JP4532591B1 - 回転振動機及びこれを用いた振動式搬送装置 - Google Patents

回転振動機及びこれを用いた振動式搬送装置 Download PDF

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Abstract

【課題】近年の高速搬送の要求に対応することのできる高効率で耐久性の高い回転振動機を実現する。
【解決手段】回転振動機は、基台11と、基台の上方に配置される振動盤と、基台に直接若しくは間接的に接続された内周部14aを有し、内周部14aから半径方向外側に延在する圧電駆動体14と、圧電駆動体14の外周部14bと振動盤との間に接続される弾性部材15と、を具備する回転振動機において、弾性部材15は、圧電駆動体14の外周部側に接続された内周側接続部15aから振動盤側に接続された外周側接続部15bに至る範囲において半径方向に延在するとともに接線方向に屈曲した形状15cを有する板状材であることを特徴とする。
【選択図】図2

Description

本発明は回転振動機及びこれを用いた振動式搬送装置に係り、特に、回転振動機の駆動機構に関する。
一般に、螺旋状のトラックを備えたボウル型パーツフィーダなどの振動式搬送装置においては、ボウル型搬送体を接線方向に振動させるための回転振動機を用いる。この回転振動機は、基台上に板バネ等によって弾性的に支持された振動盤を有し、この振動盤は電磁駆動体や圧電駆動体によって軸線周りの接線方向に加振される。近年は、基台に支持された圧電駆動体を板バネ等の弾性部材を介して上記振動盤に接続し、圧電駆動体の撓み振動によって振動盤を接線方向に振動させる構造が多く見られるようになってきている。
上記の圧電駆動体を用いた回転振動機としては、例えば、以下の特許文献1乃至3に記載されているものがある。これらの回転振動機は、基台上において中心側に固定された圧電駆動体が半径方向外周側に延在し、当該圧電駆動体の外周部が弾性部材に接続され、当該弾性部材が振動盤の外周部に接続固定された構造を有している。このように圧電駆動体が半径方向外周側に延在してなる横型の回転振動機では、振動盤を接線方向に効率的に振動させることができるとともに、高さを低減して回転振動機をコンパクトに構成することができるという利点がある。
特開昭62−201710号公報 特開2007−161454号公報 特開2008−265967号公報
ところで、近年は部品の搬送速度のさらなる向上が要求されるようになってきているので、圧電駆動体の駆動周波数が高くなるとともに振幅も増大していることから、圧電駆動体に対する駆動負荷が大きく、圧電駆動体の耐久性が問題となりつつある。さらに、前述の横型の回転振動機では、振動盤上に振動式搬送装置の例えばボウル型搬送体を固定した状態で動作するが、上記のように高周波数で大きな振幅が要求されるために、回転振動機を動作させ続けると振動盤と搬送体との間に隙間が生じたり振動盤と搬送体との間から生ずる騒音が大きくなったりする場合がある。
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、近年の高速搬送の要求に対応することのできる高効率で耐久性の高い回転振動機を実現することにある。
斯かる実情に鑑み、本願発明者らが鋭意検討した結果、以下の点が明らかとなった。すなわち、圧電駆動体と弾性部材が基台の中心側から外周側に向けて半径方向に延在する形式の回転振動機においては、実際には圧電駆動体の撓み変形によって振動盤を接線方向に振動させるため、圧電駆動体と弾性部材からなる加振機構の振動盤との接続点は基台の中心の周りに振動しようとするのではなく、基台の中心よりも半径方向外側にずれた位置(例えば、圧電駆動体の半径方向の中間位置)を中心に振動しようとする。したがって、加振機構の振動態様と振動盤の振動態様とのずれにより駆動力にロスが生じている。また、接線方向の往復振動が生ずる度に、圧電駆動体は振動盤から半径方向の引っ張り応力を受け、振動盤は加振機構から半径方向内側に圧縮応力を受けることから、上記応力により圧電駆動体の耐久性が低下して破損が生じたり、振動盤の剛性が低い場合には振動盤に歪が生ずるので時間の経過とともに振動盤と搬送体との固定面に隙間が生じたり振動盤と搬送体との間で騒音が発生したりする。
