JP4280291B2 - 振動式搬送装置及び回転振動機 - Google Patents

Description

本発明は振動式搬送装置及び回転振動機に係り、特に、加振体として板状の圧電振動体を用いる場合に好適な回転振動機構の内部構造に関する。

一般に、電子部品等を搬送するために種々の振動式搬送装置が使用されているが、この種の振動式搬送装置においては、近年、高い供給速度と供給精度が要求され、高速化及び高性能化が急務とされている。一般的には、部品の搬送姿勢を完全に揃えた状態で高速に搬送することが要求されており、そのためには部品を振動により効率的かつ安定に搬送する必要がある。このような効率的で安定性の高い搬送態様を実現するには、振動の高周波化に加えて、部品搬送路を形成してなる振動台の振動方向のぶれ（ばらつき）を低減するとともに振動方向を高精度に設定する必要がある。

従来の振動式搬送装置としては、螺旋状の部品搬送路を備えたボウル型搬送装置が知られており、このボウル型搬送装置では、電磁石式若しくは圧電式の加振体と、この加振体より発生する振動を増幅する増幅板バネとを接続してなる加振機構を基台と振動台（搬送体）との間に接続し、複数の加振機構を軸線周りに同じ姿勢で設置することで旋回振動を生成するように構成する回転振動機が用いられる。特に、近年においては小型化及び高周波数化の進展によって上記加振体として圧電振動体を用いる場合が多くなっている。

上記の回転振動機としては、従来は基台と振動台との間に加振体や板バネ等を長手方向に傾斜させた姿勢で取り付けるものが一般的であったが、近年の小型化及び高周波化の要請に対応して加振体や板バネを水平方向若しくは半径方向に延在するように設置したタイプの回転振動機が提案されている。以下の特許文献１乃至６はいずれもボウル型搬送装置に関するものであり、水平方向に延在する加振機構を設けることによって高さを低く構成したり、設置安定性を高めたりすることができるように構成された回転振動機が開示されている。たとえば、基台の中央部に支柱部を立設し、この支柱部に圧電振動体（弾性板の表面に圧電体を貼着したもの）及び板バネを直列に接続してなる加振機構の内端部を取り付け、当該加振機構を水平に半径方向外周側に延在させ、その外端部を振動台や搬送体（ボウル）の底部に接続した構造が提案されている。
実開昭５７−４６５１７号公報 特公昭６０−４５０８４号公報 特開昭６２−２０１７０９号公報 特開昭６２−２０１７１０号公報 特開平１−１０４５０８号公報 特開平９−１１０１３３号公報

ところで、前述のように、ボウル型振動式搬送装置においては、搬送部品の小型化や搬送速度の高速化の要請に応えるために振動の高周波化とともに振動態様の最適化が必要とされているが、振動が高周波化すると振動方向がばらつきやすくなるとともに、搬送部品が小型化することによって振動方向のばらつきによる搬送部品の送り方向のばらつきも生じやすくなる。したがって、搬送効率を向上させるためには、振動の高周波化と同時に振動方向のばらつきを低減させる必要がある。

上記の振動方向のばらつきは、不要な振動モード、たとえば、本来の周波数及び振動方向を有する振動モード以外の不要な振動モード（捩り振動モード、縦振動モードなど）が生じた場合に発生するが、このような不要な振動モードは各部の剛性不足によって発生しやすくなる。特に、ボウル等の搬送体を効率良く振動させるには、基台の慣性重量を大きくして加振機構で発生した振動を効率的に振動台や搬送体へ伝播させる必要があるが、そのためには基台の加振機構に対する取付部分が十分な剛性を備えている必要があり、これは上記の不要モードを低減する上でも有効である。しかしながら、上記従来の回転振動機においては、基台の中央に支柱部を突設し、この支柱部に加振機構の内端を取り付けているので、支柱部の剛性を十分に高めることができず、支柱部の剛性を十分に高めようとすると、支持部の外径を大きくしたり取付面積を増大させたりする必要があるために、回転振動機が大型化し、小型化の要請に反するという問題がある。

そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、回転振動機若しくはこれを含む振動式搬送装置において、振動の高周波化を図りつつ振動方向のばらつきを低減して搬送効率を高めることができるとともに、回転振動機の小型化を図ることができる構造を提供することにある。

斯かる実情に鑑み、本発明の振動式搬送装置は、基台と、該基台上に配置される環状若しくは螺旋状の部品搬送路を備えた搬送体と、前記基台と前記搬送体との間に介在して前記搬送体を回転方向に振動させる加振機構と、を具備する振動式搬送装置において、前記加振機構は、前記基台側に接続された内端部から前記搬送体側に接続された外端部へ向けて半径方向内側から外側に延在する姿勢で配置され、前記加振機構と前記基台との間には、前記加振機構の内端部に接続されるとともに前記基台に接続される接続部品が介在し、該接続部品は、半径方向内側に設けられ、前記加振機構の内端部に接続固定される加振側接続部と、該加振側接続部から前記加振機構と間隔を有して並行して半径方向外側に延在し、前記基台に接続固定される基台側接続部とを有することを特徴とする。

本発明によれば、接続部品の加振側接続部を加振機構の内端部に接続固定するとともに、この半径方向内側の加振側接続部から基台側接続部が加振機構と間隔を有して並行して半径方向外側に延在して基台側に接続されていることにより、加振機構を接続部品を介して半径方向の広い範囲にわたり基台に固定することが可能になるため、基台の中央に支柱部を突設させなくても加振機構を確実かつ強固に取り付けることが可能になるとともに、上記支柱部そのものが不要になり、加振機構の内端部を軸線に近づけて配置することが可能になる。したがって、不要な振動モードの発生を抑制して振動方向のばらつきを低減することができるとともに、装置の外径を低減して小型化を図ることも可能になる。

本発明において、複数の前記加振機構が軸線周りの複数個所にそれぞれ対応する前記接続部品とともに設置され、該複数の加振機構の内端部同士が軸線近傍において水平方向に前記接続部品を介在させずに直接対向していることが好ましい。これによれば、軸線周りに設置された複数の加振機構の内端部同士が軸線近傍において水平方向に直接対向していることにより、加振機構の内端を軸線に近づけることができ、全体として装置をコンパクトに構成できる。また、このようにすると加振機構の振動態様が軸線を中心とした円弧状の振動に近くなるので、複数の加振機構間の振動態様の不整合性を低減することができるので、振動方向のばらつきの発生をさらに抑制できる。

本発明において、前記接続部品は、半径方向に沿った延長形状とされた前記基台側接続部と、当該基台側接続部の内端部から回転方向に突出した前記加振側接続部とからなる略Ｌ字形状を備えていることが好ましい。これによれば、接続部品による加振機構の内端部の確実かつ強固な固定、並びに、加振機構の内端部の軸線近傍への配置を可能にしつつ、接続部品を回転方向の狭い角度範囲内に配置することが可能になるので、装置のさらなる小型化を図ることができる。

本発明において、前記加振機構には、圧電振動体よりなる板状の加振体と、該加振体に直列に接続された弾性板とが半径方向に略直線状に延在する姿勢で配置され、前記加振体が前記弾性板より半径方向に長く構成されていることが好ましい。これによれば、加振機構において直列に接続された加振体と弾性板とが半径方向に略直線状に配置されることで、搬送体を回転方向に効率的に振動させることが可能になる。また、加振体が弾性板より半径方向に長く構成されることで、加振機構のばね定数が高められるので、振動の高周波化を容易に達成することが可能になるとともに振動方向のばらつきをさらに低減できる。

