的旋轉盤7與第一連續設置部44之間在對置軸m方向上緊固，將作為第二質量體的基台8與第二連續設置部42之間在與此正交的s軸方向、以及與m軸及s軸正交的u軸方向上緊固，但也可以如圖13（b）所示地，將作為第二質量體的基台8與第二連續設置部42之間還沿對置軸m方向連結。這樣，即使在基台8與第二連續設置部42之間，也與旋轉盤7與第一連續設置部44之間同樣地能夠消除因部件間的滑動、彈簧固定部件的撓曲而導致的激振損失。

此外，使板簧相對於對置軸方向不傾斜地構成等，在不脫離本發明的主旨的範圍內可以進行各種變形。

1:第一質量體 1L:線型輸送面 2:第二質量體 2a:防振部件 3:第一彈性體 4:基台 5:第二彈性體 6:彈性調整部件 7:第一質量體（旋轉盤） 8:第二質量體（基台） 9:激振源 10:振動盤主體 11:可動配重 12:側面連結板 13:滑槽台 14:輸送路 16:振動盤側第一連接部 17:振動盤側第二連接部 20:第二質量體的主體部（基台主體） 21:平衡配重 22:基台側第二連接部 23:第二板簧容納部 24:連接部件抵接部 26:基台側第一連接部 31:壓電元件 32:突部 33:內螺紋孔 36:連接部件 37:第二板簧 38:壓電元件驅動部 40:板簧 40´:板簧 40m:中央部 40e1、40e2:上下端 41:內螺紋孔 42:第二連接部(第二連續設置部) 42a:底部 42b:右側部 42c:左側部 44:第一連續設置部 51:鉛垂臂部 52:水平臂部 5A:L字型的板簧（L字型彈簧） 61:長孔 100:旋轉振動機 101:振動盤 102:基台 103:激振源 104:第一彈性體(板簧) 105:安裝輸送路 400:第一彈性體 A:旋轉振動機 B:輸送體 B1:螺栓 B2:螺栓 D:y方向的寬度尺寸 Fx、F´x:x方向的力 Fy:y方向的力 K:工件(輸送對象物) M:主框架 m:對置軸 Mx:力矩 My、M´y:力矩(彎矩) Mz:力矩 MS:內部空間:(空間) PF:振動輸送裝置（送料器） T:輸送方向(前後方向) W:寬度方向 s:第一方向 u:第二方向:(緊固方向) v:螺栓 v1:螺栓 v21:螺栓 v22:螺栓 v3:連結件（螺栓） v4:螺栓 v5:螺栓 X:振動輸送裝置（線型送料器） α:振動盤側固定部 β:基台側固定部 h3:連結用孔 h4:連結用孔 h5:連結用孔

圖1是示意性表示本發明的第一實施方式及第二實施方式的振動輸送裝置（線型送料器）整體的俯視圖。 圖2是第一實施方式及第二實施方式的振動輸送裝置的分解立體圖。 圖3是圖2的主要部分放大圖。 圖4是局部省略地表示從圖1中的箭頭A方向觀察的振動輸送裝置的側視圖。 圖5是表示本發明的第三實施方式的旋轉振動機及振動輸送裝置的立體圖。 圖6是圖5的分解圖。 圖7是圖6的主要部分說明圖。 圖8是表示構成第三實施方式的第一彈性體的立體圖。 圖9是該第一彈性體的結構及安裝說明圖。 圖10是該第一彈性體的作用說明圖。 圖11是表示第三實施方式的變形例的圖。 圖12是表示第三實施方式的另一變形例的圖。 圖13是第三實施方式的再另一變形例的圖。 圖14是表示現有例的旋轉振動機及振動輸送裝置的立體圖。 圖15是涉及該現有例的第一彈性體的說明圖。 圖16是該第一彈性體的振動模式的說明圖。 圖17是說明該現有例的問題的圖。

無

1:第一質量體

2:第二質量體

3:第一彈性體

4:基台

5:第二彈性體

6:彈性調整部件

11:可動配重

12:側面連結板

13:滑槽台

14:輸送路

21:平衡配重

31:壓電元件

32:突部

51:鉛垂臂部

52:水平臂部

5A:L字型的板簧(L字型彈簧)

B1:螺栓

B2:螺栓

T:輸送方向

M:主框架

MS:內部空間(空間)

X:振動輸送裝置(線型送料器)

Claims (6)

1. 一種振動輸送裝置，其通過振動來輸送線型輸送面上的輸送對象物，該振動輸送裝置包含： 第一質量體，其包括上述線型輸送面； 第二質量體，其相對於上述第一質量體以反相位振動； 第一彈性體，其連接上述第一質量體和上述第二質量體；以及 第二彈性體，其連接基台和上述第二質量體或上述第一彈性體， 其中，關於上述第二彈性體的水平方向的彈性係數和上述第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數，至少能夠獨立改變上述第二彈性體的鉛垂方向的彈性係數。
2. 如請求項1所述的振動輸送裝置，其中： 能夠獨立改變上述第二彈性體的水平方向及鉛垂方向的各彈性係數。
3. 如請求項1或2所述的振動輸送裝置，其中： 將上述第二彈性體的一端安裝於上述第一彈性體的振動的節。
4. 如請求項1至3中任一項所述的振動輸送裝置，其中： 上述第二彈性體包含相對於鉛垂方向的振動成分能夠調整彈性係數的水平臂部、和相對於水平方向的振動成分能夠調整彈性係數的鉛垂臂部中的至少一方。
5. 如請求項4所述的振動輸送裝置，其中： 包含彈性調整部件，上述彈性調整部件用於沿厚度方向按壓上述水平臂部或上述鉛垂臂部中的至少一方的臂部，通過上述彈性調整部件調整被按壓成不能彈性變形的區域，能夠改變上述臂部的有效長度。
6. 如請求項4或5所述的振動輸送裝置，其中： 上述第二彈性體是一體包括上述水平臂部及上述鉛垂臂部的L字型的板簧。

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