そこで上記の点を解決するために本発明が講じた手段は、基台と、該基台の上方に配置される振動盤と、前記基台に直接若しくは間接的に接続された内周部を有し該内周部から半径方向外側に延在する圧電駆動体と、該圧電駆動体の外周部と前記振動盤との間に接続される弾性部材と、を具備し、前記圧電駆動体及び前記弾性部材により前記振動盤を軸線周りに回転する方向に振動させる回転振動機において、前記弾性部材は、前記圧電駆動体の外周部側に接続された内周側接続部から前記振動盤側に接続された外周側接続部に至る範囲において半径方向に延在するとともに接線方向に屈曲した形状を有する板状材であり、前記弾性部材の外周側接続部は前記圧電駆動体の延長線上を半径方向に延在することを特徴とする。この発明によれば、弾性部材が半径方向に延在するとともに接線方向に屈曲した形状を有する板状材であることにより、当該弾性部材は接線方向の屈曲形状が変化する態様で半径方向に容易に伸縮することができるようになる。したがって、上記加振機構の接線方向の振動態様の中心点が基台及び振動盤の中心と一致しないことに起因して動作時に圧電駆動体及び振動盤に加わる半径方向の応力を軽減することが可能になる。このため、圧電駆動体が受ける駆動負荷を軽減できることから圧電駆動体の耐久性を向上できるとともに振動盤の変形を抑制することができる。
この場合、前記弾性部材の外周側接続部は前記圧電駆動体の延長線上を半径方向に延在することにより、圧電駆動体の発生する駆動力を半径方向と直交する接線方向へ振動盤に確実かつ効率的に伝達することができる。
本発明の一の態様においては、前記弾性部材においては、前記内周側接続部及び前記外周側接続部が共に半径方向に延在し、前記内周側接続部と前記外周側接続部との間に、半径方向に延在してから接線方向一側に屈曲した後に接線方向逆側に屈曲して再び半径方向に延在する中間屈曲部が設けられる。これによれば、内周側接続部及び外周側接続部が半径方向に延在することにより、圧電駆動体で発生した駆動力を振動盤に対して半径方向と直交する接線方向へ正確に加えることができるので、振動盤をより効率的に振動させることができる。また、中間屈曲部が接線方向一側に屈曲した後に接線方向逆側に屈曲する簡易な形状で構成されるので、振動の伝達効率をそれほど低下させずに半径方向の伸縮性を得ることができる。
本発明の他の態様においては、前記圧電駆動体の外周部と前記弾性部材の内周側接続部は接線方向に重なった状態で固定され、前記弾性部材の前記外周側接続部は、前記接線方向に屈曲した形状により、前記内周側接続部よりも接線方向に見て前記圧電駆動体の側に配置される。これによれば、圧電駆動体の外周部と弾性部材の内周側接続部が接線方向に重なった状態で接続されることによる接線方向の位置ずれが弾性部材の屈曲した形状により低減される方向に修正されるので、全体として圧電駆動体の軸線と弾性部材からなる駆動機構の延在方向を半径方向からのずれが少ない態様に設定することができるため、効率的に駆動力を振動盤に伝えることが可能になる。