次に、本発明の回転振動機は、基台と、該基台上に配置される振動台と、前記基台と前記振動台との間に介在して前記振動台を回転方向に振動させる加振機構と、を具備する回転振動機において、前記加振機構は、前記基台側に接続された内端部から前記振動台側に接続された外端部へ向けて半径方向内側から外側に延在する姿勢で配置され、前記加振機構と前記基台との間には、前記加振機構の内端部に接続されるとともに前記基台に接続される接続部品が介在し、該接続部品は、半径方向内側に設けられ、前記加振機構の内端部に接続固定される加振側接続部と、該加振側接続部から前記加振機構と間隔を有して並行して半径方向外側に延在し、前記基台に接続固定される基台側接続部とを有することを特徴とする。

以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。図１は第１実施形態の振動式搬送装置に用いられる回転振動機の概略側面図、図２は同機の振動台を取り外した様子を示す概略平面図、図３は同機の加振機構を示す概略斜視図、図４は同機の振動台の側面図（ａ）、底面図（ｂ）及び縦断面図（ｃ）、図５は同機の基台から部品を取り外した様子を示す平面図である。振動式搬送装置は、公知のように、図示の回転振動機１０の上部（振動台１５）に螺旋状や円周状の搬送路を設けた搬送体１１２（図６参照）を取付けることで形成される。

本実施形態の回転振動機１０は、図１に示すように、取付ベース１１と、この取付ベース１１に対して防振ゴム、コイルバネ等の弾性部材１２を介して搭載された基台１３とを有する。また、基台１３上には、加振機構１４を介して振動台１５が取り付け支持されている。なお、加振機構１４とは別に基台１３と振動台１５との間に弾性支持部材（板バネなど）を取り付けることはできるが、本実施形態では加振機構１４のみで振動台１５が支持されている。

図２に示すように、基台１３の上面には接続部品１６が取付固定される。この接続部品１６は、基台１３の構成素材より弾性率（ヤング率）或いは剛性率が高い素材で構成されることが好ましい。特に剛性率の高い素材で構成することが後述する振動の効率的な伝播や不要な振動モードの抑制を図る上で効果的である。この接続部品１６には上記加振機構１４の内端部が取付固定されている。加振機構１４は軸線１０ｘを中心とした半径方向に伸び、その外端部が上記振動台１５に取付固定されている。加振機構１４は、弾性基板（シム板）１４Ａ１の外面（図示例では両外面）に圧電体１４Ａ２が貼着されてなる圧電振動体である加振体１４Ａと、板バネ等よりなる弾性板１４Ｂとが直列に接続されてなる。

図３に示すように、加振機構１４は、加振体１４Ａ側の部分が接続部品１６に接続され、弾性板１４Ｂ側の部分が振動台１５に接続されている。加振体１４Ａの弾性基板１４Ａ１と弾性板１４Ｂとは樹脂スペーサ１７を介して接続具１８によりボルト等を用いて接続固定されている。また、加振体１４Ａの弾性基板１４Ａ１と接続部品１６の間、並びに、弾性板１４Ｂと振動台１５の間においても、それぞれ樹脂スペーサ１７を介して接続具１８によりボルト等を用いて接続固定されている。なお、各部品の接続態様は上記態様に限定されるものではなく、種々の固定方法にて固定でき、また、弾性基板１４Ａ１と弾性板１４Ｂとを一体の弾性体で構成することも可能である。ただし、本実施形態では、上記各接続部分に樹脂スペーサ１７を介挿することで、加振体１４Ａの弾性基板１４Ａ１又は弾性板１４Ｂの取付部分に金属疲労等による破断が生じにくくなるように配慮している。