本発明の別の態様においては、前記弾性部材は、上下両側にそれぞれ凹曲線状に構成された外縁を備えている。これによれば、弾性部材の上下両側の外縁が凹曲線状に構成されることにより、弾性部材のねじれ方向の可撓性を高めることができるとともに、中央部分が低くなる剛性率分布によって弾性部材の上下両側の外縁に加わる応力を曲線に沿って半径方向に分散させることができる。したがって、圧電駆動体の撓み変形により弾性部材が接線方向に振動したとき、振動盤の重心が上方にあることで弾性部材にねじれ応力が加わっても、弾性部材が全体的にねじれ方向に変形することによって弾性部材の半径方向の長さ全体にわたって応力を分散して受け止めることができる。このため、例えば、圧電駆動体の外周部に固定される弾性部材の内周側接続部の境界部位や振動盤に固定される弾性部材の外周側接続部の境界部位などに、局部的な応力集中による損傷が発生することを防止できる。
本発明の異なる態様においては、前記圧電駆動体の内周部は、前記基台上に当接固定されて半径方向に延在する固定面領域を備えた取付固定部材の内周側端部に固定される。これによれば、半径方向に延在する固定面領域を基台上に当接固定することで取付固定部材を高い固定強度で基台に取り付けることができるとともに、当該取付固定部材の内周側端部に圧電駆動体の内周部を固定することにより、圧電駆動体の内周部を振動盤の中心に近づけることが可能になる。
次に、本発明の振動式搬送装置は、上記いずれかに記載の回転振動機と、前記振動盤上に固定され接線方向に伸びる螺旋状の搬送路を備えた搬送体とを具備することを特徴とする。
本発明によれば、近年の高速搬送の要求に対応することのできる高効率で耐久性の高い回転振動機を実現することができるという優れた効果を奏し得る。
回転振動機の実施形態の外観を示す概略断面図。 同実施形態の振動盤を取り去った状態を示す概略平面図。 同実施形態の縦断面図。 同実施形態の側面図。 同実施形態の加振機構の平面図。 同実施形態の弾性部材の平面図(a)及び側面図(b)。 同実施形態の回転振動機を備えた振動式搬送装置を示す側面図。 図5に示す振動式搬送装置の平面図。
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
[回転振動機]
図1は本発明に係る回転振動機の実施形態の外観を示す概略斜視図、図2は当該回転振動機の振動盤を取り去った状態を示す概略平面図、図3は同回転振動機の縦断面図(図2のB−B線断面図)、図4は同回転振動機の側面図である。
本実施形態の回転振動機10は、基台11と、この基台11の上方に支持された円盤状の振動盤12と、基台11と振動盤12の間に配置され、振動盤12を支持するとともに接線方向、すなわち、回転振動機10の軸線10x(振動盤12の軸線でもある。)周りに回転する方向に振動させる加振機構13とを備えている。加振機構13は図示例では上記軸線10xの周りに複数(図示例では三つ)設けられている。複数の加振機構13は軸線10xの周りに等角度間隔で設置されている。なお、基台11は設置台10a上にゴムやばね等の防振部材10bを介して支持されている。
加振機構13は全体として上記軸線10xを中心とする半径方向に延在する形状とされる。加振機構13は、半径方向内周側から外周側へ延びる板状の圧電駆動体14と、この圧電駆動体14に接続固定された板状の弾性部材(板ばね)15とを備えている。圧電駆動体14の内周部14aは取付固定部材16を介して基台11の上面11aに固定されている。
取付固定部材16は半径方向内周側から外周側へ延びる固定領域16sを有し、この固定領域16sの底面が基台11の上面11aに当接した状態でボルト17等の適宜の固定手段により基台11に固定される。取付固定部材16の内周端部16aは固定領域16sの内周部より側方に突出し、これによって取付固定部材16は全体としてL字状の平面形状を有している。内周端部16aは上記圧電駆動体14の内周部14aに固定される。圧電駆動体14と取付固定部材16は図示のようにスペーサ(座金)やボルトにより固定される。ここで、内周端部16aと内周部14aの当接固定面は、上記半径方向と直交する接線方向に向いた面となっている。
圧電駆動体14はシム板などの弾性金属板の表面に圧電駆動素子を貼着したものであり、弾性金属板の表裏両面上にそれぞれ圧電駆動素子を設けたバイモルフ型や片面のみに圧電駆動素子を設けたユニモルフ型が用いられる。圧電駆動体14は全体として板状に構成され、その幅方向が基本的に上下方向、すなわち、基台11と振動盤12を結ぶ方向に沿った方向となり、半径方向に延在する姿勢で設置される。ただし、後述するボウル型の搬送体でらせん状のトラックに沿って部品を搬送させるために、振動盤12を軸線10xの周りに斜め上方に振動させる必要があるので、圧電駆動体14の幅方向は完全な垂直方向ではなく、斜め上方に傾斜している。
圧電駆動体14の外周部14bは弾性部材15の内周側接続部15aに固定される。外周部14と内周側接続部15aは接線方向に重なった状態でスペーサ(座金)、ボルト、ナット等により固定されている。弾性部材15の外周側接続部15bは、振動盤12の外周部において下方に突設された突起状の被接続部12aにスペーサ(座金)、ボルト等により固定される。この被接続部12aは、基台11の外周壁部に設けられた凹状の開口部11bの内部に接触しない状態で配置される。
弾性部材15は一体の弾性金属材料で構成され、全体として板状に形成される。この弾性部材15において、圧電駆動体14の外周部14aに接続される内周側接続部15aと、振動盤12に固定される外周側接続部15bが共に半径方向に伸びる姿勢とされている。そして、本実施形態では、内周側接続部15aと外周側接続部15bとの間に中間屈曲部15cが設けられている。この中間屈曲部15cは半径方向から外れる態様で接線方向に屈曲した形状を有する部分である。本実施形態では、中間屈曲部15cを有する弾性部材15を用いることで、加振機構13の半径方向の伸縮を容易にしている。
図示例において中間屈曲部15cは、内周側接続部15aと同様にそのまま半径方向に延在してから接線方向の一側(図2において時計回り)に屈曲し、その後、接線方向の逆側(図2において反時計回り)に屈曲して再び半径方向に延在するS字状の形状を有している。このように内周側接続部15a及び外周側接続部15bが共に半径方向に延在することで、圧電駆動体14及び振動盤12との間の駆動力の伝達が接線方向に行われるので、圧電駆動体14の駆動力を効率的に振動盤12に伝えることができる。
ここで、弾性部材15は上記の屈曲形状に限らず、たとえば、L字状、U字状、V字状、クランク状など、屈曲形状が変化することで半径方向の伸縮が可能になる態様であれば、如何なる屈曲形状を有していてもよい
上記の圧電駆動体14及び弾性部材15からなる加振機構13は、平面上では接線方向に向いた姿勢とされるが水平方向に対して傾斜角θ(図4参照)を有する傾斜姿勢で取り付けられている。すなわち、圧電駆動体14及び弾性部材15の板面は接線方向斜め上方に向いた姿勢とされる。上記傾斜角θは振動盤12の振動方向Sを水平な接線方向に対して斜め上方に向け、この振動方向Sによって後述する搬送体上の部品が振動方向Sに沿った接線方向斜め上方に向かう向きに搬送される。傾斜角θは通常5〜20度の範囲内であるが、要求される搬送特性に応じて適宜に設定される。
図5は上記の加振機構13及び取付固定部材16の平面図である。基台11上において圧電駆動体14及び弾性部材15からなる加振機構13と、取付固定部材16は並行して(平行であることが好ましいが、厳密に平行でなくてもよい。)に共に半径方向Rに沿って延在する。加振機構13と取付固定部材16との間には、取付固定部材16の内周端部16aの突出量によって間隔が設けられる。
圧電駆動体14の外周部14bと弾性部材15の内周側接続部15aは、接線方向Tに重なった状態で固定されている。このため、弾性部材15の内周側接続部15aは、圧電駆動体14から半径方向Rに沿って伸びる延長線14yから接線方向Tの図示反時計回りにずれた位置に配置される。なお、図示例では延長線14yは軸線10xを通過して半径方向に沿って伸びる直線である。一方、弾性部材15の外周側接続部15bは、上記中間屈曲部15cによって、上記内周側接続部15aよりも接線方向Tの図示時計回りにずれた位置、すなわち、圧電駆動体14の側にずれた位置に配置される。その結果、図示例では外周側接続部15aは圧電駆動体14の上記延長線14y上を半径方向Rに延在している。