接続部品１６は、半径方向に延在する基台側接続部１６Ａと、この基台側接続部１６Ａの内端部から軸線１０ｘ周りの回転方向（図示例では上方から見て反時計回り、以下、同反時計回りを正回転方向、同時計回りを逆回転方向という。）に突出した加振側接続部１６Ｂとが設けられている。基台側接続部１６Ａは加振側接続部１６Ｂ側から半径方向外側に向けて延在する形状、具体的には半径方向外側に向けて直線状に伸びる平面形状を有し、これによって接続部品１６は略Ｌ字状の平面形状を備えたものとされる。基台側接続部１６Ａには半径方向内側と外側の二箇所に固定孔１６ａ（図３参照）が形成され、これらの固定孔１６ａにボルト等を挿入して基台３の取付面１３ａ（図５参照）に穿孔された螺子孔１３ｅに螺合させることで基台側接続部１６Ａが基台３に取付固定される。

また、接続部品１６は、図３に示すようにその下端部から間隙Ｇだけ上方へシフトした位置に上記加振機構１４を支持配置し、これによって加振機構１４が基台３の内面に接触せずに十分な間隔を有して配置されるようになっている。接続部品１６の加振側接続部１６Ｂには段付き状の取付面１６ｂが形成され、この取付面１６ｂに（図示例では樹脂スペーサ１７を介して）加振体１４Ａの弾性基板１４Ａ１が嵌合して回転方向及び半径方向の双方に固定されるようになっている。

加振機構１４では、加振体１４Ａは弾性板１４Ｂよりも半径方向に長く構成され、加振体１４Ａによって生じた振動を弾性板１４Ｂで増幅して振動台１５に伝えるといった従来の構成というよりはむしろ、加振体１４Ａで所要の振動を発生させ、弾性板１４Ｂは複数の加振機構１４が設置されていることによる加振機構１４間の僅かな不整合を撓み等によって除去する役割を果たしている。すなわち、本実施形態では軸線１０ｘを中心として半径方向に複数（図示例では３つ）設置された設置軸１０ｙ（図示例では等角度間隔で設定されている。）に沿って複数の加振機構１４が設置されているため、これらの複数の加振機構１４が振動台１５に対して軸線１０ｘの周りに完全に整合した円弧状の振動を生じさせない限り、各加振機構１４には振動方向の歪みによる負荷がかかり、当該負荷が大きくなると圧電体が破損する虞がある。そこで、本実施形態では、上記弾性板１４Ｂに歪みを逃がす役割を担わせている。

ただし、本実施形態では後述するように加振機構１４の内端部が軸線１０ｘの近傍に配置されるため、半径方向に略直線状に伸びる加振機構１４では近似的には軸線１０ｘを中心とする円弧状の振動態様が実現される。したがって、複数の加振機構１４を軸線１０ｘ周りに設置しても、各加振機構１４間の振動方向の不整合性は従来装置に比べて大幅に低減されている。したがって、弾性板１４Ｂの長さも短くでき、これによって装置のコンパクト化はもちろんのこと、振動方向のばらつきも低減され、高周波化も容易になるという、種々の効果が同時に得られる。

基台１３には、図５に示すように、上記接続部品１６が固定される取付面１３ａが設けられ、この取付面１３ａは基本的に接続部品１６の基台側接続部１６Ａの接続面に対応した面形状（図示例では平坦面）とされている。取付面１３ａは逆回転方向に僅かに傾斜し、これによって接続部品１６を介して接続された加振機構１４が時計回りに同様に傾斜することで、振動台１５の振動方向が正回転方向に斜め上方に向かうように構成される。加振機構１４の取付傾斜角（すなわち振動方向の傾斜角）は、たとえば、１〜２０度の範囲内に設定されることが好ましく、特に、３〜１５度の範囲内に設定されることが望ましい。

ここで、接続部品１６の取付面１６ｂ及びこれに密接する加振機構１４の接続面は、加振機構１４の振動方向又は加振体１４Ａや弾性板１４Ｂの表面の法線と直交する方向に向いた平面となっている。これによって正規の振動モードに対する機械的影響に関して接続部品１６と加振機構１４の一体性を高めることができるので、不要振動モードの発生を低減することができる。

取付面１３ａ及びその正回転方向側の内面部分は全体として凹溝状に構成され、これによって上記加振機構１４及び接続部品１６を収容する収容空間が確保される。この収容空間は基台１３の外周に開口部１３ｃを形成している。また、取付面１３ａの逆回転方向側には厚肉に構成された台状部１３ｂが形成され、これによって装置の外形を大きくせずに基台１３の重量を増加させることに成功している。また、基台１３の軸線１０ｘ近傍には台状部１３ｂが形成されない中央凹部１３ｄが設けられ、この中央凹部１３ｄによって設けられた収容空間に各加振機構１４の内端部及び接続部品１６の加振側接続部１６Ｂが配置されている。

振動台１５は、図４に示すように、円盤状の上板部１５ａと、この上板部１５ａの外周部から下方に突出する突出部１５ｂとを有し、当該突出部１５ｂに上記加振機構１４の外端部が取付固定される。突出部１５ｂは基台１３の開口部１３ｃ内に設けられた凹溝状の収容空間に対して十分な間隙を介して収容された状態とされ、また、基台１３の上記台状部１３ｂが振動台１５の上板部１５ａの外周部分のうち突出部１５ｂの設けられていない範囲に対向するように構成されることで、基台１３と振動台１５とが最小限の間隔で相互に当接しないように上下に対向配置されている。

振動台１５の上板部１５ａの底面（基台１３と対向する面）には、中央のハブ部から放射状に伸びる複数のスポーク部を経て外周部の環状のリム部を有する車輪状の厚肉部１５ｃと、これらの厚肉部１５ｃ間において凹状に形成された複数の薄肉部１５ｄとが設けられている。これによって振動台１５の重量を軽減しつつ十分な剛性を確保している。なお、上記突出部１５ｂはスポーク部とリム部の接続部分に対応して設けられている。これによって加振機構１４から受ける振動に対する剛性をさらに向上できる。

図６は上記回転振動機１０を用いたボウル型の振動式搬送装置１１０を備えた部品供給装置１００を示す平面図である。この部品供給装置１００においては、設置台１０１上にボウル型の振動式搬送装置１１０と、リニア型の振動式搬送装置１２０が支持されている。そして、振動式搬送装置１１０は、上記回転振動機１０と、その上記振動台１５上に取付固定されたボウル状の搬送体１１２とを有し、この搬送体１１２には、その内底部１１２ａから螺旋状の部品搬送路１１２ｂが徐々に上方へ伸びるように形成されている。また、振動式搬送装置１２０は、直線方向に振動する直線振動機１２１と、この直線振動機１２１上に固定された搬送体１２２とを有し、搬送体１２２には、上記部品搬送路１１２ｂが接続される直線状の部品搬送路１２２ａが形成されている。

ボウル状の搬送体１１２の内底部１１２ａに堆積された図示しない多数の部品は螺旋状の部品搬送路１１２ｂに沿って徐々に上方へ移動し、その出口で部品搬送路１２２ａに移行して直線状に移動していく。このような部品供給装置１００では、小さな部品をきわめて高速に供給する必要があるため、特に最上流に設置されることの多い振動式搬送装置１１０には大量の搬送能力が必要とされる。本実施形態では上記回転振動機１０を用いることで部品搬送路１１２ａ上の部品が高周波数で方向ばらつきの少ない振動態様によって効率的に搬送される。

以上説明した本実施形態の回転振動機１０及び振動式搬送装置１１０においては以下の作用効果を有する。一般に、この種の回転振動機及び振動式搬送装置においては、基台１３の慣性重量を利用して振動台１５及び／又は搬送体１１２を効率良く振動させることが重要であって、基台１３の重量を大きくし、振動台１５及び／又は搬送体１１２の重量を軽減することが効果的である。ところが、振動台１５及び／又は搬送体１１２の重量の軽減には変形を防止するための剛性確保が必要となることから限界があり、基台１３の重量の増大も装置の高さや外径を削減して小型化を図る上では限界がある。そこで、本実施形態では加振機構１４が取付けられる基台１３の取付部分の剛性を高めることで、基台１３の慣性重量を有効に利用して振動を効率的に伝播させるとともに、振動態様の最適化により振動方向のばらつきを低減して部品の搬送効率を高めることができるようにした。