このように、圧電駆動体14の外周部14bと弾性部材15の内周側接続部15aが接線方向Tに重なった状態で固定されることによる接線方向Tの位置ずれは、弾性部材15の中間屈曲部15cの屈曲によって修正されるので、圧電駆動体14の延長線14yに対して外周側接続部15bが大きくそれることが回避され、図示例では外周側接続部15bは延在線14x上に配置される。したがって、駆動機構13は全体として半径方向Rに正確に延在することになるので、振動盤12を接線方向Tに効率的に駆動することが可能になる。
図6(a)は弾性部材15の平面図、図6(b)は弾性部材15の側面図である。ここで、上記内周側接続部15aは平板状に構成され、ボルト挿通用の貫通孔15tが形成されている。また、上記外周側接続部15bも平板状に構成され、ボルト挿通用の貫通孔15uが形成されている。内周側接続部15aと外周側接続部15bはいずれも幅方向(図示上下方向)に延長された帯状に構成される。なお、図示例では、圧電駆動体14の外周部14bの幅と、振動盤12の被接続部12aの上下幅に対応して、内周側接続部15aは外周側接続部15bよりも幅広に構成されている。
中間屈曲部15cは上記のように接線方向に屈曲した形状を有するが、幅方向に見ると、幅方向両側(図示上下両側)の外縁15d、15eがそれぞれ凹曲線状(凹円弧状)に形成されることで、内周側接続部15aと外周側接続部15bのいずれに対しても幅狭に構成されている。そして、これらの凹曲線状の外縁15d、15eによって弾性部材15の半径方向の剛性率(せん断弾性係数)の分布が半径方向中央部で最も小さく、内周側接続部15b及び外周側接続部15bに向かうに従って徐々に大きくなるように構成される。
上記のような剛性率の半径方向分布は、弾性部材15が圧電駆動体14及び振動盤12から受けるねじれ方向の応力を上記内周側接続部15aと中間屈曲部15cの境界線15ac(例えば、圧電駆動体14との接続固定部に用いるスペーサ(座金)の端縁に当接する部分)や上記外周側接続部15bと中間屈曲部15cの境界線15bc(例えば、振動盤12との接続固定部に用いるスペーサ(座金)の端縁に当接する部分)に集中的に受けることを回避することができる点で有効である。ここで、上記のねじれ方向の応力は、半径方向に延在している加振機構13が固定される基台11の重心が下方に配置され、加振機構13が駆動する振動盤12の重心が上方に配置される構成によって必然的に発生する。
すなわち、例えば弾性部材15の幅が半径方向に一定である場合には、上記ねじれ方向の応力を受けると上記境界線15acや15bcに応力が集中してこれらの境界線の幅方向端部に亀裂や摩耗等の損傷が生ずる場合がある。しかし、本実施形態では中間屈曲部15cにおいて境界線15acや15bcから離反して半径方向の中間位置に向かうに従って幅が狭くなって剛性率が低下するように構成されるので、上記ねじれ方向の応力による変形量は境界線15acや15bcから離反するに従って増大する。したがって、当該ねじれ方向の応力を弾性部材15の半径方向全体にわたる変形で受け止めることができるため、応力集中による損傷の発生などの不具合が発生しにくくなる。また、弾性部材15の外縁15d、15eは凹曲線状に形成されているので、上記ねじれ方向の応力の外縁に沿った分散性はさらに向上する。
なお、上記の凹曲線状の外縁15d、15eによって中間屈曲部15cの中間部位の接線方向の剛性は低下するが、この剛性の低下は、上記の中間屈曲部15cの接線方向への屈曲形状によって抑制される。したがって、本実施形態では弾性部材15の接線方向の剛性の低下を抑制しつつ、上述の凹曲線状の外縁形状による効果を享受できるという利点もある。