すなわち、従来装置においては、基台の中央部に突設された支柱部に加振機構を取り付けていたことにより、支柱部自体の剛性不足が生じやすいとともに、基台の回転方向の慣性モーメントを利用することができないため、加振機構の実質的な取付剛性が低く、そのために加振機構で発生した振動エネルギーが基台側に逃げやすく効率的に振動を伝播させることができなくなるとともに、支柱部が部分的に振動することで不要な振動モードが発生して振動方向のばらつきが増大するため、部品の効率的な搬送ができなかった。

これに対して、本実施形態では、加振機構１４が接続部品１６を介して基台１３に取り付けられることにより、上記のように突出した支柱部が不要となり、基台１３の剛性の高い部分（基台１３の内面の平坦な部分）に加振機構１４を取り付けることができるようになるとともに、接続部品１６を介して加振機構１４を半径方向外側の広い範囲に固定できるため、回転方向の慣性モーメントにより基台１３の慣性重量を有効に利用することが可能になる。したがって、振動台１５及び／又は搬送体１２へ振動を効率的に伝播させることが可能になるとともに、不要な振動モードを抑制して振動態様の最適化、すなわち、振動方向のばらつきの抑制を図ることができる。

一方、別の観点から見ると、本実施形態では、上記のように支柱部が不要となり、複数の加振機構１４の内端部同士が直接に対向している（基台１３の支柱部に遮られずに直接隣接配置されている）ため、加振機構１４の内端部を軸線１０ｘに近づけることができることから、装置外径を低減することができるとともに、加振機構１４の振動動作の支点が軸線１０ｘに近づくことで振動台１５又は搬送体１１２へ与える振動態様が軸線１０ｘ周りの円弧振動に近くなり、これによって振動台１５又は搬送体１１２の理想的な振動態様が得られる。特に、複数の加振機構１４が振動台１５又は搬送体１１２に対してほぼ同心状の円弧振動をそれぞれ与えるため、振動方向のばらつきの発生も抑制される。もちろん、上記のように基台１３の慣性重量を有効に利用できるようになったことによる反射的効果として基台１３の小型化が可能になることにより装置全体の小型化を図ることも可能になる。

また、基台１３とは別の接続部品１６を加振機構１４との間に介在させることで、当該接続部品１６において基台１３の材質とは別の剛性率の高い素材を用いることが可能になるから、コスト上昇を抑制しつつ性能の向上を図ることができるとともに、当該接続部品１６の形状を正規の振動方向に対応した形状、すなわち、加振機構１４の加振体１４Ａや弾性板１４Ｂ等の傾斜方向と対応する傾斜姿勢を備えたブロック構造とすることで、正規の振動モードを維持しやすくなり、不要な振動モードの抑制効果を高めることができる。

なお、本実施形態では、加振機構１４の逆回転方向側に接続部品１６の基台側接続部１６Ａが並行して配置されるように構成しているが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、たとえば、上記とは逆に、加振機構１４の正回転側に基台側接続部１６Ａが並行して配置されるように構成してもよく、さらには、加振機構１４と平面的に重なる下方位置に基台側接続部１６Ａが配置されるように構成してもよい。

また、上記実施形態ではＬ字状の接続部品１６を介して加振機構１４を基台１３に取付固定しているが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、結果として加振機構１４及び接続部品１６に相当する部分が全体としてコ字状若しくはＵ字状に構成され、接続部品１６に加振機構１４と並行に半径方向に延在する基台側接続部１６Ａが存在し、当該基台側接続部１６Ａが基台１３に接続固定されていればよく、たとえば、Ｌ字状の加振機構に直線状の接続部品が取り付けられた構成であってもよい。また、基台側接続部１６Ａは図示例のように直線状に半径方向に伸びる形状に限定されるものではなく、半径方向に延在しているのであれば、円板状、円柱状、矩形ブロック状に構成されていてもよい。

さらに、上記実施形態では回転振動機１０の振動台１５上に搬送体１１２が固定されてなる振動式搬送装置１１０について説明したが、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、たとえば、加振機構１４の外端部に振動台１５の代わりに搬送体１１２が直接接続されたものであってもよい。

実施形態の振動式搬送装置を構成する回転振動機の側面図。 同回転振動機から振動台を取り外した様子を示す平面図。 同回転振動機の接続部品及び加振機構を示す斜視図。 同回転振動機の振動台の側面図（ａ）、底面図（ｂ）及び縦断面図（ｃ）。 同回転振動機の基台の平面図。 実施形態の振動式搬送装置を備えた部品供給装置の概略平面図。

符号の説明

１０…回転振動機、１３…基台、１４…加振機構、１４Ａ…加振体（圧電振動体）、１４Ａ１…弾性基板、１４Ａ２…圧電体、１４Ｂ…弾性板、１５…振動台、１６…接続部品、１６Ａ…基台側接続部、１６Ｂ…加振側接続部、１７…樹脂スペーサ、１８…接続具、１１０…振動式搬送装置

Claims (5)

1. 基台と、該基台上に配置される環状若しくは螺旋状の部品搬送路を備えた搬送体と、前記基台と前記搬送体との間に介在して前記搬送体を回転方向に振動させる加振機構と、を具備する振動式搬送装置において、
   前記加振機構は、前記基台側に接続された内端部から前記搬送体側に接続された外端部へ向けて半径方向内側から外側に延在する姿勢で配置され、
   前記加振機構と前記基台との間には、前記加振機構の内端部に接続されるとともに前記基台に接続される接続部品が介在し、
   該接続部品は、半径方向内側に設けられ、前記加振機構の内端部に接続固定される加振側接続部と、該加振側接続部から前記加振機構と間隔を有して並行して半径方向外側に延在し、前記基台に接続固定される基台側接続部とを有することを特徴とする振動式搬送装置。
2. 複数の前記加振機構が軸線周りの複数個所にそれぞれ対応する前記接続部品とともに設置され、該複数の加振機構の内端部同士が軸線近傍において水平方向に前記接続部品を介在させずに直接対向していることを特徴とする請求項１に記載の振動式搬送装置。
3. 前記接続部品は、半径方向に沿った延長形状とされた前記基台側接続部と、当該基台側接続部の内端部から回転方向に突出した前記加振側接続部とからなる略Ｌ字形状を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動式搬送装置。
4. 前記加振機構には、圧電振動体よりなる板状の加振体と、該加振体に直列に接続された弾性板とが半径方向に略直線状に延在する姿勢で配置され、前記加振体が前記弾性板より半径方向に長く構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動式搬送装置。
5. 基台と、該基台上に配置される振動台と、前記基台と前記振動台との間に介在して前記振動台を回転方向に振動させる加振機構と、を具備する回転振動機において、
   前記加振機構は、前記基台側に接続された内端部から前記振動台側に接続された外端部へ向けて半径方向内側から外側に延在する姿勢で配置され、
   前記加振機構と前記基台との間には、前記加振機構の内端部に接続されるとともに前記基台に接続される接続部品が介在し、該接続部品は、半径方向内側に設けられ、前記加振機構の内端部に接続固定される加振側接続部と、該加振側接続部から前記加振機構と間隔を有して並行して半径方向外側に延在し、前記基台に接続固定される基台側接続部とを有することを特徴とする回転振動機。

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