本実施形態では、上述のように弾性部材13が接線方向に屈曲していることで半径方向に伸縮しやすくなるので、加振機構13の振動態様が軸線10xを中心とする往復回動運動ではないことによる加振機構13と振動盤12との間に生ずる半径方向のストレスを吸収することが可能になる。
すなわち、加振機構13の外周部の振動態様が軸線10xを中心とする往復回動運動であれば上記のストレスは生じないはずであるが、実際問題としては、加振機構13の内周端を軸線10x上に配置することは物理的にきわめて困難であるとともに、仮に当該内周端を軸線10x上に配置できたとしても、実際には上記振動態様は圧電駆動体14が撓み振動を生ずることで得られるので、多くの場合、当該振動態様の中心点は圧電駆動体の半径方向の中間位置にくる。したがって、いずれにしても弾性部材15の外周側接続部15bの振動態様の半径は、振動盤12の被接続部12aと軸線10xの距離よりも小さくなるから、弾性部材15の接線方向の振幅が大きくなるほど加振機構13と振動盤12と間に生ずる半径方向のストレスは大きくなる。
上記のストレスは、圧電駆動体14に与える半径方向の応力負荷を増大させ、圧電駆動体14の破損の原因になるとともに耐久性を低下させる。また、振動盤12に応力変形をもたらし、たとえば、後述する搬送体を支持固定する振動盤12の支持面12sを変形させる。この支持面12sの変形は、搬送体に歪を与えるとともに、搬送体と振動盤12の間に隙間を生じさせて振動効率を低下させ、さらには両者の当接部分からの騒音を増大させる。
本実施形態では、上記の弾性部材15に屈曲形状を与えることで上記の半径方向のストレスを軽減することができるので、圧電駆動体14に与える半径方向の応力負荷と振動盤12の変形を低減させることが可能になる。したがって、圧電駆動体14の破損防止、耐久性の向上、振動盤12の軽量化、騒音防止、搬送体の歪低減、振動盤から搬送体への振動の伝達効率の向上などを実現することが可能になる。
次に、図7及び図8を参照して本発明に係る振動式搬送装置の実施形態について説明する。図7は本発明に係る振動式搬送装置の一実施例を示す概略側面図、図8は同装置の概略平面図である。振動式搬送装置4はいわゆるボウル型パーツフィーダであり、設置台1上にコイルばね等の防振部材2を複数個所に介在させて支持された支持台3上に配置される。支持台3上には、上述の回転振動機10が設置され、当該回転振動機10の上記振動盤12上にボウル型の搬送体42が固定されている。搬送体42のすり鉢状の内部には、部品を収容する底部42aと、この底部42aから螺旋状に徐々に上方へ向かう搬送路(トラック)42bとが形成されている。この搬送路42bは最終的に搬送体42の外周上部に至り、その先端部42cで支持台3上に別途配置された別の振動式搬送装置5の搬送路52aに部品を渡すように構成されている。
上記の別の振動式搬送装置5はいわゆるリニア型パーツフィーダであり、支持台3上に設置された加振機構51と、この加振機構51上に支持され直線状の搬送路52aを備えた搬送体52とを備えている。また、この振動式搬送装置5の側方には上記と同様の加振機構上に直線状の回収路62aを備えた搬送体62を有する別の振動式搬送装置6が設置されている。この振動式搬送装置6は、上記搬送路52aに沿って図示右側へ搬送されていく部品のうち、搬送路52aの途中に設けられた部品排除部から排除された正規の姿勢にない部品や不良部品を受け取り、回収路62a内で搬送路52aとは逆方向の図示左側に搬送し、上記の振動式搬送装置4の搬送体42の内部の部品受入部42dへ戻す。
振動式搬送装置4では、回転振動機10の振動盤12上に搬送体42がボルト43等により固定される。そして、振動盤12が上述のように接線方向に振動すると、搬送体42は振動盤12と一体に接線方向に振動する。このとき、本実施形態では振動盤12に加わる半径方向のストレスが低減されるので、搬送体42についても同様となり、搬送体42に歪が生ずることが防止される。また、上記ストレスにより振動盤12の支持面12sが変形した場合には、振動盤12と搬送体42の間に隙間が生じて不要な振動が生じたり騒音が増大したりする可能性があるが、本実施形態では支持面12sの変形を抑制することができるので、不要振動や騒音を低減することができる。
尚、本発明の回転振動機及び振動式搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記実施形態では基台11と圧電駆動体14が取付固定部材16を介して間接的に接続固定されているが、基台11と圧電駆動体14を直接に接続固定してもよい。また、上記実施形態では圧電駆動体14と弾性部材15が直接接続固定されているが、これらの間に何らかの部材を介在させて接続固定されていてもよい。さらには、上記実施形態では弾性部材15と振動盤12が直接接続固定されているが、これらの間に何らかの部材を介在させて接続固定されていてもよい。
10…回転振動機、10x…軸線、11…基台、11a…上面、12…振動盤、12a…被接続部、12s…支持面、13…加振機構、14…圧電駆動体、14a…内周部、14b…外周部、14y…延長線、15…弾性部材、15a…内周側接続部、15b…外周側接続部、15c…中間屈曲部、15d、15e…外縁、16…取付固定部材、16a…内周端部、16s…固定領域、4…振動式搬送装置、42…搬送体、42a…搬送路

Claims (6)

  1. 基台と、該基台の上方に配置される振動盤と、前記基台に直接若しくは間接的に接続された内周部を有し該内周部から半径方向外側に延在する圧電駆動体と、該圧電駆動体の外周部と前記振動盤との間に接続される弾性部材と、を具備し、前記圧電駆動体及び前記弾性部材により前記振動盤を軸線周りに回転する方向に振動させる回転振動機において、
    前記弾性部材は、前記圧電駆動体の外周部側に接続された内周側接続部から前記振動盤側に接続された外周側接続部に至る範囲において半径方向に延在するとともに接線方向に屈曲した形状を有する板状材であり、前記弾性部材の外周側接続部は前記圧電駆動体の延長線上を半径方向に延在することを特徴とする回転振動機。
  2. 前記弾性部材においては、前記内周側接続部及び前記外周側接続部が共に半径方向に延在し、前記内周側接続部と前記外周側接続部との間に、半径方向に延在してから接線方向一側に屈曲した後に接線方向逆側に屈曲して再び半径方向に延在する中間屈曲部が設けられることを特徴とする請求項1に記載の回転振動機。
  3. 前記圧電駆動体の外周部と前記弾性部材の内周側接続部は接線方向に重なった状態で固定され、前記弾性部材の前記外周側接続部は、前記接線方向に屈曲した形状により、前記内周側接続部よりも接線方向に見て前記圧電駆動体の側に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の回転振動機。
  4. 前記弾性部材は、上下両側にそれぞれ凹曲線状に構成された外縁を備えていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の回転振動機。
  5. 前記圧電駆動体の内周部は、前記基台上に当接固定されて半径方向に延在する固定面領域を備えた取付固定部材の内周側端部に固定されることを特徴とする請求項1乃至のいずれか一項に記載の回転振動機。
  6. 請求項1乃至のいずれか一項に記載の回転振動機と、前記振動盤上に固定され接線方向に伸びる螺旋状の搬送路を備えた搬送体とを具備することを特徴とする振動式搬送装置。
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